專利名稱：測量探針，尤其用于一種測量薄層厚度的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測量探針，尤其用于一種測量薄層厚度的裝置。
背景技術(shù)：
為了在金屬和非金屬層上進(jìn)行層厚測量，設(shè)計了一些測量儀器，它們都具有一個測量探針，所述測量探針安放在測量對象上，以便無損毀地測量層厚。為此采用已知的電磁方法、如磁感應(yīng)方法也包括渦流方法。
該測量探針彈性彎曲地支承在測量儀器里面。在將測量探針安放到一個測量對象上時這個測量探針相對于測量探針里的一個容納體略微沉入。該測量探針具有傳感元件，它們通過細(xì)連接導(dǎo)線連接在一個印刷電路板上。連接導(dǎo)線通過焊接點(diǎn)固定。同樣配有連接導(dǎo)線，它們從印刷電路板引出到外面并通過焊接點(diǎn)固定在印刷電路板上。由于測量探針在進(jìn)行測量之前和之后相對于容納體的相對運(yùn)動使連接導(dǎo)線相對于連接位置運(yùn)動。這易于直接在焊接點(diǎn)上斷裂。非常細(xì)的連接導(dǎo)線的安置和維修是非常費(fèi)事且成本昂貴的。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明的目的是，實現(xiàn)一種布置，它能夠使測量探針以低廉的成本進(jìn)行制造，尤其是作為批量產(chǎn)品，并且具有長的使用壽命。
按照本發(fā)明這個目的通過一個如權(quán)利要求1所述的裝置得到實現(xiàn)。
通過使用至少一條柔性帶，它設(shè)置在印刷電路板上并包括至少一根連接導(dǎo)線，能夠進(jìn)行大量測量而不會使至少一根連接導(dǎo)線斷裂。在進(jìn)行測量時，將測量探針安放到一個檢測或試樣體上。該測量探針至少滑動地逆著一個彈簧力在容納體中導(dǎo)引，因此確保貼靠在一個檢測或試樣體上。由于所述測量探針相對于其它元件是通過一條柔性帶柔性連接在印刷電路板上，因此，在將測量探針安放到一個檢測或試樣體上或從一個檢測或試樣體上取下來的運(yùn)動期間，連接導(dǎo)線不會直接在焊接點(diǎn)上彎折并由此防止斷裂的危險。通過這種方式延長了使用壽命。
按照本發(fā)明的一個有利結(jié)構(gòu)規(guī)定，所述柔性帶在與印刷電路板相對置的一端具有一個連接片。由此使測量探針在應(yīng)用之后可以通過簡單的方法連接在殼體上或殼體外部的一個插塞連接器上或一個數(shù)據(jù)處理單元上。由此明顯簡化該測量探針在一個容納體里面的裝配和連接。用于印刷電路板和設(shè)在其上的結(jié)構(gòu)元件也包括傳感元件的全部連接導(dǎo)線都包括在一條柔性帶中并從測量探針外殼里面引出來是有利的。由此使加工、操作和裝配更加容易，由此實現(xiàn)一種成本低廉的批量生產(chǎn)。
例如所述傳感元件的連接導(dǎo)線與印刷電路板的連接導(dǎo)線獨(dú)立地分別設(shè)置在一條柔性帶中，對于某些應(yīng)用場合也同樣是適合的。
按照本發(fā)明的另一有利結(jié)構(gòu)規(guī)定，至少一個印刷電路板由一個固定層和一個柔性層組成并且柔性層部分地與固定層分離并構(gòu)成柔性帶。這種布置具有優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)印刷電路板的批量加工，其中連接導(dǎo)線的加工可以在自動過程中成本低廉地實現(xiàn)。此外通過這種結(jié)構(gòu)得到連接導(dǎo)線在印刷電路板上的耐用安置，在加工時連接導(dǎo)線被捆綁到至少一條柔性帶中。所述柔性層中的連接導(dǎo)線在由固定層支承的部位上最好由印刷電路板構(gòu)成，由此在印刷電路板與連接導(dǎo)線之間得到一個良好且可靠的接觸。在其它部位連接導(dǎo)線在柔性帶里面，在加工印刷電路板時柔性帶對應(yīng)于柔性層。所述固定層在一個部位里被去掉、剪裁或沖切，在這個部位所述柔性帶需要一個運(yùn)動范圍或布置其它結(jié)構(gòu)部件。此外通過使用印刷電路板可以減小元件尺寸，因為與手工加工相比對于自動加工能夠成本低廉地實現(xiàn)結(jié)構(gòu)元件的小型化。
