專利名稱：多種玻璃襯底檢查裝置及利用該裝置的多種玻璃襯底檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種玻璃襯底檢查裝置，更具體而言，本發(fā)明涉及一種多種玻璃襯底檢查裝置及利用該裝置的多種玻璃襯底檢查方法。該多種玻璃襯底檢查裝置在進行有關(guān)玻璃襯底的異物、滲入以及表面不良等檢查時，除了可以檢查單一尺寸的玻璃襯底以外，還能夠檢查多種尺寸的玻璃襯底。
背景技術(shù)：
對于CRT(Cathode Ray Tube)、LCD(Liquid Crystal Display)、PDP(Plasma Display Panel)等，作為以視覺形式提供像TV、監(jiān)視器這樣的顯示信息的圖像界面裝置，盡管在各裝置上顯示圖像信息的原理互不相同，但作為實現(xiàn)顯示的核心部件之一，都使用了玻璃襯底。
例如，在制造TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquide CrystalDisplay)的顯示裝置的工序中，就有針對用于顯示裝置的玻璃襯底的一部分工序。用于顯示裝置的玻璃襯底需要從大尺寸的玻璃襯底上切割下來，切割后的玻璃襯底經(jīng)過涂覆鉻、涂覆黑底(BlackMatrix)、涂覆ITO等多道局部處理工序。在這些局部處理工序前后，在玻璃襯底上會發(fā)生其表面由于異物或滲入等產(chǎn)生的不良現(xiàn)象。因為這些玻璃襯底上的異物或滲入會給TFT-LCD顯示裝置的性能帶來致命的影響，所以必須對其進行徹底的檢查。因此，玻璃襯底檢查裝置就是查找出這類由玻璃襯底上的異物或滲入等導(dǎo)致的損傷和缺陷的裝置，在制造各種顯示裝置前，必須進行玻璃襯底的檢查工序。
玻璃襯底檢查裝置一般分為用肉眼搜尋異物等的宏觀(Macro)檢查裝置和利用顯微鏡精密地搜尋不良狀態(tài)的微觀(Micro)檢查裝置。雖然有時根據(jù)檢查項目必須從宏觀檢查和微觀檢查中做出選擇，但一般做法是，首先操作者用肉眼檢查整個玻璃襯底，查看是否存在異物附著等不良狀態(tài)，然后根據(jù)宏觀檢查的結(jié)果僅對需要精細(xì)檢查的部分，放大約25-100倍后進行微觀檢查。
圖1是現(xiàn)有微觀檢查裝置的立體圖。如圖1所示，現(xiàn)有微觀檢查裝置包括用于安置玻璃襯底等的主工作臺11、支承主工作臺11的平臺12、安裝在平臺12一表面上的光源裝置13、以及顯微鏡照相機之類的光學(xué)裝置(圖中未示出)。光源裝置13包括為光學(xué)裝置提供觀測玻璃襯底表面狀態(tài)所需光線的光源和移送光源的光源輸送裝置。
主工作臺11包括形成框架的主工作臺框架，在主工作臺框架的一表面上具有多個真空加壓的彈性吸附襯墊，用于固定及保持利用機器人手臂等那樣的玻璃襯底轉(zhuǎn)送裝置所轉(zhuǎn)送、并安置在主工作臺11上的玻璃襯底。
平臺12由具有規(guī)定厚度的自然石構(gòu)成，目的是使在檢查過程中由熱產(chǎn)生的熱膨脹最小、振動最小，并起到支撐整個檢查裝置的作用。
主工作臺11的主工作臺框架的內(nèi)側(cè)具有結(jié)合槽，在結(jié)合槽內(nèi)可以配置橫跨主工作臺11寬度的玻璃棒(圖中未示出)。玻璃棒作為被固定在主工作臺框架的下部、用于從下部支承玻璃襯底、維持玻璃襯底的一定的平坦度的構(gòu)件，在棒狀的玻璃上具有多個按一定間隔配置的突出部，與玻璃襯底下表面接觸的滾珠可旋轉(zhuǎn)地與各突出部結(jié)合。
如顯微鏡照相機那樣的光學(xué)裝置在平臺12的上部，向前后左右移動，精細(xì)地檢查玻璃襯底的不良等。光學(xué)裝置也可以與光源同步，與光源一同移動。
根據(jù)這種現(xiàn)有技術(shù)的玻璃襯底檢查裝置，由于構(gòu)成主工作臺11的主工作臺框架的規(guī)格固定成一種，所以其能夠檢查的玻璃襯底僅限于與主工作臺11一致的玻璃襯底。因此，在使用現(xiàn)有技術(shù)的玻璃襯底檢查裝置檢查玻璃襯底的過程中，如果放入檢查的玻璃襯底屬于不同種類的襯底時，就必須選擇替換適合各玻璃襯底尺寸的主工作臺，從而需要相當(dāng)多的操作時間，導(dǎo)致生產(chǎn)成本明顯提高。這種微觀檢查裝置的利用度，與檢查裝置的價格相比，導(dǎo)致利用率大大滯后的后果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的在于提供一種多種玻璃襯底檢查裝置以及利用該裝置的多種玻璃襯底檢查方法。作為用于解決上述技術(shù)缺陷而提出的該裝置和方法，不僅可以檢查單一尺寸的玻璃襯底，還可以對多種尺寸的玻璃襯底進行檢查。
為達到上述目的，本發(fā)明提供一種多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于包括主工作臺，設(shè)置在平臺上部，包括可安置玻璃襯底的主工作臺框架；不少于一個的動力生成部，生成用以調(diào)整玻璃襯底位置的動力；位置調(diào)整支撐部，連接在動力生成部上，并通過動力生成部輸送；位置調(diào)整夾具部，安裝在位置調(diào)整支撐部上，夾住玻璃襯底的邊緣，并調(diào)整玻璃襯底的位置；控制部，根據(jù)輸入的玻璃襯底的尺寸信息判斷玻璃襯底的尺寸，從而控制動力生成部以及位置調(diào)整夾具部。
根據(jù)上述多種玻璃襯底檢查裝置的例子之一，動力生成部可以配置在平臺的上表面。位置調(diào)整支撐部包括不少于兩個的對稱移動部，對稱移動部的至少一個連接在動力生成部上，而至少另外一個與其相對，可以同時遠離或靠近地平行移動。位置調(diào)整夾具部，安裝在對稱移動部的上部，在開啟信號時被垂直豎立，并夾住所述玻璃襯底的邊緣，在斷開信號時則傾斜成規(guī)定的角度。
根據(jù)該多種玻璃襯底檢查裝置的另一個例子，動力生成部配置在主工作臺框架上。位置調(diào)整支撐部分別配置在主工作臺框架的各邊上，并包括為垂直于主工作臺框架的各邊可在內(nèi)側(cè)移動的移動桿。位置調(diào)整夾具部安裝在移動桿上。
而且，根據(jù)本發(fā)明的其他的實施例之一，提供了一種多種玻璃襯底檢查方法，其特征在于，使用多種玻璃襯底檢查裝置檢查玻璃襯底的多種玻璃襯底檢查方法包括如下步驟將玻璃襯底的尺寸信息信號輸入到控制部；控制部將預(yù)先設(shè)定的玻璃襯底的尺寸信息信號與輸入的玻璃襯底的尺寸信息信號比較，并判斷玻璃襯底的尺寸；根據(jù)玻璃襯底的尺寸輸出用于調(diào)整所述玻璃襯底位置的控制信號；根據(jù)控制部輸出的控制信號，調(diào)整配置在所述主工作臺上的玻璃襯底的位置。


圖1為根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的玻璃襯底檢查裝置概略分解立體圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明第一實施例的多種玻璃襯底檢查裝置概略分解立體圖；
