專利名稱：缺陷檢測器和缺陷檢測方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種檢測圖形如形成在被測物體如印刷電路板或用于制備印刷電路板的薄膜掩?；虿Ａа谀Ｉ系牟季€圖形的技術，特別是，涉及一種顯示將與被測襯底的圖像相比較的參考圖像的技術。
背景技術：
人們通常提出一種缺陷檢測器，用于檢測在前述被測物體(以下稱為“襯底”)上形成的布線圖形等中的缺陷。這種缺陷檢測器利用成像器(imager)如CCD照相機獲得被測襯底的缺陷部分(缺陷區(qū)域)的圖像(以下稱“被測圖像”)并在監(jiān)視器上顯示該圖像。缺陷檢測器同樣還在監(jiān)視器上顯示參考主襯底的圖像(以下稱為“主圖像”)。常規(guī)缺陷檢測器的操作者參考以前述方式顯示的主圖像基于被測圖像檢測被測襯底的缺陷。
圖21示出了這種缺陷檢測器的顯示屏100上的典型顯示圖像。顯示區(qū)101和102分別設置在顯示屏100上。這些顯示區(qū)101和102分別顯示主圖像和被測圖像。如圖21所示，常規(guī)缺陷檢測器分別顯示參考主圖像和被測圖像，以便操作者可以通過視覺檢測缺陷。此外，缺陷檢測器以與主圖像相同的顯示圖像倍率顯示被測圖像，從而操作者易于相互比較兩個圖像。
然而，在被測襯底的缺陷檢測操作中，操作者可以通過操作成像器來改變被測圖像的顯示倍率。為了精細地對比被測圖像的電路圖形與主圖像的電路圖形，例如，操作者放大在顯示區(qū)102上顯示的被測圖像。
圖22示出了通過操作者放大在顯示區(qū)102上顯示的圖像(被測圖像)。在這種情況下，常規(guī)缺陷檢測器以不同的顯示倍率顯示主圖像和被測圖像，因此難以相互比較這些圖像，并且工作效率不利地降低了。參見圖22，例如，操作者不能確定顯示區(qū)102上顯示的圖形105是否可與在顯示區(qū)101上顯示的圖形103或圖形104進行對比。
而且，當缺陷檢測器可以改變主圖像的顯示倍率時，操作者必須在改變被測圖像的顯示倍率的同時精確地改變主圖像的顯示倍率，這不利地導致工作效率下降。
發(fā)明內容
本發(fā)明涉及一種檢測圖形如形成在被測物體如印刷電路板或用于制備印刷電路板的薄膜掩?；虿Ａа谀Ｉ系牟季€圖形的技術，特別是，本發(fā)明涉及一種顯示將與被測襯底的圖像相比較的參考圖像的技術。
相應地，根據本發(fā)明優(yōu)選實施例的缺陷檢測器包括圖像顯示系統(tǒng)；固定被測物體的固持元件；圖像獲得元件，對由固持元件固定的被測物體進行成像，用于通過對具有缺陷的被測物體的缺陷區(qū)域進行成像而獲得被測圖像數(shù)據；第一顯示控制元件，在圖像顯示系統(tǒng)上以第一顯示倍率顯示通過圖像獲得元件獲得的被測圖像數(shù)據；和第二顯示控制元件，在圖像顯示系統(tǒng)上以第二顯示倍率顯示將與缺陷區(qū)域比較的主圖像數(shù)據，該第二顯示倍率為響應第一顯示倍率運算得到的。
這樣，第二顯示控制元件可以響應第一顯示倍率以任意成像倍率顯示成像的主圖像數(shù)據。
優(yōu)選地，缺陷檢測器還包括尺寸獲得元件和顯示倍率可操作元件，該尺寸獲得元件獲得表示關于由固持元件固定的被測物體的缺陷區(qū)域的尺寸的信息，該顯示倍率可操作元件基于由尺寸獲得的元件獲得的表示缺陷區(qū)域的尺寸的信息根據規(guī)定算法運算第一顯示倍率。
因此，第一顯示控制元件可自動以適當?shù)谋堵曙@示缺陷區(qū)域。
優(yōu)選地，缺陷檢測器還包括從操作者接受輸入信息的操作部件，并且在每次基于輸入信息設置第一顯示倍率時，第二顯示控制元件響應設置的第一顯示倍率而運算第二顯示倍率，并且以第二顯示倍率在圖像顯示系統(tǒng)上顯示主圖像數(shù)據。
這樣，可以操作者所需的顯示倍率顯示被測圖像數(shù)據，并隨著被測物體數(shù)據的顯示倍率而改變主圖像數(shù)據的顯示倍率。
本發(fā)明還涉及檢測被測物體上的缺陷的缺陷檢測方法，包括固持步驟，固定被測物體；圖像獲得步驟，對在固持步驟中固定的被測物體進行成像和通過對具有缺陷的被測物體的缺陷區(qū)域進行成像獲得被測圖像數(shù)據；第一顯示步驟，以第一顯示倍率在圖像顯示系統(tǒng)上顯示在圖像獲得步驟中獲得的被測圖像數(shù)據；和第二顯示步驟，以第二顯示倍率在圖像顯示系統(tǒng)上顯示將與缺陷區(qū)域對比的主圖像數(shù)據，所述第二顯示倍率為響應第一顯示倍率運算得到的。
這樣，可以響應第一顯示倍率而以任意成像倍率顯示獲得的主圖像數(shù)據。
因而，本發(fā)明的目的是提高檢測缺陷操作的工作效率。
通過下面結合附圖對本發(fā)明的詳細說明，本發(fā)明的前述和其它目的、特點、方案和優(yōu)點將會變得更明顯。
圖1表示根據本發(fā)明第一優(yōu)選實施例的包括缺陷檢測器的缺陷檢測系統(tǒng)的結構圖；圖2是表示檢查裝置的結構的方框圖；圖3是根據第一實施例的缺陷檢測器的前視圖；圖4是缺陷檢測器的側視圖；圖5是表示缺陷檢測器的結構的方框圖；圖6是表示沿著數(shù)據流根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器的控制部件的功能結構的方框圖；圖7和8是表示根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器的操作的流程圖；圖9和10示意性地顯示被測圖像數(shù)據；圖11和12表示根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器中在檢測操作期間顯示的典型圖像；圖13表示參考圖11的被測圖像數(shù)據的顯示倍率的典型變化；圖14是表示隨著數(shù)據流根據第二優(yōu)選實施例的缺陷檢測器的控制部件的功能結構的方框圖；圖15和16是表示根據第二優(yōu)選實施例的缺陷檢測器的操作的流程圖；圖17表示根據第二優(yōu)選實施例的缺陷檢測器中被測圖像數(shù)據的典型顯示；圖18表示根據第二優(yōu)選實施例的缺陷檢測器中的主圖像數(shù)據的典型顯示；圖19是根據本發(fā)明第三優(yōu)選實施例的缺陷檢測器的前視圖；圖20是表示隨著數(shù)據流根據第三優(yōu)選實施例的缺陷檢測器的控制部件的功能結構的方框圖；圖21表示常規(guī)缺陷檢測器中的主圖像數(shù)據和被測圖像數(shù)據的典型顯示；和圖22表示常規(guī)缺陷檢測器中如圖21所示的被測圖像的顯示倍率的典型改變。
