專利名稱：玻璃襯底檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種使用于顯示裝置的玻璃襯底的檢查裝置，具體而言，本發(fā)明涉及一種能夠?qū)κ褂糜陲@示裝置的玻璃襯底同時(shí)進(jìn)行宏觀檢查及微觀檢查的玻璃襯底檢查裝置。
背景技術(shù)：
CRT(陰極射線管)、LCD(液晶顯示器)、PDP(等離子體顯示板)等作為圖像界面裝置，用于在視覺上提供如TV(電視)或監(jiān)視器之類的顯示信息，雖然將圖像信息顯示在各自裝置上的原理互不相同，但它們都需要使用作為實(shí)現(xiàn)顯示的核心部件之一的玻璃襯底。
作為一列舉例，在制造TFT-LCD(薄膜晶體管-液晶顯示器)的顯示裝置的工序中，進(jìn)行針對(duì)使用于顯示裝置的玻璃襯底的工序。使用于顯示裝置的玻璃襯底需要經(jīng)過將其從大的玻璃襯底上切斷、再對(duì)切斷后的玻璃襯底進(jìn)行涂覆鉻、涂覆黑底、涂覆ITO等多道工序。在這些工序前后，存在玻璃襯底由于其表面的異物等而導(dǎo)致質(zhì)量不好的可能性。由于這種玻璃襯底上的異物等會(huì)給TFT-LCD的顯示裝置的性能帶來致命的影響，所以必須進(jìn)行徹底的檢查。因此，為了檢查出由這種玻璃襯底上的異物等造成的損壞和缺陷，必須在制造各種顯示裝置之前，通過玻璃襯底檢查裝置進(jìn)行玻璃襯底的檢查工序。
玻璃襯底檢查裝置一般分為用肉眼搜尋異物等的宏觀檢查裝置和利用顯微鏡精密地搜尋不良狀態(tài)的微觀檢查裝置。雖然根據(jù)檢查項(xiàng)目存在必須選擇宏觀檢查和微觀檢查的情況，但是一般均采用首先用操作者的肉眼對(duì)整個(gè)玻璃襯底檢查異物粘附等不良狀態(tài)，根據(jù)宏觀檢查結(jié)果，僅將需要精密檢查的部分放大到大約25倍到100倍，再進(jìn)行微觀檢查。
在同時(shí)進(jìn)行宏觀檢查和微觀檢查的宏觀/微觀檢查裝置中，對(duì)于玻璃襯底尺寸偏小的現(xiàn)有情況而言，由于可以將玻璃襯底僅僅保持及固定在設(shè)置于框架邊緣的真空部上，因而輔助使用玻璃棒。但是，對(duì)于第7代(例如1870×2200)玻璃襯底而言，由于不可能將玻璃襯底僅僅保持及固定在設(shè)置于框架邊緣的真空部上，因而必須使用由支撐銷構(gòu)成的微觀檢查用玻璃棒(下面均稱為“微觀玻璃棒”)或由真空部構(gòu)成的宏觀檢查用玻璃棒(下面均稱為“宏觀玻璃棒”)。
但是，在現(xiàn)有宏觀/微觀檢查裝置中，如果對(duì)大型玻璃襯底同時(shí)進(jìn)行宏觀檢查以及微觀檢查，必須根據(jù)檢查項(xiàng)目選擇設(shè)置宏觀玻璃棒和微觀玻璃棒。這種玻璃棒的替換操作等可能會(huì)導(dǎo)致工序的效率滯后，惡化檢查作業(yè)的環(huán)境。甚至，需要大量的時(shí)間花費(fèi)在玻璃棒的替換操作上。因此，在現(xiàn)有的宏觀/微觀檢查裝置中，聯(lián)系各種情況來看的話，存在玻璃襯底檢查的效率極其滯后的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決上述現(xiàn)有宏觀/微觀檢查裝置的問題點(diǎn)，其目的在于提供一種玻璃襯底檢查裝置，當(dāng)使用一個(gè)檢查裝置同時(shí)進(jìn)行大型玻璃襯底的宏觀檢查及微觀檢查時(shí)，通過自動(dòng)地替換在宏觀檢查及微觀檢查中所需的玻璃襯底保持用玻璃棒，從而減少了重新設(shè)置玻璃棒所帶來的工序時(shí)間的浪費(fèi)，防止了檢查操作中的環(huán)境惡化，提高了玻璃襯底檢查的效率。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明包括平臺(tái)，其通過平臺(tái)支撐部來支撐；主工作臺(tái)支撐部，其配置在所述平臺(tái)上面；主工作臺(tái)，其配置在所述主工作臺(tái)支撐部上，用于安放玻璃襯底；升降工作臺(tái)，其根據(jù)在上升模式及下降模式中所選擇的模式，至少部分在所述主工作臺(tái)內(nèi)部及所述平臺(tái)的上部上下移動(dòng)，當(dāng)處于所述上升模式時(shí)，與所述玻璃襯底接觸，使所述玻璃襯底從所述主工作臺(tái)分離及隔開；升降驅(qū)動(dòng)裝置，其設(shè)置在所述平臺(tái)的一側(cè)，用于使所述升降工作臺(tái)上下移動(dòng)；升降工作臺(tái)支撐部，其設(shè)置在所述平臺(tái)的上表面，當(dāng)在所述上升模式下，所述升降工作臺(tái)上升到規(guī)定高度時(shí)，與所述升降工作臺(tái)的下部的至少一側(cè)接觸，從而支撐所述升降工作臺(tái)，而當(dāng)在所述下降模式下，所述升降工作臺(tái)上升到規(guī)定高度時(shí)，從所述升降工作臺(tái)的下部分離及隔開。
根據(jù)上述的玻璃襯底檢查裝置，能夠以一個(gè)檢查裝置同時(shí)對(duì)玻璃襯底進(jìn)行宏觀檢查及微觀檢查，且簡(jiǎn)化了玻璃襯底的宏觀檢查及微觀檢查裝置的結(jié)構(gòu)。
另外，本發(fā)明為達(dá)到上述目的，還可設(shè)置成下述結(jié)構(gòu)，其包括平臺(tái)，其通過平臺(tái)支撐部來支撐；主工作臺(tái)，用于安放玻璃襯底；框架，用于支撐所述主工作臺(tái)的外輪廓部；滑動(dòng)模塊，其配置在所述框架的相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)邊上，沿著所述框架的兩側(cè)邊的長(zhǎng)度方向相互平行地移動(dòng)，以使所述主工作臺(tái)作直線運(yùn)動(dòng)；滑動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)部，其產(chǎn)生及傳遞用于使所述主工作臺(tái)作直線運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力；至少一個(gè)拉伸裝置，其一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述框架的外側(cè)，同時(shí)另一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接在所述平臺(tái)支撐部上；轉(zhuǎn)軸，其一面連接于所述平臺(tái)的外輪廓部的一側(cè)，而另一面連接于所述框架的外輪廓的一側(cè)。
根據(jù)上述的玻璃襯底檢查裝置，能夠以一個(gè)檢查裝置同時(shí)對(duì)玻璃襯底進(jìn)行宏觀檢查及微觀檢查，且簡(jiǎn)化了玻璃襯底的宏觀檢查及微觀檢查裝置的結(jié)構(gòu)。


圖1a是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的平面圖；圖1b是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的主視圖；圖1c是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的側(cè)視圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的主工作臺(tái)的平面圖；圖3a是針對(duì)根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的滑動(dòng)工作臺(tái)示意平面圖；圖3b是針對(duì)圖3a中的附圖標(biāo)記220示意局部放大圖；圖3c是針對(duì)根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的滑動(dòng)工作臺(tái)及主工作臺(tái)支撐部轉(zhuǎn)軸的示意主視圖；圖3d是針對(duì)圖3c的附圖標(biāo)記220的示意局部放大圖；圖4a是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的升降工作臺(tái)的示意主視圖；圖4b是針對(duì)圖4a中的升降工作臺(tái)示意側(cè)視圖；圖4c是針對(duì)圖4a中的升降工作臺(tái)示意側(cè)視圖；圖5是表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的滑動(dòng)工作臺(tái)及拉伸裝置工作狀態(tài)的示意側(cè)視圖；圖6a是表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的升降工作臺(tái)工作狀態(tài)的示意主視圖；
圖6b是表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的升降工作臺(tái)工作狀態(tài)的示意主視圖；圖6c是表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的升降工作臺(tái)工作狀態(tài)的示意主視圖；圖6d是表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的升降工作臺(tái)工作狀態(tài)的示意主視圖；圖6e是表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的升降工作臺(tái)工作狀態(tài)的示意主視圖；具體實(shí)施方式
