專利名稱：開放式氣體多組分監(jiān)測(cè)儀及監(jiān)測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于一種氣體的激光光譜測(cè)量?jī)x器，具體是一種基于近紅外可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜法的開放光程的多組分氣體監(jiān)測(cè)儀器，它能同時(shí)測(cè)量NH3和H2O的濃度。
背景技術(shù)：
采用多氣體成分的同時(shí)測(cè)量無(wú)論是在大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)還是在工業(yè)控制、工業(yè)污染監(jiān)測(cè)方面都是非常必要的；例如在大氣痕量氣體的測(cè)量過(guò)程中，常常需要多種成分的同時(shí)測(cè)量來(lái)分析各個(gè)成分之間的相關(guān)性，從而分析各個(gè)痕量氣體的來(lái)源以及大氣化學(xué)中的一些化學(xué)反應(yīng)；2002年LPMA大學(xué)進(jìn)行的大氣痕量氣體測(cè)量中，利用TDLAS技術(shù)同時(shí)測(cè)量了CO、O3、CO2、HCl、N2O、CH4、COF2、HOCl、H2O2、NO、H2O、NO2、HNO3的空間分布，其中的部分測(cè)量結(jié)果表明CH4和NO2具有非常好的相關(guān)性，為大氣化學(xué)提供了非常重要的依據(jù)。
氨氣是大氣成分中含量?jī)H次于N2和N2O的含氮化合物，也是大氣成分中最豐富的堿性痕量氣體。作為大氣酸性成分的主要中和劑，大氣中氨氣的環(huán)境效應(yīng)越來(lái)越受到人們的重視。它被認(rèn)為是影響區(qū)域空氣質(zhì)量、大氣能見度以及酸性沉降的重要因素。
農(nóng)業(yè)源一般被認(rèn)為是大氣NH3的主要排放源，主要來(lái)源是家禽養(yǎng)殖、土壤揮發(fā)、以及有機(jī)肥揮發(fā)，農(nóng)業(yè)地區(qū)的NH3排放意味著大量的土壤肥力的損失，我國(guó)是一個(gè)農(nóng)業(yè)大國(guó)，也是一個(gè)氨氣排放大國(guó)，1990年的氨氮排放量約為8449Gg，居世界第一位。我國(guó)城市地區(qū)同樣也面臨由于NH3排放所引起的環(huán)境問(wèn)題，一些大的城市如北京和上海的PM2.5成分中，銨鹽已經(jīng)占到很大比重。大氣NH3排放的檢測(cè)和治理目前還面臨著缺乏現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)儀器的問(wèn)題，目前常用的檢測(cè)方法包括溶蝕器方法、氣相色譜等都存在著檢測(cè)速度慢，需要復(fù)雜的氣體取樣等問(wèn)題，無(wú)法滿足現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)檢測(cè)的需要，研制一種無(wú)需氣體取樣的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)技術(shù)對(duì)于解決目前大氣NH3檢測(cè)儀器短缺問(wèn)題有著現(xiàn)實(shí)的應(yīng)用意義。
基于可調(diào)諧半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)調(diào)制光譜的調(diào)制頻率多路技術(shù)提供了一種進(jìn)行多種氣體同時(shí)探測(cè)的直接方法，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)氣體的高靈敏、高分辨、非接觸在線檢測(cè)。兩臺(tái)激光器分別以不同的調(diào)制頻率對(duì)激光輸出波長(zhǎng)進(jìn)行調(diào)制，兩束激光由光纖耦合器進(jìn)行合束，由光纖傳輸?shù)綑z測(cè)現(xiàn)場(chǎng)的光學(xué)望遠(yuǎn)鏡，沿著相同的光路傳輸。