在一個有利的實施例中，所述柔性帶從一個殼體中引出來。通過該柔性帶防止導(dǎo)線彎折、損傷和斷裂。
按照本發(fā)明的另一有利的結(jié)構(gòu)規(guī)定，至少一個傳感元件附屬于一個印刷電路板，該傳感元件相對于印刷電路板是不移動的。通過這種仍然通過連接導(dǎo)線相互連接的不移動元件的可靠布置防止連接導(dǎo)線直接在焊接點(diǎn)上斷開。由此可以在至少一個印刷電路板與至少一個傳感元件之間通過連接導(dǎo)線建立起耐用的結(jié)構(gòu)和接觸。
按照本發(fā)明的另一有利結(jié)構(gòu)規(guī)定，設(shè)有至少另一印刷電路板，它容納至少一個傳感元件。這個有利的結(jié)構(gòu)通過將結(jié)構(gòu)部件集成在印刷電路板上和里面能夠減少裝配費(fèi)用和元件成本，這些元件也以相配的加工過程設(shè)置在印刷電路板上。例如在加工中，兩個元件組可以并聯(lián)加工，在它們被集成在一個測量探針殼體里面之前，它們連接在一起。第一元件組例如包括電路而第二元件組包括傳感元件。
對于上述的有利實施例規(guī)定，第一和另一印刷電路板或第一印刷電路板和傳感元件在一個連接部位包括接觸點(diǎn)，它們通過焊接相互連接。由此可以有利地至少部分地或完全地放棄連接導(dǎo)線和由于單點(diǎn)焊接而在時間上緊張的連接。將已有的焊接點(diǎn)或釬焊點(diǎn)相互連接。這個過程仍然可以自動化地實現(xiàn)，使得由至少兩個印刷電路板或一個印刷電路板和一個傳感元件組成的已預(yù)完成的結(jié)構(gòu)組件可以供裝進(jìn)殼體里面使用。
也可以選擇，所述第一印刷電路板和至少另一印刷電路板通過包括連接導(dǎo)線的柔性帶相互連接。因此一個柔性層可以設(shè)置在第一或第二印刷電路板上，該柔性層與一個連接片通過一個插塞連接器設(shè)置在另一印刷電路板上或者相反與一個插塞連接器通過一個連接片設(shè)置在另一印刷電路板上。在這個實施例中，第一和第二印刷電路板相互間是可以移動的。所述另一印刷電路板優(yōu)選容納傳感元件。對于這個實施例所述另一印刷電路板也可以只由傳感元件組成。
另一可選擇的結(jié)構(gòu)規(guī)定，第一印刷電路板與一個容納區(qū)段連接，在該容納區(qū)段上可以定位傳感元件。這個容納區(qū)段在功能上對應(yīng)于另一印刷電路板。該容納區(qū)段最好可拆卸地、不可拆卸地或一體地設(shè)置在第一印刷電路板上并用于容納和布置傳感元件。通過這種布置可以有利地減少第一印刷電路板與容納區(qū)段之間的焊接點(diǎn)并省去位于其間的單獨(dú)的連接導(dǎo)線。也可以選擇使連接導(dǎo)線從傳感元件直接引到第一印刷電路板。所述容納區(qū)段優(yōu)選通過具有良好磁特性的金屬材料制成以及支持傳感元件的布置和在其中的測量方法。
用于實現(xiàn)磁感應(yīng)方法的按照本發(fā)明的有利的第一實施例規(guī)定，一個霍耳傳感器設(shè)置在另一印刷電路板上，相對置地在所述印刷電路板上一個場聚焦器和一個磁鐵附屬于所述霍耳傳感器。所述霍耳傳感器通過釬焊點(diǎn)與印刷電路板連接。元件相互間不可移動地設(shè)置并可以在自動加工中相互定位并接通?；舳鷤鞲衅鞯倪B接導(dǎo)線透穿印刷電路板，由此通過兩個相互對應(yīng)的第一和另一印刷電路板的焊接點(diǎn)實現(xiàn)無需移動元件的電連接。
