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      表面靜電計的校正用固定夾具及校正方法

      文檔序號:6116315閱讀:136來源:國知局
      專利名稱:表面靜電計的校正用固定夾具及校正方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及表面靜電計的校正用固定夾具及校正方法。
      背景技術(shù)
      近年來,半導體制造的在前工序中,靜電管理的要求逐漸變高。因此,半導體工廠引入大量的表面靜電計,并進行靜電管理。測量靜電的方法,例如記載在專利文獻1中。該文獻中有如下記載使被測量物和測量探測器的距離保持恒定的同時,測量被測量物的靜電帶電量。
      此外,非專利文獻1中記載了表面靜電計的靜電測量原理。該文獻中記載了稱為反饋方式或零位法的測量方式。該方式中,通過使接近被測量物的測量電極振動,在測量電極上感應(yīng)產(chǎn)生位移電流。通過對放大該位移電流得到的信號進行同步檢波,判斷被測量物的帶電極性。而且,將與判斷出的帶電極性相同極性的電壓施加到測量探測器整體上。探測器變?yōu)榕c被測量物電位相同時,來自測量電極的位移電流的信號變?yōu)?。即,無法檢測到該信號的時刻,施加在探測器上的電壓變?yōu)榕c被測量物的表面電位相同。這樣,可以通過顯示該電壓來測量被測量物的表面電位。
      而且,專利文獻2中記載了表面靜電計的校正方法。該文獻中有如下記載以將用于校正的基準電壓施加在測量電路的接地電位上的狀態(tài),進行表面靜電計的校正。
      專利文獻1特開平8-75807號公報專利文獻2特開平7-325118號公報非專利文獻1三口晉一,《微小面積表面靜電測量技術(shù)》,IDMEAJapan News No.53,2002年11月,P.1-4表面靜電計的校正,在維持表面靜電計的測量精度方面是非常重要的。然而,在過去無法簡便地進行相關(guān)校正。因此,表面靜電計的多數(shù)使用者不得不向外部委托表面靜電計的校正,存在產(chǎn)生由此帶來的委托費用的問題。例如,在工廠內(nèi)使用50臺表面靜電計,校正費用約為5萬日元/臺時,合計產(chǎn)生250萬日元的委托費用。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明的第1觀點的表面靜電計的校正用固定夾具,其特征在于,具有上板;第1側(cè)板,與上述上板的第1邊相連設(shè)置;第2側(cè)板,與上述上板的和第1邊相對的第2邊相連設(shè)置;以及開口部,被設(shè)置在上述上板上,用于插入作為校正對象的表面靜電計的探測器部。
      根據(jù)該校正用固定夾具,可通過夾住靜電監(jiān)視器的框體,在該靜電監(jiān)視器上固定該校正用固定夾具,上述靜電監(jiān)視器具有施加了預定的表面電位的充電板。并且,以在上述開口部插入了表面靜電計的探測器部的狀態(tài)進行校正,由此可以在預定的測量距離(充電板和探測器部之間的距離)下測量在充電板上施加的表面電位。由此,可以由簡便的方法進行表面靜電計的校正。因此,表面靜電計的使用者無需向外部委托表面靜電計的校正,而可以親自進行。
      并且,本發(fā)明的第2觀點的表面靜電計的校正方法,其特征在于,包括以下步驟準備靜電監(jiān)視器,該靜電監(jiān)視器具有箱型的框體、和設(shè)置在上述框體上部的充電板,并可在上述充電板上施加預定的電位;以由上述第1及第2側(cè)板從上述充電板側(cè)夾住上述靜電監(jiān)視器的框體的方式,將權(quán)利要求1至7中任意一項所述的表面靜電計的校正用固定夾具固定在上述靜電監(jiān)視器上;以及以在上述校正用固定夾具的上述開口部中插入了上述探測器部的狀態(tài),通過上述表面靜電計測量施加了預定電位的上述充電板的表面電位。
