專利名稱：高精度流量傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液壓領(lǐng)域用流量傳感器。
背景技術(shù)：
液壓技術(shù)日益向集成化、智能化方向發(fā)展，因此迫切需要適用于液壓系統(tǒng)高壓、高 精度的廉價(jià)流量傳感器，以便于在液壓控制技術(shù)、液壓系統(tǒng)參數(shù)檢測(cè)及故障智能診斷等 方面獲得更為廣泛應(yīng)用，目前在線液壓流量測(cè)量手段和測(cè)量技術(shù)還不能很好滿足這一要 求。如實(shí)用新型專利CN90224409.4的"光電式流量傳感器"，其雖然使用了光電檢測(cè)元 件和轉(zhuǎn)子機(jī)械結(jié)構(gòu)組合而成的光電式流量傳感器，但是，由于其專利是采用比較簡(jiǎn)單的 葉輪，所以，轉(zhuǎn)子流量闊的出口與進(jìn)口之間存在很大的返混，排液不干凈，所以，這種 流量傳感器測(cè)量精度并不高，也不太適合在高壓的液壓系統(tǒng)進(jìn)行使用。而且這種傳感器 過(guò)于簡(jiǎn)單，檢測(cè)單元也只有一個(gè)， 一旦發(fā)生故障便無(wú)法使用，轉(zhuǎn)子流量閥結(jié)構(gòu)也過(guò)于單 一，不便于在多路液壓同步系統(tǒng)或多流量配比系統(tǒng)上應(yīng)用，更無(wú)法進(jìn)行自我檢測(cè)評(píng)估， 所以，需要發(fā)展適合于液壓系統(tǒng)的高性能流量傳感器。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的首要技術(shù)問(wèn)題是提供一種高精度流量傳感器，其返混少，測(cè)量精 度高，適合在高壓、高精度測(cè)量場(chǎng)所應(yīng)用。本發(fā)明所要解決的另一個(gè)技術(shù)問(wèn)題是提供一種高精度流量傳感器，其適合在多路液 壓同步系統(tǒng)或多流量配比系統(tǒng)上應(yīng)用，且測(cè)量精度高，結(jié)構(gòu)合理簡(jiǎn)單，容易制造使用。本發(fā)明所要解決的再一個(gè)技術(shù)問(wèn)題是提供一種高精度流量傳感器，其中一個(gè)測(cè)量元 件作為測(cè)量使用，另一測(cè)量元件作為數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)使用，使檢測(cè)結(jié)果更加可靠。本發(fā)明所要解決的又一個(gè)技術(shù)問(wèn)題是提供一種高精度流量傳感器，其中兩套流量傳 感器既可以獨(dú)立工作，又可以在控制器控制下同步工作，從而可以實(shí)現(xiàn)自我診斷，提高 工作可靠性，從而拓寬了應(yīng)用范圍，且其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，便于制造和安裝使用。本發(fā)明解決上述首要技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為 一種高精度流量傳感器，其包 括有轉(zhuǎn)子流量閥和檢測(cè)元件，轉(zhuǎn)子流量閥的閥芯通過(guò)轉(zhuǎn)軸與檢測(cè)元件的轉(zhuǎn)軸相同步連 接，其特征在于所述的轉(zhuǎn)子流量閥的閥芯采用齒輪嚙合式結(jié)構(gòu)、擺線轉(zhuǎn)子式嚙合結(jié)構(gòu)、
嚙閉式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，從而構(gòu)成流量傳感器。有益的是，所述的檢測(cè)元件采用光電編碼器、磁編碼器或測(cè)速電機(jī)。 本發(fā)明解決上述另一個(gè)技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為 一種高精度流量傳感器，在上述技術(shù)基礎(chǔ)上，所述的流量傳感器是將多對(duì)外齒輪嚙合或嚙閉式轉(zhuǎn)子嚙合對(duì)放置于相 對(duì)獨(dú)立的各自腔室內(nèi)，各自腔室共用一路進(jìn)液口，而每腔都有自己的單獨(dú)的出液口，多 對(duì)轉(zhuǎn)子至少有一件軸為共用轉(zhuǎn)軸，其余軸為非共用轉(zhuǎn)軸，共用轉(zhuǎn)軸或非共用轉(zhuǎn)軸通過(guò)各 自的滑動(dòng)或滾動(dòng)軸承支撐連接在各自腔室中，在軸外伸處內(nèi)側(cè)設(shè)置軸封，共用轉(zhuǎn)軸通過(guò)其外伸部分與光電編碼器、磁編碼器或測(cè)速電機(jī)的轉(zhuǎn)軸進(jìn)行連接；或者是，所述的流量 傳感器是將多對(duì)外齒輪嚙合或嚙閉式機(jī)械嚙合轉(zhuǎn)子對(duì)放置于相對(duì)獨(dú)立的各自腔室內(nèi)，各 自腔室共用一路出液口，而每腔都有自己的單獨(dú)的進(jìn)液口，多對(duì)轉(zhuǎn)子對(duì)至少有一件軸為 共用轉(zhuǎn)軸，其余為非共用轉(zhuǎn)軸，共用轉(zhuǎn)軸或非共用轉(zhuǎn)軸通過(guò)各自的滑動(dòng)或滾動(dòng)軸承支撐 連接在各自腔室中，在軸外伸處內(nèi)側(cè)設(shè)置軸封，共用轉(zhuǎn)軸通過(guò)其外伸部分與光電編碼器、 磁編碼器或測(cè)速電機(jī)的轉(zhuǎn)軸進(jìn)行連接。本發(fā)明解決上述再一個(gè)技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為 一種高精度流量傳感器，在 上述技術(shù)基礎(chǔ)上，所述的流量傳感器是將轉(zhuǎn)子流量閥閥芯的轉(zhuǎn)軸兩端分別延伸出去與各 自檢測(cè)元件的轉(zhuǎn)軸相同步連接。