專利名稱：用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種用于離子注入機(jī)設(shè)備操作人員人身安全的高壓保護(hù)技術(shù)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)中，離子注入機(jī)是必不可少的工藝設(shè)備。在離子注入機(jī)中有一個200KV以上的高壓區(qū)，200KV的高壓在一定范圍內(nèi)足以能使人遭受到致命的傷害。當(dāng)離子注入機(jī)進(jìn)入高壓工作狀態(tài)之前必須確保高壓防護(hù)門全部關(guān)好且鎖上，確保高壓工作區(qū)內(nèi)無人，才能加高壓。因此必須采用有效的高壓保護(hù)措施。目前現(xiàn)有的關(guān)門-鎖門裝置回路的電路是將串聯(lián)在一起的多個門開關(guān)直接與高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器串聯(lián)，只要其中有一個門沒關(guān)好，高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器就不能吸合，則與其串聯(lián)的高壓危險指示燈就是滅的，表示高壓不能加上去，從而起到高壓保護(hù)作用。雖然這種關(guān)門-鎖門裝置的電路簡單，但是在實(shí)際操作中，由于整個機(jī)器的門有十多個，一旦有一扇門的開關(guān)接觸不良，需要花費(fèi)大量時間逐個地對門進(jìn)行檢查，才能發(fā)現(xiàn)故障門，費(fèi)時、費(fèi)力、不安全。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的費(fèi)時、費(fèi)力的缺點(diǎn)，以期提供一種省時、省力、安全可靠、可確保高壓防護(hù)門全部關(guān)好且鎖上的用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖包括用于使各機(jī)房門關(guān)閉-鎖上或開鎖-打開的多個門控開關(guān)、與相對應(yīng)的多個門控開關(guān)串聯(lián)的多套門控繼電器、與串聯(lián)在一起的各套門控繼電器串聯(lián)的高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器、與高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器串聯(lián)的高壓電源供電交流接觸器、與高壓電源供電交流接觸器串聯(lián)的光電隔離控制元件。多套門控繼電器、高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器和光電隔離控制元件分別連接到控制器。
還包括與相對應(yīng)的多套門控繼電器串聯(lián)的多個門狀態(tài)指示燈。
所述的多套門控繼電器的每一套的第一組觸點(diǎn)的公共端接地，其第一組觸點(diǎn)的常開觸點(diǎn)分別接到控制器的輸入端口。
所述的多個門狀態(tài)指示燈分別串聯(lián)到相對應(yīng)的多套門控繼電器的第一組觸點(diǎn)的常閉觸點(diǎn)。
所述的高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器的線包與串聯(lián)后的多套門控繼電器的第二組觸點(diǎn)的常開觸點(diǎn)串聯(lián)。
所述的高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器還具有多對常開觸點(diǎn)，其中一對常開觸點(diǎn)與高壓電源供電交流接觸器串聯(lián)，另一對常開觸點(diǎn)與接到控制器，用于高壓保護(hù)聯(lián)鎖狀態(tài)指示，再一對或多對常開觸點(diǎn)用于串聯(lián)高壓警示燈。
所述的高壓電源供電交流接觸器的線包與高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器的一對常開觸點(diǎn)串聯(lián)。
所述的光電隔離控制元件是光控雙向可控硅，用于控制高壓電源供電交流接觸器的通斷，以隔離控制器。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖由于各門控開關(guān)是分別與相對應(yīng)的各套門控繼電器串聯(lián)的，每套門控繼電器又串聯(lián)有與其相對應(yīng)的門狀態(tài)指示燈，而且門控繼電器和高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器分別連接到控制器，這樣一來，從控制器得到的信號就可以知道各扇門的關(guān)閉狀態(tài)，可以根據(jù)“正?！被颉耙馔狻钡那闆r控制高壓電源的供電或斷電，以確保高壓防護(hù)門全部關(guān)好且鎖上或解鎖且打開，便于檢查，安全可靠。
下面結(jié)合附圖和較佳實(shí)施例對本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和其它特點(diǎn)作進(jìn)一步描述。


圖1是本發(fā)明用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖的電路框圖；圖2是圖1所示高壓保護(hù)聯(lián)鎖的結(jié)構(gòu)原理圖；圖3是高壓保護(hù)聯(lián)鎖在離子注入機(jī)中的平面布局示意圖，以12扇門為例。
具體實(shí)施例方式
