專利名稱：：利用黃金抽樣的測試器和測試板的校準(zhǔn)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及電子設(shè)備制造。更特別地，本發(fā)明涉及用于驗(yàn)證電子設(shè)備的測試設(shè)備的校準(zhǔn)。電子工業(yè)繼續(xù)依賴于半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步，以便在更緊湊區(qū)域中實(shí)現(xiàn)更高功能器件。對于許多應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)更高功能器件需要將大量的電子器件集成在單個硅片中。隨著硅片的每個給定區(qū)域的電子器件數(shù)目的增加，制造過程變得更加困難。已經(jīng)制造了在許多的專業(yè)方面具有各種各樣應(yīng)用的多種半導(dǎo)體器件。這樣的基于硅的半導(dǎo)體器件通常包括金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)晶體管，諸如p溝道MOS(PMOS)、N溝道MOS(NMOS)和互補(bǔ)MOS(CMOS)晶體管、雙極型晶體管、BiCMOS晶體管。這些半導(dǎo)體器件中的每一個通常包括半導(dǎo)體襯底，在該襯底上形成許多有源器件。給定的有源器件的特定結(jié)構(gòu)可以在器件類型之間變化。例如，在MOS晶體管中，有源器件通常包括源極和漏極區(qū)以及調(diào)制在源極和漏極區(qū)之間電流的柵電極。在典型的集成電路(IC)器件中，晶體管和其它的部件被組裝在一起以實(shí)現(xiàn)所需要的功能。這樣的所需要的功能包括(但不局限于)微處理器、微控制器、數(shù)字信號處理(DSP)、模擬放大器、射頻(RF)器件等等。在這樣的器件可被用于其選擇的應(yīng)用之前，必須驗(yàn)證功能。自動測試設(shè)備(ATE)通常被用于有效地評估電子器件的性能，以確定這些器件是否滿足預(yù)定的技術(shù)要求，例如定時技術(shù)要求。對于每個器件，ATE可以測試該器件，以獲得在輸入引腳和輸出之間延遲的測量，其代表該器件在操作中執(zhí)行有多快。在一個示例處理過程中，在晶片(wafer)制造中經(jīng)歷一系列的制造步驟之后，IC器件可以在晶片探測器上進(jìn)行測試。這些探測器(頭)或者其它適宜的觸點(diǎn)經(jīng)由硬件接口將模具(die)連接到自動測試設(shè)備(ATE)。破壞的模具利用墨水點(diǎn)來標(biāo)記。隨后，晶片被間隔鋸開，并分析出好的模具，以便封裝。這些封裝的模具然后利用ATE來測試。滿足要求的已封裝的模具被收集，并被發(fā)送給其最終的終端使用。在IC器件的測試中，ATE可以經(jīng)歷校準(zhǔn)程序。通常的程序是對于ATE設(shè)備周期性地例如每周進(jìn)行校準(zhǔn)。用戶建立和調(diào)整儀器，同時測量特別適于這個目的的校準(zhǔn)板(通常由ATE制造商提供)。該校準(zhǔn)程序通常被提供有ATE。該校準(zhǔn)可以包括(但是不局限于)經(jīng)由標(biāo)準(zhǔn)長度延遲線在測試器硬件內(nèi)的定時延遲、經(jīng)由精密阻抗負(fù)載的電壓和電流測量、電壓和電流源測量、繼電器的功能測試等等。定期進(jìn)行校準(zhǔn)，以便將測試設(shè)備可能要求的測量中的漂移和其他維護(hù)通知用戶。Ahmed等人的美國專利5256964涉及用于驗(yàn)證測試系統(tǒng)的精確度的設(shè)備和方法。