專利名稱：高靈敏度測定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種高靈敏度測定裝置，該裝置能夠高靈敏度且高精度地檢測出如水溶液等被測定物質(zhì)的特性的變化，并能夠基于該特性變化的檢測值高靈敏度且高精度地檢測出此時被測定物質(zhì)的特性值本身。
背景技術(shù)：
作為被測定物質(zhì)的特性，例如電導(dǎo)率，其作為用于測定特別是在水溶液中可移動的離子濃度的尺度被使用，電導(dǎo)率測定裝置被廣泛用于很多水溶液中離子濃度的測定。一般地，電導(dǎo)率測定裝置通過測定檢測用電極和從電源引出的電流供給用電極之間的電阻值，來測定被測定水溶液中的離子濃度的增減。
在當(dāng)使用以往的電導(dǎo)率測定裝置來測定電導(dǎo)率的變化和多個測定處的電導(dǎo)率的差的時，該變化和差與測定的電導(dǎo)率的絕對值相比很小的情況下，因為測定范圍是相對于較大的電導(dǎo)率的絕對值來調(diào)整的，所以微小的變化和差的測定就非常的困難，或者該測定數(shù)據(jù)的可靠性很低。但是在現(xiàn)實中，有很多想要測定這種在位置或時間上不同的2個、或者多個測定點間的微小的差和變化的要求，如果能夠高可靠性、高靈敏度且高精度地測定上述那樣微小的差和變化，那么其用途將會是非常廣泛的。
因此，在此之前由本申請人提出了一種多元電導(dǎo)率測定裝置，該裝置應(yīng)該可以滿足上述的期望，能夠精度良好地抽出、測定水溶液等被測定物質(zhì)的特性變化(特開2001-311710號公報)。該多元電導(dǎo)率測定裝置的特征在于至少有2個電導(dǎo)率測定單元，該電導(dǎo)率測定單元至少有2個與被測定物質(zhì)接觸的電極，將該電導(dǎo)率測定單元電連接，以使來自各電導(dǎo)率測定單元的檢測信號本身至少能進行加法運算、減法運算的某一種處理。
在該裝置中，對于來自各電導(dǎo)率測定單元的檢測信號本身即對于同時取出的檢測信號本身，進行加法運算、減法運算等的電處理，將處理后的信號按照需要進行放大等，并作為各電導(dǎo)率測定單元間測定電導(dǎo)率的差和變化部分輸出。因為輸出了同時取出的檢測信號的差分，所以就能夠除去在各電導(dǎo)率測定單元共同產(chǎn)生的噪聲等并能夠捕捉到高S/N比的變化，通過放大等，就能夠只高精度地輸出差和變化部分。因此，與以往僅配有多個電導(dǎo)率測定裝置來獲得來自它們的測定數(shù)據(jù)的差和變化部分的結(jié)構(gòu)不同，其能夠高可靠性、高精度且高靈敏度地測定在位置或者時間上不同的多個測定點間的電導(dǎo)率的微小差和變化。
雖然上述特開2001-311710號公報所述的發(fā)明是關(guān)于電導(dǎo)率的測定而提出的，但是通過使從至少兩個傳感器同時取出的檢測信號的差分輸出，就能夠高可靠性、高精度且高靈敏度地測定成為測定對象的特性的差和變化的這種技術(shù)基本上是能夠適用于所有特性的測定的。
可是，在上述特開2001-311710號公報中提出的多元電導(dǎo)率測定裝置中的指示值是在位置或者時間上不同的多個測定點間的電導(dǎo)率微小的差和變化，并不是電導(dǎo)率的絕對值。但是在現(xiàn)實中，在求取水溶液中等的不純物的濃度變化時往往需要獲得電導(dǎo)率的絕對值的變動。在測定電導(dǎo)率以外的其他特性時，也多是需要尋求特性值的絕對值變動的測定。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于著眼于通過在上述特開2001-311710號公報提出的技術(shù)能夠精度良好地測定被測定物質(zhì)特性的微小的差和變化，以該技術(shù)的存在為前提，進而提供一種能夠高精度且高靈敏度地檢測出不是差和變化而是成為對象的特性的測定值、最好是其絕對值的測定裝置。
