專利名稱：用于光學掃描計量用具的位置測量裝置的掃描單元的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種權利要求1前序部分的一種位置測量裝置的掃描單元，用于光學掃描計量用具。
背景技術：
這種掃描單元包括將光向具有光學掃描條的計量用具方向發(fā)射的光源；一接收由具有光學掃描條的計量用具改變如反射的光探測器；一設置在探測器前且具有多個光學透鏡的透鏡組，以借助光線掃描計量用具的區(qū)域在探測器上產生確定的圖象。
這種掃描單元用于通過反射方法和透射方法掃描具有編碼條的計量用具。在上述第一種情況中，由光源向計量用具發(fā)射的光通過計量用具改變和反射；在上述第二種情況中，由光源發(fā)射的光穿過(透光的)計量用具并由此改變。
EP1 099 936 A1公開了一種位置測量裝置，測量分度借助光源和CCD掃描行形式的探測器進行掃描。在計量用具上設置的測量分度和探測器之間具有多個相鄰設置在一面上的透鏡，通過其透鏡使得設置在計量用具上的測量分度在探測器上成像。

發(fā)明內容
本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種上述類型的位置測量裝置的掃描單元，使用同一探測器在反射方法和透射方法中掃描計量用具。
本發(fā)明要解決的技術問題通過具有權利要求1特征的掃描單元實現。
用于將計量用具的掃描區(qū)域在探測器上產生確定的圖象的透鏡組的成像比大于零且小于或等于2。
通過透鏡組的正的成像比實現在探測器上產生的計量用具的掃描區(qū)域不取決于具有相同空間定向的計量用具是否在反射方法或透射方法中成像。對此，在具有絕對位置信息(例如PRC編碼)的編碼條中，例如基于確定的Opto-ASIC類型的探測器，也以同樣的方式用在透射位置測量裝置中及反射位置測量裝置中；它通過正的成像比確保了計量用具編碼條的正確成像和評估。
在一優(yōu)選實施例中，透鏡組這樣構成，即成像比等于1。然而，成像比的值大于1例如可以用于放大計量用具上的很小結構。
透鏡組具有多個設置在至少一個面上的透鏡，這些透鏡的定向使改變的光與該面相交。該面既沿測量方向又垂直于該方向延伸，掃描單元沿測量方向相對于計量用具可運動。
特別是透鏡組包括兩組透鏡，它們分別設置在兩彼此平行延伸的面上，其中兩組透鏡分別成對地組成一小室并且一個小室的透鏡分別垂直于所述的面接續(xù)設置。
形成所述小室的透鏡這樣設置，即穿過一個小室的第一透鏡的經改變的光束的一部分接著到達同一小室的第二透鏡，其中優(yōu)選穿過一個小室的第一透鏡的經基本全部的光束接著到達小室的第二透鏡，但不到達另一小室的第二透鏡。
本發(fā)明透鏡組的成像比特別是這樣實現的，即對于各小室，兩透鏡的成像比的乘積小于或等于1，特別是等于1。特別優(yōu)選的是，對于各小室，光線到達第一透鏡的成像比的值小于光線接著到達第二透鏡成像比的值。這意味著，由相應小室的第一透鏡產生的中間圖象具有的延伸小于由該小室的兩透鏡接著在探測器上產生的計量用具被掃描區(qū)域的圖象。
通過各小室的第一透鏡的成像比的值遠小于第二透鏡的值，使得穿過一個小室的第一透鏡的光束的光線不到達另一小室的第二透鏡，沒有采用光闌結構就避免了相鄰小室之間的串擾。對此，透鏡組的第一組和第二組的透鏡的焦距不相等，其中改變的光線首先穿過的透鏡焦距優(yōu)選大于另一小室的第二透鏡的焦距。
另外可以設置光闌結構，避免相鄰小室之間的串擾。其光闌結構例如設置在首先穿過改變光線的透鏡組的面上。此外，光闌結構也可設置在透鏡的兩組之間。對此，各小室配有獨立的光闌結構的光闌。
透鏡組的各透鏡優(yōu)選呈圓柱凸形并在俯視圖上呈矩形、橢圓形或徑向對稱。
為了形成各透鏡，適合采用衍反射件。
另外，透鏡組的透鏡例如只沿著相應位置測量裝置的測量方向具有部分聚焦的光學作用。
在計量用具達到之前或改變之后由計量用具借助至少一個為此設置的在計量用具之前或之后的透鏡(聚光透鏡)可以使得由光源產生的且通過計量用具改變的光線平行。也可以通過衍射光使掃描單元工作。
具有本發(fā)明掃描單元和具有至少一個光學掃描條的掃描計量用具的位置測量裝置特征在于權利要求20的特征。
