專利名稱：在腔環(huán)降光譜法中用于控制光源的系統(tǒng)和方法
發(fā)明的領域本發(fā)明一般地涉及吸收光譜法，并且具體地，涉及在腔環(huán)降光譜法中激活和失活與光諧振器一起使用的光源。
發(fā)明的背景現(xiàn)在，參考附圖，其中在全文中相同的參考數(shù)字表示相同的部件，

圖1描述了對數(shù)尺度(logarithmic scale)上的電磁光譜。光譜學這門科學研究光譜。與涉及光譜其它部分的科學相比，光學系統(tǒng)具體地涉及可見光和近可見光(波長分布在大約1mm到大約1nm的可利用光譜的很窄一部分)。近可見光包括比紅色更紅的顏色(紅外)和比紫色更紫的顏色(紫外)。該范圍分布在可見性(visibility)任意一側僅僅足夠遠到仍然可以被常用材料制成的多數(shù)透鏡和鏡子所處理的光。常常必須考慮材料的光學屬性對波長的依賴性。
吸收型光譜法提供高的靈敏度、微秒級的響應時間、對中毒的不敏感性、以及與不同于所研究核素(species)的分子核素的有限相互干擾?？梢酝ㄟ^吸收光譜法檢測和識別各種分子核素。這樣，吸收光譜法提供一種檢測重要跟蹤核素的常用方法。在氣相，這種方法的靈敏度和選擇性被優(yōu)化，因為這些核素具有它們集中在一組尖(sharp)的光譜線的吸收強度。
在許多工業(yè)過程中，必須以高的速度和精確度測量和分析在流動氣流和液體中的跟蹤核素之濃度。需要這種測量和分析是因為污染物的濃度對于最終產(chǎn)品的質(zhì)量常常是非常關鍵的。例如N2、O2、H2、Ar以及He等氣體被用于制造集成電路，并且在這些氣體中雜質(zhì)的存在(即使是十億分子之一(ppb)水平)破壞和減少了運算電路的產(chǎn)量。因此，能夠以相對高的靈敏度利用光譜方法監(jiān)測水對于使用在半導體工業(yè)中的高純度氣體的制造者來說是很重要的。在其它工業(yè)應用中，必須檢測各種雜質(zhì)。另外，在液體中雜質(zhì)的存在(固有的或者有意放置的)在后期是特別關心的問題。
對于高純度氣體中的氣體污染物，光譜法已經(jīng)獲得百萬分之一(ppm)水平的檢測。在一些情況中，ppb水平的檢測靈敏度是可以獲得的。因此，多許光譜方法已經(jīng)被應用到例如氣體中定量污染物監(jiān)測的應用中，包括傳統(tǒng)長光程長度細胞(long pathlength cell)的吸收檢測、光聲光譜法、頻率調(diào)制光譜方法、以及腔內(nèi)激光吸收光譜法。這些方法有幾個特征(正如在授權給Lehmann的美國專利No.5528040中所討論的)使它們很難利用或者用于工業(yè)應用是不實際的。因此，它們極大地局限于試驗室研究。
相比較，連續(xù)波-腔環(huán)降光譜法(CW-CRDS)已經(jīng)成為一種重要的光譜技術，其應用到科學、工業(yè)過程控制、以及大氣跟蹤氣體檢測。CW-CRDS已經(jīng)被描述作為用于光吸收測量的技術，其在常用方法具有不足靈敏度的低吸收方式(regime)中是非常優(yōu)越的。CW-CRDS在高精度光諧振器中利用光子的平均壽命作為吸收敏感的可觀察量(observable)。
通常，諧振器由一對名義上等價的、窄帶的、超高反射率的絕緣鏡組成，它們被合適地構造，以形成一個穩(wěn)定的光諧振器。激光脈沖通過鏡子被注射進諧振器，以經(jīng)歷一平均壽命，該平均壽命取決于光子雙程傳送時間(round-trip transit time)、諧振器的長度、核素的吸收截面和數(shù)量密度、以及一個考慮固有諧振器損損失(當衍射損失是可忽略的時，固有諧振器損失很大程度上是由與頻率有關的鏡子反射率所引起)的因子。因此，光吸收的確定從常用功率比(power-ratio)測量轉變?yōu)樗p時間的測量。CW-CRDS的靈敏度是由固有諧振器損失的大小所確定，其中，利用例如允許超低損失光學系統(tǒng)制造的超級拋光技術，可以使固有諧振器的損失最小化。
