專利名稱：三維測(cè)定裝置、濾色光柵條紋片及照明機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種采用相位移動(dòng)法，測(cè)定測(cè)定對(duì)象的三維形狀等的三維測(cè)定裝置。
背景技術(shù)：
一般，在于印刷電路襯底上，安裝電子器件的場(chǎng)合，首先，在設(shè)置于印刷電路襯底上的規(guī)定的電極圖案上，印刷焊糊。接著，根據(jù)該焊糊的粘性，將電子器件臨時(shí)地固定于印刷電路襯底上。然后，將上述印刷電路襯底送向回流爐，經(jīng)過(guò)規(guī)定的回流步驟，進(jìn)行焊劑設(shè)置。到目前，必須在送向回流爐的前階段，檢查焊糊的印刷狀態(tài)，在上述檢查時(shí)，采用三維測(cè)定裝置。
近年，人們提出了各種采用光的，所謂的非接觸式的三維測(cè)定裝置，其中，人們提出有采用相位移動(dòng)法的三維測(cè)定裝置的技術(shù)(日本第211443/1999號(hào)公報(bào)，日本第2711042號(hào)專利等)。
在上述技術(shù)的三維測(cè)定裝置中，采用CCD照相機(jī)。通過(guò)由光源和正弦波圖案的濾色片的組合體構(gòu)成的照射機(jī)構(gòu)，對(duì)測(cè)定物體(在本場(chǎng)合，為印刷電路襯底)照射具有條紋狀的光強(qiáng)度分布的光圖案。另外，采用設(shè)置于正上方的CCD照相機(jī)，觀測(cè)基板上的點(diǎn)。在此場(chǎng)合，畫(huà)面上的點(diǎn)P的光的強(qiáng)度I由下述的公式表示。
I＝e+f·cosφ(其中，e表示直流光噪音(偏置成分)，f表示正弦波的對(duì)比度(反射率)，φ表示通過(guò)物體的凹凸提供的相位)此時(shí)，使光圖案移動(dòng)，按照4個(gè)等級(jí)(φ+0、φ+π/2、φ+π、φ+3π/2)使相位變化，獲取具有與它們相對(duì)應(yīng)的強(qiáng)度分布I0，I1，I2，I3的圖像，根據(jù)下述公式，計(jì)算位置信息θ。
θ＝arctan{(I3-I1)/(I0-I2)}采用該位置信息θ，計(jì)算印刷電路襯底(焊糊)上的點(diǎn)P的三維坐標(biāo)(X，Y，Z)，由此，測(cè)定焊糊的三維形狀，特別是高度。
但是，在上述技術(shù)的三維測(cè)定裝置中，必須按照4個(gè)等級(jí)使相位變化，獲得具有與各等級(jí)相對(duì)應(yīng)的強(qiáng)度分布的4個(gè)圖像。即，每當(dāng)使相位變化時(shí)，必須進(jìn)行拍攝，其結(jié)果是，必須針對(duì)1個(gè)點(diǎn)，進(jìn)行4次拍攝。由此，拍攝要求時(shí)間，進(jìn)而，具有從測(cè)定開(kāi)始，到結(jié)束的時(shí)間增加的危險(xiǎn)。
本發(fā)明是針對(duì)上述情況而提出的，本發(fā)明的主要目的在于提供一種三維測(cè)定裝置，該三維測(cè)定裝置可在采用相位移動(dòng)法，測(cè)定測(cè)定對(duì)象的三維形狀時(shí)，縮短測(cè)定所需要的時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的三維測(cè)定裝置的特征在于該三維測(cè)定裝置包括均勻光照明器，其可對(duì)測(cè)定對(duì)象和其周圍的非測(cè)定對(duì)象，基本均勻地照射光；照射機(jī)構(gòu)，該照射機(jī)構(gòu)可至少相對(duì)測(cè)定對(duì)象，同時(shí)照射具有條紋狀的光強(qiáng)度分布，并且具有相互不同的波長(zhǎng)成分，相對(duì)相位關(guān)系相互不同的至少2個(gè)光成分圖案；拍攝機(jī)構(gòu)，該拍攝機(jī)構(gòu)可對(duì)來(lái)自照射了上述均勻光的測(cè)定對(duì)象和其周圍的非測(cè)定對(duì)象的反射光進(jìn)行拍攝，并且可針對(duì)每個(gè)光成分，將來(lái)自至少照射了上述光成分圖案的測(cè)定對(duì)象的反射光分離，對(duì)其進(jìn)行拍攝；區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，該區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)根據(jù)借助上述拍攝機(jī)構(gòu)拍攝的均勻光的圖像數(shù)據(jù)，抽取上述測(cè)定對(duì)象所在的區(qū)域；運(yùn)算機(jī)構(gòu)，該運(yùn)算機(jī)構(gòu)可根據(jù)通過(guò)上述拍攝機(jī)構(gòu)，針對(duì)每個(gè)光成分拍攝的至少2個(gè)圖像數(shù)據(jù)，至少對(duì)通過(guò)上述區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，進(jìn)行了存在區(qū)域抽取處理的測(cè)定對(duì)象的規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算。
按照本發(fā)明，通過(guò)均勻光照明器，對(duì)測(cè)定對(duì)象和其周圍的非測(cè)定對(duì)象，照射基本均勻的光。另外，通過(guò)拍攝機(jī)構(gòu)，對(duì)照射了上述基本均勻光的測(cè)定對(duì)象和其周圍的非測(cè)定對(duì)象的反射光進(jìn)行拍攝，由此，獲得圖像數(shù)據(jù)。根據(jù)該圖像數(shù)據(jù)，通過(guò)區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，抽取測(cè)定對(duì)象所在的區(qū)域。在此場(chǎng)合，可根據(jù)測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象之間的反射程度的差異，確實(shí)指定測(cè)定對(duì)象的區(qū)域。另外，通過(guò)照射機(jī)構(gòu)，至少對(duì)測(cè)定對(duì)象，同時(shí)照射至少2個(gè)光成分圖案。在這里，各光成分圖案具有條紋狀的光強(qiáng)度分布，并且具有相互不同的波長(zhǎng)成分，相對(duì)相位關(guān)系相互不同。另外，通過(guò)拍攝機(jī)構(gòu)，針對(duì)每個(gè)光成分，將來(lái)自照射有光成分圖案的測(cè)定對(duì)象的反射光分離，對(duì)其拍攝。此外，根據(jù)在上述不同的相對(duì)相位關(guān)系下，通過(guò)拍攝機(jī)構(gòu)拍攝的至少2個(gè)圖像數(shù)據(jù)，通過(guò)運(yùn)算機(jī)構(gòu)，至少對(duì)上述測(cè)定對(duì)象的規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算。于是，與每當(dāng)相對(duì)相位關(guān)系不同時(shí)，必須進(jìn)行拍攝的已有技術(shù)不同，可針對(duì)每個(gè)光成分，每當(dāng)在不同的相對(duì)相位關(guān)系下，集中地進(jìn)行拍攝。由此，就1個(gè)點(diǎn)來(lái)說(shuō)，使照射和拍攝所需要的時(shí)間顯著縮短，由此，可使測(cè)定所需要的時(shí)間顯著縮短。并且，在運(yùn)算時(shí)，已抽取和指定測(cè)定對(duì)象的區(qū)域。于是，不必進(jìn)行考慮非測(cè)定對(duì)象的補(bǔ)償運(yùn)算等。其結(jié)果是，可簡(jiǎn)化運(yùn)算處理，防止補(bǔ)償用的設(shè)備的尺寸的增加，變得復(fù)雜等情況。
另外，最好，上述均勻光照明器為可照射白色光的白色光照明器。
通過(guò)采用白色光照明器，如果進(jìn)行對(duì)于測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象來(lái)說(shuō)是不同的著色，則反射光的差異不僅容易表現(xiàn)在亮度方面，而且還表現(xiàn)在色差方面。于是，在通過(guò)區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，抽取測(cè)定對(duì)象所在的區(qū)域時(shí)，既可根據(jù)測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象之間的反射光的亮度的差異，也可根據(jù)色差的差異，確實(shí)指定測(cè)定對(duì)象的區(qū)域。
