專利名稱：光學(xué)測(cè)量方法及光學(xué)測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)測(cè)量方法及光學(xué)測(cè)量裝置。更詳細(xì)地說(shuō)，涉及這樣一種光學(xué)測(cè)量方法及光學(xué)測(cè)量裝置，其適用于在測(cè)量玻璃板等的檢測(cè)對(duì)象中、存在因表面特性而引起的噪聲并且該噪聲的分布不規(guī)則的檢測(cè)對(duì)象。
背景技術(shù)：
作為光學(xué)測(cè)量方法之一，有例如日本特開(kāi)2002-8444號(hào)公報(bào)所公開(kāi)的使用預(yù)定的閾值的方法。通過(guò)使用這種方法，能夠?qū)崿F(xiàn)檢測(cè)出附著在用于液晶板等玻璃板上的不潔物等異物的異物檢測(cè)裝置。
圖6為使用了現(xiàn)有光學(xué)測(cè)量方法的異物檢測(cè)裝置5的原理圖，圖7為表示圖6中的異物IB引起的散射光的強(qiáng)度信號(hào)S1與閾值T0之間的關(guān)系的圖。圖7的上部表示在玻璃板GL上存在包含異物IBa、IBb的4個(gè)異物，圖7下部的曲線表示圖7上部L0線中的光強(qiáng)度信號(hào)S1。如圖6所示，異物檢測(cè)裝置5具有使光照射到作為檢測(cè)對(duì)象的玻璃板GL上的射光器件51，能夠接受射光器件51照射的光中在玻璃板GL上被散射的散射光、最終變換成二維散射光強(qiáng)度信號(hào)S1的受光器件53，以及將散射光強(qiáng)度信號(hào)S1與預(yù)定的閾值T0進(jìn)行比較的比較器件63。
如果采用異物檢測(cè)裝置5，當(dāng)玻璃板GL上附著有異物IB時(shí)，射光器件51照射的光被異物IB散射成散射光。散射光的一部分被受光器件53接收，變換成散射光強(qiáng)度信號(hào)S1。散射光的強(qiáng)度信號(hào)S1被A/D變換器61A/D變換后在比較器件63中與預(yù)定的閾值T0進(jìn)行比較，如圖7(A)所示那樣，僅在比閾值T0大的情況下輸出異物信號(hào)SB。這一處理在整個(gè)玻璃板GL的二維表面上進(jìn)行。由此可以知道在玻璃板GL上與異物信號(hào)SB的像素相對(duì)應(yīng)的位置附著有異物IB。并且，還可以根據(jù)異物信號(hào)SB的總強(qiáng)度知道異物IB的大小。
日本特開(kāi)2002-8444號(hào)公報(bào)但是，作為檢查對(duì)象的玻璃板GL上一般存在大小為作為檢測(cè)對(duì)象的異物的大小的1/2到1/10左右及其以下的微小的疵點(diǎn)、突起物、其表面的粗糙度等，這些表面特性都會(huì)引起噪聲。這種噪聲隨位置或時(shí)間的不同其大小不一地變動(dòng)。在存在這種變動(dòng)的噪聲的情況下，存在上述異物檢測(cè)裝置5的檢測(cè)精度不好的問(wèn)題。
例如，在圖7(A)那樣的表面特性引起的噪聲SN小且一定的情況下，2個(gè)異物IBa、IBb引起的散射光的強(qiáng)度信號(hào)SBa、SBb可以通過(guò)比較光強(qiáng)度信號(hào)S1(＝SB+SN)與預(yù)定的閾值T0良好地檢測(cè)到。但是，在圖7(B)那樣噪聲SN不一定、存在分布的情況下，即使能夠通過(guò)設(shè)定閾值T0檢測(cè)到左側(cè)異物IBa，但在存在像右側(cè)的異物IBb那樣比較小的噪聲SN的位置附著有異物IB的情況下，由于其散射光的強(qiáng)度信號(hào)S1(＝SBb+SN)未超過(guò)上述閾值T0，因此不能檢測(cè)到異物IBb。
而且，由于該噪聲的分布在作為檢查對(duì)象的玻璃板GL的面內(nèi)隨位置不同而異，而且不同的玻璃板GL也不同，所以很難用共同的值設(shè)定各自的預(yù)定的閾值T0。用于平板顯示的玻璃板大多數(shù)情況下被覆有金屬膜等，特別是在這樣的情況下，表面的粗糙度等引起噪聲而檢測(cè)精度顯著惡化。因此，希望要有不管檢查對(duì)象的表面特性如何都能夠達(dá)到良好的檢測(cè)精度的異物檢測(cè)裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述問(wèn)題，目的是要提供一種能夠避免檢查對(duì)象的表面特性引起噪聲使測(cè)量精度惡化的光學(xué)測(cè)量方法及光學(xué)測(cè)量裝置。