更加具體地，在優(yōu)選實(shí)施例中，這個發(fā)明涉及測試系統(tǒng)的估計，涉及測試器校準(zhǔn)過程的增強(qiáng)，并且涉及測試系統(tǒng)之間的跟蹤。Gregory，Jr.等人的美國專利5262716通常涉及(電路)板測試器，并且更具體涉及改進(jìn)的測試器校準(zhǔn)技術(shù)。Becker等人的美國專利5929628通常涉及自動測試設(shè)備，并且尤其涉及具有幅度校準(zhǔn)特性的自動測試設(shè)備，用于精確地測量由進(jìn)行測試的電子器件產(chǎn)生的信號。Hitchcock的美國專利6032107涉及校準(zhǔn)測試設(shè)備。本發(fā)明通常涉及使用具有電標(biāo)識的基準(zhǔn)電子器件來校準(zhǔn)測試設(shè)備的至少一個通道。Nayler等人的美國專利6480013B1涉及所謂的RF集成電路的電測試，其中所謂的RF集成電路包括被設(shè)計為在射頻(RF)域中接收或者傳送AC信號的輸入和輸出(端)。該發(fā)明尤其涉及在晶片被切為各個組件之前出現(xiàn)在硅片上的RF集成電路的電測試。這個參考文獻(xiàn)和那些以前提到的文獻(xiàn)全部結(jié)合在此作為參考。按照本發(fā)明的一個實(shí)施例，在被用來測量放大器的輸入和輸出特性的測試設(shè)備中存在用于確定測試程序參數(shù)的方法。該方法包括計算從測試設(shè)備電源到放大器的輸入端的輸入損耗，并且定義輸入損耗校正因子。計算從放大器輸出到測試設(shè)備的功率計的輸出損耗，并且定義輸出損耗校正因子。使用輸入損耗校正因子，用戶可以確定設(shè)置在測試設(shè)備上的實(shí)際的輸入功率電平。使用輸出損耗校正因子，用戶可以確定將被測量的實(shí)際的輸出電平。這個實(shí)施例的特性是RF測試被作為輸入損耗校正因子和輸出損耗校正因子的函數(shù)來校準(zhǔn)。RF測試包括至少以下之一輸出功率、增益、效率、檢測器誤差、線性度和噪聲系數(shù)。按照本發(fā)明的另一個實(shí)施例，存在一種用于將校準(zhǔn)因子插入ATE程序中的方法。該方法包括從至少一個黃金抽樣中獲得參數(shù)，其中這些參數(shù)是lab(實(shí)驗(yàn)室)增益、lab(實(shí)驗(yàn)室)輸入功率和lab(實(shí)驗(yàn)室)輸出功率。來自黃金抽樣的這些參數(shù)被編程進(jìn)ATE測試程序中。在ATE上的測量結(jié)果是從黃金抽樣中獲得的，并且被分類在一個查找表中。對于至少一個小的輸入信號值，計算在小的輸入信號上未校正的增益。確定來自第一輸入損耗和第一輸出損耗的第一總和的第一增益變化。定義第一初始輸出損耗。從第一增益變化和第一初始輸出損耗的差別中計算初始輸入損耗。ATE功率電平被設(shè)置為輸入功率lab和初始輸入損耗之和。在ATE上的輸出功率被測量，該輸出功率對應(yīng)于輸入功率。計算校正的輸出功率，該校正的輸出功率是在ATE上的輸出功率和初始輸出損耗之總和。這個實(shí)施例的特點(diǎn)進(jìn)一步包括確定在校正的輸出功率和lab(實(shí)驗(yàn)室)輸出功率之間的相關(guān)度。該相關(guān)度確定是否將輸入功率和輸出功率的校正值插入ATE測試程序中或限定另一個初始輸出損耗，并且重復(fù)處理。按照本發(fā)明的又一個實(shí)施例，在放大器的輸入和輸出特性的測量中使用的機(jī)器可讀媒體包括多個計算機(jī)指令。這些計算機(jī)指令包括計算從測試設(shè)備電源到放大器的輸入端的輸入損耗，定義輸入損耗校正因子，計算從放大器輸出到測試設(shè)備的功率計的輸出損耗，定義輸出損耗校正因子。