專利名稱：X光檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用以對工業(yè)制品等進行透視檢查或電腦斷層(ComputedTomography，CT)檢查等的X光檢查裝置。
背景技術(shù)：
對工業(yè)制品等進行透視檢查的X光檢查裝置中，與X光發(fā)生裝置的X光源相對的位置配置有利用圖像增強器(以下簡稱為II)與電荷耦合器件(Charge-coupled Device，以下簡稱為CCD)相機組合而成的X光檢測器。最近，利用了使用平板X光檢測器的X光檢查裝置，而取代由II、CCD相機構(gòu)成的X光檢測器。
上述多個X光檢查裝置將平臺配置于X光源與X光檢測器之間，并將被測定物載置于其上，進行透視X光圖像的拍攝。
在X光檢查裝置的檢查中，通常，為了對位或調(diào)整測定倍率、調(diào)整測定角度而進行視場移動。視場移動是一面通過使用鼠標(mouse)、操縱桿(joy stick)或鍵盤(keyboard)等輸入裝置的操作，以控制平臺驅(qū)動機構(gòu)而移動平臺，一面對被測定物的透視X光動態(tài)圖像進行拍攝，借此探測被測定物的檢查位置。繼而，發(fā)現(xiàn)檢查位置時停止視場移動，并在此狀態(tài)下觀察動態(tài)圖像。
在此，在透視X光測定中，透視X光圖像只要在被測定物并不很小時，便成為穿透被測定物一部分的局部透視X光圖像。因此，僅觀察顯示裝置中所顯示的透視X光圖像，則無法了解X光測定光學(xué)系統(tǒng)(X光源及X光檢測器)與被測定物的位置關(guān)系。因此，操作者為避免X光測定光學(xué)系統(tǒng)與被測定物的碰撞，必須從形成于覆蓋X光照射區(qū)域的防護罩上的小窗窺視內(nèi)部，目測確認被測定物與X光測定光學(xué)系統(tǒng)的位置關(guān)系，再進行平臺驅(qū)動機構(gòu)的控制。
近年來，平臺移動控制的動作速度高速化，導(dǎo)致因操作者細微的誤操作而引起被測定物與X光測定光學(xué)系統(tǒng)的碰撞危險增大。因此，必須具有用以防止碰撞的安全對策。
作為方法之一，揭示的是操作者對載置于平臺上的被測定物與裝置發(fā)生碰撞的區(qū)域預(yù)先進行適當?shù)妮斎朐O(shè)定，以此避免碰撞(參照專利文獻1)。
專利文獻1日本專利特開2001-153818號公報然而，操作者自己尋求并輸入碰撞區(qū)域的作業(yè)較費工夫。設(shè)定值因平臺上的載置位置也會發(fā)生變化，故而必須每次求出適當?shù)脑O(shè)定值，較為煩雜。
作為其他方法，也考慮使用多臺光學(xué)相機(攝像機(video camera)、數(shù)碼相機(digital camera)等使用可見光拍攝的相機)，從多方向拍攝被測定物的光學(xué)圖像，并從所獲得的光學(xué)圖像數(shù)據(jù)計算出接近實物的外觀形狀。但是，在X光檢查裝置中，為了對由防護罩所包圍的X光照射區(qū)域內(nèi)進行確認，在以1臺光學(xué)相機觀察時，不搭載多臺相機，而因為安全對策需搭載追加相機，造成成本上升。搭載多臺相機時，相機主體數(shù)量增加，并且包括各相機控制電路等的部件數(shù)量也倍增，使裝置復(fù)雜。而且，必須具有用以從多方向光學(xué)圖像中提取被測定物外觀形狀的運算法則(algorithm)。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于，不搭載多臺相機，而判定平臺移動時被測定物與X光測定光學(xué)系統(tǒng)的碰撞危險性，并設(shè)法防止碰撞。
而且，本發(fā)明的目的在于提供一種X光檢查裝置，能夠通過簡單的運算處理高速地進行碰撞判定。
