專利名稱：檢查夾具及檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及檢查夾具及檢查裝置，特別是涉及適于進行電路板與電子零部件等的電氣試驗的情況下使用的檢查夾具的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
通常，為了發(fā)現(xiàn)電路板的配線圖案和IC等集成電路的短路和斷線等異常情況而進行電氣檢查時，使用裝有具備與檢查對象導(dǎo)電接觸的多支探針的檢查夾具的檢查裝置。在這種情況下，形成多支探針的前端部與檢查對象接觸時能夠彈性變形的結(jié)構(gòu)。這樣，使全部探針對檢查對象施加適當(dāng)?shù)慕佑|壓力，同時與其電導(dǎo)通。
近年來，隨著電路板的配線圖案的復(fù)雜化和集成電路的高集成化等的發(fā)展，檢查夾具的探針的排列間距變得越來越小，因此，各探針的直徑也有必要做得小。因此，代替以往的內(nèi)裝彈簧的探針，使用具備可屈曲的彈性的導(dǎo)線(wire)狀探針的檢查夾具越來越多。已知有這樣的結(jié)構(gòu)，即在這樣的檢查夾具中，設(shè)置配置于檢查對象側(cè)的前端側(cè)支持板和保持間隔配置于該前端側(cè)支持板后方的后端側(cè)支持板，在所述前端側(cè)支持板上形成使探針的前端部出入自如的探針插通孔，在后端側(cè)支持板上固定探針的后端部，使處于前端側(cè)支持板與后端側(cè)支持板之間的探針的的中間部分適當(dāng)屈曲構(gòu)成的結(jié)構(gòu)(例如參照專利文獻1)。
另外，具備有與上面所述相同的前端側(cè)支持板及可屈曲的具有彈性的探針，保持間隔配置于前端側(cè)支持體的后方的后端側(cè)支持板上也形成探針插通孔，將探針插入該探針插通孔，將該探針的后端部固定在后端側(cè)支持板的更背后配置的電極上，以此提高探針與電極之間的導(dǎo)電性連接的可靠性，同時使探針能夠容易更換的檢查夾具(參照例如專利文獻2)也被公開。這種檢查夾具以前端側(cè)支持板的探針插通孔與后端側(cè)支持板的探針插通孔配置于平面重疊的位置上那樣地構(gòu)成兩枚支持板的狀態(tài)，使探針插通兩枚支持板的探針插通孔，其后，通過使前端側(cè)支持板與后端側(cè)支持板在平面方向上相互移動，使得在前端側(cè)支持板與后端側(cè)支持板之間探針的中間部分發(fā)生屈曲。
專利文獻1日本特開平9-274054號公報專利文獻2日本特開2002-90419號公報發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題但是，使用上述能夠屈曲、具有彈性的探針的檢查夾具中，使用在后端側(cè)支持板上固定探針后端部的檢查夾具的情況下，在一部分探針不合適的情況下，探針替換不便，因此存在維修保養(yǎng)麻煩，或必須將整個檢查夾具加以替換的問題。
又，在將探針的后端部固定于配置在后端側(cè)支持板的背后的電極上的結(jié)構(gòu)的情況下，存在通過取下電極，容易將不合適的探針從后端側(cè)支持板的背面?zhèn)忍鎿Q下來的優(yōu)點。但是，為了便于進行探針的替換，必須形成使前端側(cè)支持板與后端側(cè)支持板在平面方向上移動的結(jié)構(gòu)，因此存在檢查夾具的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化的問題。
因此，本發(fā)明的課題在于，在利用可屈曲具有彈性的探針的撓曲進行檢查用的檢查夾具中，實現(xiàn)盡管能夠方便地進行探針的交換，還是可以采用簡單的結(jié)構(gòu)的檢查夾具的新結(jié)構(gòu)。
為了解決上述課題，本發(fā)明的檢查夾具，其特征在于，具備具有有向檢查對象的探針引導(dǎo)方向的前端側(cè)插通孔的前端側(cè)支持體，在前端側(cè)支持體的后方保持間隔配置、具有沿相對于前端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向傾斜的探針引導(dǎo)方向的后端側(cè)插通孔的后端側(cè)支持體，具有能夠使其前端在檢查對象側(cè)出沒地插通所述前端側(cè)插通孔的前端側(cè)部分以及插通所述后端側(cè)插通孔的后端側(cè)部分的、可屈曲的具有彈性的探針，以及配置于所述后端側(cè)支持體的后方、與后端側(cè)部分接觸的電極；探針的前端側(cè)部分配置于相對后端側(cè)部分向后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向的傾斜側(cè)偏移的位置上。
采用本發(fā)明，通過后端側(cè)支持孔的探針引導(dǎo)方向相對于前端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向傾斜，在前端側(cè)支持體與后端側(cè)支持體之間能夠使探針的中間部分傾斜，因此探針的前端抵住檢測對象時能夠使探針順利撓曲。這時，通過將探針的前端側(cè)部分配置于相對于后端側(cè)部分向后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向的傾斜側(cè)偏移的位置上，后端側(cè)插通孔的向探針引導(dǎo)方向的傾斜的方向與安裝的探針或應(yīng)該安裝的探針的傾斜姿勢的方向可以一致，因此，容易將探針從后端側(cè)支持體的后方拔出和插入。因此，不像以往那樣設(shè)置使前端側(cè)支持體和后端側(cè)支持體在平面方向上移動用的構(gòu)件等復(fù)雜的結(jié)構(gòu)也能夠方便地進行探針的更換。
在本發(fā)明中，最好是前端側(cè)插通孔的后端側(cè)的開口位置，從后端側(cè)插通孔來看配置于后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向上。采用這樣的結(jié)構(gòu)，前端側(cè)插通孔的后端側(cè)的開口位置從后端側(cè)插通孔來看配置于該探針引導(dǎo)方向上，這樣，在將直線狀的探針從后端側(cè)支持體的后方插入后端側(cè)插通孔時候，貫通后端側(cè)支持體延伸的探針的前端部保持原樣地到達前端側(cè)支持體的前端側(cè)插通孔的后端側(cè)的開口位置上，因此探針的安裝操作容易進行。
在本發(fā)明中，設(shè)置多個前端側(cè)插通孔、后端側(cè)插通孔、以及探針，能夠形成多個后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向相對于前端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向向相同的方向傾斜的結(jié)構(gòu)。采用這種結(jié)構(gòu)，多個后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向相對于前端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向向相同的方向傾斜，因此前端側(cè)支持體與后端側(cè)支持體之間的多個探針的中間部分也相互向同方向傾斜，所以即使將探針的排列間距做得比較小，在檢查時，探針撓曲時探針中間部分也不容易相互接觸，因此能夠確保探針的接觸壓力的穩(wěn)定性和均勻性。
