專利名稱：用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的系統(tǒng)、方法和計算機(jī)程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的系統(tǒng)、方法和計算機(jī)程序。
背景技術(shù)：
在制造和/或銷售電氣設(shè)備(包括諸如電路板、集成電路或片上系統(tǒng)(SOC)之類的系統(tǒng)或組件)之前，通常先要測試設(shè)備，以確定其是否是按設(shè)計構(gòu)建或工作的。通常，該測試由自動電路測試系統(tǒng)(也稱之為自動測試設(shè)備(ATE))執(zhí)行。
為了使測試系統(tǒng)的結(jié)果有意義，系統(tǒng)需要被校準(zhǔn)。就是說，測試系統(tǒng)在測試期間可能引入的固有系統(tǒng)誤差必須被量化。
為了表征測試系統(tǒng)的固有系統(tǒng)誤差，經(jīng)校準(zhǔn)的驅(qū)動器可以被順序耦合到系統(tǒng)的每個測試信號比較器。由經(jīng)校準(zhǔn)的驅(qū)動器發(fā)起的測試信號隨后可以被每個比較器所讀??；并且由比較器讀取的信號可與預(yù)期信號相比較以確定它們之間的偏離。同樣，經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)的比較器可以被順序耦合到系統(tǒng)的每個驅(qū)動器。由驅(qū)動器發(fā)起的測試信號隨后可以被經(jīng)校準(zhǔn)的比較器所讀??；并且由經(jīng)校準(zhǔn)的比較器讀取的信號可以與預(yù)期信號相比較以確定它們之間的偏離。
為了利用以上方法表征測試系統(tǒng)的固有系統(tǒng)誤差，系統(tǒng)的每個驅(qū)動器和比較器都必須被探測，以便將其連接到經(jīng)校準(zhǔn)的驅(qū)動器或比較器。一種執(zhí)行這樣的探測的方法是經(jīng)由機(jī)器人，該機(jī)器人將包括驅(qū)動器和比較器在內(nèi)的經(jīng)校準(zhǔn)的測試頭順序耦合到測試系統(tǒng)的每個信號引腳。但是，這樣的機(jī)器人非常昂貴，并且其機(jī)械公差難以維持。
另一種對測試系統(tǒng)的信號引腳執(zhí)行探測的方法是經(jīng)由中繼信號選擇器。就是說，經(jīng)校準(zhǔn)的驅(qū)動器或比較器可被順序切換為與系統(tǒng)的每個驅(qū)動器和比較器相接觸。但是，中繼信號比較器可能導(dǎo)致信號衰減，這種信號衰減使系統(tǒng)校準(zhǔn)變得困難，尤其是在高頻AC定時校準(zhǔn)期間。

發(fā)明內(nèi)容
在一個實施例中，一種用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的方法包括將第一校準(zhǔn)單元電耦合在測試系統(tǒng)的多個驅(qū)動器和比較器之間。所述第一校準(zhǔn)單元包括根據(jù)第一組關(guān)系來耦合驅(qū)動器和比較器的對的固定接線路徑。當(dāng)所述第一校準(zhǔn)單元被耦合在多個驅(qū)動器和比較器之間時，執(zhí)行AC定時校準(zhǔn)過程，以確定針對所述第一組關(guān)系中的每一個的定時延遲。然后將第二校準(zhǔn)單元電耦合在多個驅(qū)動器和比較器之間。所述第二校準(zhǔn)單元包括根據(jù)第二組關(guān)系來耦合驅(qū)動器和比較器的對的固定接線路徑。當(dāng)所述第二校準(zhǔn)單元被耦合在多個驅(qū)動器和比較器之間時，執(zhí)行AC定時校準(zhǔn)過程，以確定針對所述第二組關(guān)系中的每一個的定時延遲。最后，基于所述定時延遲和驅(qū)動器/比較器關(guān)系求解方程組，以確定1)由測試系統(tǒng)的包括驅(qū)動器的信號路徑引入的相對定時誤差，以及2)由測試系統(tǒng)的包括比較器的信號路徑引入的相對定時誤差。
