專利名稱：試驗(yàn)裝置及測試模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種對具有用于接收信號的多個(gè)元件終端的電子元件進(jìn)行試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置。特別是關(guān)于一種試驗(yàn)裝置及測試模塊。
背景技術(shù)：
在習(xí)知技術(shù)中，已知有一種當(dāng)對多個(gè)電子元件同時(shí)進(jìn)行測定時(shí)，將測定位置的任意的輸出入終端分配給任意的電子元件的構(gòu)成(例如參照專利文獻(xiàn)1。)。在該測定裝置中，利用由電阻構(gòu)成的同時(shí)測定用針定義臺，確定測定裝置的輸出入終端的分配。
專利文獻(xiàn)1日本專利早期公開的特開平5-322978號公報(bào)(第4-6頁，1-4圖)但是，習(xí)知的同時(shí)測定用針定義臺，由與測定裝置的輸出入終端的數(shù)目相等個(gè)數(shù)的電阻構(gòu)成。所以，在測定裝置的輸出入終端的數(shù)目多的情況下，時(shí)會使必要的電阻的數(shù)目增大，且使測試裝置的成本上升。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種可解決上述課題的試驗(yàn)裝置及測試模塊。該目的利用權(quán)利要求范圍中的獨(dú)立項(xiàng)所記述的特征的組合而達(dá)成。而且，屬項(xiàng)規(guī)定本發(fā)明的更加有利的具體例子。
本發(fā)明的第1形態(tài)提供一種試驗(yàn)裝置，為一種對具有用于接收信號的多個(gè)元件終端的電子元件進(jìn)行試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置，包括將表示應(yīng)賦予前述元件終端的前述信號的動作的動作條件，與該元件終端建立對應(yīng)并輸出的動作條件輸出部、將前述電子元件的測試所使用的測試信號，根據(jù)前述動作條件所示的動作而賦予前述電子元件的測試模塊；前述測試模塊包括別與某個(gè)前述元件終端電氣連接并將前述測試信號分別供給到該元件終端的多個(gè)裝置終端、用于存儲表示各個(gè)前述元件終端和與該元件終端連接的前述裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息的終端對應(yīng)存儲部、將與對應(yīng)前述動作條件的前述元件終端連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息進(jìn)行選擇，對選擇的前述裝置終端設(shè)定前述動作條件的動作條件設(shè)定部。
也可使前述試驗(yàn)裝置對多個(gè)前述電子元件進(jìn)行試驗(yàn)；前述動作條件輸出部指定應(yīng)與形成設(shè)定前述動作條件的對象的前述裝置終端進(jìn)行連接的前述電子元件；前述測試模塊還具有對前述多個(gè)電子元件的每一個(gè)，將用于表示與該電子元件連接的前述裝置終端的每元件裝置終端信息進(jìn)行存儲的每元件信息存儲部；前述動作條件設(shè)定部將前述動作條件輸出部所指定的前述電子元件中的，與前述動作條件建立對應(yīng)的前述元件終端連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息及前述每元件裝置終端信息進(jìn)行選擇，對所選擇的前述裝置終端，設(shè)定前述動作條件。
也可使前述動作條件輸出部將前述動作條件，與多個(gè)前述元件終端的集合即終端集合建立對應(yīng)并輸出；前述終端對應(yīng)存儲部將用于表示前述終端集合、與該終端集合所包含的前述元件終端進(jìn)行連接的前述裝置終端的對應(yīng)的信息，作為前述終端對應(yīng)信息并進(jìn)行存儲；前述動作條件設(shè)定部根據(jù)前述終端對應(yīng)信息，選擇與對應(yīng)于該動作條件的前述終端集合中所包含的前述元件終端進(jìn)行連接的前述裝置終端，在所選擇的前述裝置終端為與前述動作條件輸出部指定的前述電子元件進(jìn)行連接的前述裝置終端的情況下，該裝置終端設(shè)定前述動作條件。
本發(fā)明的第2形態(tài)提供一種試驗(yàn)裝置，為一種對具有用于輸出信號的多個(gè)元件終端的電子元件進(jìn)行試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置，包括將表示前述元件終端輸出的前述信號的期待值的動作條件，與該元件終端對應(yīng)地進(jìn)行輸出的動作條件輸出部、將前述電子元件的輸出信號與前述動作條件表示的期待值進(jìn)行比較的測試模塊；前述測試模塊包括分別與某個(gè)前述元件終端電氣連接并分別輸入該元件終端所輸出的輸出信號的多個(gè)裝置終端、用于存儲表示各個(gè)前述元件終端和與該元件終端連接的前述裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息的終端對應(yīng)存儲部、將與對應(yīng)前述動作條件的前述元件終端連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息進(jìn)行選擇，并設(shè)定前述動作條件，為從選擇的前述裝置終端所輸入的前述輸出信號的期待值的動作條件設(shè)定部。
也可使前述電子元件具有的前述多個(gè)元件終端分別屬于多個(gè)域的某一個(gè)；試驗(yàn)裝置包括前述動作條件輸出部、多個(gè)前述測試模塊、將前述多個(gè)測試模塊進(jìn)行連接的矩陣模塊；前述多個(gè)測試模塊的每一個(gè)還具有將用于表示從該測試模塊具有的前述裝置終端所輸入的前述輸出信號與關(guān)于該裝置終端的前述期待值的不一致的錯(cuò)誤信號，向前述矩陣模塊進(jìn)行輸出的測試單元；前述矩陣模塊具有多個(gè)每域集約部和多個(gè)每域分配部，其中每域集約部與前述多個(gè)域分別對應(yīng)設(shè)置，并根據(jù)關(guān)于與屬于該域的前述元件終端對應(yīng)的各個(gè)前述裝置終端的前述錯(cuò)誤信號，生成用于表示關(guān)于屬于該域的至少1個(gè)前述裝置終端的前述輸出信號和前述期待值的不一致的情況的域錯(cuò)誤信號，每域分配部與前述多個(gè)域分別對應(yīng)設(shè)置，并將由與該域?qū)?yīng)的前述每域集約部所生成的前述域錯(cuò)誤信號，對與屬于該域的前述元件終端進(jìn)行連接的前述測試模塊的每一個(gè)進(jìn)行分配。
各個(gè)前述測試模塊也可在接收了前述域錯(cuò)誤信號的情況下，進(jìn)行屬于該域的前述電子元件的錯(cuò)誤處理。
也可使各個(gè)前述測試模塊所具有的前述測試單元，包括多個(gè)在關(guān)于與屬于相同域的2個(gè)以上的前述元件終端進(jìn)行連接的2個(gè)以上的前述裝置終端的某一個(gè)，前述輸出信號和前述期待值不一致的情況下，將前述錯(cuò)誤信號向前述矩陣模塊進(jìn)行輸出的區(qū)段(segment)；前述每域集約部根據(jù)從與屬于該域的前述元件終端進(jìn)行連接的各個(gè)前述區(qū)段所輸入的前述錯(cuò)誤信號，生成前述域錯(cuò)誤信號；前述每域分配部，將由與該域?qū)?yīng)的前述每域集約部所生成的前述域錯(cuò)誤信號，對與屬于該域的前述元件終端進(jìn)行連接的前述區(qū)段分別進(jìn)行分配。
前述試驗(yàn)裝置對多個(gè)前述電子元件進(jìn)行試驗(yàn)；前述動作條件輸出部指定進(jìn)行試驗(yàn)的前述電子元件及前述域；前述矩陣模塊包括將用于表示前述域和與屬于該域的前述元件終端進(jìn)行連接的前述區(qū)段的對應(yīng)的區(qū)段對應(yīng)信息進(jìn)行存儲的區(qū)段信息存儲部、關(guān)于多個(gè)前述電子元件的每一個(gè)，將用于表示與該電子元件連接的前述區(qū)段的每元件區(qū)段信息的每元件信息存儲部、根據(jù)與前述動作條件輸出部所指定的前述域?qū)?yīng)并在前述區(qū)段信息存儲部中進(jìn)行存儲的前述區(qū)段對應(yīng)信息，和與前述動作條件輸出部所指定的前述電子元件對應(yīng)并在前述每元件信息存儲部中進(jìn)行存儲的前述每元件區(qū)段信息，選擇與所指定的前述電子元件及前述域?qū)?yīng)的前述區(qū)段的區(qū)段選擇部；前述每域集約部根據(jù)從前述區(qū)段選擇部選擇的前述區(qū)段所輸入的前述錯(cuò)誤信號，生成前述域錯(cuò)誤信號；前述每域分配部將前述域錯(cuò)誤信號，利用前述區(qū)段選擇部所選擇的前述區(qū)段分別進(jìn)行分配。