圖2描述了常用CW-CRDS裝置200。如圖2所示，從窄帶的、可調(diào)的、連續(xù)波的二極管激光器202產(chǎn)生光。通過溫度控制器(未示出)對激光器202進行溫度調(diào)諧，以便使其波長放置在期望的分析物光譜線上。聲光調(diào)制器(AOM)204設置在激光器202的前面，并且與從激光器202發(fā)射的輻射成一直線。AOM 204是用于將來自激光器202的光206提供在沿諧振器218的光軸219方向上的裝置。光206從AOM 204射出，并且被鏡子208，210引導至腔鏡子220，作為光206a。光沿著光軸219前進，并且在腔鏡子220和222之間指數(shù)衰減。該衰減的測量可指示其中是否存在跟蹤核素。檢測器212耦合在光學腔218的輸出與控制器214之間?？刂破黢詈系郊す馄?02、處理器216和AOM 204。處理器216處理來自光檢測器212的信號，以便確定在光諧振器218中跟蹤核素的水平。
在AOM 204中，壓力換能器(未示出)產(chǎn)生一聲波，該聲波通過光彈性效應調(diào)制有源非線性晶體(未示出)中的折射指數(shù)。聲波產(chǎn)生布拉格(Bragg)衍射光柵，該光柵將進入的光色散成多級(order)，例如第零極以及第一級。不同的極具有不同的光束能量并且遵循不同的光束方向。在CW-CRDS中，通常，第一級光束206與入射到腔內(nèi)耦合鏡220上的腔218的光軸219對準，以及第零級光束224在一個不同的光學路徑上被閑置(其它更高階光束是很弱的，這樣沒有被提及)。這樣，AOM 204控制光束206和224的方向。
當AOM 204接通時，大多數(shù)光功率(通常達到80％，取決于光束的尺寸、在AOM 204中的晶體、對準等等)沿著共振腔218的光軸219定位于第一級，作為光206。其余的光束功率定位到第零級(光224)或者其它更高級。第一級光束206被用于輸入耦合光源；第零階光束224通常閑置或者被用于診斷分量。一旦在腔內(nèi)累積了光能，AOM 204就被切斷。這導致所有光束功率定位到第零級，作為光224，并且沒有光206耦合進共振腔218。在腔內(nèi)存儲的光能遵循指數(shù)衰減(環(huán)降)。
為了“切斷”到光學腔218中的激光，這樣允許光學腔218內(nèi)的能量“環(huán)降”，AOM 204在控制器214控制下并且通過控制線224沿著路徑224將來自激光器204的光改變方向(偏轉)，這樣，離開光諧振器218的光學路徑219。但是，這種常用方法具有的缺點在于基本上通過包含在AOM中的改變方向裝置時存在光能損失。由于使用來將來自AOM 204的光引導至光學腔218的鏡子208和210，其它的損失也能存在。由于這些損失，估計由激光器202發(fā)射的光的僅僅50％-80％最終到達光諧振器218，作為光206a。而且，這些常用系統(tǒng)是昂貴的，并且AOM需要系統(tǒng)內(nèi)的附加的空間和AOM驅動器(未示出)。
為了克服常用系統(tǒng)的缺陷，提供一種用于提供和控制到共振腔的激光的改進系統(tǒng)和方法。本發(fā)明的目的在于利用簡單并且價格合理的控制系統(tǒng)代替常用AOM/控制系統(tǒng)。
發(fā)明概述為了實現(xiàn)上述和其它目的，并考慮其目標，本發(fā)明提供一種用于控制與共振腔一起使用的光源的改進裝置和方法。該裝置包括控制器，用于接收一檢測信號與一預定閾值的比較，比較器根據(jù)比較產(chǎn)生一控制信號，以激活或者失活光源；第一延遲電路，耦合到控制器，用于產(chǎn)生到控制器的第一延遲信號；以及第二延遲電路，耦合到比較器和控制器，用于根據(jù)檢測信號與預定閾值的比較，產(chǎn)生到控制器的第二延遲信號。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，光源提供光作為到共振腔的輸入，以測量共振腔中分析物的存在。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，來自光源的光通過光纖耦合到共振腔。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，一準直器將光耦合進共振腔。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，比較器根據(jù)檢測信號與預定閾值的比較，產(chǎn)生到控制信號的輸入信號。