專(zhuān)利名稱(chēng)：清理部件和探針裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及清理探針卡的探針的清理部件和具有該清理部件的探針裝置，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及可以高效率清理探針的清理部件和探針裝置。
背景技術(shù)：
如圖6所示，探針裝置的構(gòu)成包括輸送被檢查體(例如晶片)W的裝載室1；與裝載室1相鄰且對(duì)從裝載室1取得的晶片W進(jìn)行電性能檢查的探測(cè)器室2。如該圖所示，探測(cè)器室2具有以在X、Y、Z和θ方向可以移動(dòng)的方式配置且載置晶片的載置臺(tái)(晶片卡盤(pán))3、配置在該晶片卡盤(pán)3上方的探針卡4、保持探針卡4的夾緊機(jī)構(gòu)5。在探測(cè)器室2內(nèi)，在晶片卡盤(pán)3在X、Y、Z和θ方向移動(dòng)期間，通過(guò)校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)6對(duì)晶片W和探針卡4的探針4A進(jìn)行校準(zhǔn)后，進(jìn)行晶片W的分度輸送，同時(shí)使探針4A與晶片W的電極極板(electrodepad)進(jìn)行電接觸，實(shí)施電性能檢查。此外，校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)6具有上攝像機(jī)6A和下攝像機(jī)6B。T為試驗(yàn)頭。
一旦繼續(xù)進(jìn)行晶片W的檢查，就會(huì)在探針4A上附著電極極板的切削碎屑等的附著物。所以在晶片卡盤(pán)3側(cè)面附設(shè)有清理部件7，用該清理部件7清理探針4A，從探針4A上去除附著物。附著物有金屬墊的切削的碎屑等因熔敷等牢固附著在探針4A上而難以去除的附著物，也有附著力弱容易去除的附著物。牢固附著的附著物用研磨部件對(duì)探針4A進(jìn)行研磨，去除附著物，附著力弱的附著物用刷子等去除探針4A的附著物。
作為研磨部件例如有專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)的內(nèi)容。該研磨部件(研磨板)替代晶片，載置在晶片卡盤(pán)上，通過(guò)使探針從傾斜方向與研磨板表面上形成的槽的上邊緣滑動(dòng)接觸，研磨探針，從探針上去除熔敷物等的附著物。
此外，作為刷子例如有專(zhuān)利文獻(xiàn)2中公開(kāi)的內(nèi)容。該刷子由導(dǎo)電性清理體構(gòu)成，附設(shè)在晶片卡盤(pán)的側(cè)面。該導(dǎo)電性清理體接地，在清理時(shí)，因探針和導(dǎo)電性清理體的摩擦產(chǎn)生的靜電，通過(guò)接地的導(dǎo)電性清理體放電，防止清理時(shí)的探針帶電，進(jìn)而防止在檢查時(shí)從探針向晶片放電。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)2000-019226號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)平08-250557號(hào)公報(bào)可是，專(zhuān)利文獻(xiàn)1的研磨部件研磨探針，以電極極板的切削碎屑牢固附著的附著物為清理對(duì)象，不是以附著力弱的附著物為清理對(duì)象。此外，在該技術(shù)中，由于將晶片卡盤(pán)上的晶片替換成研磨部件進(jìn)行清理，清理操作性惡化，導(dǎo)致生產(chǎn)能力降低。