本發(fā)明的第3形態(tài)提供一種試驗(yàn)裝置，為一種對分別具有用于接收信號的多個(gè)元件終端的多個(gè)電子元件進(jìn)行試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置，包括將對前述元件終端賦予前述電子元件的試驗(yàn)中所使用的試驗(yàn)信號的情況下的，用于表示前述試驗(yàn)信號的動作的動作條件，與該元件終端建立對應(yīng)，且指定應(yīng)與形成將前述動作條件進(jìn)行設(shè)定的對象的前述裝置終端進(jìn)行連接的前述電子元件而進(jìn)行輸出的動作條件輸出部、分別與某個(gè)前述元件終端進(jìn)行電氣連接，并對該元件終端分別供給到前述測試信號的多個(gè)裝置終端、將用于表示各個(gè)前述元件終端和與該元件終端連接的前述裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息進(jìn)行存儲的終端對應(yīng)存儲部、關(guān)于前述多個(gè)電子元件的每一個(gè)，表示與該電子元件連接的前述裝置終端的每元件裝置終端信息進(jìn)行存儲的每元件信息存儲部、將前述動作條件輸出部所指定的前述電子元件的，與前述動作條件相對應(yīng)的前述元件終端進(jìn)行連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息及前述每元件裝置終端信息進(jìn)行選擇，并對所選擇的前述裝置終端設(shè)定前述動作條件的動作條件設(shè)定部。
本發(fā)明的第4形態(tài)提供一種試驗(yàn)裝置，為一種對分別具有用于輸出信號的多個(gè)元件終端的多個(gè)電子元件進(jìn)行試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置，括將表示前述電子元件輸出的輸出信號的期待值的動作條件，該元件終端建立對應(yīng)，且指定應(yīng)與形成將前述動作條件進(jìn)行設(shè)定的對象的前述裝置終端連接的前述電子元件而進(jìn)行輸出的動作條件輸出部、分別與某個(gè)前述元件終端進(jìn)行電氣連接，分別輸入該元件終端所輸出的前述輸出信號的多個(gè)裝置終端、將用于表示各個(gè)前述元件終端和與該元件終端連接的前述裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息進(jìn)行存儲的終端對應(yīng)存儲部、關(guān)于前述多個(gè)電子元件的每一個(gè)，表示與該電子元件連接的前述裝置終端的每元件裝置終端信息進(jìn)行存儲的每元件信息存儲部、將前述動作條件輸出部所指定的前述電子元件的，與前述動作條件相對應(yīng)的前述元件終端進(jìn)行連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息及前述每元件裝置終端信息進(jìn)行選擇，并對所選擇的前述裝置終端設(shè)定前述動作條件的動作條件設(shè)定部。
本發(fā)明的第5形態(tài)提供一種測試模塊，為一種對具有用于接收信號的多個(gè)元件終端的電子元件，賦予該電子元件的試驗(yàn)所使用的試驗(yàn)信號的測試模塊，包括分別與某個(gè)前述元件終端電氣連接，并對該元件終端分別賦予前述試驗(yàn)信號的多個(gè)裝置終端、將用于表示各個(gè)前述元件終端和與該元件終端連接的前述裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息進(jìn)行存儲的終端對應(yīng)存儲部、將表示賦予前述電子元件的前述試驗(yàn)信號的動作的動作條件與前述元件終端對應(yīng)地接收，并將與該動作條件對應(yīng)的前述元件終端進(jìn)行連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息進(jìn)行選擇，且對所選擇的前述裝置終端設(shè)定前述動作條件的動作條件設(shè)定部。
本發(fā)明的第6形態(tài)提供一種測試模塊，為一種將具有用于輸出信號的多個(gè)元件終端的電子元件所輸出的輸出信號與期待值進(jìn)行比較的測試模塊，括分別與某個(gè)前述元件終端電氣連接，并分別輸入該元件終端輸出的前述輸出信號的多個(gè)裝置終端、將用于表示各個(gè)前述元件終端和與該元件終端連接的前述裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息進(jìn)行存儲的終端對應(yīng)存儲部、將表示前述電子元件輸出的前述輸出信號的期待值的動作條件與前述元件終端對應(yīng)地接收，并將與該動作條件對應(yīng)的前述元件終端進(jìn)行連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息進(jìn)行選擇，且設(shè)定前述動作條件作為從選擇的選擇前述裝置終端所輸入的前述輸出信號的期待值的動作條件設(shè)定部。
另外，上述發(fā)明的概要并未列舉本發(fā)明的必要特征的全部，們的特征群的子群也可又形成發(fā)明。
如利用本發(fā)明，可以適當(dāng)?shù)某杀咎峁┰囼?yàn)裝置。


圖1所示為關(guān)于本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)的試驗(yàn)裝置100的構(gòu)成的一個(gè)例子。
圖2所示為模塊接口202的構(gòu)成的一個(gè)例子。
圖3所示為每元件信息存儲部318的構(gòu)成的一個(gè)例子。
圖4所示為動作條件設(shè)定部316的構(gòu)成的一個(gè)例子。
圖5所示為測試單元204的構(gòu)成的一個(gè)例子。
圖6所示為針映象的一個(gè)例子。
圖7所示為針組映象的一個(gè)例子。
圖8所示為每元件裝置終端信息的一個(gè)例子。
圖9所示為矩陣設(shè)定部208的構(gòu)成的一個(gè)例子。
圖10所示為矩陣開關(guān)部210的構(gòu)成的一個(gè)例子。
50電子元件 52元件終端100試驗(yàn)裝置102測試控制部104總線開關(guān)106數(shù)字模塊108矩陣模塊110負(fù)載板202模塊接口204測試單元206裝置終端208矩陣設(shè)定部210矩陣開關(guān)部 302元件終端選擇部304終端對應(yīng)存儲部 306DUT選擇部308DUT映象寄存器 310OR電路312AND電路 314數(shù)據(jù)寄存器316動作條件設(shè)定部 318每元件信息存儲部402針數(shù)據(jù)表404區(qū)段502域指定部504區(qū)段信息存儲部506DUT選擇部 508每元件信息存儲部510區(qū)段選擇部 602每域集約部604每域分配部 606區(qū)段指定部具體實(shí)施方式
下面通過發(fā)明的實(shí)施形態(tài)對本發(fā)明進(jìn)行說明，但以下的實(shí)施形態(tài)并不限定關(guān)于權(quán)利要求范圍的發(fā)明，而且，在實(shí)施形態(tài)中所說明的特征的組合的全部未必是發(fā)明的解決方法所必須的。
圖1為關(guān)于本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)的試驗(yàn)裝置100的構(gòu)成的一個(gè)例子。本例的目的是以低成本提供一種對DUT(Device Under Test，被測器件)即多個(gè)電子元件50效率良好地進(jìn)行試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置100。
