專利名稱：多功能探針卡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種多功能探針卡，特別是指一種應(yīng)用在常見的探針卡，可量測探針卡的狀態(tài)，并可記錄探針卡完整參數(shù)資料及提供即時顯示或警示的多功能探針卡。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造過程中，于晶圓制造完成后，便需進(jìn)入晶圓(此封裝前階段的晶圓又稱為裸晶)測試階段。晶圓測試是利用一測試機(jī)臺與一探針卡(probe card))來測試晶圓上的各個芯片，以確保所制造出的晶片的電氣特性與性能是否符合設(shè)計出的規(guī)格。測試機(jī)臺是經(jīng)特殊設(shè)計使其探測頭可以裝上細(xì)如毛發(fā)的探針，用來與晶片上的焊墊(pad)接觸，以便對晶片輸入訊號或偵讀輸出值。
在進(jìn)行晶片測試時，未能通過測試的晶片會被標(biāo)上不良品的標(biāo)示記號，而在其后進(jìn)行晶片切割時被篩檢出來，且功能正常的晶片才能進(jìn)行下一階段的封裝制程。晶片測試為減低成本與提高良率不可缺少的過程。優(yōu)質(zhì)的探針卡是探針卡制造研發(fā)單位所需努力的目標(biāo)。
如圖1所示，第一種已有的探針卡10，包含一印刷電路板(PCB，Printed CircuitBoard)11、多個導(dǎo)電座(Pogo)14、多個導(dǎo)線12、一轉(zhuǎn)接環(huán)15、一探測頭(Probe Head；PH)13、和多個探針(Probe Needle)17。在進(jìn)行測試中的裸晶16稱為待測物(DUT，deviceunder test)。探針卡的電性連接是由電源(圖中未顯示)經(jīng)測試機(jī)臺的導(dǎo)電座針腳(pogopin)(圖中未顯示)，通過導(dǎo)電座14，再透過PCB 11的內(nèi)部導(dǎo)體繞線(trace)(圖中未顯示)與導(dǎo)線12相連接。導(dǎo)線12的另一端藉由轉(zhuǎn)接環(huán)15的固定，其電性連接經(jīng)由PCB 11的中心往下延伸至探測頭13。然后，探針17藉由探測頭13的包覆與定位而接續(xù)其電性連接，因而達(dá)到傳遞訊號和測試裸晶的作用。測試機(jī)臺(圖中未顯示)藉此連接方式，以其導(dǎo)電座針腳提供電流或電壓給探針17，而裸晶16(待測物)則置于探測頭13下方與探針17相接觸，以達(dá)成測試裸晶16(待測物)的目的。
如圖2所示，第二種已有的探針卡20，包含一PCB 21、多個導(dǎo)電座(Pogo)24、一轉(zhuǎn)接環(huán)25、多個探針(Probe Needle)27、與位于轉(zhuǎn)接環(huán)25的下方并用來固定探針27的環(huán)氧樹脂23。探針卡的電性連接是由電源(圖中未顯示)，經(jīng)機(jī)臺的導(dǎo)電座針腳(pogopin)(圖中未顯示)，通過導(dǎo)電座24，再透過PCB 21的內(nèi)部導(dǎo)體繞線(trace)(圖中未顯示)而往下延伸至探針27。測試機(jī)臺藉此連接方式，提供測試用的電流或電壓給探針27，而待測物26則置于探針卡20下方與探針27相接觸，以達(dá)成測試待測物的目的。