使用輸入損耗校正因子，確定實(shí)際的輸入功率電平，使用輸出損耗校正因子，確定實(shí)際的輸出功率電平。作為輸入損耗校正因子和輸出損耗校正因子的函數(shù)，校準(zhǔn)RF測試。該RF測試包括至少以下一個輸出功率、輸入功率、增益、效率、檢測器誤差、線性度和噪聲系數(shù)。計算機(jī)指令對用戶指示RF測試的校準(zhǔn)完成。上面的本發(fā)明的概述并不意欲代表本發(fā)明的每個公開的實(shí)施例或者本發(fā)明的每個方面。在附圖以及隨后的詳細(xì)說明中提供其它的方面和示例實(shí)施例。結(jié)合附圖考慮以下的本發(fā)明的各種各樣實(shí)施例的詳細(xì)說明，可以更徹底地理解本發(fā)明，其中圖1描述在測試功率放大器中可能遇到的損耗；圖2略述按照本發(fā)明一個實(shí)施例的校準(zhǔn)程序；圖3描述按照本發(fā)明一個實(shí)施例的RF測試和校正因子的推導(dǎo)；圖4描述對于一個示例器件的輸出功率/增益相對于輸入功率的曲線；和圖5略述按照本發(fā)明一個實(shí)施例的校準(zhǔn)程序。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)本發(fā)明對于為了放大器電路的測試而校準(zhǔn)測試設(shè)備和負(fù)載板是有用的。雖然本發(fā)明在測試模擬電路方面具有特定的應(yīng)用，但是所提供的技術(shù)同樣可應(yīng)用于其它系列的設(shè)備(器件)。在RF功率的產(chǎn)生和測量方面，用戶面臨獲得和保持測試器的精確度的問題。對于一組試驗(yàn)設(shè)備，在給定的測試器上獲得的結(jié)果可能是可接受的。但是，同一組器件在另一個測試器上的重復(fù)測試產(chǎn)生不同的結(jié)果。測試硬件板是在測試設(shè)備和實(shí)際芯片之間的接口。參考圖1。CS測試器設(shè)備110和負(fù)載板120的示例設(shè)置100描述其中可能遇到損耗的情況。負(fù)載板120具有輸入損耗125和輸出損耗135，其在測試處于測試中的器件(DUT)140時隨著板的不同而不同。電源105在它克服輸入損耗125時必須驅(qū)動比在DUT140上測量的那個更大的功率。同樣地，由于DUT140輸出功率由于輸出損耗135而被削弱，所以功率計115測量DUT140輸出功率的較低值。必須考慮這些損耗。即使在器件測試期間可以測量和考慮測試硬件損耗，但測試器精確度仍然是一個挑戰(zhàn)。在輸入或者輸出端上微小的反射導(dǎo)致在輸入或者輸出上0.5dB的結(jié)果測量之差。由于在測試器和包含測試插座(socket)的處理器之間長的互連電纜，反射快速彼此跟隨。長的互連電纜通常由于封裝處理設(shè)備的機(jī)械約束而是必需的。例如，在2.5吉赫操作范圍上50MHz的頻率變化可以將損耗改變額外的0.5dB。因此，更多的抽樣被測量，并且校正因子的平均值被采用。在整個頻率范圍上執(zhí)行校準(zhǔn)。在按照本發(fā)明一個實(shí)施例的特定應(yīng)用中，功率放大器(由PHILIPSSEMICONDUCTORS，INC飛利浦半導(dǎo)體公司制造的SA2411)經(jīng)受測試。SA2411的黃金抽樣被測試。術(shù)語“黃金抽樣”是指作為以示范方式操作的以前測試的器件(即，成功測試的參考抽樣)。絕對輸入損耗和輸出損耗被確定。這二個參數(shù)在整個ATE測試程序中被用于補(bǔ)償源功率和在DUT上測量的功率。通過使用足夠的最小數(shù)量的黃金抽樣來校準(zhǔn)和平均觀察到的輸入和輸出損耗，可以保證精確度。