計量用具的光學掃描條可以是由適合的線形行掃描傳感器掃描的絕對編碼條，或是適用于適合的公知探測器的增量條。如果在計量用具上既具有編碼條又具有增量條，與此相應地探測器包括適合掃描編碼條的探測區(qū)域和適合掃描增量條的探測區(qū)域。
本發(fā)明其它特征和優(yōu)點參照附圖描述的實施例變得更為清楚。


圖1示出了具有在反射方法中掃描計量用具的掃描單元的位置測量裝置，其中在計量用具和位置測量裝置的探測器之間設置透鏡組；圖2為圖1透鏡組一部分的斷面圖；圖3示出了圖2透鏡組的變型；圖4示出了圖2透鏡組的另一變型；圖5示出了圖1透鏡組一面上的頂視圖。
圖1示出了一位置測量系統(tǒng)，它用于沿測量方向M進行縱向測量，包括一計量用具2和相對于計量用具2沿測量方向M可運動的掃描計量用具2的掃描單元1。
計量用具2具有由沿測量方向M延伸的直線周期性標線構成的增量條21以及同樣沿測量方向M延伸的設置在其增量條旁邊的編碼條22(例如PRC碼)，其編碼條包括絕對位置信息。通過在掃描單元1相對于計量用具2在測量方向運動時借助掃描單元1掃描其增量條21，測出掃描單元1相對于計量用具2運動(相對運動)的大小。其編碼條22與此相對地確定掃描單元1相對于計量用具2的相應絕對位置。
用于掃描計量用具2的光電掃描單元1包括一電路板10，在其上設置由發(fā)光二極管構成的光源11以及距光源11一定距離的光電探測器19，光電探測器19具有交替的光敏區(qū)和光敏空白，它們的定向與相應測量部分21、22的定向相匹配。光電探測器19可以根據DE 100 22619 A1公開的光電探測器構成。
具有光源11和光電探測器19的電路板10設置在掃描殼體中，其朝向光源11的側壁12成鏡面地構成反射面并將由光源11發(fā)出的光束L反射到聚光透鏡13上，通過聚光透鏡13使得光束11成為平行光束穿過構成掃描殼體底面的玻璃板15射到計量用具2上。
在增量條21之上的玻璃板15具有柵結構的一個掃描光柵，它與計量用具2的增量條21的光柵常數略有不同，由兩個柵結構的相互作用在中間面中產生虛線紋圖，例如所謂的游標式線紋圖，它經透鏡組3、4投射到探測器19上。在編碼條22上的玻璃板15沒有上述結構。
如圖1所示，位置測量系統(tǒng)由以反射方法工作的系統(tǒng)構成，使得由光源11發(fā)出的并借助聚光透鏡13成平行的光線經過玻璃板15由計量用具2反射，通過計量用具2的增量條21和玻璃板15的光柵結構的共同作用，產生確定的線紋圖或通過經編碼條修正的光束產生編碼條22的PRC碼特性圖象。另外，聚光透鏡也可設置在計量用具和透鏡組之間。
下面進一步描述在探測器19上的編碼22校正圖象的形成情況，因為透鏡組3、4的圖象具有正成像比是特別的意義。
反射光到達由兩組透鏡構成的透鏡組3、4，它們分別設置在兩平行分布的面30、40上。兩透鏡組3或4的每一個包括多個彼此設置在相應面30、40上的透鏡(所謂的顯微透鏡組)。分布有透鏡組的兩組透鏡3、4的面30、40這樣形成，即它們與在計量用具2上反射的光束L基本垂直相交。此外，所述的兩面也可以在掃描單元殼體中與計量用具平行設置。
對于這種由彼此以一定距離且平行設置的兩透鏡組構成的雙透鏡組，第二透鏡組4的單透鏡可以組合到第一透鏡組3的每個單透鏡中。由此，通過沒有波導結構的透鏡實現了正的成像比即成像比的值大于零，特別是其值為1。這樣的成像比可以使得單透鏡的圖象部分以確定的空間定向彼此連續(xù)相接。通過使用具有沿光軸彼此間隔設置的兩透鏡組3、4的透鏡組可以使得在較小結構高度下大面積地掃描計量用具2并由此使得位置測量系統(tǒng)的結構緊湊。
這種透鏡組結構的特殊優(yōu)點是，成像比的值為1。兩透鏡組3、4采用相同的光柵即在相應面30、40中的單透鏡排列相同，使得由透鏡組3、4在探測器19上產生的圖象的(相應不連續(xù)的)圖象部分直接彼此連續(xù)過渡。這樣，經整個透鏡組形成完整的圖象。
圖2示出了圖1透鏡組3、4的橫截面圖的一部分，它包括透鏡組的三個小室31a，41a；31b，41b；31c，41c。一個小室31a，41a；31b，41b；31c，41c分別為兩前后設置的單透鏡31a，41a或31b，41b或31c，41c，其中一個小室的兩透鏡中一個屬于第一透鏡組3，而另一個屬于透鏡組3、4的第二透鏡組4。
