專利名稱：干涉儀裝置的被檢透鏡載置臺的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及用于使用激光干涉儀檢查球面透鏡等的表面狀態(tài)的干涉儀裝置，特別是涉及將被檢透鏡保持為穩(wěn)定狀態(tài)，從而能夠進行其被檢面的測定·檢查的干涉儀裝置的被檢透鏡載置臺。
背景技術：
為了進行透鏡的精加工精度的檢查等的、測定被檢透鏡的表面狀態(tài)時使用干涉儀裝置。作為干涉儀裝置的基本構成，包括發(fā)射可干涉光的激光光源、用于將從該激光光源射出的光變成規(guī)定直徑的平行光束的準直透鏡、具有被檢透鏡的被檢面的基準形狀的基準透鏡?；鶞释哥R的與入射來自準直透鏡的平行光束的一側(cè)相反的一側(cè)的面，即與被檢透鏡的面相面對的基準面，其表面形狀成為與被檢透鏡的被檢面相同或相似的形狀。而且，來自激光光源的激光一部分由該基準透鏡的基準面反射回準直透鏡。另外，由于透過基準面的激光一部分由被檢透鏡的被檢面反射后透過基準透鏡而返回到準直透鏡，所以通過使這兩個反射波面重合而得到兩波面間的干涉信息，基于該干涉信息而進行被檢透鏡的加工面精度等的測定·檢查。因此，將來自準直透鏡的返回光用分光鏡從入射光中分離，再將其導入使用照相機等的觀察裝置中。
在這里，只要被檢透鏡為球面透鏡，其曲率與基準透鏡的曲率一致就不是用來進行測定·檢查的必須條件。即，基準透鏡的曲率中心位置與被檢透鏡的曲率中心位置準確一致的話，無論在被檢透鏡的曲率半徑比基準透鏡的曲率半徑大的場合、還是被檢透鏡的曲率半徑比基準透鏡的曲率半徑小的場合，都能進行測定。因此，為了測定種種被檢透鏡，作為可將基準透鏡或被檢透鏡在光軸方向上移動的構成，通過調(diào)整這些透鏡間的間隔，能夠使基準透鏡與被檢透鏡的曲率中心位置一致。
因此，在專利文獻日本專利公開公報特開平6-3219號公報中公開了將構成從激光光源到基準透鏡、與從基準透鏡到觀察裝置的光路的各部件組裝成為一體而構成干涉儀本體，通過使該干涉儀本體沿光軸方向移動，使用單一的基準透鏡測定曲率半徑不同的被檢透鏡時，調(diào)整基準透鏡與被檢透鏡之間間隔的構成。另外，被檢透鏡被設置于透鏡座上，該透鏡座具有以120°位相配置的球面形狀的透鏡支承部件，被檢透鏡由這些透鏡支承部件以3點支承其透鏡面。
然而，當然有必要使基準透鏡與被檢透鏡的曲率中心位置一致，在測定被檢透鏡的被檢面的整面時，需要對設置被檢透鏡的透鏡座的大小、基準透鏡與被檢透鏡的有效口徑的關系加以考慮。即，在被檢透鏡的外徑尺寸比設于透鏡座上的透鏡支承部件大的場合、及被檢透鏡的有效口徑比來自基準透鏡的有效測定光束徑大的場合下，雖然能夠?qū)ψ员粰z透鏡的光軸中心起被限定的范圍進行測定，但不能測定周邊部。因此，在想要用干涉儀裝置測定各種有效口徑的被檢透鏡的被檢面整體的場合下，也會產(chǎn)生必須要更換基準透鏡及透鏡座的情況。而且，在被檢透鏡的外徑尺寸較大的場合，有必要采用大型透鏡座、及明亮的基準透鏡，存在干涉儀裝置整體大型化的問題。另外，在測定大型且具有厚度、且曲率半徑小的被檢透鏡等時，將被檢透鏡設置于透鏡座上時，如果不是配置于相對于基準透鏡的光軸中心線大致一致的位置上的話，會有由于重力平衡的問題，被檢透鏡失去穩(wěn)定性，在透鏡支承部件上滑動而從透鏡支承部件上脫落的問題點。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述各點的構造，其目的在于根據(jù)能夠穩(wěn)定地保持被檢透鏡、且小型而緊湊的構成，能夠測定各種類型的被檢透鏡。