下面參照附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。
在圖1a至圖1c中示出了根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置，即宏觀及微觀玻璃襯底檢查裝置。圖1a是玻璃襯底檢查裝置的平面圖，圖1b是玻璃襯底檢查裝置的主視圖，圖1c是玻璃襯底檢查裝置的側(cè)視圖。為更清楚地對(duì)這些附圖進(jìn)行說明，部分構(gòu)成要素采用陰影及虛線處理。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置100包括平臺(tái)110、主工作臺(tái)130、主工作臺(tái)支撐部200、升降工作臺(tái)300、升降驅(qū)動(dòng)裝置500、和升降工作臺(tái)支撐部400。
平臺(tái)110構(gòu)成整個(gè)玻璃襯底檢查裝置的支撐結(jié)構(gòu)。為使在檢查過程中由于發(fā)生的熱膨脹以及/或者振動(dòng)導(dǎo)致的檢查錯(cuò)誤降至最低，優(yōu)選平臺(tái)110由熱膨脹下體積變化率小，且受振動(dòng)影響小的重的自然石頭這類的質(zhì)量體構(gòu)成。雖然平臺(tái)110由平臺(tái)支撐部120之類的支撐構(gòu)件支撐，但平臺(tái)的支撐部可以采用多種形式，例如也可以平臺(tái)本身就起到支撐部的作用等。
通過機(jī)器人手臂之類的輸送裝置，將輸送根據(jù)本發(fā)明的玻璃襯底檢查裝置中的玻璃襯底(未圖示)安放到主工作臺(tái)130上，主工作臺(tái)130具有四方形的主工作臺(tái)框架131。雖然在此示出的主工作臺(tái)框架131為四方形，但主工作臺(tái)框架131的形狀并不限定于此。
主工作臺(tái)130安放及保持在主工作臺(tái)支撐部200的一側(cè)上，主工作臺(tái)支撐部200配置在平臺(tái)110上面。如圖1a至圖1c所示，根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置包括主工作臺(tái)支撐部200，該主工作臺(tái)支撐部200又包括滑動(dòng)工作臺(tái)200a，用于支撐主工作臺(tái)130，并可在該支撐的狀態(tài)下作滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)；至少一個(gè)拉伸裝置260，用于使安放有主工作臺(tái)130的滑動(dòng)工作臺(tái)200a傾斜；主工作臺(tái)支撐部轉(zhuǎn)軸250，作為主工作臺(tái)130的傾斜中心；但這只不過是用于說明本發(fā)明的一實(shí)施例而已。在本發(fā)明中，主工作臺(tái)支撐部200也可以有多種變形，例如可以是不包括滑動(dòng)工作臺(tái)200a等的單純形式的支撐部等。
滑動(dòng)工作臺(tái)200a包括框架210，用于支撐主工作臺(tái)130；滑動(dòng)模塊220，配置在框架210相對(duì)的兩側(cè)邊上，沿著框架210的邊的長(zhǎng)度方向相互平行地移動(dòng)，并使主工作臺(tái)130作直線運(yùn)動(dòng)；滑動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)部230，用于產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力并傳遞給滑動(dòng)模塊220?；瑒?dòng)模塊220包括滑動(dòng)螺桿221，作為滾珠絲杠部；螺母部件222，與滑動(dòng)螺桿221螺合；滑動(dòng)安放板223，安放固定在螺母部件222的上面；根據(jù)情況，滑動(dòng)模塊220也可以進(jìn)一步包括直線導(dǎo)軌部224，而直線導(dǎo)軌部224則由直線導(dǎo)軌軌道224a及至少一個(gè)滑動(dòng)部件224b構(gòu)成。主工作臺(tái)130安放在滑動(dòng)安放板223的一表面上?；瑒?dòng)模塊驅(qū)動(dòng)部230包括滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)230a，用于使滑動(dòng)模塊220作直線運(yùn)動(dòng)；滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)傳遞部240，用于將從滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)230a產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力傳遞給滑動(dòng)模塊220?；瑒?dòng)驅(qū)動(dòng)傳遞部240包括滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)皮帶輪241；滑動(dòng)從動(dòng)皮帶輪242；從滑動(dòng)從動(dòng)皮帶輪242向兩側(cè)方向延伸的兩個(gè)滑動(dòng)傳遞軸243及兩個(gè)主軸245；配置在各自的滑動(dòng)傳遞軸243及主軸245之間，用于防止傳動(dòng)損失的聯(lián)軸器244；與主軸245的一端連接，并將作為驅(qū)動(dòng)力的轉(zhuǎn)矩傳遞給滑動(dòng)模塊220的兩個(gè)非平行齒輪246。另外，拉伸裝置260由活塞-氣缸裝置構(gòu)成，其包括一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于滑動(dòng)工作臺(tái)200a外側(cè)的下表面的拉伸活塞，和可自由插拔該拉伸活塞的拉伸氣缸，所述拉伸裝置260配置在平臺(tái)支撐部120內(nèi)部；拉伸裝置也可以是由驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)等構(gòu)成的拉伸裝置610，該驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)包括一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于滑動(dòng)工作臺(tái)200a外側(cè)的下表面的齒軌，和與該齒軌卡合的小齒輪，所述拉伸裝置610的配置位置在平臺(tái)支撐部120的外側(cè)。但是拉伸裝置的結(jié)構(gòu)及配置并不局限于上面所述。
在平臺(tái)110的上部配置有升降工作臺(tái)300。升降工作臺(tái)300能夠以遠(yuǎn)離平臺(tái)110的上升模式和朝平臺(tái)110下降的下降模式工作。升降工作臺(tái)300在其上升模式及下降模式之間，使升降工作臺(tái)300與主工作臺(tái)130及主工作臺(tái)支撐部200之間不產(chǎn)生干擾而構(gòu)成。
升降工作臺(tái)300的上升模式及下降模式通過由升降驅(qū)動(dòng)裝置500所產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力形成，該升降驅(qū)動(dòng)裝置500設(shè)置在平臺(tái)110的至少一側(cè)上。當(dāng)升降工作臺(tái)300上下移動(dòng)時(shí)，升降工作臺(tái)300至少部分在主工作臺(tái)130的內(nèi)部，即在主工作臺(tái)框架131的內(nèi)部移動(dòng)，尤其在上升模式下，升降工作臺(tái)300使玻璃襯底從主工作臺(tái)130分開并隔離。
當(dāng)升降工作臺(tái)300根據(jù)所選擇的上升模式和下降模式而上下移動(dòng)時(shí)，升降工作臺(tái)300由升降工作臺(tái)支撐部400來支撐。即，當(dāng)處于升降工作臺(tái)300的上升模式時(shí)，升降工作臺(tái)300上升到規(guī)定高度，升降工作臺(tái)支撐部400與升降工作臺(tái)300下部的至少一側(cè)接觸，從而將其支撐。而當(dāng)處于升降工作臺(tái)300的下降模式時(shí)，升降工作臺(tái)300上升到規(guī)定高度，升降工作臺(tái)支撐部400與升降工作臺(tái)300的下表面分開并隔離。在這種升降工作臺(tái)支撐部400中包括升降工作臺(tái)水平支撐部410和升降工作臺(tái)垂直支撐部420。
下面，對(duì)本發(fā)明更具體的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
圖2中示出了根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的主工作臺(tái)130示意平面圖。主工作臺(tái)130具有方形框架形的主工作臺(tái)框架131。在此，在主工作臺(tái)框架131內(nèi)側(cè)的上表面相互對(duì)應(yīng)的2邊上形成有多個(gè)宏觀結(jié)合槽132。而在主工作臺(tái)框架131的上表面上具有至少一個(gè)吸附襯墊135。為了防止當(dāng)吸附襯墊135與玻璃襯底接觸時(shí)，可能發(fā)生的對(duì)玻璃襯底的損傷，吸附襯墊135也可以由具有一定彈性的彈性吸附襯墊構(gòu)成。