在本發(fā)明中，設(shè)置多個前端側(cè)插通孔、后端側(cè)插通孔、以及探針，相鄰的多個后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向能夠相對于前端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向向不同的方向傾斜。采用這種結(jié)構(gòu)，即使探針的前端側(cè)部分的排列間距做得小，也能夠?qū)⒍嘀结樀暮蠖藗?cè)部分相互之間的間距做得大。因此探針后端側(cè)部分連接的電極的配置變得容易。又，因為能夠?qū)⒍嘀结樀暮蠖藗?cè)部分的相互間的間距做得大，因此能夠?qū)㈦姌O做得大。從而即使是形成探針直徑小的結(jié)構(gòu)，也能夠可靠地使探針的后端側(cè)部分與電極接觸。
在本發(fā)明中，最好是相鄰的多個后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向交互向垂直于前端側(cè)插通孔的排列方向的一個方向以及與作為該一個方向的相反方向的另一方向的不同方向傾斜。采用這種結(jié)構(gòu)，插通后端側(cè)插通孔的探針的后端側(cè)部分可以有規(guī)則地正確地排列。因此，能夠高效率地配置與探針的后端側(cè)部分接觸的電極。
在本發(fā)明中，最好是設(shè)定多個不同的傾斜角度作為多個后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向傾斜的角度。采用這樣的結(jié)構(gòu)，即使是將探針的前端側(cè)部分的排列間距做得小，也能夠?qū)⒍嘀结樀暮蠖藗?cè)部分的相互間的間距做得更大。因此，更容易配置與探針的后端側(cè)部分接觸的電極。又，由于能夠?qū)㈦姌O做得大，因此即使是采用探針直徑小的結(jié)構(gòu)，也能夠更可靠地使探針的后端側(cè)部分與電極接觸。
在本發(fā)明中，最好是具有支持電極的電極支持體，后端側(cè)支持體與電極支持體形成可裝卸的結(jié)構(gòu)。采用這樣的結(jié)構(gòu)，通過設(shè)置支持電極的電極支持體，組裝和維修變得容易，同時由于形成后端側(cè)支持體與電極支持體可裝卸的結(jié)構(gòu)，因此形成只要從后端側(cè)支持體上取下電極支持體就能夠替換探針的狀態(tài)。特別是在設(shè)置多個探針和電極的情況下，采用利用電極支持體成一整體地支持多個電極的結(jié)構(gòu)是有效的。
在本發(fā)明中，最好是在后端側(cè)支持體與電極之間可裝卸地配置定位板，定位板上設(shè)置與后端側(cè)插通孔連通，形成比后端側(cè)插通孔直徑小的直徑的定位孔。采用這樣的結(jié)構(gòu)，在定位板上利用比后端側(cè)插通孔直徑小的小直徑(具有小開口范圍地形成的)的定位孔能夠?qū)⒉迦牒蠖藗?cè)插通孔的探針的后端側(cè)部分加以定位，因此能夠更可靠得到相對于電極的導(dǎo)電接觸狀態(tài)。又，通過設(shè)置定位板可以將后端側(cè)插通孔的孔徑擴大到容易將探針插入拔出的程度，因此，能夠形成可以更方便地替換探針的結(jié)構(gòu)。在這里，上述定位孔只要具備不妨礙探針的后端部位與電極之間的導(dǎo)電接觸的孔徑(開口范圍)即可。
又，為了解決上述課題，本發(fā)明的檢查夾具，其特征在于，具備具有有規(guī)定的探針引導(dǎo)方向的前端側(cè)插通孔和與檢查對象相對的對向面的前端側(cè)支持體，在所述前端側(cè)支持體的后方保持間隔配置、具有有規(guī)定的探針引導(dǎo)方向的后端側(cè)插通孔的后端側(cè)支持體，具有能夠使其前端在檢查對象側(cè)出沒地插通前端側(cè)插通孔的前端部分以及插通后端側(cè)插通孔的后端側(cè)部分的、可屈曲的具有彈性的探針，以及配置于后端側(cè)支持體的后方、與后端側(cè)部分接觸的電極；前端側(cè)插通孔及所述后端側(cè)插通孔中的至少一方具備其探針的引導(dǎo)方向相對于對向面的垂直方向傾斜的傾斜部，探針的前端側(cè)部分及后端側(cè)部分中的任一方配置于相對前端側(cè)部分及后端側(cè)部分中的任一方外的一方、向所述傾斜部的傾斜側(cè)偏移的位置上。
采用本發(fā)明，前端側(cè)插通孔和后端側(cè)插通孔的至少一方具備其探針引導(dǎo)方向相對于對向面的正交方向傾斜的傾斜部，探針的前端側(cè)部分和后端側(cè)部分的任一方配置于相對于前端側(cè)部分和后端側(cè)部分的任一另一方、向傾斜部的傾斜側(cè)偏移的位置上，因此，在前端側(cè)支持體和后端側(cè)支持體之間能夠使探針的中間部分傾斜，因此，在探針的前端接觸檢查對象時能夠使探針順利撓曲。又，探針的前端側(cè)部分和后端側(cè)部分的任一方配置于相對前端側(cè)部分和后端側(cè)部分的任一另一方、向傾斜部的傾斜側(cè)偏移的位置上，因此傾斜部的傾斜方向與安裝的探針或應(yīng)該安裝探針的傾斜姿勢的方向一致。因此容易從前端側(cè)支持體的前方或后端側(cè)支持體的后方拔出或插入探針。其結(jié)果是，不像以往那樣設(shè)置使前端側(cè)支持體與后端側(cè)支持體在平面方向上移動用的構(gòu)件等復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，也能夠方便地更換探針。
又，本發(fā)明的檢查裝置，其特征在于，是具有上述任一項所述的檢查夾具、以及與該檢查夾具的多個電極電連接的電氣檢查手段。作為電氣檢查手段，可以舉出有發(fā)現(xiàn)配線圖案和電路的短路、斷線的開路試驗或短路試驗的試驗手段。又，作為電氣檢查的對象，可以舉出有印刷電路板和半導(dǎo)體集成電路等。
還有，在上述各發(fā)明中，探針最好是至少從前端側(cè)支持體向檢查對象突出的前端部位和與電極接觸的后端部位以外的部分覆蓋電絕緣被覆層。采用這樣的結(jié)構(gòu)，可以利用電絕緣被覆層消除探針之間的短路事故發(fā)生的危險。在這種情況下，最好是形成探針的前端側(cè)的電絕緣被覆層的端緣可以相對于前端側(cè)插通孔向檢查對象側(cè)嵌合的結(jié)構(gòu)，成為防止探針向檢查對象側(cè)脫落的防止部。采用這種結(jié)構(gòu)，探針的電絕緣被覆層的端緣成為相對于前端側(cè)插通孔嵌合在檢查對象側(cè)的脫落防止部，因此能夠防止探針向檢查對象側(cè)脫出。