關(guān)于本實(shí)施形態(tài)的電子元件50具有多個(gè)元件終端52。元件終端52為例如電子元件50的輸出入終端(元件針)。電子元件50也可具有例如動作頻率等不同的多個(gè)輸出入接口。關(guān)于本實(shí)施形態(tài)的測試裝置100的目的是將這些多個(gè)輸出入接口同時(shí)進(jìn)行試驗(yàn)，具有與各個(gè)輸出入接口對應(yīng)地設(shè)定域，并對每個(gè)域獨(dú)立地進(jìn)行試驗(yàn)的機(jī)能。更具體地說，試驗(yàn)裝置100將電子元件50具有的多個(gè)元件終端52的每一個(gè)，作為屬于多個(gè)域的某一個(gè)的元件終端進(jìn)行設(shè)定，并在每個(gè)設(shè)定的域獨(dú)立地進(jìn)行試驗(yàn)。
試驗(yàn)裝置100包括測試控制部102、總線開關(guān)部104、多個(gè)數(shù)字模塊106、矩陣模塊108及負(fù)載板110。
測試控制部102為例如控制測試裝置100的全體的CPU等，輸出用于表示應(yīng)賦予電子元件50的元件終端52的信號的時(shí)序及/或電平等的動作的動作條件，或用于表示元件終端52輸出的信號的時(shí)序及/或電平等的期待值的動作條件。測試控制部102根據(jù)例如預(yù)先設(shè)定的程序，指定某一個(gè)元件終端52，并與該元件終端52對應(yīng)地輸出動作條件。在本例中，測試控制部102輸出例如表示信號的邊緣的時(shí)序的信息，作為動作條件。
另外，測試控制部102為輸出動作條件的動作條件輸出部的一個(gè)例子。測試控制部102輸出動作條件，作為應(yīng)與元件終端52對應(yīng)設(shè)定的測試條件的一個(gè)例子。測試控制部102也可將用于表示應(yīng)供給到電子元件50的信號的各種各樣的動作的動作條件，與元件終端52對應(yīng)輸出。
總線開關(guān)104為將多個(gè)數(shù)字模塊106及矩陣模塊108分別與測試控制部102進(jìn)行電氣連接的傳送路?？偩€開關(guān)104將從測試控制部102所接收的動作條件，分別并列供給到多個(gè)數(shù)字模塊106。
矩陣模塊108為將多個(gè)數(shù)字模塊106進(jìn)行電氣連接的測試模塊。矩陣模塊108在電子元件50的測試中，如某個(gè)數(shù)字模塊106檢測到電子元件50的錯(cuò)誤，則對將該電子元件50進(jìn)行試驗(yàn)的各數(shù)字模塊106通知試驗(yàn)的錯(cuò)誤。矩陣模塊108具有矩陣開關(guān)部210及矩陣設(shè)定部208。矩陣開關(guān)部210為矩陣結(jié)構(gòu)的開關(guān)電路，并與各個(gè)數(shù)字模塊106彼此進(jìn)行連接。矩陣開關(guān)210從矩陣設(shè)定部208接收用于控制開關(guān)電路的轉(zhuǎn)換的轉(zhuǎn)換控制信號，并依此將連接多個(gè)數(shù)字模塊106的組合進(jìn)行變更。矩陣設(shè)定部208依據(jù)通過總線開關(guān)104從測試控制部102所接收的指示，輸出轉(zhuǎn)換控制信號。
數(shù)字模塊106為將電子元件50的試驗(yàn)所使用的試驗(yàn)信號供給到電子元件50，并將電子元件50的輸出信號與期待值進(jìn)行比較的測試模塊，具有模塊接口202、測試單元204及多個(gè)裝置終端206。模塊接口202根據(jù)通過總線開關(guān)104從測試控制部102所接收的動作條件，設(shè)定例如測試單元204的動作的時(shí)序。模塊接口202藉由例如在與多個(gè)裝置終端206分別對應(yīng)并設(shè)置于測試單元204內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)針資源中，指定裝置終端206并寫入數(shù)據(jù)，而設(shè)定例如對該裝置終端206的時(shí)序。模塊接口202也可根據(jù)動作條件，設(shè)定測試單元204所輸出的信號的電平。而且，模塊接口202也可根據(jù)動作條件，設(shè)定應(yīng)與從電子元件50所輸出的輸出信號進(jìn)行比較的信號電平的期待值。
測試單元204為包括輸出試驗(yàn)信號的驅(qū)動電路及接收電子元件50的輸出信號的比較電路的針電子電路，通過裝置終端206及負(fù)載板110，與電子元件50電氣連接。而且，測試單元204根據(jù)由模塊接口202所設(shè)定的動作條件，輸出試驗(yàn)信號。而且，測試單元204根據(jù)由模塊接口202所設(shè)定的動作條件，接收電子元件50的輸出信號，并與動作條件所示的期待值進(jìn)行比較。
在本例中，測試單元204通過矩陣開關(guān)部210，與其它的數(shù)字模塊106上所設(shè)置的測試單元204進(jìn)行電氣連接。測試單元204將例如根據(jù)電子元件50的輸出信號的信號，通過矩陣開關(guān)部210，供給到另外的測試單元204。更具體地說，測試單元204將用于表示從該數(shù)字模塊106具有的裝置終端206所輸入的電子元件50的輸出信號，與關(guān)于該裝置終端206的期待值的不一致的錯(cuò)誤信號，向矩陣模塊108進(jìn)行輸出，并通過矩陣模塊108向另外的測試單元204供給錯(cuò)誤信號。
多個(gè)裝置終端206為試驗(yàn)裝置100的輸出入終端(測試針)，分別通過某個(gè)元件終端52和例如操縱臺等的連接單元即負(fù)載板110，被電氣連接。各個(gè)裝置終端206對所連接的元件終端52，分別供給到從測試單元204所接收的試驗(yàn)信號。在這種情況下，裝置終端206按照例如根據(jù)動作條件在測試單元204所設(shè)定的時(shí)序，輸出試驗(yàn)信號。藉此，數(shù)字模塊106按照例如動作條件所示的時(shí)序，將測試信號供給到電子元件50。而且，各個(gè)裝置終端206將所連接的元件終端52輸出的輸出信號進(jìn)行輸入。在這種情況下，數(shù)字模塊106將由各個(gè)裝置終端206所輸入的輸出信號，與利用測試控制部102而設(shè)定的動作條件所示的期待值進(jìn)行比較。如利用本例，則可適當(dāng)?shù)卦O(shè)定將信號對電子元件50進(jìn)行輸出入的動作條件。而且，藉此，可適當(dāng)?shù)卦O(shè)定例如將信號對電子元件50進(jìn)行輸出入的時(shí)序。
下面，關(guān)于測試裝置100的動作進(jìn)行更加詳細(xì)地說明。在本例中，試驗(yàn)裝置100將p個(gè)電子元件50并列進(jìn)行試驗(yàn)。這些電子元件50的每一個(gè)為相同品種的LSI，并分別具有多個(gè)元件終端52。在各個(gè)電子元件50中，這些多個(gè)元件終端52由例如DP1、DP2、…號等共同的元件終端號分別進(jìn)行指定。而且，這些元件終端52的至少一部分，從試驗(yàn)裝置100接收試驗(yàn)信號。而且，這些元件終端52的至少一部分，依據(jù)來自試驗(yàn)裝置100的試驗(yàn)信號而輸出信號。
而且，試驗(yàn)裝置100包括具有相同或同樣的機(jī)能及構(gòu)成的q個(gè)數(shù)字模塊106。各個(gè)數(shù)字模塊106具有n個(gè)裝置終端206。因此，試驗(yàn)裝置100具有n×q個(gè)裝置終端206。這些裝置終端206的至少一部分，與p個(gè)電子元件50分別具有的多個(gè)元件終端52進(jìn)行電氣連接。另外，p、q及n分別為大于等于1的整數(shù)，即1、2、3…中的某一個(gè)。
而且，例如在測試控制部102指定DP1號的元件終端52并輸出動作條件的情況下，在q個(gè)數(shù)字模塊106中所設(shè)置的q個(gè)模塊接口202及測試單元204，對與DP1號的元件終端52連接的裝置終端206，設(shè)定動作條件。在這種情況下，模塊接口202及測試單元204使p個(gè)電子元件50對應(yīng)各個(gè)中的DP1號的元件終端52，并對p個(gè)裝置終端206設(shè)定動作條件。
在這種情況下，q個(gè)數(shù)字模塊106將與元件終端52對應(yīng)被輸出的動作條件并列地展開處理，并設(shè)定與該元件終端52對應(yīng)的裝置終端206的動作條件。因此，如利用本例子，測試控制部102可將動作條件所示的數(shù)據(jù)，對多個(gè)數(shù)字模塊106，適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行廣播并寫入。