具體實施例方式
圖1示出了根據本發(fā)明第一優(yōu)選實施例的包括缺陷檢測器4的缺陷檢測系統(tǒng)1的典型結構。在缺陷檢測系統(tǒng)1的結構中，檢查裝置3和缺陷檢測器4通過網絡2彼此連接。網絡2可以通過任何網絡形成，如LAN(局域網)或公用通信線，只要其能在檢查裝置3和缺陷檢測器4之間通過規(guī)定的通信協(xié)議進行數(shù)據通信即可。此外，多個檢查裝置3和多個缺陷檢測器4可連接到網絡2。
圖2是表示檢查裝置3的結構的方框圖。檢查裝置3包括操作部件30，用于輸入操作者的指令；顯示部件31，顯示用于檢查裝置3的操作信息；成像部件32，對要檢查的襯底90的被測表面進行成像；移動機構33，將成像部件32移動至規(guī)定位置；圖像處理部件34，處理由成像部件32獲得的圖像數(shù)據；通信部件35，通過網絡2在檢查裝置3和缺陷檢測器4之間進行數(shù)據通信；和控制部件36。
操作者操作操作部件30，以在檢查裝置3中輸入指令。更具體地說，由多個按鈕、鍵盤、鼠標等形成的操作部件30還可由軌道球(trackball)、操縱桿、觸摸屏形成。由顯示各種數(shù)據的液晶顯示器形成的顯示部件31還可由LED(發(fā)光二極管)或顯示燈形成。
具有等效于一般CCD照相機的功能的成像部件32對襯底90的被測表面進行成像并作為規(guī)定尺寸的每個單元的圖像數(shù)據，而且將獲得的圖像數(shù)據傳輸給圖像處理部件34。
移動機構33基于來自控制部件36的控制信號使成像部件32移動到規(guī)定位置。移動機構32還通過如編碼器等傳感器檢測成像部件32的位置并將其傳輸給控制部件36。
圖像處理部件34對由成像部件32獲得的圖像數(shù)據(襯底90每單元的圖像數(shù)據)進行規(guī)定的圖像識別處理，并確定襯底90是否具有缺陷。
圖像處理部件34還在被測缺陷區(qū)域的位置和缺陷區(qū)域的尺寸的基礎上形成缺陷信息400(圖6)并將其傳輸給控制部件36。根據第一優(yōu)選實施例的檢查裝置3采用表示襯底90的缺陷區(qū)域和圖像數(shù)據的缺陷區(qū)域的圖像數(shù)據的中心坐標作為缺陷區(qū)域的位置信息，同時采用缺陷區(qū)域的縱向尺寸和橫向尺寸作為其尺寸信息。然而，缺陷區(qū)域的位置信息和尺寸信息不限于這些。例如，檢查裝置3還可直接采用襯底90的坐標作為表示缺陷區(qū)域的位置的信息，或者可采用像素數(shù)量(number)作為表示缺陷區(qū)域的尺寸的信息。
通信部件35具有通過控制部件36獲得由圖像處理部件34形成的缺陷信息400和通過網絡2將其傳輸給缺陷檢測器4的功能。由CPU(未示出))和存儲器(未示出)構成的控制部件36儲存或操作各種數(shù)據并產生控制信號，由此控制檢查裝置3的其余結構。
圖3和4分別是缺陷檢測器4的前視圖和側視圖。圖5是表示缺陷檢測器4的結構的方框圖。圖3限定了水平X0-軸、Y-軸和垂直Z0-軸，而圖4限定了(1)在垂至于Y軸的垂直平面上，從水平X0-軸稍微向下傾斜的X-軸和(2)垂直于X-軸和Y-軸的Z-軸。在第一優(yōu)選實施例中，分別相對于X0-軸和Z0-軸傾斜的X-軸和Z-軸還可以分別與X0-軸和Z0-軸一致。
缺陷檢測器4包括用于輸入操作者的指令的操作部件40、在屏幕上顯示用于操作缺陷檢測器4所需的信息和圖像數(shù)據的檢測監(jiān)視器41、對襯底90的缺陷部分進行成像以作為圖像數(shù)據的成像部件42、固定襯底90的檢測臺43、分別設置在檢測臺43兩側的一對水平可移動機構44、沿著Y-軸方向移動成像部件42的移動機構45、縮放機構46、通信部件47和控制部件48。缺陷檢測器4還包括支撐臺490，其具有在檢測臺43的兩側部分之間基本上水平延伸的橋結構；支撐部件491，其支撐缺陷檢測器4上的檢測監(jiān)視器41；和保護蓋492，用于保護成像部件42。
在缺陷檢測系統(tǒng)1中，通過比較由對被測襯底90進行成像獲得的圖像數(shù)據與主圖像(例如，通過對參考主襯底進行成像獲得的圖像數(shù)據，或者由CAD數(shù)據產生的數(shù)字位圖數(shù)據)而進行檢測，操作者利用缺陷檢測器4作為用于視覺檢測缺陷部分的裝置，如下面的詳細說明。
由各種按鈕、鍵盤、鼠標等形成的操作部件40還可以由軌道球、操縱桿、觸摸屏形成。操作者可以輕按標度盤等以直接驅動成像部件42的光學系統(tǒng)，由此操作其成像倍率。在這種情況下，安裝在縮放機構46上的標度盤等對應操作部件40。換言之，操作部件40可由任何機構形成，只要它由操作者操作用于向缺陷檢測器4中輸入指令等即可。
由缺陷檢測器4上的支撐部件491支撐的檢測監(jiān)視器41在來自控制部件48的控制信號基礎上在其屏幕上顯示各種數(shù)據。例如液晶顯示器等對應檢測監(jiān)視器41。根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4包括主要對應本發(fā)明中的單個顯示器的單個檢測監(jiān)視器41。
成像部件42是一般的CCD照相機，它可以通過設置在其中的圖像接收元件(CCD)將在光學系統(tǒng)如成像透鏡的光軸(基本上垂直于X-合奏和Y-軸的軸)上入射的光進行轉換，由此對固定在檢測臺43上的襯底90(被測物體)進行成像。成像部件42將獲得的襯底90的圖像數(shù)據傳輸?shù)娇刂撇考?8。
使檢測臺43的上表面基本上平行于X-Y平面，以固定由操作者或轉移機構(未示出)轉移到預定位置上的檢測襯底90。
分別安裝在支撐臺490兩側的移動機構44沿著X-軸方向移動支撐臺490。這樣，控制部件48可控制支撐臺490的移動量和位置。安裝在支撐臺490上的移動機構45沿著支撐臺490在Y-軸方向移動成像部件42。這樣，控制部件48可控制成像部件42的移動量和位置。
例如，采用伺服電機、球狀螺釘(ball screw)和供給螺帽(feed nut)的公知機構可用做具有前述功能的移動機構44和45。球狀螺釘沿著規(guī)定方向延伸并且由伺服電機旋轉，用于在規(guī)定方向移動供給螺帽，從而控制部件48可通過控制伺服電機的旋轉角來控制各個位置。移動機構44和45不限于這些部件，當然還可以通過其它公知的機構來實現(xiàn)。
