專利名稱：在線阻容式高溫?zé)煔馑址治龇椒皟x器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種高溫?zé)煔馑址治龇椒?，具體說是一種在線阻容式高溫?zé)煔夥治龇椒胺治鰞x器。
背景技術(shù)：
高溫?zé)煔庖话阒富痣娦袠I(yè)燃煤發(fā)電工程產(chǎn)生的氣體，作為一種比較特殊的介質(zhì)，一般的溫度范圍在80-120度，特別情況下可能達(dá)到160度，另外煙氣中一般會(huì)存在粉塵和酸性物質(zhì)如SO2、NOX等，如何克服高溫、高粉塵和酸性物質(zhì)而保證煙氣水分的在線測量，是一個(gè)十分困難的問題，目前在國內(nèi)一般使用氧化鎬測量干濕煙氣中的氧量，通過計(jì)算獲得煙氣水分，是一種間接測量的方法，這種方法存在的主要問題是測量的成本高而測量的精度低，不能滿足高溫?zé)煔鉁y量的需要。
工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、氣象、環(huán)保、國防、科研、航天等部門，經(jīng)常需要對(duì)環(huán)境水分進(jìn)行測量及控制。對(duì)環(huán)境溫、水分的控制以及對(duì)工業(yè)材料水份值的監(jiān)測與分析都已成為比較普遍的技術(shù)條件之一，但在常規(guī)的環(huán)境參數(shù)中，水分是最難準(zhǔn)確測量的一個(gè)參數(shù)。
在計(jì)量法中規(guī)定，水分定義為“物象狀態(tài)的量”。日常生活中所指的水分為相對(duì)水分，用RH％表示。總言之，即氣體中(通常為空氣中)所含水蒸氣量(水蒸氣壓)與其空氣相同情況下飽和水蒸氣量(飽和水蒸氣壓)的百分比。
水分測量始終是世界計(jì)量領(lǐng)域中著名的難題之一。一個(gè)看似簡單的量值，深究起來，涉及相當(dāng)復(fù)雜的物理—化學(xué)理論分析和計(jì)算，這是因?yàn)闇y量水分要比測量溫度復(fù)雜得多，溫度是個(gè)獨(dú)立的被測量的量值，而水分卻受其他因素(大氣壓強(qiáng)、溫度)的影響。。
水分測量從原理上劃分有二、3十種之多。常見的水分測量方法有動(dòng)態(tài)法(雙壓法、雙溫法、分流法)，靜態(tài)法(飽和鹽法、硫酸法)，露點(diǎn)法，干濕球法和電子式傳感器法。電子式水分傳感器產(chǎn)品及水分測量屬于90年代興起的行業(yè)，近年來，國內(nèi)外在水分傳感器研發(fā)領(lǐng)域取得了長足進(jìn)步。濕敏傳感器正從簡單的濕敏元件向集成化、智能化、多參數(shù)檢測的方向迅速發(fā)展，為開發(fā)新一代水分測控系統(tǒng)創(chuàng)造了有利條件，也將水分測量技術(shù)提高到新的水平。
氣體水分的測量在國外目前的發(fā)展方向主要是利用高分子薄膜電容式電子測量技術(shù)，該領(lǐng)域的典型代表主要有以下兩家1.芬蘭VAISALA是溫水分測量領(lǐng)域的專業(yè)廠商，目前開發(fā)的可以用于在線測量的高溫傳感器為，采用薄膜電容的敏感元件，由于結(jié)構(gòu)和材質(zhì)上不能耐腐蝕，不能用于含有酸性氣體的高溫?zé)煔獾脑诰€測量，具體應(yīng)用于造紙行業(yè)高溫蒸汽的水分測量。