此外，本發(fā)明的三維測(cè)定裝置的特征在于該三維測(cè)定裝置包括白色光照明器，該白色光照明器可對(duì)測(cè)定對(duì)象和其周圍的非測(cè)定對(duì)象，照射白色光；照射機(jī)構(gòu)，該照射機(jī)構(gòu)可至少相對(duì)測(cè)定對(duì)象，同時(shí)照射具有條紋狀的光強(qiáng)度分布，并且具有相互不同的波長(zhǎng)成分，相對(duì)相位關(guān)系不同的至少3個(gè)光成分圖案；拍攝機(jī)構(gòu)，該拍攝機(jī)構(gòu)可對(duì)來(lái)自照射了上述白色光的測(cè)定對(duì)象和其周圍的非測(cè)定對(duì)象的反射光進(jìn)行拍攝，并且可針對(duì)每個(gè)光成分，將至少來(lái)自照射了上述光成分圖案的測(cè)定對(duì)象的反射光分離，對(duì)其進(jìn)行拍攝；區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，該區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)根據(jù)借助上述拍攝機(jī)構(gòu)拍攝的白色光的圖像數(shù)據(jù)，抽取上述測(cè)定對(duì)象所在的區(qū)域；運(yùn)算機(jī)構(gòu)，該運(yùn)算機(jī)構(gòu)根據(jù)通過(guò)上述拍攝機(jī)構(gòu)，針對(duì)每個(gè)光成分拍攝的至少3個(gè)圖像數(shù)據(jù)，通過(guò)相位移動(dòng)法，至少對(duì)通過(guò)上述區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，進(jìn)行了存在區(qū)域抽取處理的測(cè)定對(duì)象的規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算。
最好，上述區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)根據(jù)上述測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象的亮度差，抽取上述測(cè)定對(duì)象所在的區(qū)域。
通過(guò)區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，從圖像數(shù)據(jù)中，根據(jù)測(cè)定對(duì)象與非測(cè)定對(duì)象的亮度的差，抽取測(cè)定對(duì)象所在區(qū)域。由此，與測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象的表面的顏色無(wú)關(guān)，可通過(guò)僅僅對(duì)亮度進(jìn)行比較的容易的處理，抽取區(qū)域。
此外，最好，上述白色光照明器的測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象的照射方向，與上述拍攝機(jī)構(gòu)的測(cè)定對(duì)象和上述非測(cè)定對(duì)象的拍攝方向的相應(yīng)角度是不同的。
在上述場(chǎng)合，已照射的白色光的反射角度伴隨已照射的表面狀態(tài)等而不同。由此，可利用通過(guò)拍攝機(jī)構(gòu)拍攝的反射光的亮度對(duì)于測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象來(lái)說(shuō)是不同的情況，更加確實(shí)地抽取測(cè)定對(duì)象所在的區(qū)域。
還有，最好，上述區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)從上述測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象的色差，抽取上述測(cè)定對(duì)象所在的區(qū)域。
通過(guò)區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，借助圖像數(shù)據(jù)，根據(jù)測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象的色差，抽取測(cè)定對(duì)象所在區(qū)域。由此，可通過(guò)僅僅對(duì)測(cè)定對(duì)象，非測(cè)定對(duì)象的表面的顏色進(jìn)行比較的容易的處理，抽取區(qū)域。
此外，最好，上述照射機(jī)構(gòu)可同時(shí)照射至少3個(gè)光成分圖案；上述運(yùn)算機(jī)構(gòu)根據(jù)3個(gè)圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行運(yùn)算；當(dāng)上述相互不同的相對(duì)相位關(guān)系由α，0，β表示時(shí)，上述運(yùn)算機(jī)構(gòu)通過(guò)將根據(jù)上述3個(gè)圖像數(shù)據(jù)獲得的測(cè)定部的亮度，分別換算為同一振幅和同一偏置成分的V0，V1，V2和下述的公式(1)，求出位置信息θ，根據(jù)該位置信息θ，對(duì)上述規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算，該公式為tanθ=(V0-V2)sinβ+(V1-V2)(sinα-sinβ)(V0-V2)(1-cosβ)-(V1-V2)(cosα-cosβ)...(1)]]>=(V1-V2)sinα+(-V1+V0)sinβ(V0-V2)+(-V1+V2)cosα+(V1-V0)cosβ]]>在此場(chǎng)合，可根據(jù)不怎么復(fù)雜的數(shù)學(xué)公式，求出位置信息θ，可根據(jù)該位置信息θ，對(duì)上述規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算。由此，在根據(jù)3個(gè)圖像數(shù)據(jù)，計(jì)算測(cè)定對(duì)象的規(guī)定高度時(shí)，沒(méi)有運(yùn)算復(fù)雜造成的延遲。
還有，最好，具有相互不同的波長(zhǎng)成分的3個(gè)光成分圖案分別為紅色，綠色，藍(lán)色的光成分圖案。
在此場(chǎng)合，波長(zhǎng)區(qū)域難于重疊，在拍攝機(jī)構(gòu)中，可容易針對(duì)每個(gè)光成分，進(jìn)行分離。此外，可較容易地形成照射機(jī)構(gòu)。
此外，最好，上述照射機(jī)構(gòu)包括濾色光柵條紋片機(jī)構(gòu)，該濾色光柵條紋片機(jī)構(gòu)可采用濾色光柵條紋片，同時(shí)照射相對(duì)相位關(guān)系不同的各光成分圖案，該濾色光柵條紋片針對(duì)規(guī)定的波長(zhǎng)成分，呈條紋狀對(duì)來(lái)自光源的光進(jìn)行遮擋，并且針對(duì)剩余的波長(zhǎng)成分，允許透光。
通過(guò)濾色光柵條紋片，呈條紋狀對(duì)規(guī)定的波長(zhǎng)成分的光進(jìn)行遮擋，而允許剩余的波長(zhǎng)成分的光實(shí)現(xiàn)透射。由此，在比如，將多個(gè)濾色光柵條紋片組合的場(chǎng)合，允許僅僅各光成分呈條紋狀實(shí)現(xiàn)透射。另外，呈條紋狀實(shí)現(xiàn)透射的光成分形成接近正弦波的圖案，在該光成分圖案中，相對(duì)相位關(guān)系相互不同。于是，更加正確地對(duì)運(yùn)算機(jī)構(gòu)的測(cè)定對(duì)象的規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算。
還有，最好，上述照射機(jī)構(gòu)包括濾色光柵條紋片，上述濾色光柵條紋片由1塊板構(gòu)成，分別僅僅針對(duì)規(guī)定的波長(zhǎng)成分，使來(lái)自光源的光實(shí)現(xiàn)透射的區(qū)域呈條紋狀排列，可同時(shí)使相對(duì)相位關(guān)系不同的各光成分圖案實(shí)現(xiàn)透光。
通過(guò)濾色光柵條紋片，呈條紋狀使規(guī)定的波長(zhǎng)成分的光透射。由此，呈條紋狀實(shí)現(xiàn)透射的規(guī)定的波長(zhǎng)成分形成相對(duì)相位關(guān)系相互不同的，接近正弦波的光成分圖案。于是，更加正確地通過(guò)運(yùn)算機(jī)構(gòu)，對(duì)測(cè)定對(duì)象的規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算。另外，由于濾色光柵條紋片由1塊板構(gòu)成，故可較容易地設(shè)計(jì)照明機(jī)構(gòu)，可減小整體尺寸，減小成本。
再有，最好，上述照射機(jī)構(gòu)可同時(shí)照射3個(gè)光成分圖案，上述濾色光柵條紋片象這樣構(gòu)成，其中針對(duì)波長(zhǎng)成分不同的第1，第2，第3波長(zhǎng)成分，依次將僅僅使第1波長(zhǎng)成分的光透射的第1區(qū)域，僅僅使第1和第2波長(zhǎng)成分的光透射的第2區(qū)域，僅僅使第2和第3波長(zhǎng)成分的光透射的第3區(qū)域，僅僅使第3波長(zhǎng)成分的光透射的第4區(qū)域呈條紋狀排列。
通過(guò)濾色光柵條紋片，使各波長(zhǎng)成分的光實(shí)現(xiàn)透射的條紋狀的區(qū)域交替反復(fù)。由此，可僅僅通過(guò)形成4種區(qū)域，確實(shí)形成針對(duì)各波長(zhǎng)成分，相對(duì)相位關(guān)系相互不同的，接近正弦波的光成分圖案。另外，如果能夠形成相對(duì)相位關(guān)系相互不同的，接近正弦波的光成分圖案，則也可形成4種以上的區(qū)域。
另外，最好，對(duì)上述第1區(qū)域，以紅色區(qū)分，對(duì)上述第2區(qū)域，以黃色區(qū)分，對(duì)上述第3區(qū)域，以青色區(qū)分，對(duì)上述第4區(qū)域，以藍(lán)色區(qū)分。