因此，本發(fā)明的干涉儀裝置，它由基準透鏡反射從激光光源照射的激光的一部分，由被檢透鏡的被檢面反射來自該基準透鏡的透過光，用觀察裝置觀察產(chǎn)生于這兩個反射光之間的干涉條紋，其特征在于，具有配置于上述基準透鏡的光軸延長線位置上、且可裝卸地設置有上述被檢透鏡的透鏡座，該透鏡座具有將抵接于上述被檢透鏡的被檢面或其相反側(cè)的面上的透鏡支承部件設置于前端面上的筒狀的透鏡載置部、設置于該透鏡載置部的下部位置上且由具有至少與上述透鏡支承部的內(nèi)徑相同或大于其內(nèi)徑的內(nèi)徑的圓環(huán)狀部件構成的臺座部、立設于該臺座部上的至少3根外周限制桿，上述各外周限制桿配置于，在所有的透鏡支承部位于上述被檢透鏡的范圍內(nèi)的狀態(tài)，該被檢透鏡的外周部至少可與相鄰接的兩根外周限制桿相抵接、并且在該狀態(tài)下保持相對于上述臺座部表面為非接觸狀態(tài)的位置上。
在這里，由于透鏡座用于載置被檢透鏡，所以其必須是能夠在其與基準透鏡之間進行光軸及透鏡間間隔的調(diào)整的構成。這些調(diào)整機構既可保持于基準透鏡側(cè)，又可保持于被檢透鏡側(cè)。另外，也可以使光軸調(diào)整機構與透鏡間間隔調(diào)整機構為分別獨立的構成，使其中一個保持于基準透鏡側(cè)，另一個保持于被檢透鏡側(cè)。而且，雖然在進行光軸調(diào)整時，必須在與光軸正交的面上進行的XY方向與傾斜方向的調(diào)整，但該各調(diào)整部可保持于任意一側(cè)。
在透鏡座上，且不論是否具有上述調(diào)整機構，但至少具有安裝透鏡支承部件的透鏡載置部和設置外周限制桿的臺座部。因此，即使進行光軸及透鏡間間隔的調(diào)整，透鏡支承部件和外周限制桿的位置關系也被保持為一定。特別是，以凹透鏡的凹球面部作為被檢面，使該被檢面朝向下方進行測定時，將被檢透鏡設置于透鏡支承部件上之后，其重心位置位于透鏡支承部件的上方，而且與透鏡支承部件抵接的抵接部成為傾斜的曲面形狀。因此，將被檢透鏡設置于透鏡座上時，若不能將被檢透鏡對中心的話，會有從透鏡支承部件上滑落的可能性。然而，在本發(fā)明中，即使被設置的被檢透鏡在透鏡支承部件上滑動，也會在抵接于外周限制桿上的位置上停止，而不會滑落到臺座部上。因此，能夠切實地防止發(fā)生由被檢透鏡的滑落引起的損傷或缺口等事故。此時，被檢透鏡實質(zhì)上由相鄰接的兩根外周限制桿支承，被檢透鏡以抵接于3個透鏡支承部件上的狀態(tài)被穩(wěn)定保持。而且，在該透鏡支承部件的內(nèi)部領域中的曲率中心位置被保持為與基準透鏡的曲率中心位置一致的狀態(tài)。