圖3a為根據(jù)本發(fā)明第一實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的動力生成部的概要局部分解立體圖；圖3b為根據(jù)本發(fā)明第一實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的位置調(diào)整支撐部以及位置調(diào)整夾具部的概要局部分解立體圖；圖3c為根據(jù)本發(fā)明第一實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的傳動帶部的概要局部分解立體圖；圖3d為表示根據(jù)本發(fā)明第一實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的位置調(diào)整夾具部的工作狀態(tài)的局部分解立體圖；圖4a為表示根據(jù)本發(fā)明第一實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的工作狀態(tài)的流程圖；圖4b為根據(jù)本發(fā)明第一實施例的四種玻璃襯底檢查裝置的工作狀態(tài)中的分解立體圖；圖5a為根據(jù)本發(fā)明第二實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的主工作臺部的概要分解立體圖；圖5b為對于圖5a的附圖標(biāo)記“A”處的概要局部放大平面圖；圖5c為對于圖5a的主工作臺夾具部的其它形態(tài)的局部放大立體圖；圖5d為對于圖5a的附圖標(biāo)記“B”處的概要局部放大平面圖；圖6a為表示根據(jù)本發(fā)明第一實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的局部工作狀態(tài)的局部放大平面圖；
圖6b為表示根據(jù)本發(fā)明第一實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的局部工作狀態(tài)的局部放大平面圖；圖7a為表示根據(jù)本發(fā)明第一實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的局部工作狀態(tài)的局部放大平面圖；及圖7b為表示根據(jù)本發(fā)明第一實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的局部工作狀態(tài)的局部放大平面圖。
具體實施例方式
下面，參照附圖，對本發(fā)明的實施例進行詳細(xì)說明。
圖2示出了根據(jù)本發(fā)明一實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的立體圖。如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的多種玻璃襯底檢查裝置包括主工作臺500、動力生成部200、位置調(diào)整支撐部300、位置調(diào)整夾具部400、控制部120、光學(xué)裝置、玻璃棒等。在此，為了更清楚地說明本發(fā)明，圖示中省略了類似于光學(xué)裝置及玻璃棒的構(gòu)成要素。
主工作臺500配置在平臺110的上部，包括可安置玻璃襯底的主工作臺框架510(參照圖5a)。在主工作臺500的主工作臺框架上，面向主工作臺框架的內(nèi)側(cè)中心配置結(jié)合槽501，所以在該結(jié)合槽501內(nèi)配置橫跨主工作臺框架的兩對邊的玻璃棒(未圖示)。雖然圖中用虛線502示出了玻璃棒(未圖示)的排列方向的一個例子，但其配置方向及玻璃棒的構(gòu)成不僅限于此種情況。也可以是在玻璃棒的一表面上包括一端配置有支撐滾珠的支撐銷，用以支承放入裝置中的玻璃襯底。
主工作臺500，即主工作臺框架510通過主工作臺支撐部而被保持在平臺110上，所以，為在圖2中進行清楚地說明，主工作臺支撐部被省略。
在平臺110的上面，配置有超過一個的動力生成部200，動力生成部200連接到位置調(diào)整支撐部300。動力生成部200既可以直接配置在平臺110的一表面上，也可以配置在置于平臺110一表面的金屬板上等，動力生成部200的配置位置不限于上述任一種情況。位置調(diào)整支撐部300包括不少于兩個的對稱移動部310，至少不少于一個的對稱移動部310連接在動力生成部200上，并通過動力生成部200生成的動力移動。依靠動力生成部200移動的對稱移動部310與至少另一個對稱移動部相對，可以同時遠離或靠近地平行移動。
在如圖2所示的本實施例中，在平臺110的上表面上平行配置有兩個動力生成部200。位置調(diào)整支撐部300由包括兩個對稱移動部的相互平行的兩個對稱移動部對構(gòu)成，兩個對稱移動部接受各自的動力生成部200提供的動力，相對配置，同時遠離或靠近地在同一條線上移動。但是，也可以有能夠?qū)恿ι刹?00配備在每一個位置調(diào)整支撐部300的各對稱移動部310、相互垂直地配置對稱移動部對等多種變形。
位置調(diào)整夾具部400安裝在各對稱移動部的上部，根據(jù)開啟信號使其垂直豎立，夾住玻璃襯底的邊緣，從而將玻璃襯底的位置定位，根據(jù)關(guān)閉信號使其傾斜到規(guī)定的角度，回歸至原位置，從而不影響其它結(jié)構(gòu)部件的運作。
控制部120連接在動力生成部200以及位置調(diào)整夾具部400上，根據(jù)輸入控制部120的玻璃襯底的尺寸信息判斷玻璃襯底的尺寸，至少輸出控制信號到動力生成部200及位置調(diào)整夾具部400，從而對安置在主工作臺500上的玻璃襯底的位置進行定位。輸入控制部120的玻璃襯底的尺寸信息可以通過多種方法獲得。例如，作為玻璃襯底的尺寸信息，可以使用通過配置在主工作臺500上或主工作臺500上部的位置傳感器之類的檢測裝置獲得的玻璃襯底的位置信息；根據(jù)情況，也可以使用通過鍵盤輸入控制部120的被動的輸入信息。
第一實施例如圖2及圖3a所示，根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的動力生成部200包括流體動作部210和動力生成液壓缸驅(qū)動部220，動力生成液壓缸驅(qū)動部220包括動力生成液壓缸221和動力生成活塞222。
流體動作部210將加壓后的工作流體傳送到動力生成液壓缸驅(qū)動部220。作為工作流體，根據(jù)設(shè)計可以多樣地選擇，既可以是空氣、氮氣那樣的氣體，也可以是液壓油那樣的液體。在工作流體由液體構(gòu)成的情況下，為防止在動力生成液壓缸221和動力生成活塞222之間發(fā)生工作流體泄漏，還可以在它們之間配備活塞環(huán)。
動力生成液壓缸221是中空的圓筒，在動力生成液壓缸221的外側(cè)包括多個動力生成流出流入口223。動力生成流出流入口223的個數(shù)由動力生成液壓缸221的級數(shù)、即工作行程數(shù)決定，但是，動力生成流出流入口223的個數(shù)也可以多于工作行程數(shù)。
動力生成流出流入口223通過連接軟管224連接在流體動作部210上，或使加壓后的流體從流體動作部210流入動力生成液壓缸221內(nèi)，或使動力生成液壓缸221內(nèi)的工作流體排到流體動作部210。多個流經(jīng)動力生成流出流入口223的工作流體的流出口可以有多種變形，既可以分別獨立地構(gòu)成，也可以根據(jù)各自的行程分階段構(gòu)成。
流入動力生成液壓缸221內(nèi)以及/或者從動力生成液壓缸221流出的工作流體引發(fā)動力生成液壓缸221內(nèi)的動力生成活塞222一側(cè)的壓力變動，從而使動力生成活塞222作直線運動。