如圖3所示，第三種已有的探針卡30，包含一印刷電路板(PCB，Printed CircuitBoard)31、多個導(dǎo)電座(Pogo)34、一基板35、一探測頭(Probe Head；PH)33、與多個探針(Probe Needle)37。在進(jìn)行測試中的裸晶36稱為待測物(DUT，device undertest)。探針卡的電性連接是由電源(圖中未顯示)經(jīng)機(jī)臺的導(dǎo)電座針腳(pogo pin)(圖中未顯示)，通過導(dǎo)電座34，再透過PCB 31的內(nèi)部導(dǎo)體繞線(trace)(圖中未顯示)與基板35相連接，由此基板35，再經(jīng)PCB 31的中心往下延伸至探測頭33。然后，探針37藉由探測頭33的包覆與定位而接續(xù)其電性連接，而達(dá)到傳遞訊號和測試裸晶的作用。測試機(jī)臺(圖中未顯示)藉此連接方式，以其導(dǎo)電座針腳(圖中未顯示)提供電流或電壓給探針37，而裸晶36(待測物)則置于探測頭33下方與探針37相接觸，而達(dá)成測試裸晶36(待測物)的目的。
由于測試環(huán)境日趨復(fù)雜，針對上述所提的第一種已有的探針卡10、第二種已有的探針卡20、和第三種已有的探針卡30的損壞原因也越來越難判斷。由于已有的探針卡10、20、30均無法自行偵測其使用狀況，我們往往需要以間接方式透過操作人員或維修人員來得知探針卡10、20、30使用的部分資訊。例如，透過抄錄儲存于測試機(jī)臺測試待測物的次數(shù)、或提供測試的電壓與電流等資料。對于維護(hù)者來說，這種診斷、維修探針卡10、20、30的方式不但耗時且麻煩，尤其在使用中的探針卡10、20、30發(fā)生異常狀況時，往往因不易被發(fā)現(xiàn)而錯過第一時間的異常處理。甚且，由于資訊的取得是透過測試機(jī)臺間接抄錄，而此使用過程資訊的記錄往往是零散的片段而非完整的記錄，其間不乏主觀臆斷或揣測而缺乏客觀或科學(xué)的數(shù)據(jù)，這會導(dǎo)致難以判斷出探針卡10、20、30的故障或錯誤問題的所在，造成診斷上的誤判。面對著晶片尺寸以及焊墊間距的日益縮小，晶片產(chǎn)品的愈趨精密，以及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的日趨復(fù)雜，探針設(shè)備與探針卡的設(shè)計與維護(hù)仍有相當(dāng)大的改進(jìn)空間，這也是晶圓測試技術(shù)未來發(fā)展的重點。

發(fā)明內(nèi)容
針對以上所述已有的技術(shù)的缺點，本發(fā)明提供一種多功能探針卡，以用來改進(jìn)至少某些已有技術(shù)中的缺點或提供有用的代替品。本發(fā)明所提供的多功能探針卡采用各種儀器和裝置以獲取客觀的參數(shù)資料來做成完整的記錄，以便于資料的擷取和分析，并可提供即時顯示及警示功能，俾有助于異常原因的判讀和診斷，以提升維修效率。
故本發(fā)明的目的之一在提供一種多功能探針卡，其具有一計數(shù)器以計數(shù)待測晶片的件數(shù)，并產(chǎn)生一「件數(shù)序列參數(shù)」、以及一電訊量測裝置以取得探針的電流、電壓等訊號，并產(chǎn)生電流、電壓等參數(shù)。
本發(fā)明的另一目的在提供一種多功能探針卡，其又具有一參數(shù)處理系統(tǒng)，能將以上產(chǎn)生的參數(shù)加以處理并做成記錄，來做分析及運算。
本發(fā)明的又一目的在提供一種多功能探針卡，其又具有一顯示和警示裝置，以做為異常原因的判讀和診斷之用。
在本發(fā)明的一實施例中，本發(fā)明的多功能探針卡中的處理單元可為一微處理器、一程序執(zhí)行記憶體、及一資料暫存記憶體，以達(dá)成程式執(zhí)行與處理資料暫存的功能。