因此，包括移動機構44和45的缺陷檢測器4可在X-Y平面內移動成像部件42至任意位置。因此，成像部件42可對固定在檢測臺43上的襯底90的任意區(qū)域(具有缺陷區(qū)域的區(qū)域)進行成像。
縮放機構46(圖3和4中未示出)具有基于來自控制部件48的控制信號而確定成像部件42的光學系統(tǒng)的縮放位置的功能，由此確定成像部件42的成像倍率?？s放機構46可直接由操作部件40操作。
通信部件47通過網絡2在缺陷檢測器4和檢查裝置3之間進行數(shù)據通信。這樣，缺陷檢測器4接收從檢查裝置3傳輸來的缺陷信息400。
如圖5所示，控制部件48與缺陷檢測器4的其余結構連接并處于能傳送信號的狀態(tài)?？刂撇考?8包括存儲部件480(圖6)，用于儲存來自操作者的指令、程序、各種獲得的數(shù)據等，以通過CPU(未示出)執(zhí)行各種操作的信息并形成控制信號，由此分別控制缺陷檢測器4的其余結構。
圖6是表示隨著信號流控制部件48的功能結構的方框圖?？刂撇考?8的CPU(未示出)根據程序進行操作，由此實現(xiàn)了在圖6所示的功能結構中的缺陷位置-尺寸運算部件481、倍率運算部件482、X/Y控制部件483、縮放控制部件484、被測圖像顯示部件485和主圖像顯示部件486。
缺陷位置-尺寸運算部件481包括倍率運算部件482，并產生表示由檢測臺43固定的襯底90上缺陷區(qū)域位置的位置數(shù)據402和表示缺陷區(qū)域的顯示倍率α1的顯示倍率數(shù)據403。
為了產生位置數(shù)據402，缺陷位置-尺寸運算部件481參照包含在缺陷信息400中的缺陷區(qū)域的位置信息，其中缺陷信息400是通過網絡2從檢查裝置3接收到通信部件47中的。位置數(shù)據402包括具有缺陷區(qū)域的單元數(shù)量(假設襯底90的表面被分成規(guī)定尺寸的多個單元，并且每個單元的位置預先根據其數(shù)量而設置)和這個單元中的缺陷區(qū)域的中心位置(X，Y)。因此，缺陷檢測器4可確定襯底90上的缺陷區(qū)域的位置。
缺陷位置-尺寸運算部件481還從缺陷信息400獲得缺陷區(qū)域的尺寸(Xf，Yf)，同時從顯示尺寸數(shù)據401獲得在檢測監(jiān)視器41上用于顯示缺陷區(qū)域的尺寸(Xw，Yw)(以下將稱為“缺陷區(qū)域顯示尺寸”)，并將其傳送至倍率運算部件482。缺陷位置-尺寸運算部件481還在倍率運算部件482的運算結果基礎上產生顯示倍率數(shù)據403。
倍率運算部件482基于缺陷區(qū)域的尺寸和缺陷區(qū)域顯示尺寸根據規(guī)定算法運算用于缺陷區(qū)域的顯示倍率α1，并將運算結果傳送給缺陷位置-尺寸運算部件481。顯示尺寸數(shù)據401的初始值預先設置。
X/Y控制部件483在位置數(shù)據402的基礎上獲得成像部件42和缺陷區(qū)域(襯底90)的相對位置，產生用于將成像部件42移動至對缺陷區(qū)域成像的位置所需的控制信號(脈沖信號)并控制移動機構44和45。更具體地說，X/Y控制部件483在單元數(shù)量和X值的基礎上控制移動結構44并確定成像部件42在X-軸方向的位置。X/Y控制部件483還在單元數(shù)量和Y值的基礎上控制移動機構45并確定成像部件42在Y-軸方向的位置。
縮放控制部件484運算成像部件42的成像倍率β1，以通過參考顯示倍率數(shù)據403根據規(guī)定算法對要檢測的襯底90進行成像?？s放控制部件484還響應獲得的成像倍率β1獲得用于驅動成像部件42的光學系統(tǒng)的量并控制縮放機構46，由此確定成像部件42的成像倍率β1。
這樣，當成像部件42對缺陷區(qū)域進行成像時，包括X/Y控制部件483和縮放控制部件484的缺陷檢測器4響應缺陷信息400而確定了被成像缺陷區(qū)域的位置和成像倍率。因此，缺陷檢測器4可響應由通信部件47獲得的缺陷信息400而獲得缺陷區(qū)域的被測圖像數(shù)據404。
被測圖像顯示部件485對被測圖像數(shù)據404進行必須的圖像處理，之后在檢測監(jiān)視器41上顯示此被測圖像數(shù)據404。
主圖像顯示部件486在顯示倍率數(shù)據403基礎上，運算將與缺陷區(qū)域作比較的主圖像數(shù)據405的顯示倍率α2，響應獲得的顯示倍率α2而調節(jié)主圖像數(shù)據405的放大率γ2，并在檢測監(jiān)視器41上顯示。換言之，主圖像顯示部件486主要對應本發(fā)明中的第二顯示控制元件。假設預先獲得通過以規(guī)定的成像倍率β2對參考襯底的整個區(qū)域進行成像獲得的主圖像數(shù)據405并將其保存在控制部件48的存儲部件480中。主圖像數(shù)據405優(yōu)選是數(shù)字位圖數(shù)據，并且更優(yōu)選是二進制位圖數(shù)據。主圖像顯示部件486參考位置數(shù)據402，由此確定主圖像數(shù)據405的顯示部分(未示出)。
再次參見圖5，支撐臺490具有沿著Y-軸方向在檢測臺43的兩側之間基本上水平延伸的橋結構，用于支撐檢測臺43上的成像部件42。支撐臺490設有上述移動機構45。
保護蓋492不僅保護成像部件42而且防止外部入射光，從而成像部件42可對襯底90清楚地成像。固定到支撐臺490的保護蓋492通過移動機構44沿著支撐臺490在X-軸方向移動，用于規(guī)則地覆蓋成像部件42的上部。
缺陷檢測系統(tǒng)1具有上述結構和功能。
圖7和8是表示缺陷檢測系統(tǒng)1中的缺陷檢測器4的操作的流程圖。在缺陷檢測系統(tǒng)1中，檢查裝置3提取襯底90的缺陷區(qū)域，并在缺陷檢測器4操作之前產生缺陷信息400。
傳送裝置(未示出)或操作者將被測襯底90傳送到缺陷檢測器4，從而其檢測臺43固定襯底90在規(guī)定位置上(步驟S11)。檢查裝置3傳輸襯底90的缺陷信息400，并且缺陷檢測器4通過通信部件47獲得此缺陷信息400(步驟S12)。
然后，控制部件48確定襯底90的被測缺陷(缺陷區(qū)域)(步驟S13)。當在第一優(yōu)選實施例中控制部件48指定按順序儲存在缺陷信息400中的缺陷時，操作者還可以選擇順序。