本發(fā)明解決上述又一個(gè)技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為 一種高精度流量傳感器，在 上述技術(shù)基礎(chǔ)上，所述流量傳感器是成對(duì)地接在液壓系統(tǒng)的進(jìn)油管路和回油管路上，并 且在進(jìn)油管線上的轉(zhuǎn)子流量閥出口通過(guò)嵌入式電磁閥回接在回油管路上的轉(zhuǎn)子流量閥 的進(jìn)液口。為保證回路可靠工作，在回油管路上的轉(zhuǎn)子流量閥入口處上游單獨(dú)增設(shè)一件 止回單向閥，以保證測(cè)量的準(zhǔn)確性和系統(tǒng)回路的正常工作。作為改進(jìn)，所述的流量傳感器將兩套轉(zhuǎn)子流量閥集成在一件轉(zhuǎn)子流量閥塊上，兩套 流量傳感器既可以獨(dú)立工作，又可以在中間控制器電磁閥作用下一起同步工作，該閥塊 構(gòu)成內(nèi)部劃分為I、 n、III三個(gè)工作區(qū)，I區(qū)為傳感器G1工作區(qū)，1I區(qū)為傳感器G2工作區(qū)，I區(qū)和II區(qū)相對(duì)獨(dú)立；ni區(qū)為控制區(qū)，既G1與G2的關(guān)聯(lián)區(qū)，對(duì)G1與G2的工作方式起控制作用，這樣模塊化結(jié)構(gòu)緊湊合理，便于生產(chǎn)制造和安裝使用。再進(jìn)一步改進(jìn)，所述的流量傳感器在in區(qū)中采用嵌入式電磁換向閥，電磁換向閥由 電磁線圈、位于閥塊空腔中的閥芯、彈簧、在閥芯上的通道組成，其中換向閥的入口開(kāi) 在i區(qū)側(cè)壁上，換向閥出口開(kāi)在n區(qū)側(cè)壁上，閥芯上的通道分別與換向閥的入口和換向 閥的出口進(jìn)行連通或阻斷配合，閥芯的下端與閥塊空腔之間支撐有彈簧，閥芯的上端配置了電磁線圈，閥芯上的通道直徑一般取l-6咖，該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單緊湊，體積小，方便安裝使用。本發(fā)明解決上述又一個(gè)技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為 一種高精度流量傳感器，在上述技術(shù)基礎(chǔ)上，所述的流量傳感器是成對(duì)地接在液壓系統(tǒng)的進(jìn)油管路和回油管路上，
并且在進(jìn)油管線上的轉(zhuǎn)子流量閥出口通過(guò)電磁閥回接油箱，同時(shí)，兩套流量傳感器之間 連接有聯(lián)動(dòng)的藕合控制器，藕合控制器與電磁閥動(dòng)作同步。再進(jìn)一步改進(jìn)，所述的流量傳感器將兩套轉(zhuǎn)子流量閥集成在一件轉(zhuǎn)子流量閥塊匕 兩套流量傳感器既可以獨(dú)立工作，又可以在藕合控制器作用下一起同步工作，該閥塊構(gòu)成內(nèi)部劃分為i 、 n、in三個(gè)工作區(qū)，i區(qū)為傳感器Gi工作區(qū)，n區(qū)為傳感器G2工作區(qū)，I區(qū)和II區(qū)相對(duì)獨(dú)立；III區(qū)為控制區(qū)，既G1與G2的關(guān)聯(lián)區(qū)，對(duì)G1與G2的工作方式起控制作用，這樣模塊化結(jié)構(gòu)緊湊合理，便于生產(chǎn)制造和安裝使用。作為改進(jìn)，所述的流量傳感器在ni區(qū)中采用嵌入式電磁換向閥，電磁換向閥由電磁 線圈、在閥塊空腔中的閥芯、彈簧組成，其中換向閥的入口通過(guò)卸流通道與在i區(qū)的轉(zhuǎn) 子流量閥出口連通，換向閥出口通過(guò)卸流通道與開(kāi)在m區(qū)側(cè)壁上出口連通，并回接油箱， 闊芯的一端與閥塊空腔之間支撐有彈簧，在ni區(qū)閥塊空腔中設(shè)置有作為藕合控制器的電 磁離合器，控制轉(zhuǎn)子流量閥的轉(zhuǎn)軸進(jìn)行離合，電磁離合器的線圈兼作電磁換向閥的電磁線圈，卸流通道一般取卜6mm，該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單緊湊，體積小，方便安裝使用。作為改進(jìn)，所述的流量傳感器在在ni區(qū)中采用電磁控制的耦合齒輪作為耦合控制 器，耦合齒輪分別與兩套檢測(cè)元件的轉(zhuǎn)軸上的齒輪進(jìn)行離合，耦合齒輪連接在連桿上， 連桿插裝在固定滑槽中，連桿下端通過(guò)彈簧與電磁線圈的端蓋相連接，同時(shí)，在連桿上 開(kāi)有小孔，分別與卸流通道相連通或阻斷配合，而卸流通道一端與在i區(qū)的轉(zhuǎn)子流量閥 出口連通，卸流通道另一端與開(kāi)在ni區(qū)側(cè)壁上出口連通，并回接油箱，卸流通道一般取1-6mi，該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單緊湊，體積小，方便安裝使用。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于第一，本傳感器的流量閥轉(zhuǎn)子采用了返混少 的嚙合轉(zhuǎn)子對(duì)，所以，測(cè)量精度高，適合于高精度或高壓系統(tǒng)的需求；第二，本發(fā)明同 時(shí)設(shè)計(jì)出多芯共軸轉(zhuǎn)子流量閥，把高精度同步閥和流量傳感器有機(jī)地融為一體，減少了 液壓元件的使用，適合在多路液壓同步系統(tǒng)或多流量配比系統(tǒng)上應(yīng)用；第三，本發(fā)明還 設(shè)計(jì)出帶雙檢測(cè)元件的流量傳感器，B卩， 一件傳感器同時(shí)帶兩件檢測(cè)元件， 一個(gè)測(cè)量元 件作為測(cè)量使用，另一測(cè)量元件作為數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)使用，使檢測(cè)結(jié)果更加可靠；第四，本發(fā) 明還同時(shí)設(shè)計(jì)出將兩套流量傳感器設(shè)計(jì)成相互耦合的傳感器組件，它既可以獨(dú)立工作， 又可以在控制器控制下同步工作，從而可以實(shí)現(xiàn)自我診斷，使傳感器有了智能化的特性， 提高了工作可靠性，拓寬了應(yīng)用范圍，且整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，便于制造和安裝使用。