光束由光學(xué)望遠(yuǎn)鏡發(fā)射后經(jīng)過(guò)檢測(cè)區(qū)域被角反射鏡反射沿著原光路返回，返回的光束聚焦在同一個(gè)紅外探測(cè)器進(jìn)行探測(cè)，不需要增加額外的光程和光學(xué)裝置。探測(cè)信號(hào)被兩臺(tái)鎖相放大器在不同的解調(diào)頻率下提取二次諧波信號(hào)，對(duì)諧波信號(hào)進(jìn)行采集和處理，用來(lái)同時(shí)反演兩種氣體的濃度。利用頻分多路信號(hào)檢測(cè)技術(shù)實(shí)現(xiàn)基于可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜的多組分氣體同時(shí)檢測(cè)，對(duì)于拓展可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜的應(yīng)用領(lǐng)域，提高檢測(cè)的實(shí)效性具有重要意義。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出了一種基于可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)的開放式多組分NH3、H2O高靈敏在線監(jiān)測(cè)儀，使用光纖耦合的光通訊波段近紅外半導(dǎo)體激光器，將多波長(zhǎng)的光束進(jìn)行合束，并通過(guò)相同的光學(xué)路徑，采用波長(zhǎng)調(diào)制光譜和二次諧波檢測(cè)方法、頻分多路信號(hào)檢測(cè)技術(shù)、開放式長(zhǎng)光程實(shí)現(xiàn)多氣體組分的同時(shí)檢測(cè)。
本發(fā)明的技術(shù)方案如下基于可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)的開放式NH3和H2O多組分監(jiān)測(cè)方法，其特征在于(1)、采用中心波長(zhǎng)為1544nm的近紅外DFB半導(dǎo)體激光器作為NH3的檢測(cè)激光光源，通過(guò)控制激光溫度、電流將近紅外DFB半導(dǎo)體激光器輸出中心波長(zhǎng)調(diào)諧到NH3的一條吸收線中心，將頻率為f0的鋸齒波信號(hào)疊加在近紅外DFB半導(dǎo)體激光器的驅(qū)動(dòng)電流上使激光波長(zhǎng)緩慢掃描過(guò)NH3氣體的吸收線，同時(shí)將頻率為f1正弦波信號(hào)疊加在激光器的驅(qū)動(dòng)電流上對(duì)激光輸出波長(zhǎng)進(jìn)行調(diào)制；(2)、采用中心波長(zhǎng)為1392nm的近紅外DFB半導(dǎo)體激光器作為H2O的檢測(cè)激光光源，通過(guò)控制激光溫度、電流將激光器輸出中心波長(zhǎng)調(diào)諧到H2O的一條吸收線中心，同樣，將頻率為f0的鋸齒波信號(hào)疊加在激光器的驅(qū)動(dòng)電流上使激光波長(zhǎng)緩慢掃描過(guò)H2O氣體的吸收線，同時(shí)，將頻率為f2正弦波信號(hào)疊加在激光器的驅(qū)動(dòng)電流上對(duì)激光輸出波長(zhǎng)進(jìn)行調(diào)制；(3)、兩臺(tái)激光器的尾纖輸出首先通過(guò)連接法蘭耦合入2×1合束器，此時(shí)合束器中尾纖輸出的激光包含了上述兩個(gè)波長(zhǎng)分量，合束后的激光通過(guò)輸入光纖由輸入光纖耦合器耦合到收發(fā)光學(xué)望遠(yuǎn)鏡側(cè)壁，耦合光束經(jīng)安裝在望遠(yuǎn)鏡鏡筒中央的離軸拋物面鏡擴(kuò)束后以平行光出射，光束經(jīng)過(guò)檢測(cè)區(qū)域后被放置在光路另一端的角反射鏡組反射后沿原光路返回，反射回來(lái)的光被望遠(yuǎn)鏡鏡筒底部的主球面鏡收集，然后由安裝在離軸拋物面鏡后方的副球面鏡聚焦到導(dǎo)出光纖