又，前端側(cè)支持體的探針引導(dǎo)方向最好是前端側(cè)支持體的檢查對象側(cè)的表面的垂直方向。在這種情況下，能夠使探針垂直于檢查對象表面與其接觸，因此不容易損傷檢查對象，而且能夠得到穩(wěn)定的接觸電阻。
采用本發(fā)明，能夠得到可提供盡管結(jié)構(gòu)簡單卻容易替換探針的檢查夾具的優(yōu)異效果。


圖1是表示本發(fā)明實施形態(tài)1的檢查夾具的結(jié)構(gòu)的大概立體圖。
圖2是表示圖1所示的檢查夾具的剖面結(jié)構(gòu)的縱剖面圖。
圖3是表示圖1所示的前端側(cè)支持體的剖面結(jié)構(gòu)的放大的部分剖面圖。
圖4是表示圖1所示的后端側(cè)支持體的剖面結(jié)構(gòu)的放大的部分剖面圖。
圖5是表示本發(fā)明實施形態(tài)1的探針的后端部位與電極的導(dǎo)電接觸狀態(tài)的放大的部分立體圖。
圖6是搭載圖1所示的檢查夾具形成的檢查裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖7是將圖1所示的檢查夾具使用于規(guī)定的檢查對象的情況下的接觸電阻值與探針的壓入量的關(guān)系曲線圖。
圖8是本發(fā)明實施形態(tài)2的后端側(cè)支持體的與圖4所示的剖面不同的剖面的的結(jié)構(gòu)的放大的部分剖面圖。
圖9是表示本發(fā)明實施形態(tài)2的檢查夾具的一部分的剖面結(jié)構(gòu)的縱剖面圖。
圖10是將本發(fā)明實施形態(tài)2的探針的前端部位與后端部位的配置關(guān)系從圖9的Z方向表示出的圖。
圖11是表示本發(fā)明其他實施形態(tài)的前端側(cè)支持體的剖面結(jié)構(gòu)的放大的部分剖面圖。
圖12是表示本發(fā)明其他實施形態(tài)的后端側(cè)支持體的剖面結(jié)構(gòu)的放大的部分剖面圖。
圖13是表示本發(fā)明其他實施形態(tài)的探針的前端部位與后端部位的配置關(guān)系從圖9的Z方向表示出的圖。
圖14是表示本發(fā)明其他實施形態(tài)的探針的前端部位與后端部位的配置關(guān)系從圖9的Z方向表示出的圖。
圖15是表示本發(fā)明其他實施形態(tài)的前端側(cè)支持體及后端側(cè)支持體的剖面結(jié)構(gòu)的放大的部分剖面圖。
圖16是表示本發(fā)明其他實施形態(tài)的前端側(cè)支持體及后端側(cè)支持體的剖面結(jié)構(gòu)的放大的部分剖面圖。
符號說明10檢查夾具11、11′、51 前端側(cè)支持體11a、51a 對向面11X、11X′、51X 前端側(cè)插通孔12、12′、52、62 后端側(cè)支持體12X、12X′、12X1、12Y、12Y1、52X、62X 后端側(cè)插通孔
14探針14s 前端側(cè)部分14u 后端側(cè)部分15電極支持體16電極18定位板18a 定位孔100 檢查裝置110 控制部(電氣檢查手段)A 前端側(cè)插通孔的排列方向B 一個方向C 另一方向V1探針引導(dǎo)方向V2探針引導(dǎo)方向W 檢查對象θ1、θ2 角度(傾斜角度)具體實施形態(tài)以下參照附圖對實施本發(fā)明用的最佳形態(tài)進行說明。
實施形態(tài)1圖1是表示本發(fā)明實施形態(tài)1的檢查夾具10的結(jié)構(gòu)的大概立體圖。圖2是圖1所示的檢查夾具10的縱剖面圖。圖3是表示圖1所示的前端側(cè)支持體11的剖面結(jié)構(gòu)的放大的部分剖面圖。圖4是表示圖1所示的后端側(cè)支持體12的剖面結(jié)構(gòu)的放大的部分剖面圖。圖5是表示本發(fā)明實施形態(tài)1的探針14的后端部位14v與電極16的導(dǎo)電接觸狀態(tài)的放大的部分立體圖。圖6是搭載圖1所示的檢查夾具10而形成的檢查裝置100的概略結(jié)構(gòu)圖。圖7是將圖1所示的檢查夾具10使用于規(guī)定的檢查對象W的情況下的接觸電阻值與探針14的壓入量的關(guān)系曲線圖。
本實施形態(tài)的檢查夾具10，具備前端側(cè)支持體11、保持間隔配置于該前端側(cè)支持體11的后方的后端側(cè)支持體12、連接固定前端側(cè)支持體11和后端側(cè)支持體12用的支持柱13。前端側(cè)支持體11和后端側(cè)支持體12分別形成為板狀，并進行配置使其表面相互平行。在前端側(cè)支持體11和后端側(cè)支持體12上插通探針14，該探針14的前端在前端側(cè)支持體11的表面上稍微突出。
在后端側(cè)支持體12的后方安裝電極支持體15。該電極支持體15如圖2所示，支持固定與探針14導(dǎo)電接觸而形成的多個電極16。還有，在圖2中，只描繪出一個探針14和一個電極16，但是實際上在平面方向(即沿著前端側(cè)支持體11、后端側(cè)支持體12的表面的方向)上排列配置有多支探針14和電極16。又，在圖2中，形成于前端側(cè)支持體11和后端側(cè)支持體12上的下述前端側(cè)插通孔11X以及后端側(cè)插通孔12X也在圖示中省略。
探針14用鎢、鋒鋼(SKH)、鈹銅(Be-Cu)等金屬和其他導(dǎo)電體構(gòu)成，形成可屈曲的具有彈性的導(dǎo)線狀結(jié)構(gòu)。在本實施形態(tài)中，探針14具備有如上所述的導(dǎo)電體構(gòu)成的導(dǎo)線14a、以及覆蓋該導(dǎo)線14a的外表面的電絕緣被覆層14b。電絕緣被覆層14b用合成樹脂等絕緣體構(gòu)成，最好通過施加絕緣包覆在導(dǎo)線14a的表面進行涂覆。如圖3和圖4所示，探針14的前端側(cè)部分14s和后端側(cè)部分14u中，不形成電絕緣被覆層14b，形成導(dǎo)線14a露出的狀態(tài)。該探針14的前端部位14t和后端部位14v最好是如圖中的例示那樣形成球面狀結(jié)構(gòu)。又，最好是在這些前端部位14t和后端部位14v的表面上利用電鍍等方法形成提高導(dǎo)電接觸特性(接觸性)或維持該特性用的表面層。這樣的表面層有例如在鎳層上疊層金、鈀、銠等金屬層的電鍍層等。
前端側(cè)支持體11，通過從配置檢查對象側(cè)(圖中的上側(cè))開始依序疊層多枚支持板111、112、113而構(gòu)成。如圖3所示，各支持板111、112、113上分別形成貫通孔111a、112a、113a。利用這些貫通孔111a、112a、113a構(gòu)成插通探針14的前端側(cè)部分14s的一個前端側(cè)插通孔11X。該前端側(cè)插通孔11X，具有與前端側(cè)支持體11的與檢查對象相對的對向面(圖中上側(cè)的表面)11a垂直的探針14的引導(dǎo)方向(圖中的上下方向)。又，該前端側(cè)插通孔11X只設(shè)置有在檢查夾具10上設(shè)置的探針14的數(shù)目。