為解決上述課題而研制的本發(fā)明的X光檢查裝置，包括X光測定光學(xué)系統(tǒng)，該X光測定光學(xué)系統(tǒng)包括照射透視用X光的X光源、與拍攝被測定物的透視X光像的X光檢測器；平臺，用以載置被測定物，使被測定物位于X光源與X光檢測器之間；以及平臺驅(qū)動機構(gòu)，與平臺并進及旋轉(zhuǎn)，并且調(diào)整載置于平臺上的被測定物的位置而進行X光檢查，此X光檢查裝置并且包括光學(xué)相機，對載置于平臺上的被測定物進行拍攝；碰撞危險區(qū)域設(shè)定部，根據(jù)一邊旋轉(zhuǎn)平臺一邊利用光學(xué)相機拍攝被測定物時，圖像數(shù)據(jù)中所包括的被測定物的軌跡數(shù)據(jù)，而設(shè)定被測定物與X光測定光學(xué)系統(tǒng)的碰撞危險區(qū)域；以及碰撞判定部，根據(jù)所設(shè)定的碰撞危險區(qū)域，判定移動平臺時的碰撞危險性。
根據(jù)本發(fā)明，使被測定物載置于平臺上，并使被測定物位于X光源與X光檢測器之間。接著，通過平臺驅(qū)動機構(gòu)與平臺并進或者旋轉(zhuǎn)，移動被測定物，而調(diào)整相對于被測定物的測定部位，但在此調(diào)整作業(yè)之前，預(yù)先通過碰撞危險區(qū)域設(shè)定部而設(shè)定碰撞危險區(qū)域。即，使平臺一邊旋轉(zhuǎn)一邊通過1臺光學(xué)相機從一方向?qū)Ρ粶y定物整體進行拍攝。然后，從平臺旋轉(zhuǎn)1圈期間的被測定物的動態(tài)圖像(多個慧差的慧差圖像數(shù)據(jù)集合)或者連續(xù)圖像中，提取被測定物的軌跡數(shù)據(jù)。此軌跡數(shù)據(jù)的提取可以使用圖案識別軟件而進行。而且，為了準確獲得被測定物外觀的軌跡，也可以生成載置被測定物狀態(tài)下的圖像數(shù)據(jù)與未載置狀態(tài)下的圖像數(shù)據(jù)(背景圖像數(shù)據(jù))的差分數(shù)據(jù)，并對差分數(shù)據(jù)中非零部分為被測定物軌跡的判定進行二值化處理。此時，被測定物的軌跡范圍內(nèi)即為使平臺旋轉(zhuǎn)時的碰撞范圍。因此，根據(jù)軌跡數(shù)據(jù)，將包括該范圍的區(qū)域，更優(yōu)選的是稍微大于軌跡范圍的區(qū)域作為碰撞危險區(qū)域而設(shè)定，并記憶。之后，并進移動平臺時，使碰撞判定部也與碰撞危險區(qū)域同時并進移動，并計算出X光測定光學(xué)系統(tǒng)是否重疊于移動后的碰撞危險區(qū)域，以此判定碰撞的危險性。
根據(jù)本發(fā)明，將被測定物載置于平臺上之后，能夠自動設(shè)定碰撞危險區(qū)域，故而不費工夫即可設(shè)定碰撞危險范圍。操作者可以判定被測定物與X光測定光學(xué)系統(tǒng)的碰撞危險性，因此可以在平臺移動操作時避免碰撞。
在上述發(fā)明中，碰撞危險區(qū)域設(shè)定部也可以設(shè)定碰撞危險區(qū)域為近似旋轉(zhuǎn)體圖形，該旋轉(zhuǎn)體圖形包括上述圖像數(shù)據(jù)中所包括的被測定物軌跡數(shù)據(jù)。
由此，即使被測定物具有復(fù)雜的外形形狀，也能夠以如下方式設(shè)定碰撞危險區(qū)域，即，作為單純模式(model)近似為包括被測定物軌跡數(shù)據(jù)的旋轉(zhuǎn)體圖形，使碰撞判定的計算簡化且高速化。
進而，碰撞危險區(qū)域設(shè)定部也可以使碰撞危險區(qū)域近似為，圓柱體、球體、旋轉(zhuǎn)橢圓體、圓錐體中任一個或該些組合而成的圖形。
以此，能夠使碰撞危險范圍設(shè)定的計算簡單化，并且能夠使碰撞范圍設(shè)定簡單化。


