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      圓度測(cè)量系統(tǒng)及方法

      文檔序號(hào):6098825閱讀:968來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:圓度測(cè)量系統(tǒng)及方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明是關(guān)于一種測(cè)量系統(tǒng)及方法,特別是關(guān)于一種圓度測(cè)量系統(tǒng)及方法。
      背景技術(shù)
      隨著3C產(chǎn)品小型化、輕型化的發(fā)展趨勢(shì),在制造3C產(chǎn)品時(shí),對(duì)于精密模具、精密加工技術(shù)的要求急速提升,然而在主軸高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),常因主軸本身軸承的摩擦或偏心,影響軸對(duì)稱工件的圓度公差。
      圓度公差系一種科學(xué)評(píng)定零件表面質(zhì)量的公差,現(xiàn)有技術(shù)中,傳統(tǒng)圓度的測(cè)量有兩種方法,一種是用旋轉(zhuǎn)式圓度儀測(cè)量,另一種是用V形塊測(cè)量。旋轉(zhuǎn)式圓度儀要求一個(gè)高精度值基準(zhǔn)軸系作為基準(zhǔn),制造成本很高,因此,旋轉(zhuǎn)式圓度儀價(jià)格昂貴,同時(shí)對(duì)被測(cè)工件的限制較多,許多對(duì)圓度公差有較高要求的零件,如大、長(zhǎng)軸,不能于轉(zhuǎn)軸式圓度儀上測(cè)量。現(xiàn)有技術(shù)中的V形塊測(cè)量法,通常測(cè)頭設(shè)置于V形塊的夾角平分線上,然后通過(guò)測(cè)頭的最大、最少讀數(shù)差來(lái)估計(jì)零件的圓度誤差。然而,此種測(cè)量方法存在較大的測(cè)量誤差。
      此外,還有一種圓度測(cè)量方法是利用接觸式探針進(jìn)行測(cè)量,但接觸式探針會(huì)與待測(cè)工件相接觸產(chǎn)生摩擦,使工件表面會(huì)因摩擦而導(dǎo)致受損,此外,某些材質(zhì)較軟的工件無(wú)法以接觸式探針測(cè)量。

      發(fā)明內(nèi)容鑒于以上內(nèi)容,有必要提供一種測(cè)量準(zhǔn)確、適用于精密測(cè)量的圓度測(cè)量系統(tǒng)及方法。
      一種圓度測(cè)量系統(tǒng),用以對(duì)一待測(cè)工件圓度進(jìn)行測(cè)量,該測(cè)量系統(tǒng)包括一激光光源系統(tǒng)、一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置及一感測(cè)系統(tǒng),其中該激光光源系統(tǒng)可發(fā)射一激光光束,該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置用以安裝該待測(cè)工件,且工件的軸線與激光光束相互垂直,該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置設(shè)置于激光光源系統(tǒng)與感測(cè)系統(tǒng)之間。
      一種圓度測(cè)量方法,用以對(duì)一待測(cè)工件圓度進(jìn)行測(cè)量,該方法主要包括以下步驟提供一種圓度測(cè)量系統(tǒng),該測(cè)量系統(tǒng)包括一激光光源系統(tǒng)、一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置及一感測(cè)系統(tǒng),該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置設(shè)置于激光光源系統(tǒng)與感測(cè)系統(tǒng)之間;將被測(cè)工件裝于轉(zhuǎn)動(dòng)裝置上;開(kāi)啟激光光源系統(tǒng),使其對(duì)被測(cè)工件發(fā)射激光光束,且工件的軸線與激光光束相互垂直;使轉(zhuǎn)動(dòng)裝置帶動(dòng)被測(cè)工件轉(zhuǎn)動(dòng);開(kāi)啟感測(cè)系統(tǒng),感測(cè)系統(tǒng)感測(cè)激光光強(qiáng)度信號(hào),并測(cè)出被測(cè)工件的圓度。
      相對(duì)現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明圓度測(cè)量系統(tǒng)與方法中,工件始終不接觸測(cè)量系統(tǒng),可避免使工件表面會(huì)因摩擦而導(dǎo)致受損,另外,利用激光進(jìn)行精確與快速的測(cè)量,因此大大提高測(cè)量精度和效率。