由于被檢透鏡所抵接的是相鄰接的兩根外周限制桿，所以相鄰接的兩根外周限制桿間的間隔必須要比被檢透鏡的直徑窄。因此，外周限制桿的數(shù)量至少要設置有3根。雖然從謀求被檢透鏡的安定方面考慮最好設置3根外周限制桿，但被檢透鏡滑動時的移動量會變大。另外，若外周限制桿數(shù)增多的話，由于由兩根外周限制桿的向被檢透鏡的抵接部的間隔變短，所以被檢透鏡的穩(wěn)定性會變差。根據(jù)上述，外周限制桿最好設有4根或3根。而且，外周限制桿至少其與被檢透鏡抵接的部位由彈性構件形成。例如，采用由用橡膠或軟性的樹脂等制成的彈性構件形成外周限制桿整體、或用橡膠等彈性構件纏繞由硬質(zhì)部件形成的外周限制桿周圍等方法的構成。
設置于透鏡座上的被檢透鏡能夠挪到與外周限制桿抵接的位置上，在將被檢透鏡支承于兩根外周限制桿上時，其周邊部分與基準透鏡相面對。因此，在透過基準透鏡的光束照射于被檢透鏡上時，即使使用只限定于該被檢透鏡的被檢面的一部分的有效測定光束徑的小基準透鏡，也能夠在將被檢透鏡對中心的位置、即在其光軸中心與基準透鏡的光軸中心重合的位置上測定之后，通過使被檢透鏡向與兩根外周限制桿抵接的位置挪動后對其進行測定，從而能夠進行被檢透鏡的周邊部分的測定。而且，能夠通過在該狀態(tài)下向回轉(zhuǎn)方向挪動位置的同時進行測定等，對被檢透鏡的被檢面整體進行測定。
透鏡支承部件被限制為被測定的最小徑的被檢透鏡。即，即使是最小徑的被檢透鏡，也必須能夠切實地與透鏡支承部件抵接。另一方面，外周限制桿必須相對于實際被測定的被檢透鏡的外徑尺寸而變化位置。因此，在測定不同的有效口徑的被檢透鏡時，以各外周限制桿相對于基準透鏡的光軸中心形成同心圓為條件，能夠朝向徑向進行位置調(diào)整。而且，最大限為，以使被檢透鏡抵接于3個透鏡支承部件上的狀態(tài)，進行各外周限制桿的位置調(diào)整，從而使設置于相鄰接的位置上的兩處外周限制桿能夠抵接于被檢透鏡的外周邊緣上的位置上，或位于其內(nèi)側(cè)的位置上。其結(jié)果為，被檢透鏡不使其外周邊緣與臺座部等接觸，而且被保持為其曲率中心位置與基準透鏡的曲率中心位置一致的狀態(tài)，在該狀態(tài)下，能夠進行被檢透鏡的至少一部分的測定。
根據(jù)上述構成的本發(fā)明，由于在透鏡座上設置被檢透鏡時，無論是被對中心的位置，還是在偏移的位置上都能夠穩(wěn)定地保持，所以能夠獲得可測定其被檢面整體的形狀等的效果。


圖1表示本發(fā)明的一實施方式，是表示干涉儀裝置的光學構成的整體構成的說明圖。
圖2是透鏡座的俯視圖。
圖3是圖2的X-X截面圖。
圖4是表示由干涉儀裝置測定的被檢透鏡和其測定范圍的說明圖。
圖5是表示當測定外徑大的被檢透鏡時進行包含其光軸中心部的部位的測定的狀態(tài)的說明圖。
圖6是表示當測定外徑大的被檢透鏡時進行其周邊部的測定的狀態(tài)的說明圖。
圖7是表示透鏡座的其他構成例的俯視圖。
圖8是圖7的Y-Y截面圖。
圖9是圖7的側(cè)視圖。
具體實施例方式
以下基于圖面說明本發(fā)明的實施方式。首先，圖1中表示干涉儀裝置的整體構成。在同圖中，1表示激光光源，從該激光光源1射出的激光入射到用于擴大該激光光束直徑的光束整形透鏡2，由該光束整形透鏡2一次聚光后使其發(fā)散到規(guī)定的光束直徑為止。然后，在該光束整形透鏡2的聚光位置配置光圈3，通過該光圈3的光發(fā)散的同時入射到分光束鏡4，通過由該分光束鏡4反射，光路彎曲90°。然后，分光束鏡4處的反射光被準直透鏡5平行光束化。