在第二實施例中，一種用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的系統(tǒng)包括第一和第二校準(zhǔn)單元。其中每個校準(zhǔn)單元包括1)具有用于將校準(zhǔn)單元電耦合到測試系統(tǒng)的多個驅(qū)動器的多個驅(qū)動器觸點的驅(qū)動器接口，2)具有用于將校準(zhǔn)單元電耦合到測試系統(tǒng)的多個比較器的多個比較器觸點的比較器接口，以及3)耦合所述校準(zhǔn)單元的驅(qū)動器觸點和比較器觸點對的多個固定接線路徑。所述第一校準(zhǔn)單元的固定接線路徑根據(jù)第一組關(guān)系來耦合所述校準(zhǔn)單元的驅(qū)動器和比較器觸點對，所述第二校準(zhǔn)單元的固定接線路徑根據(jù)第二組關(guān)系來耦合所述第二校準(zhǔn)單元的驅(qū)動器和比較器觸點對。
在第三實施例中，一種用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的方法包括將第一校準(zhǔn)單元電耦合在測試系統(tǒng)的多個驅(qū)動器和比較器之間。所述第一校準(zhǔn)單元包括根據(jù)第一組關(guān)系來耦合驅(qū)動器和比較器的對的固定接線路徑。當(dāng)所述第一校準(zhǔn)單元被耦合在多個驅(qū)動器和比較器之間時，執(zhí)行電阻檢查，以確定由所述第一組關(guān)系定義的信號路徑的電阻。然后將第二校準(zhǔn)單元電耦合在測試系統(tǒng)的多個驅(qū)動器和比較器之間。所述第二校準(zhǔn)單元包括根據(jù)第二組關(guān)系來耦合所述驅(qū)動器和比較器的對的固定接線路徑。當(dāng)?shù)诙?zhǔn)單元被耦合在多個驅(qū)動器和比較器之間時，執(zhí)行電阻檢查，以確定由第二組關(guān)系定義的信號路徑的電阻。最后，基于所述電阻和驅(qū)動器/比較器關(guān)系來求解方程組，以確定1)由測試系統(tǒng)的包括驅(qū)動器的信號路徑提供的相對電阻，以及2)由測試系統(tǒng)的包括比較器的信號路徑提供的相對電阻。
還公開了其他實施例。


在附圖中示出了本發(fā)明的示例性實施例，其中圖1示出了用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的第一示例性方法；圖2到圖5示出在執(zhí)行圖1所示的方法期間，當(dāng)?shù)谝缓偷诙?zhǔn)單元被耦合在測試系統(tǒng)的驅(qū)動器和比較器之間時，在其驅(qū)動器和比較器之間形成的各種連接；圖6示出了圖2和圖4所示校準(zhǔn)單元的示例性形式；以及圖7示出了用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的第二示例性方法。
具體實施例方式
圖1示出了用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的示例性方法100。方法100開始于第一校準(zhǔn)單元200(圖2)在測試系統(tǒng)218的多個驅(qū)動器202、204、206、208和比較器210、212、214、216之間的電耦合(102)。如圖2所示，第一校準(zhǔn)單元200包括固定接線路徑220、222、224、226，它們根據(jù)第一組關(guān)系來耦合驅(qū)動器202-208和比較器210-216的對。例如，這些關(guān)系被示為包括驅(qū)動器202和比較器210之間的串聯(lián)連接(包括耦合在驅(qū)動器202和比較器210之間的任何接線路徑、開關(guān)電路和自動電路測試系統(tǒng)的其他元件、其探測卡及其測試插座)。與驅(qū)動器202和比較器210之間的串聯(lián)連接類似，第一校準(zhǔn)單元200可以形成驅(qū)動器204和比較器212之間、驅(qū)動器206和比較器214之間以及驅(qū)動器208和比較器216之間的串聯(lián)連接。
當(dāng)?shù)谝恍?zhǔn)單元200就位時，第一AC定時校準(zhǔn)過程被執(zhí)行(104)以確定針對第一組關(guān)系中的每個關(guān)系的定時延遲。