在本發(fā)明的另一實施例中，本發(fā)明的多功能探針卡中的儲存單元可為一磁碟記錄裝置、一快閃記憶體、以及一可移動式記憶卡等的儲存裝置，以儲存該處理單元所建立的該等參數(shù)資料。
在本發(fā)明的又一實施例中，本發(fā)明的多功能探針卡中的即時顯示單元可為一液晶顯示器、一「七段顯示器」、一映像管顯示裝置、或一即時列表裝置等的可視裝置，以達(dá)成該探針卡的顯示及監(jiān)控該探針卡的狀態(tài)的功能。
在本發(fā)明的再一實施例中，本發(fā)明的多功能探針卡中的警示裝置可為一警示燈、或/及一蜂鳴器，以達(dá)成該探針卡的警示、以及監(jiān)控該探針卡的狀態(tài)的功能。
為達(dá)到上述的目的，本發(fā)明提供一種多功能探針卡，其包含一印刷電路板、多個探針、一計數(shù)晶圓件數(shù)而獲取一「件數(shù)序列參數(shù)」的計數(shù)器、一用來量測通過該探針的電流、電壓等訊號以獲取電流、電壓等參數(shù)的電訊量測裝置、以及一參數(shù)處理系統(tǒng)；該參數(shù)處理系統(tǒng)包含一輸入/輸出單元、一處理單元、一時間提供單元、一即時顯示單元與一儲存單元；透過該輸入/輸出單元，件數(shù)序列參數(shù)、電流參數(shù)、和電壓參數(shù)可輸入至由該時間提供單元所提供的該處理單元中每一該待測物的一時間基準(zhǔn)，且針對該等基準(zhǔn)、及參數(shù)來建立一參數(shù)資料結(jié)構(gòu)，來記錄、計算、并透過該即時顯示單元來顯示出該探針的使用過程和狀態(tài)。


圖1為第一種已有的探針卡的整體剖面示意圖。
圖2為第二種已有的探針卡的整體剖面示意圖。
圖3為第三種已有的探針卡的整體剖面示意圖。
圖4為本發(fā)明多功能探針卡的整體剖面分解架構(gòu)示意圖。
圖5為本發(fā)明多功能探針卡的組裝結(jié)構(gòu)示意方塊圖。
圖6為本發(fā)明多功能探針卡參數(shù)處理系統(tǒng)的較佳裝設(shè)位置的上視立體部分?jǐn)嗝鎴D。
具體實施例方式
以下是根據(jù)前述第三種已有的探針卡加以制作而成的一種多功能探針卡。如圖4及圖6所示，本發(fā)明的多功能探針卡40包含一印刷電路板(PCB，Printed Circuit Board)41、多個導(dǎo)電座(Pogo)44、一基板45、一探測頭(Probe Head；PH)43、多個探針(ProbeNeedle)47、一計數(shù)器71、一電訊量測裝置72、和一參數(shù)處理系統(tǒng)74。在進(jìn)行測試中的裸晶46稱為待測物(DUT，device under test)。探針卡的電性連接是由電源(圖中未顯示)經(jīng)機(jī)臺的導(dǎo)電座針腳(pogo pin)(圖中未顯示)，通過導(dǎo)電座44，再透過PCB 41的內(nèi)部導(dǎo)體繞線(trace)(圖中未顯示)與基板45相連接，由此基板45，再經(jīng)PCB 41的中心往下延伸至探測頭43。然后，探針47藉由探測頭43的包覆與定位而接續(xù)其電性連接，而達(dá)到傳遞訊號和測試裸晶的作用。探針47需配合待測物的微小間距，而PCB 41的內(nèi)部導(dǎo)體繞線(trace)(圖中未顯示)間距約為探針47間距的10倍以上。藉基板45的間距轉(zhuǎn)換(space transformation)，可將PCB 41的內(nèi)部導(dǎo)體繞線(trace)的大間距，轉(zhuǎn)換為探針47的較小間距，故基板45又扮演了間距轉(zhuǎn)換板(space transformer)的角色。測試機(jī)臺(圖中未顯示)藉此連接方式，以其導(dǎo)電座針腳(圖中未顯示)，提供電流或電壓給探針47，而裸晶46(待測物)則置于探測頭43下方與探針47相接觸，用以達(dá)成測試裸晶46(待測物)的目的。