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的第1方案為如圖1、2所示那樣的用來(lái)光學(xué)地測(cè)量檢查對(duì)象GL的表面狀態(tài)IB的光學(xué)測(cè)量方法，將光照射到上述檢查對(duì)象GL上，接受從上述檢查對(duì)象GL獲得的光最終變換成二維光強(qiáng)度信號(hào)S1，從上述光強(qiáng)度信號(hào)S1中將測(cè)量上述表面狀態(tài)IB時(shí)必需的信號(hào)即關(guān)注信號(hào)SB與測(cè)量上述表面狀態(tài)時(shí)不需要的信號(hào)即噪聲信號(hào)SN分離，由此僅抽出關(guān)注信號(hào)SB，將抽出的關(guān)注信號(hào)SB與預(yù)定的閾值T1進(jìn)行比較。
本發(fā)明的第2方案為如圖2(B)、2(C)所示抽出作為存在上述關(guān)注信號(hào)SB的像素即關(guān)注像素40，從抽出的上述關(guān)注像素40的光強(qiáng)度信號(hào)中除去該關(guān)注像素40中的噪聲信號(hào)SN，由此抽出上述關(guān)注信號(hào)SB。
本發(fā)明的第3方案為如圖3、4所示預(yù)先將第1參數(shù)P1和第2參數(shù)P2存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元31中，對(duì)相鄰像素的光強(qiáng)度信號(hào)S1依次進(jìn)行差分處理，通過(guò)比較該相鄰像素間的差分值與第1參數(shù)P1的大小來(lái)識(shí)別關(guān)注像素40的一端42的像素，然后通過(guò)比較相鄰像素間的差分值與第2參數(shù)P2的大小來(lái)識(shí)別關(guān)注像素40的另一端44的像素，由此識(shí)別關(guān)注像素40的位置，根據(jù)識(shí)別的關(guān)注像素40兩端42、44的光強(qiáng)度信號(hào)插值噪聲信號(hào)SN，從各關(guān)注像素40的光強(qiáng)度信號(hào)中除去插值得到的噪聲信號(hào)SN。
本發(fā)明的第4方案為在識(shí)別關(guān)注像素的一端42后不能識(shí)別關(guān)注像素40的另一端44的情況下，可以實(shí)施以下處理中的任何一個(gè)處理強(qiáng)制地將離上述一端42預(yù)定像素寬度的位置作為另一端44，或者認(rèn)為從上述一端42開(kāi)始不能識(shí)別。
本發(fā)明的第5方案為用來(lái)光學(xué)地測(cè)量檢查對(duì)象GL的表面狀態(tài)IB的光學(xué)測(cè)量裝置1，包括以下器件將光照射到上述檢查對(duì)象GL上的射光器件11，可以接受從上述檢查對(duì)象GL獲得的光最終變換成二維光強(qiáng)度信號(hào)的受光器件13，通過(guò)從上述光強(qiáng)度信號(hào)S1中將測(cè)量上述表面狀態(tài)IB時(shí)必需的信號(hào)即關(guān)注信號(hào)SB與測(cè)量上述表面狀態(tài)IB時(shí)不需要的信號(hào)即噪聲信號(hào)SN分離，僅抽出關(guān)注信號(hào)SB的關(guān)注信號(hào)抽取單元30，將抽出的關(guān)注信號(hào)SB與預(yù)定的閾值T1進(jìn)行比較的比較器件23。
本發(fā)明的第6方案中上述關(guān)注信號(hào)抽取單元30具有抽出作為存在上述關(guān)注信號(hào)SB的像素即關(guān)注像素40的關(guān)注像素抽取單元32，以及通過(guò)從抽出的上述關(guān)注像素40的光強(qiáng)度信號(hào)S1中除去該關(guān)注像素40中的噪聲信號(hào)SN抽出上述關(guān)注信號(hào)SB的減去噪聲單元33。