這里，測試控制部102也可指定應(yīng)于形成將動作條件進(jìn)行設(shè)定的對象的裝置終端206連接的電子元件50，并輸出動作條件。例如，測試控制部102從p個(gè)電子元件50中指定CPx號的電子元件50，并輸出與元件終端號碼為DP1號的元件終端52對應(yīng)的動作條件。在這種情況下，模塊接口202及測試單元204對CPx號的電子元件50中的、與DP1號的元件終端52連接的裝置終端206，進(jìn)行動作條件的設(shè)定。
而且，測試控制部102也可將動作條件，對多個(gè)元件終端52的集合即終端集合(針組)建立對應(yīng)并輸出。例如，測試控制部102與含有DP1、DP3及DP7號的3種元件終端52的終端集合建立對應(yīng)，輸出動作條件。在這種情況下，模塊接口202及測試單元204關(guān)于各個(gè)電子元件50，對與這些3種元件終端52連接的裝置終端206，進(jìn)行動作條件的設(shè)定。在這些情況下，也可對裝置終端206適當(dāng)?shù)卦O(shè)定動作條件。
圖2所示為模塊接口202的構(gòu)成的一個(gè)例子。模塊接口202具有元件終端選擇部302、終端對應(yīng)存儲部304、DUT選擇部306、每元件信息存儲部318及動作條件設(shè)定部316。
元件終端選擇部302為輸出用于指定在終端對應(yīng)存儲部304中所存儲的數(shù)據(jù)的地址的地址譯碼器，預(yù)先存儲多個(gè)元件終端52(參照圖1)的每一個(gè)和應(yīng)與其對應(yīng)輸出的地址的對應(yīng)。而且，元件終端選擇部302根據(jù)通過總線開關(guān)104從測試控制部102(參照圖1)所接收的動作條件，將與其建立對應(yīng)的元件終端52所對應(yīng)的地址供給到終端對應(yīng)存儲部304。藉此，元件終端選擇部302選擇與動作條件對應(yīng)的元件終端52，并使與該元件終端52建立對應(yīng)的數(shù)據(jù)，輸出到終端對應(yīng)存儲部304。
在本例中，元件終端選擇部302還將終端集合與地址的對應(yīng)進(jìn)行存儲。而且，在測試控制部102將動作條件與終端集合建立對應(yīng)并輸出的情況下，元件終端選擇部302將與該終端集合對應(yīng)的地址，供給到終端對應(yīng)存儲部304。
終端對應(yīng)存儲部304為將用于表示各個(gè)元件終端52、與該元件終端52進(jìn)行連接的裝置終端206(參照圖1)的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息進(jìn)行存儲的存儲器。在本例中，終端對應(yīng)存儲部304將用于表示該對應(yīng)的信息即針映象，作為終端對應(yīng)信息的一部分進(jìn)行存儲。終端對應(yīng)存儲部304在對各個(gè)元件終端52預(yù)先建立對應(yīng)的地址，將用于表示與該元件終端52連接的裝置終端206的數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲。而且，終端對應(yīng)存儲部304從元件終端選擇部302接收與某個(gè)元件終端52對應(yīng)的地址，并依此且根據(jù)針映象，將用于表示與該元件終端52連接的裝置終端206的數(shù)據(jù)輸出。
在本例中，終端對應(yīng)存儲部304與各個(gè)數(shù)字模塊106(參照圖1)上所設(shè)置的n個(gè)裝置終端206對應(yīng)，將各個(gè)比特與各個(gè)裝置終端206建立對應(yīng)的n比特?cái)?shù)據(jù)，在各個(gè)地址中進(jìn)行存儲。終端對應(yīng)存儲部304在例如各個(gè)地址中，對用于表示與該地址對應(yīng)的元件終端52所連接的裝置終端206的比特，存儲值1。
而且，終端對應(yīng)存儲部304還將用于表示終端集合、與該終端集合中所包含的元件終端52進(jìn)行連接的裝置終端206的對應(yīng)的信息即針組映象，作為終端對應(yīng)信息的一部分進(jìn)行存儲。而且，在從元件終端選擇部302接收與該終端集合對應(yīng)的地址的情況下，終端對應(yīng)存儲部304根據(jù)針組映象，輸出用于表示與該終端集合對應(yīng)的裝置終端206的數(shù)據(jù)。在另外的例子中，終端對應(yīng)存儲部304也可為寄存器。而且，終端對應(yīng)存儲部304也可具有將針映象及組映象的每一個(gè)分別進(jìn)行存儲的多個(gè)存儲器。
在本實(shí)施形態(tài)中，終端集合可以為屬于1個(gè)或多個(gè)域的多個(gè)元件終端52的集合，更佳為屬于1個(gè)或多個(gè)域的所有元件終端52的集合。藉此，測試控制部102藉由與某個(gè)終端集合對應(yīng)地輸出動作條件，可對屬于該終端集合中所含有的1個(gè)或多個(gè)域的所有的元件終端52設(shè)定共同的動作條件。另一方面，測試控制部102藉由與某個(gè)元件終端52對應(yīng)地輸出動作條件，可對各元件終端52個(gè)別地設(shè)定動作條件。因此，試驗(yàn)裝置100藉由在屬于相同終端集合的所有元件終端52設(shè)定共同的動作條件后，在各元件終端52設(shè)定個(gè)別的動作條件，可高速地進(jìn)行動作條件的設(shè)定。
DUT選擇部306為依據(jù)測試控制部102的指示，選擇p個(gè)電子元件50(參照圖1)的一部分或全部的寄存器。DUT選擇部306將用于表示所選擇的電子元件50的信號，供給到每元件信息存儲部318。例如，在測試控制部102指定某個(gè)電子元件50并輸出動作條件的情況下，DUT選擇部306輸出用于表示所指定的電子元件50的信號。
每元件信息存儲部318關(guān)于多個(gè)電子元件50的每一個(gè)，將用于表示與該電子元件50連接的裝置終端206的每元件裝置終端信息進(jìn)行存儲。而且，每元件信息存儲部318根據(jù)每元件裝置終端信息，將用于表示與DUT選擇部306所選擇的電子元件50連接的裝置終端206的信號，供給到動作條件設(shè)定部316。
動作條件設(shè)定部316從終端對應(yīng)存儲部304接收基于針映象的信號，并從每元件信息存儲部318接收根據(jù)每元件裝置終端信息的信號。而且，動作條件設(shè)定部316根據(jù)這些信號，選擇測試控制部102所指定的電子元件50中的、與動作條件對應(yīng)的元件終端52所連接的裝置終端206。藉此，動作條件設(shè)定部316根據(jù)針映象及每元件裝置終端信息，選擇該裝置終端206。
而且，動作條件設(shè)定部316將用于表示所選擇的裝置終端206的信號，與通過總線開關(guān)104從測試控制部102所接收的動作條件一起，供給到測試單元204，并在測試單元204中對該裝置終端206設(shè)定動作條件。藉此，動作條件設(shè)定部316對與應(yīng)供給測試信號的元件終端52對應(yīng)選擇的裝置終端206，根據(jù)動作條件，設(shè)定例如時(shí)序。而且，對與輸出信號的元件終端52對應(yīng)選擇的裝置終端206，設(shè)定動作條件作為從該裝置終端206所輸入的輸出信號的期待值。
這里，動作條件設(shè)定部316在所選擇的裝置終端206為與測試控制部102所指定的電子元件50進(jìn)行連接的裝置終端206的情況下，也可對該裝置終端206設(shè)定動作條件。而且，動作條件設(shè)定部316也可根據(jù)組映象，選擇與動作條件所對應(yīng)的終端集合中包含的元件終端52進(jìn)行連接的裝置終端206。如利用本例，可適當(dāng)?shù)剡x擇裝置終端206，并對所選擇的裝置終端206，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定動作條件。
模塊接口202也可根據(jù)例如每元件裝置終端信息，選擇與特定的電子元件50連接的裝置終端206，并使該裝置終端206有效或無效。藉此，模塊接口202也可將例如試驗(yàn)結(jié)果為錯(cuò)誤的電子元件50，從試驗(yàn)裝置100進(jìn)行電氣分離。如利用本例，藉由適當(dāng)?shù)剡x擇與各個(gè)電子元件50連接的元件終端52，可以高自由度進(jìn)行對多個(gè)電子元件50的試驗(yàn)。
