專利名稱：夾具特性測定裝置、方法、程序、記錄介質(zhì)以及網(wǎng)絡(luò)分析器、半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在運(yùn)算測量被測定物的電路參數(shù)時所使用的夾具的特性的測定。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)上，都要進(jìn)行被測定物(DUTDevice Under Test)的電路參數(shù)(例如S參數(shù))的測定(例如參照專利文獻(xiàn)1(特開平11-38054號公報))。
具體說，從信號源通過DUT向接收部發(fā)送信號。該信號由接收部接收。通過測定由接收部接收的信號，就能夠取得DUT的S參數(shù)或頻率特性。
此時，由于信號源等測定系統(tǒng)和DUT的不匹配等在測定中產(chǎn)生測定系統(tǒng)誤差。該測定系統(tǒng)誤差，例如有Ed由橋的方向性引起的誤差，Er由頻率跟蹤引起的誤差，Es由源匹配引起的誤差。
在這種場合，例如可以如專利文獻(xiàn)1中記載的那樣修正誤差。這樣的修正稱為校準(zhǔn)。現(xiàn)對于校準(zhǔn)加以概述。把信號源連接到校正工具上，實(shí)現(xiàn)開路、短路、加載(標(biāo)準(zhǔn)負(fù)荷Z0)三種狀態(tài)。通過橋取得此時從校正工具反射的信號，求與三種狀態(tài)對應(yīng)的三種S參數(shù)。從三種S參數(shù)求三種變量Ed、Er、Es。
另外，也可以在夾具上固定DUT，通過夾具把DUT連接到測定系統(tǒng)(例如網(wǎng)絡(luò)分析器)上來進(jìn)行。在這一場合，可以如上述那樣來修正測定系統(tǒng)(例如網(wǎng)絡(luò)分析器)中的誤差。另外，在夾具的傳送線路特性良好的場合，從測定系統(tǒng)給予夾具的信號，由夾具僅引起相位變化。因此，可以與夾具的傳送線路的長度相吻合地校正相位。
但是，在把高頻信號給予DUT的場合，傳送線路特性良好的夾具的制造困難。因此，從測定系統(tǒng)給予夾具的信號，通過夾具產(chǎn)生損失。在這一場合，如僅進(jìn)行相位的校正，則測定精度惡化。因此，理想的是測定夾具的特性，更正確地進(jìn)行校正。
因此，本發(fā)明的課題是測定在運(yùn)算測量被測定物的電路參數(shù)時使用的夾具的特性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的夾具特性測定裝置，是用于測定夾具的夾具特性，所述夾具具有連接被測定物和用于測定被測定物的特性的測定裝置的信號線，所述夾具特性測定裝置，被構(gòu)成為具有在被測定物不連接在信號線的開路狀態(tài)下、測定信號線的反射系數(shù)的第一反射系數(shù)測定單元；在信號線全部接地的短路狀態(tài)下，測定信號線的反射系數(shù)的第二反射系數(shù)測定單元；根據(jù)第一反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果和第二反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果導(dǎo)出夾具特性的夾具特性導(dǎo)出單元。
根據(jù)如上述構(gòu)成的夾具特性測定裝置，可以提供用于測定夾具的夾具特性的夾具特性測定裝置，所述夾具具有用于連接被測定物和用于測定被測定物的特性的測定裝置的信號線。
第一反射系數(shù)測定單元，在被測定物未被連接在信號線上的狀態(tài)下，測定信號線的反射系數(shù)。第二反射系數(shù)測定單元，在信號線全部接地的短路狀態(tài)下測定信號線的反射系數(shù)。夾具特性導(dǎo)出單元，根據(jù)第一反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果和第二反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果導(dǎo)出夾具特性。
另外，在本發(fā)明的夾具特性測定裝置中，夾具也可以具有在表面配置被測定物以及信號線、而在背面配置接地電位部的基板，和在表面開口、而連接接地電位部的通孔。
另外，在本發(fā)明的夾具特性測定裝置中，開路狀態(tài)，也可以是未將被測定物配置在夾具上的狀態(tài)。