本發(fā)明的第7方案中上述關(guān)注信號(hào)抽取單元30具有預(yù)先存儲(chǔ)有第1參數(shù)P1和第2參數(shù)P2的存儲(chǔ)單元31；上述關(guān)注像素抽取單元34對(duì)上述受光器件13獲得的相鄰像素的光強(qiáng)度信號(hào)S1依次進(jìn)行差分處理，通過(guò)比較該相鄰像素間的差分值與第1參數(shù)P1的大小來(lái)識(shí)別關(guān)注像素SB的一端42的像素，然后通過(guò)比較相鄰像素間的差分值與第2參數(shù)P2的大小來(lái)識(shí)別關(guān)注像素40的另一端44的像素，由此識(shí)別關(guān)注像素40的位置，根據(jù)識(shí)別的關(guān)注像素40兩端42、43的光強(qiáng)度信號(hào)插值噪聲信號(hào)SN；上述減去噪聲單元33從各關(guān)注像素40的光強(qiáng)度信號(hào)S1中減去插值得到的噪聲信號(hào)SN。
本發(fā)明的第8方案在上述關(guān)注像素抽取單元32在識(shí)別關(guān)注像素40的一端42后不能識(shí)別關(guān)注像素40的另一端44的情況下可以實(shí)施以下處理中的任何一個(gè)處理強(qiáng)制地將離上述一端42預(yù)定像素寬度的位置作為另一端44，或者認(rèn)為從上述一端42開(kāi)始不能識(shí)別。
本發(fā)明將光照射到檢查對(duì)象GL上，接受從上述檢查對(duì)象GL獲得的光最終變換成二維光強(qiáng)度信號(hào)S1。該光強(qiáng)度信號(hào)S1包含噪聲信號(hào)SN和關(guān)注信號(hào)SB。噪聲信號(hào)SN為基于檢查對(duì)象GL的表面特性的信號(hào)，為測(cè)量存在異物等表面狀態(tài)IB時(shí)不需要的信號(hào)。關(guān)注信號(hào)SB為被表面狀態(tài)IB散射的散射光的強(qiáng)度信號(hào)，為測(cè)量表面狀態(tài)IB時(shí)必需的信號(hào)。關(guān)注信號(hào)SB疊加在噪聲信號(hào)SN上。通過(guò)從光強(qiáng)度信號(hào)S1中將關(guān)注信號(hào)SB與噪聲信號(hào)SN分開(kāi)僅抽取關(guān)注信號(hào)SB，將抽出的關(guān)注信號(hào)SB與預(yù)定的閾值T1進(jìn)行比較。這實(shí)際如圖5所示為光強(qiáng)度信號(hào)S1與追隨噪聲信號(hào)SN的閾值T1′的比較。因此，能夠避免檢查對(duì)象的表面特性引起的噪聲使測(cè)量精度惡化。
如果采用本發(fā)明，提供一種能夠避免檢查對(duì)象的表面特性引起噪聲使測(cè)量精度惡化的光學(xué)測(cè)量方法及光學(xué)測(cè)量裝置。


圖1本發(fā)明的異物檢測(cè)裝置的原理2用來(lái)說(shuō)明運(yùn)算處理單元中的處理的3表示包含異物信號(hào)的光強(qiáng)度信號(hào)的4用來(lái)說(shuō)明異物像素抽取單元中的處理的5表示光強(qiáng)度信號(hào)與實(shí)際上的閾值的關(guān)系的6使用了現(xiàn)有光學(xué)測(cè)量方法的異物檢測(cè)裝置的原理7表示圖6所示的異物引起的散射光的強(qiáng)度信號(hào)與閾值的關(guān)系的圖實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選形態(tài)圖1為本發(fā)明的異物檢測(cè)裝置1的原理圖，圖2為用來(lái)說(shuō)明運(yùn)算處理單元20中的處理的圖，圖3為表示包含異物信號(hào)SB的光強(qiáng)度信號(hào)S1的圖，圖4為用來(lái)說(shuō)明異物像素抽取單元32中的處理的圖，圖5為表示光強(qiáng)度信號(hào)S1與實(shí)際上的閾值T1′的關(guān)系的圖。