在執(zhí)行了第一AC定時校準(zhǔn)過程之后，第二校準(zhǔn)單元300(圖3)被耦合(106)在多個驅(qū)動器202-208和比較器210-216之間。如圖3所示，第二校準(zhǔn)單元300包括固定接線路徑302、304、306、308，它們根據(jù)第二組關(guān)系(例如在驅(qū)動器202和比較器212之間、驅(qū)動器204和比較器214之間、驅(qū)動器206和比較器216之間以及驅(qū)動器208和比較器210之間的串聯(lián)連接)來耦合驅(qū)動器202-208和比較器210-216的對。當(dāng)?shù)诙?zhǔn)單元300就位時，第二AC定時校準(zhǔn)過程被執(zhí)行(108)以確定針對第二組關(guān)系中的每個關(guān)系的定時延遲。
在執(zhí)行了第一和第二AC定時校準(zhǔn)過程之后，基于定時延遲和驅(qū)動器/比較器關(guān)系來求解(110)一個方程組。以這種方式，可以確定1)由包括驅(qū)動器202-208的測試系統(tǒng)的信號路徑引入的相對定時誤差(例如定時誤差A(yù)1、A2、A3和A4)，以及2)由包括比較器210-216的測試系統(tǒng)的信號路徑引入的相對定時誤差(例如定時誤差B1、B2、B3和B4)。
例如，經(jīng)由第一校準(zhǔn)單元200，第一AC定時校準(zhǔn)過程可以包括經(jīng)由驅(qū)動器202-208生成多個測試信號，并經(jīng)由比較器210-216捕獲測試信號。以這種方式并假設(shè)由第一校準(zhǔn)單元200引入的任何延遲都可忽略，則針對由定時誤差A(yù)1-A4和B1-B4代表的路徑可獲得一組定時延遲T11、T22、T33和T44，如下所示T11＝A1+B1(1)T22＝A2+B2T33＝A3+B3T44＝A4+B4還例如，經(jīng)由第二校準(zhǔn)單元300，第二AC定時校準(zhǔn)過程可以包括經(jīng)由驅(qū)動器202-208生成多個測試信號，并經(jīng)由比較器210-216捕獲測試信號。以這種方式并假設(shè)由第二校準(zhǔn)單元300引入的任何延遲都可忽略，則針對由定時誤差A(yù)1-A4和B1-B4代表的路徑可獲得一組定時延遲T12、T23、T34和T41，如下所示T12＝A1+B2(2)
T23＝A2+B3T34＝A3+B4T41＝A4+B1為了求解上述方程以確定由包括驅(qū)動器202-208的測試系統(tǒng)的信號路徑所引入的相對定時誤差，可以從第一方程組(1)中減去第二方程組(2)以導(dǎo)出定時誤差Ta、Tb、Tc和TdTa＝T22-T12＝A2+B2-(A1+B2)＝A2-A1；A2＝Ta+A1 (3)Tb＝T33-T23＝A3+B3-(A2+B3)＝A3-A2；A3＝Tb+A2Tc＝T44-T34＝A4+B4-(A3+B4)＝A4-A3；A4＝Tc+A3Td＝T11-T41＝A1+B1-(A4+B1)＝A1-A4；A1＝Td+A4現(xiàn)在，通過將與信號路徑中的一條參考路徑相關(guān)聯(lián)的定時誤差設(shè)置為缺省值(例如通過將定時誤差A(yù)1設(shè)置為0)，上述方程可以按如下方法來求解以確定由驅(qū)動器側(cè)信號路徑引入的相對定時誤差A(yù)2＝Ta+A1＝Ta+0＝Ta(4)A3＝Tb+A2＝Tb+TaA4＝Tc+A3＝Tc+Tb+TaA1＝Td+A4＝Td+Tc+Tb+Ta在給定以上定時誤差(A1-A4)的情況下，可以對自動電路測試系統(tǒng)進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整，或可以存儲適當(dāng)?shù)男?zhǔn)因子，以使它們可以被應(yīng)用到由自動電路測試系統(tǒng)所獲取的任何測量結(jié)果。
方程組(1)和(2)也可以被求解以確定由包括比較器210-216的測試系統(tǒng)的信號路徑引入的相對定時誤差。從第二方程組(2)中減去第一方程組(1)而得出定時誤差T1、T2、T3和T4T1＝T12-T11＝A1+B2-(A1+B1)＝B2-B1；B2＝T1+B1 (5)T2＝T23-T22＝A2+B3-(A2+B2)＝B3-B2；B3＝T2+B2T3＝T34-T33＝A3+B4-(A3+B3)＝B4-B3；B4＝T3+B3T4＝T41-T44＝A4+B1-(A4+B4)＝B1-B4；B1＝T4+B4現(xiàn)在，通過將與信號路徑中的一條參考路徑相關(guān)聯(lián)的定時誤差設(shè)置為缺省值(例如通過將定時誤差B1設(shè)置為0)，上述方程可以按如下方法來求解以確定由比較器側(cè)信號路徑引入的相對定時誤差B2＝T1+B1＝T1+0＝T1(6)B3＝T2+B2＝T2+T1B4＝T3+B3＝T3+T2+T1B1＝T4+B4＝T4+T3+T2+T1在給定以上定時誤差(B1-B4)的情況下，可以對自動電路測試系統(tǒng)進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整，或可以存儲適當(dāng)?shù)男?zhǔn)因子，以使它們可以被應(yīng)用到由自動電路測試系統(tǒng)所獲取的任何測量結(jié)果。