計數(shù)器71是可偵測該探針卡40上任何與其連結(jié)的導(dǎo)體，此導(dǎo)體包含導(dǎo)電座44或PCB 41的導(dǎo)體繞線(圖中未顯示)，藉由此方式，與導(dǎo)電座44或PCB 41的導(dǎo)體繞線電性連接的探針可為計數(shù)器71追蹤記錄的對象。其中計數(shù)器71可量測出每一導(dǎo)體繞線上的電壓或電流訊號，然后再進(jìn)一步由計數(shù)器71判斷每一導(dǎo)體繞線上的電壓或電流訊號切換的時槽間隔(time slot internal)，并產(chǎn)生一「件數(shù)序列參數(shù)」。例如，當(dāng)測試機(jī)臺在測試時，在此待測裸晶46與下一待測裸晶46的時間間隔中，切斷提供每一導(dǎo)體繞線上的電壓或電流訊號，并啟動計數(shù)器71以計數(shù)待測物的件數(shù)。
該電訊量測裝置72可以是一電流量測器、一電壓量測器、或一電阻量測器(圖中未顯示)等。例如電流量測器(圖中未顯示)可偵測該探針卡40上任何與其連結(jié)的導(dǎo)體，此導(dǎo)體包含導(dǎo)電座44或PCB 41的導(dǎo)體繞線，則電流量測器72可偵測并擷取每一或任一導(dǎo)體繞線所通過的電流訊號，并產(chǎn)生一電流參數(shù)。
同樣的，例如電壓量測器(圖中未顯示)可偵測該探針卡40上任何與其連結(jié)的導(dǎo)體，此導(dǎo)體包含導(dǎo)電座44或PCB 41的導(dǎo)體繞線，則電壓量測器73可偵測并擷取每一或任一導(dǎo)體繞線所通過的電壓訊號，并產(chǎn)生一電壓參數(shù)。
如圖5所示，參數(shù)處理系統(tǒng)74包含一輸入/輸出單元51/59、一處理單元52、一時間提供單元55、一即時顯示單元56、及一儲存單元57，(請參閱圖6所示的參數(shù)處理系統(tǒng)74的較佳裝設(shè)位置的立體上視圖)。其中處理單元52更包含一微處理器53、一可兼具程式執(zhí)行和資料暫存記憶體功能的記憶體54。處理單元52負(fù)責(zé)程式的執(zhí)行，此實施例中的硬體需求不限于此，可依處理速度的考量增加微處理器53或記憶體54的件數(shù)。
計數(shù)器71所產(chǎn)生的「件數(shù)序列參數(shù)」、電訊量測裝置72所產(chǎn)生的電流參數(shù)、電壓參數(shù)等，則透過輸入單元51，將此等參數(shù)輸入至處理單元52，而處理單元52以件數(shù)序列參數(shù)為一待測物件數(shù)基準(zhǔn)，再由時間提供單元55提供給處理單元52每一待測裸晶的一時間基準(zhǔn)，則處理單元52進(jìn)一步針對待測裸晶件數(shù)基準(zhǔn)、電流參數(shù)、電壓參數(shù)等、和時間基準(zhǔn)建立一參數(shù)資料結(jié)構(gòu)，用來記錄探針的使用過程與狀態(tài)。