另外，這里如使終端對應(yīng)存儲部304設(shè)置在例如測試控制部102內(nèi)，則有時(shí)需要與在試驗(yàn)裝置100上可搭載的最大數(shù)的裝置終端206相對應(yīng)的存儲容量的終端對應(yīng)存儲部304，而使試驗(yàn)裝置100的成本增大。但是，如利用本例，可使用與試驗(yàn)裝置100上所設(shè)置的裝置終端206的數(shù)目對應(yīng)的，適當(dāng)存儲容量的終端對應(yīng)存儲部304。因此，如利用本例，可防止測試裝置100的成本增大到必要以上。藉此，可以適當(dāng)?shù)某杀咎峁┰囼?yàn)裝置100。
圖3所示為每元件信息存儲部318的構(gòu)成的一個(gè)例子。每元件信息存儲部318具有多個(gè)DUT映象寄存器308及多個(gè)OR電路310。在本例中，每元件信息存儲部318具有與數(shù)字模塊106(參照圖1)上所設(shè)置的裝置終端206(參照圖1)的個(gè)數(shù)相等的n個(gè)OR電路310。而且，每元件信息存儲部318具有較電子元件50(參照圖1)的個(gè)數(shù)p多的、m個(gè)DUT映象寄存器308。每元件信息存儲部318從DUT選擇部306，接收作為用于表示由測試控制部102(參照圖1)所指定的電子元件50的信息的，各個(gè)比特與各個(gè)DUT映象寄存器308相對應(yīng)的m比特的信號。
m個(gè)DUT映象寄存器308中的p個(gè)，與p個(gè)電子元件50建立對應(yīng)。DUT映象寄存器308在與某個(gè)電子元件50建立對應(yīng)的情況下，將用于表示與該電子元件50連接的裝置終端206的信息進(jìn)行存儲。DUT映象寄存器308與n個(gè)裝置終端206對應(yīng)，將各個(gè)比特與各個(gè)裝置終端206對應(yīng)的n比特的數(shù)據(jù)，作為每元件裝置終端信息進(jìn)行存儲。
DUT映象寄存器308對例如用于表示與對應(yīng)的電子元件50連接的裝置終端206的比特，存儲值1。藉此，各個(gè)DUT映象寄存器308將與各個(gè)電子元件50對應(yīng)的每元件裝置終端信息進(jìn)行存儲。而且，與測試控制部102所指定的電子元件50對應(yīng)的DUT映象寄存器308，依據(jù)從DUT選擇部306所接收的信號，將存儲的n比特的每元件裝置終端信息，供給到n個(gè)OR電路310。
n個(gè)OR電路310分別與n個(gè)裝置終端206的每一個(gè)對應(yīng)設(shè)置，并從各個(gè)DUT映象寄存器308接收每元件裝置終端信息中的與該裝置終端206對應(yīng)的比特。而且，各個(gè)OR電路310將從各個(gè)DUT映象寄存器308所接收的比特的邏輯和，供給到動作條件設(shè)定部316。在其它的例子中，每元件信息存儲部318也可取代DUT映象寄存器308，而具有用于存儲每元件裝置終端信息的存儲器。
圖4所示為動作條件設(shè)定部316的構(gòu)成的一個(gè)例子。動作條件設(shè)定部316具有數(shù)據(jù)寄存器314、與n個(gè)裝置終端206(參照圖1)對應(yīng)設(shè)置的n個(gè)AND電路312。數(shù)據(jù)寄存器314為例如觸發(fā)電路，將通過總線開關(guān)104從測試控制部102(參照圖1)接收的動作條件一端閂鎖而在設(shè)定的時(shí)序發(fā)送到測試單元204。
n個(gè)AND電路312將每比特對從終端對應(yīng)存儲部304及每元件信息存儲部318分別接收的信號的邏輯積，輸出到測試單元204。藉此，動作條件設(shè)定部316選擇測試控制部102所指定的電子元件50(參照圖1)中的、與動作條件相對應(yīng)的元件終端52(參照圖1)進(jìn)行連接的裝置終端206，并將用于表示所選擇的裝置終端206的信號，輸出到測試單元204。如利用本例，可適當(dāng)?shù)剡x擇裝置終端206。
圖5所示為測試單元204的構(gòu)成的一個(gè)例子。測試單元204具有與n個(gè)裝置終端206(參照圖1)對應(yīng)設(shè)置的n個(gè)針數(shù)據(jù)表402、多個(gè)區(qū)段404。
針數(shù)據(jù)表402為設(shè)定對應(yīng)的裝置終端206的動作條件的寄存器。各個(gè)針數(shù)據(jù)表402在根據(jù)從動作條件設(shè)定部316所接收的n比特的信號，選擇對應(yīng)的裝置終端206的情況下，將從數(shù)據(jù)寄存器314接收的信號所示的數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲。藉此，針數(shù)據(jù)表402設(shè)定對對應(yīng)的裝置終端206的動作條件。如利用本例，可對各個(gè)裝置終端206適當(dāng)?shù)卦O(shè)定動作條件。
而且，在本例中，針數(shù)據(jù)表402依據(jù)從矩陣開關(guān)部210所接收的錯(cuò)誤信號，使對應(yīng)的裝置終端206有效或無效。例如，在對某個(gè)電子元件50的試驗(yàn)為錯(cuò)誤的情況下，針數(shù)據(jù)表402依據(jù)矩陣開關(guān)部210的指示，使與該電子元件50連接的裝置終端206無效。
區(qū)段404與預(yù)先確定的數(shù)目的裝置終端206對應(yīng)地分別設(shè)置，并對對應(yīng)的裝置終端206的信號的輸出入進(jìn)行控制。在本實(shí)施形態(tài)中，區(qū)段404對1個(gè)或2個(gè)以上的裝置終端206的信號的輸出入進(jìn)行控制，其中裝置終端206與屬于相同電子元件50的相同域的1個(gè)或2個(gè)以上的元件終端52進(jìn)行連接。區(qū)段404包括例如與對應(yīng)的裝置終端206電氣連接的驅(qū)動器及比較器，且在該裝置終端206使信號對電子元件50(參照圖1)進(jìn)行輸出入。
在本例中，區(qū)段404與矩陣開關(guān)部210進(jìn)行電氣連接，在關(guān)于所連接的1個(gè)或2個(gè)以上的裝置終端206的至少1個(gè)，從該裝置終端206所輸入的電子元件50的輸出信號與期待值不一致的情況下，將錯(cuò)誤信號向矩陣模塊108進(jìn)行輸出。矩陣開關(guān)部210依據(jù)例如該輸出信號，對另外的數(shù)字模塊106(參照圖1)上所設(shè)置的測試單元204進(jìn)行控制。
在以上的說明中，一個(gè)區(qū)段404所對應(yīng)的裝置終端206，與屬于相同電子元件50的相同域的元件終端52電氣連接。藉此，區(qū)段404確定將裝置終端206在電子元件50上進(jìn)行連接的情況下的分配中的最小分割單位。在這種情況下，藉由以區(qū)段404的單位管理裝置終端206的分配，可減少管理所必需的資源。
另外，區(qū)段404也可例如與1個(gè)個(gè)的裝置終端206對應(yīng)設(shè)置。在這種情況下，可將各個(gè)裝置終端206以高自由度對多個(gè)電子元件50進(jìn)行分配。
圖6所示為終端對應(yīng)存儲部304所存儲的針映象的一個(gè)例子。在本例中，各個(gè)數(shù)字模塊106具有32個(gè)(n＝32)裝置終端206，且各個(gè)電子元件50具有512個(gè)元件終端52。
終端對應(yīng)存儲部304對用于表示各個(gè)元件終端52的元件終端號碼1～512，將用于表示與該元件終端52連接的裝置終端206的裝置終端號碼，藉由在與該裝置終端號碼對應(yīng)的域中存儲1而表示。例如，終端對應(yīng)存儲部304對元件終端號碼為1的元件終端52，存儲用于指定裝置終端號碼為15及30的2個(gè)裝置終端206的針映象。如利用本例，可適當(dāng)?shù)卮鎯υK端52和裝置終端206的對應(yīng)。
終端對應(yīng)存儲部304在例如試驗(yàn)裝置100的起動時(shí)，從測試控制部102(參照圖1)接收針映象并進(jìn)行存儲。測試控制部102根據(jù)例如用于表示各個(gè)電子元件50的元件終端52和裝置終端206的對應(yīng)的針分配數(shù)據(jù)，制作針映象圖。測試控制部102藉由將針分配數(shù)據(jù)中的、與對各個(gè)電子元件50的相同的元件終端號碼相對應(yīng)的值，關(guān)于所有的電子元件50求邏輯和，而制作針映象。