在圖2中以舉例方式示出的透鏡組3、4的一部分中可以看到中心部分31b、41b，它包括構成第一透鏡組3的透鏡31b和構成第二透鏡組4的透鏡41b，以及可以看到設置在該中心透鏡組兩側的兩個另外的透鏡組31a、41a和31c、41c。劃成小室的透鏡組3、4的作用下面將參照圖2的中心小室31b、41b作進一步的描述。
中心小室31b、41b包括第一單透鏡31b以及第二單透鏡41b，其中的第一單透鏡31b形成第一透鏡組3(參照圖1)的構件并設置在相應的面30上，而第二單透鏡4沿光軸A設置在小室的第一單透鏡31b的后面并作為第二單透鏡4的構件設置在相應平行的面40上。以相同方式，其它小室31a、41a；31c、41c的單透鏡沿透鏡組3、4的光軸A分別一個接一個地設置?？傮w而言，小室的第一透鏡31a、31b、31c形成第一透鏡組3，而相應小室的第二透鏡41a、41b、41c形成透鏡組3、4的第二透鏡組4。
圖2示出了由計量用具2(參照圖1)反射的平行光束B，它基本沿透鏡組3、4的光軸A平行延伸并在計量用具2上反射時，通過編碼條22的編碼校正，在圖2中由其編碼以舉例方式表示的部分作為對象0。
編碼條22借助透鏡組3、4投射到掃描單元1的探測器19上(參照圖1)，下面以舉例方式參照對象0和透鏡組3、4的小室31b、41b描述。對此，只示出了平行光束B的一束光線L。
由表示編碼條的對象0借助相應小室31b、41b的第一透鏡31b形成中間圖像0’，而后借助小室31b、41b的第二透鏡41b在探測器19(參見圖1)上產生評估圖像0”。由于透鏡組3、4和特別是上述的各單透鏡的成像比β是相等的，圖像0”與表示編碼條的對象0的空間定向和大小是相同的。就此，通過借助圖1所描述的透鏡組產生編碼條的圖像，該圖像與在透射方法中掃描材料顯示體時形成的圖像相同。對于在透射方法和反射方法中進行掃描的位置測量裝置，均可使用整體型探測器。
下面，歸納圖2所示裝置的重要特點和優(yōu)點。
成像比β＝1的主要優(yōu)點是小室的第二透鏡41b的像距b2的改變相對于小室31b、41b的第一透鏡31b的物距g1改變b2/g1＝-β2＝-1由其關系可知，兩透鏡組相對于固定對象0和相應的圖案0”進行略微的移動還可以得到清晰的圖像。這樣，可以在裝配透鏡組3、4時允許較大的公差。
為了借助透鏡組3、4獲得對象即編碼條延伸區(qū)域的上述適合的1∶1圖像，其中成像區(qū)域要明顯大于透鏡組單透鏡的延伸，相應小室31b、41b的第一透鏡31b和第二透鏡41b的成像比β1和β2必須滿足的關系是β1*β2＝1其中β1和β2均為負值且進行選擇，以獲得最佳的圖象質量特性。
下面首先要提出的是，兩透鏡組3、4各透鏡的焦距f相同，由透鏡組3、4的各小室(如31b、41b)形成的(形成中間圖像0’的)第一圖像具有成像比β1，而第二圖像具有成像比β2，g1和b1表示第一圖像的物距和像距，g 2和b2表示(形成圖像0”的)第二圖像的物距和像距，D表示小室的兩透鏡31b、41b距離與焦距f之差，其滿足f+D＝b1+g2＝f(1+|β1|)+f(1+1/|β2|)其中通過將b1和g2的成像方程進行了變換。
如果β1*β2＝1，則D＝f*(1+2*|β1|)在圖2中用陰影線表示在準直照射下對應于中心小室31b、41b的光束B的相應分布。對應中心小室31b、41b的光束B包括所有穿過小室31b、41b第一透鏡31b的光線L。從圖2中可以看出，光束B光線在第一透鏡31b的焦點上聚焦并隨后發(fā)散。這樣，光束B的光線沒有全部到達相應小室31b、41b的第二透鏡41b，而是還到達其它小室31a、41a或31c或41c的第二透鏡41a、41c。這種串擾會影響各小室的相應圖象情況且由此在各小室上散光。為了減少這種串擾，要盡量減小小室兩透鏡31b、41b距離與焦距f之間的差值D，這樣，它可以限定在焦距f之后的散開的光錐的發(fā)散。根據上述方程式，這可以通過減小第一圖象的成像比β1實現。