如圖1所示，門控開關(guān)S1～Sn分別與其相對應(yīng)的各套門控繼電器K1～Kn串聯(lián)，各套門控繼電器K1～Kn分別與其相對應(yīng)的各門狀態(tài)指示燈D1～Dn串聯(lián)，并分別連接到控制器C，這樣，從控制器C上的門控開關(guān)信號就可以得知各機(jī)房門是否已經(jīng)全部關(guān)閉并鎖好。高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器KO1既與串聯(lián)在一起的各套門控繼電器K1～Kn串聯(lián)，又與高壓電源供電交流接觸器KO2串聯(lián)，還與高壓警示燈HD串聯(lián)，并且連接到控制器C，因此通過高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器KO1的“開”與“合”，可使控制器C得到高壓保護(hù)聯(lián)鎖信號，同時高壓警示燈HD的“滅”與“亮”也能給現(xiàn)場的操作人員以警示。光電隔離控制元件OC1既與高壓電源供電交流接觸器KO2串聯(lián)，還與控制器C串聯(lián)，用于控制高壓電源供電交流接觸器KO2的通斷，起到將控制器C隔離的作用。
圖2是表示本發(fā)明高壓保護(hù)聯(lián)鎖的結(jié)構(gòu)原理圖，門控開關(guān)S1～Sn分別與其相對應(yīng)的各套門控繼電器K1～Kn中的線包(圖中未示出)串聯(lián)，各套門控繼電器K1～Kn中的各第一組K1-1～Kn-1觸點(diǎn)的公共端接地，其各第一組K1-1～Kn-1觸點(diǎn)的常開觸點(diǎn)分別連接到控制器C的輸入端口，而各第一組K1-1～Kn-1觸點(diǎn)的常閉觸點(diǎn)分別連接到與其相對應(yīng)的各門狀態(tài)指示燈D1～Dn。當(dāng)機(jī)房門完全關(guān)上并鎖好時，門控開關(guān)S1～Sn閉合，門控繼電器K1～Kn全部吸合，門狀態(tài)指示燈D1～Dn都是滅的；反之，如有任何一扇門Sn尚未關(guān)好，與其相對應(yīng)的門控繼電器Kn是開著的，則控制臺能顯示出控制器C輸入的信號，同時其相對應(yīng)的門狀態(tài)指示燈Dn是亮的。由此控制人員能夠很快地檢查出那扇沒有關(guān)嚴(yán)實(shí)的門Sn。
如圖2所示，將各套門控繼電器K1～Kn的第二組K1-2～Kn-2觸點(diǎn)的常開觸點(diǎn)全部串聯(lián)并與高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器KO1的線包(圖中未示出)串聯(lián)，構(gòu)成高壓保護(hù)聯(lián)鎖。高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器KO1還具有多對常開觸點(diǎn)，其中一對常開觸點(diǎn)與高壓電源供電交流接觸器KO2的線包(圖中未示出)串聯(lián)，另一對常開觸點(diǎn)接到控制器C，再一對或多對常開觸點(diǎn)用于串聯(lián)高壓警示燈HD。光電隔離控制元件OC1可選用光控雙向可控硅。當(dāng)所有門都有效地關(guān)上后，門控開關(guān)S1～Sn閉合，門控繼電器K1～Kn全部吸合，控制器C的門開關(guān)狀態(tài)信號由高變低，第二組K1-2～Kn-2觸點(diǎn)全部閉合，高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器KO1吸合，此時高壓警示燈HD全亮，控制器C得到高壓保護(hù)聯(lián)鎖信號，如果設(shè)備其它條件(如真空條件等)已經(jīng)滿足，控制器C可以控制高壓電源供電交流接觸器KO2開起并加高壓。反之，一旦出現(xiàn)任何一扇門被意外打開，高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器KO1立即釋放而切斷高壓電源供電，并使高壓區(qū)對地短路放電，確保人身安全。如果設(shè)備其它條件(如真空條件等)不滿足，控制器C立即切斷高壓電源供電以保護(hù)設(shè)備。
圖3是以12扇門為例的高壓保護(hù)聯(lián)鎖在離子注入機(jī)中的平面布局示意圖。設(shè)備的四周設(shè)置高壓/射線防護(hù)墻1，其中的一側(cè)用隔離墻隔開，高壓區(qū)3配置在隔離墻與其它三側(cè)墻形成區(qū)域的中部。其它三側(cè)防護(hù)墻開有12扇門并設(shè)有12個門控開關(guān)S1～S12和12個門狀態(tài)指示燈D1～D12，彼此相對應(yīng)地分布設(shè)置。三個高壓警示燈HD1～HD3分布在設(shè)備三個角上。其余器件和控制器C裝配在主配電柜4中。裝配在主配電柜中的控制器C與控制臺5的主機(jī)(圖中未示出)采用光纖通信。
當(dāng)所有門尚未有效地關(guān)上時，四周的門狀態(tài)指示燈D1～D12是亮的。任何一扇門n有效地關(guān)上時，門控開關(guān)Sn閉合，門控繼電器Kn吸合，該門狀態(tài)指示燈Dn是滅的，Kn-2閉合。只有硬件聯(lián)鎖完成，此時三個高壓警示燈HD1～HD3全亮，控制器C得到高壓保護(hù)聯(lián)鎖信號，如果設(shè)備其它條件(如真空條件等)已經(jīng)滿足，控制器C可以控制高壓電源供電交流接觸器KO2開起并加高壓。否則高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器KO1立即釋放而切斷高壓電源供電，并使高壓區(qū)對地短路放電，確保人身安全。如果設(shè)備其它條件(如真空條件等)不滿足，控制器立即切斷高壓電源供電以保護(hù)設(shè)備。