圖7所示為終端對應(yīng)存儲部304所存儲的針組映象的一個(gè)例子。在本例中，測試控制部102將動作條件與4096組的終端集合的某一個(gè)建立對應(yīng)并輸出。
終端對應(yīng)存儲部304對用于表示各個(gè)元件終端的針組號碼1～4096，將用于表示與該終端集合所包含的元件終端52進(jìn)行連接的裝置終端206的裝置終端號碼，藉由在與該裝置終端號碼對應(yīng)的域中存儲1而表示。例如，終端對應(yīng)存儲部304對針組號碼為1的終端集合，存儲用于指定裝置終端號碼為1、4、6、10～12、15～19、21、29～32的16個(gè)裝置終端206的針組映象。如利用本例，對與終端集合對應(yīng)的多個(gè)裝置終端206，可效率良好地廣播例如共同的時(shí)序或信號的電平等動作條件并進(jìn)行設(shè)定。
圖8所示為DUT映象寄存器308存儲的每元件裝置終端信息的一個(gè)例子。在本例中，試驗(yàn)裝置100將8個(gè)(p＝8)電子元件50(參照圖1)并列進(jìn)行試驗(yàn)。而且，在含有該DUT映象寄存器308的數(shù)字模塊106中的、裝置終端號碼1～16的裝置終端206，與第1號的電子元件50(DUT1)進(jìn)行連接。裝置終端號碼17～32的裝置終端206，與第2號的電子元件50(DUT2)進(jìn)行連接。
與第1～8號的電子元件50(DUT1～8)分別對應(yīng)的DUT映象寄存器308，將用于表示與對應(yīng)的電子元件50連接的裝置終端206的每元件裝置終端信息，藉由在表示該裝置終端206的裝置終端號碼的域中存儲值1，而分別進(jìn)行表示。例如，與第1號的電子元件50對應(yīng)的每元件信息存儲部508，在裝置終端號碼為1～16的域中，存儲值1。如利用本例，可在各個(gè)數(shù)字模塊106中，適當(dāng)?shù)剡x擇與各個(gè)電子元件50進(jìn)行連接的裝置終端206。
圖9所示為矩陣設(shè)定部208的構(gòu)成的一個(gè)例子。矩陣設(shè)定部208包括域指定部502、區(qū)段信息存儲部504、DUT選擇部506、每元件信息存儲部508及區(qū)段選擇部510。
如前所述，本例的試驗(yàn)裝置100(參照圖1)具有利用各不相同的多種類的頻率(測試速率)的信號，對包含例如多個(gè)輸出入接口的電子元件50(參照圖1)進(jìn)行試驗(yàn)的機(jī)能。試驗(yàn)裝置100對每個(gè)電子元件50，預(yù)先分別設(shè)定含有1個(gè)或多個(gè)區(qū)域404(參照圖5)的多個(gè)域，并對各個(gè)域設(shè)定基于各不相同的頻率的時(shí)序。在各個(gè)域中所包含的多個(gè)區(qū)段404，也可設(shè)置在各不相同的數(shù)字模塊106(參照圖1)上。而且，測試控制部102對矩陣模塊108指定用于進(jìn)行試驗(yàn)的電子元件50及域。
域指定部502為與元件終端選擇部302(參照圖2)具有相同或同樣的機(jī)能的地址譯碼器。域指定部502將多個(gè)域的每一個(gè)與應(yīng)輸出的地址的對應(yīng)預(yù)先進(jìn)行存儲。而且，域指定部502通過總線開關(guān)104從測試控制部102(參照圖1)接收用于表示某個(gè)域的信息，并將與其對應(yīng)的地址供給到區(qū)段信息存儲部504。
區(qū)段信息存儲部504存儲用于表示各個(gè)域、與屬于各個(gè)域的元件終端52連接的區(qū)段404的對應(yīng)的區(qū)段對應(yīng)信息。區(qū)段信息存儲部504依據(jù)從域指定部502所接收的地址，將用于表示與該地址對應(yīng)的域中所包含的區(qū)段404的區(qū)段對應(yīng)信息，供給到區(qū)段選擇部510。該區(qū)段對應(yīng)信息為例如每個(gè)區(qū)段1比特所構(gòu)成的比特序列，使對應(yīng)被指定的域中所包含的區(qū)段404的比特取“1”的值，對應(yīng)未被包含的區(qū)域404的比特取“0”的值。
DUT選擇部506與DUT選擇部306具有相同或同樣的機(jī)能，將用于表示測試控制部102所指定的電子元件50的信號，供給到每元件信息存儲部508。每元件信息存儲部509除了取代裝置終端206(圖1)而將表示區(qū)段404的信息進(jìn)行存儲以外，與每元件信息存儲部318(參照圖3)具有相同或同樣的機(jī)能。每元件信息存儲部508依據(jù)從DUT選擇部506所接收的信號，將用于表示與該電子元件50連接的裝置終端206所對應(yīng)的區(qū)段404的每元件區(qū)段信息，供給到區(qū)段選擇部510。該每元件區(qū)段信息為例如每個(gè)區(qū)段1比特所構(gòu)成的比特序列，使對應(yīng)被指定的電子元件50所連接的區(qū)段404的比特取“1”的值，對應(yīng)未被包含的區(qū)域404的比特取“0”的值。
區(qū)段選擇部510根據(jù)與測試控制部102所指定的域?qū)?yīng)地在區(qū)段信息存儲部504中進(jìn)行存儲的區(qū)段對應(yīng)信息，和與測試控制部102所指定的電子元件50對應(yīng)地在每元件信息存儲部508中進(jìn)行存儲的每元件區(qū)段信息，選擇與所指定的電子元件50及域?qū)?yīng)的區(qū)段404。而且，區(qū)段選擇部510將用于表示所選擇的區(qū)段404的轉(zhuǎn)換控制信號，供給到矩陣開關(guān)部210。區(qū)段選擇部510也可輸出例如從區(qū)段信息存儲部504所接收的區(qū)段對應(yīng)信息及從每元件信息存儲部508所接收的每元件區(qū)段信息的，每比特的邏輯積。矩陣開關(guān)部210根據(jù)轉(zhuǎn)換控制信號，設(shè)定例如將多個(gè)測試單元204(參照圖1)彼此進(jìn)行連接的開關(guān)電路。如利用本例，可適當(dāng)?shù)乜刂凭仃囬_關(guān)部210。
圖10所示為矩陣開關(guān)部210的構(gòu)成的一個(gè)例子。在本例中，測試控制部102(參照圖1)設(shè)定j個(gè)域。矩陣開關(guān)部210具有分別與j個(gè)域?qū)?yīng)設(shè)置的，j個(gè)每域集約部602及每域分配部604、區(qū)段指定部606。
而且，在本例中，試驗(yàn)裝置100(參照圖1)具有i個(gè)區(qū)段404(參照圖5)。矩陣開關(guān)部210從i個(gè)區(qū)段404分別接收1比特的錯(cuò)誤信號。
這里，各個(gè)區(qū)段404的裝置終端206(參照圖1)，與某個(gè)電子元件50進(jìn)行電氣連接。而且，在試驗(yàn)中當(dāng)該電子元件50產(chǎn)生錯(cuò)誤時(shí)，該區(qū)段404將用于表示該錯(cuò)誤的錯(cuò)誤信號，供給到矩陣開關(guān)部210。
各個(gè)每域集約部602根據(jù)關(guān)于與屬于該域的元件終端52對應(yīng)的各個(gè)裝置終端206的錯(cuò)誤信號，生成用于表示關(guān)于屬于該域的某個(gè)裝置終端206產(chǎn)生輸出信號和期待值的不一致的域錯(cuò)誤信號。關(guān)于本實(shí)施形態(tài)的每域集約部602，根據(jù)從屬于該域的元件終端52所連接的各個(gè)區(qū)段404輸入的錯(cuò)誤信號，生成域錯(cuò)誤信號。
更具體地說，每域集約部602從與i個(gè)區(qū)段404對應(yīng)的i比特的錯(cuò)誤信號，選擇與對應(yīng)的域中所包含的區(qū)域404對應(yīng)的錯(cuò)誤信號。而且，每域集約部602在所選擇的錯(cuò)誤信號的某一個(gè)為表示錯(cuò)誤的信號的情況下，將用于表示在該域內(nèi)產(chǎn)生錯(cuò)誤的情況的1比特的域錯(cuò)誤信號，供給到對應(yīng)的每域分配部604。這樣，每域集約部602將從對應(yīng)的區(qū)段404所接收的錯(cuò)誤信號進(jìn)行集約。