動力生成活基222的一端配置在動力生成液壓缸221內(nèi)，另一端連接到位置調(diào)整支撐部300，即對稱移動部310的一側(cè)。動力生成活塞222作直線運動，所以與其連接的對稱移動部310同時也作直線運動。在本實施例中，動力生成液壓缸驅(qū)動部220由多級液壓缸驅(qū)動部構(gòu)成，所以，分為多個階段限定動力生成活塞222的直線移動距離。動力生成活塞222的移動階段及移動距離由安置在主工作臺框架510(參照圖5a)上作為被檢查體的玻璃襯底的個數(shù)及尺寸決定。例如圖2中所示，根據(jù)本發(fā)明的玻璃襯底裝置除了符合主工作臺500的主工作臺框架510規(guī)格的尺寸的玻璃襯底外，還包括比其小的三種其他尺寸，如果對該三種其他尺寸的玻璃襯底進行位置調(diào)整時，動力生成活塞222分為三個階段作直線運動，在各階段的動力生成活塞222的移動距離與各個玻璃襯底的大小對應(yīng)并被決定。這種作為多級液壓缸驅(qū)動部的動力生成液壓缸驅(qū)動部220的優(yōu)點在于，由于在被劃分成多個階段的各個行程的動力生成活塞222的移動距離是一定的，因而在使對稱移動部310移動時，可以進行準(zhǔn)確控制。
動力生成液壓缸驅(qū)動部220除多級液壓缸驅(qū)動部之外，還可以利用伺服馬達，線性控制動力生成活塞222，使連接在動力生成活塞222一端的對稱移動部310連續(xù)移動。而且，根據(jù)本發(fā)明的動力生成部除動力生成液壓缸驅(qū)動部以外，還可以由動力生成馬達驅(qū)動部等構(gòu)成，動力生成馬達驅(qū)動部由動力生成馬達、安裝在動力生成馬達旋轉(zhuǎn)軸上的齒輪、通過與齒輪的相互作用作直線往返運動且一端連接到對稱移動部的齒條構(gòu)成。根據(jù)本發(fā)明的動力生成部不僅限于圖2及圖4a所示的形式，可以有多種變形。
位置調(diào)整支撐部300包括對稱移動部對301，包括兩個對稱移動部310，且相互平行配置；導(dǎo)軌部320，引導(dǎo)對稱移動部對(301)的對稱移動部310的移動；及，傳動帶部330，使構(gòu)成對的對稱移動部310同時靠近或遠離地同步移動。
圖3b示出對稱移動部對301的其中任一對稱移動部的局部放大圖。構(gòu)成對稱移動部對301的各個對稱移動部310不僅相互對稱地配置，而且還具有幾乎相同的結(jié)構(gòu)。但是并非只限于這種情況。
在平臺110以及/或者配置在平臺110一表面上的金屬板上設(shè)置用于引導(dǎo)對稱移動部310的導(dǎo)軌部320。導(dǎo)軌部320包括用于引導(dǎo)主對稱移動部310a的主對稱移動部導(dǎo)軌320a，及，用于引導(dǎo)輔助對稱移動部310b的輔助對稱移動部導(dǎo)軌320b。在圖3b中示出了對稱移動部310，包括主對稱移動部310a、輔助對稱移動部310b、和安裝在主對稱移動部310a的一表面上的主對稱移動部金屬板310c。這些部件既可以各自獨立構(gòu)成，也可以一體構(gòu)成。主對稱移動部310a和輔助對稱移動部310b配置在與導(dǎo)軌部320的長度方向平行的平行線上，但主對稱移動部310a及輔助對稱移動部310b的結(jié)構(gòu)也可以是，移動方向與導(dǎo)軌部320在同一直線，但配置在與導(dǎo)軌部320的長度方向垂直的平行線上等多種變形。
主對稱移動部310a的一側(cè)與動力生成活塞222的一端連接。這里，如圖2及圖3b所示，示出對稱移動部對301中只有一個對稱移動部310與動力生成活塞222的一端連接，但如上所述，還可以包括針對對稱移動部310的各自的動力生成驅(qū)動部220，并將對稱移動部310連接在各自的動力生成活塞222上。
在主對稱移動部310a的下端包括與主對稱移動部導(dǎo)軌320a卡合的主對稱移動部導(dǎo)桿310`a，在主對稱移動部310a的上表面上包括用于安裝位置調(diào)整夾具部400的對稱移動部金屬板310c。
輔助對稱移動部310b通過連接部件連接到主對稱移動部310a的一側(cè)，將位置調(diào)整夾具部400的至少一部分配置在輔助對稱移動部310b的上表面上。在輔助對稱移動部310b的下表面，包括輔助對稱移動部導(dǎo)桿310`b，輔助對稱移動部導(dǎo)桿310`b與輔助對稱移動部導(dǎo)軌320b卡合，而輔助對稱移動部導(dǎo)軌320b或直接地配置在平臺110的一表面上，或通過金屬板間接地配置在平臺110的一表面上。
構(gòu)成各個對稱移動部對301的兩個對稱移動部310的直線運動，通過各個傳動帶部330實現(xiàn)同步。如圖2及圖3c所示，傳動帶部330包括不少于兩個的皮帶輪331和傳動帶33。
皮帶輪331由安裝在平臺110以及/或平臺110一表面上的金屬板上的皮帶輪支撐體331b支承，并可以以皮帶輪中心軸331a為中心轉(zhuǎn)動。圖中示出包括兩個皮帶輪331，但并不限于此，也可以是能夠包括不少于一個等的多種變形。兩個皮帶輪331配置在與對稱移動部對301以及/或者導(dǎo)軌部320平行的平行線上。皮帶輪331的皮帶輪中心軸331a與平臺110平行，并垂直于各對稱移動部對301的行進方向。皮帶輪331的外周面通過與傳動帶332內(nèi)周面的至少一部分接觸而保持傳動帶332。
為將通過皮帶輪331被旋轉(zhuǎn)保持的傳動帶332的張力維持在合適程度，傳動帶部330還可以包括調(diào)整傳動帶332張力的張緊輪333。張緊輪333和傳動帶332的接觸位置可以有多種變形，可以在傳動帶332的上部332a、也可以在傳動帶332的下部332b等。
由皮帶輪331保持的傳動帶332通過傳動帶連接裝置334和對稱移動部對301的各對稱移動部310連接。即，如圖2及圖3c所示，連接在動力生成活塞222上的對稱移動部310通過傳動帶連接裝置334連接到傳動帶332的上部332a。
而且，其它沒有連接在動力生成活塞222上的對稱移動部310通過傳動帶連接裝置334對稱地與傳動帶332的下部332b連接。傳動帶連接裝置334既可以是另一個構(gòu)成要素，也可以是從對稱移動部310延長形成的延長部；傳動帶連接裝置334和對稱移動部310以及/或者傳動帶332的連接也可以通過鉚釘、螺栓等多種結(jié)合方式形成。
為了提高皮帶輪331和傳動帶332之間的動力傳遞，可以采用皮帶輪331的外周面與傳動帶332的內(nèi)周面相互卡合的結(jié)構(gòu)。即，如圖3c所示，也可以是在傳動帶332的內(nèi)周面上包括類似于螺紋的突出部333，而在皮帶輪331的外周面上包括與形成于傳動帶332內(nèi)周面上的突出部333卡合的凹槽部。與此相反，也可以在皮帶輪331的外周面上包括突出部，而在傳動帶332的內(nèi)周面上包括與其卡合的凹槽部。
這種位置調(diào)整支撐部300的工作過程如下通過動力生成部200的動力生成活塞222作直線運動，連接到動力生成活塞222一端的主對稱移動部310a在主對稱移動部導(dǎo)軌320a上沿著主對稱移動部導(dǎo)軌320a的長度方向作直線運動。此時，連接在主對稱移動部310a上的輔助對稱移動部310b沿著輔助對稱移動部導(dǎo)軌320b與主對稱移動部310a一起作直線運動，從而直接或間接配置在主對稱移動部310a及輔助對稱移動部310b上的位置調(diào)整夾具部400也一同作直線運動。
依靠動力生成活塞222作直線運動的對稱移動部310的一側(cè)，通過傳動帶連接裝置334連接在傳動帶332的上端332a，傳動帶332隨著對稱移動部310的運動一同運動。傳動帶332通過皮帶輪331可以轉(zhuǎn)動并被保持，所以，傳動帶332沿著配置在傳動帶332內(nèi)側(cè)的皮帶輪331作回轉(zhuǎn)運動。
在構(gòu)成對稱移動部對301的對稱移動部中，其它沒有連接在動力生成活塞222上的對稱移動部310通過傳動帶連接裝置334連接在傳動帶332的下端332b。沒有連接在動力生成活塞222上的其它對稱移動部310和傳動帶332的下端332b的連接位置，與連接在動力生成活塞222上的對稱移動部310和傳動帶332的上端332a的連接位置相對稱。組成對稱移動部對301的兩個對稱移動部310因為同時移動相同距離，從而能夠同時在相互間靠近或遠遠的方向上作直線運動。