為了達到上述目的，本發(fā)明的高靈敏度測定裝置的特征在于設(shè)有至少2個以規(guī)定的時間差接觸被測定物質(zhì)的、檢測相同特性的傳感器，獲取從各傳感器同時取出的檢測信號的差分，根據(jù)該檢測信號的差分獲取經(jīng)過該規(guī)定的時間差的特性值的差分，設(shè)定成為預(yù)先測定的基準的時刻和在該時刻中的基準特性值，并設(shè)定把所述規(guī)定的時間差作為時間刻度的間距的時間軸，獲取在從所述基準時刻經(jīng)過任意的時間刻度的時間點的測定值。
在上述高靈敏度測定裝置中，可以僅獲取在某個時刻的測定值來作為在基準時刻的基準特性值上附加了來自該基準時刻的變化部分的值，另外，也能夠獲取上述測定值來作為從各基準時刻每經(jīng)過各時間刻度的時間點的時間序列數(shù)據(jù)。
進而，在獲取上述測定值來作為時間序列數(shù)據(jù)時，能夠作為包含時間刻度位置處在所述規(guī)定的時間差內(nèi)的時間序列數(shù)據(jù)的多個時間序列數(shù)據(jù)群來構(gòu)成。如果像這樣，那么多個時間序列數(shù)據(jù)群在時間軸方向上，就能夠以比所述規(guī)定的時間差小的間距來輸出每經(jīng)過各時間刻度的時間點的測定值，并能夠捕捉測定值的變化來作為近似連續(xù)性的變化。
另外，雖然在上述高靈敏度測定裝置中，需要設(shè)定在基準時刻的基準特性值，但是作為該基準特性值的設(shè)定方法，能夠采用各種方法。例如，可以接觸參照用的被測定物質(zhì)，把該輸出值設(shè)定為所述基準特性值。在這種情況下，，即使該參照用的被測定物質(zhì)的特性值是非已知的，通過使用與測定對象的被測定物質(zhì)相比較是合適的參照用的被測定物質(zhì)，也可以對于參照用的被測定物質(zhì)所具有的特性值來測定測定對象的被測定物質(zhì)的特性值變成了怎樣的值，至少能夠獲取對于參照用的被測定物質(zhì)的相對比較值。
另外，也可以接觸特性值為已知的參照用的被測定物質(zhì)(例如超純水等)，來設(shè)定所述基準特性值，以使上述輸出值在本發(fā)明的高靈敏度測定裝置中成為所述已知的特性值。這樣，通過接觸特性值為已知的參照用的被測定物質(zhì)，就能夠精度良好地校正基準特性值。
因此，通過使用像上述那樣的特性值為非已知的參照用的被測定物質(zhì)或者特性值為已知的參照用的被測定物質(zhì)，即使在有可能對例如最初設(shè)定的基準特性值在經(jīng)過長時間過程中發(fā)生偏差的情況下，也能夠以合適的時間間隔來修正該偏差，并能夠始終進行高精度的測定和監(jiān)測。
在本發(fā)明中，雖然沒有對被測定物質(zhì)進行特別的限定，但是由流體構(gòu)成的時候，特別容易使用。
在本發(fā)明的高靈敏度測定裝置中，首先，因為輸出從以規(guī)定的時間差接觸被測定物質(zhì)的至少2個傳感器中同時取出的檢測信號的差分，所以能夠高靈敏度且高精度地檢測出在某個時刻，例如在當(dāng)前時刻的成為測定對象的特性值的變化部分。至此的技術(shù)思想實質(zhì)上是和在所述的特開2001-311710號公報提出的思想相同的。在本發(fā)明，更進一步，根據(jù)上述檢測信號的差分獲取經(jīng)過上述規(guī)定的時間差的特性值的差分，對設(shè)定預(yù)先測定的基準的時刻和在此時刻的基準特性值進行設(shè)定，把上述規(guī)定的時間差作為時間刻度的間距，獲取從基準時間經(jīng)過任意的時間刻度的時間點(即經(jīng)過想獲取作為測定值的輸出的任意時間刻度的時間點)的測定值。