如果自動電路測試系統(tǒng)包括多個信號引腳，其中每個引腳既連接到驅(qū)動器也連接到比較器202/408、204/410、206/412、208/414、400/210、402/212、404/214、406/216，則也可以使用第一和第二校準(zhǔn)單元200、300來校準(zhǔn)圖4和圖5所示的驅(qū)動器/比較器關(guān)系。就是說，按圖4所示方式布置第一校準(zhǔn)單元200時，可以執(zhí)行第三AC定時校準(zhǔn)過程來獲取一組定時延遲Ti-1、T2-2、T3-3和T4-4，這些定時延遲可能是針對由定時誤差C1-C4和D1-D4代表的路徑而獲取的，如下所示T1-1＝C1+D1 (7)T2-2＝C2+D2T3-3＝C3+D3T4-4＝C4+D4同樣，利用按圖5所示方式布置的第二校準(zhǔn)單元300，可以執(zhí)行第四AC定時校準(zhǔn)過程來獲取一組針對由定時誤差C1-C4和D1-D4代表的路徑的定時延遲T1-2、T2-3、T3-4和T4-1，如下所示T1-2＝C1+D2 (8)T2-3＝C2+D3T3-4＝C3+D4T4-1＝C4+D1方程組(7)和(8)可以與方程組(1)和(2)類似地被求解。
在另一種實施例中，圖4和圖5所示的驅(qū)動器400-406和比較器408-414可以利用單獨的一組校準(zhǔn)單元來測試。
優(yōu)選地，方法100被實現(xiàn)在包括用于執(zhí)行其各種步驟的代碼(例如指令序列)的計算機(jī)程序中。代碼可以被存儲在任何一種或多種計算機(jī)可讀介質(zhì)上，例如包括固定的或可移動的存儲器或盤。在某些情況下，計算機(jī)程序可以由正被校準(zhǔn)的自動電路測試系統(tǒng)218來執(zhí)行。在其他情況下，計算機(jī)程序的部分或全部可以由連接到測試系統(tǒng)218的一個或多個計算機(jī)來執(zhí)行，以便控制測試系統(tǒng)218的操作。
例如，圖6更詳細(xì)示出了第一校準(zhǔn)單元200。如圖所示，校準(zhǔn)單元200可以包括具有多個驅(qū)動器觸點602、604、606、608的驅(qū)動器接口600，所述驅(qū)動器觸點用于將校準(zhǔn)單元200電耦合到測試系統(tǒng)的多個驅(qū)動器。校準(zhǔn)單元200還可以包括具有多個比較器觸點612、614、616、618的比較器接口610，所述比較器觸點用于將校準(zhǔn)單元200電耦合到測試系統(tǒng)的多個比較器。校準(zhǔn)單元200還可以包括多個固定接線路徑220-226，這些接線路徑耦合校準(zhǔn)單元的驅(qū)動器觸點和比較器觸點的對602/612、604/614、606/616、608/618。
在一個實施例中，校準(zhǔn)單元200可以包括基板，在基板上(或基板中)淀積或形成其固定接線路徑。例如，校準(zhǔn)單元200可以包括氧化鋁(Al2O3)基板，其上淀積著薄膜電路導(dǎo)電線?；蛘?，例如，校準(zhǔn)單元200可以包括印制電路板(PCB)基板，其上(或其中)形成電路導(dǎo)電線?；蛘?，校準(zhǔn)單元200可以包括附接有同軸線纜等的基板。但是，在任一情況下，固定接線路徑都消除了可能使信號衰減或以其他方式向校準(zhǔn)過程引入誤差的機(jī)械中繼或有源半導(dǎo)體組件。
在一個實施例中，校準(zhǔn)單元200、300的尺寸被確定為模仿將在測試系統(tǒng)被用校準(zhǔn)單元200、300校準(zhǔn)之后由測試系統(tǒng)測試的實際被測設(shè)備(DUT)。在某些情況下，這可能要求校準(zhǔn)單元200、300被定形為模仿將被測試系統(tǒng)測試的晶片(即如果測試系統(tǒng)要用于晶片測試)。如果校準(zhǔn)單元200、300充分地模仿將被測試系統(tǒng)測試的DUT，則機(jī)器人系統(tǒng)可以將校準(zhǔn)單元放置在測試系統(tǒng)中或從測試系統(tǒng)中移除校準(zhǔn)單元。