另外，在本發(fā)明的夾具特性測定裝置中，短路狀態(tài)，也可以是在表面上配置信號線以及在通孔上連接的金屬化部的狀態(tài)。
另外，在本發(fā)明的夾具特性測定裝置中，夾具特性導(dǎo)出單元，也可以把第一反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果和第二反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果的乘積的絕對值的平方根作為夾具特性。
另外，在本發(fā)明的夾具特性測定裝置中，夾具特性導(dǎo)出單元，也可以把第一反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果和第二反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果的乘積的絕對值的四次方根作為夾具特性。
另外，本發(fā)明，也可以是具有上述那樣的夾具特性測定裝置的、根據(jù)通過夾具特性測定裝置導(dǎo)出的夾具特性校正被測定物的測定結(jié)果的網(wǎng)絡(luò)分析器。
另外，本發(fā)明，也可以是具有上述那樣的夾具特性測定裝置的、根據(jù)通過夾具特性測定裝置導(dǎo)出的夾具特性校正被測定物的測定結(jié)果的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置。
本發(fā)明的夾具特性測定方法，是用于測定夾具的夾具特性的夾具特性測定方法，所述夾具具有連接被測定物和用于測定被測定物的特性的測定裝置的信號線，所述夾具特性測定方法被構(gòu)成為，具有在被測定物不連接在信號線的開路狀態(tài)下，測定信號線的反射系數(shù)的第一反射系數(shù)測定步驟；在信號線全部接地的短路狀態(tài)下，測定信號線的反射系數(shù)的第二反射系數(shù)測定步驟；根據(jù)第一反射系數(shù)測定步驟的測定結(jié)果和第二反射系數(shù)測定步驟的測定結(jié)果，導(dǎo)出夾具特性的夾具特性導(dǎo)出步驟。
本發(fā)明的程序，是使計算機(jī)執(zhí)行用于測定夾具的夾具特性的夾具特性測定處理的程序，所述夾具具有連接被測定物和用于測定被測定物的特性的測定裝置的信號線，所述程序是使計算機(jī)執(zhí)行下述處理的程序在被測定物不連接在信號線的開路狀態(tài)下，測定信號線的反射系數(shù)的第一反射系數(shù)測定處理；在信號線全部接地的短路狀態(tài)下，測定信號線的反射系數(shù)的第二反射系數(shù)測定處理；根據(jù)第一反射系數(shù)測定處理的測定結(jié)果和第二反射系數(shù)測定處理的測定結(jié)果導(dǎo)出夾具特性的夾具特性導(dǎo)出處理。
本發(fā)明的記錄介質(zhì)，是記錄使計算機(jī)執(zhí)行用于測定夾具的夾具特性的夾具特性測定處理的程序的計算機(jī)可讀記錄介質(zhì)，所述夾具具有連接被測定物和用于測定被測定物的特性的測定裝置的信號線，所述存儲介質(zhì)是記錄使計算機(jī)執(zhí)行下述處理的程序的計算機(jī)可讀記錄介質(zhì)在被測定物不連接在信號線的開路狀態(tài)下，測定信號線的反射系數(shù)的第一反射系數(shù)測定處理；在信號線全部接地的短路狀態(tài)下，測定信號線的反射系數(shù)的第二反射系數(shù)測定處理；根據(jù)第一反射系數(shù)測定處理的測定結(jié)果和第二反射系數(shù)測定處理的測定結(jié)果導(dǎo)出夾具特性的夾具特性導(dǎo)出處理。


圖1是表示通過具有涉及本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的夾具特性測定裝置的網(wǎng)絡(luò)分析器1測定固定在夾具3上的DUT2的特性時網(wǎng)絡(luò)分析器1和DUT2的連接關(guān)系的圖。
圖2是夾具3的平面圖(圖2(a))、截面圖(圖2(b))。
圖3是表示開路狀態(tài)的夾具3的平面圖。
圖4是表示短路狀態(tài)的夾具3的平面圖(圖4(a))、截面圖(圖4(b))。
圖5是表示網(wǎng)絡(luò)分析器1的結(jié)構(gòu)的框圖。
圖6是表示夾具特性測定裝置60的結(jié)構(gòu)的框圖。