3個貫通孔111a、112a、113a形成同心狀。更具體地說，貫通孔111a由小直徑孔111a1和比小直徑孔111a1直徑大的大直徑孔111a2構(gòu)成，貫通孔113a由小直徑孔113a1和比小直徑孔113a1直徑大的大直徑孔113a2構(gòu)成。又，小直徑孔111a1與小直徑孔113a1直徑大致相同，而且，比導(dǎo)線14a的外徑稍大，并且以比電絕緣被覆層14b的部分的探針14的外徑稍小的內(nèi)徑形成。還有，貫通孔112a形成比小直徑孔111a1、113a1直徑都大，而且比大直徑孔111a2、113a2直徑都小的尺寸。
后端側(cè)支持體12，通過從前端側(cè)支持體11側(cè)開始依序疊層多枚支持板121、122、123而構(gòu)成。如圖4所示，各支持板121、122、123上分別形成貫通孔121a、122a、123a。利用這些貫通孔121a、122a、123a構(gòu)成插通探針14的后端側(cè)部分14u的一個后端側(cè)插通孔12X。該后端側(cè)插通孔12X具有相對于前端側(cè)插通孔11X的探針引導(dǎo)方向(即對向面11a的垂直方向)傾斜的探針引導(dǎo)方向V1。即3個貫通孔121a、122a、123a以各中心分別稍有偏移的狀態(tài)形成，整個后端側(cè)插通孔12X成為相對于對向面11a的垂直方向傾斜的傾斜部。更具體地說，如圖4所示，以按照貫通孔121a、122a、123a的順序，其中心向圖中的右方稍許偏移的狀態(tài)形成3個貫通孔121a、122a、123a。因此，探針引導(dǎo)方向V1相對于與后端側(cè)支持體12的表面垂直的法線n1，在圖4中向逆時針方向僅傾斜角度θ1。又，該后端側(cè)插通孔12X只設(shè)置有在檢查夾具10上設(shè)置的探針14的數(shù)目。
又，貫通孔121a由小直徑孔121a1和比小直徑孔121a1直徑大的大直徑孔121a2構(gòu)成；貫通孔122a由小直徑孔122a1和比小直徑孔122a1直徑大的大直徑孔122a2構(gòu)成；貫通孔123a由小直徑孔123a1和比小直徑孔123a1直徑大的大直徑孔123a2構(gòu)成。小直徑孔123a1以比導(dǎo)線14a的外徑稍大，而且比電絕緣被覆層14b的部分的探針14的外徑稍小的內(nèi)徑形成，小直徑孔121a1與小直徑孔122a1直徑大致相同，而且以比形成絕緣被覆膜14b的部分的探針14的外徑還稍大的內(nèi)徑形成。
又，在各探針14上，插通前端側(cè)插通孔11X的前端側(cè)部分14s配置于比插入后端側(cè)插通孔12X的后端側(cè)部分14u更偏向后端側(cè)插通孔12X的探針引導(dǎo)方向V1的傾斜方向的位置。也就是說，導(dǎo)入某一探針14的前端側(cè)部分14s的前端側(cè)插通孔11X的后端側(cè)的開口位置(也就是支持板113的貫通孔113a的開口位置)，如圖4所示，從導(dǎo)入該探針14的后端側(cè)部分14u的后端側(cè)插通孔12X看來，配置于該后端側(cè)插通孔12X的探針引導(dǎo)方向V1的傾斜側(cè)。更詳細地說，在本實施形態(tài)中，導(dǎo)入某一探針14的前端側(cè)部分14s的前端側(cè)插通孔11X的后端側(cè)開口位置(也就是貫通孔113a的開口位置)，從導(dǎo)入該探針14的后端側(cè)部分14u的后端側(cè)插通孔12X看來，配置于該后端側(cè)插通孔12X的探針引導(dǎo)方向V1。
探針14的前端側(cè)的電絕緣被覆層14b的端緣14bs如圖3所示，配置于比前端側(cè)插通孔11X的貫通孔113a的小直徑孔113a1更靠后的位置。又，如上所述，貫通孔113a的小直徑孔113a1，以比導(dǎo)線14a的外徑稍大、且比電絕緣被覆層14b的部分的探針14的外徑稍小的內(nèi)徑形成。因此，電絕緣被覆層14b的端緣14bs相對于前端側(cè)插通孔11X的貫通孔113a的小直徑孔113a1的開口緣113b向檢查對象側(cè)(圖中的上方)可嵌合地形成。這樣，電絕緣被覆層14b的端緣14bs形成嵌合于前端側(cè)插通孔11X的防止脫落部，因此能夠防止探針14從檢查對象側(cè)脫落。
圖5是表示探針14的后端部位14v與電極16的表面16a的接觸狀態(tài)的放大立體圖。后端部位14v如上所述構(gòu)成球面狀，因此沿著具備如上所述那樣傾斜的探針引導(dǎo)方向V1的后端側(cè)插通孔12X的內(nèi)部，探針14的后端側(cè)部分14u即使是傾斜的，對后端部位14v與電極16的表面16a的導(dǎo)電接觸狀態(tài)也沒有影響。
電極支持體15，如圖2所示，具有埋設(shè)多個電極16的支持板151、152與支持電連接于電極16的配線17的支持板153疊層的結(jié)構(gòu)。配線17連接于下面所述的檢查裝置100的控制部110。電極支持體15相對于后端側(cè)支持體12利用螺桿等固定手段可裝卸地加以固定。
圖6是搭載檢查夾具10的檢查裝置100的總體結(jié)構(gòu)的示意性概略結(jié)構(gòu)圖。該檢查裝置100具備包含進行電氣判斷的檢查電路的控制部110、連接于該控制部110的驅(qū)動部120、以及由該驅(qū)動部120驅(qū)動的檢查構(gòu)件130。檢查構(gòu)件130具有安裝檢查夾具10的第1支持盤131、相對于該第1支持盤131對向配置的第2支持盤132、以及使第1支持盤131與第2支持盤132可相對靠近與離開地移動的移動構(gòu)件133。該移動構(gòu)件133由球形螺絲構(gòu)件和油壓構(gòu)件等構(gòu)成，利用驅(qū)動部120驅(qū)動。
安裝固定于第1支持盤131的檢查夾具10的電極16通過配線17連接于配線109，通過該配線109與控制部110電連接。又，在第2支持盤132上以定位的狀態(tài)放置檢查對象W(電路板等)。然后，驅(qū)動部120根據(jù)控制部110的控制信號驅(qū)動移動構(gòu)件133，第1支持盤131向第2支持盤132接近，以規(guī)定的壓力將檢查夾具10按壓在檢查對象W上。一旦檢查夾具10的各探針14與檢查對象W導(dǎo)通，控制部110通過配線109對檢查夾具10提供規(guī)定的信號，或通過接收檢查夾具10檢查出的電位等，進行檢查對象W的電氣試驗。
下面對如上所說明的實施形態(tài)1的檢查夾具10的作用效果進行說明。在組裝本實施形態(tài)的檢查夾具10的情況下，首先在將多支探針14插通前端側(cè)支持體11和后端側(cè)支持體12之后，利用支持柱13將前端側(cè)支持體11和后端側(cè)支持體12連接固定，然后，將電極支持體15相對于后端側(cè)支持體12安裝固定。