每域分配部604將與該域?qū)?yīng)的每域集約部602所生成的域錯(cuò)誤信號，分配到與屬于該域的元件終端52連接的數(shù)字模塊106的每一個(gè)。關(guān)于本實(shí)施形態(tài)的每域分配部604將該域錯(cuò)誤信號，分配到與屬于該域的裝置終端206連接的區(qū)段404的每一個(gè)。
更具體地說，每域分配部604在關(guān)于某域從每域集約部602接收用于表示錯(cuò)誤的域錯(cuò)誤信號的情況下，輸出使用于表示該域所包含的區(qū)段404的比特值為1的域錯(cuò)誤信號的i比特的比特序列。而且，該域錯(cuò)誤信號的比特序列的各比特，分別與i個(gè)的區(qū)段404對應(yīng)。藉此，在對應(yīng)的域中不包含的某個(gè)區(qū)段404輸出錯(cuò)誤信號的情況下，每域分配部604對對應(yīng)的域中所包含的所有的區(qū)段404，輸出值1的域錯(cuò)誤信號。藉此，每域分配部604可對對應(yīng)的區(qū)段404分配錯(cuò)誤信號。
區(qū)段指定部606輸出對j個(gè)每域分配部604分別輸出的i比特的信號的每比特的邏輯和。每域分配部604將表示該邏輯和的i比特的信號中的各個(gè)比特，供給到i個(gè)區(qū)段404的每一個(gè)。
藉此，在某個(gè)區(qū)段404輸出錯(cuò)誤信號的情況下，矩陣開關(guān)部210可對與該區(qū)段404屬于相同的域的所有的區(qū)段404，通知該錯(cuò)誤。接收了該通知的區(qū)段404也可進(jìn)行例如將對應(yīng)的電子元件50從裝置終端206進(jìn)行電氣分離等，關(guān)于電子元件50的該域的錯(cuò)誤處理。如利用本例，可適當(dāng)?shù)毓芾矶鄠€(gè)域。
在以上的說明中，每域集約部602及每域分配部604的每一個(gè)，根據(jù)從矩陣設(shè)定部208所接收的轉(zhuǎn)換控制信號，依據(jù)對應(yīng)的域，設(shè)定例如開關(guān)電路。藉此，每域集約部602及每域分配部604，可設(shè)定各個(gè)每域集約部602及每域分配部604，以在與測試控制部102所指定的電子元件50及域?qū)?yīng)的區(qū)段404間，能夠適當(dāng)?shù)厥瞻l(fā)錯(cuò)誤信號。
上面利用實(shí)施形態(tài)對本發(fā)明進(jìn)行了說明，但本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限定于上述實(shí)施形態(tài)所記述的范圍。業(yè)內(nèi)人士應(yīng)知道對上述實(shí)施形態(tài)可加以各種各樣的變更或改良。由權(quán)利要求范圍的記述可知，加以這種變更或改良的形態(tài)也可包含于本發(fā)明的技術(shù)范圍中。
如利用本發(fā)明，可以適當(dāng)?shù)某杀咎峁┰囼?yàn)裝置。
權(quán)利要求
1.一種試驗(yàn)裝置，為一種對具有用于接收信號的多個(gè)元件終端的電子元件進(jìn)行試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置，包括將表示應(yīng)賦予前述元件終端的前述信號的動作的動作條件，與該元件終端建立對應(yīng)并輸出的動作條件輸出部、將前述電子元件的測試所使用的測試信號，根據(jù)前述動作條件所示的動作而賦予前述電子元件的測試模塊；前述測試模塊包括分別與某個(gè)前述元件終端電氣連接并將前述測試信號分別供給到該元件終端的多個(gè)裝置終端、用于存儲表示各個(gè)前述元件終端和與該元件終端連接的前述裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息的終端對應(yīng)存儲部、將與對應(yīng)前述動作條件的前述元件終端連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息進(jìn)行選擇，并對選擇了的前述裝置終端設(shè)定前述動作條件的動作條件設(shè)定部。
2.如權(quán)利要求1所述的試驗(yàn)裝置，其特征在于前述試驗(yàn)裝置對多個(gè)前述電子元件進(jìn)行試驗(yàn)；前述動作條件輸出部指定應(yīng)與形成設(shè)定前述動作條件的對象的前述裝置終端進(jìn)行連接的前述電子元件；前述測試模塊還具有對前述多個(gè)電子元件的每一個(gè)，將用于表示與該電子元件連接的前述裝置終端的每元件裝置終端信息進(jìn)行存儲的每元件信息存儲部；前述動作條件設(shè)定部將前述動作條件輸出部所指定的前述電子元件中的，前述動作條件建立對應(yīng)的前述元件終端連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息及前述每元件裝置終端信息進(jìn)行選擇，并對所選擇的前述裝置終端，設(shè)定前述動作條件。
3.如權(quán)利要求2所述的試驗(yàn)裝置，其特征在于前述動作條件輸出部將前述動作條件，與多個(gè)前述元件終端的集合即終端集合建立對應(yīng)并輸出；前述終端對應(yīng)存儲部將用于表示前述終端集合、與該終端集合所包含的前述元件終端進(jìn)行連接的前述裝置終端的對應(yīng)的信息，作為前述終端對應(yīng)信息并進(jìn)行存儲；前述動作條件設(shè)定部根據(jù)前述終端對應(yīng)信息，選擇與對應(yīng)于該動作條件的前述終端集合中所包含的前述元件終端進(jìn)行連接的前述裝置終端，所選擇的前述裝置終端為與前述動作條件輸出部指定的前述電子元件進(jìn)行連接的前述裝置終端的情況下，對該裝置終端設(shè)定前述動作條件。
4.一種試驗(yàn)裝置，為一種對具有用于輸出信號的多個(gè)元件終端的電子元件進(jìn)行試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置，包括將表示前述元件終端輸出的前述信號的期待值的動作條件，與該元件終端對應(yīng)地進(jìn)行輸出的動作條件輸出部、將前述電子元件的輸出信號與前述動作條件表示的期待值進(jìn)行比較的測試模塊；前述測試模塊包括分別與某個(gè)前述元件終端電氣連接并分別輸入該元件終端所輸出的輸出信號的多個(gè)裝置終端、用于存儲表示各個(gè)前述元件終端和與該元件終端連接的前述裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息的終端對應(yīng)存儲部、將與對應(yīng)前述動作條件的前述元件終端連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息進(jìn)行選擇，并設(shè)定前述動作條件，作為從選擇的前述裝置終端所輸入的前述輸出信號的期待值的動作條件設(shè)定部。
5.如權(quán)利要求4所述的試驗(yàn)裝置，其特征在于前述電子元件具有的前述多個(gè)元件終端分別屬于多個(gè)域的某一個(gè)；該試驗(yàn)裝置包括前述動作條件輸出部、多個(gè)前述測試模塊、將前述多個(gè)測試模塊進(jìn)行連接的矩陣模塊；前述多個(gè)測試模塊的每一個(gè)還具有將用于表示從該測試模塊具有的前述裝置終端所輸入的前述輸出信號與關(guān)于該裝置終端的前述期待值的不一致的錯(cuò)誤信號，向前述矩陣模塊進(jìn)行輸出的測試單元；前述矩陣模塊具有多個(gè)每域集約部，該每域集約部與前述多個(gè)域分別對應(yīng)設(shè)置，并根據(jù)關(guān)于與屬于該域的前述元件終端對應(yīng)的各個(gè)前述裝置終端的前述錯(cuò)誤信號，生成用于表示關(guān)于屬于該域的至少1個(gè)前述裝置終端的前述輸出信號和前述期待值的不一致的情況的域錯(cuò)誤信號，多個(gè)每域分配部，該每域分配部與前述多個(gè)域分別對應(yīng)設(shè)置，并將由與該域?qū)?yīng)的前述每域集約部所生成的前述域錯(cuò)誤信號，對與屬于該域的前述元件終端進(jìn)行連接的前述測試模塊的每一個(gè)進(jìn)行分配。
6.如權(quán)利要求5所述的試驗(yàn)裝置，其特征在于各個(gè)前述測試模塊在接收了前述域錯(cuò)誤信號的情況下，進(jìn)行屬于該域的前述電子元件的錯(cuò)誤處理。