圖7是表示信號線3a的反射特性的真值以及信號線3a的反射系數(shù)SAAopen、SAAshort的關(guān)系的圖。
圖8是信號線3a的信號流圖。
圖9是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的動作的流程圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照

本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。
圖1是表示通過具有涉及本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的夾具特性測定裝置的網(wǎng)絡(luò)分析器1測定固定在夾具3上的DUT2的特性時網(wǎng)絡(luò)分析器1和DUT2的連接關(guān)系的圖。網(wǎng)絡(luò)分析器1是用于測定DUT2的特性的測定裝置。
DUT2是被測定物(device Under Test)。DUT2安裝在夾具3的表面。在夾具3的表面上，配置信號線3a、3b、3c、3d，與DUT2連接。網(wǎng)絡(luò)分析器1具有端口A、B、C、D。端口A、B、C、D是用于收發(fā)信號的端口。端口A連接電纜6a。端口B連接電纜6b。端口C連接電纜6c。端口D連接電纜6d。電纜6a通過接線器8a連接信號線3a。電纜6b通過接線器8b連接信號線3b。電纜6c通過接線器8c連接信號線3c。電纜6d通過接線器8d連接信號線3d。這樣，信號線3a、3b、3c、3d與DUT2和網(wǎng)絡(luò)分析器1連接。
圖2是夾具3的平面圖(圖2(a))、截面圖(圖2(b))。此外，在圖2(a)中，虛線表示應(yīng)該配置DUT2的位置。夾具3具有基板32以及通孔3H。
在夾具3的基板32的表面32a(參照圖2(b))上，配置DUT2以及信號線3a、3b、3e、3d，開口通孔3H(參照圖2(a))。把信號線3a的接線器8a側(cè)的端部稱為1，把DUT2側(cè)的端部稱為2。把信號線3b的接線器8b側(cè)的端部稱為3，把DUT2側(cè)的端部稱為4。把信號線3c的接線器8c側(cè)的端部稱為5，把DUT2側(cè)的端部稱為6。把信號線3d的接線器8d側(cè)的端部稱為7，把DUT2側(cè)的端部稱為8。DUT2具有與端部2、4、6、8對應(yīng)的4個端口。通孔3H，參照圖2(b)，在基板32的表面32a上開口，貫通基板32，與在基板32的背面32b上配置的接地電位部3G連接。接地電位部3G相當(dāng)于所謂的GND，保持接地時的電位。
返回圖1，網(wǎng)絡(luò)分析器1從端口A、B、C、D的任何一個(例如端口A)輸出測定用信號。測定用信號通過電纜6a，經(jīng)由接線器8a，給予信號線3a。進(jìn)而，測定用信號通過信號線3a給予DUT2。DUT2接收測定用信號，輸出應(yīng)答信號。應(yīng)答信號通過信號線3a、3b、3c、3d的任何一條(例如信號線3b)輸出。進(jìn)而，應(yīng)答信號經(jīng)由接線器8b，通過電纜6b給予端口B。給予端口B的應(yīng)答信號，通過網(wǎng)絡(luò)分析器1測定。這樣，通過網(wǎng)絡(luò)分析器1測定DUT2的特性。
這里，在通過網(wǎng)絡(luò)分析器1測定從DUT2給予的信號的數(shù)據(jù)中，包含(1)由于網(wǎng)絡(luò)分析器1以及電纜6a、6b、6c、6d產(chǎn)生的誤差(稱為“測定位置誤差”)、(2)由信號線3a、3b、3c、3d產(chǎn)生的誤差(稱為“夾具特性”)。這里，測定位置誤差，可以根據(jù)現(xiàn)有周知的校正方法進(jìn)行測定。在本實(shí)施形態(tài)中，其特征是如何測定夾具特性。
為測定夾具特性，需要在夾具3中實(shí)現(xiàn)開路狀態(tài)(參照圖3)以及短路狀態(tài)(參照圖4)、測定各狀態(tài)下的信號線3a、3b、3c、3d的反射系數(shù)。
圖3是表示開路狀態(tài)的夾具3的平面圖。開路狀態(tài)是不在信號線3a、3b、3c、3d連接DUT2的狀態(tài)。亦即信號線3a的DUT2側(cè)的端部2、信號線3b的DUT2側(cè)的端部4、信號線3c的DUT2側(cè)的端部6、信號線3d的DUT2側(cè)的端部8任何一個都處于不連接的狀態(tài)。開路狀態(tài)，因?yàn)槭窃趭A具3的基板32的表面32a上不配置DUT2的狀態(tài)，所以例如如果把DUT2從夾具3中取出則可以實(shí)現(xiàn)。