經(jīng)由ATE測試程序內(nèi)的迭代循環(huán)，精細(xì)地調(diào)諧輸入和輸出損耗因子。參考圖2。SA2411最后測試程序遵循流程200。黃金抽樣210被插入測試硬件接口。測試程序的這個部分確定與測試硬件接口相關(guān)的損耗220以及在ATE本身內(nèi)未知的損耗。該校準(zhǔn)的結(jié)果是二個校正因子。一個用于輸入損耗，并且另一個用于輸出損耗。這些校正因子220被插入最后的測試程序230中。這些校正因子被用于事先調(diào)節(jié)輸入功率，或者在測量之后被用于調(diào)整輸出功率。其它的測試諸如增益、效率和檢測器精確度基于校正的輸入功率和輸出功率。如果已插入校正因子，用戶對這些器件執(zhí)行測試240，以便人們可以通過飽和度來區(qū)分輸入和輸出損耗。對于SA2411，執(zhí)行隨后的RF測試。0utputpower(輸出功率)(Pout)、Gain(增益)、Efficiency(效率)(Eff)、Detectorerror(檢測器誤差)(Det-err)。這四個測試被校準(zhǔn)。通過分析這些參數(shù)之間的相互關(guān)系，對于Pin和Pout的二個校正因子足以覆蓋這四個測試?？梢詼y量的其它參數(shù)包括(但是不局限于)NoiseFigure(噪聲系數(shù))、IP3、IP5和IPC等等。至于進(jìn)一步的信息，可以查閱PaulR.Gray和RobertG.Meyer撰寫的題為“AnalysisandDesignofIntegratedCircuitslstEdition”著作的章節(jié)9-11。這個著作被作為參考資料全部結(jié)合在本文中。參考圖3。在CS測試器中，示出了四個RF測試的關(guān)系300。CS測試器被設(shè)置為傳送電源功率(Psource)305。到達(dá)SA2411輸入端上的是功率電平Pin315。差是校正因子“InputLoss(輸入損耗)”325。實(shí)際的輸入功率Pin315小于利用該CS測試器設(shè)置的功率電平Psource305。來自DUT的實(shí)際輸出功率“Pout”310在其到達(dá)CS測試器功率測量輸入端(Pmeasure)320之前被衰減。該CS測試器測量比由該SA2411實(shí)際傳送的更低的功率電平。差是校正因子“OutputLoss(輸出損耗)”330。SA2411的增益是基于實(shí)際的輸入功率315“Pin”和實(shí)際的輸出功率310“Pout”的函數(shù)。在某一輸入功率電平上測量增益340表示由CS測試器設(shè)置的功率電平Psource305必須被增加輸入損耗325，并且測量的輸出功率Pmeasure320必須對于輸出損耗進(jìn)行校正。增益340是“Pout”和“Pin”之間的差值。這兩個值不是“Psource”和“Pmeasure”。效率345是RF輸出功率、在那個RF輸出功率上的DC電流和在那個RF輸出功率上的DC電源電壓的函數(shù)350。方程式是Eff＝Pout[W]/(Idc*Vdc)*100％。注意，實(shí)際的輸出功率“Pout”必須從單位[dBm]轉(zhuǎn)變?yōu)閇W]。DC電流和DC電壓不需要校正因子。這些值在0Hz上精確地進(jìn)行測量。在該方程式中唯一的RF參數(shù)是“Pout”。這是實(shí)際的輸出功率。同樣，通過利用輸出損耗校正測量的輸出功率“Pmeasured”，可以計算“Pout”。檢測器誤差360是RF輸出功率、DC檢測器電壓和耦合因子n與k的函數(shù)。耦合因子n與k是由器件的設(shè)計而確定的。