      圖1是本發(fā)圓度測(cè)量系統(tǒng)示意圖;圖2是本發(fā)圓度測(cè)量系統(tǒng)的激光光源系統(tǒng)示意圖;圖3是圓度掃描示意圖;圖4是高斯激光光束的場(chǎng)分布特性圖;圖5(A)圖是高斯光束的光強(qiáng)度分布曲線圖;圖5(B)圖是高斯光束的光強(qiáng)度積分區(qū)域示意圖。
      具體實(shí)施方式請(qǐng)參閱圖1及圖2,本發(fā)明較佳實(shí)施例的圓度測(cè)量系統(tǒng)10,該圓度測(cè)量系統(tǒng)10包括一激光光源系統(tǒng)101、一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置(圖未示)及一感測(cè)系統(tǒng)102。激光光源系統(tǒng)101由激光光源1011與若干透鏡1022構(gòu)成,其可發(fā)射一平行的激光光束103。該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置設(shè)置于激光光源系統(tǒng)101與感測(cè)系統(tǒng)102之間,該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置上可安裝一需要進(jìn)行圓度測(cè)量的工件104,且工件104的軸線與激光光束103相互垂直。感測(cè)系統(tǒng)102包括一傳感器1021、一信息處理模塊(圖未示)及一顯示界面(圖未示),信息處理模塊內(nèi)建立有一光強(qiáng)度信號(hào)與圓度轉(zhuǎn)化關(guān)系的數(shù)據(jù)庫(kù),傳感器1021感測(cè)的光強(qiáng)度信號(hào)可經(jīng)信息處理模塊處理后選擇性地顯示于顯示界面上。
      測(cè)量被測(cè)工件104的圓度時(shí),將被測(cè)工件104裝于轉(zhuǎn)動(dòng)裝置上;開(kāi)啟激光光源系統(tǒng)101,使其對(duì)被測(cè)工件104發(fā)射激光光束103;使轉(zhuǎn)動(dòng)裝置帶動(dòng)被測(cè)工件104以其軸心線為轉(zhuǎn)軸沿順時(shí)針或者逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng);緊接開(kāi)啟感測(cè)系統(tǒng)102,感測(cè)系統(tǒng)102感測(cè)激光光強(qiáng)度信號(hào),并測(cè)出被測(cè)工件104的圓度。
      請(qǐng)參圖3至圖5,所述圓度測(cè)量方法是應(yīng)用激光刀緣法原理,以下就本圓度測(cè)量方法的實(shí)現(xiàn)原理進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。當(dāng)激光以基本的橫向電磁模態(tài)震蕩,則產(chǎn)生的光束強(qiáng)度為高斯空間分布形態(tài),這樣的激光光束103稱為高斯光束,其電場(chǎng)分布,如圖3所示,若以數(shù)學(xué)模型來(lái)表示,則可寫(xiě)成E(r,z)=E0W0W(z)&times;exp(-r2W2(z))---(a)]]>
      &times;exp{-j[kz-tan(zzR)]}---(b)]]>&times;exp[-jkr22R(z)]---(c)]]>上式等號(hào)后第一項(xiàng)(a)為一振幅因子(Amplitude factor),其表示振幅r值而改變的關(guān)系;而第二項(xiàng)(b)為光波沿軸向(longitudinal)z的相位變化關(guān)系;第三項(xiàng)(c)則為表示光波沿徑向(Radial)r的相位變化關(guān)系。
      其中,r=(x2+y2)0.5,W0為束腰半徑(Beam waist radius),E0為束腰處的電場(chǎng)強(qiáng)度,λ為波長(zhǎng),j為虛數(shù)符號(hào)。在束腰處的平面上,光波波前(Wave front)的曲率半徑R(0)→∞,為一平面且光束的直徑最小。W(z)和R(z)分別為距束腰半徑(Beam waist)距離為z的平面上的光點(diǎn)半徑(Spot size或Beamsize)及其波前的曲率半徑,且波數(shù)k=2&pi;&lambda;,]]>若把原點(diǎn)(z=0)設(shè)于腰部則W(z)=W0[1+(&lambda;z&pi;W02)2]1/2=W0[1+(zzR)2]1/2---(Eq-2)]]>R(z)=[1+(&pi;W02&lambda;z)2]=z[1+(ZRZ)2]---(Eq-3)]]>上式中,ZR=&pi;W02&lambda;]]>定義為雷利范圍(Rayleigh range),束腰(Waist)處距離為ZR(Z=ZR)的平面上,其光點(diǎn)面積正好為束腰面積(Waist area)的兩倍[W(zR)=W0],且其波曲率半徑R為最小。