圖la為本發(fā)明高精度流量傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖之一 圖lb為本發(fā)明高精度流量傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖之一 圖lc為本發(fā)明高精度流量傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖之一 圖ld為本發(fā)明高精度流量傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖之一
圖2a為本發(fā)明中轉(zhuǎn)子流量閥閥芯結(jié)構(gòu)示意圖之一圖2b為本發(fā)明中轉(zhuǎn)子流量閥的閥芯結(jié)構(gòu)示意圖之一圖2c為本發(fā)明中轉(zhuǎn)子流量閥的閥芯結(jié)構(gòu)示意圖之一圖3a為本發(fā)明中多芯共軸轉(zhuǎn)子流量閥結(jié)構(gòu)示意3b為本發(fā)明中多芯共軸轉(zhuǎn)子流量閥結(jié)構(gòu)示意4a為本發(fā)明中耦合式高精度流量傳感器的應(yīng)用原理圖之一圖4b為本發(fā)明中耦合式高精度流量傳感器的應(yīng)用原理圖之一圖5a為本發(fā)明中耦合式高精度流量傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖之一圖5b為本發(fā)明中耦合式高精度流量傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖之一圖5c為本發(fā)明中耦合式高精度流量傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖之一圖6a為液壓系統(tǒng)測(cè)量示意圖之一圖6b為液壓系統(tǒng)測(cè)量示意圖之一具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。如圖1所示意，即圖la-d,該種高精度流量傳感器，其包括有轉(zhuǎn)子流量閥和檢測(cè)元件， 轉(zhuǎn)子流量閥的閥芯通過(guò)轉(zhuǎn)軸與檢測(cè)元件的轉(zhuǎn)軸相同步連接，其特征在于所述的轉(zhuǎn)子流量 閥的閥芯采用齒輪嚙合式結(jié)構(gòu)、擺線轉(zhuǎn)子式嚙合結(jié)構(gòu)、或嚙閉式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，從而構(gòu)成流 量傳感器。所述的檢測(cè)元件采用光電編碼器、磁編碼器或測(cè)速電機(jī)。其中轉(zhuǎn)子流量閥塊 A是本復(fù)合閥的基礎(chǔ)構(gòu)件和核心元件所在，它是一種內(nèi)部結(jié)構(gòu)類似于液壓馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī) 械裝置，其關(guān)鍵部件是內(nèi)置一室或多室的轉(zhuǎn)動(dòng)部件，多室可以是指兩室或兩室以上，受 控流體不能相互自由流動(dòng)。為說(shuō)明問(wèn)題方便，本文稱該腔室內(nèi)的轉(zhuǎn)動(dòng)部件為"機(jī)芯"，該 機(jī)芯的轉(zhuǎn)子部件其種類如圖2所示，圖2a為擺線轉(zhuǎn)子對(duì)，圖2b為齒輪對(duì)嚙合式，圖2c為 嚙閉式新型轉(zhuǎn)子機(jī)械式。上述所有結(jié)構(gòu)，它們的共同特征是至少有一對(duì)嚙合轉(zhuǎn)子對(duì)被 置于轉(zhuǎn)子閥座的腔室中，且該轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)軸的一端或兩端外伸出殼體，通過(guò)該轉(zhuǎn)軸可以和 檢測(cè)元件B同步相連；在每件轉(zhuǎn)子流量閥塊A的每座腔室殼體上都開(kāi)有進(jìn)液口和出液口， 進(jìn)液口區(qū)域和出液口區(qū)域通過(guò)轉(zhuǎn)子即機(jī)芯分隔開(kāi)來(lái)，高壓流體從進(jìn)液口進(jìn)到腔室內(nèi)驅(qū)動(dòng) 轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，做功后的液體從本腔室的另一側(cè)全部排出到出液口；在腔室內(nèi)部，每件轉(zhuǎn)軸 由滾動(dòng)軸承或滑動(dòng)軸承支撐連接，外伸軸的一端設(shè)有轉(zhuǎn)軸密封，以防止液體通過(guò)轉(zhuǎn)軸間 隙泄漏。本發(fā)明中，轉(zhuǎn)子流量閥塊A的作用是用來(lái)改變流體的流動(dòng)形式，將流體連續(xù)分割、 隔離，使之可測(cè)、可控，便于量化，轉(zhuǎn)子流量閥對(duì)外帶有輸出軸，與該軸相連的部件是 光電編碼器、磁編碼器或測(cè)速電機(jī)，而閥塊幾乎不對(duì)外另行做功，而液壓馬達(dá)主要是應(yīng) 用于對(duì)外做功的機(jī)械元件，這是在功能上本閥塊區(qū)別于液壓馬達(dá)的地方。 一般地，對(duì)于低壓流體系統(tǒng)，應(yīng)用葉片(或葉輪)式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、重量 輕和一定的測(cè)量精度等性價(jià)比優(yōu)勢(shì)；而對(duì)于高壓液體系統(tǒng)，使用齒輪對(duì)嚙合式或擺線轉(zhuǎn) 子式嚙合結(jié)構(gòu)適合于高精度傳感器使用，若選用如圖2c新型嚙閉式轉(zhuǎn)子機(jī)械為機(jī)芯結(jié)構(gòu)，此結(jié)構(gòu)把進(jìn)出口流體完全隔離開(kāi)來(lái)，排液干凈，測(cè)量精度可以做得更高，而且具有 運(yùn)行平穩(wěn)，噪音小的特點(diǎn)，建議優(yōu)先選用。