又，在替換探針14的情況下，將電極支持體15從后端側(cè)支持體12取下，其后再取下支持板123，從后端側(cè)支持體12(支持板121、122)的后端側(cè)插通孔12X取下探針14。這時，探針14的前端側(cè)部分14s配置于向后端側(cè)插通孔12X的傾斜方向偏離的位置(即向傾斜部的傾斜側(cè)偏離的位置)，因此容易沿著具有傾斜的探針引導(dǎo)方向V1的后端側(cè)插通孔12X取出探針14。又，將新的探針14插入后端側(cè)支持體12(支持板121、122)的后端側(cè)插通孔12X，原封不動地將前端側(cè)部分14s插通到前端側(cè)支持體11的前端側(cè)插通孔11X。這時，前端側(cè)插通孔11X位于相對后端側(cè)插通孔12X向其探針引導(dǎo)方向V1的傾斜側(cè)偏移的位置(即向傾斜部的傾斜側(cè)偏移的位置)，因此，容易將探針14插通到前端側(cè)支持體11。其后，將支持板123加以固定，作為完成的后端側(cè)支持體12。以此使得探針14從前端部位14t側(cè)和從后端部位14v側(cè)都不會脫落。
特別是在本實施形態(tài)中，引入某一探針14的前端側(cè)部分14s的前端側(cè)插通孔11X的后端側(cè)的開口位置，從導(dǎo)入該探針14的后端側(cè)部分14u的后端側(cè)插通孔12X看來，是配置于該后端側(cè)插通孔12X的探針引導(dǎo)方向V1上。因此，從后端側(cè)支持體12的后方將探針14插入后端側(cè)插通孔12X時，如果探針14形成直線狀，探針14就原封不動地在后端側(cè)插通孔12X的探針引導(dǎo)方向V1上延伸，探針14的前端側(cè)部分14s到達前端側(cè)支持體11的前端側(cè)插通孔11X的后端側(cè)的開口位置，因此，可以非常方便地進行探針14的插入作業(yè)。
在本實施形態(tài)中，前端側(cè)支持體11與后端側(cè)支持體12之間的探針14的中間部分在后端側(cè)插通孔12X內(nèi)向后端側(cè)部分14u傾斜的方向傾斜延伸，保持該狀態(tài)被引入前端側(cè)插通孔11X。借助于此，一旦探針14的前端部位14t接觸并按壓在檢查對象上，如上所述，處于傾斜姿勢的探針14的中間部分容易撓曲(屈曲)，又，該中間部分的撓曲方向(屈曲姿勢)被限制在該傾斜方向上。
后端側(cè)插通孔12X的探針引導(dǎo)方向V1的傾斜方向最好是在多個后端插通孔12X中有相同的方向。在本實施形態(tài)中，形成這樣的結(jié)構(gòu)。因此即使多支探針14的排列間距做得小，在檢查時探針14撓曲時，探針14的中間部分也不容易相互接觸，因此探針14與檢查對象之間產(chǎn)生的接觸壓力相對于探針14的撓曲量是穩(wěn)定的，而且，多支探針14的接觸壓力也是均勻的。
圖7是表示使用本實施形態(tài)的結(jié)構(gòu)時的探針14與檢查對象之間的接觸電阻值和探針的壓入量的關(guān)系的曲線圖。在這里，探針的電阻值為300m ，配線的電阻值為500mΩ。如該曲線圖所示，探針的壓入量極小的區(qū)域(壓入量為0.04mm以上0.1mm以下的區(qū)域)中也能夠得到穩(wěn)定的接觸狀態(tài)。又可知探針之間的接觸電阻的特性差也極小。
實施形態(tài)2圖8是本發(fā)明實施形態(tài)2的后端側(cè)支持體12的與圖4所示的剖面不同的剖面的結(jié)構(gòu)的放大部分剖面圖。圖9是表示本發(fā)明實施形態(tài)2的檢查夾具的一部分的剖面結(jié)構(gòu)的縱剖面圖。圖10是本發(fā)明實施形態(tài)2的探針14的前端部位14t與后端部位14v的配置關(guān)系從圖9的Z方向表示出的圖。
在上述實施形態(tài)1中，形成這樣的結(jié)構(gòu)，即后端側(cè)插通孔12X的探針引導(dǎo)方向V1的傾斜方向在多個后端側(cè)插通孔12X中與前端側(cè)插通孔11X的探針引導(dǎo)方向相同。另一方面，在實施形態(tài)2中，后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向的傾斜方向在相鄰的多個后端側(cè)插通孔中，與前端側(cè)插通孔11X的探針引導(dǎo)方向交替變化，這一點是實施形態(tài)1與實施形態(tài)2結(jié)構(gòu)上的主要不同點。因此，在下面將這一不同點為中心對本實施形態(tài)的結(jié)構(gòu)進行說明。還有，在本實施形態(tài)中，除了上述結(jié)構(gòu)以外的其他結(jié)構(gòu)與實施形態(tài)1相同，因此對于相同的結(jié)構(gòu)標以相同的符號，同時對相同的部分省略其詳細說明?；?，省略與實施形態(tài)1相同的部分的圖示和說明。
在實施形態(tài)2中，構(gòu)成后端側(cè)支持體12的各支持板121、122、123的規(guī)定部位上，與實施形態(tài)1一樣，如圖4所示分別形成貫通孔121a、122a、123a。利用這些貫通孔121a、122a、123a在規(guī)定的部位上構(gòu)成插通探針14的后端側(cè)部分14u的一個后端側(cè)插通孔12X。
又，各支持板121、122、123的與圖4所示部位不同的其他部位上，如圖8所示分別形成貫通孔121b、122b、123b。利用這些貫通孔121b、122b、123b，在其他部位上構(gòu)成插通探針14的后端側(cè)部分14u的一個后端側(cè)插通孔12Y。該后端側(cè)插通孔12Y具有相對于前端側(cè)插通孔11X的探針引導(dǎo)方向傾斜的探針引導(dǎo)方向V2。也就是說，3個貫通孔121b、122b、123b以各中心逐個稍許偏移的狀態(tài)形成。更具體地說，如圖8所示，以貫通孔121b、122b、123b的順序，以其中心向圖中的左方向逐個稍許偏移的狀態(tài)形成3個貫通孔121b、122b、123b。因此探針引導(dǎo)方向V2相對于與后端側(cè)支持體12的表面垂直的法線n1在圖8中向順時針方向僅傾斜角度θ1。
又，貫通孔121b由與貫通孔121a的小直徑孔121a1和大直徑孔121a2相同的小直徑孔121b1和大直徑孔121b2構(gòu)成；貫通孔122b由與貫通孔122a的小直徑孔122a1和大直徑孔122a2相同的小直徑孔122b1和大直徑孔122b2構(gòu)成；貫通孔123b由與貫通孔123a的小直徑孔123a1和大直徑孔123a2相同的小直徑孔123b1和大直徑孔123b2構(gòu)成。
如圖9和圖10所示，相對于與該表面垂直的法線n1，探針引導(dǎo)方向V1向逆時針方向僅傾斜角度θ1的后端側(cè)插通孔12X、相對于法線n1，探針引導(dǎo)方向V2向順時針方向僅傾斜角度θ1的后端側(cè)插通孔12Y、相對于法線n1、探針引導(dǎo)方向向逆時針方向僅傾斜比角度θ1大的角度θ2的后端側(cè)插通孔12X1、以及相對于法線n1，探針引導(dǎo)方向向順時針方向僅傾斜角度θ2的后端側(cè)插通孔12Y1，按照這一順序并且重復(fù)這一順序地、相鄰接地在后端側(cè)支持體12上形成與探針14的數(shù)目對應(yīng)的數(shù)目。