獲取該測定值作為把基準特性值作為基準的值，如果對基準特性值設(shè)定了絕對值，那么就獲取測定值來作為特性值的絕對值。換言之，對于在基準時刻的基準特性值，附加上述高靈敏度且高精度地檢測出的特性的所述規(guī)定的時間差中的時間變化部分，最終輸出信號表示正確檢查了該時間變化部分的特性的絕對值的變動，可以高靈敏度且高精度地進行作為目標的絕對值本身的檢測。
即，通過本發(fā)明的高靈敏度測定裝置，就可以高靈敏度且高精度地測定被測定物質(zhì)的特性的變動，尤其作為絕對值。因此，能夠輸出有通用性的測定值的絕對值，并能夠利用該輸出來高靈敏度且高精度地進行特性值的檢測，同時能夠使用波形分析、變化部分的時間積分的定量等現(xiàn)在在多方面利用的一般的數(shù)據(jù)處理方法來進行詳細的定量分析。


圖1是表示本發(fā)明的一實施方式中的高靈敏度測定裝置的設(shè)置例的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖2是表示本發(fā)明的一實施方式中的高靈敏度測定裝置其他的設(shè)置例的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖3是表示設(shè)置在圖1、圖2的裝置中的信號處理裝置內(nèi)的多元電導(dǎo)率測定裝置的結(jié)構(gòu)例的電路圖。
圖4是表示設(shè)置在圖1、圖2的裝置中的信號處理裝置內(nèi)的多元電導(dǎo)率測定裝置的其他結(jié)構(gòu)例的電路圖。
圖5是表示為了確認本發(fā)明的高靈敏度測定裝置的性能而進行的試驗的結(jié)果的圖表。
圖6是表示為了確認本發(fā)明的高靈敏度測定裝置的性能而進行的其他試驗的結(jié)果的圖表。
具體實施例方式
下面，一邊參照附圖，一邊說明本發(fā)明優(yōu)選的實施方式。
在本發(fā)明中，成為測定對象的被測定物質(zhì)的特性不限于電導(dǎo)率，實質(zhì)上能夠適用于所有特性的測定。下面的說明將主要針對電導(dǎo)率測定的情況進行描述。
圖1及圖2例示了把本發(fā)明的高靈敏度測定裝置使用于作為被測定物質(zhì)4的流過管內(nèi)的流體、例如水的電導(dǎo)率的測定系統(tǒng)中的情形。在圖1所示的高靈敏度測定裝置1中，在被測定物質(zhì)4的上游側(cè)和下游側(cè)設(shè)置電導(dǎo)率檢測用的傳感器A(2)以及傳感器B(3)，通過傳感器A后的被測定物質(zhì)4在規(guī)定時間后通過傳感器B，在被測定物質(zhì)4以規(guī)定的時間差接觸傳感器A、B的同時，從兩個傳感器可以同時取出檢測信號。在信號處理裝置5中設(shè)有多元電導(dǎo)率測定裝置部(例示在圖3、圖4中)和運算處理部，該多元電導(dǎo)率測定裝置部能夠設(shè)定在某個時刻輸出從兩個傳感器同時取出的檢測信號的差分，該運算處理部將該差分作為在該時刻和該時刻所述時間差前或者所述時間差后的時刻之間(即經(jīng)過規(guī)定的時間差)的特性值的差分使用，對成為預(yù)先測定的基準的時刻和該時刻的基準特性值進行設(shè)定，并設(shè)定把所述規(guī)定的時間差作為時間刻度的間距的時間軸，可以獲取從基準時間經(jīng)過任意的某個時間刻度的時間點的測定值。