在多個(gè)宏觀結(jié)合槽132中，分別安裝了相互平行的宏觀玻璃構(gòu)件133。在此，宏觀玻璃構(gòu)件133的上表面上具有真空銷。通過這種結(jié)構(gòu)，向主工作臺(tái)130輸入的玻璃襯底就接觸到主工作臺(tái)框架131的上表面和宏觀玻璃構(gòu)件133的上表面，再通過主工作臺(tái)框架131的吸附襯墊135和宏觀玻璃構(gòu)件133的真空銷134的工作，玻璃襯底(未圖示)就緊密地固定在主工作臺(tái)130上。
如圖3a至圖3d所示，滑動(dòng)工作臺(tái)200a包括框架210、滑動(dòng)模塊220和滑動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)部230。為在上述附圖中清楚地進(jìn)行發(fā)明的說明，主工作臺(tái)130及升降工作臺(tái)300等構(gòu)成要素或采用虛線處理，或省略?？蚣?10用于支撐主工作臺(tái)130。在圖3a中示出的框架210為一邊敞開的方形框架形狀，但這只不過是用于說明本發(fā)明的一實(shí)施例而已，因而本發(fā)明并不限定于此。
滑動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)部230包括滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)230a和滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)傳遞部240?；瑒?dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)230a產(chǎn)生用于使滑動(dòng)模塊220在主工作臺(tái)130上作直線運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力?；瑒?dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)230a配置在框架210的與配置有滑動(dòng)模塊220的一邊相垂直的另一邊上，為了能夠容易地向?qū)ΨQ地配置在框架210的兩邊上的滑動(dòng)模塊220傳遞驅(qū)動(dòng)力，優(yōu)選將滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)230a配置在中央部位的下端。但是，這只是一實(shí)施例而已，根據(jù)本發(fā)明的滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)230a的位置并不限定于此。
滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)傳遞部240將由滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)230a產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力傳遞給滑動(dòng)模塊220?；瑒?dòng)驅(qū)動(dòng)傳遞部240包括滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)皮帶輪241；滑動(dòng)從動(dòng)皮帶輪242；兩個(gè)滑動(dòng)傳遞軸243；與各自的滑動(dòng)傳遞軸243連接的兩個(gè)聯(lián)軸器244；一端與主軸245連接，另一端與滑動(dòng)模塊220連接的非平行軸齒輪246。具體而言，與滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)230a的轉(zhuǎn)軸連接的滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)皮帶輪241，接受由轉(zhuǎn)軸傳遞的驅(qū)動(dòng)力，皮帶輪通過傳動(dòng)帶等動(dòng)力傳遞構(gòu)件，將驅(qū)動(dòng)力傳遞給滑動(dòng)從動(dòng)皮帶輪242。滑動(dòng)從動(dòng)皮帶輪242的兩中心軸與沿著框架210的邊配置的兩個(gè)滑動(dòng)傳遞軸243連接。傳遞給滑動(dòng)從動(dòng)皮帶輪242的驅(qū)動(dòng)力傳遞給各個(gè)滑動(dòng)傳遞軸243，再通過聯(lián)軸器244傳遞到主軸245及非平行軸齒輪246。在此，聯(lián)軸器244配置在滑動(dòng)傳遞軸243和主軸245之間，從而能夠防止由于兩側(cè)間的偏心等而產(chǎn)生的動(dòng)力傳遞損失，非平行軸齒輪246與主軸245的一端連接，將從主軸245傳遞來的驅(qū)動(dòng)力傳遞給滑動(dòng)模塊220。在此，在以垂直方向傳遞驅(qū)動(dòng)力的范圍內(nèi)，非平行軸齒輪246可以用多種動(dòng)力傳遞構(gòu)件替換，例如也可以是錐齒輪(bevel gear)等交叉軸齒輪，或是蝸輪等斜軸齒輪(gear with nonparallel and nonintersecting axes)等。
在本實(shí)施例中，是就包括滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)和滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)傳遞部的滑動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行說明，但根據(jù)情況，可以對(duì)滑動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行多種變形，例如也可以采用滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)直接與滑動(dòng)模塊連接的結(jié)構(gòu)，或滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)傳遞部可以僅由皮帶輪系統(tǒng)構(gòu)成等。
如在圖3b及圖3d中通過局部放大所示，滑動(dòng)模塊220配置有兩個(gè)以上，且相互對(duì)稱地配置在框架210相對(duì)應(yīng)的兩邊上。滑動(dòng)模塊220包括作為滾珠絲杠部的滑動(dòng)螺桿221及螺母部件222，和滑動(dòng)安放板223，根據(jù)情況，滑動(dòng)模塊220可以進(jìn)一步包括直線導(dǎo)軌部(linear guide part)224。
滑動(dòng)螺桿221的一端與滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)傳遞部240的非平行軸齒輪246連接，接受從滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)230a產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力的傳遞。在滑動(dòng)螺桿221的頂端配置朝上的螺母部件(runner block)222。螺母部件222與滑動(dòng)螺桿221的螺紋螺合并卡合，從而隨著滑動(dòng)螺桿221的轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)而作直線運(yùn)動(dòng)。滑動(dòng)螺桿221根據(jù)滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)230a的運(yùn)轉(zhuǎn)，既可以順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，也可以逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)。在此，螺母部件222的動(dòng)作方向可以根據(jù)滑動(dòng)螺桿221的動(dòng)作方向及滑動(dòng)螺桿的螺紋方向而變化?；瑒?dòng)安放板223配置在螺母部件222的上表面上，且一面上安放有主工作臺(tái)130?；瑒?dòng)安放板223隨著螺母部件222的直線運(yùn)動(dòng)，一同作直線運(yùn)動(dòng)，并使安放及配置在滑動(dòng)安放板223上部的主工作臺(tái)130作滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)。
根據(jù)情況，為使滑動(dòng)安放板223更順利的滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)，設(shè)置螺母部件222的同時(shí)，還包括用于支撐滑動(dòng)安放板223的直線導(dǎo)軌部224。直線導(dǎo)軌部224與滑動(dòng)螺桿221平行配置，且與滑動(dòng)安放板223的下表面連接。直線導(dǎo)軌部224包括直線導(dǎo)軌軌道224a和至少一個(gè)滑動(dòng)部件224b。直線導(dǎo)軌軌道224a與滑動(dòng)螺桿221平行地配置在框架210上，滑動(dòng)部件224b則配置在直線導(dǎo)軌軌道224a上，并可以沿著直線導(dǎo)軌軌道224a移動(dòng)?；瑒?dòng)部件224b的上表面與滑動(dòng)安放板223的下表面連接。因此，當(dāng)隨著滑動(dòng)螺桿221的轉(zhuǎn)動(dòng)，螺母部件222直線移動(dòng)時(shí)，安放在螺母部件222上表面上的滑動(dòng)安放板223也一同直線移動(dòng)，由此，固定安裝在滑動(dòng)安放板223下表面的滑動(dòng)部件224b也一同直線移動(dòng)，從而可以更穩(wěn)定地引導(dǎo)滑動(dòng)安放板223。