測試器件的足夠的最小數(shù)量的黃金抽樣，以校準(zhǔn)和平均發(fā)現(xiàn)的輸入和輸出損耗。來自局外者(outlier)的數(shù)據(jù)被丟棄。目標(biāo)是具有可再現(xiàn)的結(jié)果。雖然SA2411被用作一個例子，但是按照本發(fā)明略述的技術(shù)可以應(yīng)用于任何器件，其中用戶能夠以已知方法使輸出飽和。參考圖4。該圖表400在X軸上描繪輸入功率410-輸出功率和輸入功率-增益420。輸入功率-輸出功率405和輸入功率-增益425的理想情況以虛線示出。增益在-20dBm周圍是平坦的。即使輸入功率實(shí)際上是-25dBm或者-15dBm，也無關(guān)緊要，因?yàn)橛脩糇x取相同的增益值。由于增益是二個絕對功率Pout和Pin的組合，所以可以存在二個校正。一個是輸入功率的校正，另一個是輸出功率的校正。因此，增益測量僅僅給出輸入和輸出損耗的組合。沒有辦法通過測量增益來區(qū)分輸入損耗或輸出損耗。但是，如果用戶知道輸入或者輸出損耗，他或者她能夠利用上面的測量來計算另一個。能夠測量輸出損耗。在上面的圖中，顯然，在理想的情況下，輸出功率接近地在22.5dBm上飽和。輸入功率是+10dBm還是+14dBm是無關(guān)緊要的，輸出功率將始終是+22.5dBm。測量這個飽和的輸出功率并且隨后把它與已知值進(jìn)行比較，得到輸出損耗。可以使用以前的測量(在-20dBm上)和這一個來計算輸入損耗。令人遺憾地，飽和度對于示例SA2411不是硬飽和。對于輸入功率的每1dB增加，輸出功率增加大約0.3dB。因此，如果輸入功率相差1dB，則輸出功率將相差0.3dB，并因此輸出校正相差0.3dB，并且輸入校正相差0.3dB。如果知道初始輸入校正和最新發(fā)現(xiàn)的輸入校正，則可以定義新的輸入功率。重復(fù)輸出損耗測量將導(dǎo)致更加精確的校正。如果對于輸入功率校正仍然相差(例如，0.3dB)，保持重復(fù)輸出損耗測量。參考圖5。在按照本發(fā)明的一個示例實(shí)施例中，在-20dBm輸入上設(shè)置的工作臺(bench)上測量505黃金抽樣，并且該黃金抽樣具有15.3dB的增益。在+12.5dBm實(shí)際的輸入功率上，實(shí)際的輸出功率是+22.7dBm。這些獲得的數(shù)據(jù)被編程進(jìn)ATE測試程序510中，隨后將被校準(zhǔn)。在505獲得的參數(shù)即實(shí)驗(yàn)室(lab)增益、實(shí)驗(yàn)室輸入功率和實(shí)驗(yàn)室輸出功率自高精度測試設(shè)置中推導(dǎo)出，以便在器件測量中實(shí)現(xiàn)非常高的精確度。從測量中除去來自測試臺、電纜連接和ATE電子設(shè)備的損耗和其它的影響，以便用戶自身僅僅觀察到被測試器件(DUT)參數(shù)。在各種各樣的測試器輸入功率電平上，在測試器515上測量器件輸出。Pin和Pout被放置在查找表中。參見表1。步驟1在小的輸入信號(-20dBm)上計算未校正的增益520(Gain-uncorrected)。從實(shí)驗(yàn)室中測量的增益(Gain_lab)中減去這個增益。這個數(shù)字(Delta-gain)代表輸入和輸出損耗之和525Gain_uncorrected＝(-17.48)-(-20)＝2.52dB(1.1)Gain_lab＝15.3dB(1.2)Delta_gain＝Gain_lab-Gain_uncorrected＝輸入損耗+輸出損耗(1.3)Delta_gain＝15.3-2.52＝12.78dB＝輸入損耗+輸出損耗(1.4)步驟2定義第一初始輸出損耗530為+10dB。(這是近似正確的，但是這個數(shù)字隨后將被改變，以獲得更精確的校準(zhǔn))。