如果濾色光柵條紋片按照紅色，黃色，青色，藍(lán)色的順序，呈條紋狀排列，則作為具有相互不同的波長(zhǎng)成分的3個(gè)光成分圖案可使紅色，綠色，藍(lán)色的光實(shí)現(xiàn)透射。于是，波長(zhǎng)區(qū)域難于重疊，在拍攝機(jī)構(gòu)中，可較容易地針對(duì)各光成分，進(jìn)行分離。另外，可較容易地形成照射機(jī)構(gòu)。
此外，本發(fā)明的三維測(cè)定裝置的特征在于該三維測(cè)定裝置包括照射機(jī)構(gòu)，該照射機(jī)構(gòu)可相對(duì)測(cè)定對(duì)象和其周圍的非測(cè)定對(duì)象，同時(shí)照射具有基本均勻的波長(zhǎng)成分的光，以及至少具有條紋狀的光強(qiáng)度分布，并且具有相互不同的多個(gè)規(guī)定的波長(zhǎng)成分的光成分圖案；拍攝機(jī)構(gòu)，該拍攝機(jī)構(gòu)可針對(duì)上述均勻波長(zhǎng)成分，以及上述多個(gè)規(guī)定波長(zhǎng)成分的各光成分，將來(lái)自從上述照射機(jī)構(gòu)照射的測(cè)定對(duì)象的反射光分離，對(duì)其進(jìn)行拍攝；區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，該區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)根據(jù)與借助上述拍攝機(jī)構(gòu)拍攝的均勻波長(zhǎng)成分相對(duì)應(yīng)的圖像數(shù)據(jù)，抽取上述測(cè)定對(duì)象所存在的區(qū)域；運(yùn)算機(jī)構(gòu)，該運(yùn)算機(jī)構(gòu)根據(jù)與通過(guò)上述拍攝機(jī)構(gòu)，進(jìn)行分離拍攝的多個(gè)規(guī)定波長(zhǎng)成分相對(duì)應(yīng)的圖像數(shù)據(jù)，至少對(duì)通過(guò)上述區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，進(jìn)行了存在區(qū)域抽取處理的測(cè)定對(duì)象的規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算。
按照本發(fā)明，可對(duì)測(cè)定對(duì)象，通過(guò)照射機(jī)構(gòu)，同時(shí)照射具有基本均勻的均勻波長(zhǎng)成分的光，與光成分圖案，該光成分圖案至少具有條紋狀的光強(qiáng)度分布，并且具有相對(duì)相位關(guān)系相互不同的，多個(gè)規(guī)定波長(zhǎng)成分。由此，可僅僅通過(guò)1個(gè)照射機(jī)構(gòu)，照射各光成分，可防止設(shè)置單獨(dú)的照明器造成的裝置的尺寸的增加。另外，通過(guò)拍攝機(jī)構(gòu)，針對(duì)每個(gè)光成分，將均勻波長(zhǎng)成分，以及多個(gè)規(guī)定波長(zhǎng)成分分離，對(duì)其進(jìn)行拍攝，僅僅通過(guò)1次的拍攝，同時(shí)獲得各圖像數(shù)據(jù)。另外，根據(jù)均勻波長(zhǎng)成分的圖像數(shù)據(jù)，通過(guò)區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，抽取測(cè)定對(duì)象所在的區(qū)域。在此場(chǎng)合，可根據(jù)測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象之間的反射程度的差異，確實(shí)指定測(cè)定對(duì)象的區(qū)域。根據(jù)與通過(guò)上述拍攝機(jī)構(gòu)，分離拍攝的多個(gè)規(guī)定波長(zhǎng)成分相對(duì)應(yīng)的圖像數(shù)據(jù)，通過(guò)運(yùn)算機(jī)構(gòu)，至少對(duì)上述測(cè)定對(duì)象的規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算。于是，與每當(dāng)相對(duì)相位關(guān)系不同時(shí)，必須進(jìn)行拍攝的已有技術(shù)不同，可針對(duì)每個(gè)光成分，每當(dāng)在不同的相對(duì)相位關(guān)系下，集中地進(jìn)行拍攝。由此，就1個(gè)點(diǎn)來(lái)說(shuō)，可通過(guò)1次的照射和拍攝，獲得必要的圖像數(shù)據(jù)。于是，可顯著縮短1個(gè)點(diǎn)所需要的時(shí)間，由此，可使測(cè)定所需要的時(shí)間顯著縮短。并且，在運(yùn)算時(shí)，已抽取和指定測(cè)定對(duì)象的區(qū)域。于是，不必進(jìn)行考慮了非測(cè)定對(duì)象的補(bǔ)償運(yùn)算等。其結(jié)果是，可簡(jiǎn)化運(yùn)算處理，防止補(bǔ)償用的設(shè)備的尺寸的增加，變得復(fù)雜等情況。
還有，最好，上述均勻波長(zhǎng)成分的波長(zhǎng)區(qū)域與上述多個(gè)規(guī)定波長(zhǎng)成分的波長(zhǎng)區(qū)域不同。
在此場(chǎng)合，均勻波長(zhǎng)成分，與多個(gè)規(guī)定波長(zhǎng)成分可針對(duì)各光成分實(shí)現(xiàn)分離，對(duì)其進(jìn)行拍攝。
再有，最好，上述光成分圖案具有基本呈正弦波狀的光強(qiáng)度分布。
在此場(chǎng)合，可更進(jìn)一步地提高測(cè)定精度。
最好，該三維測(cè)定裝置設(shè)置有基準(zhǔn)高度測(cè)定機(jī)構(gòu)，該基準(zhǔn)高度測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定形成上述測(cè)定對(duì)象的高度的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)面的高度。
由于通過(guò)基準(zhǔn)高度測(cè)定機(jī)構(gòu)，測(cè)定形成測(cè)定對(duì)象的高度的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)面的高度，故不僅可測(cè)定測(cè)定對(duì)象相對(duì)3維測(cè)定裝置的高度位置的關(guān)系，而且可測(cè)定測(cè)定對(duì)象的本身的高度(厚度)。
另外，最好，上述測(cè)定對(duì)象為印刷于印刷電路襯底上的焊糊，該裝置設(shè)置有判斷機(jī)構(gòu)，該判斷機(jī)構(gòu)根據(jù)上述焊糊的區(qū)域，高度，判斷印刷狀態(tài)是否良好。
測(cè)定印刷于印刷電路襯底上的焊糊的區(qū)域和高度，根據(jù)該測(cè)定值，進(jìn)行是否良好的判斷。由此，在測(cè)定焊糊時(shí)，實(shí)現(xiàn)各種作用效果，另外，可以良好的精度進(jìn)行是否良好的判斷。
此外，最好，上述測(cè)定對(duì)象為設(shè)置于印刷電路襯底上的焊球，該裝置設(shè)置有判斷機(jī)構(gòu)，該判斷機(jī)構(gòu)根據(jù)上述焊球的區(qū)域，高度，判斷焊球的形狀是否良好。
測(cè)定印刷于印刷電路襯底上的焊球的區(qū)域和高度，根據(jù)該測(cè)定值，進(jìn)行是否良好的判斷。由此，在測(cè)定焊球時(shí)，實(shí)現(xiàn)各種作用效果，另外，可以良好的精度進(jìn)行是否良好的判斷。
還有，最好，本發(fā)明的濾色光柵條紋片為用于三維測(cè)定裝置的濾色光柵條紋片，其由1塊板狀體形成，對(duì)來(lái)自光源的光針對(duì)規(guī)定的波長(zhǎng)成分，呈條紋狀進(jìn)行遮擋，并且針對(duì)剩余的波長(zhǎng)成分，允許透射，可同時(shí)使相對(duì)相位關(guān)系相互不同的至少2個(gè)光成分圖案實(shí)現(xiàn)透射。
按照本發(fā)明，通過(guò)該濾色光柵條紋片，呈條紋狀使規(guī)定的波長(zhǎng)成分的光透射。由此，呈條紋狀實(shí)現(xiàn)透射的規(guī)定的波長(zhǎng)成分形成相對(duì)相位關(guān)系相互不同的，接近正弦波的光成分圖案。另外，由于可同時(shí)通過(guò)一塊板，使2個(gè)光成分圖案實(shí)現(xiàn)透射，故可較容易地設(shè)計(jì)三維測(cè)定裝置，可減小整體尺寸，降低成本。另外，上述三維測(cè)定裝置也可構(gòu)成“上述任何一項(xiàng)所述的發(fā)明的三維測(cè)定裝置”。
再有，最好，上述濾色光柵條紋片同時(shí)使3個(gè)光成分圖案實(shí)現(xiàn)透射，針對(duì)波長(zhǎng)成分相互不同的第1，第2，第3波長(zhǎng)成分，依次將僅僅使第1和第2波長(zhǎng)成分的光透射的第1區(qū)域，僅僅使第2和第3波長(zhǎng)成分的光透射的第2區(qū)域呈條紋狀排列。
象這樣，通過(guò)依次排列第1、第2區(qū)域，能夠使第1、第3波長(zhǎng)成分作為相位不同的，基本呈正弦波狀的光成分圖案而實(shí)現(xiàn)透射。另外，第2波長(zhǎng)成分在光柵條紋的整個(gè)區(qū)域，是均勻的，除了條紋狀的光成分圖案，還可同時(shí)進(jìn)行均勻的光的照射。
另外，最好，針對(duì)上述第1區(qū)域，以黃色區(qū)分，針對(duì)上述第2區(qū)域，以青色區(qū)分。