多芯共軸轉(zhuǎn)子流量閾結(jié)構(gòu)是設(shè)計(jì)成這樣的，本轉(zhuǎn)子流量閥的內(nèi)部機(jī)芯可為多室同軸 轉(zhuǎn)子機(jī)械部件，如圖3a，3b所示，是一種內(nèi)置外嚙合齒輪轉(zhuǎn)子的同軸閥芯的截面圖和剖 面結(jié)構(gòu)示意圖，三對(duì)外齒輪嚙合轉(zhuǎn)子對(duì)6、 7、 8被放置于相對(duì)獨(dú)立的三座腔室內(nèi)，三座 腔室共用一路進(jìn)液口，而每腔都有自己?jiǎn)为?dú)的出液口。三對(duì)轉(zhuǎn)子共4件轉(zhuǎn)軸，本機(jī)芯每 座腔室內(nèi)嚙合轉(zhuǎn)子對(duì)至少共用同一件轉(zhuǎn)軸，而其余轉(zhuǎn)軸不受此限制。共用轉(zhuǎn)軸或非共用 轉(zhuǎn)軸通過(guò)各自的滑動(dòng)或滾動(dòng)軸承來(lái)支撐連接在各自的腔室中，如圖3，標(biāo)號(hào)l為非共用軸 承，共6件，標(biāo)號(hào)2為共用轉(zhuǎn)軸軸承，共2件，標(biāo)號(hào)P為共同進(jìn)液口，標(biāo)號(hào)P1、 P2、 P3為各 自的出液口；標(biāo)號(hào)3為軸封，在軸承外側(cè)，其作用為防止閥體外泄漏；編號(hào)4為共用轉(zhuǎn)軸， 并通過(guò)其外伸部分與光電編碼器或測(cè)速電機(jī)的轉(zhuǎn)軸進(jìn)行可靠連接，標(biāo)號(hào)5為轉(zhuǎn)子流量閥 座。 一般地，在多腔室共軸放置于一閥體的閥塊結(jié)構(gòu)，可應(yīng)用在多路系統(tǒng)中，且該閥塊 可以有多路進(jìn)、出液口，若應(yīng)用于液壓系統(tǒng)多路同步系統(tǒng)，則該閥可共用一路進(jìn)液口和多路出液口；若應(yīng)用于多種液體配比場(chǎng)所，則該閥為多路進(jìn)液口，而共用一路出液口。為便于行文，在本文不妨稱這種結(jié)構(gòu)的機(jī)芯為"多芯共軸轉(zhuǎn)子流量閥"，而前述單芯轉(zhuǎn)子 結(jié)構(gòu)閥稱為"單芯轉(zhuǎn)子流量閥"。 一般場(chǎng)所選用單芯轉(zhuǎn)子流量閥塊，而多芯轉(zhuǎn)子流量閥塊 則適合于多路液壓同步系統(tǒng)或多流量配比系統(tǒng)使用，該多芯閥塊既可作多路液壓同步閥 (液流配比陶)使用，又可兼做流量傳感器的基礎(chǔ)閥塊使用，實(shí)現(xiàn)一閥多功能。芯軸的嚙合轉(zhuǎn)子對(duì)既可以水平放置也可以豎直放置，放置方向不影響組合閥的任何 功能，具體放置方式可根據(jù)實(shí)際情況而定。如圖l，本發(fā)明由轉(zhuǎn)子流量閥A、電氣檢測(cè)元件B件組合而成高精度流量傳感器；檢測(cè)元件B可選用旋轉(zhuǎn)編碼器組成數(shù)字流量傳感器，根據(jù)具體情況可選用光電編碼器或磁 編碼器；檢測(cè)元件B也可選用測(cè)速電機(jī)則組成新型模擬流量傳感器。在現(xiàn)代工業(yè)中，編 碼器得到廣泛應(yīng)用，故建議優(yōu)先選用光電編碼器進(jìn)行流量傳感器組建，若沒(méi)特別指明， 在下文中出現(xiàn)的檢測(cè)元件均指"光電編碼器"，由此構(gòu)建的"光電數(shù)字式轉(zhuǎn)子流量傳感器" 簡(jiǎn)稱為"光電流量傳感器"。本發(fā)明由AB組合而成的光電流量傳感器，按轉(zhuǎn)子流量閥A的內(nèi)部腔室數(shù)量或腔室構(gòu)造原理不同可組建成基本型、擴(kuò)展型和雙聯(lián)智能型三大類流量傳感器，如果每件轉(zhuǎn)子流量閥塊A同時(shí)與2件檢測(cè)元件B相連，則可組成冗余型智能流量傳感器。下面分別說(shuō)明 這四大傳感器的具體構(gòu)造方法。1、基本型高精度流量傳感器的構(gòu)成 基本型流量傳感器的構(gòu)成每件流量傳感器只由一件轉(zhuǎn)子流量閥塊A和一件檢測(cè)元 件B進(jìn)行組成，且轉(zhuǎn)子流量閥A僅使用單芯轉(zhuǎn)子，機(jī)芯可以是圖2中的任何一種，即機(jī)芯 可以是齒輪嚙合式、嚙閉轉(zhuǎn)子式或擺線轉(zhuǎn)子式中的任何一種。要求轉(zhuǎn)子流量閥塊的輸出 軸和光電編碼器的旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行無(wú)間隙相連，即連接需保證同步運(yùn)轉(zhuǎn)，以確保足夠高的精 度。由本方法構(gòu)成的光電流量傳感器測(cè)量靈敏度和測(cè)量精度只取決于基礎(chǔ)元件A的構(gòu)成 方法和加工裝配精度等因素，因?yàn)榫幋a器的分辨率和測(cè)量精度遠(yuǎn)高于前者。從構(gòu)成原理和方法上看，機(jī)芯為葉片、葉輪、單齒輪式構(gòu)成的轉(zhuǎn)子機(jī)械，其精度低 于由雙齒輪嚙合和擺線嚙合的轉(zhuǎn)子機(jī)芯的轉(zhuǎn)子流量閥構(gòu)成的光電流量傳感器。因?yàn)橛扇~ 片、葉輪或單齒輪構(gòu)成的機(jī)芯不能把進(jìn)液口和出液口區(qū)域完全分隔開(kāi)來(lái)，有可能造成一 部分入口高壓流體直通出口低壓流體或出口低壓流體又被帶會(huì)高壓流體區(qū)的現(xiàn)象，故， 由葉片、葉輪、單齒輪式的轉(zhuǎn)子機(jī)械構(gòu)成的流量傳感器在低壓場(chǎng)所較適用，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn) 單和一定的測(cè)量精度，有較高的性價(jià)比。而由齒輪轉(zhuǎn)子嚙合對(duì)、擺線轉(zhuǎn)子嚙合對(duì)、嚙閉 式轉(zhuǎn)子嚙合對(duì)構(gòu)成的機(jī)芯能把進(jìn)液口和出液口區(qū)域完全分隔開(kāi)來(lái)，由此構(gòu)成的光電流量 傳感器具有測(cè)量精度高、重復(fù)性能好等優(yōu)點(diǎn)。