當控制部件48指定被測缺陷區(qū)域時，缺陷檢測器4確定成像部件42的位置(步驟S14)。在步驟S14中，缺陷位置-尺寸運算部件481參考缺陷信息400產生關于缺陷區(qū)域的位置數(shù)據402。然后X/Y控制部件483在位置數(shù)據402的基礎上運算襯底90和成像部件42的相對位置并獲得用于移動成像部件42的距離。X/Y控制部件483還控制移動機構44和45，由此將成像部件42移動獲得的距離。這樣，缺陷檢測器4確定成像部件42的位置。
當缺陷檢測器4確定成像部件42的位置時，倍率運算部件482運算用于缺陷區(qū)域的顯示倍率(步驟S15)。在步驟S15，缺陷位置-尺寸運算部件481參考缺陷信息400傳送被指定缺陷區(qū)域的尺寸(Xf，Yf)。缺陷位置-尺寸運算部件481還參考顯示尺寸數(shù)據401將缺陷區(qū)域顯示尺寸(Xw，Yw)傳送到倍率運算部件482。然后，倍率運算部件482在缺陷區(qū)域的尺寸和缺陷區(qū)域顯示尺寸的基礎上運算用于缺陷區(qū)域的顯示倍率α1。
當倍率運算部件482運算用于缺陷區(qū)域的顯示倍率α1時，X和Y方向的倍率必須彼此相同。此外，優(yōu)選顯示整個缺陷區(qū)域，從而操作者可立刻確定缺陷區(qū)域。因此，當顯示缺陷區(qū)域時，優(yōu)選不過于放大通過對缺陷區(qū)域成像獲得的圖像數(shù)據(被測圖像數(shù)據404)。因此，在步驟S15，倍率運算部件482根據以下數(shù)字表達式(1)獲得缺陷區(qū)域的顯示倍率α1α1＝min(Xw/Xf，Yw/Yf)…(1)其中min(A，B)表示A和B中較小的一個。預先給缺陷檢測器4提供缺陷區(qū)域顯示尺寸(Xw，Yw)的初始值，作為允許操作者易于在視覺上識別缺陷區(qū)域的尺寸。
這樣，設置缺陷區(qū)域顯示尺寸(Xw，Yw)初始值的缺陷檢測器4可以自動運算缺陷區(qū)域的顯示倍率α1。因此，在操作者不輸入指令時，缺陷檢測器4可以顯示缺陷區(qū)域，同時將其放大到適當尺寸，而與其尺寸(Xf，Yf)無關。
當倍率運算部件482獲得缺陷區(qū)域的顯示倍率時α1時，缺陷位置尺寸運算部件481在由倍率運算部件482獲得的缺陷區(qū)域的顯示倍率α1基礎上產生顯示倍率數(shù)據403。
然后，縮放控制部件484和縮放機構46確定成像部件42的成像倍率β1(步驟S16)。物體的顯示倍率α是根據以下數(shù)字表達式(2)通過成像倍率β和放大率γ經圖像處理來估計的α＝β×γ…(2)在步驟S16中，縮放控制部件484參考顯示倍率數(shù)據403、響應缺陷區(qū)域的顯示倍率α1、根據下列數(shù)字表達式(3)運算成像部件42的成像倍率β1β1＝α1 …(3)根據第一優(yōu)選實施例，縮放控制部件484將缺陷區(qū)域的顯示倍率α1設置為成像部件42的成像倍率β1。這意味著在上述數(shù)字表達式(2)中放大率γ等于1。因此，缺陷檢測器4可以以預先獲得的所需的顯示倍率α1顯示缺陷區(qū)域，而不用通過對成像部件42獲得的圖像數(shù)據(檢測到的圖像數(shù)據404)進行圖像處理來進行倍率轉換。
然后，縮放控制部件484在獲得的成像倍率β1基礎上產生控制信號，并控制縮放機構46。因此，縮放機構46驅動成像部件42的光學系統(tǒng)并將成像部件42的成像倍率變?yōu)槌上癖堵师?。
當縮放控制部件484和縮放機構46確定成像部件42的成像位置和成像倍率β1時，缺陷檢測器4通過成像部件42對襯底90進行成像(步驟S17)。此時，控制部件48產生用于成像部件42的光柵信號并將其輸出到成像部件42。成像部件42將獲得的圖像數(shù)據作為被測圖像數(shù)據404傳輸給控制部件48，然后將其依次存儲在存儲部件480中。被測圖像數(shù)據404可以是靜止圖像或運動圖像，或者是單色圖像或彩色圖像。換言之，被測圖像數(shù)據404可以是任何圖像，只要操作者可以檢測其電路圖形中的缺陷即可。
當成像部件42產生被測圖像數(shù)據404時，被測圖像顯示部件485進行第一顯示步驟(步驟S18)。圖9和圖10示出了在第一顯示步驟中顯示的被測圖像數(shù)據404。在第一顯示步驟中，被測圖像顯示部件485以在步驟S15中獲得的顯示倍率α1在檢測監(jiān)視器41的顯示區(qū)410上顯示被測圖像數(shù)據404。在根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4中，假設成像部件42的成像區(qū)域與顯示區(qū)410基本相同。使顯示區(qū)410的尺寸(和成像區(qū)域的尺寸)大于缺陷顯示尺寸(Xw，Yw)。
如上所述，根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4在缺陷區(qū)域的顯示倍率α1基礎上，根據數(shù)字表達式(3)獲得用于被測圖像數(shù)據404的成像倍率(成像部件42的成像倍率β1)。因此，被測圖像顯示部件485在檢測監(jiān)視器41的顯示區(qū)410上基本上以不進行倍率轉換的倍率顯示被測圖像數(shù)據404的操作對應以下操作被測圖像顯示部件485響應通過倍率運算部件482獲得的缺陷區(qū)域的顯示倍率α1而在檢測監(jiān)視器41上顯示被測圖像數(shù)據404的操作。換言之，被測圖像顯示部件485主要對應本發(fā)明中的第一顯示控制元件。
因此，缺陷檢測器4以等于顯示倍率α1的成像倍率β1預先對被測圖像數(shù)據404成像，并可顯示被測圖像數(shù)據404，而不用通過圖像處理等進行倍率轉換(例如數(shù)字縮放處理)。因此，缺陷檢測器4可以抑制第一顯示步驟中控制部件48的操作量。如果被測圖像數(shù)據404的成像倍率不同于缺陷區(qū)域的顯示倍率α1，被測圖像顯示部件485可以參照用于在檢測監(jiān)視器41上對其進行顯示的顯示倍率數(shù)據403而通過被測圖像數(shù)據404上的圖像處理來執(zhí)行倍率轉換處理。在這種情況下，缺陷檢測器4可以縮放機構46中沒有設置的倍率顯示被測圖像數(shù)據404。
