專利名稱：陰極射線管熒光面電子顯微測量儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種電子顯微放大測量儀器，特別涉及一種用于彩色顯像管和顯示管測試中的屏熒光面結(jié)構(gòu)的電子顯微測量儀。
背景技術(shù)：
目前，在彩色顯象管測試領(lǐng)域當(dāng)中，對彩色顯像管和顯示管的熒光屏的熒光面的結(jié)構(gòu)參數(shù)測試評價，是一項很重要的測試項目。熒光屏的熒光面的結(jié)構(gòu)參數(shù)主要指粉條節(jié)距、條寬、黑底配列和粉條形狀，這些參數(shù)項目的單位是微米數(shù)量級。所以在測試過程中，要求測量精確，對操作員技能要求較高。目前使用便攜式顯微鏡，是通過人眼觀察目鏡中熒光面成像效果，一手持顯微鏡，另一只手微調(diào)對焦旋鈕，直到目視聚焦清晰為止，且不能有任何晃動，稍微有晃動就會造成測量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確。這些都是通過人員手動操作，無法保證測量的準(zhǔn)確性。操作起來比較困難，更容易造成目視誤差，導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)不精確。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種可以提高測試精度，降低目視誤差的陰極射線管熒光面電子顯微測量儀。
本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的陰極射線管熒光面電子顯微測量儀，包括放大透鏡、分化板、CCD攝像機(jī)，其改進(jìn)之處在于被測物將光射入第一組放大透鏡，該組放大透鏡的出射光射入分化板，再通過分化板的光射入第二組放大透鏡，這組放大透鏡的出射光射入到電荷耦合器件攝像機(jī)的靶面上。
本實用新型在于精密測量，在顯示器件上成像放大倍率達(dá)到1000倍以上，利用分化板的標(biāo)尺和顯示系統(tǒng)在熒光屏上直接讀出顯像管熒光面條寬、節(jié)距和黑底配列等數(shù)值，同時也能觀測自由光點形貌、CCV(自由光點中心會聚)和OCV(自由光點邊束會聚)。由于測量結(jié)果在顯示器上看到，將人眼從光學(xué)鏡頭上解放出來，降低目視誤差，精度比普通便攜式顯微鏡提高。操作相對簡單，提高測試熒光面結(jié)構(gòu)精度和進(jìn)度，為陰極射線管的測試評價提供了可靠工具。


圖1是本實用新型設(shè)計光路示意圖；圖2(a)是本實用新型分化板的正面視圖；圖2(b)是本實用新型分化板的側(cè)視圖。
具體實施方式
附圖為本實用新型的具體實施例；
以下結(jié)合附圖對本實用新型的內(nèi)容做進(jìn)一步詳細(xì)說明參照圖1所示，陰極射線管熒光面電子顯微測量儀，包括放大透鏡、分化板、電荷耦合器件CCD攝像機(jī)5，被測物1將光射入第一組放大透鏡2，第一組放大透鏡2的出射光射入分化板3，通過分化板3的光射入第二組放大透鏡4，第二組放大透鏡4的出射光射入到電荷耦合器件攝像機(jī)5的靶面上。
第一組放大透鏡2到被檢測熒光面的物距為25毫米，第一組放大鏡頭2的放大倍率是6倍，放大鏡頭2成像在分化板上且距離分化板3像距150毫米，第二組放大鏡頭4成像在CCD攝像機(jī)5的靶面上，第二組放大鏡頭4的放大倍率是12.5倍、物距21毫米，像距是263毫米。
參照圖2(a)、(b)所示，分化板3是指帶有刻度的平面鏡，分化板3的測量范圍是0～1200微米，在分化板3的外側(cè)安裝有調(diào)節(jié)環(huán)，可以通過分化板調(diào)節(jié)環(huán)來旋轉(zhuǎn)分化板3，對焦環(huán)6用來對第二組放大透鏡4聚焦，調(diào)節(jié)環(huán)與對焦環(huán)6間隙配合，在360度內(nèi)旋轉(zhuǎn)分化板3，旋轉(zhuǎn)時不影響放大鏡頭成像質(zhì)量，且刻度最小單位值表示實測值為0.01毫米，可估讀實測值0.005毫米。