特別地，由嚙閉式轉(zhuǎn)子機(jī)械構(gòu)成的機(jī)芯具 有最優(yōu)越的隔離性能，由此結(jié)構(gòu)構(gòu)成的光電流量傳感器具有不受負(fù)載和流量的影響，排 液干凈，可構(gòu)成高精度光電流量傳感器，在高壓場(chǎng)所可優(yōu)先選用；其次優(yōu)先選用外齒輪 轉(zhuǎn)子嚙合對(duì)結(jié)構(gòu)，其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和測(cè)量精度高的優(yōu)點(diǎn)；而在低壓場(chǎng)所，也可選用機(jī)芯 為葉片、葉輪或單齒輪結(jié)構(gòu)流量傳感器。2、 擴(kuò)展型高精度流量傳感器的構(gòu)成擴(kuò)展型流量傳感器的構(gòu)成:每件流量傳感器只由一件轉(zhuǎn)子流量閥A和一件檢測(cè)元件B 進(jìn)行組成，且轉(zhuǎn)子流量閥A僅使用如上文所述的"多芯共軸轉(zhuǎn)子流量閥"，但機(jī)芯可以是 圖2的任何一種，即機(jī)芯可以是齒輪嚙合式、嚙閉轉(zhuǎn)子式或擺線轉(zhuǎn)子式中的任何一種。 要求轉(zhuǎn)子流量閥塊的輸出軸和光電編碼器的旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行無(wú)間隙相連，即連接需保證同步 運(yùn)轉(zhuǎn)，以確保足夠高的精度。本擴(kuò)展型流量傳感器可應(yīng)用在多路液壓同步系統(tǒng)或多路液體配比系統(tǒng)中，把同步閥 或液體配比閥和流量傳感器有機(jī)地融為一體，減少了元件，節(jié)約了成本。3、 冗余型流量傳感器的構(gòu)成冗余型流量傳感器的構(gòu)成每件流量傳感器只由一件轉(zhuǎn)子流量閥A和兩件檢測(cè)元件B 進(jìn)行組成，且兩件檢測(cè)元件B分別共軸于闊座外伸軸的兩端；轉(zhuǎn)子流量閥塊的機(jī)芯種類 和腔室數(shù)量不受限制，可以是前文中的任何一種結(jié)構(gòu)，即機(jī)芯可以是齒輪嚙合式、嚙閉 轉(zhuǎn)子式或擺線轉(zhuǎn)子式中的任何一種，腔室可以是單室結(jié)構(gòu)，也可以是多腔室結(jié)構(gòu)。要求 轉(zhuǎn)子流量閥塊的輸出軸和光電編碼器的旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行無(wú)間隙相連，即連接需保證同步運(yùn) 轉(zhuǎn)，以確保足夠高的精度。
該冗余型流量傳感器可作為智能流量傳感器使用， 一件測(cè)量元件(Bl)作為工作測(cè) 量用，另一測(cè)量元件(B2)作為數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)用， 一件流量傳感器同時(shí)輸出2組數(shù)據(jù)，對(duì)該 數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，可判斷工作測(cè)量元件(Bl)工作是否正常，如發(fā)現(xiàn)異常，則取檢測(cè)元件(B2)的數(shù)據(jù)作為工作數(shù)據(jù)，同時(shí)給出工作元件B1故障提示信息，提醒注意維護(hù)；而信號(hào)處理由后續(xù)二次儀表或電腦來(lái)完成，本文不再詳細(xì)敘述(本文所述的其它傳感器同理)o4、雙聯(lián)耦合型流量傳感器的原理及構(gòu)成本發(fā)明同時(shí)提供一種"雙聯(lián)耦合流量傳感器"的構(gòu)造，所謂"雙聯(lián)耦合流量傳感器" 是一種專門用于液壓系統(tǒng)具有自我檢測(cè)功能的一對(duì)傳感器的組合應(yīng)用。作為一般應(yīng)用， 為測(cè)量液壓系統(tǒng)流量、內(nèi)外泄漏等系統(tǒng)參數(shù)，在液壓系統(tǒng)支路回路的進(jìn)油管線和回油管 線上都裝上一件流量傳感器G1、 G2;對(duì)兩流量傳感器安裝的位置比較靈活，可同時(shí)安裝 在電磁換向閥之前或之后，如圖6a、圖6b所示，兩回路的區(qū)別在于在圖6a中，流量傳 感器安裝在電磁(電液)換向閥之后，雙液控單向閥之前；而在圖6b中，流量傳感器安 裝在電磁(電液)換向閥之前。作為在線檢測(cè)的傳感器元件，檢測(cè)元件是否正常工作非 常重要，否則檢測(cè)結(jié)果失真或錯(cuò)誤，很顯然，圖6a或圖6b中的流量傳感器不具有自我檢 測(cè)功能。為使傳感器具能夠?qū)崿F(xiàn)在線自我檢測(cè)功能，現(xiàn)將圖6a或圖6b中點(diǎn)劃框內(nèi)的流量 傳感器替換成圖4a或圖4b中點(diǎn)劃框內(nèi)的流量傳感器組件，其中的單向閥采用外接方式， 其余組件集成在一起構(gòu)成"雙聯(lián)耦合型流量傳感器"。如圖4a，雙聯(lián)耦合型流量傳感器工作原理是這樣的，流量傳感器是成對(duì)地接在液壓 系統(tǒng)的進(jìn)油管路和回油管路上，并且在進(jìn)油管線上的轉(zhuǎn)子流量閥出口通過(guò)電磁閥C回接 在回油管路上的轉(zhuǎn)子流量閥進(jìn)口和止逆單向閥之前，該單向閥的功能是防止傳感器自測(cè) 時(shí)油液串回主回路影響系統(tǒng)正常工作，同時(shí)還可保證傳感器自測(cè)的準(zhǔn)確性。該耦合式流 量傳感器的系統(tǒng)工作原理是流體串聯(lián)等值原理，簡(jiǎn)稱為液流同步檢測(cè)，即流量傳感器 Gl、 G2串聯(lián)，測(cè)量值應(yīng)相等。