7.如權(quán)利要求5所述的試驗(yàn)裝置，其特征在于各個(gè)前述測試模塊所具有的前述測試單元，包括多個(gè)在關(guān)于與屬于相同域的2個(gè)以上的前述元件終端進(jìn)行連接的2個(gè)以上的前述裝置終端的某一個(gè)，前述輸出信號和前述期待值不一致的情況下，將前述錯(cuò)誤信號向前述矩陣模塊進(jìn)行輸出的區(qū)段(segment)；前述每域集約部根據(jù)從與屬于該域的前述元件終端進(jìn)行連接的各個(gè)前述區(qū)段所輸入的前述錯(cuò)誤信號，生成前述域錯(cuò)誤信號；前述每域分配部，將由與該域?qū)?yīng)的前述每域集約部所生成的前述域錯(cuò)誤信號，對與屬于該域的前述元件終端進(jìn)行連接的前述區(qū)段分別進(jìn)行分配。
8.如權(quán)利要求7所述的試驗(yàn)裝置，其特征在于前述試驗(yàn)裝置對多個(gè)前述電子元件進(jìn)行試驗(yàn)；前述動作條件輸出部指定進(jìn)行試驗(yàn)的前述電子元件及前述域；前述矩陣模塊包括將用于表示前述域和與屬于該域的前述元件終端進(jìn)行連接的前述區(qū)段的對應(yīng)的區(qū)段對應(yīng)信息進(jìn)行存儲的區(qū)段信息存儲部、關(guān)于多個(gè)前述電子元件的每一個(gè)，將用于表示與該電子元件連接的前述區(qū)段的每元件區(qū)段信息的每元件信息存儲部、根據(jù)與前述動作條件輸出部所指定的前述域?qū)?yīng)并在前述區(qū)段信息存儲部中進(jìn)行存儲的前述區(qū)段對應(yīng)信息，和與前述動作條件輸出部所指定的前述電子元件對應(yīng)并在前述每元件信息存儲部中進(jìn)行存儲的前述每元件區(qū)段信息，選擇與所指定的前述電子元件及前述域?qū)?yīng)的前述區(qū)段的區(qū)段選擇部；前述每域集約部根據(jù)從前述區(qū)段選擇部選擇的前述區(qū)段所輸入的前述錯(cuò)誤信號，生成前述域錯(cuò)誤信號；前述每域分配部將前述域錯(cuò)誤信號，對利用前述區(qū)段選擇部所選擇的前述區(qū)段分別進(jìn)行分配。
9.一種試驗(yàn)裝置，為一種對分別具有用于接收信號的多個(gè)元件終端的多個(gè)電子元件進(jìn)行試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置，包括將對前述元件終端賦予前述電子元件的試驗(yàn)中所使用的試驗(yàn)信號的情況下的，用于表示前述試驗(yàn)信號的動作的動作條件，與該元件終端建立對應(yīng)，且指定應(yīng)與形成將前述動作條件進(jìn)行設(shè)定的對象的前述裝置終端進(jìn)行連接的前述電子元件而進(jìn)行輸出的動作條件輸出部、分別與某個(gè)前述元件終端進(jìn)行電氣連接，并對該元件終端分別供給前述測試信號的多個(gè)裝置終端、將用于表示各個(gè)前述元件終端和與該元件終端連接的前述裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息進(jìn)行存儲的終端對應(yīng)存儲部、關(guān)于前述多個(gè)電子元件的每一個(gè)，將表示與該電子元件連接的前述裝置終端的每元件裝置終端信息進(jìn)行存儲的每元件信息存儲部、將前述動作條件輸出部所指定的前述電子元件的，與前述動作條件相對應(yīng)的前述元件終端進(jìn)行連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息及前述每元件裝置終端信息進(jìn)行選擇，并對所選擇的前述裝置終端設(shè)定前述動作條件的動作條件設(shè)定部。
10.一種試驗(yàn)裝置，為一種對分別具有用于輸出信號的多個(gè)元件終端的多個(gè)電子元件進(jìn)行試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置，包括將表示前述電子元件輸出的輸出信號的期待值的動作條件，與該元件終端建立對應(yīng)，且指定應(yīng)與形成將前述動作條件進(jìn)行設(shè)定的對象的前述裝置終端連接的前述電子元件而進(jìn)行輸出的動作條件輸出部、分別與某個(gè)前述元件終端進(jìn)行電氣連接，并分別輸入該元件終端所輸出的前述輸出信號的多個(gè)裝置終端、將用于表示各個(gè)前述元件終端和與該元件終端連接的前述裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息進(jìn)行存儲的終端對應(yīng)存儲部、關(guān)于前述多個(gè)電子元件的每一個(gè)，將表示與該電子元件連接的前述裝置終端的每元件裝置終端信息進(jìn)行存儲的每元件信息存儲部、將前述動作條件輸出部所指定的前述電子元件的，與前述動作條件相對應(yīng)的前述元件終端進(jìn)行連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息及前述每元件裝置終端信息進(jìn)行選擇，并對所選擇的前述裝置終端設(shè)定前述動作條件的動作條件設(shè)定部。
11.一種測試模塊，為一種對具有用于接收信號的多個(gè)元件終端的電子元件，賦予該電子元件的試驗(yàn)所使用的試驗(yàn)信號的測試模塊，包括分別與某個(gè)前述元件終端電氣連接，并對該元件終端分別賦予前述試驗(yàn)信號的多個(gè)裝置終端、將用于表示各個(gè)前述元件終端和與該元件終端連接的前述裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息進(jìn)行存儲的終端對應(yīng)存儲部、將表示賦予前述電子元件的前述試驗(yàn)信號的動作的動作條件與前述元件終端對應(yīng)地接收，并將與該動作條件對應(yīng)的前述元件終端進(jìn)行連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息進(jìn)行選擇，且對所選擇的前述裝置終端設(shè)定前述動作條件的動作條件設(shè)定部。
12.一種測試模塊，為一種將具有用于輸出信號的多個(gè)元件終端的電子元件所輸出的輸出信號與期待值進(jìn)行比較的測試模塊，包括分別與某個(gè)前述元件終端電氣連接，并分別輸入該元件終端輸出的前述輸出信號的多個(gè)裝置終端、將用于表示各個(gè)前述元件終端和與該元件終端連接的前述裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息進(jìn)行存儲的終端對應(yīng)存儲部、將表示前述電子元件輸出的前述輸出信號的期待值的動作條件與前述元件終端對應(yīng)地接收，并將與該動作條件對應(yīng)的前述元件終端進(jìn)行連接的前述裝置終端，根據(jù)前述終端對應(yīng)信息進(jìn)行選擇，且設(shè)定前述動作條件作為從選擇的選擇前述裝置終端所輸入的前述輸出信號的期待值的動作條件設(shè)定部。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種試驗(yàn)裝置，為一種對具有用于接收信號的多個(gè)元件終端的電子元件進(jìn)行試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置，包括將表示應(yīng)賦予元件終端的信號的動作的動作條件，與該元件終端建立對應(yīng)并輸出的動作條件輸出部、將電子元件的測試所使用的測試信號，根據(jù)動作條件所示的動作而賦予電子元件的測試模塊；測試模塊包括分別與某個(gè)元件終端電氣連接并將測試信號分別供給到該元件終端的多個(gè)裝置終端、用于存儲表示各個(gè)元件終端和與該元件終端連接的裝置終端的對應(yīng)的終端對應(yīng)信息的終端對應(yīng)存儲部、將與對應(yīng)動作條件的元件終端連接的裝置終端，根據(jù)終端對應(yīng)信息進(jìn)行選擇，并對選擇了的裝置終端設(shè)定動作條件的動作條件設(shè)定部。
文檔編號G01R31/319GK1791803SQ20048001388
公開日2006年6月21日 申請日期2004年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月21日
發(fā)明者鷲津信栄 申請人:愛德萬測試株式會社