為了使測量探針既用于磁感應(yīng)方法也用于渦流方法而有利地規(guī)定，一個線圈與霍耳傳感器同心地設(shè)置在另一印刷電路板上，以便根據(jù)金屬和非金屬層厚測量選擇適當(dāng)?shù)臏y量方法，由此只通過一個探針就能夠?qū)崿F(xiàn)層厚的測量。所述線圈的連接導(dǎo)線集成在印刷電路板上并以類似于霍耳傳感器的線圈構(gòu)成。也可以選擇使連接導(dǎo)線從另一印刷電路板中引出來并位于第一印刷電路板上。因為元件相互間不移動，所有沒有折斷的危險。
按照另一可選擇的測量探針結(jié)構(gòu)規(guī)定，所述第一印刷電路板與一個容納區(qū)段連接，該容納區(qū)段不僅至少容納一個用于渦流測量方法的線圈，而且該容納區(qū)段最好位于安裝截球體附近并容納至少一個用于磁感應(yīng)測量方法的初級和次級線圈。同樣一個霍耳傳感器和與其同心的另一線圈位于容納區(qū)段上。
所述測量探針的一個可選擇的實施例具有用于按照磁感應(yīng)方法實現(xiàn)測量的一個初級和次級線圈，它們配屬于一個軟磁鐵，最好一個是罐形磁鐵。這些初級和次級繞組從屬于至少第一印刷電路板或在從屬于第一印刷電路板的容納區(qū)段上并可以例如通過一條柔性帶或通過單獨(dú)的連接導(dǎo)線與第一印刷電路板連接。在安裝狀態(tài)這些元件相互間不可移動地定位。
所述測量探針的至少第一印刷電路板具有一個振蕩器。由此可以使振蕩器與線圈之間的臨界導(dǎo)體行程短接，由此可以提高測量質(zhì)量并減小導(dǎo)體橫截面?？梢源嬖谄渌糜陔娐?、計算和/或輸出數(shù)據(jù)所需的元件。
所述測量探針的一個有利擴(kuò)展結(jié)構(gòu)規(guī)定，至少第一印刷電路板和傳感元件通過不導(dǎo)電的材料固定地澆鑄在殼體中。所述柔性連接導(dǎo)線通過一個開孔從殼體中引出來。通過加入這種材料使元件相互固定在其位置上，由此防止在使用和運(yùn)輸測量探針期間由于振動使接觸點(diǎn)斷開也包括削弱的危險。
按照本發(fā)明的一個有利結(jié)構(gòu)規(guī)定，所述至少第一印刷電路板通過一個最好長縫形的空隙從殼體的一個蓋板里至少部分地引出來。該蓋板最好是金屬的。通過該蓋板與印刷電路板之間的釬焊連接可以通過簡單的方式得到電位平衡。
為了使從測量探針殼體里引到外面的柔性導(dǎo)線帶只承受彎曲負(fù)荷，在測量探針的殼體上配有一個榫銷或一個槽，以便通過容納體的一個互補(bǔ)的部件對于測量探針起到防止轉(zhuǎn)動的作用。
所述測量探針的殼體在一個容納體中通過導(dǎo)向體固定。為此在殼體上也在用于測量探針的包圍殼體的容納體上配有例如軸向延伸的凸起，以便實現(xiàn)一個三點(diǎn)或五點(diǎn)支承。
按照本發(fā)明的測量探針優(yōu)選用于手提儀器。也可以選擇，測量探針也被一個殼體包圍，它包括一個用于固定的測量儀器或一個通訊模塊的連接導(dǎo)線，或者作為手動測量探針。所述殼體可以例如包括一個彈性加載的導(dǎo)向套，以便能夠?qū)y量探針可靠地安放和貼靠在測量對象上。


下面借助于在附圖中所示的實施例詳細(xì)描述和解釋本發(fā)明以及其它有利的結(jié)構(gòu)形式和擴(kuò)展結(jié)構(gòu)。從說明書和附圖中得出的特征可以本身獨(dú)立地應(yīng)用或者按照本發(fā)明進(jìn)行任意組合。附圖中圖1示出一個按照本發(fā)明的測量探針的示意橫截面圖，該測量探針定位在一個容納體里，圖2示出圖1中的測量探針的示意底視圖，圖3示出一個測量探針的結(jié)構(gòu)元件的示意細(xì)節(jié)圖，圖4示出一個沿著圖3中截切線III-III的截面圖，圖5示出用于裝置的所述測量探針的一種可選擇的觸點(diǎn)接通的示意圖。
具體實施例方式