在制造襯底90的步驟中，在襯底90上形成電路圖形的各種尺寸的缺陷區(qū)域。然而，缺陷檢測器4響應由檢查裝置3檢測到的缺陷區(qū)域的尺寸而運算和顯示用于缺陷區(qū)域的顯示倍率。因此，缺陷檢測器4可以在檢測監(jiān)視器41上以尺寸(Xw，Yw)顯示缺陷區(qū)域，使操作者容易用視覺檢測缺陷區(qū)域，如圖9和10所示，而與缺陷區(qū)域的尺寸無關。
然后，主圖像顯示部件486進行第二顯示步驟(步驟S19)。在第二顯示步驟中，主圖像顯示部件486參考顯示倍率數(shù)據403在檢測監(jiān)視器41上以在步驟S15獲得的顯示倍率α1顯示主圖像數(shù)據405。圖11和12示意性示出了通過第一和第二顯示步驟在檢測監(jiān)視器41上顯示的屏幕。
主圖像顯示部件486根據下列數(shù)字表達式(4)獲得用于以顯示倍率α1顯示以成像倍率β2獲得的圖像數(shù)據的放大率γ1。這樣，主圖像顯示部件486確定是縮小還是放大顯示主圖像數(shù)據405。數(shù)字表達式(4)對應通過將顯示倍率α1和成像倍率β2代入數(shù)字表達式(2)中并轉換各項所獲得的數(shù)字表達式。
γ1＝α1/β1 …(4)如果數(shù)字表達式(4)中放大率γ1小于1，則這意味著主圖像數(shù)據405被縮小。另一方面，如果放大率γ1大于或等于1，則意味著主圖像數(shù)據405被放大。
因此，響應放大率γ1的值，主圖像顯示部件486根據數(shù)字表達式(5)或(6)獲得主圖像數(shù)據405的放大率γ2γ2＝γ1(如果γ1＜1) …(5)γ2＝取整(γ1)(如果γ1≥1)…(6)其中取整(N)表示N的整數(shù)部分。因此，當主圖像數(shù)據405放大時，放大率γ2是來自數(shù)字表達式(6)的整數(shù)(自然數(shù))。
當獲得主圖像數(shù)據405的放大率γ2時，主圖像顯示部件486通過將放大率γ2代入數(shù)字表達式(2)中(數(shù)字表達式(7))而獲得主圖像數(shù)據405的顯示倍率α2，對主圖像數(shù)據405進行所需的圖像處理，并在檢測監(jiān)視器41的顯示區(qū)411上顯示。
α2＝β2×γ2 …(7)如圖11和12所示，檢測監(jiān)視器41的屏幕沿著顯示區(qū)410設有顯示區(qū)411作為用于顯示主圖像數(shù)據405的區(qū)域，以同時顯示被測圖像數(shù)據404和主圖像數(shù)據405。使被測圖像數(shù)據404的顯示倍率α1和α2基本上彼此相等，從而檢測監(jiān)視器41基本上以相等尺寸顯示由圖像數(shù)據404和405表示的電路圖形。
如圖21所示，常規(guī)缺陷檢測器構成為以基本相同的顯示倍率在初始屏幕上(以操作者不能改變的狀態(tài)顯示被測圖像和主圖像的屏幕)顯示被測圖像和主圖像。然而，常規(guī)缺陷檢測器預先設置被測圖像的成像倍率的初始值并分別設置被測圖像和主圖像的放大率，以便顯示初始屏幕。因此，常規(guī)缺陷檢測器不能以相同的顯示倍率在初始屏幕上顯示被測圖像和主圖像，除非已經獲得規(guī)定成像倍率主的圖像。
然而，根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4確定被測圖像數(shù)據404的顯示倍率α1，以易于檢測的尺寸顯示缺陷區(qū)域，同時隨著顯示倍率α1自動確定主圖像數(shù)據405的顯示倍率α2。這樣，缺陷檢測器4可以基本上等于被測圖像數(shù)據404的顯示倍率自動顯示以任意成像倍率預先獲得的主圖像數(shù)據405。因此，操作者可以很容易地互相比較缺陷參考區(qū)域和缺陷區(qū)域而不必手動改變主圖像數(shù)據405的顯示倍率α2。換言之，缺陷檢測器4可以有效地實現(xiàn)操作者的檢測操作。根據第一優(yōu)選實施例缺陷檢測器4中的顯示區(qū)410的尺寸比顯示區(qū)411大，但是顯示區(qū)410和411還可以相同尺寸顯示圖像。
當主圖像數(shù)據405是數(shù)字位圖數(shù)據時，缺陷檢測器4可以整數(shù)倍的放大倍率更準確地顯示主圖像數(shù)據，而不用在主圖像數(shù)據405上的像素等之間進行插入處理。
根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4通過數(shù)字表達式(6)獲得用于放大主圖像數(shù)據405的放大率γ2。然而，獲得整數(shù)的放大率γ2的方法不限于此。例如，缺陷檢測器4還可以通過將放大率γ1四舍五入到第一小數(shù)位而獲得放大率γ2。當主圖像數(shù)據405是模擬數(shù)據或缺陷檢測器4進行插入處理時，缺陷檢測器4可通過數(shù)字表達式(5)獲得放大率γ2，而與放大率γ1的值無關。
當終止第二顯示步驟(步驟S19)時，缺陷檢測器4監(jiān)視操作者是否已經對操作部件40進行用于輸入改變顯示倍率α1的指令的操作(步驟S21)并等待直到關于缺陷區(qū)域的檢測操作終止為止(步驟S28)。
如果在缺陷區(qū)域的檢測操作期間操作者輸入用于改變顯示倍率α1的指令(在步驟S12中為是)，則缺陷檢測器4從操作部件40接收輸入信息(步驟S22)并獲得缺陷區(qū)域的新顯示倍率α1(步驟S23)，以重寫顯示倍率數(shù)據403。術語“輸入信息”指的是相對于目前顯示的被測圖像數(shù)據404，操作者所需的改變倍率αp。換言之，缺陷檢測器4根據下列數(shù)字表達式(8)通過當前顯示的缺陷區(qū)域的顯示倍率αo而獲得缺陷區(qū)域的新顯示倍率α1α1＝αp×αo…(8)換言之，缺陷檢測器4將由顯示倍率數(shù)據403表示的缺陷區(qū)域的顯示倍率α1重寫為在步驟S23中通過數(shù)字表達式(8)獲得的值。
然后，縮放控制部件484在步驟S23重寫的顯示倍率數(shù)據403基礎上運算成像部件42的新成像倍率β1并控制縮放機構46，由此，重新確定成像部件42的成像倍率(步驟S24)。
當縮放控制部件484確定成像倍率時，成像部件42對襯底90進行成像(步驟S25)，以重新獲得被測圖像數(shù)據404。此外，被測圖像顯示部件485進行第一顯示步驟(步驟S26)，以在檢測監(jiān)視器41的顯示區(qū)410上顯示新的被測圖像數(shù)據404。