      當(dāng)光束傳播距離z>>ZR時(shí),R≈z,W&ap;&lambda;z&pi;W0,]]>高斯光束近似一位于腰部的點(diǎn)光源發(fā)出的光,其法發(fā)散角(Divergence angle)可近似為&theta;=dW(z)dz=W0ZR=&lambda;&pi;W0---(Eq-4)]]>由此可見(jiàn)W0及λ決定了高斯光束的所有性質(zhì)。
      由于光波的電場(chǎng)變化甚快,故于檢測(cè)上皆以光強(qiáng)度的方式處理。而通常檢測(cè)系統(tǒng)系檢測(cè)到光的強(qiáng)度分布而不是振幅,因此由(Eq-1)式和其公軛復(fù)數(shù)相乘而得光的強(qiáng)度分布,以直角坐標(biāo)表的如下I=E·E*
      =I0exp{-2[(x-x0)2+(y-y0)2W2}---(Eq-5)]]>其中x0,y0是光束的中心;I0=Imax為光束中心點(diǎn)的光強(qiáng)度;W為光束截面半徑(spot size或beam size),是高斯光束的半徑,定義成光強(qiáng)度I0自中心點(diǎn)向兩邊降至I0的e-2(約為0.1353倍)時(shí),兩點(diǎn)間跨越距離的一半。
      請(qǐng)同時(shí)參閱圖1與圖4,假定掃描的方向是x軸,則未被待測(cè)圓度工件104遮末的部分激光光束103,經(jīng)由傳感器1021所接受的光強(qiáng)度信號(hào)為S(xa)=&Integral;-&infin;&infin;&Integral;xa&infin;I(x,y)dxdy]]>=&Integral;-&infin;&infin;&Integral;xa&infin;I0exp{-2[(x-x0)2+(y-y0)2]W2}dxdy---(Eq-6)]]>=I0(&pi;W22)12&Integral;xa&infin;exp{-2(x-x0)2W2}dx]]>其中xa為工件邊緣于x坐標(biāo)軸所在位置。
      由上式(Eq-6)可得到整個(gè)激光光束區(qū)域的光強(qiáng)度分布曲線如圖5(A)所示。今考慮兩個(gè)位置的相應(yīng)差值,也即xk與xk+Δx所對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)度信號(hào)差為SA(xk)-SB(xk+&Delta;x)=&Integral;-&infin;&infin;&Integral;xk-&Delta;xxkI(x,y)dxdy---(Eq-7)]]>上式(Eq-7)乃的結(jié)果相當(dāng)于圖5(B)中類似狹縫區(qū)域部分的光強(qiáng)度作積分。
      若將S(xa)除上激光總能量引起的信號(hào)S(∞);即全部激光光束103未被遮斷(xa→-∞)的總能量信號(hào),則可將S(xa)做正規(guī)化處理,得一無(wú)因次量光強(qiáng)度信號(hào),抵抗因環(huán)境撓動(dòng)造成量測(cè)信號(hào)的變化為S&OverBar;(xa)=S(xa)S(&infin;)=(2&pi;&omega;2)12&Integral;xa&infin;exp[-2(x-x0)&omega;]dx---(Eq-8)]]>通過(guò)以上數(shù)學(xué)模型,可將傳感器1021所感測(cè)光強(qiáng)度信號(hào)換算出所測(cè)工件的圓度,從而建立一光強(qiáng)度信號(hào)與圓度相對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)庫(kù),這樣可方便圓度測(cè)量。
      權(quán)利要求
      1.一種圓度測(cè)量系統(tǒng),用以對(duì)一待測(cè)工件圓度進(jìn)行測(cè)量,其特征在于該測(cè)量系統(tǒng)包括一激光光源系統(tǒng)、一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置及一感測(cè)系統(tǒng),其中該激光光源系統(tǒng)可發(fā)射一激光光束,該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置設(shè)置于激光光源系統(tǒng)與感測(cè)系統(tǒng)之間,用以安裝該待測(cè)工件,且工件的軸線與激光光束相互垂直。