耦合器的耦合端上，由導(dǎo)出光纖耦合器耦合入輸出光纖傳輸?shù)竭_(dá)一個(gè)內(nèi)置的充滿已知濃度的NH3和H2O標(biāo)準(zhǔn)混合氣體的校準(zhǔn)吸收池，用于對(duì)檢測(cè)吸收信號(hào)的實(shí)時(shí)校準(zhǔn)；(4)、校準(zhǔn)吸收池的出射光經(jīng)過(guò)透鏡聚焦到紅外光電探測(cè)器的光敏面上，紅外光電探測(cè)器信號(hào)被分為兩路，分別送二個(gè)鎖相放大器進(jìn)行二次諧波信號(hào)檢測(cè)，從而同時(shí)解調(diào)出探測(cè)器上的NH3和H2O的吸收譜線，把測(cè)量到的吸收譜與標(biāo)準(zhǔn)譜進(jìn)行最小二乘擬合，得到與記錄下的當(dāng)前時(shí)間相對(duì)應(yīng)時(shí)刻的氣體濃度，對(duì)濃度值進(jìn)行估值濾波，然后更新濾波系數(shù)，把時(shí)間與濃度對(duì)應(yīng)保存并在計(jì)算機(jī)和監(jiān)測(cè)儀上進(jìn)行顯示；(5)、重復(fù)以上步驟實(shí)現(xiàn)連續(xù)在線監(jiān)測(cè)。
所述的頻率為f0的鋸齒波信號(hào)、頻率為f1、f2的正弦波信號(hào)均由同一信號(hào)發(fā)生電路產(chǎn)生。
所述的f1和f2為非整數(shù)倍關(guān)系。
基于可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)的開放式NH3和H2O多組分監(jiān)測(cè)儀，包括有主機(jī)箱，開關(guān)電源，開關(guān)，其特征在于主機(jī)箱內(nèi)安裝有中心波長(zhǎng)為1544nm的近紅外DFB半導(dǎo)體激光器和中心波長(zhǎng)為1392nm的近紅外DFB半導(dǎo)體激光器，以及相應(yīng)的電流控制模塊，信號(hào)發(fā)生電路；兩臺(tái)激光器的尾纖輸出首先通過(guò)連接法蘭耦合入2×1合束器，合束器的出光口通過(guò)輸入光纖由輸入光纖耦合器耦合到收發(fā)光學(xué)望遠(yuǎn)鏡側(cè)壁；望遠(yuǎn)鏡鏡筒中央且位于光纖耦合器下方安裝有離軸拋物面鏡，離軸拋物面鏡后的光路另一端安裝有角反射鏡組，望遠(yuǎn)鏡鏡筒底部安裝有主球面鏡，離軸拋物面鏡的背面安裝有副球面鏡，主球面鏡中開有聚焦孔，聚焦孔外的望遠(yuǎn)鏡底部安裝有導(dǎo)出光纖耦合器，導(dǎo)出光纖耦合器和充滿已知濃度的NH3和H2O標(biāo)準(zhǔn)混合氣體的校準(zhǔn)吸收池之間通過(guò)光纖導(dǎo)光，校準(zhǔn)吸收池后安裝有聚焦透鏡、紅外光電探測(cè)器，紅外光電探測(cè)器的信號(hào)輸出端分別接入二個(gè)鎖相放大器，鎖相放大器的輸出信號(hào)接入到數(shù)據(jù)采集、處理和控制模塊。
本發(fā)明利用最新的近紅外可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)、長(zhǎng)光程吸收池技術(shù)、波長(zhǎng)調(diào)制光譜技術(shù)、二次諧波檢測(cè)技術(shù)和頻分多路信號(hào)檢測(cè)技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)大氣中NH3和H2O濃度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，利用可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)高分辨特點(diǎn)消除了環(huán)境空氣中其它氣體成分的干擾。