圖1所示的異物檢測(cè)裝置1具備射光器件11、光學(xué)系統(tǒng)12、受光器件13、運(yùn)算處理單元20和顯示器件14。射光器件11的配置方式為使激光束從斜上方照射到作為檢查對(duì)象的玻璃板GL。光學(xué)系統(tǒng)12配置在玻璃板GL與受光器件13之間，具有將來(lái)自玻璃板GL的表面的散射光導(dǎo)向受光器件13的受光面的透鏡。受光器件13為可以接受該散射光最終變換成二維光強(qiáng)度信號(hào)S1的陣列傳感器相機(jī)。
運(yùn)算處理單元20包括A/D變換單元21、異物信號(hào)抽取單元30和比較器件23。當(dāng)然，A/D變換單元21也可以配置在受光器件13內(nèi)。即，受光器件13可以是輸出數(shù)字信號(hào)的所謂數(shù)字傳感器。異物信號(hào)抽取單元30包括存儲(chǔ)單元31、異物像素抽取單元32和減去噪聲單元33。存儲(chǔ)單元31預(yù)先存儲(chǔ)有第1參數(shù)P1和第2參數(shù)P2。也可以存儲(chǔ)參數(shù)ΔL、ΔR和W。有關(guān)這些參數(shù)的功能后面敘述。異物像素抽取單元32根據(jù)光強(qiáng)度信號(hào)S1檢測(cè)是否存在異物信號(hào)SB，像圖2(B)所示那樣，抽取該異物信號(hào)SB存在的像素或其區(qū)域(以下稱為“異物像素”或“異物區(qū)域”)40。另外，異物信號(hào)SB相當(dāng)于本發(fā)明關(guān)注的信號(hào)。并且，異物像素抽取單元32相當(dāng)于本發(fā)明的關(guān)注像素抽取單元。
如圖2(B)及(C)所示，減去噪聲單元33通過(guò)從抽取到的異物像素40的光強(qiáng)度信號(hào)S1中除去該異物像素40中的噪聲信號(hào)SN，來(lái)僅將異物信號(hào)SB抽出。比較器件23如圖2(D)所示那樣，將異物信號(hào)抽取單元30抽出的異物信號(hào)SB的值與預(yù)定的閾值T1進(jìn)行比較，僅在比閾值T1大時(shí)將其輸出。顯示器件14為具備CRT或液晶畫(huà)面等顯示畫(huà)面的顯示裝置，根據(jù)運(yùn)算處理單元20輸出的異物信號(hào)SB將異物IB的信息顯示在顯示畫(huà)面中。
下面詳細(xì)說(shuō)明上述結(jié)構(gòu)的異物檢測(cè)裝置1的異物檢測(cè)功能。在圖1中，射光器件11照射玻璃板GL。當(dāng)玻璃板GL上附著有異物IB時(shí)，照射光照射到異物IB上被散射。該散射光的一部分被光學(xué)系統(tǒng)12聚集導(dǎo)入受光器件13中。受光器件13將上述散射光的一部分變換成光強(qiáng)度信號(hào)S1。該光強(qiáng)度信號(hào)S1包括噪聲信號(hào)SN和異物信號(hào)SB。
這里，由于作為檢查對(duì)象的玻璃板GL的表面一般存在大小為作為檢測(cè)對(duì)象的異物IB的大小的1/2到1/10左右或其以下的微小的疵點(diǎn)、突起物、其表面的粗糙度等，這些表面特性都有可能引起噪聲。異物信號(hào)SB就是這樣的基于玻璃板GL的表面特性的信號(hào)。異物信號(hào)SB疊加在被異物IB散射的散射光的強(qiáng)度信號(hào)即噪聲信號(hào)SN上。
被輸入運(yùn)算處理單元20的模擬光強(qiáng)度信號(hào)S1在A/D變換單元21中變換成數(shù)字信號(hào)。異物像素抽取單元32識(shí)別異物信號(hào)SB的兩端，抽出夾在其中的區(qū)域作為異物像素40。具體為，對(duì)例如圖3那樣的光強(qiáng)度信號(hào)S1，在相鄰的像素間依次進(jìn)行差分處理，獲得圖4那樣的差分值ΔS1的關(guān)系。在圖4中，當(dāng)存在具有比第1參數(shù)P1大的差分值ΔS1作為上升信號(hào)的像素41時(shí)，將該像素的地址作為異物IB的左端候補(bǔ)。當(dāng)相鄰的像素連續(xù)有多個(gè)具有比第1參數(shù)P1大的差分值作為上升信號(hào)的像素時(shí)，將最右側(cè)的相素的地址作為左端候補(bǔ)。