例如當(dāng)探針卡40測試第n顆待測裸晶時，計數(shù)器71則產(chǎn)生件數(shù)序列參數(shù)n，電訊量測裝置72偵測后產(chǎn)生Xu(t)安培的電流參數(shù)、Yu(t)伏特的電壓參數(shù)，其中變數(shù)u表示探針47編號，而t可為任一探針47的特定連續(xù)時間間隔(particular continuous time interval)或時間點(discrete instantaneous time)，此等參數(shù)輸入至處理單元52，同時該時間提供單元55提供給處理單元52 AA:BB:CC的時間基準(zhǔn)。此處AA、BB、CC代表例如「年:月:日」、或「時:分:秒」、或「月:日:時」等等的時間基準(zhǔn)。再進(jìn)一步，處理單元52根據(jù)上述的參數(shù)建立[n，Xu(t)，Yu(t)，AA:BB:CC]的參數(shù)資料結(jié)構(gòu)，以此類推，探針卡40測試第n+1顆待測裸晶的參數(shù)資料結(jié)構(gòu)。更進(jìn)一步詳述此實施例，當(dāng)探針卡40測試第1顆待測裸晶時，計數(shù)器71則產(chǎn)生件數(shù)序列參數(shù)1的數(shù)值，而此探針卡40具有10根探針47，以u分別為a，b，c，d，e，f，g，h，i，j的編號，電訊量測裝置72同時于某一時間點偵測此10根探針47后，產(chǎn)生xa＝3.12m安培、xb＝3.22m安培、…….、xj＝3.56m安培等的電流參數(shù)，和ya＝4.51伏特、yb＝4.22伏特、…….、yj＝4.56伏特等的電壓參數(shù)，接著此等參數(shù)輸入至處理單元52，同時該時間提供單元55提供給處理單元52現(xiàn)在時間為23:10:31的時間基準(zhǔn)，表示此時為晚間23時10分31秒整，進(jìn)一步處理單元52由上述的參數(shù)建立[1，xa＝3.12m，ya＝4.51，23:10:31]、[1，xb＝3.22m，yb＝4.22，23:10:31].…[1，xj＝3.56m，yj＝4.56，23:10:31]的參數(shù)資料結(jié)構(gòu)，由上述可以此類推，探針卡40測試第2顆待測裸晶的參數(shù)資料結(jié)構(gòu)，此參數(shù)資料結(jié)構(gòu)不限于此實施例，可依使用者需要加入或刪除其它參數(shù)。
處理單元52又透過一I/O(輸入/輸出介面)介面(圖中未顯示)與即時顯示單元56儲存單元57相連接，此I/O介面僅提供參數(shù)處理系統(tǒng)74的系統(tǒng)內(nèi)部資料輸出/輸入的功能，故該也輸出介面也可稱為內(nèi)部輸出介面。當(dāng)處理單元52即時計算出每一導(dǎo)體繞線的狀態(tài)，例如Xu(t)的電流過高、第u探針47出現(xiàn)異常等，并藉由I/O介面將探針卡40的探針卡47使用過程狀態(tài)、參數(shù)資料結(jié)構(gòu)或/及狀態(tài)等資料輸出至該即時顯示單元56以達(dá)成輸出顯示的功能。其中，例如該處理單元52建立該參數(shù)資料結(jié)構(gòu)及計算出每一探針卡狀態(tài)等的動作并無前后執(zhí)行順序的限制。
即時顯示單元56可為一可視裝置，此可視裝置是為使用者可用視覺辨識了解的裝置。使用者可于任何時刻監(jiān)控探針卡40上的探針47狀態(tài)，而可視裝置包含但不限于一液晶顯示器裝置、一七段顯示器裝置、一映像管顯示裝置或一即時列表裝置，以達(dá)成清楚顯示或呈現(xiàn)該探針卡狀態(tài)的功能。即時顯示單元56可為一警示裝置，當(dāng)探針47的狀態(tài)出現(xiàn)異常時，該處理單元52可驅(qū)動警示裝置提醒或告知使用者注意，警示裝置可為一警示燈，也可為一蜂鳴器裝置以達(dá)成警示的效果。