圖4是表示短路狀態(tài)的夾具3的平面圖(圖4(a))、截面圖(圖4(b))。短路狀態(tài)是信號線3a、3b、3c、3d全部接地的狀態(tài)。參照圖4(a)，金屬化部3S是和DUT2相同大小(面積)的金屬板。金屬化部3S在表面32a上配置，與信號線3a、3b、3c、3d連接。而且，金屬化部3S覆蓋通孔3H，連接通孔3H(參照圖4(b))。因?yàn)橥?H連接接地電位部3G，所以金屬化部3S接地。信號線3a、3b、3c、3d全部接地。
圖5是表示網(wǎng)絡(luò)分析器1的結(jié)構(gòu)的框圖。不過圖中省略了夾具特性測定裝置。網(wǎng)絡(luò)分析器1，在省略了圖示的夾具特性測定裝置之外，具有信號輸出部12、橋13、開關(guān)14、內(nèi)部混合器16、接收器(Rch)18、橋23、內(nèi)部混合器26、接收器(Ach)28、橋33、內(nèi)部混合器36、接收器(Bch)38、橋123、內(nèi)部混合器126、接收器(Dch)128、橋133、內(nèi)部混合器136、接收器(Cch)138。
信號輸出部12輸出測定用信號。橋13把從信號輸出部12輸出的測定用信號供給內(nèi)部混合器16以及開關(guān)14。開關(guān)14具有端子14a、14b、14c、14d、14e。端子14e連接橋13，從橋13接收信號。端子14e連接端子14a、14b、14c、14d中的某一個。內(nèi)部混合器16把從橋給予的測定用信號與內(nèi)部本地信號混合后輸出。接收器(Rch)18測定內(nèi)部混合器16輸出的信號。例如測定信號的功率。
橋23連接端子14a，朝向端口A輸出從信號輸出部12經(jīng)由橋13以及開關(guān)14給予的測定用信號。進(jìn)而，經(jīng)由端口A接收反射回來的測定用信號以及從DUT2輸出的應(yīng)答信號，供給內(nèi)部混合器26。內(nèi)部混合器26，在把從橋23給予的信號和內(nèi)部本地信號混合后輸出。接收器(Ach)28測定內(nèi)部混合器26輸出的信號。例如測定信號的功率。
橋33連接端子14b，朝向端口B輸出從信號輸出部12經(jīng)由橋13以及開關(guān)14給予的測定用信號。進(jìn)而，經(jīng)由端口B接收反射回來的測定用信號以及從DUT2輸出的應(yīng)答信號，供給內(nèi)部混合器36。內(nèi)部混合器36，在把從橋33給予的信號和內(nèi)部本地信號混合后輸出。接收器(Bch)38測定內(nèi)部混合器36輸出的信號。例如測定信號的功率。
橋133連接端子14c，朝向端口C輸出從信號輸出部12經(jīng)由橋13以及開關(guān)14給予的測定用信號。進(jìn)而，經(jīng)由端口C接收反射回來的測定用信號以及從DUT2輸出的應(yīng)答信號，供給內(nèi)部混合器136。內(nèi)部混合器136，在把從橋133給予的信號和內(nèi)部本地信號混合后輸出。接收器(Cch)138測定內(nèi)部混合器136輸出的信號。例如測定信號的功率。
橋123連接端子14d，朝向端口D輸出從信號輸出部12經(jīng)由橋13以及開關(guān)14給予的測定用信號。進(jìn)而，經(jīng)由端口D接收反射回來的測定用信號以及從DUT2輸出的應(yīng)答信號，供給內(nèi)部混合器126。內(nèi)部混合器126，在把從橋123給予的信號和內(nèi)部本地信號混合后輸出。接收器(Dch)128測定內(nèi)部混合器126輸出的信號。例如測定信號的功率。
接收器(Rch)18、接收器(Ach)28、接收器(Bch)38、接收器(Cch)138以及接收器(Dch)128的測定結(jié)果，向省略了圖示的夾具特性測定裝置發(fā)送。
圖6是表示夾具特性測定裝置60的結(jié)構(gòu)的框圖。夾具特性測定裝置60，具有第一反射系數(shù)測定部42a、44a、46a、48a、第二反射系數(shù)測定部42b、44b、46b、48b、夾具特性導(dǎo)出部50a、50b、50c、50d。