在圖1中示出一個用于測量薄層厚度的裝置的測量探針11。這個測量探針11用于無損毀地測量層厚。該測量探針11包括一個殼體12，它安裝在一個容納體13里面。這個容納體13可以是一個固定儀器或一個手提儀器形式的層厚測量儀器的一部分。同樣這個容納體可以位于一個手提測量探針里面。該測量探針11包括一個第一印刷電路板16，它配屬于另一印刷電路板17。所述印刷電路板16，17通過一種材料18固定嵌入在所述殼體12中，其中在殼體12的下端設(shè)有一個安裝截球體19，它從殼體12的下端突出來。所述殼體12在一個上端通過一個最好金屬的蓋板21封閉。一個彈簧元件23作用于該蓋板21的一個外表面上，該彈簧元件使測量探針11移動到一個下端位置，在此，測量探針11從容納體13中突出來。在將測量探針11安放到一個沒有詳細(xì)示出的測量對象上面時，所述測量探針11可沉入到容納體13中，一直到例如容納體13貼靠在測量對象上。為了防止測量探針11轉(zhuǎn)動，在殼體12上設(shè)有一個凸起或榫銷26，它在容納體13的一個槽27里面導(dǎo)引。這樣一種防止轉(zhuǎn)動也可以包括其它任意的滿足防止轉(zhuǎn)動功能的實施方式。所述容納體13通過一些軸向延伸的凸起導(dǎo)引，這些凸起不僅可以位于殼體12的外圓周上而且也可以位于容納體13的內(nèi)圓周上。
第一印刷電路板16穿過蓋板21中的一個長縫形開孔31從殼體12中引出來并具有接觸點(diǎn)32，它們規(guī)定用于電位平衡。也可以選擇在印刷電路板16的接觸元件與支承式開孔31之間設(shè)置一個加壓裝置。
所述印刷電路板16包括一個固定層34和一個柔性層36。該固定層34構(gòu)成一種支承結(jié)構(gòu)，在其上配有用于傳感元件37，38的電氣元件。所述柔性層36例如設(shè)在固定層34上并與固定層34分離。所述柔性層36包括一個由柔性帶39構(gòu)成并包圍著一些連接導(dǎo)線41的區(qū)段，連接導(dǎo)線被柔性帶39包圍著從殼體12中引出去。優(yōu)選設(shè)有一條柔性帶39，通過它使測量探針11的部件所需的所有連接導(dǎo)線41引入殼體12或從殼體12引出。在柔性帶39的一個端部上配有一個連接片42，它通過一個插塞連接器定位在測量裝置的另一連接部件上。這另一連接部件可以包括一個數(shù)據(jù)處理單元，如計算、存儲、輸出和/或評價單元。同樣這個插塞連接器可以設(shè)置在一根信號導(dǎo)線上，該導(dǎo)線通到一個固定的測量儀器。
所述印刷電路板的概念不僅可以在傳統(tǒng)意義上進(jìn)行理解，即設(shè)置一些導(dǎo)體帶和電器件和類似部件，而且還作為容納傳感元件連接導(dǎo)線的部件，以便轉(zhuǎn)接到至少一條柔性帶中。
在圖2，3和4中示出測量探針11的組成部分細(xì)節(jié)圖。在附圖中所示的測量探針11能夠根據(jù)磁感應(yīng)和渦流原理進(jìn)行測量。渦流方法用于測量有色金屬上的不導(dǎo)電層，如鋁、銅、黃銅、高級合金鋼的油墨、油漆、塑料層或鋁材上的陽極氧化層。優(yōu)選使用大于1000Hz的頻率。層厚測量在例如直達(dá)1500μm的測量范圍里實現(xiàn)。磁感應(yīng)測量方法適用于測量有色金屬層的厚度，如鋼和鐵上的鉻、銅、鋅或類似材料，也適用于測量鋼和鐵上的油墨、油漆和塑料層。測量范圍例如在層厚直到1800μm。優(yōu)選使用至少300Hz的頻率。
對于這兩種測量原理例如存在下列組成部分。在印刷電路板17上設(shè)置一個由四極或六極霍耳傳感器構(gòu)成的傳感元件37，它通過四個釬焊點(diǎn)43與印刷電路板17接觸。在印刷電路板17內(nèi)部設(shè)有一個用于接觸點(diǎn)44的連接導(dǎo)線49。如同圖4的截面圖所示，這個接觸點(diǎn)44設(shè)計成四塊。這個接觸點(diǎn)44與印刷電路板16的一個接觸點(diǎn)相對應(yīng)，使得在如圖1和3所示的安裝狀態(tài)，通過沒有外露連接導(dǎo)線的一個焊接點(diǎn)實現(xiàn)導(dǎo)電的數(shù)據(jù)連接。這個焊接點(diǎn)可以過程自動化地加工。