      在該校正方法中,使用了上述校正用固定夾具,因此可以簡便地進行表面靜電計的校正。所以,表面靜電計的使用者無需向外部委托表面靜電計的校正,而可以親自進行。
      根據(jù)本發(fā)明,實現(xiàn)了可以簡便且低成本地進行表面靜電計的校正的表面靜電計的校正用固定夾具、及使用了該校正用固定夾具的校正方法。


      圖1是表示本發(fā)明的表面靜電計的校正用固定夾具的一個實施方式的透視圖。
      圖2是表示圖1的校正用固定夾具的側(cè)面圖。
      圖3是從側(cè)面?zhèn)瓤磮D1的校正用固定夾具固定在靜電監(jiān)視器上的情況的透視圖。
      圖4是從正面?zhèn)瓤磮D1的校正用固定夾具固定在靜電監(jiān)視器上的情況的透視圖。
      圖5表示相互固定狀態(tài)的校正用固定夾具及靜電監(jiān)視器的一部分的剖面圖。
      具體實施例方式
      下面,參照附圖,對本發(fā)明的表面靜電計的校正用固定夾具及校正方法的優(yōu)選實施方式進行詳細說明。此外,在

      中,對同一元件標以相同標號,省略重復的說明。
      圖1是表示本發(fā)明的表面靜電計的校正用固定夾具的一個實施方式的透視圖。校正用固定夾具1具有上板2;側(cè)板5a(第1側(cè)板),與上板2的邊S1(第1邊)相連設(shè)置;側(cè)板5b(第2側(cè)板),與上板2的和邊S1相對的邊S2(第2邊)相連設(shè)置;以及開口部3,被設(shè)置于上板2上,用于插入作為校正對象的表面靜電計的探測器部。
      上板2及側(cè)板5a、5b,可以通過例如使具有導電性的金屬(例如不銹鋼材料)板成形為“コ”字型而獲得。在上板2的大致中央部形成開口部3。開口部3,是當從表面靜電計的探測器側(cè)插入時表面靜電計主體部無法進入的程度的寬度。并且,在上板2上沿著開口部3的1個邊設(shè)置了突出部4。即,如圖2所示,突出部4從上板2突出。該圖2是校正用固定夾具1的側(cè)面圖。該突出部4的高度是例如4mm左右。
      在側(cè)板5a的內(nèi)側(cè)面上設(shè)置了向側(cè)板5b伸出的支撐部7a(第1支撐部件)。支撐部7a由連結(jié)部件8a固定在側(cè)板5a上。同樣地,在側(cè)板5b的內(nèi)側(cè)面上設(shè)置了向側(cè)板5a伸出的支撐部7b(第2支撐部件)。支撐部7b由連結(jié)部件8b固定在側(cè)板5b上。
      在側(cè)板5a及側(cè)板5b上分別設(shè)置了孔部6a(第1孔部)及孔部6b(第2孔部)。上述孔部6a及孔部6b,分別呈在與邊S1及邊S2大致垂直的方向上延伸的狹縫狀。由此,支撐部7a及支撐部7b被設(shè)置為可分別沿著與邊S1及邊S2大致垂直的方向在側(cè)板5a及側(cè)板5b上移動。
      如圖3及圖4所示,該校正用固定夾具1,以固定在靜電監(jiān)視器11上的狀態(tài)使用。靜電監(jiān)視器11,具有箱型的框體和設(shè)置在該框體上部的充電板12,在充電板12上可以施加所期望的電位。該靜電監(jiān)視器11,優(yōu)選的是,定期被校正并確保對國家標準的跟蹤能力。
      校正用固定夾具1,利用側(cè)板5a及側(cè)板5b從充電板12側(cè)夾住靜電監(jiān)視器11的框體并固定在靜電監(jiān)視器11上。并且,在這些附圖中,表面靜電計10的探測器部10b被插入到開口部3中。在這里,由于設(shè)置了上述突出部4,因此表面靜電計10,夾著開口部3向突出部4的相反側(cè),相對于鉛垂方向傾斜角度θ(參照圖3)。