處理單元52所建立的參數(shù)資料結(jié)構(gòu)或/及探針卡狀態(tài)送至儲存單元57儲存，此儲存單元57至少為一但不限于磁碟記錄裝置、快閃記憶體等，例如微型硬碟、嵌入式快閃記憶體等。依使用者方便，儲存單元57也可為可移動式記憶卡，例如CF Card(CompactFlash Card)、SM Card(Smart Media Card)等，當(dāng)欲取得該儲存單元57內(nèi)部資料或更換該儲存單元57時，僅需插入或移除該可移動式記憶卡，以達(dá)成使用者方便取用資料。
探針卡的狀態(tài)使用者并可透過輸出單元59將參數(shù)資料結(jié)構(gòu)或/及探針卡的狀態(tài)輸出至參數(shù)處理系統(tǒng)74以外的周邊設(shè)備或外界，故該輸出單元59也可稱為外部輸出介面，可為具獨立控制器的介面、網(wǎng)絡(luò)介面等，周邊設(shè)備或外界可為已架設(shè)的資料庫系統(tǒng)，以方便資料保存與檢視問題，例如將參數(shù)資料結(jié)構(gòu)經(jīng)過兩天的時間周期，輸出至資料庫系統(tǒng)中。
由于本發(fā)明的探針卡具有記錄狀態(tài)的功能，因此被儲存于記憶單元的數(shù)據(jù)便可在探針卡需要維修時提供客觀的參考資料，這對于維修探針卡的人員來說，就可以縮短診斷時間，并正確掌握維修及改善的方向。
同時，即時顯示單元的裝置，可以在探針卡出現(xiàn)異常狀態(tài)時，讓探針卡使用者掌握第一時間的處理，避免延遲發(fā)現(xiàn)異常所造成的更大損失。
對于探針卡的制造商而言，由于本發(fā)明的儲存單元內(nèi)的數(shù)據(jù)是記錄著該探針卡的使用歷程，故能夠追蹤探針卡的使用過程，進(jìn)而了解探針卡的生命周期，可說是一探針卡制造領(lǐng)域上的一大突破。
雖然在以上實施方式所舉的較佳具體實施例僅是根據(jù)前述第三種已有的探針卡為例而加以制作而成的一種多功能探針卡，但本發(fā)明的探針卡也可以根據(jù)前述第一、第二種已有的探針卡、以及未舉例的其它類似的已有探針卡來加以制作而成。而且該較佳具體實施例僅為了易于說明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，而并非將本發(fā)明狹義地限制于該實施例，凡依本發(fā)明的精神及權(quán)利要求范圍所列的情況所做的種種變化實施均屬本發(fā)明的范圍。
標(biāo)號說明10、20、30、40 探針卡 11、21、31、41PCB12 導(dǎo)線 13、33、43探測頭14、24、34、44 導(dǎo)電座 15、25轉(zhuǎn)接環(huán)16、26、36、46 裸晶 17、27、37、47探針23 環(huán)氧樹脂 35、45基板51 輸入單元 52處理單元53 微處理器 54記憶體55 時間提供單元 56即時顯示單元57 儲存單元 59輸出單元71 計數(shù)器 72電訊量測裝置74 參數(shù)處理系統(tǒng)
權(quán)利要求