所述霍耳傳感器37在一側(cè)容納所述安裝截球體19。該安裝截球體19在高度上設(shè)計得很微小，使得所述霍耳傳感器37盡可能近地位于安裝截球體19的平面上并由此朝向測量對象的測量表面。所述安裝截球體19由紅寶石或鉆石制成。在對置的一側(cè)設(shè)有一個場聚焦器47和磁鐵48。該場聚焦器47由含有微量剩磁的軟鐵構(gòu)成。
所述印刷電路板17與第一傳感元件37同心地支承另一傳感元件38，該傳感元件由線圈51構(gòu)成。所述線圈51設(shè)計得盡可能地小。在直徑上測量線圈包圍霍耳傳感器。這個線圈51安置、組合或澆鑄在印刷電路板17里面并且其連接導(dǎo)線通引到接觸點(diǎn)52。這些接觸點(diǎn)52另一方面與印刷電路板16的接觸點(diǎn)相對應(yīng)。因此印刷電路板16和17的接觸點(diǎn)44和52可以通過簡單的釬焊連接相互連接并實現(xiàn)電路接通。也可以選擇將線圈51的連接導(dǎo)線穿過印刷電路板17引出來，以便將其設(shè)置在第一印刷電路板16的獨(dú)立的焊接片53上。此外可以將接觸點(diǎn)44和52連接在一起。為了將線圈51定位在印刷電路板17上面或里面，可以選擇將線圈在場聚焦器47上靠近霍耳傳感器37設(shè)置。為了在鐵上進(jìn)行測量，通過一個高頻交變場激勵該霍耳傳感器37。在一個低頻直流場中，霍耳傳感器37只在鐵上反應(yīng)。
所述印刷電路板16具有一個U形結(jié)構(gòu)。固定層34是遠(yuǎn)離的，以便使柔性層36可以從一個殼體12中伸出來。在磁軛56區(qū)域設(shè)有電氣元件，例如一個用于所述線圈51的振蕩器57。柔性導(dǎo)線帶39在磁軛56里面過渡到柔性層36中。所述傳感元件37，38也包括電氣元件如振蕩器57的連接導(dǎo)線41設(shè)置或集成在印刷電路板16上并在磁軛56區(qū)域通到柔性帶39里面。
按照圖4所示的印刷電路板17在俯視圖上看去具有一個開孔61，以便容納場聚焦器47。在這個開孔61的左側(cè)和右側(cè)延伸出一個槽形凹下62，它用于定位和固定印刷電路板16。為了裝配，將預(yù)加工好的印刷電路板16，17相互定位，使得印刷電路板16在凹下62中垂直于印刷電路板17豎立。接著將兩個印刷電路板16，17相互固定，例如粘接、卡緊、焊接并將接觸點(diǎn)44和52通過釬焊連接相互連接。
所述印刷電路板16在磁軛56區(qū)域具有相對于側(cè)面突出來的區(qū)段64。這些區(qū)段在對印刷電路板16覆面時作為與各相鄰印刷電路板16的連接體，使得在加工這種印刷電路板16時，可以以多倍效益進(jìn)行加工并且這些區(qū)段用來作為分離和印刷電路板16時的理論斷裂點(diǎn)。在所述印刷電路板16磁軛56的上部區(qū)域配有用于電位平衡的接觸點(diǎn)32。
為了僅按照磁感應(yīng)方法進(jìn)行測量，所述測量探針11可以包括一種結(jié)構(gòu)，在該結(jié)構(gòu)中不建議使用傳感元件38。傳感元件37可以位于設(shè)在印刷電路板17上或者也可以直接設(shè)在印刷電路板16上，或者所述印刷電路板16可以具有一個與磁軛56相對置的區(qū)段，在該區(qū)段上直接設(shè)置傳感元件37。也可以選擇，所述傳感元件37通過連接導(dǎo)線固定在印刷電路板16上，該傳感元件例如連接到一條柔性帶39。