特別優(yōu)選的條件在于第一和第二透鏡組3、4的透鏡光柵常數相等，差值D等于相應小室31b、41b的第一透鏡31b的焦距f。沿光軸(即垂直于透鏡組3、4的面30、40)產生的準直的光束B通過第一透鏡組3的相應透鏡31b準確地在第二透鏡組的相應單透鏡41b上成像。這樣，不會在相鄰單透鏡上產生串擾。
圖3示出了相應的設置。在成像比β＝1時g1＝2*f12/(f1-f2)b2＝2*f1*f2/(f1-f2)β1＝1/β2＝(f1-f2)/(f1+f2)及b2/g1＝f2/f1＜1為了避免串擾，因此規(guī)定將成像比β＝1的整個圖像分成成像比|β1|＜＜1的第一小圖像和成像比|β2|＞＞1的第二大圖像。
根據圖3消除了串擾情況，即在第一和第二透鏡組3、4的透鏡光柵常數相等且考慮了對第一和第二圖像的上述規(guī)定的情況下，所選擇的第二透鏡41b的焦距f2小于第一透鏡31b的焦距f1，參見圖3。
此外，鑒于其它影響因素最好兩圖像這樣構成，即首先形成小的圖像，接著形成大的圖像。由此，通過裝配操作公差的作用改變第一圖像的物距g1，例如其大小為0.1mm。由于g1＝f1*(1+1/β1)，圖像從實像變?yōu)樘撓瘢攟f1/β1|的值為0.1mm，要成像的對象落到物鏡的焦點上。對于特別用于形成透鏡組3、4的微透鏡而言，由于焦距的值為300μm-800μm，為了根據要求|f1/β1|＞＞0.1防止其問題必須滿足|β1|＜＜3。它是防止從實像到虛像翻轉的條件。
但根據上述條件，原則上要選擇|β1|＜＜1，由此明顯改善了即減弱了可讀距離公差和物距g1之間的關系。如果處于保護原因，在物鏡和比例尺之間設置玻璃板，第一圖像物距的物距較大也是適合的。
根據另一變型，通過限制光束例如遮光裝置避免相鄰小室之間的串擾，而首先要注意的是，對于光學圖像，通過因子β2改變的物距對像距并由此對圖像的大小產生作用。對于成像比β1＝1的圖像，將改變物距轉換成改變相應圖像大小。通過在一定的范圍限制光束如通過遠心物鏡進行遮擋，從成像物到后置透鏡的光線分布盡可能與光軸平行。這種設置例如可以這樣實現，即一針孔光闌設置在相應透鏡的圖像側的焦點上孔的尺寸確定了光束的擴散，但針孔光闌的孔不能任意的小。由于針孔光闌是孔遮擋板，必須確?？装霃脚c透鏡焦距之比大于成像物第一級衍射角的正弦。
由此得到的適合結果是對于首先成像的小圖像(|β1|＜＜1)，其物距遠大于第一透鏡的焦距。這樣，光束的許可擴散不采用附加的措施即只通過限制透鏡孔徑的延伸就可以這樣被限定，即要考慮滿足第一級衍射吸收的上述條件。由此，要考慮到與第一圖像相關的條件如遠心物鏡，以通過圖像大小和位置的作用減小可讀距離的變化。通過這種第一圖像的“遠心特性”和準確的裝配可以適合地調節(jié)由條件|β2|＞＞1所決定的第二圖像的物距。
除了將光束的光程限定在部分的兩透鏡31b、41b之間，通過在第一透鏡組的面上將相應遮擋板設置在透鏡之間，還可能由于相應小室31b、41b第一透鏡31b光孔(Appertur)的變化在相鄰小室透鏡之間產生串擾。
圖4示出了圖2的布置，其中給各小室如透鏡組3、4的中心小室31b、41b配置一場光闌5，從小室31b、41b的第一透鏡31b觀察，它位于第一透鏡31b的焦點之后，且由此在焦點之后發(fā)散的光束B這樣被限定，即穿過場光闌5的光束最終到達中心小室31b、41b的第二透鏡41b，而不到達相鄰部分31a、41a；31c、41c的第二透鏡41a、41c。
而借助場光闌5限制的光束在準直衍射時會導致目標范圍減小，參見圖4光束B的雙陰影線所示的部分，即從場光闌5透過的光束B的部分B’。
為了避免與使用圖4光闌結構有關的信息損失，根據圖5，分別在相應透鏡組3的延伸面上沿測量方向M延伸的且在垂直于測量方向的方向Q接續(xù)設置的透鏡組3的各小室31、32、33在測量方向M彼此錯開地設置，使得構成小室3 1的透鏡31a、31b、31c分別與相鄰小室32的多個透鏡32a、32b；32b、32c；32c、32d重疊。因此，可以通過相鄰的小室32使得目標在另一透鏡31中遮住的部分成像。優(yōu)選的是，透鏡組3的相鄰小室31、32以透鏡的半個延伸在測量方向M彼此錯開。
另外，盡管使用光闌減小了串擾，成像目標的完全傳輸(未減小的目標區(qū)域)還要通過穿過散射光的準直光束實現。在沒有附加的遠心光闌是，這會導致可讀距離公差的損失，而具有遠心光闌時，會導致傳輸能量的損失。