2.德國TESTO是水分測量領(lǐng)域的專業(yè)廠商，側(cè)重于各種場合下的便攜式氣體水分的測量，沒有可以應(yīng)用在高溫?zé)煔馑譁y量的產(chǎn)品。
國內(nèi)目前已經(jīng)有水分和濕度測量的技術(shù)和產(chǎn)品，但由于工藝上還存在一定的問題，測量的精度和使用的范圍還比較局限，目前一般只用于普通環(huán)境的水分測量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種能克服高溫?zé)煔獾姆蹓m、高溫和酸性腐蝕問題、可以在線長期穩(wěn)定的測量高溫?zé)煔庵兴值脑诰€阻容式高溫?zé)煔馑謨x。
本發(fā)明在線阻容式高溫?zé)煔馑謨x，所采用的技術(shù)方案是1)防粉塵不銹鋼燒結(jié)過濾器采樣裝置解決煙氣在線測量過程中煙氣粉塵磨損和堵塞問題。
2)阻容式煙氣水分測量原理采用高分子薄膜電容濕度敏感元件和鉑電阻溫度傳感器組合。水蒸汽穿過高分子薄膜電容濕度敏感元件的上部電極，到達(dá)高分子活性聚合物薄膜。煙氣中的水蒸汽被薄膜吸收的量值取決于周圍煙氣中的水分高低，因?yàn)閭鞲衅鞒叽缧『途酆衔锉∧ず鼙?，所以傳感器可以?duì)周圍環(huán)境的濕度變化作出快速反應(yīng)。聚合物中吸收的水蒸汽改變了傳感器的電介質(zhì)特性而使傳感器的電容值改變，由于煙氣中水分的含量變化與電容變化成線性關(guān)系，從而可以通過測量電路來解決高溫?zé)煔鉁y量水分的問題。鉑電阻溫度傳感器測量煙氣溫度變化，用于進(jìn)行溫度補(bǔ)償。
3)測量探頭高溫伴熱通過加熱使測量探頭的溫度達(dá)到防止煙氣中的水分結(jié)露，避免出現(xiàn)冷凝水造成煙氣中的SO2和NOX變成酸而腐蝕測量探頭。
溫度補(bǔ)償由于煙氣水分會(huì)隨煙氣溫度的變化而發(fā)生變化，需要測量煙氣的實(shí)際溫度，采用溫度補(bǔ)償減少水分測量的誤差，滿足測量的精度。
高溫?zé)煔馑址治龇椒?，采用電容濕度敏感元件作為水分傳感器、并利用高頻振蕩電路和頻率/電壓轉(zhuǎn)換電路對(duì)水分傳感器的輸出信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換，得到電壓值和與水分含量成正比的信號(hào)，設(shè)有溫度補(bǔ)償處理電路，通過溫度傳感器輸出一個(gè)隨煙氣溫度變化的溫度電壓信號(hào)，連接該電壓至溫度補(bǔ)償處理電路，將電容/頻率變化信號(hào)和溫度變化信號(hào)分別傳輸?shù)筋l率電壓轉(zhuǎn)換電路和自動(dòng)溫度補(bǔ)償電路中進(jìn)行溫度自動(dòng)補(bǔ)償處理，輸出校正過的與被測氣體含水量成正比的信號(hào)。
經(jīng)過煙溫補(bǔ)償后的電信號(hào)輸出到零點(diǎn)/滿度校準(zhǔn)電路進(jìn)行零點(diǎn)滿度校準(zhǔn)；校準(zhǔn)后的電壓信號(hào)直接輸出或再通過電流電壓轉(zhuǎn)換電路生成相對(duì)應(yīng)的4-20mA電流信號(hào)，輸出至監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)處理單元并可連接現(xiàn)場顯示裝置。