第二校準(zhǔn)單元300可以按類似于第一校準(zhǔn)單元200的方式來構(gòu)造，唯一不同之處在于第一校準(zhǔn)單元的固定接線路徑按第一組關(guān)系耦合校準(zhǔn)單元的驅(qū)動器和比較器觸點對，而第二校準(zhǔn)單元的固定接線路徑按第二組關(guān)系耦合校準(zhǔn)單元的驅(qū)動器和比較器觸點對。
在一個方面，這里描述的方法和裝置的優(yōu)點在于它們能夠在系統(tǒng)的測試插座(test socket)處對自動電路測試系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)。在高頻AC定時校準(zhǔn)期間，測試系統(tǒng)探測卡和測試插座的阻抗可能是定時誤差的最主要來源。很多現(xiàn)有校準(zhǔn)方法都尚未考慮到探測卡和測試插座的定時誤差。
這里描述的方法和裝置中的某些或全部可以提供的另一優(yōu)點在于消除了對將經(jīng)校準(zhǔn)的驅(qū)動器或比較器連接到測試系統(tǒng)的每個和全部信號引腳的任何需求。相反，僅僅兩個信道可被連接到參考信道，就可以以相對的方式來計算所有其他信道的定時誤差。
這里描述的方法和裝置還可被用于減小AC定時校準(zhǔn)的時間和成本。例如，不需要重新定位機(jī)器人臂來探測測試系統(tǒng)的每個和全部信號引腳。而且，生產(chǎn)第一和第二校準(zhǔn)單元的成本與1)機(jī)器人的成本或2)包含有源的機(jī)械或半導(dǎo)體組件的中繼信號選擇器的成本相比是最小的。
這里公開的方法和裝置還可以提供良好的可靠性，因為不存在會導(dǎo)致故障的有源組件。
除了AC定時校準(zhǔn)之外，這里公開的方法和裝置還具有其他應(yīng)用。例如，圖7示出了用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的第二示例性方法700。在方法700中，當(dāng)?shù)谝恍?zhǔn)單元200被耦合(702)在測試系統(tǒng)的驅(qū)動器和比較器之間時，電阻檢查被執(zhí)行(704)。以這種方式，與由第一校準(zhǔn)單元200的接線關(guān)系所定義的信號路徑相對應(yīng)的多個電阻可以被確定。然后，當(dāng)?shù)诙?zhǔn)單元300被耦合(706)在測試系統(tǒng)的驅(qū)動器和比較器之間時，第二電阻檢查可以被執(zhí)行(708)。以這種方式，與由第二校準(zhǔn)單元300的接線關(guān)系所定義的信號路徑相對應(yīng)的多個電阻可以被確定。在一個實施例中，電阻檢查是利用測試系統(tǒng)的DC參數(shù)測試單元(PMU)的驅(qū)動器側(cè)電流源或比較器側(cè)電壓源執(zhí)行的DC電阻變動測試。
與先前求解定時誤差方程的方式類似，可以基于電阻和驅(qū)動器/比較器關(guān)系來求解(710)方程組以確定i)由包括驅(qū)動器的測試系統(tǒng)的信號路徑提供的相對電阻，以及ii)由包括比較器的測試系統(tǒng)的信號路徑提供的相對電阻。確定DC電阻變動是有用的，這是因為在執(zhí)行AC定時校準(zhǔn)測試之前，需要知道信號路徑觸點電阻變動。
權(quán)利要求
1.一種用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的方法，包括將第一校準(zhǔn)單元電耦合在所述測試系統(tǒng)的多個驅(qū)動器和比較器之間，所述第一校準(zhǔn)單元包括根據(jù)第一組關(guān)系來耦合所述驅(qū)動器和比較器的對的固定接線路徑；當(dāng)所述第一校準(zhǔn)單元被耦合在所述多個驅(qū)動器和比較器之間時執(zhí)行AC定時校準(zhǔn)過程，從而確定針對所述第一組關(guān)系中的每一個的定時延遲；將第二校準(zhǔn)單元電耦合在所述多個驅(qū)動器和比較器之間，所述第二校準(zhǔn)單元包括根據(jù)第二組關(guān)系來耦合所述驅(qū)動器和比較器的對的固定接線路徑；當(dāng)所述第二校準(zhǔn)單元被耦合在所述多個驅(qū)動器和比較器之間時執(zhí)行AC定時校準(zhǔn)過程，從而確定針對所述第二組關(guān)系中的每一個的定時延遲；以及基于所述定時延遲和驅(qū)動器/比較器關(guān)系來求解方程組，以確定i)由所述測試系統(tǒng)的包括所述驅(qū)動器的信號路徑引入的相對定時誤差，以及ii)由所述測試系統(tǒng)的包括所述比較器的信號路徑引入的相對定時誤差。