6是基準透鏡，7是被檢透鏡，基準透鏡6在其入射面6a側(cè)施加有防止反射涂覆層，其相反面為基準面6b。被檢透鏡7的被檢面7a的表面狀態(tài)是被檢測的對象，基準透鏡6的基準面6b和被檢透鏡7的被檢面7a相對配置。然后，由準直透鏡5平行光束化的激光被基準透鏡6的基準面6b反射一部分，透過該基準透鏡6的光的一部分被檢透鏡7的被檢面7a反射。其結(jié)果，由基準面6b反射的反射光和由被檢面7a反射的反射光之間發(fā)生干涉作用。這樣具有干涉信息的反射光再次透過準直透鏡5，通過透過分光束鏡4，與入射光分離。然后，通過干涉條紋成像用透鏡8進入攝像機構9。因此，通過將來自攝像機構9的干涉條紋信息反映到監(jiān)視器，例如基于干涉條紋的條數(shù)等測定被檢透鏡7的被檢面7a的表面狀態(tài)。
干涉儀裝置大概是上述構成，在本實施方式中，激光光源1、光束整形透鏡2、光圈3、分光束鏡4、準直透鏡5、干涉條紋成像用透鏡8和攝像機構9作為干涉儀本體單元10設置在本體殼體11的內(nèi)部。在該本體殼體11的頂板部11a上設置有安裝基準透鏡6的基準透鏡單元12和可裝卸地安裝被檢透鏡7的被檢透鏡安裝單元13。另外，在頂板部11a上形成導光用的開口14。而且，基準透鏡單元12也可以與干涉儀本體單元10形成為一體。
在此，需要在基準透鏡6和被檢透鏡7之間進行光軸調(diào)整。即，如圖1中光軸中心線C所示，必須以基準透鏡6的光軸中心線和被檢透鏡7的光軸中心線完全一致、不能在與光軸中心線垂直的方向上偏移、且不能在相互的光軸中心線間產(chǎn)生傾斜的方式進行調(diào)整。因此，在基準透鏡單元12和被檢透鏡安裝單元13的至少一方上必須設置光軸調(diào)整機構，例如可以在基準透鏡單元12上設置光軸調(diào)整機構。另外，基準透鏡6的曲率中心位置和被檢透鏡7的曲率中心位置必須通過光軸調(diào)整機構一致地配置于調(diào)整后的光軸中心線C上相同的位置0，因此需要調(diào)整基準透鏡單元12和被檢透鏡安裝單元13之間的間隔。另外，在測定曲率半徑不同的被檢透鏡7時，需要重新調(diào)整基準透鏡6和被檢透鏡7之間的間隔。該間隔調(diào)整機構如圖1中符號15所示，例如可設置于被檢透鏡安裝單元13側(cè)。
另外，在本實施方式中，基準透鏡6相對干涉儀本體單元10為獨立的構成，也可以在干涉儀本體單元側(cè)安裝透鏡支架，把基準透鏡安裝在該透鏡支架上。另外，基準透鏡6的光軸在XY軸方向和傾斜方向上可調(diào)整，但其構成也可以為例如在構成被檢透鏡安裝單元13的固定框架側(cè)、例如在固定框架和間隔調(diào)整機構之間設置任何一個調(diào)整機構或全部的光軸調(diào)整機構。
接下來，圖2和圖3表示被檢透鏡安裝單元13的透鏡座20的構成。在這里，被檢透鏡安裝單元13如上所述，因為是包括間隔調(diào)整機構15的部件，所以該透鏡座20通過螺紋配合于間隔調(diào)整機構15的上部等而被固定。