在圖3b及圖3d中示出的直線導(dǎo)軌部224配置在滑動(dòng)螺桿221的內(nèi)側(cè)，但本發(fā)明并不限定于此，例如直線導(dǎo)軌部也可以配置在滑動(dòng)螺桿的外側(cè)，滑動(dòng)部件224b的形態(tài)及個(gè)數(shù)也可以有多種選擇。
拉伸裝置260(參照?qǐng)D1c)由活塞-氣缸裝置構(gòu)成，活塞-氣缸裝置包括一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接在平臺(tái)支撐部120下端的拉伸氣缸，和可拉伸及壓縮地安裝在拉伸氣缸上，一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在滑動(dòng)工作臺(tái)200a下端部的側(cè)面上的拉伸活塞。
主工作臺(tái)支撐部轉(zhuǎn)軸250一端固定安裝在與拉伸裝置260的拉伸活塞一端連接的框架210的一邊不同的任意一邊上，而另一端固定安裝在平臺(tái)110的上表面上，根據(jù)拉伸裝置260的拉伸與否，安放有主工作臺(tái)130的滑動(dòng)工作臺(tái)200a以主工作臺(tái)支撐部轉(zhuǎn)軸250為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。
為了防止通過主工作臺(tái)130上的真空銷134及吸附襯墊135固定的玻璃襯底從真空銷134及吸附襯墊135上分開而脫離，優(yōu)選將拉伸裝置260及主工作臺(tái)支撐部轉(zhuǎn)軸250引起的轉(zhuǎn)動(dòng)角度設(shè)置成小于大約60°(參照?qǐng)D5)。
宏觀檢查時(shí)，優(yōu)選將拉伸裝置260配置在配置有滑動(dòng)模塊220的一邊上，而主工作臺(tái)支撐部轉(zhuǎn)軸250配置在與配置有滑動(dòng)模塊220的框架210的一邊相垂直的另一邊上，以便容易判斷出損壞和缺陷。即，為減少裝置的設(shè)置面積，配置有滑動(dòng)模塊220的框架210的邊與配置有主平臺(tái)支撐部轉(zhuǎn)軸250的框架210的邊最好設(shè)成相互垂直，以便隨著拉伸裝置610向著操作者所位于的地點(diǎn)拉伸，主工作臺(tái)130傾斜，且可沿著主平臺(tái)130的傾斜方向滑動(dòng)。然而，本發(fā)明也并不限定于此。
在圖4a至圖4c中，分別示出了根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的包括升降工作臺(tái)300、升降工作臺(tái)支撐部400、以及升降驅(qū)動(dòng)裝置500的玻璃襯底檢查裝置的主視圖、側(cè)視圖以及平面圖，但為了清楚地說明升降工作臺(tái)300等構(gòu)成要素，其他的構(gòu)成要素局部省略。
升降工作臺(tái)300配置在平臺(tái)110的上部。升降工作臺(tái)300包括四方形框架形狀的升降工作臺(tái)框架310，然而升降工作臺(tái)框架310的形狀并不限定于此。在升降工作臺(tái)300，即在升降工作臺(tái)框架310上表面上，在其相對(duì)的邊的內(nèi)側(cè)具有多個(gè)微觀結(jié)合槽320，在此，將各自的微觀玻璃構(gòu)件330插入安裝在相對(duì)的邊的微觀結(jié)合槽320內(nèi)。在此，微觀玻璃構(gòu)件330由棒狀的微觀玻璃形成，但是微觀玻璃構(gòu)件330在防止接觸到其上表面的玻璃襯底變形的范圍內(nèi)可以采用多種結(jié)構(gòu)，例如也可以是格子狀的玻璃構(gòu)件，或是一體成型的玻璃構(gòu)件等。在升降工作臺(tái)框架310上表面上也還可以具有多個(gè)吸附襯墊。
在各個(gè)微觀玻璃構(gòu)件330上面具有多個(gè)支撐銷331。如圖4a中局部放大所示，在各個(gè)支撐銷331的上端具有球狀的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件332，當(dāng)支撐銷331與玻璃襯底接觸時(shí)，可以防止支撐銷331的上端損傷襯底等。在宏觀玻璃構(gòu)件133以及微觀玻璃構(gòu)件330均采用棒狀構(gòu)成的情況下，為了平均分布由宏觀玻璃構(gòu)件133和微觀玻璃構(gòu)件330的相互干涉所形成的交叉面積，防止由微觀玻璃構(gòu)件330的支撐銷331支撐的玻璃襯底的特定部分下垂，優(yōu)選采用各構(gòu)件相互垂直配置，在微觀玻璃構(gòu)件330的一表面上形成的支撐銷331不干涉宏觀玻璃構(gòu)件133的結(jié)構(gòu)。
升降工作臺(tái)300通過設(shè)置在平臺(tái)110的至少一側(cè)上的升降驅(qū)動(dòng)裝置500上下移動(dòng)。即當(dāng)操作者對(duì)通過真空銷134及吸附襯墊135固定安裝在主工作臺(tái)框架131及宏觀玻璃構(gòu)件133上的玻璃襯底進(jìn)行宏觀檢查時(shí)，由于升降工作臺(tái)300位于下方，從而不防礙操作者對(duì)玻璃襯底進(jìn)行宏觀檢查。當(dāng)操作者對(duì)玻璃襯底實(shí)施微觀檢查時(shí)，由于升降工作臺(tái)300通過升降驅(qū)動(dòng)裝置500位于上方，玻璃襯底被形成于微觀玻璃構(gòu)件330上的支撐銷331及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件332接觸并保持，從而使玻璃襯底從主工作臺(tái)130分開并隔離。實(shí)施這種微觀檢查時(shí)，以平臺(tái)110為基準(zhǔn)的玻璃襯底與支撐銷331以及/或者旋轉(zhuǎn)構(gòu)件332之間的接觸面的高度，超過以平臺(tái)110為基準(zhǔn)的主平臺(tái)130與玻璃襯底接觸的接觸面的高度。例如由支撐銷331等支撐的玻璃襯底配置成比以平臺(tái)110為基準(zhǔn)的、配置在主工作臺(tái)130上時(shí)的高度高出大約5mm，從而高于主工作臺(tái)130，因此升降工作臺(tái)300以及玻璃襯底不受在主工作臺(tái)130上產(chǎn)生的振動(dòng)等所造成的影響。
在升降工作臺(tái)300的外輪廓上具有從外輪廓開始延伸的至少一個(gè)導(dǎo)孔部340。在各個(gè)導(dǎo)孔部340上形成有在升降工作臺(tái)300的上下移動(dòng)方向上平行形成的作為貫通孔的導(dǎo)向孔341。作為平臺(tái)110的上表面，在對(duì)應(yīng)導(dǎo)向孔341的位置上，具有導(dǎo)向桿342，貫穿插入到導(dǎo)向孔341中。當(dāng)升降工作臺(tái)300上下移動(dòng)時(shí)，一同上下移動(dòng)的導(dǎo)孔部340沿著導(dǎo)向桿342的引導(dǎo)而移動(dòng)，從而可以更穩(wěn)定地使升降工作臺(tái)300上下移動(dòng)。在此，導(dǎo)向孔341的內(nèi)側(cè)以及導(dǎo)向桿342的外周面也可以是單純的圓形，然而導(dǎo)向孔341的內(nèi)側(cè)和導(dǎo)向桿342的外周面在采用相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)范圍內(nèi)，可以以多種形狀構(gòu)成，例如可以在導(dǎo)向孔341的內(nèi)側(cè)形成鍵槽，并且在導(dǎo)向桿342的外周面上采用與鍵槽卡合的花鍵構(gòu)成等。
在平臺(tái)110的至少一側(cè)上，包括用于使升降工作臺(tái)300上下移動(dòng)的升降驅(qū)動(dòng)裝置500。升降驅(qū)動(dòng)裝置500包括升降驅(qū)動(dòng)部510、升降板520，和升降軸530。
升降驅(qū)動(dòng)部510包括升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511，產(chǎn)生使升降工作臺(tái)300上下移動(dòng)的轉(zhuǎn)矩之類的驅(qū)動(dòng)力；升降螺桿部512，根據(jù)升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511所產(chǎn)生的轉(zhuǎn)矩而發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511也可以是根據(jù)輸入的信號(hào)改變旋轉(zhuǎn)角速度的可變速驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)，升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511和升降螺桿部512也可以采用直接連接的結(jié)構(gòu)。為了解決構(gòu)成要素的配置問題，減小由升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)角速度，升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511和升降螺桿部512間的轉(zhuǎn)矩傳遞也可以通過升降驅(qū)動(dòng)傳遞部513來進(jìn)行。升降驅(qū)動(dòng)傳遞部513如圖4b所示，也可以由安裝在升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511的轉(zhuǎn)軸上的驅(qū)動(dòng)皮帶輪、安裝在升降螺桿部512上的從動(dòng)皮帶輪、和連接這些皮帶輪的皮帶輪傳動(dòng)帶構(gòu)成，但本發(fā)明并不限定于此，升降驅(qū)動(dòng)傳遞部513也可以采用通過錐齒輪或者渦輪之類的齒輪傳動(dòng)部構(gòu)成等多種結(jié)構(gòu)。