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述方程組是通過將與所述信號路徑中包括所述驅(qū)動器之一的一條參考路徑相關(guān)聯(lián)的定時誤差設(shè)置為缺省值來部分地求解的。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中所述缺省值為0。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其中其中所述方程組是通過將與所述信號路徑中包括所述比較器之一的一條參考路徑相關(guān)聯(lián)的定時誤差設(shè)置為缺省值來部分地求解的。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中所述缺省值為0。
6.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括利用機(jī)器人系統(tǒng)將所述校準(zhǔn)單元放置在所述多個驅(qū)動器和比較器之間，以及從所述多個驅(qū)動器和比較器之間移除所述校準(zhǔn)單元。
7.一種用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的系統(tǒng)，包括第一和第二校準(zhǔn)單元，各自包括i)具有用于將所述校準(zhǔn)單元電耦合到所述測試系統(tǒng)的多個驅(qū)動器的多個驅(qū)動器觸點的驅(qū)動器接口，ii)具有用于將所述校準(zhǔn)單元電耦合到所述測試系統(tǒng)的多個比較器的多個比較器觸點的比較器接口，以及iii)耦合所述校準(zhǔn)單元的驅(qū)動器觸點和比較器觸點對的多個固定接線路徑；其中所述第一校準(zhǔn)單元的固定接線路徑根據(jù)第一組關(guān)系來耦合所述校準(zhǔn)單元的驅(qū)動器和比較器觸點對，其中所述第二校準(zhǔn)單元的固定接線路徑根據(jù)第二組關(guān)系來耦合所述第二校準(zhǔn)單元的驅(qū)動器和比較器觸點對。
8.如權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中所述校準(zhǔn)單元包括氧化鋁基板，該基板上淀積著所述固定接線路徑。
9.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述固定接線路徑是薄膜電路導(dǎo)電線。
10.如權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中所述校準(zhǔn)單元包括印制電路板。
11.如權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中所述固定接線路徑包括同軸線纜。
12.如權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中所述校準(zhǔn)單元的尺寸被確定為模仿將在所述測試系統(tǒng)被用所述校準(zhǔn)單元校準(zhǔn)之后由所述測試系統(tǒng)測試的實際被測設(shè)備。
13.如權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中所述校準(zhǔn)單元被定形為模仿將在所述測試系統(tǒng)被用所述校準(zhǔn)單元校準(zhǔn)之后由所述測試系統(tǒng)測試的晶片。