在正常情況下，電磁換向閥C不得電，P2-T2的回路處于嚴(yán) 格關(guān)閉狀態(tài)，流量傳感器G1、 G2分別處于獨(dú)立工作狀態(tài)；當(dāng)需要檢測(cè)流量傳感器G1或G2 是否正常時(shí)，系統(tǒng)回路中的電磁換向閥A電磁線圈均不帶電(參見(jiàn)圖6b)，閥芯處于中位； 現(xiàn)令電磁換向闊C線圈得電，使P2-T2回路導(dǎo)通，液壓流體沿著臨時(shí)回路P卜P2-C-T2-Tl 流回油箱，在單位時(shí)間內(nèi)在允許誤差范圍內(nèi)，測(cè)量值G1:G2，如果G1^G2，則其中一件 傳感器故障。 一般地，其中讀數(shù)較小的流量傳感器狀態(tài)異常，同時(shí)可檢查G1、 G2讀數(shù)是 否平滑作為輔助判斷依據(jù)，數(shù)據(jù)增長(zhǎng)不平滑的流量傳感器異常。如圖4b,另一種耦合型流量傳感器是這樣的，流量傳感器是成對(duì)地接在液壓系統(tǒng)的 進(jìn)油管路和回油管路上，并且在進(jìn)油管線上的轉(zhuǎn)子流量閥出口通過(guò)電磁閥C回接油箱， 同時(shí)，兩套流量傳感器之間連接有聯(lián)動(dòng)的藕合控制器，藕合控制器與電磁閥動(dòng)作同步。 該類流量傳感器的系統(tǒng)工作原理是轉(zhuǎn)軸機(jī)械同步等值原理，簡(jiǎn)稱為機(jī)械同步檢測(cè)，即 有條件強(qiáng)制連接流量傳感器G1、 G2的編碼器轉(zhuǎn)軸，使之同步運(yùn)轉(zhuǎn)，測(cè)量值應(yīng)相等。其連 接方式有兩種，圖5b為電磁驅(qū)動(dòng)齒輪耦合并聯(lián)同步運(yùn)行；圖5c為電磁驅(qū)動(dòng)離合器轉(zhuǎn)軸串 聯(lián)同步運(yùn)行。在正常情況下，電磁換向閥C不得電，P2-C-Y回路處于嚴(yán)格關(guān)閉狀態(tài)，流量傳感器G1、 G2分別處于獨(dú)立工作狀態(tài)；當(dāng)需要檢測(cè)流量傳感器G1或G2是否正常時(shí)，系 統(tǒng)回路中的電磁換向閥A電磁線圈均不帶電(參見(jiàn)圖6b)，閥芯處于中位，現(xiàn)令電磁線圈 C (也即電磁換向閥線圈)得電，電磁力驅(qū)動(dòng)齒輪傳動(dòng)軸耦合或驅(qū)動(dòng)電磁離合器吸合， 使傳感器G1、G2測(cè)量轉(zhuǎn)軸相連，同時(shí)驅(qū)動(dòng)二位二通電磁換向閥換向，使P2-C-Y回路導(dǎo)通， 液壓流體沿著臨時(shí)回路P1-P2-C-Y回油箱，高壓流體直接驅(qū)動(dòng)傳感器G1轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)G2在 電磁離合器的耦合作用下一起隨G1作同步運(yùn)轉(zhuǎn)，單位時(shí)間內(nèi)在允許誤差范圍內(nèi)，測(cè)量值 G1=G2，如果G1^G2，則其中一件傳感器故障。檢測(cè)完畢，電磁線圈C失電，二位二通電 磁閥和耦合齒輪由彈簧復(fù)位，電磁離合器通反向電流后分離，流量傳感器G1、 G2又分別 處于獨(dú)立工作狀態(tài)。在通常情況下，上述測(cè)量過(guò)程持續(xù)時(shí)間很短，1-IO秒即可完成自我 檢測(cè)。 一般地，其中讀數(shù)較小的流量傳感器狀態(tài)異常，可同時(shí)檢査G1、 G2讀數(shù)是否平滑 作為輔助判斷依據(jù)，數(shù)據(jù)增長(zhǎng)不平滑的流量傳感器異常。需要注意的地方是電磁換向閥 的線圈與驅(qū)動(dòng)電磁離合器或齒輪的線圈可以為同一線圈，電磁換向閥為特制微型換向 閥，通流孔徑較小，在接通回路卸荷時(shí)不至于影響整個(gè)系統(tǒng)的流量和壓力。雙聯(lián)耦合型流量傳感器的結(jié)構(gòu)是這樣的它是把兩套傳感器集成在一件轉(zhuǎn)子流量閥 塊上，兩套流量傳感器既可以獨(dú)立工作，又可以在中間控制器作用下一起"同步"工作。 該閥塊構(gòu)成內(nèi)部可劃分為I 、 II、 III三個(gè)工作區(qū)(也即三座腔室)，I區(qū)為傳感器G1工作區(qū)，n區(qū)為傳感器G2工作區(qū)，i區(qū)和n區(qū)相對(duì)獨(dú)立；m區(qū)為控制區(qū)，既Gi與G2的關(guān)聯(lián)區(qū)，對(duì)G1與G2的工作方式起控制作用。而每區(qū)中的流量傳感器的內(nèi)置機(jī)芯可以是前述任 何形式的機(jī)芯結(jié)構(gòu)，但互聯(lián)的兩件傳感器需選用相同形式的機(jī)芯。下面分別對(duì)液流同步 檢測(cè)原理和轉(zhuǎn)軸機(jī)械同步檢測(cè)原理的結(jié)構(gòu)加以說(shuō)明。液流同步檢測(cè)式結(jié)構(gòu)示意圖樣見(jiàn)圖5a所示，I區(qū)和II區(qū)構(gòu)造結(jié)構(gòu)和前文相同，在IIl 區(qū)中增設(shè)了一個(gè)嵌入式微型電磁換向閥，電磁換向閥由電磁線圈9、在閥塊空腔中的閥 芯10、彈簧12、在閥芯上的通道ll組成，其中換向閥的入口13開(kāi)在I區(qū)側(cè)壁上，換向閥 出口14開(kāi)在II區(qū)側(cè)壁上，閥芯上的通道11分別與換向閥的入口13和換向閥的出口14進(jìn)行 連通或阻斷配合，閥芯10的下端與閥塊空腔之間支撐有彈簧12，閥芯10的上端配置了電 磁線圈9，閥芯上的通道11直徑一般取1-6mm,優(yōu)先選取卜3mm，在電磁線圈不帶電時(shí)，在 彈簧力的作用下，閥芯處于上位，通道處于關(guān)閉狀態(tài)，彈簧下腔開(kāi)有泄漏小孔，把泄漏 到閥芯彈簧腔室的液體泄漏出去，以保證電磁換向閥能可靠地工作。機(jī)械同步檢測(cè)式結(jié)構(gòu)又分兩種， 一種見(jiàn)圖5b， I區(qū)為高壓工作區(qū)，II區(qū)為低壓工作 區(qū)，III區(qū)為控制區(qū)，流量傳感器G1和G2分別與相應(yīng)的編碼器和耦合齒輪同軸，圖中標(biāo)號(hào) 15為電磁線圈，流量傳感器G1和G2分別與相應(yīng)的編碼器和耦合齒輪20,21同軸，即B1-C1