如果濾色光柵條紋片按照黃色，青色的順序呈條紋狀排列，故作為具有相互不同的波長(zhǎng)成分的2個(gè)光成分圖案，可實(shí)現(xiàn)紅色，藍(lán)色的光的透射。于是，可實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)區(qū)域難于重疊的光成分圖案的透射。
此外，本發(fā)明的濾色光柵條紋片涉及用于三維測(cè)定裝置的濾色光柵條紋片，其特征在于其由1塊板狀體形成，對(duì)來(lái)自光源的光針對(duì)規(guī)定的波長(zhǎng)成分，呈條紋狀進(jìn)行遮擋，并且針對(duì)剩余的波長(zhǎng)成分，允許透射，可同時(shí)使相對(duì)相位關(guān)系相互不同的至少3個(gè)光成分圖案實(shí)現(xiàn)透射。
按照本發(fā)明，通過(guò)濾色光柵條紋片呈條紋狀使規(guī)定的波長(zhǎng)成分透射。由此，呈條紋狀實(shí)現(xiàn)透射的規(guī)定的波長(zhǎng)成分形成相對(duì)相位關(guān)系相互不同的，接近正弦波的光成分圖案。另外，由于可同時(shí)通過(guò)一塊板，使3個(gè)光成分圖案實(shí)現(xiàn)透射，故可較容易地設(shè)計(jì)三維測(cè)定裝置，可減小整體尺寸，降低成本。另外，上述三維測(cè)定裝置也可構(gòu)成“上述任何一項(xiàng)所述的發(fā)明的三維測(cè)定裝置”。
還有，最好，上述濾色光柵條紋片同時(shí)使3個(gè)光成分圖案實(shí)現(xiàn)透射，針對(duì)波長(zhǎng)成分相互不同的第1，第2，第3波長(zhǎng)成分，依次將使僅僅使第1波長(zhǎng)成分的光透射的第1區(qū)域，僅僅使第1和第2波長(zhǎng)成分的光透射的第2區(qū)域，僅僅使第2和第3波長(zhǎng)成分的光透射的第3區(qū)域，僅僅使第3波長(zhǎng)成分的光透射的第4區(qū)域呈條紋狀排列。
象這樣，通過(guò)依次排列第1～第4區(qū)域，第1，第2，第3波長(zhǎng)成分可作為相位不同的，基本正弦波狀的光成分圖案而實(shí)現(xiàn)透射。
再有，最好，針對(duì)上述第1區(qū)域，以紅色區(qū)分，針對(duì)上述第2區(qū)域，以黃色區(qū)分，針對(duì)上述第3區(qū)域，以青色區(qū)分，針對(duì)上述第4區(qū)域，以藍(lán)色區(qū)分。
如果濾色光柵條紋片按照紅色，黃色，青色，藍(lán)色的順序呈條紋狀排列，則作為具有相互不同的波長(zhǎng)成分的3個(gè)光成分圖案，可實(shí)現(xiàn)紅色，綠色，藍(lán)色的光的透射。于是，可實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)區(qū)域難于重疊的光成分圖案的透射。
另外，最好，三維測(cè)定裝置包括上述任何一項(xiàng)發(fā)明所述的濾色光柵條紋片。
此外，本發(fā)明的照明機(jī)構(gòu)的特征在于該照明機(jī)構(gòu)包括上述任一發(fā)明所述的濾色光柵條紋片。
由于設(shè)置有上述濾色光柵條紋片，可較容易地設(shè)計(jì)能夠照射具有相互不同的波長(zhǎng)成分的多個(gè)光成分圖案的照明機(jī)構(gòu)。


圖1為以示意方式表示具有一個(gè)實(shí)施例的三維測(cè)定裝置的印刷狀態(tài)檢測(cè)裝置的簡(jiǎn)要立體圖；圖2為以示意方式表示具有一個(gè)實(shí)施例的更加具體的三維測(cè)定裝置的組成的簡(jiǎn)要組成圖；圖3為表示相對(duì)相位關(guān)系不同的紅，綠，藍(lán)色的各濾色片的光強(qiáng)度分布的一個(gè)實(shí)例的曲線圖；圖4為以示意方式表示另一實(shí)施例的光柵條紋的俯視圖；圖5(a)為表示還一實(shí)施例的光柵條紋片的相應(yīng)顏色的透射率與波長(zhǎng)之間的關(guān)系的曲線圖，圖5(b)為表示還一實(shí)施例的照相機(jī)的靈敏度與波長(zhǎng)之間的關(guān)系的曲線圖；圖6為表示投射有光柵條紋片的透射光的照射區(qū)域的每個(gè)波長(zhǎng)的亮度的曲線圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖，對(duì)一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行描述。圖1為以示意方式表示具有本實(shí)施例的三維測(cè)定裝置的印刷狀態(tài)檢查裝置1的簡(jiǎn)要組成圖。象該圖所示的那樣，印刷狀態(tài)檢查裝置1包括臺(tái)2，該臺(tái)2用于放置印刷有作為測(cè)定對(duì)象的焊糊H的印刷電路襯底K；照明器3，該照明器3構(gòu)成用于從斜上方，對(duì)印刷電路襯底K的表面，照射規(guī)定的光成分圖案的照射機(jī)構(gòu)；CCD照相機(jī)4，該CCD照相機(jī)4構(gòu)成用于對(duì)印刷電路襯底K上的已照射的部分進(jìn)行拍攝的拍攝機(jī)構(gòu)；白色光照明器L，該白色光照明器L用于對(duì)印刷電路襯底K的表面，照射白色光；激光指示器，該激光指示器在圖中未示出，用于測(cè)定基準(zhǔn)高度。另外，本實(shí)施例的焊糊H通過(guò)印刷方式形成于由設(shè)置于印刷電路襯底K上的銅箔形成的電極圖案上。
在臺(tái)2上設(shè)置有電動(dòng)機(jī)5，6，通過(guò)該電動(dòng)機(jī)5，6，放置于臺(tái)2上的印刷電路襯底K可沿任意的方向(X軸方向和Y軸方向)滑動(dòng)。
白色光照明器L設(shè)置于印刷電路襯底K的上方，CCD照相機(jī)4的下方。另外，由于該白色光照明器L呈其直徑較大的環(huán)狀，故不妨礙CCD照相機(jī)4對(duì)印刷電路襯底K的拍攝。此外，該白色光照明器L朝向該白色光照明器L的中間方向，斜下方照射白色光。即，可從印刷電路襯底K的周圍的斜上方，照射白色光。
可從本實(shí)施例的照明器3，照射紅，綠，藍(lán)的相應(yīng)相位不同的光成分圖案。更具體地說(shuō)，象圖2所示的那樣，照明器3包括光源11；匯聚來(lái)自光源11的光的聚光透鏡12；照射透鏡13；設(shè)置于上述兩個(gè)透鏡12，13之間的紅，綠，藍(lán)色的濾色光柵條紋片14，15，16。在紅色濾色光柵條紋片14中，對(duì)應(yīng)于部位，紅色的程度呈正弦波狀(條紋狀)變化，僅僅對(duì)紅色的成分的光呈條紋狀遮擋(透射)，而可允許其它的波長(zhǎng)區(qū)域的全部光透射。另外，在綠色濾色光柵條紋片15中，對(duì)應(yīng)于部位，綠色的程度呈正弦波狀(條紋狀)變化，僅僅對(duì)綠色的成分的光呈條紋狀遮擋(透射)，而可允許其它的波長(zhǎng)區(qū)域的全部光透射。但是，該正弦波的相位相對(duì)紅色濾色光柵條紋片14按照規(guī)定間距(在本實(shí)施例中，為“π/2”)發(fā)生偏移。此外，在藍(lán)色濾色光柵條紋片16中，對(duì)應(yīng)于部位，藍(lán)色的程度呈正弦波狀(條紋狀)變化，僅僅對(duì)藍(lán)色的成分的光呈條紋狀遮擋(透射)，而可允許其它的波長(zhǎng)區(qū)域的全部光透射。但是，該正弦波的相位相對(duì)紅和綠色濾色光柵條紋片14，15按照規(guī)定間距(在本實(shí)施例中，為“π/2”)發(fā)生偏移。即，這些紅，綠，藍(lán)色的濾色光柵條紋片14，15，16，在其相位相互按照規(guī)定間距偏移的狀態(tài)粘合(顯然，即使在相互離開(kāi)的情況下，仍沒(méi)有關(guān)系)。
另外，從光源11發(fā)出的光可經(jīng)過(guò)聚光透鏡12，紅，綠，藍(lán)色的濾色光柵條紋片14，15，16，以及照射透鏡13，作為如圖4所示的光成分圖案，照射到印刷電路襯底K上。
此外，上述CCD照相機(jī)4包括第1～第3二向色鏡21，22，23和與它們相對(duì)應(yīng)的第1～第3拍攝部24，25，26。即，第1二向色鏡21反射規(guī)定的波長(zhǎng)區(qū)域內(nèi)(與紅色光相對(duì)應(yīng))的光(使其以外的波長(zhǎng)的光透射)，第1拍攝部24對(duì)該反射光進(jìn)行拍攝。另外，第2二向色鏡22反射規(guī)定的波長(zhǎng)區(qū)域內(nèi)(與綠色光相對(duì)應(yīng))的光(使其以外的波長(zhǎng)的光透射)，第2拍攝部25對(duì)該反射光進(jìn)行拍攝。此外，第3二向色鏡(也可采用普通的反射鏡)23反射規(guī)定的波長(zhǎng)區(qū)域內(nèi)(與藍(lán)色光相對(duì)應(yīng))的光(使其以外的波長(zhǎng)的光透射)，第3拍攝部26對(duì)該反射光進(jìn)行拍攝。此外，CCD照相機(jī)4還可進(jìn)行普通的彩色攝影。
在本實(shí)施例中，象圖1，圖2所示的那樣，設(shè)置有控制器7，該控制器7用于驅(qū)動(dòng)控制上述CCD照相機(jī)4，照明器3，電動(dòng)機(jī)5，6，以及白色光照明器L，并且根據(jù)通過(guò)CCD照相機(jī)4拍攝的圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行各種運(yùn)算。即，如果將印刷電路襯底K放置于臺(tái)2上，則控制器7首先對(duì)電動(dòng)機(jī)5，6進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使其移動(dòng)到規(guī)定位置，使印刷電路襯底K移動(dòng)到初始位置。該初始位置為以比如，CCD照相機(jī)4的視場(chǎng)的大小為1個(gè)單元，預(yù)先分隔印刷電路襯底K的表面中的1個(gè)位置。