從技術(shù)上克服了傳統(tǒng)點(diǎn)式儀器響應(yīng)速度慢、易受干擾、易中毒、不能實(shí)現(xiàn)連續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)以及成本高等缺點(diǎn)，利用一套系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)多種氣體組分監(jiān)測(cè)，降低了氣體監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)成本，對(duì)NH3和H2O濃度的檢測(cè)限分別低于2ppb和100ppm，滿足了大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)的需要，真正實(shí)現(xiàn)了對(duì)大氣痕量氣體的高靈敏、實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)。


圖1是本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是望遠(yuǎn)鏡結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是角反射鏡組結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
參見圖1、圖2、圖3。
圖中標(biāo)號(hào)1、主機(jī)箱，2、主電源開關(guān)，3、1544nm半導(dǎo)體激光溫度電流控制模塊，4、信號(hào)發(fā)生電路，5、1392nm半導(dǎo)體激光溫度電流控制模塊，6、1544nm近紅外DFB半導(dǎo)體激光器，7、1392nm近紅外DFB半導(dǎo)體激光器，8、2×1光纖合束器，9、輸入光纖連接器，10、輸出光纖連接器 11、校準(zhǔn)吸收池，12、聚焦透鏡，13、紅外光電探測(cè)器，14、鎖相放大器1，15、鎖相放大器2，16、數(shù)據(jù)采集、處理和控制模塊，17、開關(guān)電源18、液晶顯示屏，上述所涉及的部件均是安裝在機(jī)箱1上。19、輸出光纖，20輸入光纖，21、收發(fā)光學(xué)望遠(yuǎn)鏡，22、角反射鏡組，23、主球面鏡，24、副球面鏡，25、離軸拋物面鏡，26、望遠(yuǎn)鏡窗片，27、輸入光纖耦合器28、導(dǎo)出光纖耦合器。
本發(fā)明采用中心波長(zhǎng)為1544nm的近紅外DFB半導(dǎo)體激光器6作為NH3的檢測(cè)激光光源，激光器溫度和電流控制模塊3通過(guò)控制激光溫度、電流將激光器輸出中心波長(zhǎng)調(diào)諧到NH3的一條吸收線中心，信號(hào)發(fā)生電路4產(chǎn)生的頻率為f0的鋸齒波信號(hào)疊加在激光器的驅(qū)動(dòng)電流上使激光波長(zhǎng)緩慢掃描過(guò)NH3氣體的吸收線，信號(hào)發(fā)生電路4同時(shí)產(chǎn)生頻率為f1正弦波信號(hào)疊加在激光器的驅(qū)動(dòng)電流上對(duì)激光輸出波長(zhǎng)進(jìn)行調(diào)制，采用中心波長(zhǎng)為1392nm的近紅外DFB半導(dǎo)體激光器7作為H2O的檢測(cè)激光光源，利用激光器溫度和電流控制模塊5將激光器輸出中心波長(zhǎng)調(diào)諧到H2O的一條吸收線中心，同樣，信號(hào)發(fā)生電路4產(chǎn)生的頻率為f0的鋸齒波信號(hào)疊加在激光器的驅(qū)動(dòng)電流上使激光波長(zhǎng)緩慢掃描過(guò)H2O氣體的吸收線，信號(hào)發(fā)生電路4同時(shí)產(chǎn)生頻率為f2正弦波信號(hào)疊加在激光器的驅(qū)動(dòng)電流上對(duì)激光輸出波長(zhǎng)進(jìn)行調(diào)諧。激光器6與激光器7共用由信號(hào)發(fā)生電路4產(chǎn)生的頻率為f0波長(zhǎng)掃描信號(hào)，但在不同正弦波頻率下被調(diào)制，其中f1和f2不能靠得太近，而且兩者不能成整數(shù)倍關(guān)系。兩臺(tái)激光器的尾纖輸出首先通過(guò)連接法蘭耦合入2×1合束器8，此時(shí)合束器中尾纖輸出的激光包含了上述兩個(gè)波長(zhǎng)分量，為實(shí)現(xiàn)多組分檢測(cè)提供可能。