透鏡座20是將透鏡載置筒21和臺座部22形成為一體的部件，透鏡載置筒21由具有規(guī)定厚度圓筒狀部件構成，其上端面上，接觸于被檢透鏡7的被檢面7a上的作為透鏡支承部件的鋼球23以120°的間隔安裝在3個部位。這樣，通過以使被檢透鏡7接觸于鋼球23的方式安裝被檢透鏡7，被檢透鏡7平時能3點支承于一定的位置，在提高測定的再現(xiàn)性的同時能以在裝卸被檢透鏡7時不被劃傷的方式進行裝卸。臺座部22為圓環(huán)狀的部件，為了固定于構成被檢透鏡安裝單元13的間隔調(diào)整機構15，螺紋筒24向下方延伸。因此，該透鏡座20的內(nèi)部是中空的，形成使從基準透鏡6發(fā)散的光通過的導光路25。
臺座部22的外徑比透鏡載置筒21的外徑大，在其上面以分別90°的位置關系立設有4根外周限制桿26。外周限制桿26由桿27和固定該桿27的下端部的螺紋座28構成，桿27由金屬或塑料等的硬質(zhì)部件構成，在桿27的立設位置的左右兩側(cè)，螺紋座28通過緊固螺釘可拆卸地固定于臺座部22的上表面上。另外，桿27從與螺紋座28連結(jié)的連結(jié)部豎直方向延伸規(guī)定高度形成鉛直部27a，其前端側(cè)形成徑向朝外傾斜的傾斜部27b。另外，在鉛直部27a的外周部固定設置由軟性樹脂等制成的彈性部件構成的緩沖用管29。因此，傾斜部27b作為安裝被檢透鏡7時的導入部而發(fā)揮作用，另外在被檢透鏡7的外周緣部沖撞時，緩沖用管29可以發(fā)揮緩沖作用，用于保護被檢透鏡7，防止發(fā)生破裂、缺口等。
構成外周限制桿26的螺紋座28固定于臺座部22，因此在臺座部22上設置螺紋孔30。螺紋孔30在臺座部22的徑向以規(guī)定的間距設置有多個。這樣，外周限制桿26可以從透鏡座20的中心位置(光軸中心線C通過的位置)在徑向上改變位置而安裝。這樣，設置4個部位的外周限制桿26可以分別改變固定位置，即使進行了位置調(diào)整，在被檢透鏡7的外形為圓形的場合，可以全部調(diào)整為形成以中心位置為中心的同心圓的位置關系。
在這里，把被檢透鏡7安裝于透鏡載置筒21上時，如果該被檢透鏡7的光軸中心位置與透鏡座20的中心位置一致，則只由設置在透鏡載置筒21上的3個鋼球23穩(wěn)定地支承被檢透鏡7。但是，當被檢透鏡7的光軸中心位置從透鏡座20的中心位置偏移時，成為球面形狀的被檢透鏡7的被檢面7a向相對于鋼球23增進偏移的方向滑動。該滑動的結(jié)果，被檢透鏡7接觸于外周限制桿26上，當與相鄰的2根外周限制桿26接觸時，在其位置穩(wěn)定。另外，即使在該狀態(tài)下，也必須保持被檢透鏡7的外周緣部相對臺座部22保持非接觸狀態(tài)。因此，從座部22的上表面到安裝于透鏡載置筒21的鋼球23的頂部的高度尺寸參照這一點而設置。
本實施方式為上述構成，在測定被檢透鏡7的被檢面7a的表面狀態(tài)時，在透鏡座20上設置被檢透鏡7。來自激光光源1的激光通過基準透鏡6照射在被檢透鏡7上。激光在一部分被基準透鏡6的基準面6b反射的同時，也由被檢透鏡7的被檢面7a反射，通過這兩個反射波面的干涉，該干涉信息被攝像機構9攝像。能基于該干涉條紋信息測定·檢查被檢透鏡7的加工精度。