與此相反，專(zhuān)利文獻(xiàn)2的帶電性清理體以附著力弱的附著物為清理對(duì)象。導(dǎo)電性清理體由碳素纖維、硼纖維等的束形成，如圖7(a)所示，各纖維一般做成截面為圓形或橢圓形。因此，如該圖(a)示意所示的那樣，在清理時(shí)各纖維7A與探針4A針尖的附著物O滑動(dòng)接觸，用此時(shí)的摩擦力去除附著物O，但是，由于各纖維7A截面為圓形或橢圓形，容易打滑，而且如該圖(a)所示，與附著物O的接觸面積是圓弧面，非常窄，存在有附著物O的清理效果差的課題。此外，在清理時(shí)各纖維7A斷開(kāi)，如該圖(b)箭頭所示，此斷開(kāi)端纏在多個(gè)探針4A之間殘留下來(lái)，所以在殘留有該斷開(kāi)端的狀態(tài)下進(jìn)行檢查，檢查時(shí)的電流如該圖(b)箭頭所示，通過(guò)導(dǎo)電性的纖維7A流動(dòng)，擔(dān)心在探針4A、4A之間短路。此外，在圖7(a)中看到，附著物O牢固附著在探針4A的針尖上，實(shí)際是金屬墊的切削碎屑的集合體，不是熔敷的物質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述課題而形成的，本發(fā)明的目的在于提供一種可以提高清理效率的清理部件和探針裝置。此外，本發(fā)明的目的在于提供一種可以提高清理效率、同時(shí)可以防止檢查時(shí)清理部件的纖維造成的探針之間短路的清理部件和探針裝置。
本發(fā)明的第一方面所述的清理部件具有底座、由多個(gè)設(shè)置在該底座上的纖維構(gòu)成的刷子，其特征在于，在使用上述刷子清理被檢查體進(jìn)行檢查時(shí)使用的探針的清理部件中，在上述纖維的外周面上，在上述纖維的長(zhǎng)度方向形成的凹部在圓周方向上隔著規(guī)定間隔設(shè)置有多條。
本發(fā)明第二方面所述的清理部件的特征在于，在第一方面所述的發(fā)明中，上述多條凹部在與上述纖維的圓周方向連接的邊界上形成有多個(gè)突起面。
本發(fā)明的第三方面所述的清理部件的特征在于，在第一方面或第二方面所述的發(fā)明中，垂直于上述纖維的長(zhǎng)度方向的截面呈三葉形狀。
本發(fā)明的第四方面所述的清理部件的特征在于，在第一方面～第三方面中任一項(xiàng)所述的發(fā)明中，上述纖維由絕緣性的塑料纖維形成。
本發(fā)明的第五方面所述的清理部件的特征在于，在第四方面所述的發(fā)明中，上述絕緣性塑料纖維具有1014～1016Ω·cm的電阻率。
本發(fā)明的第六方面所述的清理部件的特征在于，在第一方面～第五方面中任一項(xiàng)所述的發(fā)明中，上述底座由金屬構(gòu)成，上述絕緣性塑料纖維用金屬線(xiàn)捆扎，直立設(shè)置在上述底座上。
本發(fā)明的第七方面所述的探針裝置具有附設(shè)在載置被檢查體的可移動(dòng)的載置臺(tái)上的清理部件，和配置在該清理部件的上方的探針卡，在移動(dòng)上述載置臺(tái)使上述被檢查體和上述探針卡的多個(gè)探針電接觸，進(jìn)行電性能檢查后，通過(guò)上述載置臺(tái)移動(dòng)上述清理部件，對(duì)上述多個(gè)探針進(jìn)行清理的探針裝置中，上述清理部件具有底座、和由多根直立設(shè)置在該底座上的纖維構(gòu)成的刷子，在上述纖維的外周面上，在上述纖維的長(zhǎng)度方向形成的凹部在圓周方向隔著規(guī)定間隔設(shè)置有多條。
本發(fā)明的第八方面所述的探針裝置的特征在于，在第七方面所述的發(fā)明中，上述多條凹部在與上述纖維的圓周方向連接的邊界上形成有多個(gè)突起面。
本發(fā)明的第九方面所述的探針裝置的特征在于，在第七方面或第八方面所述的發(fā)明中，垂直于上述纖維的長(zhǎng)度方向的截面呈三葉形狀。
本發(fā)明的第十方面所述的探針裝置的特征在于，在第七方面～第九方面中任一項(xiàng)所述的發(fā)明中，上述纖維由絕緣性塑料纖維形成。
本發(fā)明的第十一方面所述的探針裝置的特征在于，在第十方面所述的發(fā)明中，上述絕緣性塑料纖維具有1014～1016Ω·cm的電阻率。
本發(fā)明的第十二方面所述的探針裝置的特征在于，在第七方面～第十一方面中任一項(xiàng)所述的發(fā)明中，上述底座由金屬構(gòu)成，上述絕緣性塑料纖維用金屬線(xiàn)捆扎，直立設(shè)置在上述底座上。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面～第十二方面所述的發(fā)明，可以提供一種可提高清理效率，同時(shí)可以防止檢查時(shí)清理部件的纖維造成探針之間短路的清理部件和探針裝置。


