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      一種電壓檢測(cè)裝置制造方法

      文檔序號(hào):25263閱讀:243來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:一種電壓檢測(cè)裝置制造方法
      【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種電壓檢測(cè)裝置,包括檢測(cè)元件、感應(yīng)裝置、檢測(cè)裝置、處理裝置和輸出裝置,所述檢測(cè)元件還包括半導(dǎo)體元件、電勢(shì)元器件和感應(yīng)元器件,所述感應(yīng)裝置的兩端串聯(lián)連接所述檢測(cè)元件的正極一端和負(fù)極一端,所述感應(yīng)裝置還包括第三端子連接所述檢測(cè)裝置的電路,所述檢測(cè)裝置還包括阻尼電路和用于檢測(cè)電勢(shì)能的電容器,由所述檢測(cè)裝置輸出的信號(hào)進(jìn)入所述處理裝置進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)換,轉(zhuǎn)換后的可讀信號(hào)由所述輸出裝置輸出,所述輸出裝置還包括驅(qū)動(dòng)單元和信號(hào)切換裝置。本實(shí)用新型能夠在短時(shí)間內(nèi)獲得可讀可視的電子信號(hào)輸出信息,既方便又節(jié)約成本,檢測(cè)裝置簡(jiǎn)易,容易實(shí)現(xiàn)檢測(cè)電壓的功能。
      【專利說(shuō)明】一種電壓檢測(cè)裝置

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型屬于一種電壓檢測(cè)裝置,尤其涉及一種用于導(dǎo)電元件的電壓檢測(cè)裝置。

      【背景技術(shù)】
      [0002]現(xiàn)有的半導(dǎo)體技術(shù)中,通常使用多層金屬互連線結(jié)構(gòu)使得各種器件電學(xué)連接,所述金屬互連線之間利用絕緣性能良好的介質(zhì)材料電隔離。多層金屬互連結(jié)構(gòu)的可靠性對(duì)于整個(gè)IC制造工藝良率、產(chǎn)品性能和可靠性而言都是至關(guān)重要的,通過(guò)可靠性測(cè)試可以獲得不同金屬互連線的間距、形狀和不同介質(zhì)材料對(duì)金屬互連結(jié)構(gòu)擊穿特性的影響。為了獲得擊穿特性較好的金屬互連結(jié)構(gòu),通常需要檢測(cè)多組具有不同金屬互連線間距、形狀或不同介質(zhì)材料的金屬互連結(jié)構(gòu),如果采用現(xiàn)有的檢測(cè)方法,只能一組一組地進(jìn)行檢測(cè)對(duì)應(yīng)的擊穿電壓或擊穿時(shí)間,以獲得不同金屬互連線間距、形狀或不同介質(zhì)材料對(duì)金屬互連結(jié)構(gòu)擊穿特性的影響,檢測(cè)時(shí)間較長(zhǎng),檢測(cè)成本較高。
      實(shí)用新型內(nèi)容
      [0003]本實(shí)用新型要解決的問(wèn)題是提供一種簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的回彈裝置的電壓檢測(cè)裝置,在短時(shí)間內(nèi)可達(dá)到鎖緊的作用。
      [0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:
      [0005]一種電壓檢測(cè)裝置,包括:檢測(cè)元件、感應(yīng)裝置、檢測(cè)裝置、處理裝置和輸出裝置,所述檢測(cè)元件還包括半導(dǎo)體元件、電勢(shì)元器件和感應(yīng)元器件,所述感應(yīng)裝置的兩端串聯(lián)連接所述檢測(cè)元件的正極一端和負(fù)極一端,所述感應(yīng)裝置還包括第三端子連接所述檢測(cè)裝置的電路,所述檢測(cè)裝置還包括阻尼電路和用于檢測(cè)電勢(shì)能的電容器,由所述檢測(cè)裝置輸出的信號(hào)進(jìn)入所述處理裝置進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)換,轉(zhuǎn)換后的可讀信號(hào)由所述輸出裝置輸出,所述輸出裝置還包括驅(qū)動(dòng)單元和信號(hào)切換裝置。
      [0006]進(jìn)一步地,所述感應(yīng)裝置包括殼體、線圈和傳感電路。
      [0007]進(jìn)一步地,所述處理裝置主要包括運(yùn)算放大器,其反相輸入端子與所述檢測(cè)裝置的電容器連接且非反相輸入端子與規(guī)定的電壓源連接;連接在所述運(yùn)算放大器的反相輸入端子與輸出端子之間。
      [0008]進(jìn)一步地,所述輸出裝置可以是顯示器、屏幕、打印機(jī)的一種或兩種,由所述輸出裝置輸出的信號(hào)為數(shù)字或曲線形式輸出。
      [0009]本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:采用本實(shí)用新型所述的一種電壓檢測(cè)裝置,能夠在短時(shí)間內(nèi)獲得可讀可視的電子信號(hào)輸出信息,既方便又節(jié)約成本,檢測(cè)裝置簡(jiǎn)易,容易實(shí)現(xiàn)檢測(cè)電壓的功能。