另外，控制器7對(duì)白色光照明器L進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，開(kāi)始白色光的照射。于是，朝向白色光的CCD照相機(jī)的方向的反射光在作為平面的印刷電路襯底K，稍稍變暗。另一方面，通過(guò)在表面具有凹凸部的焊糊H處，通過(guò)漫反射，上述反射光亮度大大超過(guò)印刷電路襯底K。在進(jìn)行上述照射的期間，控制器7對(duì)CCD照相機(jī)4進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，對(duì)檢查區(qū)域部分一起進(jìn)行拍攝，獲得彩色的圖像數(shù)據(jù)(第1次拍攝)。
接著，對(duì)照明器3進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，開(kāi)始光成分圖案的照射。此時(shí)，由于在光成分圖案中，包括相位以規(guī)定的間距不同的多個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域，故不必象過(guò)去那樣，要求每次按照規(guī)定間距使相位移動(dòng)的處理。另外，在進(jìn)行象這樣，各光成分圖案發(fā)生相移的一起照射的期間，控制器7對(duì)CCD照相機(jī)4進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，針對(duì)它們中的每個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域(每個(gè)拍攝部24～26)，一起拍攝檢查區(qū)域部分，分別獲得3畫(huà)面量的圖像數(shù)據(jù)(第2次拍攝)。
進(jìn)而，驅(qū)動(dòng)控制激光指示器，測(cè)定作為檢查區(qū)域內(nèi)的基準(zhǔn)高度的，通過(guò)后述的方法選擇的部分的高度，以便求出焊糊H的高度。
還有，控制器7包括圖像存儲(chǔ)器，依次存儲(chǔ)圖像數(shù)據(jù)。根據(jù)已存儲(chǔ)的圖像數(shù)據(jù)，控制器7進(jìn)行各種圖像處理。在進(jìn)行上述圖像處理的期間，控制器7驅(qū)動(dòng)控制電動(dòng)機(jī)5，6，將臺(tái)2朝向下一檢查區(qū)域移動(dòng)。控制器7即使對(duì)于在這里的圖像數(shù)據(jù)，仍將其存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)器中。另一方面，在圖像存儲(chǔ)器的圖像處理一旦結(jié)束的場(chǎng)合，由于在圖像存儲(chǔ)器中已存儲(chǔ)下一圖像數(shù)據(jù)，故控制器7可快速地進(jìn)行下一圖像處理。即，檢查一方面，進(jìn)行朝向下一檢查區(qū)域(第m+1個(gè))的移動(dòng)和圖像輸入，另一方面，進(jìn)行第m個(gè)的圖像處理和比較判斷。之后，反復(fù)交替地進(jìn)行同樣的上述并行處理，直至全部的檢查區(qū)域中的檢查完成。象這樣，在本實(shí)施例的印刷狀態(tài)檢查裝置1中，可在通過(guò)控制器7的控制，移動(dòng)檢查區(qū)域的同時(shí)，通過(guò)依次進(jìn)行圖像處理，高速地，并且確實(shí)地檢查印刷電路襯底K上的焊糊H的印刷狀態(tài)。
下面對(duì)控制器7所進(jìn)行的圖像處理和運(yùn)算處理，以及比較判斷處理進(jìn)行描述。首先，根據(jù)在第1次拍攝中已獲得的圖像數(shù)據(jù)，抽取印刷有焊糊H的焊劑區(qū)域。即，控制器7通過(guò)規(guī)定的閾值，對(duì)圖像數(shù)據(jù)中的，與亮度有關(guān)的數(shù)據(jù)進(jìn)行二值化處理。第1次拍攝的圖像數(shù)據(jù)象上述那樣，在焊劑區(qū)域明亮，在其以外的區(qū)域，較暗。由此，通過(guò)將明亮的區(qū)域視為焊劑區(qū)域，可抽取焊劑區(qū)域，與作為未印刷有焊糊H的非測(cè)定對(duì)象的印刷電路襯底K面的非焊劑區(qū)域。
在于這里已抽取的非焊劑區(qū)域內(nèi)，通過(guò)控制器7，選擇測(cè)定基準(zhǔn)高度的部分。由于該非焊劑區(qū)域?yàn)橛∷㈦娐芬r底K面，呈平面狀，故可容易通過(guò)激光指示器，進(jìn)行測(cè)定。
接著，控制器7采用在第2次拍攝中已獲得的3畫(huà)面的圖像數(shù)據(jù)，計(jì)算焊劑區(qū)域內(nèi)的高度。就投影于焊糊H區(qū)域的光成分圖案來(lái)說(shuō)，產(chǎn)生基于高度的差異的相移。于是，在控制器7中，根據(jù)光成分圖案的相位每次按照規(guī)定間距偏移的各波長(zhǎng)區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)，基于相位移動(dòng)法(條紋掃描法)的原理，計(jì)算反射面的高度。
即，各畫(huà)面上的點(diǎn)P的亮度可分別通過(guò)表示正弦波的公式表示。象本實(shí)施例那樣，紅色，綠色，藍(lán)色的相對(duì)相位關(guān)系分別由α，0，β(其中，α≠0，β≠0，α≠β)表示，使各公式的振幅和偏置成分一致的場(chǎng)合的各畫(huà)面上的點(diǎn)P的亮度V0，V1，V2分別由下述的公式表示。
V0＝Asin(θ+α)+B...(2a)V1＝Asinθ+B ...(2b)V2＝Asin(θ+β)+B...(2c)
其中，θ表示用于導(dǎo)出高度的位置信息，A表示振幅，B表示偏置成分。
根據(jù)這些公式(2a)～(2c)，導(dǎo)出下述公式(2d)。
tanθ=(V0-V2)sinβ+(V1-V2)(sinα-sinβ)(V0-V2)(1-cosβ)-(V1-V2)(cosα-cosβ)...(2d)]]>=(V1-V2)sinα+(-V1+V0)sinβ(V0-V2)+(-V1+V2)cosα+(V1-V0)cosβ]]>在這里，在本實(shí)施例中，由于相位差每次為π/2，故α＝π/2，β＝-π/2。于是，根據(jù)公式(2d)，推導(dǎo)出下述的公式(2e)。
tanθ＝(2V1-V0-V2)/(V0-V2) ...(2e)通過(guò)上述公式(2e)，推導(dǎo)出下述的公式(2g)。
θ＝arctan{(2V1-V0-V2)/(V0-V2)} ...(2g)采用象這樣運(yùn)算的位置信息θ，根據(jù)下述的公式，求出焊劑區(qū)域內(nèi)的點(diǎn)P的高度Z。
在這里，如果通過(guò)ε表示照明器3的垂直線，與從照明器3，朝向點(diǎn)P照射時(shí)的照射光線之間的夾角，則該角度ε由下述的公式(3)表示。
ε＝f(θ+2nπ) ...(3)另外，高度Z按照下述公式(4)導(dǎo)出。
Z＝Lp-Lpc/tanε+Xp/tanε...(4)(其中，Lp表示距照明器3的基準(zhǔn)面的高度，Lpc表示CCD照相機(jī)4與照明器3之間的X軸方向的距離，Xp表示點(diǎn)P的X坐標(biāo)。)象這樣獲得的點(diǎn)P的高度數(shù)據(jù)按照拍攝畫(huà)面的象素P單位而運(yùn)算，存儲(chǔ)于控制器7的存儲(chǔ)器中。另外，根據(jù)各部分的數(shù)據(jù)，對(duì)焊劑區(qū)域內(nèi)的各部分的高度進(jìn)行積分處理，由此，計(jì)算已印刷的焊糊H的量。另外，將象這樣計(jì)算的焊糊H的位置，面積，高度，或量等的數(shù)據(jù)與預(yù)先存儲(chǔ)的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較判斷，根據(jù)該比較結(jié)果是否在允許范圍內(nèi)的情況，判斷該檢查區(qū)域的焊糊H的印刷狀態(tài)是否良好。
如果象上面具體描述的那樣，采用本實(shí)施例，則根據(jù)在不同的相位關(guān)系下，CCD照相機(jī)4的第1次拍攝的3個(gè)畫(huà)面的圖像數(shù)據(jù)，與第2次拍攝的3個(gè)圖像數(shù)據(jù)，對(duì)焊糊H的高度進(jìn)行運(yùn)算。于是，與每當(dāng)使相對(duì)位置關(guān)系不同時(shí)必須進(jìn)行拍攝的已有技術(shù)不同，可針對(duì)每個(gè)光成分，每當(dāng)在不同的相對(duì)相位關(guān)系下，集中地進(jìn)行拍攝。由此，就1個(gè)點(diǎn)來(lái)說(shuō)，可進(jìn)行2次照射和2次的拍攝，使照射和拍攝所需要的時(shí)間顯著縮短，其結(jié)果是，可使測(cè)定所需要的時(shí)間顯著地縮短。另外，雖然具有照射規(guī)定的波長(zhǎng)成分的光成分圖案的場(chǎng)合，與因測(cè)定對(duì)象的色調(diào)等，反射率差異較大的場(chǎng)合，但是同樣在該場(chǎng)合，進(jìn)行第2次拍攝，由此，抵消反射率的影響。其結(jié)果是，可提高測(cè)定的精度。