圖1是表示本發(fā)明的探針裝置的一個(gè)實(shí)施方式主要部分的側(cè)視圖。
圖2(a)、(b)是分別表示在圖1所示的探針裝置中使用的清理部件的圖，(a)是其立體圖，(b)是將其一部分?jǐn)U大的示意性的截面圖。
圖3(a)、(b)是分別表示用圖2所示的清理部件清理探針卡的狀態(tài)的圖，(a)是表示清理部件的纖維和探針的關(guān)系的水平方向的俯視圖，(b)是表示清理部件的纖維和探針的關(guān)系的側(cè)視4(a)、(b)是分別表示清理部件的纖維變形例的水平方向的截面圖。
圖5是表示圖1所示的清理部件的纖維纏在探針之間的狀態(tài)的圖。
圖6是現(xiàn)有的探針裝置的一個(gè)例子局部剖開(kāi)表示的正視圖。
圖7(a)、(b)是分別表示圖5所示的清理部件和探針卡的圖，(a)是表示清理時(shí)的清理部件的纖維和探針的關(guān)系的水平方向的俯視圖，(b)是在探針卡上纏有清理部件的纖維的狀態(tài)的圖。
符號(hào)說(shuō)明
10探針裝置；11晶片卡盤(pán)(載置臺(tái))；12清理部件；13探針卡；13A探針；121底座；122絕緣性塑料纖維(纖維)；122A凹部；123刷子；W晶片(被檢查體)具體實(shí)施方式
下面根據(jù)圖1～圖4所示的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明。此外，圖1是表示本發(fā)明的探針裝置的一個(gè)實(shí)施方式主要部分的側(cè)視圖，圖2(a)、(b)是分別表示在圖1所示的探針裝置中使用的清理部件的圖，(a)是其立體圖，(b)是將其一部分放大后示意性表示的截面圖，圖3(a)、(b)是分別表示用圖2所示的清理部件清理探針卡的狀態(tài)的圖，(a)是表示清理部件的纖維和探針的關(guān)系的水平方向的俯視圖，(b)是表示清理部件的纖維和探針的關(guān)系的側(cè)視圖，圖4(a)、(b)是分別表示清理部件的纖維變形例的水平方向的截面圖，圖5是表示圖1所示的清理部件的纖維纏在探針之間的狀態(tài)的圖。
如圖1所示，本實(shí)施方式的探針裝置10具有載置被檢查體(例如晶片)W的可移動(dòng)的載置臺(tái)(晶片卡盤(pán))11；從晶片卡盤(pán)11的側(cè)面向水平方向突出的清理部件12；和配置在清理部件12的上方的探針卡13，其構(gòu)成除了清理部件12不同以外，其他與現(xiàn)有技術(shù)的相同。晶片卡盤(pán)11構(gòu)成為通過(guò)升降機(jī)構(gòu)14，配置在X-Y臺(tái)上(未圖示)，通過(guò)X-Y臺(tái)在水平方向在X、Y方向移動(dòng)，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)14，在上下方向升降。
在進(jìn)行晶片W的檢查的情況下，在控制裝置(未圖示)的控制下，對(duì)晶片卡盤(pán)11進(jìn)行分度輸送，同時(shí)使晶片卡盤(pán)11升降，使晶片W和探針卡13的多個(gè)探針13A進(jìn)行電接觸。反復(fù)進(jìn)行晶片W的檢查，電極極板的切削碎屑等附著在探針4A的針尖部，附著物成為電絕緣物，妨礙檢查。因此，要利用清理部件12清理探針13A的針尖，去除附著物。
本實(shí)施方式的清理部件12去除以弱附著力附著在探針13A針尖上的附著物，以由后面敘述的纖維構(gòu)成的刷子構(gòu)成主體。如后所述，該纖維具有用于提高清理效率的特殊截面形狀。
即，如圖2(a)所示，清理部件12具有金屬制的底座121、由多根直立設(shè)置在底座121上面的纖維122的束構(gòu)成的刷子123，底座121通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)124接地。如圖1所示，支撐臺(tái)15從晶片卡盤(pán)11側(cè)面上端部水平伸出，該清理部件12安裝在支撐臺(tái)15上。在支撐臺(tái)15的上面形成例如底座121嵌入的凹部，在該凹部的底面上形成有粘接面。將清理部件12安裝在支撐臺(tái)15上，通過(guò)將底座121粘接在粘接面上，將清理部件12固定在支撐體15上。