另外，采用透鏡排列形式的透鏡組3、4(即在一面上延伸的具有較大面的透鏡組)的其它優(yōu)點是穩(wěn)定了編碼的識別。這涉及在計量用具上的編碼順序在探測器上成像時可讀掃描距離的波動對成像比的作用。其掃描距離波動即計量用具與探測器之間距離的波動會導致傳輸的光圖案不再與相應探測器的表面結構相匹配且其編碼不再能由探測器識別。
在上述實施例中，通常由成像比β＝1進行成像。在成像比β的值小于+1時，由各小室31a，41a；31b、41b；31c、41c形成的圖像區(qū)彼此分開。在這種情況下，其探測光柵器除了編碼光柵外還考慮透鏡光束作為超結構。在成像比β值大于+1時，與此相對地相應增大其小的編碼條結構。也可以用例如由光電復印設備中公開的以梯度透鏡排列形式的在一面上延伸的透鏡組替代在上述實施例中使用的在相應面30、40上設置的兩平行透鏡組3、4形式的透鏡排列，以形成所希望的正數成像比。其各透鏡例如設置在六邊形的光柵中且其長度這樣選擇，即它使得成像物通過所希望的成像比β特別是其成像比＝1而成像。在這種梯度透鏡排列中，由于波導結構的作用，其光串擾會從一個透鏡到下一個透鏡，但這種分辨率比在兩平行面延伸的透鏡組要小且各透鏡所需要的長度會影響位置測量裝置結構的緊湊。
權利要求
1.一種位置測量裝置的掃描單元，用于光學掃描一個計量用具，包括-一個將光向計量用具方向發(fā)射的光源；-一個接收由計量用具改變的光的探測器；-一個設置在探測器前且具有多個光學透鏡的透鏡組，以借助光線掃描計量用具的區(qū)域在探測器上產生確定的圖象；其特征在于，所述透鏡組(3、4)的成像比(β)大于零且小于或等于2。
2.如權利要求1所述的掃描單元，其特征在于成像比(β)等于1。
3.如權利要求1所述的掃描單元，其特征在于透鏡組(3、4)具有多個設置在一個面(30、40)上的透鏡且該面(30、40)的定向使所述改變的光(L)與面(30、40)相交。
4.如上述權利要求3所述的掃描單元，其特征在于面(30、40)既沿測量方向(M)又垂直于該方向延伸，掃描單元(1)沿測量方向(M)相對于計量用具(2)可運動。
5.如上述權利要求3所述的掃描單元，其特征在于透鏡組(3、4)包括兩組透鏡(3；4)，它們分別設置在兩彼此平行延伸的面(30，40)上。
6.如上述權利要求5所述的掃描單元，其特征在于兩組透鏡(3，4)分別成對地組成一個小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)并一個小室的透鏡(31a，41a；31b、41b；31c、41c)分別垂直于兩個面(30，40)接續(xù)設置。
7.如權利要求6所述的掃描單元，其特征在于穿過一個小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的第一透鏡(31a，31b、31c)的經改變的光束(L)的一部分接著到達該小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的第二透鏡(41a，41b，41c)。
8.如權利要求7所述的掃描單元，其特征在于穿過一個小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的第一透鏡(31a，31b、31c)的經基本全部改變的光束(L)接著到達該小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的第二透鏡(41a，41b，41c)。
9.如權利要求7或8所述的掃描單元，其特征在于穿過一個小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的第一透鏡(31a，31b、31c)的經改變的光束(L)不到達另一小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的第二透鏡(41a，41b，41c)。
10.如權利要求5所述的掃描單元，其特征在于在一個面(30)上并垂直于測量方向(M)的方向(Q)上設置的透鏡分別在測量方向(M)彼此錯開。