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，檢測器耦合在共振腔的輸出和比較器之間，并且根據(jù)來自共振腔的光輸出，產(chǎn)生一信號。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，根據(jù)第一延遲信號，失活光源。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，在第一延遲周期結束之后，激活光源。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，在第一延遲周期結束之后，光源被激活，并且通過電流調(diào)制在腔內(nèi)積累能量。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，在第一延遲周期期間，測量在共振腔中存在的分析物(anlyte)水平。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，控制器通過分流用于光源的電流供應而來失活光源。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，光源是一激光器。
該方法包括以下步驟檢測來自共振腔的光能信號輸出；將檢測信號與一預定閾值進行比較；根據(jù)比較產(chǎn)生一控制信號，以控制光源；產(chǎn)生到控制器的第一延遲信號；在第一延遲信號結束之后，產(chǎn)生第二延遲信號；提供電流調(diào)制；以及在第二延遲信號結束之后，測量分析物的水平。
應該理解，前述本發(fā)明總的說明以及以下詳細說明都是示例性的，而非限定性的。
附圖簡單說明通過參考附圖閱讀下面的詳細說明，可更好地理解本發(fā)明。在此強調(diào)根據(jù)慣例，附圖中的各個特征不是按尺寸繪制。相反，為了清楚起見，各個特征的尺寸被放大或者縮小。附圖包括以下圖圖1是描述對數(shù)尺度上的電磁光譜的示意圖；圖2是描述現(xiàn)有CW-CRDS系統(tǒng)的示意圖；圖3A是描述本發(fā)明示例性實施例的示意圖；圖3B是描述本發(fā)明另一示例性實施例的示意圖；圖4是描述本發(fā)明示例性控制器的示意圖；圖5是描述根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的各種延遲定時的示意圖。
本發(fā)明的詳細說明圖3A描述了本發(fā)明的示例性實施例。如圖3A所示，從光源302產(chǎn)生光，光源302例如為窄帶的、可調(diào)諧的、連續(xù)波的二極管激光器。光源302是通過溫度控制器(未示出)可溫度調(diào)諧的，以便將它的波長放置在期望的感興趣的分析物的光譜線上。來自光源302的光能通過光纖304耦合到光纖準直器308。依次，光能306通過準直器208被提供到共振腔318，并且基本上平行它的光軸319。檢測器312耦合在光學腔318與控制器314之間。控制器314耦合到光源302和數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)316。數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)316(例如個人計算機或者其它專用處理器)在控制器314控制下處理來自光檢測器312的信號，以便確定光諧振器318中跟蹤核素(分析物)的水平。
優(yōu)選地，光源302是溫度和電流可控的、可調(diào)諧的、窄線寬度輻射(narrrow line-width radiation)的半導體激光器，其在可見到近和中紅外光譜下操作?？商鎿Q地，光源302可以是外腔半導體二極管激光器。
共振腔318優(yōu)選地包括至少一對高反射率鏡子320和322以及其上安裝鏡子的氣室(gas cell)321。室321例如可以是流動室或者真空室?？商鎿Q地，如圖3B所示，共振腔318可以由一對棱鏡324和326和相應的氣室321組成。
檢測器212優(yōu)選地是一光電檢測器，例如，光電二極管或者光電倍增管(PMT)。