此外，在底座121的上面將多個(gè)凹陷部121A配置成矩陣狀形成，在該凹陷部121A中植入多根纖維122捆成的纖維束。纖維束的根部被填在各凹陷部121A內(nèi)，不留間隙。凹陷部121A的平面形狀例如形成為圓形。
此外如圖2(b)所示，纖維122每一根彎曲180°，兩端對(duì)齊，彎曲的部分以與凹陷部121A的底面接觸的方式被容納。植入全部凹陷部121A中的纖維束在底座121上形成為集合體，形成在刷子123的上面幾乎沒(méi)有間隙的狀態(tài)。如該圖所示，在凹陷部121A底面的中央部形成貫通孔121B，用于通過(guò)細(xì)金屬線(xiàn)(例如不銹鋼細(xì)線(xiàn))125，將纖維束固定在凹陷部121A上。在將纖維束固定在凹陷部121A內(nèi)的情況下，不銹鋼細(xì)線(xiàn)125從底座121的下面通過(guò)貫通孔121B，再通過(guò)全部纖維122的彎曲部后，從貫通孔121B拉出，將纖維束的下端部固定在凹陷部121A內(nèi)。各凹陷部121A的纖維束可以用一根不銹鋼細(xì)線(xiàn)125固定，此外根據(jù)需要，也可以用多根不銹鋼細(xì)線(xiàn)125固定。利用不銹鋼細(xì)線(xiàn)125植入凹陷部121A內(nèi)的纖維束，即從刷子123的底座121起始的高度，形成為清理探針13A的針尖的長(zhǎng)度，例如12mm±200μm。
此外，為了提高清理效率，纖維122形成為特殊的截面形狀。即，如圖3(a)、(b)所示，在纖維122的外周面，在纖維122的長(zhǎng)度方向跨過(guò)全長(zhǎng)形成的凹部122A在圓周方向相隔規(guī)定間隔形成多條，相互平行。在該圖(a)中，在纖維122的外周面上形成3條凹部122A。相鄰凹部122A、122A之間的外周面形成為突起面。在該圖(a)中，突起面形成中心角約為120°的圓弧狀面，截面形成為三葉形狀。通過(guò)這樣在纖維122的外周面形成長(zhǎng)度方向的凹部122A，如圖3(a)、(b)所示，在清理時(shí)，探針13A的針尖或附著部O不是如現(xiàn)有的那樣在纖維122的外周面滑動(dòng)，而是一旦接觸到凹部122A，由于與附著物O的滑動(dòng)接觸面積比現(xiàn)有的大，所以可以非常有效地去除附著物O，與現(xiàn)有情況相比，可以用短時(shí)間進(jìn)行清理，可以提高生產(chǎn)能力。在清理時(shí)，如該圖(b)所示，使清理部件12的刷子123前端從探針13A的下端過(guò)載200μm，用各纖維122清理探針13A的針尖。
纖維122的截面形狀不限于如圖3(a)所示的三葉形狀，如圖4(a)、(b)所示，例如也可以是沿圓周方向連續(xù)設(shè)置4個(gè)面或8個(gè)面的圓弧形的面，形成具有4個(gè)或8個(gè)凹部122A和圓弧狀面122B的截面形狀?？墒牵瑸榱死冒疾?22A可靠地接觸探針13A的針尖，提高清理效率，凹部122A深的好。
此外，本實(shí)施方式的纖維122利用例如具有1014～1016Ω·cm電阻率的絕緣性塑料纖維形成。由于刷子123是由絕緣性塑料纖維122的集合體形成的，所以清理時(shí)與探針13A摩擦而帶電。刷子123帶電在檢查時(shí)形成干擾，有可能妨礙檢查，所以?xún)?yōu)選在極短的時(shí)間放電。因此，使用干擾注入器(三基電子公司制STATIC E TESTERSET-15)在刷子123上施加1000V電壓，使刷子123帶電，測(cè)定從帶電到放電需要的時(shí)間。其結(jié)果平均值為在放電1秒后從1000V到80V左右，5秒后變?yōu)?V。因刷子123帶電造成在底座121上帶有與刷子123相反的電荷，在清理部件12保持電的中和。其中，如上所述，底座121接地，所以底座121的電荷瞬時(shí)放電，所以?xún)H在刷子123上端部殘留有電荷。因此，刷子123的放電時(shí)間意味著刷子123上端部電荷的放電時(shí)間，可以在短時(shí)間放電，例如在5秒以?xún)?nèi)放電。到清理結(jié)束后開(kāi)始檢查前，平均需要的時(shí)間為5秒左右，所以在清理后開(kāi)始檢查，可以不受到因帶電造成的干擾的影響進(jìn)行檢查。