此時，被測圖像顯示部件485以操作者所需的新顯示倍率α1顯示成像的被測圖像數(shù)據404，同樣與步驟18類似。由此，缺陷檢測器4以操作者所需的新顯示倍率α1顯示步驟S13確定的缺陷區(qū)域。
當被測圖像顯示部件485顯示被測圖像數(shù)據404時，主圖像顯示部件486進行第二顯示步驟(步驟S27)，以顯示主圖像數(shù)據405。此時，缺陷檢測器4通過與步驟S19中所采用的相類似的方法，在步驟S23重寫的顯示倍率數(shù)據403基礎上，運算用于主圖像數(shù)據405的顯示倍率α2。
圖13示出了關于圖11所示例子的被測圖像數(shù)據404的顯示倍率α1的典型改變。當將圖11所示的顯示區(qū)410上顯示的被測圖像數(shù)據404改變?yōu)閳D13所示的顯示區(qū)410上顯示的被測圖像數(shù)據404時，缺陷檢測器4以基本上等于被測圖像數(shù)據404改變的顯示倍率α1的顯示倍率在圖13所示的顯示區(qū)411上顯示主圖像數(shù)據405。
換言之，當操作者改變被測圖像數(shù)據404的顯示倍率α1時，缺陷檢測器4跟隨被測圖像數(shù)據404的顯示倍率α1以顯示倍率α2自動顯示主圖像數(shù)據405。因此，操作者易于對圖像數(shù)據404和405進行相互比較，而不用進行改變主圖像數(shù)據405的顯示倍率α2的操作，以提高缺陷操作效率。
再參見圖8，當操作者終止關于缺陷區(qū)域的檢測操作時(步驟S28中為是)，控制部件48參考缺陷信息400，以確認操作者是否已經終止關于襯底90的所有缺陷區(qū)域的檢測操作，并在存在其它缺陷時從步驟S13開始進行重復處理。
如果不存在要檢測的其它缺陷區(qū)域(在步驟S29中為是)，則控制部件48確定是否有其它襯底要進行檢測(步驟S30)。如果有要檢測的其它襯底，則控制部件48重復從步驟S11的處理，如果沒有其它襯底要檢測，則終止處理。
如上所述，根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4在倍率運算部件482獲得的缺陷區(qū)域的顯示倍率α1基礎上，運算要與缺陷區(qū)域比較的主圖像數(shù)據405的顯示倍率α2。缺陷檢測器4響應獲得的顯示倍率α2而在檢測監(jiān)視器41上顯示主圖像數(shù)據405，以便缺陷檢測器4可以響應被測圖像數(shù)據404的顯示倍率α1而顯示以任意成像倍率成像的主圖像數(shù)據405。因此，操作者易于對圖像數(shù)據404和405進行互相比較，以提高缺陷檢測操作的效率。
當操作者改變被測圖像數(shù)據404的顯示倍率α1時，缺陷檢測器4也自動改變主圖像數(shù)據405的顯示倍率α2，由此操作者可以進行檢測操作，而不用精細地改變主圖像數(shù)據405的顯示倍率α2，這與常規(guī)缺陷檢測器不同。由此還可提高缺陷檢測器的效率。
此外，缺陷檢測器4在檢測監(jiān)視器41上同時顯示被測圖像數(shù)據404和主圖像數(shù)據405，由此操作者易于對缺陷區(qū)域與缺陷參考區(qū)域進行互相比較。
當操作者直接驅動成像部件42的光學系統(tǒng)時(直接改變成像倍率β1)，缺陷檢測器4通過成像部件42的被驅動光學系統(tǒng)的位置讀取成像部件42的成像倍率β1并通過數(shù)字表達式(3)將此成像倍率β1看作是顯示倍率α1。換言之，缺陷檢測器4可通過這個操作接收顯示倍率α1。在這種情況下，縮放控制部件484不可控制縮放機構46，由此缺陷檢測器4不能在接收到的顯示倍率α1基礎上重新獲得成像倍率β1。
根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4同時顯示主圖像數(shù)據405和被測圖像數(shù)據404，顯示圖像數(shù)據404和405的方法不限于這種方法，缺陷檢測器4也可以以轉換方式顯示圖像數(shù)據404和405。
圖14是表示隨著數(shù)據流在上述原理基礎上構成的根據本發(fā)明第二實施例的缺陷檢測器4的控制部件48的功能結構方框圖。根據第二優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4不同于根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4的地方在于它包括控制部件48的功能結構中的開關部件487。具有與根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4相同功能的根據第二優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4的結構用相同的參考標記表示，以適當?shù)厥÷匀哂嗾f明。
開關部件487從操作部件40接收輸入信號，以在輸入信號基礎上在被測圖像顯示部件485和主圖像顯示部件486上轉換顯示被測圖像數(shù)據404和主圖像數(shù)據405。
圖15和16是表示根據第二優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4的操作的流程圖。圖15所示的步驟S31-S37與圖7所示的步驟S11-S17相同。
缺陷檢測器4進行步驟S38，用于在檢測監(jiān)視器41上顯示被測圖像數(shù)據404，這與圖7所示的步驟S18相同，而不進行對應步驟S19的處理。這是因為根據第二優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4設置成在初始狀態(tài)下在被測圖像顯示部件485上顯示被測圖像數(shù)據404并且在沒有接收到來自操作者的指令時開關部件487使被測圖像顯示部件485顯示被測圖像數(shù)據404。
這樣，操作者可以識別成像部件42已經對襯底90進行成像并開始用視覺檢測缺陷區(qū)域。
圖17示出了以上述方式在檢測監(jiān)視器41上進行的典型顯示。如圖17所示，檢測監(jiān)視器41的顯示屏只分配給開關按鈕412和顯示區(qū)410，用于只顯示被測圖像數(shù)據404。開關按鈕412的功能將在后面說明。