計算初始輸入損耗540。將CS測試器的功率電平設(shè)置為12.5dBm+輸入損耗545。測量輸出功率550。確定校正的輸出功率555，并且從實(shí)驗(yàn)室560中驗(yàn)證輸出功率是否接近于期望值。Outputloss_initial＝10dB(2.1)Inputloss_initial＝Delta_gain-Output_loss_initial＝12.78-10＝2.78dB(2.2)Power_CS_tester＝12.5dB+Input_loss_initial＝12.5+2.78＝15.28dB(2.3)Power_CS_measured＝(lookuptableat15.0dBm)＝11.87dBm(2.4)Power_out_corrected＝Power_CS_measured+Output_loss_initial(2.5)＝11.87+10＝21.87dBm.校正的輸出功率555與22.7dBm期望值幾乎相差1dB。該輸出損耗被低估。初始輸出損耗必須隨該差而增加。重復(fù)步驟2，并且調(diào)用步驟3。步驟3設(shè)置初始輸出損耗535為在步驟2中發(fā)現(xiàn)的值重復(fù)步驟2中的測量Output-loss，-initial＝Pout_lab-PowerCS_measured＝22.7-11.87＝10.8dB(3.1)Input_loss_initial＝Delta_gain-Outputloss_initial＝12.78-10.8＝1.98dB(3.2)Power_CStester＝12.5dB+Inputloss_initial＝12.5+1.98＝14.5dBm(3.3)Power-CS-measured＝(lookuptableat+14.5dBm)＝11.75dBm(3.4)Power_ourcorrected＝Power_CS_measured+Outputloss_initial＝11.75+10.8＝22.5dBm.(3.5)校正的輸出功率現(xiàn)在僅與22.7dBm期望值相差0.2dB。測試器可以重復(fù)這個步驟，以找到更加精確的輸入功率。輸出損耗并因而輸入損耗將收斂到某個值。這是隨后進(jìn)一步在該程序中使用的值565。為了改善精確度，對于多個黃金抽樣，可以重復(fù)該校準(zhǔn)程序。平均輸出損耗和輸入損耗可以被計算。抽樣之間的變化被最終得到平衡。例如，對在彼此的短時間內(nèi)測試的十個抽樣的測試器重復(fù)性已表明是令人滿意的。在另一個實(shí)施例中，按照本發(fā)明，不使用在給定功率電平上的小信號增益的一個值來設(shè)置校正因子，用戶可以在三個或更多個功率電平上測量小信號增益。例如，-25dB、-20dB和-15dB的小信號輸入功率電平可以被應(yīng)用于抽樣器件。增益在所有情況下應(yīng)該是大約相同的。減小電源的功率電平和在不同的信號電平上輸出的測量的不準(zhǔn)確度。因而，獲得更加精確的校準(zhǔn)。用戶必須根據(jù)制造成本諸如生產(chǎn)率要求、設(shè)備等等確定所要求的增加精確度的值。在本文中略述的程序可以被存儲在計算機(jī)系統(tǒng)諸如ATE或其它的等效體中。例如，經(jīng)由工作站的用戶接口允許用戶與ATE通信。ATE通常具有特定的編程語言，其已經(jīng)為了器件測試的需要而被改寫。這樣的計算機(jī)系統(tǒng)包括存儲媒體，諸如磁盤、光盤、存儲器。在舉例的實(shí)施例中，校準(zhǔn)程序可以駐留在客戶機(jī)可訪問的遠(yuǎn)程主機(jī)服務(wù)器上。