高溫?zé)煔馑謨x，其特征是包括阻容式濕度傳感器，高頻振蕩電路、頻率/電壓轉(zhuǎn)換電路；煙溫補(bǔ)償處理電路零點(diǎn)滿度校準(zhǔn)電路和電壓電流轉(zhuǎn)換器，從而生成和水分含量成正比的電信號(hào)，所述阻容式濕度傳感器包括高分子薄膜電容濕度敏感元件用于測量煙氣水分；測量煙氣溫度的鉑電阻溫度傳感器用于溫度自動(dòng)補(bǔ)償；和加熱高分子薄膜電容濕度敏感元件的加熱器，將加熱器Hr連接加熱溫控器；高分子薄膜電容濕度敏感元件連接高頻振蕩電路的輸入端、高頻振蕩電路的輸出端連接頻率/電壓轉(zhuǎn)換電路的輸入端，轉(zhuǎn)換電路的輸出端輸出與水分含量成正比的電壓信號(hào)，且與煙溫溫度傳感器電路的輸出煙溫變化的溫度電信號(hào)一道連接煙溫補(bǔ)償處理電路，經(jīng)過煙溫補(bǔ)償后的電信號(hào)輸出到零點(diǎn)/滿度校準(zhǔn)電路進(jìn)行零點(diǎn)滿度校準(zhǔn)；校準(zhǔn)后的電壓信號(hào)直接輸出或再通過電流電壓轉(zhuǎn)換電路生成相應(yīng)的4-20mA電流信號(hào)，輸出至顯示監(jiān)控裝置。
煙溫補(bǔ)償處理電路為VCA610可變?cè)鲆娣糯箅娐?，通過VCA610和P1對(duì)濕度信號(hào)進(jìn)行煙溫自動(dòng)補(bǔ)償；經(jīng)過煙溫補(bǔ)償后的電信號(hào)輸出到零點(diǎn)/滿度校準(zhǔn)電路(參見圖3中的3.5)LM385電路，并在LM385的輸出端設(shè)有可調(diào)電阻P2進(jìn)行濕度電信號(hào)的滿度校準(zhǔn)，在LM385設(shè)有電阻P3進(jìn)行濕度電信號(hào)的零點(diǎn)校準(zhǔn)。
本發(fā)明的特點(diǎn)是1)采用以上所述的4種綜合技術(shù)方案，很好地解決了高溫?zé)煔馑譁y量過程中所面臨的高溫、高粉塵和強(qiáng)腐蝕等技術(shù)難題；2)利用溫度補(bǔ)償技術(shù)保證了煙氣水分測量的精度和可靠性，實(shí)際的使用效果可以完全滿足以下設(shè)計(jì)技術(shù)指標(biāo)煙氣測量溫度-20-+180℃±2℃；煙氣水分測量0-20％±2％3)目前產(chǎn)品已經(jīng)實(shí)際試用多套，最長運(yùn)行時(shí)間已經(jīng)過年度，使用效果滿足客戶的要求。


圖1為本發(fā)明在線阻容式高溫?zé)煔馑謨x阻容式濕度傳感器示意2為本發(fā)明在線阻容式高溫?zé)煔馑謨x工作原理框3為本發(fā)明在線阻容式高溫?zé)煔馑謨x電路圖具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)在線阻容式高溫?zé)煔馑謨x的原理及實(shí)現(xiàn)方法進(jìn)行具體的說明1)阻容式傳感器包括高分子薄膜電容濕度敏感元件(圖1中的C0)，用于測量高溫?zé)煔庵械乃肿兓?