通過(guò)清理，刷子123的絕緣性塑料纖維122被切斷，如圖5所示，絕緣性塑料纖維122的斷開(kāi)端纏在多個(gè)探針13A之間。這種情況下，如絕緣性塑料纖維122的絕緣性能惡化，形成漏電流，會(huì)妨礙檢查。所以用耐壓檢測(cè)器(菊水電子工業(yè)公司制KIKUSUITOS-5051)對(duì)絕緣性塑料纖維122中的電流進(jìn)行測(cè)量，檢測(cè)有無(wú)漏電流。在測(cè)量中，將100根絕緣性塑料纖維122捆在一起，分別在該纖維束上施加2500V和5000V電壓，測(cè)量纖維束的電流值，其結(jié)果顯示在各種情況下都為0.00mA的電流值，沒(méi)有漏電流。因此，即使絕緣性塑料纖維122纏在探針13A上，也不影響檢查。
此外，絕緣性塑料纖維122除了上述特性以外，還具有以下特性。即，形成絕緣性塑料纖維122的外徑為20～30μm的細(xì)纖維。該絕緣性塑料纖維122楊氏模量為38～85，剪切強(qiáng)度為1.5～2.0g/d，比較柔軟，即使纏在探針13A上的情況下，也不損傷探針13A，以簡(jiǎn)單切斷的方式形成。因此，如絕緣性塑料纖維122在清理時(shí)纏在探針13A的針尖上，也不用擔(dān)心絕緣性塑料纖維122切斷，損傷探針13A。
對(duì)于探針13A的間距為60～80μm、針尖的外徑為10～15μm的探針卡，使清理部件12的刷子123過(guò)載200μm，在此狀態(tài)下，在X方向和Y方向每次999μm移動(dòng)10000次，對(duì)探針13A進(jìn)行清理后，測(cè)量全部探針13A的針尖的位移量。其結(jié)果針尖在X方向和Y方向的位移量都是最大在2μm以下。此外，針尖在Z方向的位移量在1μm以下。從這些方面可以判斷，絕緣性塑料纖維122的纖維束形成的刷子123，對(duì)探針13A沒(méi)有損傷，作為清理部件12的原材料非常有效。
此外，絕緣性塑料纖維122與現(xiàn)有的纖維相比，金屬成分含量非常低，例如Cu成分含量為0.1μg/g。由于這樣的金屬成分含量少，也不擔(dān)心因金屬成分帶來(lái)的導(dǎo)通障礙。
根據(jù)以上說(shuō)明的本實(shí)施方式，清理部件12具有底座121、由多根直立設(shè)置在底座121上面的絕緣性塑料纖維122構(gòu)成的刷子123，在絕緣性塑料纖維122的外周面上，在絕緣性塑料纖維122的長(zhǎng)度方向形成的凹部122A，在圓周方向相隔規(guī)定間隔設(shè)置有3條，截面形成為三葉形狀，所以在用清理部件12清理探針13A時(shí)，探針13A的針尖在絕緣性塑料纖維122的圓弧狀面122B不打滑，一旦接觸到凹部122A，進(jìn)一步說(shuō)，凹部122接觸到針尖的附著物O，附著物O在從凹部122A開(kāi)始與圓弧狀面122B滑動(dòng)接觸期間，有效地從針尖去除，可以提高清理的生產(chǎn)能力。
此外，根據(jù)本實(shí)施方式，由于刷子123采用絕緣性塑料纖維122的集合體形成，所以清理時(shí)絕緣性塑料纖維122被切斷，即使此斷開(kāi)端纏在多根探針13A之間殘留下來(lái)，在檢查時(shí)，在絕緣性塑料纖維122中也沒(méi)有漏電流，可以沒(méi)有任何障礙地進(jìn)行檢查，可以進(jìn)行可信度高的檢查。
此外，根據(jù)本實(shí)施方式，絕緣性塑料纖維122由于具有1014～1016Ω·cm的電阻率，所以可以更有效地防止檢查時(shí)的漏電流。此外，底座121由金屬構(gòu)成，絕緣性塑料纖維122用不銹鋼細(xì)線(xiàn)125捆住，直立設(shè)置在底座121上，所以在清理時(shí)，刷子123即使帶電，通過(guò)不銹鋼細(xì)線(xiàn)125，刷子123的電荷可以從底座121側(cè)短時(shí)間放電，可以迅速進(jìn)行清理后的檢查。