當檢測監(jiān)視器41顯示被測圖像數(shù)據404時，根據第二優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4確定是否操作者已經進行輸入(步驟S41)。這個確定處理對應步驟S21。
如果步驟S41的確定是是，則缺陷檢測器4經步驟S42到S45步驟進行處理(對應圖8所示的經步驟S22到S25的處理)，如果確定是否，則跳過這個處理。
然后，開關部件487參照來自操作部件40的輸入信號確定操作者是否已經操作開關按鈕412，由此確定是否顯示缺陷參考區(qū)域(步驟S46)。換言之，開關按鈕412具有在開關部件487中輸入來自操作者的指令的功能。
如果操作者沒有操作開關按鈕412(在步驟S46中為否)，則開關部件487在步驟S47進行第一顯示步驟(對應步驟S26中的處理)，以便在被測圖像顯示部件485上進行顯示。如果缺陷檢測器4已經執(zhí)行了步驟S42-S45的處理，則開關部件487再次運算和顯示被測圖像數(shù)據404的顯示倍率α1。
如果操作者已經操作開關按鈕412(在步驟S46中為是)，另一方面，開關部件487在步驟S48進行第二顯示步驟(對應步驟S27的處理)，以便在主圖像顯示部件486上進行顯示。
圖18示出了以上述方式在檢測監(jiān)視器41上進行的典型顯示。如圖18所示，開關部件487將通過被測圖像顯示部件485的顯示轉換為通過主圖像顯示部件486的顯示，并且檢測監(jiān)視器41的顯示屏只分配給返回按鈕413和顯示區(qū)411。返回按鈕413用于使顯示返回到通過被測圖像顯示部件485的顯示。換言之，缺陷檢測器4在步驟S46確定為是，除非返回按鈕413工作。
在步驟S47或S48之后執(zhí)行的通過步驟S49-S51的處理類似于圖8所示的通過步驟S28-S30的處理。
如上所述，根據第二優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4也可以達到類似于根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4的效果。
此外，缺陷檢測器4通過在通過被測圖像顯示部件485的顯示和通過主圖像顯示部件486的顯示之間進行轉換而可以有效地利用檢測監(jiān)視器41的顯示區(qū)。
前面已經參照在單一檢測監(jiān)視器41上顯示主圖像數(shù)據405和被測圖像數(shù)據404的缺陷檢測器4介紹了第一和第二優(yōu)選實施例，但是顯示圖像數(shù)據404和405的方法不限于此，圖像數(shù)據404和405也可以分別顯示在不同的顯示器上。
圖19是在上述原理基礎上構成的根據本發(fā)明第三優(yōu)選實施例的缺陷檢測器5的正視圖。根據第三優(yōu)選實施例的缺陷檢測器5包括兩個檢測監(jiān)視器414和415作為在其屏幕上顯示各種數(shù)據的顯示器。缺陷檢測器5的結構基本上與根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4相同，除了檢測監(jiān)視器414和415之外，并且與根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4相同的根據第三優(yōu)選實施例的缺陷檢測器5的部分適當?shù)赜孟嗤瑓⒖紭擞洷硎?，從而省略冗余說明。
分別具有與根據上述第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4相同功能的檢測監(jiān)視器414和415設置在X軸方向并由支撐件491支撐，如圖19所示。
圖20是表示隨著數(shù)據流第三優(yōu)選實施例的缺陷檢測器5中控制部件48的功能結構方框圖。在根據第三優(yōu)選實施例的控制部件48中，被測圖像顯示部件485將對檢測監(jiān)視器415進行輸出，而主圖像顯示部件486對檢測監(jiān)視器414進行輸出。
根據第三優(yōu)選實施例的缺陷檢測器5構成為可執(zhí)行類似于圖7和8所示的根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4的操作的裝置，并且在類似于步驟S18和S26的步驟中，被測圖像顯示部件485在檢測監(jiān)視器415上顯示被測圖像數(shù)據404。此外，主圖像顯示部件486在類似于步驟S19和S27的步驟中在檢測監(jiān)視器414上顯示主圖像數(shù)據405。
這樣，缺陷檢測器5可以避免在通過在不同顯示器上顯示缺陷區(qū)域和缺陷參考區(qū)域而檢測缺陷的操作中操作者將被測圖像數(shù)據404誤認為是主圖像數(shù)據405或反之的可能性。
如上所述，根據第三優(yōu)選實施例的缺陷檢測器5也可以達到類似于根據上述第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4的效果。
此外，在檢測缺陷的操作中操作者幾乎不會將被測圖像數(shù)據404誤認為是主圖像數(shù)據405或反之。因此，缺陷檢測器5可以實施有效的檢測操作。
在每個上述優(yōu)選實施例中，獲得缺陷信息400的方法不限于通信部件47通過網絡2的操作。檢查裝置3也可以在便攜式記錄介質等中記錄缺陷信息400，用于將記錄介質伴隨著襯底90傳送到缺陷檢測器4或5，從而缺陷檢測器4或5從記錄介質讀取缺陷信息400。
在每個上述優(yōu)選實施例中，控制部件48通過軟件處理運行程序而執(zhí)行其功能，控制部件48還可通過專用電路如俘獲板或軸控制板進行硬件處理而部分或全部地執(zhí)行其功能結構。
缺陷檢測器4或5中的處理順序不限于參照上述優(yōu)選實施例所述的順序。例如，根據第一優(yōu)選實施例的缺陷檢測器4也可以構成為并行執(zhí)行步驟S14的處理和步驟S15和S16的處理，或者轉換執(zhí)行步驟S18和S19的順序。換言之，缺陷檢測器4可以按照任意順序執(zhí)行處理，只要達到上述效果即可。
在上述第一到第三優(yōu)選實施例中，操作者輸入用于目前顯示的被測圖像數(shù)據404的改變倍率αp，以便改變其顯示倍率，但是輸入信息不限于此。例如，操作者還可以直接輸入新的所需的顯示倍率α1。此外，操作者可以輸入用于重寫顯示尺寸數(shù)據401的新缺陷顯示尺寸，以便倍率運算部件482運算新的顯示倍率α1。