      并且,支撐部7a、7b,位于靜電監(jiān)視器11的框體上部的角上。確定支撐部7a、7b相對各自側(cè)板5a、5b的上下位置,以使充電板12和表面靜電計10的探測器部10b的前端的距離為所期望的距離。
      表面靜電計10的接地端,通過接地線9與靜電監(jiān)視器11的接地端連接。由此,使兩者的接地電平相同。并且,AC電源及接地用的軟線20與插座連接。
      參照圖5,說明校正用固定夾具1和靜電監(jiān)視器11的固定部。該圖是表示處于相互固定狀態(tài)的校正用固定夾具1及靜電監(jiān)視器11的一部分的剖面圖。從該圖可以看出,上述支撐部7a、7b具有基片72,分別固定在側(cè)板5a、5b上;和伸出片74,與基片72相連設(shè)置并與上板2大致平行。由此,各支撐部7a、7b的剖面呈L字型。
      在支撐部7a的基片72上固定著螺栓82(外螺紋)。使螺栓82穿過孔部6a,并在狹縫狀孔部6a內(nèi)上下移動,由此可以上下移動支撐部7a的位置。在上下方向的某一位置,螺栓82由翼形螺母84(內(nèi)螺紋)固定在側(cè)板5a上,由此確定支撐部7a相對側(cè)板5a的上下位置。
      在校正用固定夾具1中在側(cè)板5a上形成2個狹縫狀孔部6a,因此在支撐部7a上隔開與2條狹縫間的間隔相同的間隔固定有2條螺栓82。由此,支撐部7a,由2組螺栓82及翼形螺母84固定在側(cè)板5a上。同樣地,側(cè)板5b上也固定著具有與支撐部7a相同結(jié)構(gòu)的支撐部7b。這樣,基片72及各側(cè)板5a、5b,通過將翼形螺母84從該側(cè)板5a、5b的外側(cè)螺合到螺栓82上而相互固定,該螺栓82被固定在該基片72上,并且貫通各孔部6a、6b。
      接下來,作為本發(fā)明的表面靜電計的校正方法的一個實施方式,說明使用了校正用固定夾具1的表面靜電計10的校正方法的一例。該校正方法包括以下步驟準備靜電監(jiān)視器;將校正用固定夾具1固定在靜電監(jiān)視器11上;以及以在校正用固定夾具1的開口部3中插入了探測器部10b的狀態(tài),通過表面靜電計10,測量施加了預定電位的充電板12的表面電位。
      在校正表面靜電計10時,作為事先準備,確認表面靜電計10的電池充足。并且,將靜電監(jiān)視器11的電源與100V插座(接地)連接并接通電源開關(guān)。此外,接地與否會對校正結(jié)果產(chǎn)生影響,因此在校正時,不僅使用內(nèi)置電池,優(yōu)選還使用接地插座。
      事先準備完成后,進入表面靜電計10的校正。首先,在靜電監(jiān)視器11上安置校正用固定夾具1后,將表面靜電計10的接地線9與靜電監(jiān)視器11的接地端連接。其次,接通表面靜電計10的開關(guān)后,調(diào)整零點調(diào)整旋鈕,以使靜電監(jiān)視器11的充電板12的電位(顯示在電壓值顯示部11a上的值)集中在約0±3V范圍內(nèi)。再次,以通過用電壓可變刻度盤11b調(diào)制而在充電板12上施加預定電位的狀態(tài),記錄表面靜電計10的電位值顯示部10a的顯示值。
      在每個校正點(在充電板12上的施加電壓、測量距離)上重復以下過程在充電板12上施加預定電位并記錄電位值顯示部10a的顯示值。表1表示校正點的一例。在該表中,對各型號的表面靜電計設(shè)定了3個校正點(No.1~3)。并且,在最右側(cè)欄中記載了合格判斷標準。在本例中,在全尺寸(FS)誤差下將5%以下作為允許誤差。存在不滿足合格判斷標準的表面靜電計的情況下,通過用螺絲刀旋轉(zhuǎn)該表面靜電計的調(diào)整螺釘?shù)确椒ǎ{(diào)整為使顯示值的誤差處于允許范圍內(nèi)。以上校正結(jié)果,根據(jù)需要記錄在記錄圖表中。