此外，本發(fā)明不限定于上述實(shí)施方式，根據(jù)需要可以變更各構(gòu)成要素的設(shè)計(jì)。
工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明可以適用于在對(duì)晶片等的被檢查體的電性能檢查中使用的探針裝置中。
權(quán)利要求
1.一種清理部件，其特征在于，具有底座、由多根直立設(shè)置在該底座上的纖維構(gòu)成的刷子，用所述刷子清理被檢查體進(jìn)行檢查時(shí)使用的探針，其中，在所述纖維的外周面上，在上述纖維的長(zhǎng)度方向形成的凹部，在圓周方向隔開(kāi)規(guī)定的間隔設(shè)置有多條。
2.如權(quán)利要求1所述的清理部件，其特征在于，所述多條凹部在與所述纖維的圓周方向連接的邊界上形成有多個(gè)突起面。
3.如權(quán)利要求1或2所述的清理部件，其特征在于，垂直于所述纖維的長(zhǎng)度方向的截面呈三葉形狀。
4.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的清理部件，其特征在于，所述纖維由絕緣性塑料纖維形成。
5.如權(quán)利要求4所述的清理部件，其特征在于，所述絕緣性塑料纖維具有1014～1016Ω·cm的電阻率。
6.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的清理部件，其特征在于，所述底座由金屬構(gòu)成，所述絕緣性塑料纖維由金屬線(xiàn)捆扎，直立設(shè)置在所述底座上。
7.一種探針裝置，其特征在于，具有附設(shè)在載置被檢查體并可移動(dòng)的載置臺(tái)上的清理部件；和配置在該清理部件上方的探針卡，移動(dòng)所述載置臺(tái)，使所述被檢查體和所述探針卡的多個(gè)探針電接觸，進(jìn)行電性能檢查后，通過(guò)所述載置臺(tái)移動(dòng)所述清理部件，對(duì)所述多個(gè)探針進(jìn)行清理，其中，所述清理部件具有底座、和由多根直立設(shè)置在該底座上的纖維構(gòu)成的刷子，在所述纖維的外周面上，在所述纖維的長(zhǎng)度方向形成的凹部，在圓周方向隔開(kāi)規(guī)定間隔設(shè)置有多條。
8.如權(quán)利要求7所述的探針裝置，其特征在于，所述多條凹部在與所述纖維的圓周方向連接的邊界上形成有多個(gè)突起面。
9.如權(quán)利要求7或8所述的探針裝置，其特征在于，垂直于所述纖維的長(zhǎng)度方向的截面呈三葉形狀。
10.如權(quán)利要求7～9中任一項(xiàng)所述的探針裝置，其特征在于，所述纖維由絕緣性塑料纖維形成。
11.如權(quán)利要求10所述的探針裝置，其特征在于，所述絕緣性塑料纖維具有1014～1016Ω·cm的電阻率。
12.如權(quán)利要求7～11中任一項(xiàng)所述的探針裝置，其特征在于，所述底座由金屬構(gòu)成，所述絕緣性塑料纖維由金屬線(xiàn)捆扎，直立設(shè)置在所述底座上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可以提高清理效率、并且可以防止檢查時(shí)清理部件的纖維造成的探針之間短路的清理部件和探針裝置。本發(fā)明的清理部件(10)具有底座(121)、由多根直立設(shè)置在底座(121)上的絕緣性塑料纖維(122)構(gòu)成的刷子(123)，在絕緣性塑料纖維(122)的外周面上，在絕緣性塑料纖維(122)的長(zhǎng)度方向形成的凹部(122A)在圓周方向隔開(kāi)規(guī)定間隔設(shè)置有3條，截面呈三葉形狀。
文檔編號(hào)G01R1/067GK1989871SQ200610084660
公開(kāi)日2007年7月4日 申請(qǐng)日期2006年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月27日
發(fā)明者河西俊洋, 小泉慎也 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社