共軸，B2-C2共軸，電磁控制的耦合齒輪22作為耦合控制器，耦合齒輪22分別與兩套檢 測(cè)元件的轉(zhuǎn)軸上的齒輪20，21進(jìn)行離合，耦合齒輪22連接在連桿17上，連桿17插裝在固 定滑槽中，連桿17下端通過(guò)彈簧16連接在電磁線圈15的端蓋上，同時(shí)，在連桿17上開(kāi)有 小孔18，分別與卸流通道19相連通或阻斷配合，而卸流通道19一端與在I區(qū)的轉(zhuǎn)子流量 閥出口連通，卸流通道19另一端與開(kāi)在ni區(qū)側(cè)壁上出口連通，并回接油箱，卸流通道19 一般取l-6咖，優(yōu)先選取1-3隨，在正常情況下，流量傳感器G1與G2相對(duì)獨(dú)立工作，電磁 線圈不帶電，中間耦合齒輪22受彈簧力的作用處于下位，三件齒輪處于分離狀態(tài)，同時(shí)， 卸流通道19與連桿上的小孔18錯(cuò)位，流道中無(wú)液流通過(guò)；當(dāng)需要檢測(cè)流量傳感器G1或G2 時(shí)，讓系統(tǒng)回路中的電磁換向閥A處于中位(參見(jiàn)圖6b)，同時(shí)令電磁線圈15通電，線圈 產(chǎn)生斥力驅(qū)使中間耦合齒輪22運(yùn)動(dòng)并最終進(jìn)行耦合連接，同時(shí)，彈簧16被拉伸，此時(shí)卸 流通道19與連桿17上的小孔18接通，液流從高壓區(qū)G1—側(cè)P1流向另一側(cè)P2，高壓流體直 接驅(qū)動(dòng)傳感器G1轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)G2作同步運(yùn)動(dòng)，油液最后流回油箱。另一 種見(jiàn)圖5c,流量傳感器在III區(qū)中采用嵌入式電磁換向閥，電磁換向閥由電磁線圈23、在 閥塊空腔中的閥芯24、彈簧25組成，其中換向閥的入口通過(guò)卸流通道26與在I區(qū)的轉(zhuǎn)子 流量閥出口連通，換向閥出口通過(guò)卸流通道27與開(kāi)在m區(qū)側(cè)壁上出口連通，并回接油箱， 閥芯24的一端與閥塊空腔29之間支撐有彈簧25，在III區(qū)閥塊空腔中設(shè)置有作為藕合控制 器的電磁離合器28，控制轉(zhuǎn)子流量閥的轉(zhuǎn)軸進(jìn)行離合，電磁離合器28的線圈兼作電磁換 向閥的電磁線圈23，卸流通道26, 27—般取1-6醒,優(yōu)先選取1-3mm，閥芯和離合器的驅(qū)動(dòng) 均由電磁線圈來(lái)完成；標(biāo)號(hào)26與標(biāo)號(hào)27均為卸流流道；線圈不帶電時(shí)，在彈簧力的作用 下，閥芯24處于左邊位置，閥芯24將闊口完全遮蓋，流道之間不能相同，流道中無(wú)液 流流動(dòng)，此時(shí)流量傳感器G1、 G2處于各自相對(duì)獨(dú)立工作狀態(tài)。當(dāng)需要檢測(cè)傳感器G1或G2 時(shí)，讓系統(tǒng)回路中的電磁換向闔A處于中位(參見(jiàn)圖6b)，同時(shí)令線圈23帶電，電磁力驅(qū) 動(dòng)離合器28吸合，同時(shí)電磁闊閥芯換向，流道之間道通，液體流向?yàn)镻1-P2-6-7,最后 流回油箱，液流直接驅(qū)動(dòng)流量傳感器G1轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)電磁離合器28的耦合作用，流量傳感 器G2隨G1—起作同步運(yùn)轉(zhuǎn)，通過(guò)檢測(cè)編碼器的數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行智能診斷；檢測(cè)完畢，電磁線 圈23失電，然后通入反向電流，電磁力驅(qū)動(dòng)離合器分離28，傳感器又都回到正常工作狀 態(tài)；之后，保持線圈23持續(xù)導(dǎo)通小電流，以確保離合器28可靠地處于分離狀態(tài)。
權(quán)利要求
1、一種高精度流量傳感器，其包括有轉(zhuǎn)子流量閥和檢測(cè)元件，轉(zhuǎn)子流量閥的閥芯通過(guò)轉(zhuǎn)軸與檢測(cè)元件的轉(zhuǎn)軸相同步連接，其特征在于所述的轉(zhuǎn)子流量閥的閥芯采用齒輪嚙合式結(jié)構(gòu)、擺線轉(zhuǎn)子式嚙合結(jié)構(gòu)、或嚙閉式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，從而構(gòu)成流量傳感器。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的高精度流量傳感器，其特征在于所述的檢測(cè)元件采用光電 編碼器、磁編碼器或測(cè)速電機(jī)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的高精度流量傳感器，其特征在于所述的流量傳感器是將多 對(duì)外齒輪嚙合或嚙閉式嚙合轉(zhuǎn)子對(duì)放置于相對(duì)獨(dú)立的各自腔室內(nèi)，各腔室共用一路進(jìn)液 口，而每腔都有自己的單獨(dú)的出液口，轉(zhuǎn)子對(duì)至少有一件為共用轉(zhuǎn)軸，其余為非共用轉(zhuǎn) 軸，共用轉(zhuǎn)軸或非共用轉(zhuǎn)軸通過(guò)各自的滑動(dòng)或滾動(dòng)軸承支撐連接在各自腔室中，在外伸 軸內(nèi)側(cè)設(shè)置軸封，共用轉(zhuǎn)軸通過(guò)其外伸部分與光電編碼器、磁編碼器或測(cè)速電機(jī)的轉(zhuǎn)軸 進(jìn)行連接。