此外，由于可根據(jù)每次3個(gè)的圖像數(shù)據(jù)，計(jì)算焊糊H的高度，故與根據(jù)4次的拍攝數(shù)據(jù)而進(jìn)行運(yùn)算的已有技術(shù)相比較，總的數(shù)據(jù)數(shù)量減少，進(jìn)而，可顯著縮短運(yùn)算時(shí)間。其結(jié)果是，可顯著縮短測(cè)定所需要的時(shí)間。
特別是，在本實(shí)施例中，可根據(jù)并不那么復(fù)雜的數(shù)學(xué)公式，計(jì)算位置信息θ，可根據(jù)位置信息θ，對(duì)高度進(jìn)行運(yùn)算。由此，不產(chǎn)生因運(yùn)算復(fù)雜而造成的延遲，確實(shí)實(shí)現(xiàn)上述的作用效果。
此外，在上述實(shí)例中，照明器3具有光柵條紋片機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)可采用濾色光柵條紋片14～16，將相對(duì)相位關(guān)系不同的各光成分圖案合成，對(duì)其進(jìn)行照射。由此，也可不采用液晶，簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)。
還有，白色光照明器L從斜上方對(duì)印刷有焊糊H的印刷電路襯底K進(jìn)行照射時(shí)的反射光的亮度在焊劑區(qū)域與非焊劑區(qū)域是不同的。由此，與焊糊H，印刷電路襯底K的表面的顏色無(wú)關(guān)，通過(guò)僅僅對(duì)圖像數(shù)據(jù)的亮度進(jìn)行比較的容易的處理，可抽取焊劑區(qū)域和非焊劑區(qū)域。由此，在運(yùn)算時(shí)，不必進(jìn)行考慮了非焊劑區(qū)域的補(bǔ)償運(yùn)算等。其結(jié)果是，可簡(jiǎn)化運(yùn)算，防止用于補(bǔ)償?shù)脑O(shè)備的尺寸的增加，復(fù)雜。
此外，采用第2次拍攝的圖像數(shù)據(jù)對(duì)高度的計(jì)算僅僅在焊劑區(qū)域進(jìn)行。在焊劑區(qū)域內(nèi)，為單一顏色，并且，也幾乎沒(méi)有每個(gè)制品的色差。由此，可防止針對(duì)紅色，蘭色，黃色的3個(gè)反射光，無(wú)法獲得適合的亮度，平衡破壞，無(wú)法計(jì)算高度的情況。
再有，并不限于上述的實(shí)施例的描述內(nèi)容，比如，也可象下述那樣實(shí)施。
(a)在上述實(shí)施例中，照明器7包括紅色，綠色，藍(lán)色的濾色光柵條紋片14，15，16，但是，也可象圖4所示的那樣，在玻璃等的一塊透明板上，按照紅色R，黃色Y，青色C，藍(lán)色B，紅色R，黃色Y，青色C，藍(lán)色B...的順序，印刷(或涂敷)一定寬度的條紋，由此，構(gòu)成光柵條紋片30。各條紋的顏色的色調(diào)不按照正弦波狀而變化，是均勻的。
具體來(lái)說(shuō)，各條紋采用僅僅使特定的波長(zhǎng)的光透射，對(duì)其它的波長(zhǎng)的光進(jìn)行遮擋的顏料。即，象圖5(a)和圖5(b)所示，紅色R僅僅使紅色部分的波長(zhǎng)的光透射。黃色Y僅僅使黃色成分，即，紅色和綠色成分的波長(zhǎng)的光透過(guò)。青色C僅僅使青色成分，即，綠色和藍(lán)色成分的波長(zhǎng)的光透射。藍(lán)色B僅僅使藍(lán)色成分的波長(zhǎng)的光透射。此時(shí)，最好，使相應(yīng)的紅色，綠色，藍(lán)色成分的光透過(guò)的波長(zhǎng)區(qū)域基本與CCD照相機(jī)4的紅色，綠色，藍(lán)色的相應(yīng)的靈敏度較高的波長(zhǎng)區(qū)域一致。
由于各條紋的顏色的排列為紅色R，黃色Y，青色C，藍(lán)色B的順序，故針對(duì)紅色，綠色，藍(lán)色成分的每個(gè)波長(zhǎng)，使光柵條紋片30實(shí)現(xiàn)透射的部分和實(shí)現(xiàn)擋光的部分按照規(guī)定間距反復(fù)設(shè)置。由此，如果將光柵條紋片30的透射光投影到照射區(qū)域，則照射區(qū)域的各波長(zhǎng)的亮度象圖6所示的那樣，基本呈正弦波狀。另外，紅色，綠色，藍(lán)色的相對(duì)相位關(guān)系分別為-π/2，0，π/2。于是，可通過(guò)采用光柵條紋片30，進(jìn)行用于計(jì)算高度的光圖案的照射。
用于光柵條紋片30的顏色的數(shù)量既可使用4種顏色以上，也可為8種顏色，10種顏色，還可為16種顏色。
另外，也可按照下述方式構(gòu)成，該方式為對(duì)1個(gè)光柵條紋板，進(jìn)行紅色，綠色，藍(lán)色的印刷(或涂敷)，在該印刷(或涂敷)時(shí)，各顏色的相位以規(guī)定間距錯(cuò)開(kāi)。在上述的場(chǎng)合，各顏色的色調(diào)也不必為正弦波狀，即使為矩形波狀，也沒(méi)有關(guān)系。
此外，還可按照以紅色，綠色，藍(lán)色的順序，印刷一定寬度的條紋，由此，構(gòu)成光柵條紋板。在此場(chǎng)合，照射區(qū)域的各波長(zhǎng)的亮度基本呈正弦波狀，紅色，綠色，藍(lán)色的相對(duì)相位關(guān)系分別為-2π/3，0，2π/3。
(b)在上述實(shí)施例中，通過(guò)從斜上方使白色光照明器L照射時(shí)的反射光的亮度，抽取焊劑區(qū)域和非焊劑區(qū)域，但是，也可通過(guò)用彩色對(duì)從上方照射白色光時(shí)的反射光進(jìn)行拍攝，由此，根據(jù)焊糊H與印刷電路襯底K的色差，區(qū)分焊劑區(qū)域與非焊劑區(qū)域。
(c)基準(zhǔn)面的高度測(cè)定不限于激光指示器的測(cè)定，也可采用單獨(dú)的測(cè)定裝置等。另外，基準(zhǔn)面的高度測(cè)定也可這樣進(jìn)行，即，相對(duì)通過(guò)與由第1拍攝機(jī)構(gòu)抽取的非測(cè)定物區(qū)域相對(duì)應(yīng)的第2拍攝機(jī)構(gòu)獲得的3個(gè)光成分圖案的圖像區(qū)域，通過(guò)相位移動(dòng)法，測(cè)定基準(zhǔn)面高度。在此場(chǎng)合，當(dāng)每種顏色的反射率不同成為問(wèn)題時(shí)，可添加某種補(bǔ)償機(jī)構(gòu)來(lái)計(jì)算。比如，也可在與照明器3相同的軸上，設(shè)置半透明反射鏡，添加照射單獨(dú)的白色光而獲得的新的3畫(huà)面的圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行高度計(jì)算。另外，基準(zhǔn)面的高度測(cè)定也可這樣進(jìn)行，即，采用通過(guò)與由第1拍攝機(jī)構(gòu)抽取的非測(cè)定物區(qū)域相對(duì)應(yīng)的第2拍攝機(jī)構(gòu)獲得的至少1個(gè)光成分圖案的圖像，根據(jù)三角測(cè)量的原理，將光成分圖案的位置變化變換為高度數(shù)據(jù)，進(jìn)行基準(zhǔn)面測(cè)定。
(d)上述實(shí)施例的各光成分圖案不必一定嚴(yán)格地分為紅色，藍(lán)色，綠色。也可根據(jù)需要，波長(zhǎng)區(qū)域可不同，采用具有黃色(RG)，青色等的中間色的光成分圖案。
(e)另外，也可使光成分圖案不為3個(gè)成分，而為4個(gè)成分，通過(guò)第2次拍攝，獲得4畫(huà)面的圖像數(shù)據(jù)，采用4畫(huà)面的圖像數(shù)據(jù)，計(jì)算高度。
(f)上述實(shí)施例是具體針對(duì)于測(cè)定以印刷方式形成于印刷電路襯底K上的焊糊H的高度等的場(chǎng)合實(shí)現(xiàn)的，但是，除此以外，也可針對(duì)測(cè)定以印刷方式形成于集成電路組件(比如，導(dǎo)線)上的焊糊的高度的場(chǎng)合實(shí)現(xiàn)。此外，還可針對(duì)測(cè)定其它的測(cè)定對(duì)象的高度等的場(chǎng)合來(lái)實(shí)現(xiàn)。作為其它的測(cè)定對(duì)象，列舉有印刷于基板上的印刷物，疊層體等。
(g)此外，上述實(shí)施例也可作為焊球的檢查裝置，根據(jù)已抽取的焊劑區(qū)域的輪廓與高度，計(jì)算焊球的形狀，體積，對(duì)其進(jìn)行檢查的場(chǎng)合而具體實(shí)現(xiàn)。在此場(chǎng)合，焊球的形狀即使為球狀，也可良好地進(jìn)行檢查。
(h)在制造上述實(shí)施例的濾色光柵條紋片14，15，16，(a)的光柵條紋片時(shí)，也可進(jìn)行印刷或涂敷處理，還可呈條紋狀貼付以雙色濾色片為代表的無(wú)機(jī)濾色片，也可對(duì)感光膜，照射多個(gè)波長(zhǎng)的光圖案。
(i)在上述實(shí)施例中，作為區(qū)域抽取用的光，從白色光照明器L，照射白色光。相對(duì)該情況，不特別限于白色光，比如，也可為紅色，藍(lán)色，綠色，青色，黃色等的任何一種。
(j)在上述實(shí)施例中，印刷狀態(tài)檢查裝置1包括白色光照明器L和照明器3，但是，也可省略白色光照明器L，并且設(shè)置可照射紅色，綠色，藍(lán)色的相應(yīng)相位不同的光成分圖案和紫外線的照明裝置，以代替照明器3。即，該照明器包括光源，聚光透鏡，照射透鏡，以及濾色光柵條紋片。光源除了可發(fā)出紅色，綠色，藍(lán)色的波長(zhǎng)(白色光)的光以外，還可同時(shí)發(fā)射紫外線。另外，濾色光柵條紋片呈條紋狀遮擋(透射)紅色，綠色，藍(lán)色的相應(yīng)的波長(zhǎng)的光，并且可允許紫外線的全部的透射。另外，在此場(chǎng)合，采用同時(shí)對(duì)紅色，綠色，藍(lán)色的波長(zhǎng)區(qū)域，以及紫外線同時(shí)進(jìn)行拍攝，獲得針對(duì)每個(gè)波長(zhǎng)而分離的圖像數(shù)據(jù)的CCD照相機(jī)，以代替CCD照相機(jī)4。