在圖2所示的高靈敏度測定裝置11中，作為從同一處取樣的電導(dǎo)率的測定對象的樣本水，直接接觸到傳感器A(2)，對于傳感器B(3)經(jīng)由可進行時間調(diào)整的時間延遲柱12然后再接觸，利用時間延遲柱12給出規(guī)定的時間差。其他的結(jié)構(gòu)實質(zhì)上和圖1的方式相同。
首先，關(guān)于設(shè)置在信號處理裝置5中的多元電導(dǎo)率測定裝置的結(jié)構(gòu)例，參照圖3、圖4進行說明。在圖3所示的多元電導(dǎo)率測定裝置21中，至少有2個電導(dǎo)率測定用的傳感器A、B(2、3)，該傳感器至少有2個接觸被測定物質(zhì)的電極(在本實施方式中，用3電極結(jié)構(gòu)進行圖示)。各傳感器A、B(2、3)在本實施方式中電連接，以使來自各傳感器的檢測信號本身能夠進行加法運算處理。
各傳感器A、B(2、3)電并聯(lián)，在各傳感器的電流供給用電極22a、23a中，從作為電源用的交流振蕩器24提供同相的交流電流。各傳感器A、B(2、3)的電導(dǎo)率檢測用的電極22b、23b相互電連接，以使來自兩檢測用電極22b、23b的檢測信號本身的值進行加法運算。并且，在本實施方式中，在一個傳感器A(2)的電流供給用電極22a之前，設(shè)有以規(guī)定的倍率對提供交流電流的值進行乘法運算、或者以規(guī)定的比例進行除法運算的乘法器或除法器25，能夠使在傳感器A(2)成為檢測對象的被測定物質(zhì)的電導(dǎo)率的電平與傳感器B(3)的相比不同。即，是把在提供給電流供給用電極22a前的交流電流用規(guī)定的倍率放大或縮小。如果這樣做，那么就能夠用最適當(dāng)?shù)撵`敏度來檢測以規(guī)定的時間差接觸各傳感器的被測定物質(zhì)的電導(dǎo)率的時間變化。
上述實施了電運算處理的信號、即從電導(dǎo)率檢測用電極22b、23b的接續(xù)點獲得的信號通過一個放大器26被作為輸出信號放大到適當(dāng)?shù)碾娖?。此時，用測定范圍切換器27就能夠按照測定對象來選擇最適當(dāng)?shù)臏y定范圍。
來自放大器26的信號，在本實施方式中，對測定環(huán)境的溫度補償在溫度補償器28進行后，在同步整流器29獲得和交流振蕩器24的輸出端的同步，進而，該信號在調(diào)整器30帶有的放大器31中放大，以使其成為對各種控制和輸出的顯示中最合適的電平的信號，并將其作為實際的輸出32取出。
在圖4所示的多元電導(dǎo)率測定裝置41中，與圖3所示的方式相比，在傳感器B(3)的電流供給用電極23a之前，設(shè)有以規(guī)定的倍率對被提供的交流電流的值進行乘法運算、或者以規(guī)定的比例進行除法運算的乘法器或除法器42，能夠使在傳感器B(3)成為檢測對象的被測定物質(zhì)的電導(dǎo)率的電平與傳感器A(2)的電平相比不同。并且，在該乘法器或除法器42附有相位反轉(zhuǎn)功能。即，在將提供給電流供給用電極23a前的交流電流以規(guī)定的放大倍數(shù)放大或縮小的同時，將該供給交流電流的相位反轉(zhuǎn)。如果這樣做，那么就能夠?qū)碜愿鱾鞲衅鰽、B(2、3)的檢測信號本身實質(zhì)上進行減法運算，并能夠?qū)p法運算處理了的信號送到放大器26。其他的結(jié)構(gòu)實質(zhì)上和在圖3所示的結(jié)構(gòu)一樣。
在上述的多元電導(dǎo)率測定裝置21、41中，在某個時刻同時取出來自傳感器A、B(2、3)的檢測信號，因為輸出了同時取出的檢測信號的差分，所以就能夠除去外界干擾和噪聲的影響，并能夠高精度且高靈敏度地只輸出上述差分。在本發(fā)明中，利用該差分的輸出，在設(shè)置在信號處理裝置5的運算處理部中進行如下處理。即，上述差分作為經(jīng)過規(guī)定的時間差的特性值的差分使用，對成為預(yù)先規(guī)定的基準的時刻和該時刻的基準特性值進行設(shè)定，并設(shè)定將所述規(guī)定的時間差作為時間刻度的間距的時間軸，獲得從基準時刻經(jīng)過任意時間刻度的時間點的測定值。