這里，如圖4所示，被檢透鏡7的可測定范圍不會超過透鏡座20上的透鏡載置筒21的導光路25的投影部分。即，當透過基準透鏡6、聚光于其曲率中心位置、且從該曲率中心位置0發(fā)散的光束截面比該導光路25的內(nèi)徑大時，光反射到透鏡載置筒21的內(nèi)表面上，所以無法進行被檢面7a的測定。另外，當基準透鏡6的有效測定光束直徑小時，比該導光路25的內(nèi)徑更小的光束(圖4中斜線所示范圍)照射于被檢透鏡7上。
現(xiàn)在，如圖4所示，在測定小徑的被檢透鏡7S和比其尺寸大的被檢透鏡7L時，同圖中斜線所示范圍為可測定范圍。在該場合，雖然在被檢透鏡7S中，可測定其有效直徑的大致整面，但對于被檢透鏡7L只能測定從光軸中心起的極窄的范圍。因此，即使如此大徑的被檢透鏡7L，不僅能測定其光軸中心部分，也可以測定周邊部分的表面形狀。
現(xiàn)在，如圖4所示的那樣，在測定小直徑的被檢透鏡7S和比它尺寸大的被檢透鏡7L的場合下，同圖中斜線所示的范圍為可測定的范圍。在這種情況下，雖然在被檢透鏡7S中，可以測定其有效直徑的全部表面，但是在被檢透鏡7L中，只能測定自其光軸中心的極其狹小的范圍。因此，即使是這樣的大直徑的被檢透鏡7L，也不僅能測定其光軸中心部分，還能測定周邊部分的表面形狀。
在這里，被檢透鏡7L在相對于構成透鏡支持部件的3處的鋼球23被對中心的狀態(tài)下，由這些鋼球23穩(wěn)定地保持著。在這些鋼球23的外側(cè)的位置上，設有4處外周限制桿26，這些相鄰的2根外周限制桿26的間隔小于被檢透鏡7L的直徑尺寸。由此，如圖5所示的那樣，能使被檢透鏡7L成為其光軸中心線與基準透鏡6的光軸中心線相一致的狀態(tài)，進行對于其被檢測面的區(qū)域M1的測定。此后，如圖6所示，當該被檢透鏡7L在前后及左右方向發(fā)生錯位時，該被檢透鏡7L的外周緣部與2根外周限制桿26抵接。此時，被檢透鏡7L被保持于與3處的鋼球23相抵接的狀態(tài)。結(jié)果，被檢透鏡7L的自重幾乎全部由2根外周限制桿承受，而由3處的鋼球23穩(wěn)定地保持于規(guī)定的位置。此時，可以將被檢透鏡7L中的被鋼球23所圍住的圓形的區(qū)域M2假想為1個透鏡，如圖6所示的那樣，保持其光軸中心線與基準透鏡6的光軸中心線相重合的狀態(tài)。由此，能進行被檢透鏡7L的周邊部的測定。于是，在使外周緣部抵接于外周限制桿26上的被檢透鏡7L旋轉(zhuǎn)時，也能進行其它區(qū)域的測定，作為整體能順利地測定被檢透鏡7L的被檢測面。
另外，外周限制桿26起到防止被檢透鏡7L滑落的作用。也就是說，在以3點支持被檢透鏡7L的場合下，被檢透鏡7L的中心，也就是光軸中心位置從連接設在3處的鋼球23的圓的中心發(fā)生錯位后，雖然其位置穩(wěn)定，但當其光軸中心位置從連接鋼球23的圓的中心錯位時，被檢透鏡7L的重量平衡被破壞，向著錯位的方向滑動。但是，被檢透鏡7L抵接于外周限制桿26，當滑動至被2根外周限制桿26所夾住的位置時，停止于該位置，不會發(fā)生進行一步的滑動。于是，此時保持于與3個鋼球23相抵接的狀態(tài)，并且不會接觸臺座部22的表面。由此，不會出現(xiàn)被檢透鏡7L撞擊臺座部22而發(fā)生破碎、缺損等的損傷的情況。另外，由于在外周限制桿26的桿27上安裝有緩沖用管29，即使發(fā)生被檢透鏡7L的撞擊，也由緩沖用管29的緩沖作用得到保護，不會出現(xiàn)造成損傷的情況。