4、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的高精度流量傳感器，其特征在于所述的流量傳感器是將多 對(duì)外齒輪嚙合或嚙閉式嚙合轉(zhuǎn)子對(duì)放置于相對(duì)獨(dú)立的各自腔室內(nèi)，各自腔室共用一路出 液口，而每腔都有自己的單獨(dú)的進(jìn)液口，轉(zhuǎn)子對(duì)至少有一個(gè)為共用轉(zhuǎn)軸，其余為非共用 轉(zhuǎn)軸，共用轉(zhuǎn)軸或非共用轉(zhuǎn)軸通過(guò)各自的滑動(dòng)或滾動(dòng)軸承支撐連接在各自腔室中，在外 伸軸內(nèi)側(cè)設(shè)置軸封，共用轉(zhuǎn)軸通過(guò)其外伸部分與光電編碼器、磁編碼器或測(cè)速電機(jī)的轉(zhuǎn) 軸進(jìn)行連接。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的高精度流量傳感器，其特征在于所述的流量傳感器是將轉(zhuǎn) 子流量閥閥芯的轉(zhuǎn)軸兩端分別延伸出去與各自檢測(cè)元件的轉(zhuǎn)軸相同步連接。
6、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的高精度流量傳感器，其特征在于所述的流量傳感器是成對(duì) 地接在液壓系統(tǒng)的進(jìn)油管路和回油管路上，并且在進(jìn)油管線上的轉(zhuǎn)子流量閥出口通過(guò)電 磁閥回接在回油管路上的轉(zhuǎn)子流量閥進(jìn)口和止逆單向闊之前。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的高精度流量傳感器，其特征在于所述的流量傳感器將兩套 轉(zhuǎn)子流量閥集成在一件轉(zhuǎn)子流量閥塊上，兩套流量傳感器既可以獨(dú)立工作，又可以在中 間控制器電磁閥作用下--起同步工作，該閥塊構(gòu)成內(nèi)部劃分為I、 II、 III三個(gè)工作區(qū)，i區(qū)為傳感器Gi工作區(qū)，u區(qū)為傳感器G2工作區(qū)，i區(qū)和n區(qū)相對(duì)獨(dú)立；ni區(qū)為控制區(qū)，既G1與G2的關(guān)聯(lián)區(qū)，對(duì)G1與G2的工作方式起控制作用。
8、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的高精度流量傳感器，其特征在于所述的流量傳感器在m區(qū) 中采用嵌入式電磁換向閥，電磁換向閥由電磁線圈、位于閥塊空腔中的閥芯、彈簧、在閥芯上的通道組成，其中換向閥的入口開(kāi)在i區(qū)側(cè)壁上，換向閥出口開(kāi)在n區(qū)側(cè)壁上， 閥芯上的通道分別與換向閥的入口和換向閥的出口進(jìn)行連通或阻斷配合，閥芯的下端與 閥塊空腔之間支撐有彈簧，閥芯的上端配置了電磁線圈，閥芯上的通道直徑一般取 l-6mm。
9、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的高精度流量傳感器，其特征在于所述的流量傳感器是成對(duì) 地接在液壓系統(tǒng)的進(jìn)油管路和回油管路上，并且在進(jìn)油管線上的轉(zhuǎn)子流量閥出口通過(guò)電 磁閥回接油箱，同時(shí)，兩套流量傳感器之間連接有聯(lián)動(dòng)的藕合控制器，藕合控制器與電 磁閥動(dòng)作同步。
10、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的高精度流量傳感器，其特征在于所述的流量傳感器將兩 套轉(zhuǎn)子流量閥集成在一件轉(zhuǎn)子流量閥塊上，兩套流量傳感器既可以獨(dú)立工作，又可以在藕合控制器作用下一起同步工作，該閥塊構(gòu)成內(nèi)部劃分為i、 n、ni三個(gè)工作區(qū)，i區(qū) 為傳感器Gi工作區(qū)，n區(qū)為傳感器G2工作區(qū)，i區(qū)和n區(qū)相對(duì)獨(dú)立；m區(qū)為控制區(qū)，既G1與G2的關(guān)聯(lián)區(qū)，對(duì)G1與G2的工作方式起控制作用。
11、 根據(jù)權(quán)利要求io所述的高精度流量傳感器，其特征在于所述的流量傳感器在in 區(qū)中采用嵌入式電磁換向閥，電磁換向閥由電磁線圈、在閥塊空腔中的閥芯、彈簧組成， 其中換向閥的入口通過(guò)卸流通道與在I區(qū)的轉(zhuǎn)子流量閥出口連通，換向閥出口通過(guò)卸流 通道與開(kāi)在m區(qū)側(cè)壁上出口連通，并回接油箱，閥芯的一端與閥塊空腔之間支撐有彈簧， 在m區(qū)閥塊空腔中設(shè)置有作為藕合控制器的電磁離合器，控制轉(zhuǎn)子流量閥的轉(zhuǎn)軸進(jìn)行離合，電磁離合器的線圈兼作電磁換向閥的電磁線圈，卸流通道一般取1-6mm。
12、 根據(jù)權(quán)利要求10所述的高精度流量傳感器，其特征在于所述的流量傳感器在ffl區(qū)中采用電磁控制的耦合齒輪作為耦合控制器，耦合齒輪分別與兩套檢測(cè)元件的轉(zhuǎn)軸上 的齒輪進(jìn)行離合，耦合齒輪連接在連桿上，連桿插裝在固定滑槽中，連桿下端通過(guò)彈簧 連接在電磁線圈的端蓋上，同時(shí)，在連桿上開(kāi)有小孔，分別與卸流通道相連通或阻斷配 合，而卸流通道一端與在i區(qū)的轉(zhuǎn)子流量閥出口連通，卸流通道另一端與開(kāi)在ni區(qū)側(cè)壁上出口連通，并回接油箱，卸流通道一般取l-6mm。
全文摘要
一種高精度流量傳感器，其包括有轉(zhuǎn)子流量閥和檢測(cè)元件，轉(zhuǎn)子流量閥的閥芯通過(guò)轉(zhuǎn)軸與檢測(cè)元件的轉(zhuǎn)軸相同步連接，其特征在于所述的轉(zhuǎn)子流量閥的閥芯可采用齒輪嚙合式結(jié)構(gòu)、擺線轉(zhuǎn)子式嚙合結(jié)構(gòu)、或嚙閉式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，從而構(gòu)成流量傳感器，其返混少，測(cè)量精度高，適合在高壓、高精度場(chǎng)所應(yīng)用。
文檔編號(hào)G01F1/56GK101153812SQ20061005358
公開(kāi)日2008年4月2日 申請(qǐng)日期2006年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月26日
發(fā)明者何榮志 申請(qǐng)人:何榮志