14.一種用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的計算機(jī)程序，包括用于在第一校準(zhǔn)單元被電耦合在所述測試系統(tǒng)的多個驅(qū)動器和比較器之間時發(fā)起第一AC定時校準(zhǔn)過程的代碼，其中所述第一校準(zhǔn)單元包括根據(jù)第一組關(guān)系來耦合所述驅(qū)動器和比較器的對的固定接線路徑，并且其中所述第一AC定時校準(zhǔn)過程確定針對所述第一組關(guān)系中的每一個的定時延遲；用于在第二校準(zhǔn)單元被電耦合在所述多個驅(qū)動器和比較器之間時發(fā)起第二AC定時校準(zhǔn)過程的代碼，其中所述第二校準(zhǔn)單元包括根據(jù)第二組關(guān)系來耦合所述驅(qū)動器和比較器的對的固定接線路徑，并且其中所述第二AC定時校準(zhǔn)過程確定針對所述第二組關(guān)系中的每一個的定時延遲；以及用于基于所述定時延遲和驅(qū)動器/比較器關(guān)系來求解方程組，以確定所述驅(qū)動器之間的相對定時誤差和所述比較器之間的相對定時誤差的代碼。
15.如權(quán)利要求14所述的計算機(jī)程序，其中所述代碼通過將與所述信號路徑中包括所述驅(qū)動器之一的一條參考路徑相關(guān)聯(lián)的定時誤差設(shè)置為缺省值來部分地求解所述方程組。
16.如權(quán)利要求15所述的計算機(jī)程序，其中所述缺省值為0。
17.如權(quán)利要求14所述的計算機(jī)程序，其中所述代碼通過將與所述信號路徑中包括所述比較器之一的一條參考路徑相關(guān)聯(lián)的定時誤差設(shè)置為缺省值來部分地求解所述方程組。
18.如權(quán)利要求17所述的計算機(jī)程序，其中所述缺省值為0。
19.一種用于校準(zhǔn)自動電路測試系統(tǒng)的方法，包括將第一校準(zhǔn)單元電耦合在所述測試系統(tǒng)的多個驅(qū)動器和比較器之間，所述第一校準(zhǔn)單元包括根據(jù)第一組關(guān)系來耦合所述驅(qū)動器和比較器的對的固定接線路徑；當(dāng)所述第一校準(zhǔn)單元被耦合在所述多個驅(qū)動器和比較器之間時執(zhí)行電阻檢查，從而確定由所述第一組關(guān)系定義的信號路徑的電阻；將第二校準(zhǔn)單元電耦合在所述多個驅(qū)動器和比較器之間，所述第二校準(zhǔn)單元包括根據(jù)第二組關(guān)系來耦合所述驅(qū)動器和比較器的對的固定接線路徑；當(dāng)所述第二校準(zhǔn)單元被耦合在所述多個驅(qū)動器和比較器之間時執(zhí)行電阻檢查，從而確定由所述第二組關(guān)系定義的信號路徑的電阻；以及基于所述電阻和驅(qū)動器/比較器關(guān)系來求解方程組，以確定i)由所述測試系統(tǒng)的包括所述驅(qū)動器的信號路徑提供的相對電阻，以及ii)由所述測試系統(tǒng)的包括所述比較器的信號路徑提供的相對電阻。
20.如權(quán)利要求19所述的方法，其中所述方程組是通過以下方式來部分地求解的i)將與所述信號路徑中包括所述驅(qū)動器之一的一條參考路徑相關(guān)聯(lián)的電阻設(shè)置為缺省值，并ii)將與所述信號路徑中包括所述比較器之一的一條參考路徑相關(guān)聯(lián)的電阻設(shè)置為缺省值。
全文摘要
在一個實施例中，自動電路測試系統(tǒng)是通過將第一校準(zhǔn)單元電耦合在測試系統(tǒng)的多個驅(qū)動器和比較器之間，然后執(zhí)行AC定時校準(zhǔn)過程以確定針對第一組關(guān)系中的每一個的定時延遲來校準(zhǔn)的。然后，第二校準(zhǔn)單元被電耦合在多個驅(qū)動器和比較器之間，并且AC定時校準(zhǔn)過程被執(zhí)行，以確定針對第二組關(guān)系中的每一個的定時延遲。第一和第二校準(zhǔn)單元包括分別根據(jù)第一和第二組關(guān)系來耦合驅(qū)動器和比較器對的固定接線路徑。基于定時延遲和驅(qū)動器/比較器關(guān)系對方程組進(jìn)行求解，以確定由測試系統(tǒng)中包括驅(qū)動器和比較器的信號路徑引入的相對定時誤差。
文檔編號G01R31/28GK1892246SQ20061009051
公開日2007年1月10日 申請日期2006年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月27日
發(fā)明者杉原憲幸 申請人:安捷倫科技有限公司