這樣，在將外周限制桿26用作防止被檢透鏡7L滑落的情況下，由4根外周限制桿26形成的圓與連接鋼球23的圓為同心，為了減小被檢透鏡7L的滑動量，最好使連接該外周限制桿26的連接圓的尺寸不要過多地大于被檢透鏡7L的外徑。于是，由于外周限制桿26的桿27的前端部成為朝外傾斜的傾斜部27b，該傾斜部27b起到被檢透鏡7L的導入部的作用，所以不會使被檢透鏡7L向透鏡座20的裝卸特別困難。
外周限制桿26的位置能根據(jù)被測定的被檢透鏡的外徑尺寸進行變更。由此，根據(jù)對被檢透鏡中的哪個區(qū)域進行測定，或者根據(jù)具有什么功能，也就是根據(jù)測定被檢透鏡的周邊部還是僅僅為了防止滑落等，使螺紋座28從臺座部22分離，固定安裝于在臺座部22的徑向形成的螺紋孔30中的任意一個，通過將其配置于所需的位置，能將外周限制桿26配置于所需的位置。例如，在以測定被檢透鏡的周邊部為目的的情況下，與3處的鋼球23相抵接，并且在抵接于2根外周限制桿的狀態(tài)下，被檢透鏡的有效口徑的外周部位于基準透鏡6所照射的區(qū)域內(nèi)。另外，在僅以防止被檢透鏡滑落為目的的情況下，例如圖5中雙點劃線所示的那樣，在不干擾被檢透鏡的拆裝的范圍內(nèi)以一定程度縮短外周限制桿26的間隔。這里，對于無論是哪一種情況，在被檢透鏡7L的外形為圓形的情況下，連接所設置的4根外周限制桿26的圓都必須形成與連接鋼球23的圓同心的圓。
在上述實施方式中，構成為使外周限制桿的位置作階段性變化，也可以如圖7至圖9中所示的那樣，構成為連續(xù)地調(diào)整位置。
在這些圖中，透鏡座50由透鏡載置筒51和臺座部52構成，在透鏡載置筒51的上端面上在3處安裝有作為透鏡支持部件的鋼球53，由這3個鋼球53支持被檢透鏡。臺座部52由基部件54和罩部件55構成，這些基部件54和罩部件55由緊固螺釘固定成為組裝狀態(tài)。在基部件54的內(nèi)側(cè)可旋轉(zhuǎn)地安裝有轉(zhuǎn)動環(huán)57上。于是，在該轉(zhuǎn)動環(huán)57的上面上分別安裝相互夾角為120℃的位置關系的3個桿58。由于桿58呈大致L字狀，在其彎折部的位置上安裝固定銷59，該固定銷59旋轉(zhuǎn)自如地安裝于轉(zhuǎn)動環(huán)57。另外，在桿58的短邊側(cè)的端部連接設置有凸輪從動件60，該凸輪從動件60配合于形成于基部件54的槽凸輪61。另外，在桿58的長邊側(cè)的端部立起地設有外周限制桿62。外周限制桿62為從臺座部52直至規(guī)定高度位置為止向上立起的桿狀物，在外周面上安裝有橡膠等緩沖部件。