      表1


      說明本實施方式的效果。根據(jù)本實施方式,可通過夾住靜電監(jiān)視器11的框體,在該靜電監(jiān)視器11上固定校正用固定夾具1,上述靜電監(jiān)視器11具有施加了預定的表面電位的充電板12。并且,以在開口部3插入了表面靜電計10的探測器部10b的狀態(tài)進行校正,由此可以在預定的測量距離下測量在充電板12上施加的表面電位。由此,可以由簡便的方法進行表面靜電計10的校正。因此,表面靜電計的使用者無需向外部委托表面靜電計的校正,而可以親自進行。這樣,實現(xiàn)了可以簡便且低成本地進行表面靜電計的校正的表面靜電計的校正用固定夾具1及使用了該校正用固定夾具1的校正方法。
      表面靜電計的校正本身,在確保測量精度及測量的跟蹤能力方面是非常重要的,但在過去費用過高。這一點,根據(jù)本實施方式,可以大幅削減表面靜電計的校正所需的費用。
      并且,校正用固定夾具1,可以容易且廉價制作,通過制作表面靜電計的每種型號(最多幾個種類),并與校正了的靜電監(jiān)視器組合,這樣無需向公司外同業(yè)者委托表面靜電計的校正,可以在工廠內(nèi)由工廠人員實施校正。進而,由于可以在公司內(nèi)校正表面靜電計,因此可以在短交付期(例如1日)內(nèi)向使用部門交貨。與此相比,向外部委托校正時,至交貨需要1個月左右。
      在側(cè)板5a及5b的內(nèi)側(cè)面上分別設(shè)置了支撐部7a及支撐部7b。因此,通過將這些支撐部7a、7b掛在靜電監(jiān)視器11的框體上,可以容易地將校正用固定夾具1固定在靜電監(jiān)視器11上。并且,也容易將校正用固定夾具1從靜電監(jiān)視器11上取下。
      支撐部7a、7b被設(shè)置成可以分別沿著與邊S1、S2大致垂直的方向在側(cè)板5a、5b上移動。由此,可以容易地進行充電板12和探測器部10b之間的距離、即測量距離的調(diào)整。
      孔部6a及孔部6b,分別呈向與邊S1及S2大致垂直的方向延伸的狹縫狀。由此,能以簡單的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)支撐部7a、7b可在側(cè)板5a、5b上移動的構(gòu)成。
      各支撐部7a、7b,由基片72及伸出片74構(gòu)成。通過將基片72用作固定到各側(cè)板5a、5b的固定部,可以將兩者牢固固定。
      各支撐部7a、7b的基片72及各側(cè)板5a、5b,通過將翼形螺母84從該側(cè)板5a、5b的外側(cè)螺合到螺栓82上而互相固定,該螺栓82被固定在該基片72上,并且貫通各孔部6a、6b。由此,可以容易地進行支撐部7a、7b和側(cè)板5a、5b之間的固定及其解除。
      在上板2上設(shè)置了突出部4。由此,以使表面靜電計10相對充電板12傾斜的狀態(tài)進行校正變得容易。一般而言,表面靜電計10的探測器部10b其前端面被傾斜地切削。因此,保持其前端面和充電板12盡可能平行,可以更高精度地校正。
      此外,本發(fā)明的表面靜電計的校正用固定夾具,并不限于上述實施方式,可以進行各種變形。
      權(quán)利要求
      1.一種表面靜電計的校正用固定夾具,其特征在于,具有上板;第1側(cè)板,與上述上板的第1邊相連設(shè)置;第2側(cè)板,與上述上板的和第1邊相對的第2邊相連設(shè)置;以及開口部,被設(shè)置在上述上板上,用于插入作為校正對象的表面靜電計的探測器部。