圖1是表示本發(fā)明的一實施形態(tài)即X光檢查裝置的結(jié)構(gòu)方塊圖。
圖2是說明圖1中X光檢查裝置的碰撞危險區(qū)域設(shè)定操作的流程圖。
圖3是說明圖1中X光檢查裝置的碰撞判定操作的流程圖。
圖4是對碰撞危險區(qū)域的高度設(shè)定的說明圖。
圖5是對碰撞危險區(qū)域的寬度設(shè)定的說明圖。
1 X光檢查裝置11X光發(fā)生裝置12X光檢測器13X光測定光學(xué)系統(tǒng)14平臺15平臺驅(qū)動機構(gòu)16光學(xué)相機20控制系統(tǒng)21CPU22輸入裝置
23顯示裝置24圖像存儲器31X光圖像生成部32碰撞危險區(qū)域設(shè)定部33碰撞判定部35光學(xué)相機拍攝控制部36被測定物外觀形狀提取部37軌跡數(shù)據(jù)提取部38碰撞危險區(qū)域計算部41背景圖像數(shù)據(jù)存儲部42軌跡圖像數(shù)據(jù)存儲部43碰撞危險區(qū)域數(shù)據(jù)記憶部A 碰撞危險區(qū)域A/D 數(shù)字類比轉(zhuǎn)換器B 被測定物的軌跡H 碰撞危險區(qū)域的高度Rmax 距離S 被測定物Sc假想屏幕S101～S109步驟S201～S203步驟W 碰撞危險區(qū)域的寬度具體實施方式
以下，利用圖式，就本發(fā)明的實施形態(tài)進行說明。再者，本發(fā)明并未限定于以下所說明的實施形態(tài)，在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)，各種形態(tài)自然也包括于本發(fā)明中。
圖1是表示本發(fā)明的一實施形態(tài)即X光檢查裝置的結(jié)構(gòu)方塊圖。該X光檢查裝置1包括X光測定光學(xué)系統(tǒng)13，該X光測定光學(xué)系統(tǒng)13包括X光發(fā)生裝置11以及X光檢測器12；平臺14，用以載置被測定物S；平臺驅(qū)動機構(gòu)15，用以在XYZ方向上(設(shè)平臺面為XY面)并進驅(qū)動平臺14以及沿著Z軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動平臺14；光學(xué)相機16，用以通過可見光對載置于平臺上的被測定物S進行拍攝；以及控制系統(tǒng)20，對裝置整體進行控制。
控制系統(tǒng)20是利用通用的電腦裝置而構(gòu)成，并將其硬件進一步分塊化(block)說明，此控制系統(tǒng)20包括中央處理單元21(Central Process Unit，以下簡稱為CPU)；鍵盤、鼠標、操縱桿等輸入裝置22；液晶面板等顯示裝置23；以及存儲圖像數(shù)據(jù)等的圖像存儲器24。
另外，將CPU 21的處理功能分塊化說明，其分為X光圖像生成部31、碰撞危險區(qū)域設(shè)定部32、以及碰撞判定部33，其中將碰撞危險區(qū)域設(shè)定部32細分為光學(xué)相機拍攝控制部35、被測定物外觀形狀提取部36、軌跡數(shù)據(jù)提取部37、以及碰撞危險區(qū)域計算部38。
而在圖像存儲器24中，將每個記憶內(nèi)容分塊化說明，其分為背景圖像數(shù)據(jù)存儲部41、軌跡圖像數(shù)據(jù)存儲部42、以及碰撞危險區(qū)域數(shù)據(jù)記憶部43。
構(gòu)成X光測定光學(xué)系統(tǒng)13的X光發(fā)生裝置11包括透視X光照射用的X光管。X光檢測器12包括相對于X光管而配置的圖像增強器(以下簡稱為II)；以及一體安裝于該II后側(cè)的CCD相機，II利用CCD相機拍攝由檢測透視X光而形成的熒光像，并以此輸出透視X光圖像的影像信號。