第一反射系數(shù)測定部42a，在開路狀態(tài)(參照圖3)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Ach)28的測定結(jié)果，根據(jù)這些測定結(jié)果，求信號線3a的反射系數(shù)(SAAopen)。
第二反射系數(shù)測定部42b，在短路狀態(tài)(參照圖4)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Ach)28的測定結(jié)果，根據(jù)這些測定結(jié)果，求信號線3a的反射系數(shù)(SAAshort)。
夾具特性導(dǎo)出部50a，接收信號線3a的反射系數(shù)SAAopen以及SAAshort，根據(jù)這些，導(dǎo)出信號線3a的特性(夾具特性)。信號線3a的特性(夾具特性)，在不連接DUT2時，入射信號線3a的接線器8a側(cè)的端部1的信號，是通過DUT2側(cè)的端部2在端部1上反射的比例(反射特性)。
圖7是表示信號線3a的反射特性的真值以及信號線3a的反射系數(shù)SAAopen、SAAshort的關(guān)系的圖。在把低頻信號給予信號線3a時，通過反射引起的損失幾乎沒有。因此，因?yàn)榻o予信號線3a的信號的功率與通過信號線3a反射的信號的功率幾乎相等，反射特性幾乎成為0[dB]。但是，當(dāng)把高頻信號給予信號線3a時，通過反射的損失變大。于是，與給予信號線3a的信號的功率相比，通過信號線3a反射的信號的功率變小。因此，隨著頻率升高，反射特性變得比0[dB]更小。亦即隨著頻率升高，反射特性的真值降低。
這里，信號線3a的反射系數(shù)SAAopen以及SAAshort，一邊重復(fù)變得比反射特性的真值大或小，一邊隨頻率升高而降低。SAAopen的相位，成為與SAAshort的相位反轉(zhuǎn)的相位。于是有，信號線3a的特性(反射特性)＝(SAAopen×(-SAAshort))1/2(亦即(SAAopen×(-SAAshort))的平方根)。此外，在SAAshort上乘以負(fù)號，是因?yàn)橥ㄟ^相位反轉(zhuǎn)，把成為和SAAopen異符號改成同符號。于是，SAAopen×(-SAAshort)是SAAopen×SAAshort的絕對值。
圖8是信號線3a的信號流圖。假定信號線3a的反射S參數(shù)是理想的、亦即S11＝S22＝0。另外，假定信號線3a的傳輸S參數(shù)S21以及S12相等。作為信號線3a的特性(夾具特性)，夾具特性導(dǎo)出部也可以導(dǎo)出這樣假定時的信號線3a的傳輸S參數(shù)S21以及S12。因?yàn)镾21×S12＝信號線3a的特性(反射特性)，所以有S21＝S12＝信號線3a的特性(反射特性)1/2＝(SAAopen×(-SAAshort)1/4(亦即(SAAopen×(-SAAshort))的四次方根)。
此外，夾具特性導(dǎo)出部50a，也可以導(dǎo)出信號線3a的特性(反射特性)，進(jìn)而根據(jù)信號線3a的特性(反射特性)導(dǎo)出信號線3a的傳輸S參數(shù)S21以及S12。
同樣，第一反射系數(shù)測定部44a，在開路狀態(tài)(參照圖3)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Bch)38的測定結(jié)果，根據(jù)這些測定結(jié)果，求信號線3b的反射系數(shù)(SBBopen)。第二反射系數(shù)測定部44b，在短路狀態(tài)(參照圖4)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Bch)38的測定結(jié)果，根據(jù)這些測定結(jié)果，求信號線3b的反射系數(shù)(SBBshort)。夾具特性導(dǎo)出部50b，接收信號線3b的反射系數(shù)SBBopen以及SBBshort，根據(jù)這些，導(dǎo)出信號線3b的特性(夾具特性)。信號線3b的特性(夾具特性)，是信號線3b的反射特性以及信號線3b的傳輸S參數(shù)S43、S34的某一個之上。