合束后包含這兩個(gè)波長(zhǎng)分量的激光通過(guò)輸入光纖20與外光路連接，外光路采用的是開放式雙光路設(shè)計(jì)，由卡塞格林型的收發(fā)光學(xué)望遠(yuǎn)鏡21和多元件角反射鏡組22組成，最大設(shè)計(jì)光程為500m。激光束經(jīng)過(guò)光纖由輸入光纖耦合器27耦合到收發(fā)光學(xué)望遠(yuǎn)鏡21，耦合光束經(jīng)離軸拋物面鏡25擴(kuò)束后以平行光出射，光束經(jīng)過(guò)檢測(cè)區(qū)域后被放置在光路另一端的角反射鏡組22反射后沿原光路返回，反射回來(lái)的光被望遠(yuǎn)鏡內(nèi)的主球面鏡23收集，然后由副球面鏡24聚焦到導(dǎo)出光纖耦合器28的耦合端上，由耦合器耦合入光纖19傳輸回主機(jī)系統(tǒng)。返回光信號(hào)通過(guò)主機(jī)箱的光纖連接器10，到達(dá)一個(gè)內(nèi)置的充滿已知濃度的NH3和H2O標(biāo)準(zhǔn)混合氣體的10cm校準(zhǔn)吸收池11，用于對(duì)檢測(cè)吸收信號(hào)的實(shí)時(shí)校準(zhǔn)。出射光經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)吸收池11后聚焦到一個(gè)紅外光電探測(cè)器13的光敏面上。探測(cè)器信號(hào)被分為兩路，分別送鎖相放大器14和15進(jìn)行二次諧波信號(hào)檢測(cè)，從而同時(shí)解調(diào)出探測(cè)器上的NH3和H2O的吸收譜線，把測(cè)量到的吸收譜與標(biāo)準(zhǔn)譜進(jìn)行最小二乘擬合，得到與記錄下的當(dāng)前時(shí)間相對(duì)應(yīng)時(shí)刻的氣體濃度，對(duì)濃度值進(jìn)行估值濾波，然后更新濾波系數(shù)，把時(shí)間與濃度對(duì)應(yīng)保存并在計(jì)算機(jī)和監(jiān)測(cè)儀上進(jìn)行顯示。再重復(fù)以上步驟實(shí)現(xiàn)連續(xù)在線監(jiān)測(cè)。
權(quán)利要求
1.開放式NH3和H2O多組分監(jiān)測(cè)方法，其特征在于(1)、采用中心波長(zhǎng)為1544nm的近紅外DFB半導(dǎo)體激光器作為NH3的檢測(cè)激光光源，通過(guò)控制激光溫度、電流將近紅外DFB半導(dǎo)體激光器輸出中心波長(zhǎng)調(diào)諧到NH3的一條吸收線中心，將頻率為f0的鋸齒波信號(hào)疊加在近紅外DFB半導(dǎo)體激光器的驅(qū)動(dòng)電流上使激光波長(zhǎng)緩慢掃描過(guò)NH3氣體的吸收線，同時(shí)將頻率為f1正弦波信號(hào)疊加在激光器的驅(qū)動(dòng)電流上對(duì)激光輸出波長(zhǎng)進(jìn)行調(diào)制；(2)、采用中心波長(zhǎng)為1392nm的近紅外DFB半導(dǎo)體激光器作為H2O的檢測(cè)激光光源，通過(guò)控制激光溫度、電流將激光器輸出中心波長(zhǎng)調(diào)諧到H2O的一條吸收線中心，同樣，將頻率為f0的鋸齒波信號(hào)疊加在激光器的驅(qū)動(dòng)電流上使激光波長(zhǎng)緩慢掃描過(guò)H2O氣體的吸收線，同時(shí)，將頻率為f2正弦波信號(hào)疊加在激光器的驅(qū)動(dòng)電流上對(duì)激光輸出波長(zhǎng)進(jìn)行調(diào)制；(3)、兩臺(tái)激光器的尾纖輸出首先通過(guò)連接法蘭耦合入2×1合束器，此時(shí)合束器中尾纖輸出的激光包含了上述兩個(gè)波長(zhǎng)分量，合束后的激光通過(guò)輸入光纖由輸入光纖耦合器耦合到收發(fā)光學(xué)望遠(yuǎn)鏡側(cè)壁，耦合光束經(jīng)安裝在望遠(yuǎn)鏡鏡筒中央的離軸拋物面鏡擴(kuò)束后以平行光