      2.如權(quán)利要求1所述的表面靜電計的校正用固定夾具,其特征在于,具有第1支撐部件,被設(shè)置在上述第1側(cè)板的內(nèi)側(cè)面上,并向上述第2側(cè)板伸出;和第2支撐部件,被設(shè)置在上述第2側(cè)板的內(nèi)側(cè)面上,并向上述第1側(cè)板伸出。
      3.如權(quán)利要求2所述的表面靜電計的校正用固定夾具,其特征在于,上述第1及第2支撐部件被設(shè)置為可分別沿著與上述第1及第2邊大致垂直的方向在上述第1及第2側(cè)板上移動。
      4.如權(quán)利要求2所述的表面靜電計的校正用固定夾具,其特征在于,上述第1及第2支撐部件具有基片,分別被固定在上述第1及第2側(cè)板上;和伸出片,與上述基片相連設(shè)置并與上述上板大致平行。5.如權(quán)利要求2所述的表面靜電計的校正用固定夾具,其特征在于,上述第1及第2支撐部件被設(shè)置為,可分別沿著與上述第1及第2邊大致垂直的方向在上述第1及第2側(cè)板上移動,并且,上述第1及第2支撐部件具有基片,分別被固定在上述第1及第2側(cè)板上;和伸出片,與上述基片相連設(shè)置并與上述上板大致平行。
      6.如權(quán)利要求5所述的表面靜電計的校正用固定夾具,其特征在于,在上述第1及第2側(cè)板上分別設(shè)置有第1及第2孔部,上述基片及上述各側(cè)板,通過將內(nèi)螺紋從該側(cè)板的外側(cè)螺合到外螺紋上而互相固定,所述外螺紋被固定在該基片上,并且貫通上述各孔部。
      7.如權(quán)利要求6所述的表面靜電計的校正用固定夾具,其特征在于,上述第1及第2孔部,分別呈在與上述第1及第2邊大致垂直的方向上延伸的狹縫狀。
      8.如權(quán)利要求1至7中任意一項所述的表面靜電計的校正用固定夾具,其特征在于,在上述上板上沿著上述開口部的1個邊設(shè)置有突出部。
      9.一種表面靜電計的校正方法,其特征在于,包括以下步驟準備靜電監(jiān)視器,該靜電監(jiān)視器具有箱型的框體、和設(shè)置在上述框體上部的充電板,并可在上述充電板上施加預定的電位;以由上述第1及第2側(cè)板從上述充電板側(cè)夾住上述靜電監(jiān)視器的框體的方式,將權(quán)利要求1至7中任意一項所述的表面靜電計的校正用固定夾具固定在上述靜電監(jiān)視器上;以及以在上述校正用固定夾具的上述開口部中插入了上述探測器部的狀態(tài),通過上述表面靜電計測量施加了預定電位的上述充電板的表面電位。
      全文摘要
      在以往無法簡便地進行表面靜電計的校正。因此,表面靜電計的多數(shù)使用者不得不向外部委托表面靜電計的校正,存在產(chǎn)生由此帶來的委托費用的問題。本發(fā)明的校正用固定夾具(1),具有上板(2);側(cè)板(5a、第1側(cè)板),與上板(2)的邊(S1、第1邊)相連設(shè)置;側(cè)板(5b、第2側(cè)板),與上板(2)的和邊(S1)相對的邊(S2、第2邊)相連設(shè)置;以及開口部(3),被設(shè)置在上板(2)上,用于插入作為校正對象的表面靜電計的探測器部。
      文檔編號G01R29/12GK1952677SQ20061013564
      公開日2007年4月25日 申請日期2006年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月18日
      發(fā)明者牛島三男 申請人:恩益禧電子股份有限公司
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