現(xiàn)在參考圖4，顯示了控制器314的詳細方框圖。正如圖4所示，緩沖器402接收來自檢測器312(圖3A-3B所示)的信號313(代表環(huán)降信號的大小)。比較器406接收緩沖的信號313，并且執(zhí)行與一閾值信號404的比較。在操作中，閾值信號向上增大，直到比較器輸出為零狀態(tài)。然后，閾值信號404減小，直到比較器406提供一輸出信號。結果，閾值信號404基于環(huán)降信號(ring down signal)的電平。在這種方式下，控制電路408能夠確定何時從檢測器312輸出的環(huán)降信號損耗。
控制電路408根據(jù)環(huán)降信號的損耗來產(chǎn)生控制信號408a，以便激活第一延遲電路412。在第一延遲周期結束時(正如圖5所示時間t1)，產(chǎn)生信號412a，并將其提供給控制電路408。依次，控制電路408產(chǎn)生信號408b，以激活第二延遲電路414，并且將信號408c提供給開關電路410，開關電路410依次激活電源302(相對于圖3A和3B的虛線所示以及上述說明)。在延遲周期時間t2結束時(圖5所示)，延遲電路414產(chǎn)生信號414a給控制電路408，以指示光源302已經(jīng)穩(wěn)定，并且開始，第三時間周期t3(圖5所示)。時間周期t3(相對于圖5的以下詳細描述)被用于確保共振腔318在測量分析物濃度之前被利用光能通過電流調(diào)制而充分地充電。在時間周期t3結束時，失活控制信號408c，其依次被開關電路410用來失活光源302。在本發(fā)明的一個實施例中，開關電路410利用轉換功率設備分流來自光源302的電流302，以失活光源302。
與失活信號408c同步，也產(chǎn)生信號408d，并將其提供給數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)316(相對于圖3A和3B的虛線所示以及上述說明)雖然信號408c和408d被示為分開的信號，但優(yōu)選地，如果需要，可以將它們結合成單個控制信號。在這種方法中，可以要求信號408c的調(diào)節(jié)，以來提供一個合適的控制信號邏輯電平(例如根據(jù)數(shù)字信號)，從而提供對數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)316的合適控制。
信號408d(在兩信號408c和408d的方法中)被數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)316用來指示光源302已經(jīng)被失活，并且分析物的測量應該開始。在該點，再次通過控制電路408初始化第一延遲電路412，處理重復自己，以測量連續(xù)的環(huán)降。
因為上述說明涉及即將進行的分析物測量，所以電路需要在第一次測量之前被初始化。為了完成該初始化，初始化信號420被提供作為第一延遲電路412的輸入。例如，當激活初始化信號420時(例如通過按鈕或者來自數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)316的控制信號)，延遲時間t0開始。然后處理遵循上述程序。
在示例性實施例中，開關電路410提供三個功能1)作為激光電流驅動器，提供用于期望激光功率輸出的激光器驅動電流，2)提供導致在腔318內(nèi)能量累積的電流調(diào)制，以及3)作為電流切換/分流，用于將電流驅動到光源302或者停止驅動電流到光源302。
結果，控制器314給光源302施加能量以產(chǎn)生能量到諧振器318，采用第一延遲以在尋找新數(shù)據(jù)之前使得光源302穩(wěn)定，利用第二延遲來等候在室中充分累積能量，然后切斷到光源302的能量。在從光源302移走能量之后，采用另一延遲，以允許光能完全環(huán)降。然后在給定溫度下，對于單個波長環(huán)降數(shù)據(jù)，重復該過程。通過數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)316處理環(huán)降光譜。所述各種延遲如圖5所示。
正如圖5所示，在時間t0，通過提供操作電流I來給光源302施加能量，操作電流I高于光源的閾值電流I0。閾值電流I0根據(jù)所使用的光源類型變化。延遲時間t2表示允許光源穩(wěn)定的延遲。在一個示例性實施例中，延遲時間t2被設定為大約100毫秒。延遲時間t3表示允許電流調(diào)制以在共振腔318中累積的時間。應當注意電流調(diào)制以在共振腔318中累積所需要的時間遠遠小于t3。