這些服務(wù)器/客戶機(jī)系統(tǒng)可以是一個組織機(jī)構(gòu)的內(nèi)部網(wǎng)的一部分，或者在因特網(wǎng)上也是可利用的。在另一個舉例的實(shí)施例中，工作臺設(shè)置自身可以經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)被鏈接到ATE，據(jù)此應(yīng)用校準(zhǔn)程序。這些鏈路可以包括有線、光纖或者無線等。雖然已參考幾個特別的示例實(shí)施例描述了本發(fā)明，但是那些本領(lǐng)域技術(shù)人員將認(rèn)識到，在不脫離在下面的權(quán)利要求中闡述的本發(fā)明的精神和范圍之外可以對此進(jìn)行很多的改變。權(quán)利要求1.在用于測量放大器的輸入和輸出特性的測試設(shè)備(100)中，一種用于確定測試程序參數(shù)的方法(200)，包括計算從測試設(shè)備電源(125)到放大器的輸入端的輸入損耗(220)，定義輸入損耗校正因子；計算從放大器輸出端到測試設(shè)備的功率計(135)的輸出損耗(220)，定義輸出損耗校正因子；使用輸入損耗校正因子，確定(220)實(shí)際的輸入功率電平(105)；和使用輸出損耗校正因子，確定(220)實(shí)際的輸出電平(115)。2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，進(jìn)一步包括作為輸入損耗校正因子和輸出損耗校正因子的函數(shù)，校準(zhǔn)RF測試，其中RF測試包括至少以下之一輸入功率、輸出功率、增益、效率和檢測器誤差、線性度、噪聲系數(shù)。3.一種用于將校準(zhǔn)因子插入ATE程序中的方法(500)，該方法包括a)從至少一個黃金抽樣中獲得參數(shù)(505)，其中參數(shù)包括實(shí)驗(yàn)室增益、實(shí)驗(yàn)室輸入功率和實(shí)驗(yàn)室輸出功率；b)將來自黃金抽樣的參數(shù)編程進(jìn)ATE測試程序中(510)；c)在ATE上獲得對于黃金抽樣的測量結(jié)果(515)，將測量結(jié)果分類進(jìn)查找表中；d)對于至少一個小的輸入信號值，計算在小的輸入信號上的未校正增益(520)；e)確定第一輸入損耗和第一輸出損耗的第一和(525)，從第一和中確定第一增益變化；f)定義第一初始輸出損耗(530)；g)從第一增益變化和第一初始輸出損耗之差中，計算初始輸入損耗(540)；h)設(shè)置ATE的功率電平為實(shí)驗(yàn)室輸入功率和初始輸入損耗之和(545)；i)測量在ATE上的輸出功率(550)，其中輸出功率對應(yīng)于輸入功率；和j)計算校正的輸出功率(555)，其中校正的輸出功率是在ATE上的輸出功率和初始輸出損耗之和。4.根據(jù)權(quán)利要求3的方法，其中該方法進(jìn)一步包括k)確定在校正的輸出功率和實(shí)驗(yàn)室輸出功率之間的相關(guān)度(560)，其中該相關(guān)度確定將校正的值插入用于輸入功率和輸出功率的ATE測試程序中(565)，或定義另一個初始輸出損耗(535)，并且再次執(zhí)行步驟g)至j)。5.一種用于校準(zhǔn)測試程序參數(shù)以便測量放大器的輸入和輸出特性的系統(tǒng)，包括用于計算從測試設(shè)備電源到放大器的輸入端的輸入損耗、定義輸入損耗校正因子的裝置；用于計算從放大器輸出到測試設(shè)備的功率計的輸出損耗、定義輸出損耗校正因子的裝置；用于使用輸入損耗校正因子來確定實(shí)際的輸入功率電平的裝置；和用于使用輸出損耗校正因子來確定實(shí)際的輸出電平的裝置。6.