針對該運算處理的基本概念進行說明。
在上述中，獲取在某個時刻t的傳感器A的信號(FA(t))和傳感器B的信號(FB(t))的信號差(DA-B(t))，因為傳感器B的信號(FB(t))表示規(guī)定的時間差前的特性(在上述的例子，是電導(dǎo)率)的絕對值，所以FA(t)＝DA-B(t)+FB(t)…①。
另外，實際上存在FA(t)、FB(t)和DA-B(t)并不是同列的數(shù)據(jù)的情況，在運算時，需要根據(jù)利用方法互相換算，但是因為沒有涉及到發(fā)明的本質(zhì)，所以在這里為了容易說明，進行簡要地顯示。
本發(fā)明人著眼于信號差DA-B(t)對應(yīng)傳感器A和傳感器B的時間差，考慮如果利用它則不能導(dǎo)出傳感器單獨的信號、即相當(dāng)于特性的絕對值的信號。在本發(fā)明中，上述的差分，即DA-B(t)將在該時刻和該時刻的所述時間差前后的時刻之間，作為近似用單一的假想傳感器檢測的信號的時間變化部分來處理。即如果把在傳感器A和傳感器B之間的規(guī)定的時間差設(shè)為DT，則DA-B(t)作為經(jīng)過DT的特性值的差分使用。把該DT作為時間刻度的間距來設(shè)定時間軸，對于預(yù)先設(shè)定的基準時刻的基準特性值，按照如下來計算從基準時刻經(jīng)過任意的時間刻度的時間點的測定值。
若使用傳感器A和傳感器B之間的規(guī)定的時間差DT來表示FA和FB的關(guān)系，就有FB(t)＝FA(t-DT)…②，從式①和式②，得FA(t)＝DA-B(t)+FA(t-DT)…③，即在任意時刻t的傳感器A的信號(FA(t))是在傳感器A的DT時間前的信號FA(t-DT)上加上在時間t的傳感器A和傳感器B的信號差(DA-B(t))。因此，由式③的值就可以作為近似用單一的假想傳感器而檢測的特性值的絕對值信號來處理。
另外，因為 FA(t-DT)＝DA-B(t-DT)+FA(t-2DT)，所以 FA(t)＝DA-B(t)+DA-B(t-DT)+FA(t-2DT)，進而，
因為FA(t-2DT)＝DA-B(t-2DT)+FA(t-3DT)，所以FA(t)＝DA-B(t)+DA-B(t-DT)+DA-B(t-2DT)+FA(t-3DT)。同樣反復(fù)就成了FA(t)＝(DA-B(t)+DA-B(t-DT)+DA-B(t-2DT)+…+DA-B(t-nDT))+FA(t-(n+1)DT)。
在這里，雖然通過用DT時間刻度積分作為通式的DA-B(t-iDT)(i＝0～n，n是到以前的某個基準時刻為止的DT數(shù))的信號差而得到了(DA-B(t)+DA-B(t-DT)+DA-B(t-2DT)+…+DA-B(t-nDT)，但是無論推到哪里，最后剩下FA(t-(n+1)DT)。因此，本發(fā)明人就想到了輸入處在FA(t-(n+1)DT)的已知的值。即通過將在進行上述運算的初期階段的值作為基準特性值來輸出，就能夠算出傳感器單獨的信號來作為對該基準特性值的相對的值。如果基準值是特性的絕對值，則也獲得在其上加上述變化部分的值來作為成為測定對象的絕對值，并輸出絕對值的變動本身。雖然該基準特性值如果是已知的那么無論什么值都可以，但是通常還是在特殊的信號沒進入的狀態(tài)下，將傳感器A和傳感器B的信號差為零狀態(tài)的值作為基準值容易理解。另外，可以像前面所述，作為基準特性值，將絕對值未知的值設(shè)定為用于算出測定值的比較基準值。