并且，將從左端候補(bǔ)減去參數(shù)ΔL，例如1～5個(gè)相素的地址作為異物IB的左端42。通過(guò)減去參數(shù)ΔL，能夠更精確地識(shí)別異物IB的端部。接著，在存在具有比第2參數(shù)P2小的差分值作為下降信號(hào)的像素43時(shí)，將該像素43的地址作為異物IB的右端候補(bǔ)。當(dāng)在相鄰像素連續(xù)有多個(gè)具有下降比第2參數(shù)P2小的差分值作為下降信號(hào)的像素時(shí)，將最左側(cè)的相素作為左端候補(bǔ)。
并且，將在右端候補(bǔ)上加上參數(shù)ΔR，例如1～5個(gè)相素的地址作為異物IB的右端44。通過(guò)加上參數(shù)ΔR，能夠更精確地識(shí)別異物IB的端部。當(dāng)然，左端候補(bǔ)的識(shí)別可以考慮各種各樣的變形。例如，當(dāng)在相鄰的像素連續(xù)有多個(gè)具有比第1參數(shù)P1大的差分值作為上升信號(hào)的像素時(shí)，既可以作為最左側(cè)的相素也可以作為它們的中間值。對(duì)于右端候補(bǔ)也同樣。
這里，第1參數(shù)P1優(yōu)選與高頻噪聲的振幅大致相同的值。第2參數(shù)P2優(yōu)選與第1參數(shù)P1相同的值或比其小的值，更好是第1參數(shù)P1的1/2左右。第1及第2參數(shù)P1、P2可以與想要除去的高頻噪聲，例如面膜的粗細(xì)相對(duì)應(yīng)設(shè)定。參數(shù)ΔL、ΔR優(yōu)選成為檢測(cè)對(duì)象的異物IB的關(guān)注像素的端部之間的平均距離，即異物區(qū)域40的1/3左右的大小。例如，設(shè)定為P1＝10、P2＝-5、ΔL＝3、ΔR＝-3。這樣識(shí)別異物信號(hào)SB的左端42和右端44，抽出它們夾著的區(qū)域作為異物區(qū)域40。
下面執(zhí)行的是從該異物區(qū)域40的光強(qiáng)度信號(hào)S1中除去異物區(qū)域40中的噪聲信號(hào)SN的處理。將左端42的信號(hào)強(qiáng)度作為左端42的噪聲信號(hào)，同樣將右端44的信號(hào)強(qiáng)度作為右端44的噪聲信號(hào)，其間像圖3那樣進(jìn)行線性插值。這樣能夠求出異物區(qū)域40內(nèi)的噪聲信號(hào)SN，能夠求出從異物區(qū)域40內(nèi)的光強(qiáng)度信號(hào)S1減去該噪聲信號(hào)SN后的值作為異物信號(hào)SB的信號(hào)強(qiáng)度。
另外，如果在將某個(gè)地址作為異物IB的左端42之后找不到可以看成是異物IB的右端44的信號(hào)的話，可以選擇強(qiáng)制地認(rèn)為離左端42預(yù)定像素寬W(圖中沒(méi)有特別表示)的右邊存在該異物的右端，或者認(rèn)為從開(kāi)始就不存在異物IB。由此，可以避免發(fā)現(xiàn)左端42而找不到右端44的狀態(tài)?；蛘呖梢员苊庠谠O(shè)想的位置以外誤檢測(cè)到右端44。該預(yù)定像素寬度W優(yōu)選作為檢測(cè)對(duì)象的異物IB的關(guān)注像素的端部之間的平均距離，即異物區(qū)域40的平均程度的值。
并且，在假定左端42之后，在先于右端候補(bǔ)之前再次出現(xiàn)左端候補(bǔ)時(shí)的處理，可以根據(jù)其目的，選擇是忽略新的左端候補(bǔ)還是將新的左端候補(bǔ)修改成左端。而且，因異物接近地存在，2個(gè)異物區(qū)域重疊時(shí)的處理，可以根據(jù)其目的選擇是將2個(gè)異物區(qū)域分開(kāi)處理還是將2個(gè)異物區(qū)域合成一個(gè)進(jìn)行處理。由此，可以更準(zhǔn)確地檢測(cè)異物。
比較器件23將異物信號(hào)抽取單元30的處理抽出的異物信號(hào)SB的值與預(yù)定的閾值T1進(jìn)行比較，僅輸出比閾值T1大時(shí)的值。該閾值T1越小越能檢測(cè)出小的異物IB，越大越只能檢測(cè)出大的異物。即，可以說(shuō)是決定檢測(cè)靈敏度的值。通過(guò)對(duì)玻璃板GL的整個(gè)表面進(jìn)行上述處理，能夠抽出與閾值T1相對(duì)應(yīng)的異物信號(hào)SB。