(1)分化板格值d＝0.06，任意刻線到零位線的距離誤差不得大于±0.003；(2)分化板直徑Φ＝19(上偏差-0.020，下偏差-0.072)，厚度d1＝2±0.2。
(3)刻線寬0.006±0.001，字高H0.2±0.02.數(shù)字筆劃寬0.01±0.003；(4)十字線對零件中心偏差＜0.05，垂直度小于3分；(5)刻線填充4號黑色填料，按WJ416-65，用水玻璃粘接；(6)刻線技術(shù)條件按GB1784-79，刻線在13X顯微鏡下檢查。
通過對焦環(huán)6連接件，對焦環(huán)6總長度為94mm，直徑為37mm，將圖1、2所示第一組和第二組放大透鏡2、4和分化板3與CCD攝像機(jī)5鏡頭系統(tǒng)連接，用M33毫米細(xì)牙螺紋和固定墊圈裝配，頂絲鎖緊固定，微調(diào)對焦環(huán)6可調(diào)整CCD攝像機(jī)5像距。CCD攝像機(jī)5選用PAL制式，具有Av輸出接口，1/4英寸成像靶面，自帶有自動調(diào)焦鏡頭系統(tǒng)，適應(yīng)物距范圍≥12毫米，CCD攝像機(jī)輸出的信號到顯示器件上，顯示視窗在0～1500微米左右范圍的觀測圖像；選用的顯示器件清晰度在500線以上。最終被測量熒光面和分化板刻度所成圖像，聚焦一致，清晰度在450線以上，便于目視直觀測量且圖像與被測的實物目視無畸變。
權(quán)利要求1.陰極射線管熒光面電子顯微測量儀，包括放大透鏡、與放大透鏡同軸的分化板(3)和電荷耦合器件攝像機(jī)(5)，其特征在于被測物(1)將光射入第一組放大透鏡(2)，第一組放大透鏡(2)的出射光射入分化板(3)，通過分化板(3)的光射入第二組放大透鏡(4)，第二組放大透鏡(4)的出射光射入到電荷耦合器件攝像機(jī)(5)的靶面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極射線管熒光面電子顯微測量儀，其特征在于被測物(1)與第一組放大透鏡(2)的物距為L1＝25mm，第一組放大透鏡(2)與分化板(3)的像距L2＝150mm，分化板(3)與第二組放大透鏡(4)的物距L3＝21mm，第二組放大透鏡(4)的像距為263mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極射線管熒光面電子顯微測量儀，其特征在于第一組放大透鏡(2)的放大率為6倍，第二組放大透鏡(4)的放大率為12.5倍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極射線管熒光面電子顯微測量儀，其特征在于分化板(3)是指帶有刻度的平面鏡，分化板的測量范圍是0～1200微米，分化板(3)在360度內(nèi)旋轉(zhuǎn)，最小格值0.01毫米，可估讀0.005毫米。
專利摘要本實用新型公開了一種陰極射線管熒光面電子顯微測量儀，包括放大透鏡、分化板、CCD攝像機(jī)，被測物將光射入放大透鏡，放大透鏡的出射光射入分化板，通過分化板的光射入放大透鏡，放大透鏡的出射光射入到攝像機(jī)的靶面上，分化板是帶有刻度的平面鏡。從而將人眼從光學(xué)鏡頭上解放出來，目視誤差影響降到最低，操作相對便攜式顯微鏡測量簡單，提高了測試熒光面結(jié)構(gòu)精度和進(jìn)度。
文檔編號G01N21/29GK2669183SQ20042004140
公開日2005年1月5日 申請日期2004年1月5日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月5日
發(fā)明者焦宗平 申請人:彩虹集團(tuán)電子股份有限公司