也可以選擇使用一個霍耳傳感器作為傳感元件37并使用一個線圈51作為傳感元件38，一個具有磁鐵或罐形磁鐵的初級和次級線圈設(shè)置在印刷電路板17上，以便能夠按照磁感應(yīng)方法實現(xiàn)測量。初級和次級繞組的連接導(dǎo)線可以通過一條柔性帶39固定到印刷電路板16上或直接接通到印刷電路板16的接觸點(diǎn)上。通過將元件埋入一種物質(zhì)、如樹脂、澆鑄或充填材料或類似物質(zhì)里面，使部件不相互移動，因此不會產(chǎn)生焊接點(diǎn)斷裂的危險。為了實現(xiàn)測量方法優(yōu)選將用于磁感應(yīng)和渦流方法的元件集成在印刷電路板17里面或設(shè)置在其上面。在印刷電路板17上設(shè)有一個霍耳傳感器、至少一個第一和一個第二線圈，它們在直徑上和/或圈數(shù)上是不同的。通過一個相應(yīng)的元件電路，可以根據(jù)測量目的，即層厚和載體材料和覆層的類型來控制用于進(jìn)行測量的各元件。
在圖5中示出一個可選擇的實施方式，用于將所獲得或檢測到的信息通過連接導(dǎo)線41傳遞到一個數(shù)據(jù)處理器。例如至少一個接觸排71位于容納體13的一個內(nèi)表面上，該接觸排與插頭53的一個接觸簧72耦聯(lián)，該插頭定位在殼體12上。該插頭53容納所述連接片42。在這個實施例中，殼體12通過蓋板21封閉。根據(jù)連接導(dǎo)線41的數(shù)量可以配有相應(yīng)數(shù)量的接觸簧72和接觸排71。這種接觸基于一種滑接觸點(diǎn)的原理，它可以使殼體12在容納體13里面進(jìn)行相對運(yùn)動。也可以用一個接觸銷或類似部件代替接觸簧72。這樣一種布置也可以鏡像地構(gòu)成。這種布置具有在將殼體12裝進(jìn)容納體13以后無需其它裝配工作地實現(xiàn)連接的優(yōu)點(diǎn)。
由一個固定層和一個柔性層構(gòu)成的印刷電路板結(jié)構(gòu)，也稱為剛性-柔性-印刷電路板。這個印刷電路板可以包括一條或多條柔性帶39，在該柔性帶中容納一根或多根防止移動斷裂的連接導(dǎo)線。同樣第一和至少另一印刷電路板也可以通過一條柔性帶相互連接。
權(quán)利要求
1.一種測量探針，尤其用于一種測量薄層厚度的裝置，所述測量探針具有一個殼體(12)和一個安裝截球體(19)，所述殼體具有至少一個印刷電路板(16)和至少一個配屬于該印刷電路板(16)的傳感元件(37、38)，所述安裝截球體設(shè)置在殼體(12)的下端部上，其特征在于，至少一條柔性帶(39)設(shè)置在至少一個印刷電路板(16)上，該柔性帶包括至少一根連接導(dǎo)線(41)。
2.如權(quán)利要求1所述的測量探針，其特征在于，所述柔性帶(39)在自由端具有一個連接片(42)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的測量探針，其特征在于，所述至少一個印刷電路板(16)由一個固定層(34)和一個柔性層(36)組成并且所述柔性層(36)設(shè)置成例如與固定層(34)分離并設(shè)計成柔性帶(39)。
4.如上述權(quán)利要求中任一項所述的測量探針，其特征在于，所述柔性帶(39)從殼體(12)中引出來。
5.如上述權(quán)利要求中任一項所述的測量探針，其特征在于，所述至少一個印刷電路板(16)和至少一個傳感元件(37、38)相互間固定地設(shè)置。
6.如上述權(quán)利要求中任一項所述的測量探針，其特征在于，所述第一印刷電路板(16)配備至少另一印刷電路板(17)，該至少另一印刷電路板容納至少一個傳感元件(37、38)。
7.如上述權(quán)利要求中任一項所述的測量探針，其特征在于，所述第一和至少另一印刷電路板(16、17)相互固定連接并在相互鄰接區(qū)域具有一些接觸點(diǎn)(44、52)，這些接觸點(diǎn)可以相互連接。
8.如權(quán)利要求1至6中任一項所述的測量探針，其特征在于，所述印刷電路板(16)和至少另一印刷電路板(17)通過至少一條柔性帶(39)連接，該柔性帶具有至少一根連接導(dǎo)線。
9.如權(quán)利要求1至6中任一項所述的測量探針，其特征在于，所述第一和至少另一印刷電路板(16、17)設(shè)計成一體。