2)Pt100鉑電阻煙溫傳感器(圖1中的Rt)，用于測量高溫?zé)煔獾臒煔鉁囟茸兓糜跓煔馑譁y量的溫度補(bǔ)償；3)加熱器(圖1中的Hr)，用于加熱高分子薄膜電容濕度敏感元件(圖1中的C0)，防止煙氣中的水分凝結(jié)而腐蝕損壞高分子薄膜電容濕度敏感元件(圖1中的C0)，4)以上3者共同組成了高溫?zé)煔馑謨x阻容式濕度傳感器。
本發(fā)明裝置是一種專門用于高溫?zé)煔馑衷诰€測量的，根據(jù)工作原理框圖(圖2)說明工作方法和步驟如下1)將圖一的阻容式濕度傳感器置于高溫?zé)煔庵校?)將加熱器Hr通過加熱溫控器(參見圖2中的2.1)進(jìn)行加熱；3)將高頻振蕩器(參見圖2中的2.3)產(chǎn)生的高頻信號(hào)輸出到高分子薄膜電容濕度敏感元件Ch上；4)由于高分子薄膜電容濕度敏感元件Ch的電容量與被測量的煙氣水分含量的變化值有一定的函數(shù)關(guān)系，水分的變化使得電容值發(fā)生變化，從而使高頻振蕩器Fc的頻率發(fā)生變化，隨水分值變化的高頻振蕩頻率輸出到f/v頻率/電壓轉(zhuǎn)換電路(參見圖二中的2.4)；5)經(jīng)過f/v頻率電壓轉(zhuǎn)換電路(參見圖二中的2.4)變成一個(gè)和煙氣水分含量成正比的電壓信號(hào)，該信號(hào)輸出到自動(dòng)煙溫補(bǔ)償電路(參見圖二中的2.5)進(jìn)行煙溫補(bǔ)償處理；6)經(jīng)過煙溫補(bǔ)償后的電信號(hào)輸出到零點(diǎn)/滿度校準(zhǔn)電路(參見圖2中的2.6)進(jìn)行零點(diǎn)滿度校準(zhǔn)；煙溫補(bǔ)償后的電信號(hào)輸出端連接零點(diǎn)/滿度校準(zhǔn)電路，且零點(diǎn)/滿度校準(zhǔn)電路由二級(jí)運(yùn)放器LM385電路構(gòu)成，在一級(jí)運(yùn)放器的輸出端設(shè)有可調(diào)電阻P2進(jìn)行濕度電信號(hào)的滿度校準(zhǔn)，第二級(jí)運(yùn)放器LM385設(shè)有可調(diào)電阻P3進(jìn)行濕度電信號(hào)的零點(diǎn)校準(zhǔn)。
7)校準(zhǔn)后的電信號(hào)輸出到電壓電流轉(zhuǎn)換電路(參見圖2中的2.7)進(jìn)行處理，將電壓信號(hào)生成相應(yīng)的4-20mA電流信號(hào)，再輸出到相關(guān)的監(jiān)測、顯示裝置；8)與此同步的是將煙溫傳感器(參見圖2中的RT)測量的煙溫變化的溫度信號(hào)輸出到溫度轉(zhuǎn)換電路(參見圖2中的2.2)進(jìn)行處理；9)處理后的溫度補(bǔ)償信號(hào)再輸出到自動(dòng)煙溫補(bǔ)償電路(參見圖2中2.5)進(jìn)行煙溫補(bǔ)償。
根據(jù)工作電路圖(圖3)具體說明工作方法和步驟如下1)將阻容式濕度傳感器(參見圖3中的3.1)置于高溫?zé)煔庵校?