本發(fā)明的特定實(shí)施例已給出了詳細(xì)的電路工作原理圖、聯(lián)鎖器件的布局。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明的工作原理和應(yīng)用前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都不會超出本申請說明書描述和所附權(quán)利要求規(guī)范的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖，包括高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器和與其串聯(lián)的高壓警示燈，其特征在于，它還包括多個門控開關(guān)，用于使各機(jī)房門關(guān)閉-鎖上或開鎖-打開的可控開關(guān)；多套門控繼電器，與相對應(yīng)的多個門控開關(guān)串聯(lián)，串聯(lián)在一起的各套門控繼電器與所述的高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器串聯(lián)；高壓電源供電交流接觸器，與所述的高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器串聯(lián)；以及光電隔離控制元件，與高壓電源供電交流接觸器串聯(lián)；多套門控繼電器、高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器和光電隔離控制元件分別連接到控制器。
2.如權(quán)利要求1所述的用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖，其特征在于，還包括多個門狀態(tài)指示燈，與相對應(yīng)的所述多套門控繼電器串聯(lián)。
3.如權(quán)利要求1所述的用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖，其特征在于，所述的多套門控繼電器的每一套的第一組觸點(diǎn)的公共端接地，其第一組觸點(diǎn)的常開觸點(diǎn)分別接到控制器的輸入端口。
4.如權(quán)利要求1或2所述的用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖，其特征在于，所述的多個門狀態(tài)指示燈分別串聯(lián)到相對應(yīng)的多套門控繼電器的第一組觸點(diǎn)的常閉觸點(diǎn)。
5.如權(quán)利要求1所述的用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖，其特征在于，所述的高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器的線包與串聯(lián)后的多套門控繼電器的第二組觸點(diǎn)的常開觸點(diǎn)串聯(lián)。
6.如權(quán)利要求5所述的用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖，其特征在于，所述的高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器還具有多對常開觸點(diǎn)，其中一對常開觸點(diǎn)與高壓電源供電交流接觸器串聯(lián)，一對常開觸點(diǎn)與接到控制器，用于高壓保護(hù)聯(lián)鎖狀態(tài)指示，一對或多對常開觸點(diǎn)用于串聯(lián)高壓警示燈。
7.如權(quán)利要求1所述的用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖，其特征在于，所述的高壓電源供電交流接觸器的線包與高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器的一對常開觸點(diǎn)串聯(lián)。
8.如權(quán)利要求1所述的用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖，其特征在于，所述的光電隔離控制元件是光控雙向可控硅，用于控制高壓電源供電交流接觸器的通斷，以隔離控制器。
全文摘要
本發(fā)明的用于離子注入機(jī)中的高壓保護(hù)聯(lián)鎖，包括用于使各機(jī)房門關(guān)閉－鎖上或開鎖－打開的多個門控開關(guān)、與相對應(yīng)的多個門控開關(guān)串聯(lián)的多套門控繼電器、與相對應(yīng)的多套門控繼電器串聯(lián)的多個門狀態(tài)指示燈、與串聯(lián)在一起的各套門控繼電器串聯(lián)的高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器、與高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器串聯(lián)的高壓電源供電交流接觸器、與高壓電源供電交流接觸器串聯(lián)的光電隔離控制元件和與高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器串聯(lián)的高壓警示燈。多套門控繼電器、高壓保護(hù)聯(lián)鎖繼電器和光電隔離控制元件分別連接到控制器。從控制器可得到各個門關(guān)閉狀態(tài)的信號，根據(jù)情況控制高壓電源的供電或斷電，以確保高壓防護(hù)門有效地關(guān)閉－鎖上或開鎖－打開，本發(fā)明便于檢查，安全可靠。
文檔編號G01R19/165GK101051609SQ20061006699
公開日2007年10月10日 申請日期2006年4月4日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月4日
發(fā)明者唐景庭, 孫雪平, 彭立波, 何科峰 申請人:北京中科信電子裝備有限公司