比較器件23這樣地將除去了噪聲信號(hào)SN的異物信號(hào)SB的值與預(yù)定大小的閾值T1進(jìn)行比較。這實(shí)際上是如圖5所示那樣將光強(qiáng)度信號(hào)S1與追隨噪聲信號(hào)SN的閾值T1′進(jìn)行比較。因此，即使是在表面被覆了金屬膜的玻璃板GL，也能夠不受基于金屬膜的粗糙度的噪聲信號(hào)的不勻的影響，精度良好地檢測(cè)出異物。
顯示器件14將抽出的異物信號(hào)SB作為表示附著在玻璃板GL上的位置的二維圖像顯示在顯示畫(huà)面中。當(dāng)然，也可以表示異物IB的大小，每個(gè)大小的個(gè)數(shù)的分布以及附著位置的分布等。而且，也可以與此完全相反地表示噪聲的分布。即，可以知道玻璃板GL的粗糙度的分布。
在以上實(shí)施形態(tài)中，異物檢測(cè)裝置1的整個(gè)或其各零部件的構(gòu)成、結(jié)構(gòu)、個(gè)數(shù)等，以及運(yùn)算處理單元20中的處理內(nèi)容和處理順序等，可以根據(jù)本發(fā)明的宗旨進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兏?。雖然上述運(yùn)算處理單元20對(duì)相鄰的像素進(jìn)行差分處理等上述處理，但不是相鄰的像素之間而是跳過(guò)一二個(gè)像素的像素之間也可以進(jìn)行上述處理。因此本發(fā)明的“相鄰像素”包括“相近像素”的意思。并且，當(dāng)然也可以用更加復(fù)雜的低通濾波取代差分處理。并且，本發(fā)明不局限于異物檢測(cè)裝置，也可以適用于其他用途的光學(xué)測(cè)量裝置。例如，可以適用于缺陷檢查裝置、突起高度測(cè)量裝置、三維形狀測(cè)量裝置、膜厚測(cè)量裝置、粗糙度測(cè)量裝置、圖案識(shí)別裝置及寬度測(cè)量裝置等。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)地測(cè)量檢查對(duì)象的表面狀態(tài)的光學(xué)測(cè)量方法，其特征在于，將光照射到上述檢查對(duì)象上，接受從上述檢查對(duì)象獲得的光，最終變換成二維光強(qiáng)度信號(hào)，從上述光強(qiáng)度信號(hào)中將測(cè)量上述表面狀態(tài)時(shí)必需的信號(hào)即關(guān)注信號(hào)與測(cè)量上述表面狀態(tài)時(shí)不需要的信號(hào)即噪聲信號(hào)分離，由此僅抽出關(guān)注信號(hào)，將抽出的關(guān)注信號(hào)與預(yù)定的閾值進(jìn)行比較。
2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)量方法，抽出作為存在上述關(guān)注信號(hào)的像素即關(guān)注像素，從抽出的上述關(guān)注像素的光強(qiáng)度信號(hào)中除去該關(guān)注像素中的噪聲信號(hào)，由此抽出上述關(guān)注信號(hào)。
3.如權(quán)利要求2所述的光學(xué)測(cè)量方法，預(yù)先將第1參數(shù)和第2參數(shù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元中，對(duì)相鄰的像素的光強(qiáng)度信號(hào)依次進(jìn)行差分處理，通過(guò)比較該相鄰的像素間的差分值與第1參數(shù)的大小，來(lái)識(shí)別關(guān)注像素的一端的像素，然后通過(guò)比較相鄰像素間的差分值與第2參數(shù)的大小，來(lái)識(shí)別關(guān)注像素的另一端的像素，由此識(shí)別關(guān)注像素的位置，根據(jù)識(shí)別的關(guān)注像素兩端的光強(qiáng)度信號(hào)，插值噪聲信號(hào)，從各關(guān)注像素的光強(qiáng)度信號(hào)中除去插值的噪聲信號(hào)。
4.如權(quán)利要求3所述的光學(xué)測(cè)量方法，在識(shí)別關(guān)注像素的一端后不能識(shí)別關(guān)注像素的另一端的情況下，可以實(shí)施以下處理中的任何一個(gè)處理強(qiáng)制地將離上述一端預(yù)定像素寬度的位置作為另一端，或者認(rèn)為上述一端從開(kāi)始就不能識(shí)別。