11.如權利要求6所述的掃描單元，其特征在于對于各小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)，兩透鏡(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的成像比(β1、β2)的乘積小于或等于1，特別是等于1。
12.如權利要求6所述的掃描單元，其特征在于對于各小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)，改變的光線(L)到達第一透鏡(31a，31b，31c)的成像比(β1)的值小于改變的光線(L)接著到達第二透鏡(41a，41b，41c)成像比(β2)的值。
13.如權利要求9或12所述的掃描單元，其特征在于各小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的第一透鏡(31a，31b，31c)的成像比(β1)的值遠小于第二透鏡(41a，41b，41c)成像比(β2)的值，使得穿過一個小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的第一透鏡(31a，31b，31c)的光束(B)的光線(L)不到達另一小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的第二透鏡(41a，41b，41c)。
14.如權利要求5所述的掃描單元，其特征在于第一組(3)和第二組(4)的透鏡(31，32，33；41)的焦距(f1，f2)不相等，其中改變的光線(L)首先穿過的透鏡(31a，31b，31c)的焦距(f1)優(yōu)選大于另一透鏡(41a，41b，41c)的焦距(f2)。
15.如權利要求1所述的掃描單元，其特征在于透鏡組(3、4)配有一個光闌結構。
16.如權利要求5或15所述的掃描單元，其特征在于光闌結構設置在首先穿過改變光線(L)的透鏡(31a，31b，31c)組(3)的面(30)上。
17.如權利要求1 5所述的掃描單元，其特征在于光闌結構設置在透鏡(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的兩組(3、4)之間。
18.如權利要求6或16所述的掃描單元，其特征在于各小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)對應光闌結構的一個光闌(5)。
19.如權利要求6或17所述的掃描單元，其特征在于各小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)對應光闌結構的一個光闌(5)。
20.如權利要求9或15所述的掃描單元，其特征在于改變的光線(L)借助光闌結構導向，使得穿過小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的第一透鏡(31a，31b，31c)不到達另一小室(31a，41a；31b、41b；31c、41c)的第二透鏡(41a，41b，41c)
21.一種位置測量裝置，包括一個至少具有一個光學掃描條(21，22)的計量用具(2)和根據權利要求1掃描計量用具(2)的掃描單元(1)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種位置測量裝置的掃描單元，用于光學掃描計量用具，包括將光向計量用具方向發(fā)射的光源；一接收由計量用具改變的光的探測器；一設置在其探測器前且具有多個光學透鏡的透鏡組，以借助光線掃描計量用具的區(qū)域在探測器上產生確定的圖象；其特征在于，其透鏡組(3、4)的成像比大于零且小于或等于1。
文檔編號G01D5/36GK1536338SQ20041003345
公開日2004年10月13日 申請日期2004年4月9日 優(yōu)先權日2003年4月11日
發(fā)明者W·霍爾扎普菲爾, E·邁爾, U·本納, W 霍爾扎普菲爾 申請人:約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司