升降螺桿部512的下端與配置在平臺(tái)110下部的升降板520螺合。即，在升降板520上具有結(jié)合孔，結(jié)合孔具有與升降螺桿部512的外周面扣合的螺紋形狀的內(nèi)周面，通過升降螺桿部512的轉(zhuǎn)動(dòng)，在升降螺桿部512與結(jié)合孔之間產(chǎn)生相對(duì)的上下移動(dòng)。升降板520作為具有規(guī)定大小的平板，優(yōu)選的是在平板的中心部(重量的中心)與升降螺桿部512的下端螺合。升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511的轉(zhuǎn)矩通過皮帶輪等升降驅(qū)動(dòng)傳遞部513傳遞給升降螺桿部512，于是升降螺桿部512發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，由此升降工作臺(tái)520進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)。
在升降板520的朝向平臺(tái)110的一表面上配置有多個(gè)升降軸530，升降軸530的一端連接在升降板520的上表面上，在此，這種連接也可以采用如螺栓-螺母之類的連接固定方法進(jìn)行。升降軸530的另一端設(shè)置成貫穿在平臺(tái)110上形成的升降孔111，并可相對(duì)升降孔111移動(dòng)。升降軸530是其一端連接在升降板520上表面上的剛體，因而升降軸530在升降板520上下移動(dòng)的位置上一同上下移動(dòng)。在升降板520的上升模式及下降模式的至少一部分過程中，升降軸530的另一端向升降工作臺(tái)300的下部表面的至少局部施加壓力，使升降工作臺(tái)300上下移動(dòng)。升降工作臺(tái)300的與升降軸530的另一端接觸的位置上具有凹陷形的升降軸接觸部531。形成于升降軸530另一端上的凸起插入固定在升降軸接觸部531中，從而當(dāng)升降軸530上下移動(dòng)時(shí)，也能夠確保與升降軸530的另一端接觸的升降工作臺(tái)300穩(wěn)定的上下移動(dòng)。升降軸530以及升降軸530可以貫穿移動(dòng)的升降孔111的剖面形狀為單純的圓形，但本發(fā)明并不限定于此。具體而言，在升降軸530的外周面形成花鍵，并且在升降孔111的內(nèi)周面形成鍵槽，當(dāng)升降軸530貫穿升降孔111而發(fā)生移動(dòng)時(shí)，通過升降軸530的外周面的花鍵和升降孔111的內(nèi)周面的鍵槽之間作滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)，由此能夠更順利穩(wěn)定地作相對(duì)運(yùn)動(dòng)。
升降工作臺(tái)支撐部400配置在平臺(tái)110的上面，在此，升降工作臺(tái)支撐部400包括可以在平臺(tái)110的上面作水平移動(dòng)的至少一個(gè)升降工作臺(tái)水平支撐部410，以及/或者可在平臺(tái)110的上面作垂直移動(dòng)的至少兩個(gè)升降工作臺(tái)垂直支撐部420。
升降工作臺(tái)水平支撐部410包括具有水平活塞的水平氣缸驅(qū)動(dòng)部411、支撐部導(dǎo)軌412、支撐部導(dǎo)桿413、和升降工作臺(tái)支撐部安放端414。如圖4a至圖4c所示，水平氣缸驅(qū)動(dòng)部421安裝在平臺(tái)110的上表面，水平氣缸驅(qū)動(dòng)部411具有水平活塞，水平活塞根據(jù)輸入的信號(hào)作活塞運(yùn)動(dòng)。在活塞附近形成有沿著向外側(cè)的方向延伸形成的支撐部導(dǎo)軌412。在支撐部導(dǎo)軌412上配置支撐部導(dǎo)桿413。支撐部導(dǎo)桿413的一端與水平氣缸驅(qū)動(dòng)部421的水平活塞一端連接，通過水平氣缸驅(qū)動(dòng)部421的活塞運(yùn)動(dòng)，支撐部導(dǎo)桿413在支撐部導(dǎo)軌412上移動(dòng)。為使在支撐部導(dǎo)桿413和支撐部導(dǎo)軌412之間進(jìn)行更順利的移動(dòng)，也可以進(jìn)一步包括軸承。在支撐部導(dǎo)桿413的上部具有從支撐部導(dǎo)桿413的一端延伸延伸形成的升降工作臺(tái)支撐部安放端414。在升降工作臺(tái)300的上升模式下，至少局部過程中，升降工作臺(tái)300的下部與升降工作臺(tái)支撐部安放端414的一表面接觸，從而升降工作臺(tái)支撐部安放端414將升降工作臺(tái)300支撐。在圖4a至圖4c中，升降工作臺(tái)支撐部410包括相互面對(duì)配置的兩個(gè)升降工作臺(tái)水平支撐部410，但這只不過是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)而已，本發(fā)明并不限定于此。即，升降工作臺(tái)水平支撐部410在可以支撐升降工作臺(tái)300、并且在沒有與升降工作臺(tái)300接觸時(shí)能夠向外側(cè)移動(dòng)的范圍內(nèi)，其個(gè)數(shù)及配置位置可以有多種選擇。
升降工作臺(tái)垂直支撐部420包括垂直氣缸驅(qū)動(dòng)部421和支撐桿422。垂直氣缸驅(qū)動(dòng)部421一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接平臺(tái)110的上表面。支撐桿422配置在平臺(tái)110的上表面上，并與垂直氣缸驅(qū)動(dòng)部421接觸。在此，支撐桿422的一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地固定在平臺(tái)110上。垂直氣缸驅(qū)動(dòng)部421所包括的垂直活塞的一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接支撐桿422前端的一側(cè)。支撐桿422的另一端由作為自由端的支撐桿端部423構(gòu)成。根據(jù)操作信號(hào)，垂直氣缸驅(qū)動(dòng)部421的垂直活塞動(dòng)作。在此，例如當(dāng)拉伸信號(hào)輸入時(shí)，垂直活塞從垂直氣缸驅(qū)動(dòng)部421的氣缸中伸出。連接到垂直活塞一端的支撐桿422以固定在平臺(tái)110上的一端為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，相對(duì)平臺(tái)110形成垂直狀態(tài)。支撐桿端部423由凸起形狀的支撐桿端部構(gòu)成，在平臺(tái)110的與支撐桿端部423對(duì)應(yīng)的位置上，具有與凸起形狀的支撐桿端部卡合的支撐桿接合部424，當(dāng)通過支撐桿422支撐支撐升降工作臺(tái)300時(shí)，可以防止支撐桿422與升降工作臺(tái)300間的打滑。在圖4a至圖4c中示出的升降工作臺(tái)支撐部400包括相互水平對(duì)稱配置的兩個(gè)升降工作臺(tái)垂直支撐部420，但這只不過是用于說明本發(fā)明的一實(shí)施例而已，本發(fā)明并不限定于此。
下面，對(duì)根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃襯底檢查裝置的操作流程進(jìn)行說明。在本實(shí)施例中，針對(duì)實(shí)施宏觀檢查過程后，再實(shí)施微觀檢查過程的操作流程進(jìn)行說明，但這只不過是用于說明根據(jù)本發(fā)明的玻璃襯底檢查裝置的操作流程的一實(shí)施例而已，本發(fā)明并不限定于此。