同樣，第一反射系數(shù)測定部46a，在開路狀態(tài)(參照圖3)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Cch)138的測定結(jié)果，根據(jù)這些測定結(jié)果，求信號線3c的反射系數(shù)(SCCopen)。第二反射系數(shù)測定部46b，在短路狀態(tài)(參照圖4)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Cch)138的測定結(jié)果，根據(jù)這些測定結(jié)果，求信號線3c的反射系數(shù)(SCCshort)。夾具特性導(dǎo)出部50c，接收信號線3c的反射系數(shù)SCCopen以及SCCshort，根據(jù)這些，導(dǎo)出信號線3c的特性(夾具特性)。信號線3c的特性(夾具特性)，是信號線3c的反射特性以及信號線3c的傳輸S參數(shù)S65、S56的某一個之上。
同樣，第一反射系數(shù)測定部48a，在開路狀態(tài)(參照圖3)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Dch)128的測定結(jié)果，根據(jù)這些測定結(jié)果，求信號線3d的反射系數(shù)(SDDopen)。第二反射系數(shù)測定部48b，在短路狀態(tài)(參照圖4)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Dch)128的測定結(jié)果，根據(jù)這些測定結(jié)果，求信號線3d的反射系數(shù)(SDDshort)。夾具特性導(dǎo)出部50d，接收信號線3d的反射系數(shù)SDDopen以及SDDshort，根據(jù)這些，導(dǎo)出信號線3d的特性(夾具特性)。信號線3d的特性(夾具特性)，是信號線3d的反射特性以及信號線3d的傳輸S參數(shù)S87、S78的某一個之上。
下面參照圖9的流程圖說明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的動作。
首先實(shí)現(xiàn)開路狀態(tài)(參照圖3)，第一反射系數(shù)測定部42a、44a、46a、48a測定此時的信號線3a、3b、3c、3d的反射系數(shù)SAAopen、SBBopen、SCCopen、SDDopen(S12)。
接著實(shí)現(xiàn)短路狀態(tài)(參照圖4)，第二反射系數(shù)測定部42b、44b、46b、48b測定此時的信號線3a、3b、3c、3d的反射系數(shù)SAAshort、SBBshort、SCCshort、SDDshort(S14)。
然后，夾具特性導(dǎo)出部50a、50b、50c、50d根據(jù)反射系數(shù)SAAopen、SBBopen、SCCopen、SDDopen以及反射系數(shù)SAAshort、SBBshort、SCCshort、SDDshort導(dǎo)出信號線3a、3b、3c、3d的特性(夾具特性)(S16)。例如，可以導(dǎo)出信號線3a、3b、3c、3d的反射特性，也可以導(dǎo)出信號線3a、3b、3c、3d的傳輸S參數(shù)S21、S12、S43。S34、S65、S56、S87、S78。
最后，把DUT3安裝在夾具3上，測定DUT2的特性(S22)。具體說，網(wǎng)絡(luò)分析器1從端口A、B、C、D的某一個輸出測定用信號，通過夾具3給予DUT2。DUT2接收測定用信號，輸出應(yīng)答信號。網(wǎng)絡(luò)分析器1通過端口A、B、C、D的某一個以上接收應(yīng)答信號，測定應(yīng)答信號。例如測定應(yīng)答信號的功率。
這里，在應(yīng)答信號的測定結(jié)果中可能包含(1)測定裝置誤差、(2)夾具特性。這里，測定裝置誤差，可以通過周知的校正方法測定。因?yàn)槭潜娝苤?，所以不特別進(jìn)行校正方法的說明。另外，夾具特性可以如上進(jìn)行測定。因此，從應(yīng)答信號的測定結(jié)果，要除去測定的(1)測定裝置誤差、以及(2)夾具特性。亦即要進(jìn)行測定結(jié)果的校正。