10.如權(quán)利要求1至6中任一項所述的測量探針，其特征在于，所述至少另一印刷電路板(17)容納一個穿過接觸點(diǎn)設(shè)置的由霍耳傳感器構(gòu)成的傳感元件(37)并相對置地設(shè)置一個由該印刷電路板(17)所容納的場聚焦器(47)和磁鐵(48)。
11.如權(quán)利要求10所述的測量探針，其特征在于，所述由霍耳傳感器構(gòu)成的傳感元件(37)包括連接導(dǎo)線(49)，這些連接導(dǎo)線穿過所述印刷電路板(17)并通過連接點(diǎn)(44)接通在第一印刷電路板(16)上。
12.如權(quán)利要求1至6中任一項所述的測量探針，其特征在于，所述至少另一印刷電路板(17)具有一個與第一傳感元件(37)同心設(shè)置的第二傳感元件(38)，該第二傳感元件由線圈構(gòu)成，其連接導(dǎo)線(54)設(shè)在第一印刷電路板(16)上。
13.如權(quán)利要求7所述的測量探針，其特征在于，所述接觸點(diǎn)(44、52)作為焊接點(diǎn)設(shè)在第一和另一印刷電路板(16、17)的范圍內(nèi)。
14.如權(quán)利要求1至5中任一項所述的測量探針，其特征在于，在所述第一印刷電路板(16)上可以安置一個容納區(qū)段，該容納區(qū)段容納所述傳感元件(37、38)并且所述容納區(qū)段可拆卸地、不可拆卸地、固定地或與第一印刷電路板(16)一體地構(gòu)成。
15.如權(quán)利要求14所述的測量探針，其特征在于，所述至少一個傳感元件(37、38)包括用于磁感應(yīng)測量的一個初級繞組和一個次級繞組、至少一個用于渦流測量的線圈或一個組合。
16.如上述權(quán)利要求中任一項所述的測量探針，其特征在于，所述第一印刷電路板(16)具有至少一個振蕩器(57)。
17.如上述權(quán)利要求中任一項所述的測量探針，其特征在于，所述第一印刷電路板(16)和至少一個傳感元件(37、38)通過不導(dǎo)電的材料固定地澆鑄在殼體(12)中。
18.如上述權(quán)利要求中任一項所述的測量探針，其特征在于，一個優(yōu)選金屬制成的蓋板(21)設(shè)在殼體(12)上，該蓋板具有一個長縫形開孔(31)，該開孔用于容納第一印刷電路板(16)。
19.如上述權(quán)利要求中任一項所述的測量探針，其特征在于，所述殼體(12)在一個外表面上具有一個凸起(26)或一個凹下作為防轉(zhuǎn)動裝置。
20.如上述權(quán)利要求中任一項所述的測量探針，其特征在于，在所述殼體(12)的一個外表面上設(shè)有一個軸向?qū)к?，該軸向?qū)к壈ㄖ辽偃齻€沿著殼體壁延伸的凸起(29)。
21.如上述權(quán)利要求中任一項所述的測量探針，其特征在于，所述殼體(12)可以裝進(jìn)一個用于測量薄層厚度的裝置中并且具有至少一根連接導(dǎo)線(41)的柔性帶(39)通過一個插塞連接器與一個數(shù)據(jù)處理器或一根信號導(dǎo)線連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種測量探針，尤其用于一種測量薄層厚度的裝置，所述測量探針具有一個殼體(12)，和一個安裝截球體(19)，所述殼體具有至少一個印刷電路板(16)和至少一個從屬于該印刷電路板(16)的傳感元件(37、38)，所述安裝截球體設(shè)置在殼體(12)的下端部上，其特征在于，一條具有至少一根連接導(dǎo)線(41)的柔性帶(39)設(shè)置在至少一個印刷電路板(16)上并從殼體(12)中引出來。
文檔編號G01B21/08GK1519535SQ20031011498
公開日2004年8月11日 申請日期2003年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月15日
發(fā)明者(發(fā)明人要求不公布其姓名), 人要求不公布其姓名) 申請人:赫爾穆特菲舍爾房地產(chǎn)有限及兩合公司