平臺14包括下部平臺，可以滑動于平臺面方向即XY方向及垂直于平臺面的Z方向的三維方向上；上部平臺，通過Z軸方向的旋轉(zhuǎn)軸而可旋轉(zhuǎn)地支撐于下部平臺，將被測定物S載置于上部平臺上。
平臺驅(qū)動機構(gòu)15搭載有馬達，根據(jù)輸入裝置22的操作所對應(yīng)產(chǎn)生的來自CPU 21的控制信號，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動或者并進驅(qū)動平臺14。
光學(xué)相機16在偏離X光視場的位置，安裝于能夠拍攝到被測定物S的外觀形狀的位置上，使之不妨礙X光測定光學(xué)系統(tǒng)13的透視X光圖像測定，并對載置于平臺14上的被測定物S進行拍攝。再者，光學(xué)相機16能夠通過平臺面的高度調(diào)整而調(diào)整相對位置，故而對應(yīng)于被測定物S的大小，能夠調(diào)整拍攝高度。所拍攝的影像信號經(jīng)數(shù)字化處理并被發(fā)送至CPU 21。
其次，就CPU 21的各功能塊進行說明。
X光圖像生成部31進行如下控制，將從X光檢測器12發(fā)送而來的透視X光圖像的影像信號連續(xù)轉(zhuǎn)換為數(shù)字圖像，并生成X光慧差圖像數(shù)據(jù)(X raycoma image data)。通過將所生成的X光慧差圖像數(shù)據(jù)依次發(fā)送至顯示裝置23中并顯示，而使透視X光動態(tài)圖像顯示于被測定物S的畫面中。
以下就碰撞危險區(qū)域設(shè)定部32的各部分進行說明。光學(xué)相機拍攝控制部35控制平臺驅(qū)動機構(gòu)15與光學(xué)相機16，并進行如下控制，一邊以固定速度旋轉(zhuǎn)平臺14，一邊拍攝被測定物S的光學(xué)像(可見光像)，并以固定角度為單位旋轉(zhuǎn)時拍攝慧差圖像數(shù)據(jù)。
本實施形態(tài)中，預(yù)先在未載置被測定物S的狀態(tài)下拍攝作為背景圖像的慧差圖像，接著，在載置有被測定物S的狀態(tài)下拍攝慧差圖像數(shù)據(jù)，并從相同方位的慧差圖像數(shù)據(jù)的差分求出被測定物S的軌跡數(shù)據(jù)。為此，進行如下控制，將作為背景圖像的慧差圖像數(shù)據(jù)存儲于背景圖像數(shù)據(jù)存儲部41中，然后，在載置有被測定物S的狀態(tài)下，將所拍攝的慧差圖像數(shù)據(jù)存儲于軌跡數(shù)據(jù)存儲部42中。再者，背景圖像數(shù)據(jù)存儲一次即足夠，在已存儲時，也可以利用以前所存儲的數(shù)據(jù)。
被測定物外觀形狀提取部36，對分別存儲于背景圖像數(shù)據(jù)存儲部41與軌跡圖像數(shù)據(jù)存儲部42中的相同方位的慧差圖像數(shù)據(jù)加以比較，而計算出其差分數(shù)據(jù)，并進行二值化處理，以此生成將各慧差圖像中所顯示的被測定物S提取后的二值化外觀數(shù)據(jù)。再者，被測定物外觀形狀提取部36在進行二值化處理以前，也可以進行眾所周知的圖像處理(拉普拉斯濾波(Laplace filter)等)，用以降低、消除裝置內(nèi)部的照明影響或反射、及影子的影響。而且，二值化處理中的閾值，可以參考預(yù)先設(shè)定的閾值，也可以通過統(tǒng)計處理加以判別分析而動態(tài)決定。
軌跡數(shù)據(jù)提取部37根據(jù)各方位的二值化外觀數(shù)據(jù)，而提取被測定物S的軌跡數(shù)據(jù)。