也就是說，如圖9和圖10所示，上述4種相鄰接的后端側(cè)插通孔12X、12Y、12X1、12Y1的探針引導(dǎo)方向交替向垂直于前端側(cè)插通孔11X的排列方向(圖中的上下方向)A的一個方向(圖中向右的方向)B、和與一個方向B相反向的另一方向(圖中向左方向)C這樣的互不相同的方向傾斜。
這樣，相鄰的后端側(cè)插通孔12X、12Y、12X1、12Y1形成為相對于與后端側(cè)支持體12的表面垂直的法線n1，探針引導(dǎo)方向交替向不同方向傾斜。又，后端側(cè)插通孔12X、12Y的傾斜角度θ1與后端側(cè)插通孔12X1、12Y1的傾斜角度θ2不同地形成后端側(cè)插通孔12X、12Y、12X1、12Y1。也就是說，作為后端側(cè)插通孔12X、12Y、12X1、12Y1的探針引導(dǎo)方向傾斜的角度，設(shè)定兩個不同的傾斜角度θ1、θ2。
換句話說，在本實施形態(tài)中，相對于探針14的前端部位14t，后端部位14v向圖10的一個方向B以及另一方向C(左右方向)偏移，同時，在前端側(cè)插通孔11X的排列方向A(上下方向)相鄰的后端部位14v的偏移量不同。例如，在本實施形態(tài)中，如圖10所示，后端側(cè)插通孔12X、12Y中插入的后端部位14v的相對于前端部位14t的偏移量L1為0.35mm，插入后端側(cè)插通孔12X1、12Y1的后端部位14v的相對于前端部位14t的偏移量L2為0.75mm。
還有，在本實施形態(tài)中，設(shè)定兩個偏移量，作為后端側(cè)插通孔12X、12Y、12X1、12Y1中插入的后端部位14v的偏移量；但是，設(shè)定的偏移量也可以是一個，也可以設(shè)定3個或3個以上的偏移量。也就是說，在本實施形態(tài)中，作為后端側(cè)插通孔12X、12Y、12X1、12Y1的探針引導(dǎo)方向傾斜的角度，設(shè)定2個不同的傾斜角度θ1、θ2，但是，設(shè)定的探針引導(dǎo)方向的傾斜角度也可以是1個，也可以設(shè)定3個或3個以上的傾斜角度。
如上所述，在本實施形態(tài)中，相鄰接的多個后端側(cè)插通孔12X、12Y、12X1、12Y1的探針引導(dǎo)方向，形成相對于前端側(cè)插通孔11X的探針引導(dǎo)方向向不同的方向傾斜的結(jié)構(gòu)。因此，即使是探針14的前端部位14t的排列間距做得小，也能夠?qū)⒍鄠€探針14的后端部位14v的相互間的距離做得大。例如，即使將前端部位14t的排列間距做成80微米，也能夠?qū)⒑蠖瞬课?4v的相互間的距離做得大。因此，探針14的后端部位14v接觸的電極容易配置。
又，由于能夠?qū)⒍鄠€探針14的后端部位14v的相互間的距離做得大，因此能夠?qū)㈦姌O16做得大。例如，相對于具有50微米直徑的探針14，能夠形成具有300微米(0.3mm)直徑的電極部16。從而，即使在前端側(cè)插通孔11X和后端側(cè)插通孔12X、12Y、12X1、12Y1的加工精度、或電極16的位置精度低的情況下，也能夠可靠地使探針14的后端部位14v與電極16相接觸。
在本實施形態(tài)中，相鄰接的多個后端側(cè)插通孔12X、12Y、12X1、12Y1的探針引導(dǎo)方向交替地向垂直于前端側(cè)插通孔11X的排列方向A的一個方向B、和這一個方向B的相反方向的另一方向C這樣的不同方向傾斜。因此，能夠?qū)⒉迦牒蠖藗?cè)插通孔12X、12Y、12X1、12Y1的探針14的后端部位14v有規(guī)則地正確地排列。因此，能夠高效率地配置探針14的后端部位14v接觸的電極16。
在本實施形態(tài)中，作為多個后端側(cè)插通孔12X、12Y、12X1、12Y1的探針引導(dǎo)方向傾斜的角度，設(shè)定2個不同的傾斜角度θ1、θ2。因此與作為探針引導(dǎo)方向傾斜的角度只設(shè)定1個傾斜角度(例如角度θ1)的情況相比，能夠?qū)⒍鄠€探針14的后端部位14v的相互間的距離做得更大。從而，探針14的后端部位14v接觸的電極16的配置更加容易。又，由于能夠?qū)㈦姌O16做得大，因此即使是探針14的直徑做得小，也能夠更加可靠地使探針14的后端部位14v與電極16接觸。
其他實施形態(tài)如上所述的各實施形態(tài)是本發(fā)明最佳實施形態(tài)的一個例子，但是并不限于此，在不變更本發(fā)明的要旨內(nèi)，本發(fā)明可以有各種變形。例如，也可以用圖11所示那樣的前端側(cè)支持體11′代替上述各實施形態(tài)的前端側(cè)支持體11。該前端側(cè)支持體11′是兩片支持板111′和112′疊層形成的。又，利用支持板111′上設(shè)置的貫通孔111a′和支持板112上設(shè)置的貫通孔112a′構(gòu)成前端側(cè)插通孔11X′。
更具體地說，由小直徑孔111a1′和比小直徑孔111a1′直徑大的大直徑孔111a2′構(gòu)成的貫通孔111a′，與由小直徑孔112a1′和比小直徑孔112a1′直徑大的大直徑孔112a2′構(gòu)成的貫通孔112a′形成同心狀。在該前端側(cè)插通孔11X′中，形成探針14的電絕緣被覆層14b的端緣14bs從后方嵌合的結(jié)構(gòu)。也就是說，探針14想要向前端側(cè)移動時，電絕緣被覆層14b的端緣14bs嵌合于支持板112′上的貫通孔112a′的開口緣112b，因此能夠防止探針14從檢查對象側(cè)脫落。
該前端側(cè)支持體11′只用兩片支持板111′和112′構(gòu)成，但是在前端側(cè)插通孔11X′的最前端側(cè)和后端側(cè)上分別設(shè)置小直徑孔111a1′和小直徑孔112a1′。因此，能夠確保前端側(cè)插通孔11X′有充分的長度，也就是說，能夠確保探針引導(dǎo)長度。
又，也可以使用圖12所示的后端側(cè)支持體12′，同時使用定位板18，代替如上所述的各實施形態(tài)的后端側(cè)支持體12。這些后端側(cè)支持體12′和定位板18以疊層狀態(tài)固定，但是定位板18形成能夠從后端側(cè)支持體12′簡單地取下的結(jié)構(gòu)。又，定位板18配置于后端側(cè)支持體12′與電極支持體15之間。
該后端側(cè)支持體12′利用支持板121、122以及123′疊層構(gòu)成，各支持板121、122、123′的貫通孔121a、122a以及123a′構(gòu)成后端側(cè)插通孔12X′。還有，貫通孔123a′由小直徑孔123a1′和比小直徑孔123a1′直徑大的大直徑孔123a2′構(gòu)成。