位置調(diào)整夾具部400包括夾具部主體410、夾具部拉伸裝置420和夾具430。圖3b表示夾具部拉伸裝置420在閉合狀態(tài)時的位置調(diào)整夾具部400概要局部立體圖。圖3d表示夾具部拉伸裝置420在接通狀態(tài)時的位置調(diào)整夾具部400概要局部立體圖。
安裝夾具部主體410，使其在主對稱移動部金屬板310c上以夾具部主體旋轉(zhuǎn)軸412為中心可以轉(zhuǎn)動。其中，主對稱移動部金屬板310c配置在主對稱移動部310a的一表面上。
夾具部拉伸裝置420，其一端配置在對稱移動部310上，且可以旋轉(zhuǎn)，更具體說，配置在輔助對稱移動部310b的一表面上，且可以旋轉(zhuǎn)，另一端安裝在夾具部主體410的前端，且可旋轉(zhuǎn)，而且根據(jù)拉伸與否，夾具部主體410或垂直豎立或按規(guī)定的角度傾斜。如圖3b所示，夾具部拉伸裝置420包括夾具部液壓缸421以及夾具部活塞422。夾具部液壓缸421的外側(cè)表面上包括不少于一個的夾具部流出流入口423，夾具部流出流入口423通過連接軟管424連接在流體動作部上(圖中未標(biāo)示)。夾具部活塞422的一端配置在夾具部液壓缸421內(nèi)，另一端連接在夾具部主體410的前端，并可以旋轉(zhuǎn)。根據(jù)來自控制部120(參照圖2)的控制信號，由流體動作部(未標(biāo)示)加壓后的流體流經(jīng)連接軟管424，通過夾具部流出流入口423流入夾具部液壓缸421內(nèi)；或者與此相反，從夾具部液壓缸421排出到流體動作部。夾具部活塞422根據(jù)夾具部液壓缸421內(nèi)的流體壓力變化拉伸或收縮。這里，夾具部拉伸裝置為液壓缸-活塞驅(qū)動裝置，但是，也可以是包括夾具部旋轉(zhuǎn)馬達、連接到夾具部旋轉(zhuǎn)馬達中心軸的齒輪、及隨著齒輪的旋轉(zhuǎn)作直線往返運動的齒條的齒條-齒輪型結(jié)構(gòu)夾具等，但是本發(fā)明并不限于此，也可以有多種變形。
夾具430配置在夾具部主體410的端部。當(dāng)通過夾具部拉伸裝置420的拉伸，夾具部主體410垂直于平臺110豎立時，夾具430與安裝在主工作臺500上的玻璃襯底的邊緣接觸。
夾具430與玻璃襯底的邊緣接觸時，為防止玻璃襯底以及夾具430的磨損及損傷，可以含有具有彈性的彈性材料。在此，作為彈性材料，可從多種材料中進行選擇，也可以含有PEEK(polyetheretherketone)。PEEK具有良好的拉伸及彎曲強度、韌性及耐蠕變性等機械特性、化學(xué)特性及電氣特性，含有PEEK的夾具430可以具有耐磨損性、耐熱性、耐蒸氣性、耐放射性、耐燃性等優(yōu)點。
而且，為防止磨損導(dǎo)致的費用增大，夾具430還可以在夾具430的與玻璃襯底接觸的部分配備夾具襯墊431。根據(jù)情況，為方便夾具襯墊431的安裝，夾具430也可以在夾具430的安裝夾具襯墊431的位置上形成夾具襯墊的插入槽432，形成將夾具襯墊431插入安裝于插入槽432中的結(jié)構(gòu)，且可以替換。而且，夾具襯墊431也可以從具有優(yōu)良的無靜電特性的無靜電襯墊中選取，無靜電襯墊也可以含有膠合板以及氯丁合成橡膠。
下面，對根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的檢查方法進行說明。圖4a表示在根據(jù)本發(fā)明第一實施例的多種玻璃襯底檢查方法中，玻璃襯底位置調(diào)整的過程。為清楚地說明本發(fā)明的特征，在玻璃襯底檢查方法中，省略玻璃襯底位置調(diào)整過程后的檢查過程。
首先，將玻璃襯底放到多種玻璃襯底檢查裝置100中。放入檢查的玻璃襯底的尺寸信息輸入到控制部120(S600)。這里的玻璃襯底的尺寸信息，既可以通過位置傳感器那樣的檢測裝置輸入，也可以通過操作者手動操作輸入。
根據(jù)輸入到控制部120的玻璃襯底的尺寸信息，與預(yù)先設(shè)定尺寸的玻璃襯底的信號加以比較，判斷是否符合(S700)。然后，從控制部120輸出玻璃襯底位置調(diào)整控制信號(S800)。
從控制部120輸出的玻璃襯底位置調(diào)整控制信號傳送到動力生成部200以及/或者位置調(diào)整夾具部400，用于調(diào)整放入的玻璃襯底的位置(S900)，然后，通過光學(xué)裝置等進行玻璃襯底檢查。
圖4b具體表示在針對四種玻璃襯底的玻璃襯底檢查方法中，玻璃襯底位置調(diào)整的例子之一。為了進一步明確地說明，在圖4a表示的步驟(S700)以后的過程中，只圖示與多種玻璃襯底的位置調(diào)整相關(guān)的部分。在根據(jù)本發(fā)明的多種玻璃襯底檢查裝置中，玻璃襯底的位置調(diào)整也適用于玻璃襯底長度、寬度完全不同的多種玻璃襯底。在本實施例中，只說明一方的邊緣長度相同，而另一方的邊緣長度變化的情況。設(shè)定四種玻璃襯底的尺寸為第一尺寸(1870×2200mm)、第二尺寸(1870×1456mm)、第三尺寸(1870×1100mm)、第四尺寸(1870×728mm)。這里的尺寸是隨意選擇的，本發(fā)明的技術(shù)特征不只限于這些玻璃襯底的尺寸。在此，主工作臺框架510的規(guī)格為1870×2200mm。
首先，根據(jù)通過檢測裝置輸入的玻璃襯底的尺寸信息，控制器120將放入的玻璃襯底的尺寸與第一尺寸比較，判斷是否一致(S710)。在放入的玻璃襯底的尺寸與第一尺寸一致的情況下，不向動力生成部200以及位置調(diào)整夾具部400另外輸出玻璃襯底位置調(diào)整控制信號，在主工作臺框架510上調(diào)整好位置后(S910)，開始玻璃襯底的檢查。
在步驟(S710)中，當(dāng)放入的玻璃襯底的尺寸與第一尺寸不一致時，將放入的玻璃襯底的尺寸與第二尺寸比較，判斷是否一致(S720)。當(dāng)玻璃襯底與第二尺寸一致時，控制器120向動力生成部200及位置調(diào)整夾具部400輸出玻璃襯底位置調(diào)整控制信號(S820)。根據(jù)輸入動力生成部200的玻璃襯底位置調(diào)整控制信號，多級液壓缸形式的動力生成驅(qū)動部220工作一個行程，使連接在動力生成驅(qū)動部220上的對稱移動部310移動一個行程的距離，其它通過傳動帶部330連接的對稱移動部310也移動一個行程的距離。如果對稱移動部310的移動結(jié)束，就使位置調(diào)整夾具部400的夾具部拉伸裝置420動作，使夾具部主體410垂直于平臺110豎立，裝配在夾具部主體410一端的夾具430接觸到玻璃襯底邊緣的側(cè)面，使玻璃襯底的位置與預(yù)先設(shè)定的中心位置一致(S921)。玻璃襯底的位置調(diào)整好后，夾具部拉伸裝置420關(guān)閉，夾具部主體410按規(guī)定的角度傾斜，返回原位(S922)，以避免和后面用于玻璃襯底的微觀檢查的光源131的移動線路發(fā)生干涉。之后利用肉眼以及/或者光學(xué)裝置檢查玻璃襯底表面的檢查過程根據(jù)通常的方法即可實施。
在步驟(S720)中，當(dāng)放入的玻璃襯底的尺寸與第二尺寸不一致時，玻璃襯底的尺寸與第三尺寸比較，判斷是否一致(S730)。隨后的過程中，除動力生成驅(qū)動部220的工作步驟(S930)移動兩個行程的距離外，輸出玻璃襯底位置調(diào)整控制信號步驟(S830)、夾具部拉伸裝置420的開啟步驟(S931)、及夾具部拉伸裝置420的關(guān)閉步驟(S932)都與放入的玻璃襯底的尺寸與第二尺寸一致時的過程相同。