碰撞危險區(qū)域計算部38根據(jù)所提取的軌跡數(shù)據(jù)設(shè)定碰撞危險區(qū)域，使之完全包括被測定物S的軌跡。此處，設(shè)定為圓柱形狀的碰撞危險區(qū)域。即，設(shè)想一通過軌跡數(shù)據(jù)的最外周點、最高點的假想圓柱，進而，假設(shè)一通過旋轉(zhuǎn)中心并面對光學(xué)相機16的假想屏幕，形成將假想圓柱投影至假想屏幕上時的投影像(長方形)，并將該投影像旋轉(zhuǎn)一周時所通過的區(qū)域近似為碰撞危險區(qū)域A。
例如，如圖4所示，以測定直徑200mm、高度400mm的圓柱型被測定物S為例進行說明，將被測定物S置于平臺14的旋轉(zhuǎn)中心，如圖所示，在將光學(xué)相機16設(shè)置于高度200mm、且偏離中心450mm的位置時，投影至通過中心的假想屏幕Sc上的像的高度為460mm。將該投影像的高度設(shè)定為近似圓柱的碰撞危險區(qū)域A的高度H。以此方式，通過使投影像的高度為碰撞危險區(qū)域A的高度H，即使被測定物S被置于偏離平臺14的旋轉(zhuǎn)中心的位置時，也必然設(shè)定包括被測定物S的高度的碰撞危險區(qū)域A。
而且，將被測定物S載置于偏離平臺14的旋轉(zhuǎn)中心的位置時，從上方觀察平臺14如圖5所示，被測定物S的軌跡B成為環(huán)狀或者圓柱狀(圖中虛線陰影部分)。此時使從旋轉(zhuǎn)中心至最外周點為止的距離Rmax為半徑的圓柱側(cè)面成為被測定物S的軌跡的最外周面。因此，使該圓柱投影至通過旋轉(zhuǎn)中心的假想屏幕Sc時的投影像寬度，設(shè)定為近似圓柱的碰撞危險區(qū)域A(圖中實線陰影部分)的寬度W。通過使投影像寬度為碰撞危險區(qū)域A的寬度W，無論被測定物S被置于平臺上何處，該碰撞危險區(qū)域A也必然包括被測定物S的寬度。
再者，根據(jù)被測定物S的外觀形狀，通過近似為包括被測定物S的球、圓錐而取代近似圓柱，也能夠進一步設(shè)定適當?shù)呐鲎参ｋU區(qū)域A。
總之，通過近似為以平臺14的旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心的旋轉(zhuǎn)體圖形，而可以設(shè)定碰撞危險區(qū)域A，使之完全包括被測定物S。
所設(shè)定的碰撞危險區(qū)域A被記憶于碰撞危險區(qū)域數(shù)據(jù)記憶部43。使碰撞危險區(qū)域A近似簡單的旋轉(zhuǎn)體圖形時，能夠由算式(圓柱方程式、球方程式等)記憶，在此情形下可以容易進行碰撞判定的運算處理。
碰撞判定部33根據(jù)碰撞危險區(qū)域設(shè)定部32所設(shè)定的碰撞危險區(qū)域A，在之后平臺進行并進、旋轉(zhuǎn)操作時，也使碰撞危險區(qū)域A移動，并判定被測定物S與X光測定光學(xué)系統(tǒng)13是否發(fā)生碰撞。即，根據(jù)以后的驅(qū)動信號，當X光測定光學(xué)系統(tǒng)13的X光源11或者X光檢測器12的一部重疊于碰撞危險區(qū)域A時，判定為存在碰撞危險性，而停止平臺移動，并且在顯示裝置23中顯示警告，通過未圖示的警報裝置產(chǎn)生信號音等而通知操作者。
其次，利用圖2的流程圖，說明該X光檢查裝置1的碰撞危險區(qū)域A的設(shè)定操作。
首先，在未載置被測定物S的狀態(tài)下，對于一邊使平臺旋轉(zhuǎn)一邊進行拍攝的背景圖像數(shù)據(jù)是否存儲于背景圖像數(shù)據(jù)存儲部41中進行確認(S101)，已存儲有背景圖像時進入S103，未存儲有背景圖像時進入S102。
未存儲有背景圖像數(shù)據(jù)時，在未載置被測定物S的狀態(tài)下，一邊使平臺14旋轉(zhuǎn)，一邊利用光學(xué)相機16進行拍攝，將背景慧差圖像數(shù)據(jù)存儲于背景圖像數(shù)據(jù)存儲部41(S102)。