又，在定位板18上形成決定探針14的后端部位14v的位置用的定位孔18a。該定位孔18a形成比后端側(cè)插通孔12X′的內(nèi)徑、特別是比后端側(cè)插通孔12X′的最后端側(cè)的貫通孔123a′的小直徑孔123a1′的內(nèi)徑小的結(jié)構(gòu)。因此，即使是插入后端側(cè)插通孔12X′的探針14的后端側(cè)部分14u的位置具有某種程度的寬裕，也能夠利用定位板18的定位孔18a更加正確地決定探針14的后端部位14v的位置，因此能夠提高與電極16導(dǎo)電接觸的可靠性。又，由于與電極16的導(dǎo)電接觸利用定位板18加以保障，因此可以使后端側(cè)插通孔12X′的內(nèi)徑在某種程度上做得大一些。
在這里，替換探針14的情況下，通過將定位板18取下，探針14的后端部位14v形成向后端側(cè)支持體12′的后方突出的狀態(tài)，而且，后端側(cè)插通孔12X′能夠如上述那樣做成大直徑結(jié)構(gòu)，因此極容易向后方將探針14拔下，或安裝新探針14。
還有，也可以使相鄰的后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向為圖13或圖14所示的方向。在這里，圖13和圖14中，與圖10相同表示出從圖9的Z方向觀察的探針14的前端部位14t與后端部位14v的配置關(guān)系。也就是說，如圖13所示，使相鄰的后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向為從一個方向B向圖示的逆時針方向僅傾斜角度α1的方向，并且向一個方向B傾斜的方向，以及從另一方向C向圖中順時針方向僅傾斜角度α2的方向，并且，向另一方向C傾斜的方向這兩個方向。這時，角度α1和角度α2可以相同，也可以不同。又，如圖14所示，使相鄰的后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向為從一個方向B向圖示的順時針方向僅傾斜角度β1的方向，并且向一個方向B傾斜的方向，以及從另一方向C向圖中順時針方向僅傾斜角度β2的方向，并且向另一方向C傾斜的方向這兩個方向。這時，角度β1和角度β2可以相同，也可以不同。
還有，在上述各實施形態(tài)中，前端側(cè)支持體11、11′以及后端側(cè)支持體12、12′分別采用多個支持板111等疊層的結(jié)構(gòu)，但是，也可以采用以單個構(gòu)件構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。又，在上述各實施形態(tài)的支持板111等上，形成由小直徑孔111a1等和大直徑孔111a2等構(gòu)成的貫通孔111a等，但是，貫通孔也可以形成在軸線方向上具有相同的開口剖面的形狀。
又，在上述各實施形態(tài)中，形成前端側(cè)插通孔11X與前端側(cè)支持體11的對向面11a垂直，同時后端側(cè)插通孔12X相對于前端側(cè)支持體11的對向面11a的垂直方向傾斜的傾斜部。又，探針14的前端側(cè)部分14s配置于向后端側(cè)插通孔12X的傾斜方向偏移的位置、即向傾斜部的傾斜側(cè)偏移的位置上。但是，如圖15所示，也可以形成為具備使后端側(cè)插通孔52X與前端側(cè)支持體51的對向面51a垂直，同時，前端側(cè)插通孔51X相對于對向面51a的垂直方向傾斜的傾斜部的結(jié)構(gòu)，探針14的后端側(cè)部分14u配置于偏離傾斜部的傾斜側(cè)(傾斜方向)的位置上。
更具體地說，也可以形成如下所述的構(gòu)成。例如，將具有垂直于前端側(cè)支持體51的與檢查對象相對的對向面51a的貫通孔211a的支持板211、以及具有相對于對向面51a的垂直方向傾斜的貫通孔212a的支持板212疊層構(gòu)成前端側(cè)支持體51。前端側(cè)插通孔51X由貫通孔211a和貫通孔212a構(gòu)成，形成貫通孔212a的部分成為前端側(cè)插通孔51X的傾斜部。又，在后端側(cè)支持體52上，在垂直于對向面51a的方向上形成后端側(cè)插通孔52X。而且，探針14的后端側(cè)部分14u被配置于相對于前端側(cè)部分14s向前端側(cè)插通孔51X的傾斜部的傾斜側(cè)(傾斜方向)偏移的位置上。
在如上所述構(gòu)成的情況下，從前端側(cè)插通孔51X向圖中的上側(cè)拔出探針14或從圖中的上側(cè)向前端側(cè)插通孔51X插入探針14。即使是這樣構(gòu)成的情況下，也能夠得到與上述實施形態(tài)1所述的效果相同的效果。例如，由于傾斜部的傾斜方向與探針14的傾斜姿勢的方向大致一致，因此能夠很容易地拔出探針14。又，由于后端側(cè)插通孔52X配置于向前端側(cè)插通孔51X的傾斜部的傾斜方向偏移的位置上，因此容易將探針14插入后端側(cè)支持體52。
又，如圖16所示，形成除了前端側(cè)插通孔51X的傾斜部以外，還具備后端側(cè)插通孔62X相對于對向面51a的垂直方向傾斜的傾斜部，同時，可以配置前端側(cè)插通孔51X與后端側(cè)插通孔62X，使前端側(cè)插通孔51X的傾斜部的傾斜方向與后端側(cè)插通孔62X的傾斜部的傾斜方向大致一致。也就是說，也可以是探針14的前端側(cè)部分14s和后端側(cè)部分14u中的任一方配置于相對于前端側(cè)部分14s和后端側(cè)部分14u中的任意另一方向傾斜部的傾斜側(cè)偏移的位置上。
更具體地說，也可以形成如下所述的結(jié)構(gòu)。例如，如上所述將具有垂直于對向面51a的貫通孔211a的支持板211與具有相對于對向面51a的正交方向傾斜的貫通孔212a的支持板212疊層，構(gòu)成前端側(cè)支持體51。又，將具有垂直于對向面51a的貫通孔222a的支持板222與具有相對于對向面51a的正交方向傾斜的貫通孔221a的支持板221疊層，構(gòu)成后端側(cè)支持體62。前端側(cè)插通孔51X由貫通孔211a和貫通孔212a構(gòu)成，形成貫通孔212a的部分成為前端側(cè)插通孔51X的傾斜部。又，后端側(cè)插通孔62X由貫通孔221a和貫通孔222a構(gòu)成，形成貫通孔221a的部分成為后端側(cè)插通孔62X的傾斜部。而且，配置前端側(cè)插通孔51X與后端側(cè)插通孔62X，使前端側(cè)插通孔51X的傾斜部的傾斜方向與后端側(cè)插通孔62X的傾斜部的傾斜方向大致一致，同時，探針14的前端側(cè)部分14s和后端側(cè)部分14u中的任一方配置為相對于前端側(cè)部分14s和后端側(cè)部分14u中的任意另一方，向傾斜部傾斜側(cè)偏移的位置上。