此外，在本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中，關(guān)于DUT2是4端口的場合進(jìn)行了說明，但是不管DUT2的端口數(shù)的大小都可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。另外，關(guān)于網(wǎng)絡(luò)分析器1具有夾具特性測定裝置60的例子進(jìn)行了說明，但是代替網(wǎng)絡(luò)分析器1在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置具有夾具特性測定裝置60的場合同樣也可以實(shí)現(xiàn)。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)，能夠測定在運(yùn)算測量DUT2的電路參數(shù)時使用的夾具3的夾具特性。例如，能夠測定信號線3a、3b、3c、3d的反射特性?；蛘吣軌驕y定信號線3a、3b、3c、3d的傳輸S參數(shù)S21、S12、S43。S34、S65、S56、S87、S78。
另外，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)，在測定夾具3的夾具特性時，夾具3的狀態(tài)，可以實(shí)現(xiàn)開路狀態(tài)(參照圖3)、以及短路狀態(tài)(參照圖4)兩種。這點(diǎn)在與下述的比較例比較的場合，意味著減輕為實(shí)現(xiàn)夾具3的狀態(tài)的勞力。
比較例，使DUT2成為開路狀態(tài)此點(diǎn)不變。不同點(diǎn)是，代替DUT2，無電阻直接連接(直通Thru)任何兩條信號線。通過直接連接，可以用每一網(wǎng)絡(luò)分析器測定由兩條信號線引起的誤差。根據(jù)比較例，因?yàn)闊o電阻直接連接兩條信號線，所以如圖1所示在DUT2有4個端口的場合，狀態(tài)可以有4×3/2＝6種。于是，因?yàn)殚_路狀態(tài)是一種，直接連接狀態(tài)是6種，所以如果不實(shí)現(xiàn)合計7種狀態(tài)，則不能測定由信號線引起的誤差。這點(diǎn)，與如本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)只要實(shí)現(xiàn)夾具3的兩種狀態(tài)即可相比，勞力大。
另外，上述的實(shí)施形態(tài)，可以如下實(shí)現(xiàn)。使具有CPU、硬盤、介質(zhì)(軟(注冊商標(biāo))盤、CD-ROM等)讀取裝置的計算機(jī)的介質(zhì)讀取裝置，讀取記錄了實(shí)現(xiàn)上述各部分(例如夾具特性測定裝置60)的程序的介質(zhì)，而后安裝在硬盤上。用這樣的方法中也能實(shí)現(xiàn)上述的功能。
權(quán)利要求
1.一種夾具特性測定裝置，用于測定夾具的夾具特性，所述夾具具有連接被測定物和用于測定所述被測定物的特性的測定裝置的信號線，具有下述單元在所述被測定物不連接在所述信號線的開路狀態(tài)下，測定所述信號線的反射系數(shù)的第一反射系數(shù)測定單元；在所述信號線全部接地的短路狀態(tài)下，測定所述信號線的反射系數(shù)的第二反射系數(shù)測定單元；和根據(jù)所述第一反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果和所述第二反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果，導(dǎo)出所述夾具特性的夾具特性導(dǎo)出單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具特性測定裝置，其中，所述夾具，具有在表面配置所述被測定物以及所述信號線、并在背面配置接地電位部的基板；和在所述表面上開口、并連接到所述接地電位部的通孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾具特性測定裝置，其中，所述開路狀態(tài)是所述被測定物不配置在所述夾具上的狀態(tài)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾具特性測定裝置，其中，所述短路狀態(tài)是在所述表面上配置所述信號線以及在所述通孔上連接的金屬化部的狀態(tài)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具特性測定裝置，其中，所述夾具特性導(dǎo)出單元，把所述第一反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果和所述第二反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果的乘積的絕對值的平方根作為夾具特性。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具特性測定裝置，其中，所述夾具特性導(dǎo)出單元，把所述第一反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果和所述第二反射系數(shù)測定單元的測定結(jié)果的乘積的絕對值的四次方根作為夾具特性。