出射，光束經(jīng)過(guò)檢測(cè)區(qū)域后被放置在光路另一端的角反射鏡組反射后沿原光路返回，反射回來(lái)的光被望遠(yuǎn)鏡鏡筒底部的主球面鏡收集，然后由安裝在離軸拋物面鏡后方的副球面鏡聚焦到導(dǎo)出光纖耦合器的耦合端上，由導(dǎo)出光纖耦合器耦合入輸出光纖傳輸?shù)竭_(dá)一個(gè)內(nèi)置的充滿已知濃度的NH3和H2O標(biāo)準(zhǔn)混合氣體的校準(zhǔn)吸收池，用于對(duì)檢測(cè)吸收信號(hào)的實(shí)時(shí)校準(zhǔn)；(4)、校準(zhǔn)吸收池的出射光經(jīng)過(guò)透鏡聚焦到紅外光電探測(cè)器的光敏面上，紅外光電探測(cè)器信號(hào)被分為兩路，分別送二個(gè)鎖相放大器進(jìn)行二次諧波信號(hào)檢測(cè)，從而同時(shí)解調(diào)出探測(cè)器上的NH3和H2O的吸收譜線，把測(cè)量到的吸收譜與標(biāo)準(zhǔn)譜進(jìn)行最小二乘擬合，得到與記錄下的當(dāng)前時(shí)間相對(duì)應(yīng)時(shí)刻的氣體濃度，對(duì)濃度值進(jìn)行估值濾波，然后更新濾波系數(shù)，把時(shí)間與濃度對(duì)應(yīng)保存并在計(jì)算機(jī)和監(jiān)測(cè)儀上進(jìn)行顯示；(5)、重復(fù)以上步驟實(shí)現(xiàn)連續(xù)在線監(jiān)測(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述的頻率為f0的鋸齒波信號(hào)、頻率為f1、f2的正弦波信號(hào)均由同一信號(hào)發(fā)生電路產(chǎn)生。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述的f1和f2為非整數(shù)倍關(guān)系。
4.開放式NH3和H2O多組分監(jiān)測(cè)儀，包括有主機(jī)箱，開關(guān)電源，開關(guān)，其特征在于主機(jī)箱內(nèi)安裝有中心波長(zhǎng)為1544nm的近紅外DFB半導(dǎo)體激光器和中心波長(zhǎng)為1392nm的近紅外DFB半導(dǎo)體激光器，以及相應(yīng)的電流控制模塊，信號(hào)發(fā)生電路；兩臺(tái)激光器的尾纖輸出首先通過(guò)連接法蘭耦合入2×1合束器，合束器的出光口通過(guò)輸入光纖由輸入光纖耦合器耦合到收發(fā)光學(xué)望遠(yuǎn)鏡側(cè)壁；望遠(yuǎn)鏡鏡筒中央且位于光纖耦合器下方安裝有離軸拋物面鏡，離軸拋物面鏡后的光路另一端安裝有角反射鏡組，望遠(yuǎn)鏡鏡筒底部安裝有主球面鏡，離軸拋物面鏡的背面安裝有副球面鏡，主球面鏡中開有聚焦孔，聚焦孔外的望遠(yuǎn)鏡底部安裝有導(dǎo)出光纖耦合器，導(dǎo)出光纖耦合器和充滿已知濃度的NH3和H2O標(biāo)準(zhǔn)混合氣體的校準(zhǔn)吸收池之間通過(guò)光纖導(dǎo)光，校準(zhǔn)吸收池后安裝有聚焦透鏡、紅外光電探測(cè)器，紅外光電探測(cè)器的信號(hào)輸出端分別接入二個(gè)鎖相放大器，鎖相放大器的輸出信號(hào)接入到數(shù)據(jù)采集、處理和控制模塊。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基于半導(dǎo)體激光吸收光譜法的多波長(zhǎng)多組分大氣痕量氣體NH
文檔編號(hào)G01N21/31GK101021474SQ20061009815
公開日2007年8月22日 申請(qǐng)日期2006年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月5日
發(fā)明者王敏, 張玉鈞, 陳東, 闞瑞鋒, 方曦, 王鐵棟, 陳玖英, 夏惠, 何瑩, 崔曉娟, 劉文清 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所