在上述的運算處理中，能夠在數(shù)據(jù)收集后進行分析，并能夠算出在某個時刻的單獨的傳感器信號，伴隨時間的經(jīng)過，能夠依次輸出傳感器的信號。例如其步驟如下(1)參數(shù)的設(shè)定在進行數(shù)字處理時，雖然在DT時間內(nèi)的時間刻度間距在原理上可以自由設(shè)定，但是，通常以等間隔的刻度更簡單。另外，也可以組合適當(dāng)?shù)哪M電路。下面，表示了關(guān)于進行將在DT時間內(nèi)的時間刻度作為等間隔時的數(shù)據(jù)處理的情況。
將在DT時間內(nèi)的時間刻度間距設(shè)為δt，將在時間軸的任意時刻t表示成t＝mDT+nδt。
其中，m和n是整數(shù)，n的范圍是0～N，N＝DT/δt因此，在任意時刻t，傳感器A的信號為FA(mDT+nδt)
傳感器B的信號為FB(mDT+nδt)信號差為 DA-B(mDT+nδt)。
將想求得的單獨傳感器信號設(shè)為X(mDT+nδt)。
這里，能觀測的參數(shù)是例如通過所述的多元電導(dǎo)率測定裝置測得的DA-B(mDT+nδt)。
(2)初始值的輸入至少作為DT時間輸入初始設(shè)定的已知值，將已知值設(shè)定作為在單獨傳感器信號的數(shù)據(jù)序列的基準時刻的基準特性值。
在這里，將初始已知的基準特性值設(shè)為0，因此m＝0時，n＝0～N，X(nδt)＝0。
(3)測定在任意時刻t，·在使用DT時間前的值時，X(mDT+nδt)＝X((m-1)DT+nδt)+(DA-B(mDT+nδt))…④·在從初始值求時，X(mDT+nδt)＝X(nδt)+(DA-B(iDT+nδt)的i＝1～m的和)…⑤這樣，作為測定值，能夠獲取從基準時刻每經(jīng)過各時間刻度的時間點的時間序列數(shù)據(jù)，作為時間序列數(shù)據(jù)，能夠由用比規(guī)定的時間差DT更小的δt間距為刻度而得的多個時間序列數(shù)據(jù)群構(gòu)成。
(4)數(shù)據(jù)保存在上述步驟中，在式子④中，如果事先存儲前面時間DT內(nèi)的N個X(mDT+nδt)，那么就能夠進行處理。
在式子⑤中，雖然需要預(yù)先存儲之前的所有的X(mDT+nδt)數(shù)據(jù)但是此時也可以顯示全部過去的數(shù)據(jù)。
進行像上述的運算處理，例如試著進行在圖1所示的測定系統(tǒng)中的電導(dǎo)率的測定。將試驗結(jié)果表示在圖5、圖6中。圖5表示了產(chǎn)生短暫性的電導(dǎo)率變動的情況的測定例，圖6表示了產(chǎn)生有某個程度的持續(xù)時間的電導(dǎo)率變動的情況的測定例。另外，在圖5、圖6中，“差傳導(dǎo)率”僅表示從傳感器A、B的差信號輸出的電導(dǎo)率的變化部分，“絕對傳導(dǎo)率-其1-”表示為了用僅在傳感器A、傳感器B分別設(shè)置的下游側(cè)的傳感器檢測出的電導(dǎo)率，確認本發(fā)明的有效性而輸出?！敖^對傳導(dǎo)率-其2-(叢差傳導(dǎo)率算出)”表示根據(jù)本發(fā)明，對像上述那樣對預(yù)先設(shè)定的基準特性值加上差傳導(dǎo)率部分的、作為高靈敏度測定對象的電導(dǎo)率的絕對值。
在圖5、圖6兩者中可以知道絕對傳導(dǎo)率-其2-以較少的噪聲信號極其正確地表示了與作為絕對傳導(dǎo)率-其1-而測定的特性實質(zhì)上相同的特性，本發(fā)明的高靈敏度測定裝置的測定可高靈敏度地進行。另外，在本發(fā)明的高靈敏度測定裝置中，由于作為高精度的觀測值而輸出的傳感器A、B檢測信號的差分，作為可輸出作為對已知的基準值進行加法運算的絕對值，所以也可以確實地高精度地確保作為輸出測定值的絕對值的精度。即在本發(fā)明中能夠進行高靈敏度且高精度的測定。