在這樣構(gòu)成的情況下，向前端側(cè)插通孔51X的上側(cè)，或從后端側(cè)插通孔62X向下側(cè)拔出探針14，或從上側(cè)向前端側(cè)插通孔51X，或從下側(cè)向后端側(cè)插通孔62X插入探針14。即使是這樣構(gòu)成的情況下，也能夠得到與上述實施形態(tài)1所述的效果相同的效果。例如，由于傾斜部的傾斜方向與探針14的傾斜姿勢的方向大致一致，所以能夠容易地拔出探針14。又，在從上側(cè)向前端側(cè)插通孔51X插入探針14的情況下，后端側(cè)插通孔62X配置于向前端側(cè)插通孔51X的傾斜部的傾斜方向偏移的位置上，因此容易將探針14插入后端側(cè)支持體62，在從下側(cè)向后端側(cè)插通孔62X插入探針14的情況下，前端側(cè)插通孔51X配置于向后端側(cè)插通孔62X的傾斜部的傾斜方向偏移的位置上，因此容易將探針14插入前端側(cè)支持體51。還有，使用前端側(cè)支持體和后端側(cè)支持體構(gòu)成的支持板的疊層數(shù)不限于2層。
權(quán)利要求
1.一種檢查夾具，其特征在于，具備具有有向檢查對象的探針引導(dǎo)方向的前端側(cè)插通孔的前端側(cè)支持體，在所述前端側(cè)支持體的后方保持間隔配置、具有沿相對于所述前端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向傾斜的探針引導(dǎo)方向的后端側(cè)插通孔的后端側(cè)支持體，具有能夠使其前端在所述檢查對象側(cè)出沒地插通所述前端側(cè)插通孔的前端側(cè)部分以及插通所述后端側(cè)插通孔的后端側(cè)部分的、可屈曲的具有彈性的探針，以及配置于所述后端側(cè)支持體的后方、與所述后端側(cè)部分接觸的電極；所述探針的前端側(cè)部分配置于相對所述后端側(cè)部分向所述后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向的傾斜側(cè)偏移的位置上。
2.如權(quán)利要求1所述的檢查夾具，其特征在于，所述前端側(cè)插通孔的后端側(cè)的開口位置，從所述后端側(cè)插通孔來看配置于所述后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向上。
3.如權(quán)利要求1或2所述的檢查夾具，其特征在于，設(shè)置多個所述前端側(cè)插通孔、后端側(cè)插通孔以及探針，所述多個后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向相對于所述前端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向向相同的方向傾斜。
4.如權(quán)利要求1或2所述的檢查夾具，其特征在于，設(shè)置多個所述前端側(cè)插通孔、后端側(cè)插通孔以及探針，相鄰的所述多個后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向相對于所述前端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向向不同的方向傾斜。
5.如權(quán)利要求4所述的檢查夾具，其特征在于，所述相鄰的多個后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向交互向垂直于所述前端側(cè)插通孔的排列方向的一個方向以及與作為該一個方向的相反方向的另一方向的不同方向傾斜。
6.如權(quán)利要求4或5所述的檢查夾具，其特征在于，設(shè)定多個不同的傾斜角度作為所述多個后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向傾斜的角度。
7.如權(quán)利要求1～6中的任一項所述的檢查夾具，其特征在于，具有支持所述電極的電極支持體，所述后端側(cè)支持體與所述電極支持體形成可裝卸的結(jié)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求1～7中的任一項所述的檢查夾具，其特征在于，在所述后端側(cè)支持體與所述電極之間可裝卸地配置定位板，所述定位板上設(shè)置與所述后端側(cè)插通孔連通、形成比所述后端側(cè)插通孔直徑小的直徑的定位孔。
9.一種檢查夾具，其特征在于，具備具有有規(guī)定的探針引導(dǎo)方向的前端側(cè)插通孔和與檢查對象相對的對向面的前端側(cè)支持體，在所述前端側(cè)支持體的后方保持間隔配置、具有有規(guī)定的探針引導(dǎo)方向的后端側(cè)插通孔的后端側(cè)支持體，具有能夠使其前端在所述檢查對象側(cè)出沒地插通所述前端側(cè)插通孔的前端部分以及插通所述后端側(cè)插通孔的后端側(cè)部分的、可屈曲的具有彈性的探針，以及配置于所述后端側(cè)支持體的后方、與所述后端側(cè)部分接觸的電極；所述前端側(cè)插通孔及所述后端側(cè)插通孔中的至少一方具備其探針的引導(dǎo)方向相對于所述對向面的垂直方向傾斜的傾斜部，所述探針的所述前端側(cè)部分及所述后端側(cè)部分中的任一方配置于相對所述前端側(cè)部分及所述后端側(cè)部分中的任一方外的一方、向所述傾斜部的傾斜側(cè)偏移的位置上。
10.一種檢查裝置，其特征在于，是具有權(quán)利要求1～9中的任一項所述的檢查夾具、以及與該檢查夾具的所述多個電極電連接的電氣檢查裝置。
全文摘要
本發(fā)明的課題是，在利用能夠屈曲具有彈性的探針的撓曲進行檢查用的檢查夾具中，實現(xiàn)盡管可以容易地進行探針的替換，還是可以采用簡單結(jié)構(gòu)的檢查夾具的新的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的檢查夾具(10)具備具有有向檢查對象的探針引導(dǎo)方向的前端側(cè)插通孔的前端側(cè)支持體(11)，在前端側(cè)支持體(11)的后方保持間隔配置、具有沿相對于前端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向傾斜的探針引導(dǎo)方向的后端側(cè)插通孔的后端側(cè)支持體(12)，具有能夠使其前端在檢查對象側(cè)出沒地插通前端側(cè)插通孔的前端側(cè)部分以及插通后端側(cè)插通孔的后端側(cè)部分的、可屈曲的具有彈性的探針(14)，以及配置于后端側(cè)支持體(12)的后方、與后端側(cè)部分接觸的電極(16)；探針(14)的前端側(cè)部分配置于相對后端側(cè)部分向后端側(cè)插通孔的探針引導(dǎo)方向傾斜側(cè)偏移的位置上。
文檔編號G01R31/02GK1854744SQ20051011345
公開日2006年11月1日 申請日期2005年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月21日
發(fā)明者土橋賢治, 小澤浩二, 伊藤光彥, 兩角和彥, 飯野伸治 申請人:株式會社光陽科技