專利名稱：全自動高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種分析儀器設(shè)備，具體涉及一種氦質(zhì)譜檢漏儀。
背景技術(shù)：
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種常規(guī)的分析儀器設(shè)備，國內(nèi)外均生產(chǎn)。但目前已有的氦質(zhì)譜檢漏儀的缺點是檢漏范圍窄，檢測靈敏度差，自動化程度和檢測效率低。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服已有氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏范圍窄，靈敏度差及自動化程度低的問題，本實用新型提供一種全自動高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀、其檢漏范圍相對較寬。
本實用新型技術(shù)方案一種全自動高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀，包括分子泵、機械泵、質(zhì)譜室、放大器、檢漏閥和電控系統(tǒng)，機械泵通過管路和檢漏閥與分子泵連接，分子泵通過抽氣口與質(zhì)譜室連接，其特征在于所述分子泵在上中下部位設(shè)三個出氣口，分別與其管路和檢漏閥連接，構(gòu)成微漏氣流通路、中漏氣流通路和大漏氣流通路。所述質(zhì)譜室中的磁鐵，其內(nèi)側(cè)各放置了一塊純鐵，純鐵的形狀為半圓臺形，磁鐵所產(chǎn)生的磁場為180°非均勻磁場。所述放大器設(shè)置在質(zhì)譜室真空環(huán)境中。
離子源內(nèi)設(shè)兩根燈絲。所述檢漏閥為電磁閥。
本實用新型有益效果1、使用了180°的非均勻磁場，使離子聚焦更好，提高了靈敏度。
2、將放大器放在質(zhì)譜室真空環(huán)境中，增強了屏蔽，減少了外界環(huán)境的干擾，進一步提高了放大器的增益，提高了接收靈敏度。
3、由于采用了三個出氣口的分子泵，使量程轉(zhuǎn)換更加方便，測量范圍寬。
4、離子源燈絲采用雙燈絲，若以一根斷了，可自動切換到另外一根，提高了儀器的使用時間。
5、采用單片機控制，操作方便，正常情況下，只需按“檢漏”和“放氣”兩個按鍵，提高了儀器的自動化程度。
6、ED光柱和數(shù)碼管雙重顯示，直接顯示漏率。
7、放氣時分子泵、燈絲處于休眠狀態(tài)，降低了能耗，提高了儀器的使用壽命。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。


圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實用新型磁鐵示意圖。
圖中1、分子泵，2、下出氣口，3、規(guī)管，4、中出氣口，5、電磁閥A，6、電磁閥B，7、電磁閥C，8、機械泵，9、電磁閥D，10、電磁閥E，11、標(biāo)準(zhǔn)漏孔，12、電磁閥F，13、真空計，14、檢漏口，15、上出氣口，16、質(zhì)譜室，17、磁鐵，18、放大器，19、分子泵抽氣口，20、極靴，21、橫軛，22、立板，23、螺釘。
具體實施方式
參見圖1，本實用新型包括分子泵1，機械泵8，質(zhì)譜室16，放大器18和電磁閥A-F。機械泵8通過管路和電磁閥與分子泵1連接，分子泵1通過抽氣口19與質(zhì)譜室連接。分子泵1設(shè)上、中、下三個出氣口15、4、2，上出氣口15通過管路與電磁閥A5連接，構(gòu)成微漏氣流通路；中出氣口4通過管路與電磁閥B6連接，構(gòu)成中漏氣流通路；下出氣口2通過管路與電磁閥C7連接，構(gòu)成大漏氣流通路，電磁閥由微電腦控制來實現(xiàn)量程自動切換。放大器設(shè)置在質(zhì)譜室真空環(huán)境中。磁鐵17內(nèi)側(cè)各放置了一塊純鐵，純鐵的形狀為半圓臺形，稱為極靴20，使磁鐵產(chǎn)生180°的非均勻磁場，磁場強度分布(偏差±20)為A1500高斯，B2300高斯，C1800高斯，D1200高斯。如圖2所示。離子源采用雙燈絲。電控系統(tǒng)由控制模塊、離子源供電模塊、顯示操作模塊和數(shù)據(jù)處理模塊組成，控制模塊以單片機為核心，控制分子泵1的工作、離子源加電及各電磁閥的通斷。離子源供電模塊為離子源提供各種工作電壓以及燈絲的保護；顯示操作模塊為用戶提供操作檢漏儀的按鍵及顯示檢漏儀的工作狀態(tài)、真空值及漏率；數(shù)據(jù)處理模塊檢測各種信號(如代表漏率的氦離子)并加以放大處理。