通過(guò)采用這樣的方案，可僅僅進(jìn)行1次的拍攝，便可獲得4個(gè)圖像數(shù)據(jù)。另外，該4個(gè)圖像數(shù)據(jù)中的，紫外線的圖像數(shù)據(jù)可用于測(cè)定對(duì)象的區(qū)域抽取，紅色，綠色，藍(lán)色的相應(yīng)的波長(zhǎng)區(qū)域的3個(gè)圖像數(shù)據(jù)可用于高度計(jì)算。
其結(jié)果是，由于不必設(shè)置白色光照明器L，故可提供小型的，低成本的印刷狀態(tài)檢查裝置。另外，由于拍攝也可為1次，故可提高處理速度。
此外，不必一定限于紫外線，也可為白色光以外的波長(zhǎng)區(qū)域，比如，也可為紅外線。
權(quán)利要求
1.一種三維測(cè)定裝置，其特征在于該三維測(cè)定裝置包括均勻光照明器，其可對(duì)測(cè)定對(duì)象和其周圍的非測(cè)定對(duì)象，基本均勻地照射光；照射機(jī)構(gòu)，該照射機(jī)構(gòu)可至少相對(duì)測(cè)定對(duì)象，同時(shí)照射具有條紋狀的光強(qiáng)度分布，并且具有相互不同的波長(zhǎng)成分，相對(duì)相位關(guān)系相互不同的至少2個(gè)光成分圖案；拍攝機(jī)構(gòu)，該拍攝機(jī)構(gòu)可對(duì)來(lái)自照射了上述均勻光的測(cè)定對(duì)象和其周圍的非測(cè)定對(duì)象的反射光進(jìn)行拍攝，并且可針對(duì)每個(gè)光成分，將來(lái)自至少照射了上述光成分圖案的測(cè)定對(duì)象的反射光分離，對(duì)其進(jìn)行拍攝；區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，該區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)根據(jù)借助上述拍攝機(jī)構(gòu)拍攝的均勻光的圖像數(shù)據(jù)，抽取上述測(cè)定對(duì)象所在的區(qū)域；運(yùn)算機(jī)構(gòu)，該運(yùn)算機(jī)構(gòu)可根據(jù)通過(guò)上述拍攝機(jī)構(gòu)，針對(duì)每個(gè)光成分拍攝的至少2個(gè)圖像數(shù)據(jù)，至少對(duì)通過(guò)上述區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，進(jìn)行了存在區(qū)域抽取處理的測(cè)定對(duì)象的規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于上述均勻光照明器為可照射白色光的白色光照明器。
3.一種三維測(cè)定裝置，其特征在于該三維測(cè)定裝置包括白色光照明器，該白色光照明器可對(duì)測(cè)定對(duì)象和其周圍的非測(cè)定對(duì)象，照射白色光；照射機(jī)構(gòu)，該照射機(jī)構(gòu)可至少相對(duì)測(cè)定對(duì)象，同時(shí)照射具有條紋狀的光強(qiáng)度分布，并且具有相互不同的波長(zhǎng)成分，相對(duì)相位關(guān)系不同的至少3個(gè)光成分圖案；拍攝機(jī)構(gòu)，該拍攝機(jī)構(gòu)可對(duì)來(lái)自照射了上述白色光的測(cè)定對(duì)象和其周圍的非測(cè)定對(duì)象的反射光進(jìn)行拍攝，并且可針對(duì)每個(gè)光成分，將至少來(lái)自照射了上述光成分圖案的測(cè)定對(duì)象的反射光分離，對(duì)其進(jìn)行拍攝；區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，該區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)根據(jù)借助上述拍攝機(jī)構(gòu)拍攝的白色光的圖像數(shù)據(jù)，抽取上述測(cè)定對(duì)象所在的區(qū)域；運(yùn)算機(jī)構(gòu)，該運(yùn)算機(jī)構(gòu)根據(jù)通過(guò)上述拍攝機(jī)構(gòu)，針對(duì)每個(gè)光成分拍攝的至少3個(gè)圖像數(shù)據(jù)，通過(guò)相位移動(dòng)法，至少對(duì)通過(guò)上述區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，進(jìn)行了存在區(qū)域抽取處理的測(cè)定對(duì)象的規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任何一項(xiàng)所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于上述區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)根據(jù)上述測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象的亮度差，抽取上述測(cè)定對(duì)象所在的區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于上述白色光照明器的上述測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象的照射方向，與上述拍攝機(jī)構(gòu)的上述測(cè)定對(duì)象和上述非測(cè)定對(duì)象的拍攝方向的相應(yīng)角度是不同的。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任何一項(xiàng)所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于上述區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)根據(jù)上述測(cè)定對(duì)象和非測(cè)定對(duì)象的色差，抽取上述測(cè)定對(duì)象所在的區(qū)域。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中的任何一項(xiàng)所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于上述照射機(jī)構(gòu)可同時(shí)照射至少3個(gè)光成分圖案；上述運(yùn)算機(jī)構(gòu)根據(jù)3個(gè)圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行運(yùn)算；當(dāng)上述相互不同的相對(duì)相位關(guān)系由α，0，β表示時(shí)，上述運(yùn)算機(jī)構(gòu)通過(guò)將根據(jù)上述3個(gè)圖像數(shù)據(jù)獲得的測(cè)定部的亮度，分別換算為同一振幅和同一偏置成分的V0，V1，V2和下述的公式(1)，求出位置信息θ，根據(jù)該位置信息θ，對(duì)上述規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算，該公式為tanθ=(V0-V2)sinβ+(V1-V2)(sinα-sinβ)(V0-V2)(1-cosβ)-(V1-V2)(cosα-cosβ)]]>=(V1-V2)sinα+(-V1+V0)sinβ(V0-V2)+(-V1+V2)cosα+(V1-V0)cosβ---(1)]]>
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于具有相互不同的波長(zhǎng)成分的3個(gè)光成分圖案分別為紅色，綠色，藍(lán)色的光成分圖案。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中的任何一項(xiàng)所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于上述照射機(jī)構(gòu)包括濾色光柵條紋片機(jī)構(gòu)，該濾色光柵條紋片機(jī)構(gòu)可采用濾色光柵條紋片，同時(shí)照射相對(duì)相位關(guān)系不同的各光成分圖案，該濾色光柵條紋片針對(duì)規(guī)定的波長(zhǎng)成分，呈條紋狀對(duì)來(lái)自光源的光進(jìn)行遮擋，并且針對(duì)剩余的波長(zhǎng)成分，允許透光。