首先，在實(shí)施宏觀檢查的過程中，通過機(jī)器人手臂，將所要檢查的玻璃襯底輸送到主工作臺(tái)130上。到達(dá)主工作臺(tái)130中央部的玻璃襯底被安放在主工作臺(tái)130的主工作臺(tái)框架131以及與其結(jié)合的宏觀玻璃棒133上，并通過在主工作臺(tái)框架131上形成的吸附襯墊135以及在宏觀玻璃棒133上形成的真空銷134將玻璃襯底固定在主工作臺(tái)130上。待玻璃襯底固定在主工作臺(tái)130上之后，通過從配置在主工作臺(tái)130上部的光源向主工作臺(tái)130上照射光，操作者用肉眼檢查玻璃襯底是否有損傷和缺陷。這時(shí)，主工作臺(tái)130可以選擇通過滑動(dòng)工作臺(tái)200a引起的滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)以及通過拉伸裝置260引起的傾斜運(yùn)動(dòng)。具體而言，如圖5所示，通過拉伸裝置260的拉伸活塞拉伸，安放有主工作臺(tái)130、并連接拉伸活塞一端的滑動(dòng)工作臺(tái)300以主工作臺(tái)支撐部轉(zhuǎn)軸250為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，于是配置在主工作臺(tái)130上的玻璃襯底發(fā)生傾斜。傾斜角度如上所述，需考慮玻璃襯底和吸附襯墊及真空銷的吸附及粘著力而設(shè)置。在此，優(yōu)選將其傾斜角度設(shè)置為低于大約60°。在玻璃襯底的傾斜過程中及/或者傾斜狀態(tài)下，通過改變從光源照射在玻璃襯底上的光的狀態(tài)，操作者能夠容易確認(rèn)玻璃襯底上形成的損傷和缺陷。另外，形成傾斜后，根據(jù)操作者的選擇，從滑動(dòng)工作臺(tái)200a的滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)230a傳遞來的驅(qū)動(dòng)力使滑動(dòng)模塊220的滑動(dòng)螺桿221轉(zhuǎn)動(dòng)，通過滑動(dòng)螺桿221的轉(zhuǎn)動(dòng)，與滑動(dòng)螺桿221螺合的滑動(dòng)安放板223受到直線導(dǎo)軌部224的導(dǎo)引而穩(wěn)定地移動(dòng)，從而使配置在滑動(dòng)安放板223上的主工作臺(tái)130作滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)。即使作為宏觀檢查對(duì)象的玻璃襯底尺寸偏大，但是通過滑動(dòng)工作臺(tái)200a引起的滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)，操作者也可以容易地檢查出在玻璃襯底上形成的損傷和缺陷。
宏觀檢查過程結(jié)束后，對(duì)玻璃襯底實(shí)施微觀檢查過程。微觀檢查過程在圖6a至圖6c中以示意的局部主視圖示出。首先，實(shí)施升降工作臺(tái)300的上升模式，如圖6a所示，隨著升降驅(qū)動(dòng)裝置500的發(fā)動(dòng)，升降工作臺(tái)300向上方(箭頭方向)上升。具體而言，升降驅(qū)動(dòng)部510的升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511根據(jù)操作信號(hào)運(yùn)轉(zhuǎn)，作為升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)510的驅(qū)動(dòng)力的轉(zhuǎn)矩通過升降驅(qū)動(dòng)傳遞部513傳遞到升降螺桿部512。升降螺桿部512由于傳遞到升降螺桿部512的轉(zhuǎn)矩而轉(zhuǎn)動(dòng)，并且，升降螺桿部512通過與形成在升降板520上的結(jié)合槽的相互作用，使升降板520向上方運(yùn)動(dòng)，由于升降板520的上方運(yùn)動(dòng)，安裝并固定在升降板520一表面上的升降軸530貫穿在平臺(tái)110上形成的升降孔111，并向上方突出，升降軸530的正對(duì)升降工作臺(tái)300的端部插入到在升降工作臺(tái)200下表面形成的升降軸接觸部531中并形成卡合。升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511一直轉(zhuǎn)動(dòng)到升降工作臺(tái)300上升到一定高度為止。
然后，如果升降工作臺(tái)300到達(dá)一定高度，則如圖6b所示，升降工作臺(tái)300由升降工作臺(tái)支撐部400來支撐。升降工作臺(tái)支撐部400包括升降工作臺(tái)水平支撐部410以及/或者升降工作臺(tái)垂直支撐部420。當(dāng)升降工作臺(tái)300通過升降軸530到達(dá)規(guī)定高度時(shí)，升降工作臺(tái)水平支撐部410的水平氣缸驅(qū)動(dòng)部411動(dòng)作，水平活塞開始拉伸。通過水平活塞拉伸，連接水平活塞一端的支撐部導(dǎo)桿413沿著在平臺(tái)110上形成的支撐部導(dǎo)軌412向內(nèi)側(cè)移動(dòng)。隨著支撐部導(dǎo)桿413移動(dòng)至內(nèi)側(cè)，從支撐部導(dǎo)桿413延伸形成的升降工作臺(tái)支撐部安放端414也內(nèi)內(nèi)側(cè)、朝升降工作臺(tái)300移動(dòng)。
此外，升降工作臺(tái)垂直支撐部420的垂直氣缸驅(qū)動(dòng)部421動(dòng)作，垂直活塞開始拉伸，可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接在垂直活塞端部上的支撐桿422通過拉伸的垂直活塞，以固定在平臺(tái)110上的一端為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，并相對(duì)平臺(tái)110配置成大致垂直。這樣，如果升降工作臺(tái)水平支撐部410和升降工作臺(tái)垂直支撐部420的移動(dòng)及配置結(jié)束，于是升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，使升降板520及與其連接的升降軸530下降至規(guī)定高度，從而升降工作臺(tái)300被升降工作臺(tái)支撐部400支撐。也就是說，通過使升降工作臺(tái)300和升降軸530分開及隔離，從而防止了來自升降驅(qū)動(dòng)裝置500的振動(dòng)傳遞給升降工作臺(tái)300。當(dāng)然，也可以采用下面的構(gòu)成升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511一直維持正方向轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)在連接升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)511和螺桿部512的升降驅(qū)動(dòng)傳遞部513中設(shè)置反向轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，利用反向轉(zhuǎn)動(dòng)裝置使螺桿部512進(jìn)行反向轉(zhuǎn)動(dòng)。通過升降板520以及升降軸530下降，從而由升降軸530的端部支撐的升降工作臺(tái)300變?yōu)橛缮倒ぷ髋_(tái)垂直支撐部420的支撐桿422以及升降工作臺(tái)水平支撐部410的升降工作臺(tái)支撐部安放端414支撐。在此，支撐桿422的支撐桿端部423與升降工作臺(tái)300下表面的支撐桿接合部424連接。
這樣，在由升降工作臺(tái)水平支撐部410及升降工作臺(tái)垂直支撐部420支撐的升降工作臺(tái)300上包括多個(gè)微觀玻璃構(gòu)件330，該多個(gè)微觀玻璃構(gòu)件330又分別具有多個(gè)支撐銷331。在此，安放在主工作臺(tái)130上的玻璃襯底則由升降工作臺(tái)300上所包括的多個(gè)支撐銷331支撐。由支撐銷331支撐的玻璃襯底配置成比以平臺(tái)110為基準(zhǔn)的、配置在主工作臺(tái)130上時(shí)的高度高出大約5mm，從而防止可以從主工作臺(tái)130傳遞來的振動(dòng)等外界騷擾對(duì)玻璃襯底產(chǎn)生影響。
在玻璃襯底由升降工作臺(tái)300支撐期間，利用如光學(xué)顯微鏡之類的光學(xué)裝置(未圖示)檢查玻璃襯底上是否有損傷和缺陷。具體而言，光學(xué)裝置中的移動(dòng)裝置(未圖示)以及光源的移動(dòng)裝置(未圖示)通過控制部(未圖示)接收到輸入信號(hào)的傳送，將光學(xué)裝置以及光源(未圖示)移動(dòng)到所希望的位置上。輸入到光學(xué)裝置上的光信號(hào)通過信號(hào)轉(zhuǎn)換器(未圖示)轉(zhuǎn)換成光電信號(hào)，并傳遞給控制部，輸入控制部的光電信號(hào)再轉(zhuǎn)換成圖像信號(hào)，傳遞給監(jiān)視器一類的顯示裝置(未圖示)，從而顯示出通過光學(xué)裝置拍攝到的圖像。經(jīng)過這一過程，再通過操作者的判斷以及/或者控制部的數(shù)字設(shè)置，由此來實(shí)施微觀檢查，以判斷出有無損傷和缺陷以及/或者損傷和缺陷的容許與否。
這樣，結(jié)束微觀檢查后，升降工作臺(tái)300轉(zhuǎn)換成下降模式。因此，如圖6c所示，通過升降驅(qū)動(dòng)裝置500的動(dòng)作，升降軸530上升。此時(shí)，在升降軸530的軸部上形成的凸起與在升降工作臺(tái)300的下表面上形成的升降軸接觸部531卡合并插入固定在其中，從而可穩(wěn)定地保持升降工作臺(tái)300。