本實用新型的工作原理首先啟動機械泵8，由規(guī)管3檢測分子泵1的下出氣口2處真空，當(dāng)真空達到一定的值時自動啟動分子泵1，分子泵1啟動正常后，質(zhì)譜室16內(nèi)離子源加電，離子源內(nèi)有兩根燈絲，若一根燈絲斷了可自動切換到另一根，同時檢測質(zhì)譜室高真空，若真空度不夠，則自動保護燈絲，等待幾分鐘，直到高真空符合要求，則提示準(zhǔn)備好，等待檢漏。
檢漏時關(guān)斷電磁閥C7，打開電磁閥D9，通過檢漏口14對工件抽真空，同時由真空計13測量檢漏口14的真空值，根據(jù)真空值大小，打開相應(yīng)的電磁閥來進行檢漏。因為分子泵1的三個出氣口對氦氣的壓縮比不一樣，當(dāng)大漏時，打開電磁閥C7；當(dāng)中漏時，打開電磁閥B6；當(dāng)微漏時，打開電磁閥A5；當(dāng)要定標(biāo)時，打開電磁閥E10，則由標(biāo)準(zhǔn)漏孔11的漏率來定標(biāo)。檢漏時氦氣由分子泵1逆擴散到質(zhì)譜室進行電離，電離后進入電磁鐵17產(chǎn)生的180°的非均勻磁場進行分離，同時180°的非均勻磁場在“Z”方向有聚焦作用，減少了離子損失，使靈敏度得到提高。為了進一步提高靈敏度，將放大器18放在質(zhì)譜室16，減少外界環(huán)境的干擾。檢漏結(jié)束放氣時，電磁閥F12打開，空氣進入，從而可以拿走工件。整個工作過程，由以微電腦為核心的電氣系統(tǒng)來控制。
權(quán)利要求1.一種全自動高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀，包括分子泵、機械泵、質(zhì)譜室、放大器、檢漏閥和電控系統(tǒng)，機械泵通過管路和檢漏閥與分子泵連接，分子泵通過抽氣口與質(zhì)譜室連接，其特征在于所述分子泵在上中下部位設(shè)三個出氣口，分別與其管路和檢漏閥連接，構(gòu)成微漏氣流通路、中漏氣流通路和大漏氣流通路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀，其特征在于所述質(zhì)譜室中的磁鐵，其內(nèi)側(cè)各放置了一塊純鐵，純鐵的形狀為半圓臺形，磁鐵所產(chǎn)生的磁場為180°非均勻磁場。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀，其特征在于所述放大器設(shè)置在質(zhì)譜室真空環(huán)境中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀，其特征在于離子源內(nèi)設(shè)兩根燈絲。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3或4所述的全自動高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀，其特征在于所述檢漏閥為電磁閥。
專利摘要本實用新型涉及一種全自動高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀，包括分子泵、機械泵、質(zhì)譜室、放大器、檢漏閥和電控系統(tǒng)，機械泵通過管路和檢漏閥與分子泵連接，分子泵通過抽氣口與質(zhì)譜室連接，其特征在于所述分子泵在上中下部位設(shè)三個出氣口，分別與其管路和檢漏閥連接，構(gòu)成微漏氣流通路、中漏氣流通路和大漏氣流通路。質(zhì)譜室中的磁鐵，其內(nèi)側(cè)各放置了一塊純鐵，純鐵的形狀為半圓臺形，磁鐵所產(chǎn)生的磁場為180°非均勻磁場。本實用新型離子聚焦好，靈敏度高，量程轉(zhuǎn)換方便，測量范圍寬。
文檔編號G01N30/00GK2687669SQ20042002477
公開日2005年3月23日 申請日期2004年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月16日
發(fā)明者黃文平, 羅明生 申請人:臧牧