10.根據(jù)權(quán)利要求1～9中的任何一項(xiàng)所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于上述照射機(jī)構(gòu)包括濾色光柵條紋片，上述濾色光柵條紋片由1塊板構(gòu)成，分別僅僅針對(duì)規(guī)定的波長(zhǎng)成分，使來(lái)自光源的光實(shí)現(xiàn)透射的區(qū)域呈條紋狀排列，可同時(shí)使相對(duì)相位關(guān)系不同的各光成分圖案實(shí)現(xiàn)透光。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于上述照射機(jī)構(gòu)可同時(shí)照射3個(gè)光成分圖案；上述濾色光柵條紋片象這樣構(gòu)成，其中針對(duì)波長(zhǎng)成分不同的第1，第2，第3波長(zhǎng)成分，依次將僅僅使第1波長(zhǎng)成分的光透射的第1區(qū)域，僅僅使第1和第2波長(zhǎng)成分的光透射的第2區(qū)域，僅僅使第2和第3波長(zhǎng)成分的光透射的第3區(qū)域，僅僅使第3波長(zhǎng)成分的光透射的第4區(qū)域呈條紋狀排列。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于對(duì)上述第1區(qū)域，以紅色區(qū)分，對(duì)上述第2區(qū)域，以黃色區(qū)分，對(duì)上述第3區(qū)域，以青色區(qū)分，對(duì)上述第4區(qū)域，以藍(lán)色區(qū)分。
13.一種三維測(cè)定裝置，其特征在于該三維測(cè)定裝置包括照射機(jī)構(gòu)，該照射機(jī)構(gòu)可相對(duì)測(cè)定對(duì)象和其周圍的非測(cè)定對(duì)象，同時(shí)照射具有基本均勻的波長(zhǎng)成分的光，以及至少具有條紋狀的光強(qiáng)度分布，并且具有相互不同的多個(gè)規(guī)定的波長(zhǎng)成分的光成分圖案；拍攝機(jī)構(gòu)，該拍攝機(jī)構(gòu)可針對(duì)上述均勻波長(zhǎng)成分，以及上述多個(gè)規(guī)定波長(zhǎng)成分的各光成分，將來(lái)自從上述照射機(jī)構(gòu)照射的測(cè)定對(duì)象的反射光分離，對(duì)其進(jìn)行拍攝；區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，該區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)根據(jù)與借助上述拍攝機(jī)構(gòu)拍攝的均勻波長(zhǎng)成分相對(duì)應(yīng)的圖像數(shù)據(jù)，抽取上述測(cè)定對(duì)象所存在的區(qū)域；運(yùn)算機(jī)構(gòu)，該運(yùn)算機(jī)構(gòu)可根據(jù)與通過(guò)上述拍攝機(jī)構(gòu)，進(jìn)行分離拍攝的多個(gè)規(guī)定波長(zhǎng)成分相對(duì)應(yīng)的圖像數(shù)據(jù)，至少對(duì)通過(guò)上述區(qū)域抽取機(jī)構(gòu)，進(jìn)行了存在區(qū)域抽取處理的測(cè)定對(duì)象的規(guī)定高度進(jìn)行運(yùn)算。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于上述均勻波長(zhǎng)成分的波長(zhǎng)區(qū)域與上述多個(gè)規(guī)定波長(zhǎng)成分的波長(zhǎng)區(qū)域不同。
15.根據(jù)權(quán)利要求1～14中的任何一項(xiàng)所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于上述光成分圖案具有基本呈正弦波狀的光強(qiáng)度分布。
16.根據(jù)權(quán)利要求1～15中的任何一項(xiàng)所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于其設(shè)置有基準(zhǔn)高度測(cè)定機(jī)構(gòu)，該基準(zhǔn)高度測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定形成上述測(cè)定對(duì)象的高度的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)面的高度。
17.根據(jù)權(quán)利要求1～16中的任何一項(xiàng)所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于上述測(cè)定對(duì)象為印刷于印刷電路襯底上的焊糊，該裝置設(shè)置有判斷機(jī)構(gòu)，該判斷機(jī)構(gòu)根據(jù)上述焊糊的區(qū)域，高度，判斷印刷狀態(tài)是否良好。
18.根據(jù)權(quán)利要求1～16中的任何一項(xiàng)所述的三維測(cè)定裝置，其特征在于上述測(cè)定對(duì)象為設(shè)置于印刷電路襯底上的焊球，該裝置設(shè)置有判斷機(jī)構(gòu)，該判斷機(jī)構(gòu)根據(jù)上述焊球的區(qū)域，高度，判斷焊球的形狀是否良好。
19.一種濾色光柵條紋片，該濾色光柵條紋片用于三維測(cè)定裝置，其特征在于其由1塊板狀體形成，對(duì)來(lái)自光源的光針對(duì)規(guī)定的波長(zhǎng)成分，呈條紋狀進(jìn)行遮擋，并且針對(duì)剩余的波長(zhǎng)成分，允許透射，可同時(shí)使相對(duì)相位關(guān)系相互不同的至少2個(gè)光成分圖案實(shí)現(xiàn)透射。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的濾色光柵條紋片，其特征在于上述濾色光柵條紋片同時(shí)使3個(gè)光成分圖案實(shí)現(xiàn)透射，針對(duì)波長(zhǎng)成分相互不同的第1，第2，第3波長(zhǎng)成分，依次將僅僅使第1和第2波長(zhǎng)成分的光透射的第1區(qū)域，僅僅使第2和第3波長(zhǎng)成分的光透射的第2區(qū)域呈條紋狀排列。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的濾色光柵條紋片，其特征在于針對(duì)上述第1區(qū)域，以黃色區(qū)分，針對(duì)上述第2區(qū)域，以青色區(qū)分。
22.一種濾色光柵條紋片，該濾色光柵條紋片用于三維測(cè)定裝置，其特征在于其由1塊板狀體形成，對(duì)來(lái)自光源的光針對(duì)規(guī)定的波長(zhǎng)成分，呈條紋狀進(jìn)行遮擋，并且針對(duì)剩余的波長(zhǎng)成分，允許透射，可同時(shí)使相對(duì)相位關(guān)系相互不同的至少3個(gè)光成分圖案實(shí)現(xiàn)透射。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的濾色光柵條紋片，其特征在于上述濾色光柵條紋片同時(shí)使3個(gè)光成分圖案實(shí)現(xiàn)透射，針對(duì)波長(zhǎng)成分相互不同的第1，第2，第3波長(zhǎng)成分，依次將僅僅使第1波長(zhǎng)成分的光透射的第1區(qū)域，僅僅使第1和第2波長(zhǎng)成分的光透射的第2區(qū)域，僅僅使第2和第3波長(zhǎng)成分的光透射的第3區(qū)域，僅僅使第3波長(zhǎng)成分的光透射的第4區(qū)域呈條紋狀排列。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的濾色光柵條紋片，其特征在于針對(duì)上述第1區(qū)域，以紅色區(qū)分，針對(duì)上述第2區(qū)域，以黃色區(qū)分，針對(duì)上述第3區(qū)域，以青色區(qū)分，針對(duì)上述第4區(qū)域，以藍(lán)色區(qū)分。
25.一種三維測(cè)定裝置，其特征在于該三維測(cè)定裝置包括權(quán)利要求19～24中的任何一項(xiàng)所述的濾色光柵條紋片。
26.一種照明機(jī)構(gòu)，其特征在于該照明機(jī)構(gòu)包括權(quán)利要求19～24中的任何一項(xiàng)所述的濾色光柵條紋片。
全文摘要
一種采用相位移動(dòng)法測(cè)定測(cè)定對(duì)象的三維形狀時(shí)，可縮短測(cè)定時(shí)間的三維測(cè)定裝置。印刷狀態(tài)檢查裝置(1)包括臺(tái)，該臺(tái)用于放置印刷有焊糊(H)的印刷電路襯底(K)；照明器(3)，該照明器(3)構(gòu)成用于對(duì)印刷電路襯底(K)的表面，照射相位不同的正弦波狀的3個(gè)光成分圖案的照射機(jī)構(gòu)；CCD照相機(jī)(4)，該CCD照相機(jī)(4)構(gòu)成用于對(duì)印刷電路襯底(K)上已照射的部分進(jìn)行拍攝的拍攝機(jī)構(gòu)；白色光照明器(L)，該白色光照明器(L)用于對(duì)印刷電路襯底(K)的表面，照射白色光；激光指示器，該激光指示器用于測(cè)定基準(zhǔn)高度?？刂破?7)根據(jù)通過(guò)白色光照明器(L)的照射而獲得的圖像數(shù)據(jù)，指定焊糊(H)所在的區(qū)域，根據(jù)通過(guò)照明器(3)的照射而獲得的數(shù)據(jù)，采用相位移動(dòng)法，對(duì)焊糊(H)的高度進(jìn)行運(yùn)算。
文檔編號(hào)G01B11/245GK1564929SQ0380115
公開(kāi)日2005年1月12日 申請(qǐng)日期2003年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月1日
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