接著，在將被測定物S載置于平臺14上的狀態(tài)下，一邊使平臺14旋轉(zhuǎn)，一邊利用光學(xué)相機16進行拍攝，將被測定物S的慧差圖像數(shù)據(jù)存儲于軌跡圖像數(shù)據(jù)存儲部42中(S103)。
其次，提取所存儲的各方位的被測定物S的慧差圖像數(shù)據(jù)與背景慧差圖像數(shù)據(jù)的差分數(shù)據(jù)(S104)。
從差分數(shù)據(jù)進行拉普拉斯濾波等圖像處理，去除裝置內(nèi)部的照明影響或反射、影子的影響等不要的成分(S105)。
繼而，通過與預(yù)先設(shè)定的閾值加以比較，而進行二值化處理，生成各方位的二值化外觀數(shù)據(jù)(S106)。
然后，合成各方位的二值化外觀數(shù)據(jù)，生成平臺14旋轉(zhuǎn)1周時被測定物S的軌跡數(shù)據(jù)(S107)。該軌跡數(shù)據(jù)成為旋轉(zhuǎn)體圖形。
接著，以包括被測定物S的軌跡數(shù)據(jù)的方式，設(shè)定碰撞危險區(qū)域A近似為圓柱，(S108)，并對所設(shè)定的碰撞危險區(qū)域A進行記憶(S109)。
以上，完成碰撞危險區(qū)域A的設(shè)定處理。
其次，利用圖3的流程圖，說明碰撞危險區(qū)域設(shè)定后所進行的碰撞判定操作。
根據(jù)從CPU 21向平臺驅(qū)動機構(gòu)15發(fā)送的平臺驅(qū)動信號的有無，確認是否移動平臺(S201)，在未移動平臺時，返回S201，重復(fù)操作。
在移動平臺時，根據(jù)碰撞危險區(qū)域A進行碰撞判定(S202)，當存在碰撞危險性時，發(fā)送停止移動平臺的警告，否則返回S201，再次重復(fù)相同的操作。
通過以上說明，根據(jù)自動設(shè)定的碰撞危險區(qū)域A，可以判斷X光測定光學(xué)系統(tǒng)13與被測定物S的碰撞危險性，故而能夠避免因碰撞造成的破損。
上述實施形態(tài)中，使碰撞危險范圍近似為圓柱，但并不限定于此，也可以根據(jù)被測定物S的形狀，近似為適當?shù)男D(zhuǎn)體圖形。
另外，通過以算式表達碰撞危險區(qū)域，能夠使運算處理進一步高速化。
本發(fā)明可以利用于包括平臺的X光檢查裝置，該X光檢查裝置包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種X光檢查裝置，包括X光測定光學(xué)系統(tǒng)，該X光測定光學(xué)系統(tǒng)包括照射透視用X光的X光源、與拍攝被測定物的透視X光圖像的X光檢測器；平臺，用以載置所述被測定物，使所述被測定物位于所述X光源與所述X光檢測器之間；平臺驅(qū)動機構(gòu)，與平臺并進及旋轉(zhuǎn)，并且調(diào)整載置于所述平臺上的所述被測定物的位置而進行X光檢查，其特征在于所述X光檢查裝置還包括光學(xué)相機，對載置于所述平臺上的所述被測定物進行拍攝；碰撞危險區(qū)域設(shè)定部，根據(jù)一邊旋轉(zhuǎn)所述平臺一邊利用所述光學(xué)相機拍攝所述被測定物時，圖像數(shù)據(jù)中所包括的被測定物的軌跡數(shù)據(jù)，而設(shè)定所述被測定物與所述X光測定光學(xué)系統(tǒng)的碰撞危險區(qū)域；以及碰撞判定部，根據(jù)所設(shè)定的碰撞危險區(qū)域，判定移動所述平臺時的碰撞危險性。
2.如權(quán)利要求1所述的X光檢查裝置，其特征在于所述碰撞危險區(qū)域設(shè)定部設(shè)定碰撞危險區(qū)域為近似旋轉(zhuǎn)體圖形，該旋轉(zhuǎn)體圖形包括所述圖像數(shù)據(jù)中所包括的被測定物軌跡數(shù)據(jù)。