2)將加熱器Hr通過加熱溫控器(參見圖3中的3.1)對(duì)阻容式濕度傳感器進(jìn)行加熱；3)將高頻振蕩器(參見圖3中的3.2)產(chǎn)生的高頻信號(hào)輸出到高分子薄膜電容濕度傳感器C0上(參見圖3中的3.1)；4)高分子薄膜電容濕度敏感元件C0(參見圖3中的3.1)因測量的煙氣中水分含量(煙氣濕度)的變化而使得電容量發(fā)生變化，從而高頻振蕩器的震蕩頻率值fc也(參見圖3中的3.2)產(chǎn)生變化，隨水分的含量而變的高頻震蕩波經(jīng)過直流阻隔電容C5輸出到f/v頻率電壓轉(zhuǎn)換電路(參見圖3中的3.3)LF412的輸入端；5)經(jīng)過f/v頻率/電壓轉(zhuǎn)換電路(參見圖3中的3.3)信號(hào)變換處理后，將頻率(濕度)信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的0-1V電壓信號(hào)，從f/v頻率電壓轉(zhuǎn)換電路(參見圖3中的3.3)的輸出端輸出，經(jīng)過C6平滑濾波后輸入到自動(dòng)煙溫補(bǔ)償電路(參見圖3中的3.4)的輸入端R11、R13，相應(yīng)的煙溫電信號(hào)同時(shí)也輸入到VCA610可變?cè)鲆娣糯箅娐?，通過VCA610和P1對(duì)濕度信號(hào)進(jìn)行煙溫自動(dòng)補(bǔ)償；6)經(jīng)過煙溫補(bǔ)償后的電信號(hào)輸出到零點(diǎn)/滿度校準(zhǔn)電路(參見圖3中的3.5)LM385的輸入端，通過P2進(jìn)行濕度電信號(hào)的滿度校準(zhǔn)，通過P3進(jìn)行濕度電信號(hào)的零點(diǎn)校準(zhǔn)；7)校準(zhǔn)后的電信號(hào)通過LM385進(jìn)行電壓放大到0-10V，輸出到電壓電流轉(zhuǎn)換電路(參見圖3中的3.6)AD694進(jìn)行處理，將0-10V的電壓信號(hào)轉(zhuǎn)變成相應(yīng)的4-20mA電流信號(hào)，再輸出到相關(guān)的監(jiān)測、顯示裝置；8)與此同步的是將煙溫傳感器Rt(參見圖3中的3.1)測量的煙溫變化的溫度信號(hào)輸出到溫控表中的溫度轉(zhuǎn)換電路(參見圖3中的溫控表)進(jìn)行處理，將煙溫的電信號(hào)轉(zhuǎn)換為4-20mA的電流信號(hào)，再將4-20mA的電流信號(hào)經(jīng)過RCV420(參見圖3)轉(zhuǎn)換為0-10V煙溫電信號(hào)；9)處理后的煙溫電信號(hào)再輸出到自動(dòng)煙溫補(bǔ)償電路(參見圖3中的3.4)的RCA610，進(jìn)行煙溫補(bǔ)償(參見本節(jié)第5條)。
10)所需的電源24VDC，通過DC/DC模塊進(jìn)行處理后，轉(zhuǎn)換為±12VDC(參見圖3中的3.7)，并通過三端穩(wěn)壓電路7805和C7、C8、C9處理后輸出5VDC的前置供電電源；
權(quán)利要求
1.在線阻容式高溫?zé)煔馑謨x，其特征是包括阻容式濕度傳感器，高頻振蕩電路、頻率/電壓轉(zhuǎn)換電路；煙溫補(bǔ)償處理電路和電壓電流轉(zhuǎn)換電路，所述阻容式濕度傳感器包括用于煙氣水分測量的高分子薄膜電容濕度敏感元件，用于溫度補(bǔ)償?shù)臒煖販囟葌鞲衅?，和加熱高分子薄膜電容濕度敏感元件的加熱器組合而成；所述加熱器(Hr)連接加熱溫控器；高分子薄膜電容濕度敏感元件連接高頻振蕩電路的輸入端、高頻振蕩電路的輸出端連接頻率/電壓轉(zhuǎn)換電路，頻率/電壓轉(zhuǎn)換電路的輸出為和水分含量成正比的電壓信號(hào)，且與煙溫溫度傳感器電路的輸出煙溫變化的溫度信號(hào)一道連接煙溫補(bǔ)償處理電路，經(jīng)過煙溫補(bǔ)償后的電信號(hào)輸出到零點(diǎn)/滿度校準(zhǔn)電路進(jìn)行零點(diǎn)滿度校準(zhǔn)；校準(zhǔn)后的電壓信號(hào)直接輸出或再通過電流電壓轉(zhuǎn)換電路生成相應(yīng)的4-20mA電流信號(hào)，輸出到顯示監(jiān)測裝置。