以上的說明，主要是針對電導(dǎo)率的測定來進行的，但是，本發(fā)明的高靈敏度測定裝置不限于此，基本上可以適用于要求求出成為測定對象的特性的絕對值的變動(根據(jù)情況，從某基準值的相對變動)的所有測定系統(tǒng)。因此，可以適用于要求用需要高S/N比的高靈敏度的測定的所有測定系統(tǒng)，例如紫外線測定、差示折射率計測定、熒光光度計測定、電化學(xué)測定、微粒子測定等測定中。
本發(fā)明的高靈敏度測定裝置能夠適用于要求求出成為測定對象的特性的絕對值的變動、或從某基準值的相對變動的所有測定系統(tǒng)。本發(fā)明的高靈敏度測定裝置特別在作為要求用需要高S/N比的高靈敏度的流體中的特性的測定的、離子層離法和液體層離法的檢測器，或者被使用于微量包含在純水中、超純水中不純物濃度的監(jiān)測中時，能發(fā)揮顯著的效果。
權(quán)利要求
1.一種高靈敏度測定裝置，其特征在于，設(shè)有至少2個以規(guī)定的時間差接觸被測定物質(zhì)的、檢測相同特性的傳感器，獲取從各傳感器同時取出的檢測信號的差分，根據(jù)該檢測信號的差分獲取經(jīng)過該規(guī)定的時間差的特性值的差分，設(shè)定成為預(yù)先測定的基準的時刻和在該時刻的基準特性值，并設(shè)定把所述規(guī)定的時間差作為時間刻度的間距的時間軸，獲取在從所述基準時刻經(jīng)過任意的時間刻度的時間點的測定值。
2.如權(quán)利要求1所述的高靈敏度測定裝置，其特征在于，獲取從基準時刻每經(jīng)過各時間刻度的時間點的時間序列數(shù)據(jù)來作為所述測定值。
3.如權(quán)利要求2所述的高靈敏度測定裝置，其特征在于，作為所述時間序列數(shù)據(jù)，由包括時間刻度位置處于所述規(guī)定的時間差內(nèi)的時間序列數(shù)據(jù)的多個時間序列數(shù)據(jù)群構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求1所述的高靈敏度測定裝置，其特征在于，接觸參照用的被測定物質(zhì)，將該輸出值設(shè)定為所述基準特性值。
5.如權(quán)利要求1所述的高靈敏度測定裝置，其特征在于，與特性值為已知的參照用的被測定物質(zhì)接觸，以該輸出值成為所述已知的特性值的方式，設(shè)定所述基準特性值。
6.如權(quán)利要求1所述的高靈敏度測定裝置，其特征在于，被測定物質(zhì)由流體構(gòu)成。
全文摘要
在本發(fā)明的高靈敏度測定裝置中，設(shè)有至少2個以規(guī)定的時間差接觸被測定物質(zhì)的、檢測相同特性的傳感器，獲取從各傳感器同時取出的檢測信號的差分，根據(jù)該檢測信號的差分獲取經(jīng)過該規(guī)定的時間差的特性值的差分，設(shè)定成為預(yù)先測定的基準的時刻和在該時刻中的基準特性值，并設(shè)定把規(guī)定的時間差作為時間刻度的間距的時間軸，獲取在從基準時刻經(jīng)過任意的時間刻度的時間點的測定值。通過該測定裝置就能夠高精度且高靈敏度地將成為對象的測定特性作為絕對值而不作為差分或變化部分來進行檢測。
文檔編號G01N27/08GK1643372SQ03806249
公開日2005年7月20日 申請日期2003年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月20日
發(fā)明者砂岡好夫, 大橋伸一, 森田利夫, 藤田雅司 申請人:奧甘諾株式會社