在步驟(S730)中，當(dāng)放入的玻璃襯底的尺寸與第二尺寸不一致時，玻璃襯底的尺寸與第三尺寸比較，判斷是否一致(S740)。隨后的過程中，動力生成驅(qū)動部220的工作步驟(S940)除移動三個行程的距離外，輸出玻璃襯底位置調(diào)整控制信號步驟(S840)、夾具部拉伸裝置420的開啟步驟(S941)、及夾具部拉伸裝置420的關(guān)閉步驟(S942)都與放入的玻璃襯底的尺寸與第二尺寸一致時的過程相同。
在步驟(S740)中，當(dāng)放入的玻璃襯底的尺寸與第三尺寸不一致時，判斷為放入的玻璃襯底與預(yù)先設(shè)定的尺寸范圍不一致，并輸出錯誤信息(error message)(S850)。
圖4b表示的流程圖表示按遞減的順序判斷玻璃襯底的尺寸的過程。然而，也可以是按照遞增的順序判斷玻璃襯底的尺寸等，根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)成方法可以有多種變化。
第二實施例圖5a表示根據(jù)本發(fā)明第二實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的主工作臺的概要局部立體圖。在主工作臺500的主工作臺框架510上，包括配置在主工作臺框架510的各邊上的不少于一個的動力生成部520、連接到動力生成部520一端并通過動力生成部520生成的動力進行移動的位置調(diào)整支撐部530、以及安裝在位置調(diào)整支撐部530上且用于夾住玻璃襯底邊緣以調(diào)整玻璃襯底位置的位置調(diào)整夾具部540。
在該實施例中，表述為在主工作臺框架510的各邊上包括不少于一個的動力生成部520、位置調(diào)整支撐部530、及位置調(diào)整夾具部540，但本發(fā)明不只限于這種情況。即，動力生成部520等也可以只配置在主工作臺框架510的相對的兩個邊上。而且，配置在主工作臺框架510的相對的邊上的動力生成部520等既可以是相互對稱配置的結(jié)構(gòu)，也可以是非對稱配置的結(jié)構(gòu)，并且為了便于由機器人手臂放入的玻璃襯底的流入，也可以按照局部結(jié)構(gòu)互不相同等設(shè)計進行多種變形。在本實施例中，配置在相對的兩個邊上的動力生成部520視為是幾乎相同的結(jié)構(gòu)，所以集中說明安裝在相鄰兩邊上的構(gòu)成要素等。
圖5b表示圖5a所示的主工作臺500的某一邊以附圖標(biāo)記“A”標(biāo)記的部分的局部放大立體圖。動力生成部520a可以用電動馬達以及液壓馬達等多種形式構(gòu)成，在圖5b所示的實施例中，動力生成部520a由通過氣-液裝置可在多個分段上動作的多級液壓缸型動力生成部構(gòu)成，在動力生成部520的一側(cè)具有流出流入口(圖中未標(biāo)示)，由外部的液壓動作部(未標(biāo)示)提供的流體通過流出流入口傳送到多級液壓缸型動力生成部520，從而動力生成部520的活塞可以作直線運動。
位置調(diào)整支撐部530a連接在動力生成部520活塞的一表面上，隨著動力生成部520的活塞的直線運動一同作直線運動。位置調(diào)整支撐部530a包括移動桿531a，移動桿531a的一端連接在動力生成部520a的一端上。如圖5b所示，通過移動桿連接部件521a，移動桿531a的一端也可以是采用螺栓緊固在動力生成部520a的活塞上的結(jié)構(gòu)。然而本發(fā)明并不只限于這種結(jié)構(gòu)。
移動桿531a通過動力生成部520的動作能夠在垂直于主工作臺框架510的方向上移動。為了使移動桿531a順利地移動，在與移動桿531a的下表面相對的主工作臺框架510的一表面上包括移動桿導(dǎo)桿532a，在與移動桿導(dǎo)桿532a對應(yīng)的移動桿531a的下表面上包括移動桿導(dǎo)桿卡合部533a。這里，移動桿導(dǎo)桿卡合部533a形成滑動導(dǎo)軌型，但并非只限于這種結(jié)構(gòu)。
在移動桿531a的一表面上包括位置調(diào)整夾具部540a。隨著移動桿531a的移動，位置調(diào)整夾具部540a也一同移動。位置調(diào)整夾具部540a包括安裝在移動桿531a上的調(diào)準(zhǔn)裝置(alignment means)541a、通過調(diào)準(zhǔn)裝置541a可移動的調(diào)準(zhǔn)桿(alignment bar)542a、以及安裝在調(diào)準(zhǔn)桿542a一端的夾具543a。
調(diào)準(zhǔn)裝置541a由通過氣-液裝置工作的液壓缸型調(diào)準(zhǔn)裝置構(gòu)成。但并非只限于此種情況，也可以是由電動馬達構(gòu)成等多種變形。調(diào)準(zhǔn)裝置541a的活塞的一端連接到調(diào)準(zhǔn)桿542a的一側(cè)。調(diào)準(zhǔn)桿542a，根據(jù)調(diào)準(zhǔn)裝置541a運動，與移動桿531a的運動獨立地與調(diào)準(zhǔn)裝置541a一同作直線運動。為了使調(diào)準(zhǔn)桿542a更順利地移動，在與調(diào)準(zhǔn)桿542a下表面對應(yīng)的移動桿531a的一表面上包括不少于一個的調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿545a，在與調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿545a對應(yīng)的調(diào)準(zhǔn)桿542a的下表面包括調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿卡合部546a。在此，調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿545a和調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿卡合部546a由滑輪導(dǎo)軌型構(gòu)成，但并非只限于此種結(jié)構(gòu)，也可以有多種構(gòu)成。
在面對調(diào)準(zhǔn)桿542a的內(nèi)側(cè)的一側(cè)上包括不少于一個的夾具543a。當(dāng)夾具543a與玻璃襯底的邊緣接觸時，為防止玻璃襯底以及夾具543a的磨損及損傷，夾具543a可以含有具有彈性的彈性材料。作為這種彈性材料含有PEEK(polytheretherketone)。PEEK如上述實施例所述，具有良好的拉伸及彎曲強度、韌性及耐蠕變性等機械特性、化學(xué)特性以及電氣特性，而含有PEEK的夾具430則具有耐磨損性、耐熱性、耐蒸氣性、耐放射性、耐燃性等優(yōu)點。
根據(jù)情況，如圖5c所示，為防止磨損導(dǎo)致的費用增大，夾具543a還可以在夾具543a的與玻璃襯底接觸的部分上配備夾具襯墊544a。夾具襯墊544a可以是具有優(yōu)良的無靜電特性的無靜電襯墊，無靜電襯墊也可以包括膠合板和氯丁合成橡膠。但也并非只限于這種類型。
為方便夾具襯墊544a的安裝，在夾具543a的夾具襯墊544a安裝的位置上形成有夾具襯墊的插入槽543`a，形成可在插入槽543`a中替換的插入安裝夾具襯墊431的結(jié)構(gòu)。當(dāng)然，在這種情況下，夾具襯墊544a也可以通過螺栓之類的緊固裝置544`a安裝在夾具543a上。