1.一種多功能探針卡，包含一PCB、多個探針、一計數(shù)器、一電訊量測裝置、一參數(shù)處理系統(tǒng)等所構(gòu)成；其特征在于多個探針，每一該探針的一端與該一PCB相連接；一計數(shù)器，用來偵測該多功能探針卡上的該探針，以計數(shù)該探針卡所測試的待測物的件數(shù)，并產(chǎn)生一「件數(shù)序列參數(shù)」；一電訊量測裝置，用來量測通過該探針的電流、電壓等訊號，以產(chǎn)生一一電流、電壓等參數(shù)；及一參數(shù)處理系統(tǒng)，包含一輸入/輸出單元、一處理單元、一時間提供單元、一即時顯示單元與一儲存單元，其中該件數(shù)序列參數(shù)、該電流、電壓等參數(shù)可透過該輸入/輸出單元輸入至該處理單元，而該處理單元以該件數(shù)序列參數(shù)為一待測物件數(shù)基準(zhǔn)，且該時間提供單元為一可提供時間訊息并具時鐘特性的元件，由該時間提供單元將每一該待測物的一時間基準(zhǔn)提供給該處理單元，而該處理單元進(jìn)一步針對該待測物件數(shù)基準(zhǔn)、該電流參數(shù)、電壓參數(shù)、以及該時間基準(zhǔn)來建立一參數(shù)資料結(jié)構(gòu)來記錄該探針的使用過程與狀態(tài)；接著該處理單元即時計算出每一探針的狀態(tài)，并透過該即時顯示單元以顯示該探針的使用過程和狀態(tài)；其中該處理單元可建立該參數(shù)資料結(jié)構(gòu)并計算出每一探針的狀態(tài)，且這些建立或/及計算的動作并無前后執(zhí)行順序的限制，而該儲存單元可儲存該處理單元所建立的該參數(shù)資料結(jié)構(gòu)或/及該探針卡的狀態(tài)，其可包含完整記錄探針卡與其探針從出廠使用直至每一使用過程的狀態(tài)資訊，以提供使用維護(hù)者完整的探針資料，并可透過該輸入/輸出單元將該參數(shù)資料結(jié)構(gòu)及該探針卡的狀態(tài)輸出至周邊設(shè)備。
2.如權(quán)利要求1所述的多功能探針卡，其特征在于其中該計數(shù)器可量測每一該探針上的電壓或電流訊號切換的時槽間隔，以產(chǎn)生該件數(shù)序列參數(shù)，達(dá)成計數(shù)該待測物件數(shù)的功能。
3.如權(quán)利要求1所述的多功能探針卡，其特征在于其中該處理單元可為一微處理器、一程式執(zhí)行記憶體、及一資料暫存記憶體，以達(dá)成程式的執(zhí)行與處理資料暫存的功能。
4.如權(quán)利要求1所述的多功能探針卡，其特征在于其中該即時顯示單元可為一選自從一液晶顯示器、一「七段顯示器」、一映像管顯示裝置、一即時列表裝置、一警示燈警示裝置、以及一蜂鳴器警示裝置所組成的族群中的一可視裝置，以達(dá)成該探針卡的顯示、警示、以及監(jiān)控該探針卡的狀態(tài)的功能。
5.如權(quán)利要求1所述的多功能探針卡，其特征在于其中該儲存單元可為一選自從一磁碟記錄裝置、一快閃記憶體、一可移動式記憶卡所組成的族群中的一儲存裝置，以儲存該處理單元所建立的該等參數(shù)資料；其中該可移動式記憶卡是在當(dāng)欲取得該儲存單元內(nèi)部資料或更換該儲存單元時，僅需插入或移除該可移動式記憶卡，以達(dá)成使用者方便取用資料的功能。
6.一種多功能探針卡，包含一PCB、多個探針、一計數(shù)器、一參數(shù)處理系統(tǒng)；其特征在于多個探針，每一該探針的一端與該一PCB相連接；一計數(shù)器，用來偵測該多功能探針卡上的該探針，以計數(shù)該探針卡所測試的待測物的件數(shù)，并產(chǎn)生一「件數(shù)序列參數(shù)」；及一參數(shù)處理系統(tǒng)，包含一輸入/輸出單元、一處理單元、一時間提供單元、一即時顯示單元與一儲存單元，其中該件數(shù)序列參數(shù)可透過該輸入/輸出單元輸入至該處理單元，而該處理單元以該件數(shù)序列參數(shù)為一待測物件數(shù)基準(zhǔn)，且該時間提供單元為一可提供時間訊息并具時鐘特性的元件，由該時間提供單元將每一該待測物的一時間基準(zhǔn)提供給該處理單元，而該處理單元進(jìn)一步針對該待測物件數(shù)基準(zhǔn)以及該時間基準(zhǔn)來建立一數(shù)資料結(jié)構(gòu)來記錄該探針的使用過程與狀態(tài)；接著該處理單元即時計算出每一探針的狀態(tài)，并透過該即時顯示單元以顯示該探針的次數(shù)；其中該處理單元可建立該參數(shù)資料結(jié)構(gòu)并計算出每一探針的狀態(tài)，且這些建立或/及計算的動作并無前后執(zhí)行順序的限制，而該儲存單元可儲存該處理單元所建立的該參數(shù)資料結(jié)構(gòu)或/及該探針卡的狀態(tài)，其可包含完整記錄探針卡與其探針從出廠使用直至每一使用過程的狀態(tài)資訊，以提供使用維護(hù)者完整的探針資料，并可透過該輸入/輸出單元將該參數(shù)資料結(jié)構(gòu)及該探針卡的狀態(tài)輸出至周邊設(shè)備。
7.如權(quán)利要求6所述的多功能探針卡，其特征在于其中該計數(shù)器可量測每一該探針上的電壓或電流訊號切換的時槽間隔，以產(chǎn)生該件數(shù)序列參數(shù)，達(dá)成計數(shù)該待測物件數(shù)的功能。
8.如權(quán)利要求6所述的多功能探針卡，其特征在于其中該處理單元可為一微處理器、一程式執(zhí)行記憶體、及一資料暫存記憶體，以達(dá)成程式的執(zhí)行與處理資料暫存的功能。
9.如權(quán)利要求6所述的多功能探針卡，其特征在于其中該即時顯示單元可為一選自從一液晶顯示器、一「七段顯示器」、一映像管顯示裝置、一即時列表裝置、一警示燈警示裝置、以及一蜂鳴器警示裝置所組成的族群中的一可視裝置，以達(dá)成該探針卡的顯示、警示、以及監(jiān)控該探針卡的狀態(tài)的功能。
10.如權(quán)利要求6所述的多功能探針卡，其特征在于其中該儲存單元可為一選自從一磁碟記錄裝置、一快閃記憶體、一可移動式記憶卡所組成的族群中的一儲存裝置，以儲存該處理單元所建立的該等參數(shù)資料；其中該可移動式記憶卡是在當(dāng)欲取得該儲存單元內(nèi)部資料或更換該儲存單元時，僅需插入或移除該可移動式記憶卡，以達(dá)成使用者方便取用資料。
全文摘要
一種多功能探針卡包含一印刷電路板、多個探針、一計數(shù)晶圓件數(shù)而獲取一“件數(shù)序列參數(shù)”的計數(shù)器、一用來量測通過該探針的電流、電壓等訊號以獲取電流、電壓等參數(shù)的電訊量測裝置、以及一參數(shù)處理系統(tǒng)；該參數(shù)處理系統(tǒng)包含一輸入/輸出單元、一處理單元、一時間提供單元、一即時顯示單元與一儲存單元；由該時間提供單元將每一待測物的一時間基準(zhǔn)提供給該處理單元，而透過輸入/輸出單元，可將件數(shù)序列參數(shù)、電流、電壓等參數(shù)輸入至該處理單元中，且針對該等基準(zhǔn)、及參數(shù)來建立一參數(shù)資料結(jié)構(gòu)，來記錄、計算、并透過即時顯示單元來顯示出探針的使用過程與狀態(tài)。
文檔編號G01R31/28GK1665011SQ200410008279
公開日2005年9月7日 申請日期2004年3月2日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月2日
發(fā)明者孫宏川, 楊惠彬 申請人:旺矽科技股份有限公司