5.一種用來(lái)光學(xué)地測(cè)量檢查對(duì)象的表面狀態(tài)的光學(xué)測(cè)量裝置，其特征在于，包括以下器件將光照射到上述檢查對(duì)象上的射光器件；可以接受從上述檢查對(duì)象獲得的光并最終變換成二維光強(qiáng)度信號(hào)的受光器件；通過(guò)從上述光強(qiáng)度信號(hào)中將測(cè)量上述表面狀態(tài)時(shí)必需的信號(hào)即關(guān)注信號(hào)與測(cè)量上述表面狀態(tài)時(shí)不需要的信號(hào)即噪聲信號(hào)分離，僅抽出關(guān)注信號(hào)的關(guān)注信號(hào)抽取單元；將抽出的關(guān)注信號(hào)與預(yù)定的閾值進(jìn)行比較的比較器件。
6.如權(quán)利要求5所述的光學(xué)測(cè)量裝置，上述關(guān)注信號(hào)抽取單元具有抽出作為存在上述關(guān)注信號(hào)的像素即關(guān)注像素的關(guān)注像素抽取單元；以及通過(guò)從抽出的上述關(guān)注像素的光強(qiáng)度信號(hào)中除去該關(guān)注像素中的噪聲信號(hào)，來(lái)抽出上述關(guān)注信號(hào)的噪聲減去單元。
7.如權(quán)利要求6所述的光學(xué)測(cè)量裝置，上述關(guān)注信號(hào)抽取單元具有預(yù)先存儲(chǔ)有第1參數(shù)和第2參數(shù)的存儲(chǔ)單元；上述關(guān)注像素抽取單元對(duì)上述受光器件獲得的相鄰像素的光強(qiáng)度信號(hào)依次進(jìn)行差分處理，通過(guò)比較該相鄰像素間的差分值與第1參數(shù)的大小來(lái)識(shí)別關(guān)注像素的一端的像素，然后通過(guò)比較相鄰像素間的差分值與第2參數(shù)的大小，來(lái)識(shí)別關(guān)注像素的另一端的像素，由此識(shí)別關(guān)注像素的位置，根據(jù)識(shí)別的關(guān)注像素兩端的光強(qiáng)度信號(hào)插值噪聲信號(hào)；上述噪聲減去單元從各關(guān)注像素的光強(qiáng)度信號(hào)中減去插值的噪聲信號(hào)。
8.如權(quán)利要求7所述的光學(xué)測(cè)量裝置，在上述關(guān)注像素抽取單元識(shí)別了關(guān)注像素的一端后，不能識(shí)別關(guān)注像素的另一端的情況下，可以實(shí)施以下處理中的任何一個(gè)處理強(qiáng)制地將離上述一端預(yù)定像素寬度的位置作為另一端，或者認(rèn)為上述一端從開(kāi)始就不能識(shí)別。
全文摘要
提供能夠避免檢查對(duì)象的表面特性引起噪聲使測(cè)量精度惡化的光學(xué)測(cè)量方法及光學(xué)測(cè)量裝置。將光照射到檢查對(duì)象(GL)上，接受從檢查對(duì)象(GL獲得的光最終變換成二維光強(qiáng)度信號(hào)(S1)，從光強(qiáng)度信號(hào)(S1)中將測(cè)量表面狀態(tài)(IB)時(shí)必須的信號(hào)即關(guān)注信號(hào)(SB)與測(cè)量表面狀態(tài)時(shí)不需要的信號(hào)即噪聲信號(hào)(SN)分離，由此僅抽出關(guān)注信號(hào)(SB)，將抽出的關(guān)注信號(hào)(SB)與預(yù)定的閾值(T1)進(jìn)行比較。實(shí)際上為比較光強(qiáng)度信號(hào)(S1)與追隨噪聲信號(hào)(SN)的閾值，能夠避免檢查對(duì)象的表面特性引起噪聲使測(cè)量精度惡化。
文檔編號(hào)G01B11/00GK1721841SQ20051008602
公開(kāi)日2006年1月18日 申請(qǐng)日期2005年7月18日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月16日
發(fā)明者松村淳一, 大久保憲治 申請(qǐng)人:東麗工程株式會(huì)社