在一個示例性實施例中，延遲時間t3基于光源302的調(diào)制頻率f，并且優(yōu)選地等于大約1/f。時間延遲t1基于共振腔318的環(huán)降時間。為了允許足夠的時間用于在共振腔318中光能“環(huán)降”，時間延遲t1優(yōu)選地設定為腔環(huán)降時間的10(十)倍。
激光溫度驅動器416在常用裝置(未示出)的控制下對光源302提供溫度控制，用于在給定溫度下產(chǎn)生期望的光頻率。根據(jù)感興趣的特定分析物來選擇頻率。
通過本發(fā)明可實現(xiàn)各種優(yōu)勢，例如●允許使用幾乎100％的光源202所產(chǎn)生的光功率(即使在光纖304和準直器308中具有可以忽略的未檢測損失)。較高的腔內(nèi)能量累積提供了較好的信噪比和減小了散粒噪聲。當光源是很弱時，這是極其有利的。正如以上所述，通常，當光通過AOM時，僅僅大約50-80％的光功率到達第一級。
●簡化的CW-CRDS設置。這允許設定配置的更多空間靈活性，以及消除了由AOM引起的對測試環(huán)境的機械和光學敏感性。
雖然在此參考某些特定的實施例作了以上圖示和說明，但是本發(fā)明沒有企圖被局限于所示的細節(jié)。相反，在權利要求等效的范圍內(nèi)可以詳細地做出各種修改，而沒有偏離本發(fā)明的精神。
權利要求
1.一種用于控制與共振腔一起使用的光源的裝置，該裝置包括控制器，用于接收一檢測信號與一預定閾值的比較；比較器根據(jù)所述比較而產(chǎn)生一控制信號，以實現(xiàn)激活和失活所述光源中至少一項；第一延遲電路，耦合到所述控制器，用于產(chǎn)生到所述控制器的第一延遲信號；以及第二延遲電路，耦合到所述比較器和所述控制器，用于根據(jù)所述檢測信號與所述預定閾值的比較，產(chǎn)生到所述控制器的第二延遲信號。
2.根據(jù)權利要求1的裝置，其中，所述第一延遲電路通過一初始化信號被初始化。
3.根據(jù)權利要求1的裝置，其中，所述光源提供光作為到所述共振腔的輸入，用于測量共振腔中分析物的存在。
4.根據(jù)權利要求1的裝置，其中，來自所述光源的光通過光纖耦合到所述共振腔。
5.根據(jù)權利要求4的裝置，進一步包括一光纖準直器，耦合在所述光纖和所述共振腔的輸入之間。
6.根據(jù)權利要求1的裝置，進一步包括一比較器，用于根據(jù)所述檢測信號與所述預定閾值的比較來產(chǎn)生到所述控制器的輸出信號。
7.根據(jù)權利要求6的裝置，進一步包括一檢測器，耦合在所述共振腔的輸出與所述比較器之間，所述檢測器產(chǎn)生檢測信號。
8.根據(jù)權利要求1的裝置，其中，根據(jù)所述第一延遲電路的時間周期，失活所述光源。
9.根據(jù)權利要求8的裝置，其中，所述第一延遲周期基于所述共振腔的環(huán)降時間周期。
10.根據(jù)權利要求9的裝置，其中，所述第一延遲周期是所述環(huán)降周期的大約10倍。
11.根據(jù)權利要求8的裝置，其中，在所述第一延遲周期結束之后，所述光源被激活。
12.根據(jù)權利要求8的裝置，其中，在所述第一延遲周期期間，測量存在于所述共振腔中的分析物水平。
13.根據(jù)權利要求1的裝置，其中，所述第二延遲電路的周期基于所述光源的穩(wěn)定時間。
14.根據(jù)權利要求13的裝置，其中，所述第二延遲周期是大約100毫秒。
15.根據(jù)權利要求1的裝置，其中，在第三延遲周期之后，產(chǎn)生所述第一延遲信號。
16.根據(jù)權利要求15的裝置，其中，所述第三延遲周期基于所述光源的調(diào)制頻率。
17.根據(jù)權利要求16的裝置，其中，所述第三延遲周期是所述調(diào)制頻率的倒數(shù)。
18.根據(jù)權利要求15的裝置，其中，所述第三延遲周期跟隨在所述第二延遲周期之后。
19.根據(jù)權利要求15的裝置，其中，在所述第三延遲周期期間，光能在所述共振腔內(nèi)累積。
20.根據(jù)權利要求1的系統(tǒng)，其中，所述光源是一個激光器。