3.如權(quán)利要求2所述的X光檢查裝置，其特征在于所述碰撞危險區(qū)域設(shè)定部設(shè)定碰撞危險區(qū)域為，近似圓柱體、球體、旋轉(zhuǎn)橢圓體、圓錐體中任一個或該些組合而成的圖形。
4.如權(quán)利要求1所述的X光檢查裝置，其特征在于所述X光檢測器還包括相對于所述X光源而配置的圖像增強器；以及一體安裝于所述圖像增強器后側(cè)的電荷耦合器件相機。
5.如權(quán)利要求1所述的X光檢查裝置，其特征在于所述平臺還包括下部平臺，適于在所述平臺面方向及垂直于所述平臺面方向進行滑動；以及上部平臺，通過垂直于所述平臺面方向的旋轉(zhuǎn)軸而可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述下部平臺，且所述被測定物載置于所述上部平臺上。
6.如權(quán)利要求1所述的X光檢查裝置，其特征在于所述X光檢查裝置還包括控制系統(tǒng)，對所述X光檢查裝置整體進行控制，其中，所述控制系統(tǒng)具有存儲圖像數(shù)據(jù)的圖像存儲器，而所述圖像存儲器還包括背景圖像數(shù)據(jù)存儲部、軌跡圖像數(shù)據(jù)存儲部、以及碰撞危險區(qū)域數(shù)據(jù)記憶部。
7.如權(quán)利要求6所述的X光檢查裝置，其特征在于所述碰撞危險區(qū)域設(shè)定部還包括被測定物外觀形狀提取部，對分別存儲于所述背景圖像數(shù)據(jù)存儲部與所述軌跡圖像數(shù)據(jù)存儲部中的相同方位的慧差圖像數(shù)據(jù)加以比較，而計算出其差分數(shù)據(jù)，并進行二值化處理，以此生成將各慧差圖像中所顯示的所述被測定物提取后的二值化外觀數(shù)據(jù)。
8.如權(quán)利要求7所述的X光檢查裝置，其特征在于所述碰撞危險區(qū)域設(shè)定部還包括軌跡數(shù)據(jù)提取部，根據(jù)各方位的二值化外觀數(shù)據(jù)，而提取所述被測定物的軌跡數(shù)據(jù)。
9.如權(quán)利要求8所述的X光檢查裝置，其特征在于所述碰撞危險區(qū)域設(shè)定部還包括碰撞危險區(qū)域計算部，根據(jù)所提取的軌跡數(shù)據(jù)設(shè)定碰撞危險區(qū)域，使之完全包括所述被測定物的軌跡。
10.如權(quán)利要求1所述的X光檢查裝置，其特征在于所述碰撞危險區(qū)域設(shè)定部還包括光學(xué)相機拍攝控制部，對所述平臺驅(qū)動機構(gòu)與所述光學(xué)相機進行控制。
全文摘要
本發(fā)明提供一種X光檢查裝置，可判斷平臺移動時被測定物與X光測定光學(xué)系統(tǒng)的碰撞危險性，并設(shè)法防止碰撞。該X光檢查裝置包括平臺(14)，用以載置被測定物，使被測定物位于X光源(11)與X光檢測器(12)之間；平臺驅(qū)動機構(gòu)(15)，與平臺并進及旋轉(zhuǎn)；光學(xué)相機(16)，對載置于平臺(14)上的被測定物進行拍攝；碰撞危險區(qū)域設(shè)定部(32)，根據(jù)一邊旋轉(zhuǎn)平臺(14)一邊利用光學(xué)相機(16)拍攝被測定物時，圖像數(shù)據(jù)中所包括的被測定物的軌跡數(shù)據(jù)，而設(shè)定被測定物與X光測定光學(xué)系統(tǒng)的碰撞危險區(qū)域；以及碰撞判定部(33)，根據(jù)所設(shè)定的碰撞危險區(qū)域，判定平臺移動時的碰撞危險性。
文檔編號G01N23/04GK1932492SQ20061009900
公開日2007年3月21日 申請日期2006年7月12日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月15日
發(fā)明者櫛引敬嗣 申請人:株式會社島津制作所