升降軸530一直上升到規(guī)定高度，使升降工作臺(tái)300從升降工作臺(tái)水平及垂直支撐部410、420上分隔開。當(dāng)升降工作臺(tái)300從升降工作臺(tái)水平及垂直支撐部410、420上分開及隔離時(shí)，如圖6c及圖6d所示，升降工作臺(tái)水平支撐部410及升降工作臺(tái)垂直支撐部420分別移動(dòng)至外側(cè)及/或者下部。具體而言，通過升降工作臺(tái)水平支撐部410的水平氣缸驅(qū)動(dòng)部411作壓縮運(yùn)動(dòng)，水平活塞移動(dòng)至水平氣缸驅(qū)動(dòng)部411的氣缸內(nèi)，連接在水平活塞一端上的支撐部導(dǎo)桿413沿著支撐部導(dǎo)軌412水平移動(dòng)，并向遠(yuǎn)離升降工作臺(tái)300的外側(cè)方向移動(dòng)。另外，升降工作臺(tái)垂直支撐部410的垂直氣缸驅(qū)動(dòng)部421也作壓縮運(yùn)動(dòng)，從而垂直活塞移動(dòng)至垂直氣缸驅(qū)動(dòng)部421的氣缸內(nèi)，因此，前端與垂直活塞的一端連接的支撐桿422以可轉(zhuǎn)動(dòng)地固定在平臺(tái)110上的一端為中心，朝平臺(tái)110移動(dòng)直至下部。
接著，如圖6e所示，通過升降驅(qū)動(dòng)裝置500的連續(xù)的下降控制操作，由升降軸530支撐的升降工作臺(tái)300下降。由安裝在升降工作臺(tái)300上的微觀玻璃構(gòu)件330的支撐銷331支撐的玻璃襯底變?yōu)橛芍鞴ぷ髋_(tái)130支撐，升降工作臺(tái)300回到原位，從而微觀檢查過程結(jié)束。
待微觀檢查過程結(jié)束，通過機(jī)器人手臂等輸送裝置將玻璃襯底從主工作臺(tái)130上搬走。
在上述的一實(shí)施例中，為說明對(duì)玻璃襯底的宏觀檢查過程中作的傾斜運(yùn)動(dòng)以及滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)、和在微觀檢查過程中作的升降運(yùn)動(dòng)，對(duì)用于作升降運(yùn)動(dòng)的升降工作臺(tái)，用于傾斜運(yùn)動(dòng)的拉伸裝置，以及用于滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)的滑動(dòng)工作臺(tái)全部進(jìn)行了描述，但是宏觀及微觀玻璃襯底檢查裝置在包括升降工作臺(tái)以及/或者滑動(dòng)工作臺(tái)的范圍內(nèi)可以有多種變形。具體來說，根據(jù)本發(fā)明的玻璃襯底檢查裝置可以采用不包括上述的滑動(dòng)工作臺(tái)而單獨(dú)包括上述的升降工作臺(tái)，或者不包括上述的升降工作臺(tái)而單獨(dú)包括上述的滑動(dòng)工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)等多種變形。
根據(jù)具有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明，能夠得到下述效果。
第一、根據(jù)本發(fā)明的玻璃襯底檢查裝置可以通過一個(gè)裝置同時(shí)對(duì)玻璃襯底進(jìn)行宏觀檢查及微觀檢查，大副度減少了在玻璃襯底檢查裝置中所需的費(fèi)用、工序時(shí)間以及設(shè)置面積，極大地降低了在進(jìn)行不同的襯底檢查裝置間的輸送時(shí)，可能發(fā)生的損傷玻璃襯底的可能性，很大程度上減少了在玻璃襯底的檢查工程中所需的成本。
第二、根據(jù)本發(fā)明的玻璃襯底檢查裝置包括滑動(dòng)工作臺(tái)，所以在玻璃襯底的檢查過程中，相對(duì)玻璃襯底既可傾斜運(yùn)動(dòng)，同時(shí)，又可作滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)，從而對(duì)操作者而言，能更容易有效地檢查出在玻璃襯底上形成的損傷和缺陷。
第三、根據(jù)本發(fā)明的玻璃襯底檢查裝置包括升降工作臺(tái)和升降工作臺(tái)支撐部，所以為進(jìn)行微觀玻璃襯底檢查，可以通過升降驅(qū)動(dòng)裝置使升降工作臺(tái)在平臺(tái)上部移動(dòng)，同時(shí)通過升降工作臺(tái)支撐部又可以支撐上升的升降工作臺(tái)，因而簡(jiǎn)化了玻璃襯底的宏觀檢查及微觀檢查裝置的結(jié)構(gòu)，消除了對(duì)玻璃襯底檢查裝置設(shè)置面積的追加要求，并且玻璃襯底通過由上下移動(dòng)的升降工作臺(tái)的支撐銷等支撐，可以大副度降低宏觀檢查過程以及微觀檢查過程中損傷玻璃襯底的可能性。
根據(jù)本發(fā)明的玻璃襯底檢查裝置可以在檢查使用于PDP、TFT-LCD、有機(jī)EL等平面顯示裝置的玻璃襯底的損傷和缺陷時(shí)使用。而且根據(jù)本發(fā)明的玻璃襯底檢查裝置除玻璃襯底以外，還可以用于檢查透明薄膜襯底上所形成的損傷和缺陷。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于包括平臺(tái)，其通過平臺(tái)支撐部來支撐；主工作臺(tái)支撐部，其配置在所述平臺(tái)的上面；主工作臺(tái)，其配置在所述主工作臺(tái)支撐部上，用于安放玻璃襯底；升降工作臺(tái)，根據(jù)在上升模式及下降模式中選擇的模式，其中至少一部分在所述主工作臺(tái)內(nèi)部和所述平臺(tái)的上部上下移動(dòng)，當(dāng)處于所述上升模式時(shí)，其與所述玻璃襯底接觸，使所述玻璃襯底從所述主工作臺(tái)上分開及隔離；升降驅(qū)動(dòng)裝置，其設(shè)置在所述平臺(tái)的一側(cè)，用于使所述升降工作臺(tái)上下移動(dòng)；升降工作臺(tái)支撐部，其設(shè)置在所述平臺(tái)的上面，當(dāng)在所述上升模式下所述升降工作臺(tái)上升到規(guī)定高度時(shí)，其與所述升降工作臺(tái)下部的至少一側(cè)接觸而支撐所述升降工作臺(tái)，而當(dāng)在所述下降模式下所述升降工作臺(tái)上升到規(guī)定高度時(shí)，其從所述升降工作臺(tái)的下部分開及隔離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述升降驅(qū)動(dòng)裝置包括升降驅(qū)動(dòng)部，其產(chǎn)生及傳遞用于使所述升降工作臺(tái)上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力；升降板，與所述升降驅(qū)動(dòng)部連接，通過從所述升降驅(qū)動(dòng)部傳遞的驅(qū)動(dòng)力，與所述平臺(tái)平行地上下移動(dòng)；多個(gè)升降軸，其一端連接在所述升降板的上面，隨著所述升降板的上下移動(dòng)，貫穿在形成于所述平臺(tái)上的各個(gè)升降孔而上下移動(dòng)，在所述上升模式以及下降模式的至少部分過程中，其另一端與所述升降工作臺(tái)下表面的至少一部分接觸，向所述升降工作臺(tái)下表面的至少一部分施加壓力。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述升降驅(qū)動(dòng)部包括螺桿部，其通過升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)以及從所述升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)產(chǎn)生的轉(zhuǎn)矩，使所述升降板上下移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述升降驅(qū)動(dòng)部還包括升降驅(qū)動(dòng)傳遞部，用于將從所述升降驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)產(chǎn)生的轉(zhuǎn)矩傳遞給所述螺桿部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述升降工作臺(tái)支撐部包括至少一個(gè)升降工作臺(tái)垂直支撐部；所述升降工作臺(tái)垂直支撐部包括垂直氣缸驅(qū)動(dòng)部，其一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述平臺(tái)，并包括根據(jù)輸入的工作信號(hào)而動(dòng)作的垂直活塞；支撐桿，其一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述平臺(tái)，前端的一側(cè)可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述垂直活塞的一端，通過所述垂直活塞的動(dòng)作，其另一端與所述升降工作臺(tái)下表面的至少一側(cè)接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述升降工作臺(tái)支撐部包括至少兩個(gè)升降工作臺(tái)水平支撐部；所述升降工作臺(tái)水平支撐部包括水平氣缸驅(qū)動(dòng)部，其包括根據(jù)輸入的工作信號(hào)而動(dòng)作的水平活塞；支撐部導(dǎo)軌，其形成在所述平臺(tái)的上面；支撐部導(dǎo)桿，其一側(cè)連接于所述水平活塞的一端，通過所述水平活塞的動(dòng)作，沿著所述支撐部導(dǎo)軌移動(dòng)；升降工作臺(tái)支撐部安放端，其能與所述升降工作臺(tái)下表面的至少一側(cè)接觸，從所述支撐部導(dǎo)桿的一端向所述平臺(tái)的中心延伸而形成；在所述升降工作臺(tái)處于上升模式的至少部分過程中，將所述升降工作臺(tái)安放及保持在所述升降工作臺(tái)支撐部安放端上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于還包括至少一個(gè)導(dǎo)孔部，其從所述升降工作臺(tái)的外輪廓部位開始延伸，并設(shè)有垂直于所述平臺(tái)而形成的導(dǎo)孔；導(dǎo)桿，垂直于所述平臺(tái)的上表面而形成，貫穿插入到所述各導(dǎo)孔中，隨著所述升降工作臺(tái)的上下移動(dòng)，引導(dǎo)所述導(dǎo)孔部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述升降工作臺(tái)還包括微觀玻璃構(gòu)件，其相互平行地安裝在多個(gè)微觀結(jié)合槽內(nèi)，所述多個(gè)微觀結(jié)合槽在所述升降工作臺(tái)上形成；所述各微觀玻璃構(gòu)件的一表面上都包括多個(gè)支撐銷。