21.一種用于與光源一起來測量共振腔中分析物存在的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括檢測器，耦合到所述共振腔的輸出，以根據(jù)來自所述共振腔的光輸出來產(chǎn)生一檢測信號；控制器，耦合到所述光源，該控制器根據(jù)所述檢測信號激活和失活所述光源；處理器，耦合到所述控制器，用于處理所述檢測信號以及確定在所述共振腔中存在的分析物的水平。
22.根據(jù)權利要求21的系統(tǒng)，其中，所述控制器通過分流用于所述光源的電流供應來失活所述光源。
23.根據(jù)權利要求21的系統(tǒng)，進一步包括一光纖，用于將來自所述光源的光能耦合到所述共振腔。
24.根據(jù)權利要求23的系統(tǒng)，進一步包括一光纖準直器，耦合在所述光纖的一端與所述共振腔之間。
25.根據(jù)權利要求21的系統(tǒng)，其中，所述控制器在第一預定時間周期激活所述光源，以及在第二預定時間周期失活所述光源。
26.根據(jù)權利要求25的系統(tǒng)，其中，所述第一預定周期大約基于所述光源的穩(wěn)定時間。
27.根據(jù)權利要求26的系統(tǒng)，其中，所述第一預定周期進一步基于所述光源的調(diào)制頻率。
28.根據(jù)權利要求21的系統(tǒng)，其中，所述光源是一個激光器。
29.根據(jù)權利要求21的系統(tǒng)，其中，所述能量是光能。
30.一種用于測量共振腔中分析物存在的方法，該方法包括以下步驟檢測從所述共振腔輸出的光能信號；將所檢測的信號與一預定閾值進行比較；根據(jù)該比較，產(chǎn)生一控制信號，以控制所述光源；產(chǎn)生到所述控制器的第一延遲信號；在第一延遲周期結束之后，產(chǎn)生第二延遲信號；以及在第二延遲周期結束之后，測量所述分析物的水平。
31.根據(jù)權利要求30的方法，進一步包括步驟在緊接著產(chǎn)生所述第二延遲信號之后，激活所述光源；以及在至少所述第一延遲周期期間，失活所述光源。
32.根據(jù)權利要求30的方法，進一步包括步驟提供一初始化信號，以初始化所述第一延遲信號。
33.一種用于測量共振腔中分析物存在的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括檢測裝置，用于檢測從所述共振腔輸出的光能信號；比較裝置，用于將所檢測的信號與一與預定閾值進行比較；控制裝置，用于根據(jù)所述比較而產(chǎn)生一控制信號，以控制所述光源；第一延遲裝置，用于產(chǎn)生到所述控制器的第一延遲信號，以及開始第一延遲周期；第二延遲裝置，用于在所述第一延遲周期結束之后，產(chǎn)生第二延遲信號，以及開始第二延遲周期；以及處理裝置，用于在所述第二延遲周期結束之后，測量所述分析物的水平。
34.根據(jù)權利要求33的系統(tǒng)，其中，所述處理裝置在所述第一延遲周期期間測量分析物的水平。
35.一種用于控制使用在腔環(huán)降光譜法中的光源的裝置，該裝置包括控制器，用于接收一檢測信號與一預定閾值的比較，比較器根據(jù)所述比較而產(chǎn)生一控制信號，以實現(xiàn)激活和失活所述光源中的至少一項；第一延遲電路，耦合到所述控制器，用于產(chǎn)生到所述控制器的第一延遲信號；以及第二延遲電路，耦合到所述比較器和所述控制器，用于根據(jù)所述檢測信號與所述預定閾值的比較，產(chǎn)生到所述控制器的第二延遲信號。
全文摘要
一種用于在腔環(huán)降光譜法中控制光源的裝置和方法。該裝置包括一控制器，該控制器根據(jù)來自共振腔的能量信號與一閾值的比較來產(chǎn)生一控制信號，以激活和失活光源。根據(jù)光源的穩(wěn)定時間和提供足夠能量給共振腔所需的時間，將光源在一預定周期激活。此后，控制器通過通過中斷其電流源而在一預定時間周期失活光源，以便在腔中的光能環(huán)降，以及以便可以測量分析物的存在。來自光源的光能被直接從光源耦合到共振腔。
文檔編號G01N21/01GK1653319SQ03811022
公開日2005年8月10日 申請日期2003年1月2日 優(yōu)先權日2002年5月13日
發(fā)明者羅伯特·奧古斯丁, 卡爾文·R·克魯森, 王儲記, 閻文斌 申請人:虎光學公司