夾具543a與調(diào)準(zhǔn)桿542a的結(jié)合可以采用多種形式構(gòu)成，也可以如圖5c所示，將從夾具543a的一側(cè)延長的夾具連接部件543``a與在調(diào)準(zhǔn)桿542a的一側(cè)形成的夾具連接部件542`a相結(jié)合構(gòu)成。如果在夾具連接部件542`a內(nèi)可移動地連接夾具連接部件543``a時，在它們之間采用彈簧547a之類的彈性部件，這樣，在夾具543接觸玻璃襯底的邊緣時，能夠防止玻璃襯底和夾具543發(fā)生磨損及損傷。即，在連接部件543``a和夾具連接部件542`a之間采用彈簧547a時，在適當(dāng)預(yù)加壓的狀態(tài)下安裝彈簧547a，這樣，在夾具543至夾具襯墊544a接觸玻璃襯底的邊緣時，由于夾具543至夾具襯墊544a是彈性加壓結(jié)構(gòu)，從而可防止由于夾具543至夾具襯墊544a驟然接觸所導(dǎo)致的玻璃襯底以及/或者夾具543的損傷。但是，考慮到作為檢查體的玻璃襯底的厚度可能是薄膜形狀，所以施加在彈簧547a上的預(yù)壓力以及彈簧547a的彈性系數(shù)等必須設(shè)定為不會對玻璃襯底施加不合理壓力的數(shù)值。
圖5d表示圖5a所示的主工作臺500的另一邊用附圖標(biāo)記“B”標(biāo)記的部分的局部放大立體圖。圖5d所示的動力生成部520b、位置調(diào)整支撐部530b、及位置調(diào)整夾具部540b與圖5b所示的比較，除位置調(diào)整支撐部530b的移動桿531b包括多個、及各自通過獨立的動力生成部520b移動以外，其它均大致相同。
動力生成部520b也是由通過氣-液裝置可以在多個階段上運動的多級液壓缸型動力生成部520b構(gòu)成。在動力生成部520b的一側(cè)具有流出流入口(未標(biāo)示)，由外部的液壓動作部(未標(biāo)示)提供的流體通過流出流入口傳送導(dǎo)多級液壓缸型動力生成部520b，因而動力生成部520b的活塞可以作直線運動。
位置調(diào)整支撐部530b連接在動力生成部520b的活塞的一側(cè)，它隨著動力生成部520b的活塞的直線運動一同作直線運動。位置調(diào)整支撐部530b具有移動桿531b，移動桿531b的一端連接在動力生成部520b)的一端。如圖5d所示，通過移動桿連接部件521b，也可以采用將移動桿531b的一端通過螺栓緊固在動力生成部520b的活塞上的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明并不僅限于這種結(jié)構(gòu)。
為了使移動桿531b順利地移動，在面對移動桿531b的下表面的主工作臺框架510b的一表面上，包括移動桿導(dǎo)桿532b，而在與移動桿導(dǎo)桿532b對應(yīng)的移動桿531b的下表面則具有移動桿導(dǎo)桿卡合部533b。
在移動桿531b的一表面上包括位置調(diào)整夾具部540b，通過移動桿531b的移動，位置調(diào)整夾具部540b也一同移動。位置調(diào)整夾具部540b包括安裝在移動桿531b上的調(diào)準(zhǔn)裝置541b、通過調(diào)準(zhǔn)裝置541b而可移動的調(diào)準(zhǔn)桿542b、以及安裝在調(diào)準(zhǔn)桿542b一端的夾具543b。
調(diào)準(zhǔn)裝置541b，由通過氣-液裝置工作的液壓缸型調(diào)準(zhǔn)裝置所構(gòu)成。但也可以不限于此，比如可以采用由電動馬達構(gòu)成等多種變形。調(diào)準(zhǔn)裝置541b的活塞的一端連接到調(diào)準(zhǔn)桿542b的一側(cè)。調(diào)準(zhǔn)桿542b通過調(diào)準(zhǔn)裝置541b的運動，與移動桿531b的運動相獨立地跟隨調(diào)準(zhǔn)裝置541b一同作直線運動。為了使調(diào)準(zhǔn)桿542b更順利地移動，在與調(diào)準(zhǔn)桿542b下表面對應(yīng)的移動桿531b的一表面上包括不少于一個的調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿545b；在與調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿545b對應(yīng)的調(diào)準(zhǔn)桿542b的下表面具有調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿卡合部546b。在此，調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿545b和調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿卡合部546b采用滑輪導(dǎo)軌型的結(jié)構(gòu)，但并非只限于此種情況，也可以采用多種結(jié)構(gòu)。
在面向調(diào)準(zhǔn)桿542b內(nèi)側(cè)的一側(cè)，包括不少于一個的夾具543b。夾具543b與玻璃襯底的邊緣接觸時，為防止玻璃襯底及夾具543b的磨損及損傷，可以包括PEEK(polyetheretherketone)這樣的彈性材料。
根據(jù)情況，夾具543b還可以包括夾具襯墊(未圖示)。它與上述夾具543a的說明及結(jié)構(gòu)幾乎相同。
下面，就根據(jù)本發(fā)明第二實施例的多種玻璃襯底檢查裝置的工作過程進行說明。在圖6a及圖6b中，示出了安裝在根據(jù)本發(fā)明第二實施例的主工作臺500各邊上的動力生成部、位置調(diào)整支撐部、以及位置調(diào)整夾具部工作前狀態(tài)的概要的局部放大平面圖。圖7a以及圖7b示出了工作后狀態(tài)的概要的局部放大平面圖。在此，用虛線表示移動桿導(dǎo)桿532a、532b和移動桿導(dǎo)桿卡合部533a、533b、以及調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿545a、545b和調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿卡合部546a、546b。
首先，如圖6a及圖6b所示，動力生成部520a、520b及調(diào)準(zhǔn)裝置541a、541b在沒有從控制部120輸入的玻璃襯底位置調(diào)整控制信號時，保持非工作狀態(tài)，連接在動力生成部520a、520b及調(diào)準(zhǔn)裝置541a、541b一端上的移動桿531a、531b及調(diào)準(zhǔn)桿542a、542b處于原位。
然后，如果判斷出放入的玻璃襯底的尺寸以及是否需要調(diào)整位置，從控制部120輸出的玻璃襯底位置調(diào)整控制信號傳送到動力生成部520a、520b以及調(diào)準(zhǔn)裝置541a、541b中，如圖7a及圖7b所示，各自的動力生成部520a、520b以及調(diào)準(zhǔn)裝置541a、541b動作。在動力生成部520a、520b動作的情況下，連接在動力生成部520a、520b一端上的移動桿531a、531b垂直于主工作臺框架510的各邊移動。通過安裝在移動桿531a、531b下表面的移動桿導(dǎo)桿卡合部533a、533b和安裝在主工作臺框架510上的移動桿導(dǎo)桿532a、532b，使移動桿531a、531b的移動能夠更加穩(wěn)定地進行。