      2.如權(quán)利要求1所述的圓度測(cè)量系統(tǒng),其特征在于該激光光束為高斯光束。
      3.如權(quán)利要求1所述的圓度測(cè)量系統(tǒng),其特征在于該激光光束為平行光束。
      4.如權(quán)利要求1所述的圓度測(cè)量系統(tǒng),其特征在于該激光光源系統(tǒng)由激光光源與若干透鏡構(gòu)成。
      5.如權(quán)利要求1所述的圓度測(cè)量系統(tǒng),其特征在于該感測(cè)系統(tǒng)包括一傳感器、一信息處理模塊及一顯示界面,傳感器所感測(cè)的光強(qiáng)度信號(hào)可經(jīng)信息處理模塊處理后顯示于顯示界面上。
      6.一種圓度測(cè)量方法,用以對(duì)一待測(cè)工件圓度進(jìn)行測(cè)量,其特征在于包括以下步驟提供一種圓度測(cè)量系統(tǒng),該測(cè)量系統(tǒng)包括一激光光源系統(tǒng)、一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置及一感測(cè)系統(tǒng),該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置設(shè)置于激光光源系統(tǒng)與感測(cè)系統(tǒng)之間;將被測(cè)工件裝于轉(zhuǎn)動(dòng)裝置上;開(kāi)啟激光光源系統(tǒng),使其對(duì)被測(cè)工件發(fā)射激光光束,且工件的軸線與激光光束相互垂直;使轉(zhuǎn)動(dòng)裝置帶動(dòng)被測(cè)工件轉(zhuǎn)動(dòng);開(kāi)啟感測(cè)系統(tǒng),感測(cè)系統(tǒng)感測(cè)激光光強(qiáng)度信號(hào),并測(cè)出被測(cè)工件的圓度。
      7.如權(quán)利要求6所述的圓度測(cè)量方法,其特征在于該激光光束為高斯光束。
      8.如權(quán)利要求6所述的圓度測(cè)量方法,其特征在于該激光光束為平行光束。
      9.如權(quán)利要求6所述的圓度測(cè)量方法,其特征在于該激光光源系統(tǒng)由激光光源與若干透鏡構(gòu)成。
      10.如權(quán)利要求6所述的圓度測(cè)量方法,其特征在于該感測(cè)系統(tǒng)包括一傳感器、一信息處理模塊及一顯示界面,傳感器所感測(cè)的光強(qiáng)度信號(hào)可經(jīng)信息處理模塊處理后顯示于顯示界面上。
      全文摘要
      本發(fā)明提供一種圓度測(cè)量系統(tǒng)及方法,該測(cè)量系統(tǒng)包括一激光光源系統(tǒng)、一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置及一感測(cè)系統(tǒng),其中該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置設(shè)置于激光光源系統(tǒng)與感測(cè)系統(tǒng)之間,該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置上可安裝一需要進(jìn)行圓度測(cè)量的工件,激光光源系統(tǒng)可發(fā)射一激光光束,且工件的軸線與激光光束相互垂直。該圓度測(cè)量方法包括以下步驟提供一種所述圓度測(cè)量系統(tǒng)及一被測(cè)工件;接著將被測(cè)工件裝于轉(zhuǎn)動(dòng)裝置上;開(kāi)啟激光光源系統(tǒng),使其對(duì)被測(cè)工件發(fā)射激光光束;使轉(zhuǎn)動(dòng)裝置帶動(dòng)被測(cè)工件轉(zhuǎn)動(dòng);緊接開(kāi)啟感測(cè)系統(tǒng),感測(cè)系統(tǒng)感測(cè)激光光強(qiáng)度信號(hào),并測(cè)出被測(cè)工件的圓度。利用激光進(jìn)行精確與快速測(cè)量,可大大提高測(cè)量精度和效率。
      文檔編號(hào)G01B11/24GK1884965SQ20051003555
      公開(kāi)日2006年12月27日 申請(qǐng)日期2005年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月24日
      發(fā)明者簡(jiǎn)揚(yáng)昌 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司
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