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于將各宏觀玻璃構(gòu)件安裝在多個(gè)宏觀結(jié)合槽內(nèi)，所述多個(gè)宏觀結(jié)合槽在所述主工作臺(tái)上形成，且所述各宏觀玻璃構(gòu)件的一表面上都包括多個(gè)真空銷；在所述升降工作臺(tái)的上升模式下，所述真空銷的端部從所述玻璃襯底上分離；所述宏觀玻璃構(gòu)件和所述微觀玻璃構(gòu)件從平行于所述平臺(tái)的平面上看，呈相互交叉配置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述主工作臺(tái)支撐部包括滑動(dòng)工作臺(tái)；所述滑動(dòng)工作臺(tái)包括框架，用于支撐所述主工作臺(tái)的外輪廓部；滑動(dòng)模塊，配置在所述框架相對(duì)的兩側(cè)邊上，沿著所述框架的兩側(cè)邊的長(zhǎng)度方向相互平行地移動(dòng)，以使所述主工作臺(tái)作直線運(yùn)動(dòng)；滑動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)部，其產(chǎn)生及傳遞用于使所述主工作臺(tái)作直線運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述滑動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)部包括滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)，其產(chǎn)生用于使所述主工作臺(tái)作直線運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力；滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)傳遞部，其將所述滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力傳遞給所述滑動(dòng)模塊。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)傳遞部包括滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)皮帶輪，其與所述滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)的一端連接；滑動(dòng)從動(dòng)皮帶輪，其與所述驅(qū)動(dòng)皮帶輪連接；兩個(gè)滑動(dòng)傳遞軸，從所述滑動(dòng)從動(dòng)皮帶輪開始沿著所述框架的邊向兩側(cè)延伸；兩個(gè)聯(lián)軸器，其與所述各滑動(dòng)傳遞軸連接；兩個(gè)主軸，其與所述各聯(lián)軸器的一端連接；非平行軸齒輪，其與所述各主軸連接。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述滑動(dòng)模塊包括滑動(dòng)螺桿，其根據(jù)從所述滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)部傳遞的驅(qū)動(dòng)力作轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)；螺母部件，其與所述滑動(dòng)螺桿卡合，隨著所述滑動(dòng)螺桿的轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)作直線運(yùn)動(dòng)；滑動(dòng)安放板，安裝在所述螺母部件的上表面，與所述螺母部件一同作直線運(yùn)動(dòng)，通過與所述主工作臺(tái)下表面的一側(cè)接觸而支撐所述主工作臺(tái)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述滑動(dòng)模塊還包括直線導(dǎo)軌部，其配置成與所述滑動(dòng)螺桿相平行，并與所述滑動(dòng)安放板的下表面連接。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述直線導(dǎo)軌部包括直線導(dǎo)軌軌道，配置成與所述滑動(dòng)螺桿相平行；至少一個(gè)滑動(dòng)部件，一端與所述滑動(dòng)安放板的下表面連接，另一端與所述直線導(dǎo)軌軌道卡合，隨著所述滑動(dòng)安放板的直線運(yùn)動(dòng)一同移動(dòng)。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述主工作臺(tái)支撐部包括框架，用于支撐所述主工作臺(tái)的外輪廓部，至少一個(gè)拉伸裝置，其一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述框架的外側(cè)，另一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述平臺(tái)支撐部；轉(zhuǎn)軸，其作為所述框架的轉(zhuǎn)動(dòng)中心，一面連接于所述平臺(tái)的外輪廓一側(cè)，并且另一面連接于所述框架的外輪廓一側(cè)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述拉伸裝置包括拉伸活塞，其一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述框架的外側(cè)；拉伸氣缸，可插拔所述拉伸活塞。
18.一種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于包括平臺(tái)，通過平臺(tái)支撐部來支撐；主工作臺(tái)，用于安放玻璃襯底；框架，用于支撐所述主工作臺(tái)的外輪廓部；滑動(dòng)模塊，其配置在所述框架的相對(duì)的兩側(cè)邊上，沿著所述框架兩側(cè)邊的長(zhǎng)度方向相互平行地移動(dòng)，以使所述主工作臺(tái)作直線運(yùn)動(dòng)；滑動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)部，其產(chǎn)生及傳遞用于使所述主工作臺(tái)作直線運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力；至少一個(gè)拉伸裝置，其一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述框架的外側(cè)，另一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述平臺(tái)支撐部；轉(zhuǎn)軸，其一面連接于所述平臺(tái)的外輪廓一側(cè)，同時(shí)另一面連接于所述框架的外輪廓一側(cè)。
全文摘要
一種玻璃襯底檢查裝置，可自動(dòng)替換在宏觀及微觀檢查中的玻璃襯底支撐用玻璃棒，減少工序時(shí)間，防止污染檢查環(huán)境，提高檢查效率。其包括平臺(tái)，由平臺(tái)支撐部支撐；主工作臺(tái)支撐部，配置在平臺(tái)的上面；主工作臺(tái)，配置在主工作臺(tái)支撐部上，安放玻璃襯底；升降工作臺(tái)，根據(jù)在上升及下降模式中選擇的模式，至少部分在主工作臺(tái)內(nèi)部及平臺(tái)的上部上下移動(dòng)，當(dāng)處于上升模式時(shí)，與玻璃襯底接觸，使玻璃襯底從主工作臺(tái)上分開及隔離；升降驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)置在平臺(tái)的一側(cè)，使升降工作臺(tái)上下移動(dòng)；升降工作臺(tái)支撐部，設(shè)置在平臺(tái)的上表面，在上升模式下，與升降工作臺(tái)下部的至少一側(cè)接觸，支撐升降工作臺(tái)，而在下降模式下，從升降工作臺(tái)的下部分開及隔離。
文檔編號(hào)G01M11/00GK1727863SQ20041010310
公開日2006年2月1日 申請(qǐng)日期2004年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月28日
發(fā)明者樸魯善, 李相熏, 金鉉守 申請(qǐng)人:De & T 株式會(huì)社