在移動桿531a、531b通過動力生成部520a、520b移動到預(yù)先設(shè)定的位置后，通過調(diào)準(zhǔn)裝置541a、541b的動作，安裝在移動桿531a、531b上的調(diào)準(zhǔn)桿542a、542b在垂直于主工作臺框架510的邊的長度方向的方向上移動。在調(diào)準(zhǔn)桿542a、542b移動時，與移動桿531a、531b的移動相同，通過配置在調(diào)準(zhǔn)桿542a、542b及主工作臺框架510上的調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿545a、545b以及調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿卡合部546a、546b，可以做到更加穩(wěn)定。在此，移動桿531a、531b的移動和調(diào)準(zhǔn)桿542a、542b的移動是依次地進行，然而發(fā)明并非只限于該順序。
通過調(diào)準(zhǔn)桿542a、542b的移動，連接在調(diào)準(zhǔn)桿542a、542b一端上的夾具543a、543b與玻璃襯底(未圖示)邊緣的側(cè)面接觸，玻璃襯底通過夾具543a、543b的移動與其一同移動，從而可以排列在預(yù)先設(shè)定的位置上。
在上述實施例中所描述的動力生成部以及位置調(diào)整夾具部由多級液壓缸型以及/或者單級液壓缸型構(gòu)成，但本發(fā)明并非只限于此種情形。例如，第一實施例中的位置調(diào)整支撐部300的對稱移動部310也可以采用以下的構(gòu)成方式它不依靠傳動帶部，而是依靠對應(yīng)各自對稱移動部的獨立的線性馬達動力生成部來移動，并包括用于檢測由線性馬達動力生成部輸送的對稱移動部的位置的限位開關(guān)以及/或者位置傳感器。但是，優(yōu)選上述實施例所描述的多級以及/或者單級液壓缸型動力生成部以及/或者位置調(diào)整夾具部，在可分步驟地正確控制位置的情況下，使用多級以及/或者單級液壓缸型驅(qū)動裝置。
而且，在上述多種玻璃襯底檢查裝置的買施例中，分別描述了安裝在平臺上的情況和安裝在主工作臺上的情況，但是，也可以是結(jié)合該兩種情況加以實施等，在包括動力生成部、位置調(diào)整支撐部、位置調(diào)整夾具部、以及用于控制它們的控制部的范圍內(nèi)，可以進行本發(fā)明的多種變形。
根據(jù)包括上述結(jié)構(gòu)組成的本發(fā)明，可以獲得如下效果。
第一，根據(jù)本發(fā)明的多種玻璃襯底檢查裝置是一種玻璃襯底檢查裝置，能夠?qū)Χ喾N尺寸的玻璃襯底做表面檢查，因此可以將高價格裝備的利用率最大化。
第二，根據(jù)本發(fā)明的多種玻璃襯底檢查裝置是一種玻璃襯底檢查裝置，能夠?qū)Χ喾N尺寸的玻璃襯底做表面檢查，所以可以免除必須根據(jù)放入的玻璃襯底尺寸替換主工作臺的煩瑣工序，具有節(jié)減工序時間提高生產(chǎn)性的效果。
第三，根據(jù)本發(fā)明的多種玻璃襯底檢查裝置，具有單級以及/或者多級液壓缸型動力生成部、以及位置調(diào)整夾具部，從而能夠?qū)ΣＡбr底進行正確的位置控制及排列。
第四，根據(jù)本發(fā)明的多種玻璃襯底檢查裝置，能夠不管放入的玻璃襯底的橫縱方向而進行玻璃襯底的位置調(diào)整及排列，可以適應(yīng)快速檢查多種尺寸的玻璃襯底的要求。
根據(jù)本發(fā)明的多種玻璃襯底檢查裝置，能夠用于檢查在多種尺寸圖的玻璃襯底上形成的損傷和缺陷，多種尺寸圖的玻璃襯底被用于PDP、TFT-LCD、有機EL等這樣的平面顯示裝置。
符號說明110 平臺120 控制部200、520 動力生成部210 流體動作部220 動力生成驅(qū)動部300、530 位置調(diào)整支撐部310 對稱移動部320 導(dǎo)軌部(rail part)330 傳動帶部(belt part)400、540 位置調(diào)整夾具部410 夾具部主體(clamping part body)420 夾具部拉伸裝置(clamping part extension means)430、543 夾具(clamper)500 主工作臺(main stage)510 主工作臺框架(main stage frame)
531 移動桿(moving bar)541 調(diào)準(zhǔn)裝置(alignment means)542 調(diào)準(zhǔn)桿(alignment bar)
權(quán)利要求
1.一種多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于包括主工作臺，配置在平臺的上部，包括可安置玻璃襯底的主工作臺框架；不少于一個的動力生成部，生成用于調(diào)整所述玻璃襯底的位置的動力；位置調(diào)整支撐部，連接于所述動力生成部，由所述動力生成部進行移送；位置調(diào)整夾具部，安裝在所述位置調(diào)整支撐部上，用于夾住所述玻璃襯底的邊緣并調(diào)整所述玻璃襯底的位置；及控制部，根據(jù)輸入的所述玻璃襯底的尺寸信息，判斷所述玻璃襯底的尺寸，從而控制所述動力生成部以及所述位置調(diào)整夾具部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述動力生成部配置在所述平臺的上面；所述位置調(diào)整支撐部包括不少于兩個的對稱移動部，連接于所述動力生成部的至少一個對稱移動部和至少另一個對稱移動部相對，同時遠離或靠近地平行移動；所述位置調(diào)整夾具部安裝在所述對稱移動部的上部，通過開啟信號被垂直豎立，并夾住所述玻璃襯底的邊緣，通過關(guān)閉信號被傾斜成規(guī)定的角度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述位置調(diào)整支撐部包括具有相對并可同時遠離或靠近的兩個對稱移動部的多個對稱移動部對；所述各對稱移動部對所包括的兩個對稱移動部被配置在同一條線上，多個對稱移動部對相互平行地配置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述動力生成部包括流體動作部，提供及容納工作流體；動力生成液壓缸，連接于所述流體動作部，并包括所述工作流體流入或流出的不少于一個的動力生成流出流入口；及動力生成液壓缸驅(qū)動部，包括動力生成活塞，所述動力生成活塞配置在所述動力生成液壓缸內(nèi)，通過所述工作流體可以拉伸或壓縮，且一端連接于位置調(diào)整支撐部，所述工作流體根據(jù)所述動力生成流出流入口的選擇，有選擇性地被提供給所述動力生成液壓缸內(nèi)部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述位置調(diào)整支撐部還包括不少于一個的導(dǎo)軌部，設(shè)置在平臺的一表面上，與所述各對稱移動部的一端卡合，并引導(dǎo)所述各對稱移動部；及傳動帶部，所述傳動帶部包括不少于兩個的皮帶輪，所述皮帶輪在所述平臺的一表面上，可轉(zhuǎn)動地安裝在與所述各對稱移動部對平行的平行線上，其中心軸平行于所述平臺，并垂直于所述各對稱移動部對的行進方向；傳動帶，通過所述皮帶輪保持成至少兩端的內(nèi)側(cè)面可運動；在所述各對稱移動部對所包括的兩個對稱移動部中，只有一個連接于所述流體動作部，在所述各對稱移動部對中，各對稱移動部與所述傳動帶連接，且不與所述傳動帶在同一層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于在所述皮帶輪的外周面上形成凹槽部及突出部中的一個，在所述傳動帶的內(nèi)側(cè)面，形成與所述皮帶輪的外周面對應(yīng)的各凹槽部及突出部中的另一個，所述皮帶輪的外周面與所述傳動帶的內(nèi)側(cè)面相互卡合。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述傳動帶部還包括不少于一個的張緊輪，所述張緊輪在所述平臺的上表面上，與所述傳動帶配置在同一條線上，對所述傳動帶的外側(cè)面進行面加壓。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多種玻璃襯底檢查裝置，所述位置調(diào)整夾具部包括夾具部主體，一端可旋轉(zhuǎn)地連接于所述對稱移動部上面；夾具拉伸裝置，一端可旋轉(zhuǎn)地連接于所述對稱移動部上面，另一端可旋轉(zhuǎn)地連接于所述夾具部主體的前端，根據(jù)拉伸與否，或使所述夾具部主體垂直于所述平臺的一表面豎立，或以規(guī)定的角度傾斜；及夾具，在夾具部主體垂直于所述平臺一表面豎立時，與所述玻璃襯底的邊緣的側(cè)面相接觸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述夾具部拉伸裝置包括夾具部液壓缸，包括液體流出流入的夾具部流出流入口；夾具部活塞，內(nèi)置于所述液壓缸內(nèi)，通過利用所述夾具部流出流入口流動的工作流體而拉伸或壓縮；所述夾具部液壓缸的一端可旋轉(zhuǎn)地安裝在所述對稱移動部的一表面上，所述夾具部活塞的一端可旋轉(zhuǎn)地連接在夾具部主體的前端。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述夾具包括PEEK。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于在所述夾具的至少與所述玻璃襯底接觸的部分包括夾具襯墊。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于在所述夾具的面對所述玻璃襯底邊緣的剖面上包括夾具襯墊的插入槽，所述夾具襯墊可拆卸地安裝在所述夾具襯墊的插入槽內(nèi)。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述夾具襯墊為無靜電襯墊。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述無靜電襯墊包括膠合板以及氯丁合成橡膠。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述動力生成部配置在所述主工作臺框架上；所述位置調(diào)整支撐部分別配置在所述主工作臺框架的各邊上，并且包括垂直于所述主工作臺框架的各邊、可在內(nèi)側(cè)移動的移動桿；所述位置調(diào)整夾具部安裝在所述移動桿上。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述位置調(diào)整支撐部還包括移動桿導(dǎo)桿，用于引導(dǎo)所述移動桿的移動，并配置在垂直于所述主工作臺框架的邊的方向上；在所述移動桿的一側(cè)還包括與所述移動桿導(dǎo)桿卡合的移動桿導(dǎo)桿卡合部。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述位置調(diào)整夾具部包括不少于一個的調(diào)準(zhǔn)裝置，安裝在所述移動桿上；及夾具，依靠所述調(diào)準(zhǔn)裝置移動，并接觸所述玻璃襯底邊緣的側(cè)面。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述位置調(diào)整夾具部還包括調(diào)準(zhǔn)桿，所述調(diào)準(zhǔn)桿的一端連接在所述調(diào)準(zhǔn)裝置上，而另一端則連接在所述夾具上。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述位置調(diào)整夾具部還包括調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿，為引導(dǎo)所述調(diào)準(zhǔn)桿的移動，配置在垂直于所述主工作臺框架的邊的方向上；在所述調(diào)準(zhǔn)桿的一側(cè)包括與所述調(diào)準(zhǔn)桿卡合的調(diào)準(zhǔn)桿導(dǎo)桿卡合部。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述夾具包括PEEK。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于在所述夾具的至少與所述玻璃襯底接觸的部分包括夾具襯墊。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于在所述夾具的面對所述玻璃襯底邊緣的剖面上包括夾具襯墊的插入槽，所述夾具襯墊可拆卸地安裝在所述夾具襯墊的插入槽內(nèi)。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述夾具襯墊為無靜電襯墊。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的多種玻璃襯底檢查裝置，其特征在于所述無靜電襯墊包括膠合板及氯丁合成橡膠。
25.一種多種玻璃襯底檢查方法，其特征在于在使用根據(jù)權(quán)利要求1所述的多種玻璃襯底檢查裝置檢查玻璃襯底的多種玻璃襯底檢查方法中，包括以下步驟將所述玻璃襯底的尺寸信息信號輸入到所述控制部；所述控制部將所述輸入的玻璃襯底的尺寸信息信號與預(yù)先設(shè)定的玻璃襯底的尺寸信息信號比較，判斷所述玻璃襯底的尺寸；根據(jù)所述玻璃襯底的尺寸，輸出用于調(diào)整所述玻璃襯底位置的控制信號；及根據(jù)所述控制部輸出的控制信號，調(diào)整配置在所述主工作臺上的玻璃襯底的位置。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的多種玻璃襯底檢查方法，其特征在于調(diào)整配置在所述主工作臺上的玻璃襯底的位置的步驟包括當(dāng)所述玻璃襯底的尺寸符合預(yù)先設(shè)定的某個尺寸時，使所述動力生成部動作，并使所述對稱移動部移動到規(guī)定的位置；向安裝在所述對稱移動部的上表面上的所述位置調(diào)整夾具部輸入開啟信號，從而所述位置調(diào)整夾具部夾住所述玻璃襯底的邊緣；通過所述動力生成部，調(diào)整被安裝在所述對稱移動部上的所述位置調(diào)整夾具部的位置；及向所述位置調(diào)整夾具部輸入關(guān)閉信號，使所述位置調(diào)整夾具部從所述玻璃襯底上分離后隔開。
全文摘要
本發(fā)明披露一種可對多種尺寸的玻璃襯底進行檢查的多種玻璃襯底檢查的技術(shù)。本發(fā)明包括主工作臺，配置在平臺的上部，包括可安置玻璃襯底的主工作臺框架；不少于一個的動力生成部，生成用于調(diào)整玻璃襯底位置的動力；位置調(diào)整支撐部，連接于動力生成部，并由動力生成部進行移送；位置調(diào)整夾具部，安裝在位置調(diào)整支撐部上、用于夾住玻璃襯底的邊緣并調(diào)整玻璃襯底的位置；控制部，根據(jù)輸入的玻璃襯底的尺寸信息，判斷玻璃襯底的尺寸，從而控制動力生成部以及位置調(diào)整夾具部。
文檔編號G01N21/84GK1727880SQ200510000359
公開日2006年2月1日 申請日期2005年1月10日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月28日
發(fā)明者樸魯宣, 李相薰, 金鉉洙 申請人:De & T 株式會社