缺陷檢測器4或5通過預先對參考襯底進行成像而獲得主圖像數(shù)據405并對其進行儲存或從CAD數(shù)據產生主圖像數(shù)據405，操作者還可以在檢測缺陷區(qū)域時實時獲得主圖像數(shù)據405。在這種情況下，缺陷檢測器4或5可以隨被測圖像數(shù)據404的顯示倍率α1設置參考襯底的成像倍率β2。
前面已經示出并詳細說明了本發(fā)明，前面的說明都是示意性的而非限制性的。因此應該理解在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下可以進行各種修改和改變。
權利要求
1.一種缺陷檢測器，用于檢測被測物體上的缺陷，所述缺陷檢測器包括圖像顯示系統(tǒng)；固持元件，固定所述被測物體；圖像獲得元件，對由所述固持元件固定的所述被測物體進行成像，以通過對具有缺陷的所述被測物體的缺陷區(qū)域進行成像而獲得被測圖像數(shù)據；第一顯示控制元件，以第一顯示倍率在所述圖像顯示系統(tǒng)上顯示由所述圖像獲得元件獲得的所述被測圖像數(shù)據；以及第二顯示控制元件，以第二顯示倍率在所述圖像顯示系統(tǒng)上顯示將與所述缺陷區(qū)域比較的主圖像數(shù)據，所述第二顯示倍率為響應所述第一顯示倍率運算得到的。
2.根據權利要求1所述的缺陷檢測器，還包括尺寸獲得元件，獲得表示關于由所述固持元件固定的所述被測物體的所述缺陷區(qū)域的尺寸的信息；以及顯示倍率運算元件，基于表示由所述尺寸獲得元件獲得的所述缺陷區(qū)域的尺寸的所述信息根據規(guī)定算法運算所述第一顯示倍率。
3.根據權利要求1所述的缺陷檢測器，還包括從操作者接收輸入信息的操作部件，其中在每次基于所述輸入信息設置所述第一顯示倍率時，所述第二顯示控制元件響應設置的所述第一顯示倍率而運算所述第二顯示倍率，并且以所述第二顯示倍率在所述圖像顯示系統(tǒng)上顯示所述主圖像數(shù)據。
4.根據權利要求1所述的缺陷檢測器，還包括成像倍率確定元件，該成像倍率確定元件響應所述第一顯示倍率根據規(guī)定算法確定用于對所述被測物體進行成像的所述圖像獲得元件的成像倍率。
5.根據權利要求1所述的缺陷檢測器，還包括位置獲得元件，獲得表示關于由所述固持元件固定的所述被測物體所述缺陷區(qū)域的位置的信息；以及定位元件，響應表示由所述位置獲得元件獲得的所述缺陷區(qū)域的位置的所述信息而確定由所述固持元件固定的所述被測物體和所述圖像獲得元件的相對位置。
6.根據權利要求1所述的缺陷檢測器，其中所述主圖像數(shù)據表示數(shù)字位圖，以及所述第二顯示倍率是用于將所述數(shù)字位圖放大整數(shù)倍的倍率值。
7.根據權利要求1所述的缺陷檢測器，其中所述圖像顯示系統(tǒng)中包含的單一顯示器分別通過所述第一顯示控制元件和所述第二顯示控制元件同時顯示所述被測圖像數(shù)據和所述主圖像數(shù)據。
8.根據權利要求1所述的缺陷檢測器，還包括開關元件，所述開關元件使所述圖像顯示系統(tǒng)中包含的所述單一顯示器以轉換方式通過所述第一顯示控制元件和所述第二顯示控制元件顯示所述被測圖像數(shù)據和所述主圖像數(shù)據。
9.根據權利要求1所述的缺陷檢測器，其中所述圖像顯示系統(tǒng)包括第一顯示器，在所述第一顯示控制元件的控制下顯示所述被測圖像數(shù)據；以及第二顯示器，在所述第二顯示控制元件的控制下顯示所述主圖像數(shù)據。
10.一種檢測被測物體上的缺陷的缺陷檢測方法，包括固持步驟，固定所述被測物體；圖像獲得步驟，對在所述固持步驟中固定的所述被測物體進行成像并通過對具有缺陷的所述被測物體的缺陷區(qū)域進行成像獲得被測圖像數(shù)據；第一顯示步驟，以第一顯示倍率在圖像顯示系統(tǒng)上顯示在所述圖像獲得步驟中獲得的所述被測圖像數(shù)據；以及第二顯示步驟，以第二顯示倍率在圖像顯示系統(tǒng)上顯示將與所述缺陷區(qū)域比較的主圖像數(shù)據，所述第二顯示倍率為響應所述第一顯示倍率運算得到的。
11.根據權利要求10所述的缺陷檢測方法，還包括尺寸獲得步驟，獲得表示關于在所述固持步驟中固定的所述被測物體所述缺陷區(qū)域的尺寸的信息；以及顯示倍率運算步驟，基于表示在所述尺寸獲得步驟中獲得的所述缺陷區(qū)域的尺寸的所述信息根據規(guī)定算法運算所述第一顯示倍率。
12.根據權利要求10所述的缺陷檢測方法，還包括接收來自操作者的輸入信息的操作步驟，以在每次基于所述輸入信息設置所述第一顯示倍率時，進行所述第二顯示步驟。
13.根據權利要求10所述的缺陷檢測方法，還包括成像倍率確定步驟，響應所述第一顯示倍率根據規(guī)定算法確定用于對所述被測物體進行成像的成像倍率。
14.根據權利要求10所述的缺陷檢測方法，還包括位置獲得步驟，獲得表示關于所述固持步驟中固定的所述被測物體的所述缺陷區(qū)域的位置的信息；以及定位步驟，響應在所述位置獲得步驟中獲得的表示所述缺陷區(qū)域的位置的所述信息，確定所述固持步驟中固定的所述被測物體和對所述被測物體進行成像的成像元件的相對位置。
15.根據權利要求10所述的缺陷檢測方法，其中所述主圖像數(shù)據表示數(shù)字位圖，以及運算所述第二顯示倍率作為在所述第二顯示步驟中將所述數(shù)字位圖放大整數(shù)倍的倍率值。
全文摘要
缺陷檢測器的控制部件設有倍率運算部件、被測圖像顯示部件和主圖像顯示部件。倍率運算部件基于缺陷信息運算用于缺陷區(qū)域的顯示倍率α1(顯示倍率數(shù)據)。成像部件對被測圖像數(shù)據成像，以便成像倍率β1達到顯示倍率α1，并且被測圖像顯示部件在檢測監(jiān)視器上顯示被測圖像數(shù)據。主圖像數(shù)據顯示部件運算基本上等于顯示倍率α1的主圖像數(shù)據的顯示倍率α2，并在檢測監(jiān)視器上以顯示倍率α2顯示主圖像數(shù)據。因此，提高了操作者缺陷檢測操作的效率。
文檔編號G01B11/30GK1598483SQ20041007971
公開日2005年3月23日 申請日期2004年9月17日 優(yōu)先權日2003年9月17日
發(fā)明者三田章生 申請人:大日本網目版制造株式會社