由此，松開緊固螺釘56，使配置于構成臺座部52的基部件54和罩部件55之間的轉(zhuǎn)動環(huán)57如圖7所示那樣按規(guī)定量進行往復轉(zhuǎn)動，由此，桿58以固定銷59為中心，將凸輪從動件引導至槽凸輪61，立設在其長邊部的外周限制桿62沿同圖中箭頭所示方向轉(zhuǎn)動位移。于是，這些外周限制桿62到達所需位置時，通過擰緊緊固螺釘56，罩部件55壓接于桿部件58，使桿58被固定。由此，連接設在3處的外周限制桿62的圓以保持與連接構成透鏡支持部件的3處的鋼球53的圓同心的狀態(tài)進行連續(xù)的縮放。由此，為了操作轉(zhuǎn)動環(huán)57，如圖9所示那樣，在基部件5 4的周身部形成規(guī)定角度量的長孔63，在該長孔63內(nèi)設有前端螺紋插入轉(zhuǎn)動環(huán)57的操作部件64。由此，通過旋轉(zhuǎn)操作該操作部件64，能使連接設在3處的外周限制桿62的圓的直徑連續(xù)變化。
根據(jù)這樣的構成，僅通過操作操作部件64，就能使外周限制桿62對應于被檢透鏡的外徑等配置到最合適的位置上。
權利要求
1.一種干涉儀裝置的被檢透鏡載置臺，由基準透鏡反射從激光光源照射的激光的一部分，由被檢透鏡被檢測面反射來自該基準透鏡的透射光，通過觀察機構觀察產(chǎn)生于這兩反射光之間的干涉條紋，其特征在于，具有配置于上述基準透鏡的光軸延長線位置上、且可裝卸地設置上述被檢透鏡的透鏡座，該透鏡座具有將上述被檢透鏡的被檢面或其相反側(cè)的面所抵接的透鏡支承部件設置于前端面上的筒狀的透鏡載置部；設置于該透鏡載置部的下部位置上且由具有至少與上述透鏡支承部的內(nèi)徑相同或大于其內(nèi)徑的內(nèi)徑的圓環(huán)狀部件構成的臺座部；立起地設于該臺座部上的至少3根外周限制桿，上述各外周限制桿被配置于，在所有的透鏡支承部都位于上述被檢透鏡的范圍內(nèi)的狀態(tài)下，該被檢透鏡的外周部至少可與相鄰的2根外周限制桿相抵接、并且在該狀態(tài)下保持相對于上述臺座部表面為非接觸狀態(tài)的位置上。
2.如權利要求1所述的干涉儀裝置的被檢透鏡載置臺，其特征在于，連接上述各外周限制桿的與上述被檢透鏡抵接的抵接部的圓形成為以上述基準透鏡的光軸中心線為中心的同心圓，而且，上述各外周限制桿可朝向徑向調(diào)整位置。
3.如權利要求1所述的干涉儀裝置的被檢透鏡載置臺，其特征在于，上述被檢透鏡所接觸、分離的上述各外周限制桿的周身部由彈性材料形成。
全文摘要
一種干涉儀裝置的被檢透鏡載置臺，該干涉儀裝置用于檢查球面透鏡等的被檢透鏡的表面狀態(tài)，能夠穩(wěn)定地保持被檢透鏡、且為小型而緊湊的構成，能夠測定各種類型的被檢透鏡。透鏡座(20)由在上端面上設置3處鋼球(23)的透鏡載置筒(21)和設置4根外周限制桿(26)的臺座部(22)構成，被檢透鏡(7)在鋼球(23)上滑動時，與相鄰接的兩根外周限制桿(26)抵接而保持穩(wěn)定，該狀態(tài)也為被檢透鏡(7)的外周邊緣部被保持為相對于臺座部(22)為非接觸狀態(tài)。
文檔編號G01B9/02GK1609547SQ20041008415
公開日2005年4月27日 申請日期2004年10月25日 優(yōu)先權日2003年10月24日
發(fā)明者高橋研一, 前田一平, 柴本博 申請人:富士能株式會社