      【附圖說(shuō)明】

      [0010]圖1是本實(shí)用新型的示意圖
      [0011]圖中:
      [0012]1-檢測(cè)元件 2-感應(yīng)裝置 3-檢測(cè)裝置 4-處理裝置
      [0013]5-輸出裝置

      【具體實(shí)施方式】
      [0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例做詳細(xì)說(shuō)明。
      [0015]如圖1所示,一種電壓檢測(cè)裝置,包括:檢測(cè)元件1、感應(yīng)裝置2、檢測(cè)裝置3、處理裝置4和輸出裝置5,檢測(cè)元件I還包括半導(dǎo)體元件、電勢(shì)元器件和感應(yīng)元器件,感應(yīng)裝置2的兩端串聯(lián)連接檢測(cè)元件的正極一端和負(fù)極一端,感應(yīng)裝置2還包括第三端子連接檢測(cè)裝置3的電路,檢測(cè)裝置3還包括阻尼電路和用于檢測(cè)電勢(shì)能的電容器,由檢測(cè)裝置3輸出的信號(hào)進(jìn)入處理裝置4進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)換,轉(zhuǎn)換后的可讀信號(hào)由輸出裝置5輸出,輸出裝置5還包括驅(qū)動(dòng)單元和信號(hào)切換裝置。感應(yīng)裝置2包括殼體、線圈和傳感電路;處理裝置4主要包括運(yùn)算放大器,其反相輸入端子與檢測(cè)裝置3的電容器連接且非反相輸入端子與規(guī)定的電壓源連接;連接在運(yùn)算放大器的反相輸入端子與輸出端子之間;輸出裝置5可以是顯示器、屏幕、打印機(jī)的一種或兩種,由輸出裝置輸出的信號(hào)為數(shù)字或曲線形式輸出。
      [0016]本實(shí)用新型的工作過(guò)程如下:
      [0017]初始狀態(tài)檢測(cè)元件I與感應(yīng)裝置2處于斷開(kāi)狀態(tài),電壓檢測(cè)開(kāi)始時(shí),將檢測(cè)元件I串聯(lián)連接感應(yīng)裝置2,再由感應(yīng)裝置2感應(yīng)的電壓信息傳送至檢測(cè)裝置3的電容器,再由阻尼電路將信號(hào)通過(guò)處理裝置4傳至輸出裝置5,最后獲得可讀可視的信息。
      [0018]以上對(duì)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明,但所述內(nèi)容僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例,不能被認(rèn)為用于限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍。凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn)等,均應(yīng)仍歸屬于本實(shí)用新型的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
      【權(quán)利要求】
      1.一種電壓檢測(cè)裝置,其特征在于:包括檢測(cè)元件(I)、感應(yīng)裝置(2)、檢測(cè)裝置(3)、處理裝置(4)和輸出裝置(5),所述檢測(cè)元件(I)還包括半導(dǎo)體元件、電勢(shì)元器件和感應(yīng)元器件,所述感應(yīng)裝置(2)的兩端串聯(lián)連接所述檢測(cè)元件的正極一端和負(fù)極一端,所述感應(yīng)裝置(2)還包括第三端子連接所述檢測(cè)裝置(3)的電路,所述檢測(cè)裝置(3)還包括阻尼電路和用于檢測(cè)電勢(shì)能的電容器,由所述檢測(cè)裝置(3)輸出的信號(hào)進(jìn)入所述處理裝置(4)進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)換,轉(zhuǎn)換后的可讀信號(hào)由所述輸出裝置(5)輸出,所述輸出裝置(5)還包括驅(qū)動(dòng)單元和信號(hào)切換裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電壓檢測(cè)裝置,其特征在于:所述感應(yīng)裝置(2)包括殼體、線圈和傳感電路。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電壓檢測(cè)裝置,其特征在于:所述處理裝置(4)主要包括運(yùn)算放大器,其反相輸入端子與所述檢測(cè)裝置(3)的電容器連接且非反相輸入端子與規(guī)定的電壓源連接;連接在所述運(yùn)算放大器的反相輸入端子與輸出端子之間。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電壓檢測(cè)裝置,其特征在于:所述輸出裝置(5)可以是顯示器、屏幕、打印機(jī)的一種或兩種,由所述輸出裝置輸出的信號(hào)為數(shù)字或曲線形式輸出。
      【文檔編號(hào)】G01R19-00GK204302349SQ201420697037
      【發(fā)明者】馬強(qiáng), 田磊 [申請(qǐng)人]天津天維移動(dòng)通訊終端檢測(cè)有限公司
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