根據(jù)權(quán)利要求5的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括用于使用輸入損耗校正因子和輸出損耗校正因子來校準(zhǔn)RF測試的裝置，其中RF測試包括至少以下之一輸出功率、增益、效率、檢測器誤差、線性度和噪聲系數(shù)。7.在放大器的輸入和輸出特性的測量中使用的一種機(jī)器可讀媒體，包括多個計算機(jī)指令，其中計算機(jī)指令包括計算從測試設(shè)備電源(125)到放大器的輸入端的輸入損耗(220)，定義輸入損耗校正因子；計算從放大器輸出到測試設(shè)備的功率計(135)的輸出損耗(220)，定義輸出損耗校正因子；使用輸入損耗校正因子來確定(220)實(shí)際的輸入功率電平(105)；和使用輸出損耗校正因子來確定(220)實(shí)際的輸出電平(115)；作為輸入損耗校正因子和輸出損耗校正因子的函數(shù)，校準(zhǔn)RF測試，其中RF測試包括至少以下一個輸出功率、增益、效率和檢測器誤差、線性度、噪聲系數(shù)；以及向用戶顯示RF測試的校準(zhǔn)完成。8.在放大器的輸入和輸出特性的測量中使用的一種機(jī)器可讀媒體，包括多個計算機(jī)指令，其中計算機(jī)指令包括用于將校準(zhǔn)因子插入ATE程序中的步驟(500)，所述步驟包括a)從至少一個黃金抽樣中獲得參數(shù)(505)，其中這些參數(shù)包括實(shí)驗(yàn)室增益、實(shí)驗(yàn)室輸入功率和實(shí)驗(yàn)室輸出功率；b)將來自黃金抽樣的參數(shù)編程進(jìn)ATE測試程序中(510)；c)對于黃金抽樣，獲得在ATE上的測量結(jié)果(515)，將這些測量結(jié)果分類進(jìn)查找表中；d)對于至少一個小的輸入信號值，計算在小的輸入信號上未校正的增益(520)；e)確定第一輸入損耗和第一輸出損耗的第一和(525)，從第一和中確定第一增益變化；f)定義第一初始輸出損耗(530)；g)從第一增益變化和第一初始輸出損耗之差中，計算初始輸入損耗(540)；h)設(shè)置ATE的功率電平為輸入功率實(shí)驗(yàn)室和初始輸入損耗之和(545)；i)測量在ATE上的輸出功率(550)，其中輸出功率對應(yīng)于輸入功率；和j)計算校正的輸出功率(555)，其中校正的輸出功率是在ATE上的輸出功率和初始輸出損耗之和；和k)確定在校正的輸出功率與實(shí)驗(yàn)室輸出功率之間的相關(guān)度(560)，其中該相關(guān)度確定將校正的值插入用于輸入功率和輸出功率的ATE測試程序中(565)，或者定義另一個初始輸出損耗(535)，并且再次執(zhí)行步驟g)至j)。全文摘要在自動測試設(shè)備(ATE)上執(zhí)行測試中，精確地產(chǎn)生和測量RF(射頻)功率是一個挑戰(zhàn)。在示例的實(shí)施例中，在被用來測量放大器(140)的輸入和輸出特性的測試設(shè)備(100)中，具有用于確定測試程序參數(shù)的方法。該方法(200)包括計算從測試設(shè)備電源到放大器(220)的輸入的輸入損耗，定義輸入損耗校正因子。計算從放大器輸出(220)到測試設(shè)備的功率計的輸出損耗，定義輸出損耗校正因子。使用輸入損耗校正因子(230)，確定實(shí)際的輸入功率電平，并且使用輸出損耗校正因子(230)，確定實(shí)際的輸出電平。文檔編號G01R35/00GK1836170SQ200480023112公開日2006年9月20日申請日期2004年8月14日優(yōu)先權(quán)日2003年8月14日發(fā)明者H·維塞,S·斯帕恩申請人:皇家飛利浦電子股份有限公司