7.一種網(wǎng)絡(luò)分析器，其具有權(quán)利要求1到6中任何一項(xiàng)所述的夾具特性測定裝置；根據(jù)通過所述夾具特性測定裝置導(dǎo)出的所述夾具特性，校正所述被測定物的測定結(jié)果。
8.一種半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置，其具有權(quán)利要求1到6中任何一項(xiàng)所述的夾具特性測定裝置；根據(jù)通過所述夾具特性測定裝置導(dǎo)出的所述夾具特性，校正所述被測定物的測定結(jié)果。
9.一種夾具特性測定方法，用于測定夾具的夾具特性，所述夾具具有連接被測定物和用于測定所述被測定物的特性的測定裝置的信號線，所述夾具特性測定方法，包括下述步驟在所述被測定物不連接在所述信號線的開路狀態(tài)下，測定所述信號線的反射系數(shù)的第一反射系數(shù)測定步驟；在所述信號線全部接地的短路狀態(tài)下，測定所述信號線的反射系數(shù)的第二反射系數(shù)測定步驟；和根據(jù)所述第一反射系數(shù)測定步驟的測定結(jié)果和所述第二反射系數(shù)測定步驟的測定結(jié)果，導(dǎo)出所述夾具特性的夾具特性導(dǎo)出步驟。
10.一種程序，其用來使計算機(jī)執(zhí)行用于測定夾具的夾具特性的夾具特性測定處理，所述夾具具有連接被測定物和用于測定所述被測定物的特性的測定裝置的信號線，所述程序用來使計算機(jī)執(zhí)行下述處理在所述被測定物不連接在所述信號線的開路狀態(tài)下，測定所述信號線的反射系數(shù)的第一反射系數(shù)測定處理；在所述信號線全部接地的短路狀態(tài)下，測定所述信號線的反射系數(shù)的第二反射系數(shù)測定處理；和根據(jù)所述第一反射系數(shù)測定處理的測定結(jié)果和所述第二反射系數(shù)測定處理的測定結(jié)果導(dǎo)出所述夾具特性的夾具特性導(dǎo)出處理。
11.一種計算機(jī)可讀記錄介質(zhì)，其是記錄了用來使計算機(jī)執(zhí)行用于測定夾具的夾具特性的夾具特性測定處理的程序的、計算機(jī)可讀的記錄介質(zhì)，所述夾具具有連接被測定物和用于測定所述被測定物的特性的測定裝置的信號線，所述計算機(jī)可讀記錄介質(zhì)記錄了使計算機(jī)執(zhí)行下述處理的程序在所述被測定物不連接在所述信號線的開路狀態(tài)下，測定所述信號線的反射系數(shù)的第一反射系數(shù)測定處理；在所述信號線全部接地的短路狀態(tài)下，測定所述信號線的反射系數(shù)的第二反射系數(shù)測定處理；和根據(jù)所述第一反射系數(shù)測定處理的測定結(jié)果和所述第二反射系數(shù)測定處理的測定結(jié)果，導(dǎo)出所述夾具特性的夾具特性導(dǎo)出處理。
全文摘要
本發(fā)明涉及在運(yùn)算測量被測定物的電路參數(shù)時使用的夾具的特性的測定。一種用于測定具有連接DUT2和網(wǎng)絡(luò)分析器1的信號線3a、3b、3c、3d的夾具3的夾具特性(亦即信號線3a、3b、3c、3d的反射特性、傳輸S參數(shù)等)的夾具特性測定裝置，在DUT2不連接在信號線3a、3b、3c、3d上的開路狀態(tài)下，測定信號線3a、3b、3c、3d的反射系數(shù)，在信號線3a、3b、3c、3d全部接地的短路狀態(tài)下，測定信號線3a、3b、3c、3d的反射系數(shù)，根據(jù)這些測定結(jié)果，導(dǎo)出夾具3的夾具特性。
文檔編號G01R27/06GK1977174SQ200580021429
公開日2007年6月6日 申請日期2005年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月28日
發(fā)明者春田將人, 紺野裕幸, 木村直也, 中山喜和 申請人:株式會社愛德萬測試