2.由權(quán)利要求1所述的高溫?zé)煔馑謨x，其特征是煙溫補(bǔ)償處理電路為VCA610芯片構(gòu)成的可變?cè)鲆娣糯箅娐贰?br> 3.由權(quán)利要求1或2所述的高溫?zé)煔馑謨x，其特征是煙溫補(bǔ)償后的電信號(hào)輸出端連接零點(diǎn)/滿度校準(zhǔn)電路，且零點(diǎn)/滿度校準(zhǔn)電路由二級(jí)運(yùn)放器(LM385)電路構(gòu)成，在一級(jí)運(yùn)放器的輸出端設(shè)有可調(diào)電阻(P2)進(jìn)行濕度電信號(hào)的滿度校準(zhǔn)，第二級(jí)運(yùn)放器(LM385)設(shè)有可調(diào)電阻(P3)進(jìn)行濕度電信號(hào)的零點(diǎn)校準(zhǔn)。
4.高溫?zé)煔馑址治龇椒?，采用電容濕度敏感元件作為水分傳感器、并利用高頻振蕩電路和頻率/電壓轉(zhuǎn)換電路對(duì)水分傳感器的輸出信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換，得到電壓值和與水分含量成正比的信號(hào)，其特征是設(shè)有溫度補(bǔ)償處理電路，通過溫度傳感器輸出一個(gè)隨煙氣溫度變化的溫度電壓信號(hào)，連接該電壓至溫度補(bǔ)償處理電路，將電容/頻率變化信號(hào)和溫度變化信號(hào)分別傳輸?shù)筋l率電壓轉(zhuǎn)換電路和自動(dòng)溫度補(bǔ)償電路中進(jìn)行溫度自動(dòng)補(bǔ)償處理，輸出校正過的與被測氣體含水量成正比的信號(hào)。
5.由權(quán)利要求4所述的高溫?zé)煔馑址治龇椒?，其特征是?jīng)過煙溫補(bǔ)償后的電信號(hào)輸出到零點(diǎn)/滿度校準(zhǔn)電路進(jìn)行零點(diǎn)滿度校準(zhǔn)；校準(zhǔn)后的電壓信號(hào)直接輸出或再通過電流電壓轉(zhuǎn)換電路生成相對(duì)應(yīng)的4-20mA電流信號(hào)，輸出至監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)處理單元并可連接現(xiàn)場顯示裝置。
全文摘要
在線阻容式高溫?zé)煔馑謨x，包括阻容式濕度傳感器，高頻振蕩電路、頻率/電壓轉(zhuǎn)換電路；煙溫補(bǔ)償處理電路和電壓電流轉(zhuǎn)換電路，所述阻容式濕度傳感器電容濕度敏感元件，溫度傳感器和加熱器組合而成；所述加熱器(Hr)連接加熱溫控器；高分子薄膜電容濕度敏感元件連接高頻振蕩電路的輸入端、高頻振蕩電路的輸出端連接頻率/電壓轉(zhuǎn)換電路，頻率/電壓轉(zhuǎn)換電路的輸出為和水分含量成正比的電壓信號(hào)，連接煙溫補(bǔ)償處理電路，并經(jīng)零點(diǎn)/滿度校準(zhǔn)電路進(jìn)行零點(diǎn)滿度校準(zhǔn)；校準(zhǔn)后的電壓信號(hào)直接輸出或再通過電流電壓轉(zhuǎn)換電路輸出到顯示監(jiān)測裝置。利用溫度補(bǔ)償技術(shù)保證了煙氣水分測量的精度和可靠性，實(shí)際的使用效果可以完全滿足要求。
文檔編號(hào)G01N1/24GK1800842SQ20061003775
公開日2006年7月12日 申請(qǐng)日期2006年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2006年1月13日
發(fā)明者劉德允, 章曙 申請(qǐng)人:南京埃森環(huán)境技術(shù)有限公司