專利名稱：探針卡移載輔助裝置、檢查設(shè)備和檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及包括多個(gè)使用探針卡對(duì)晶片等被檢查體進(jìn)行電氣特性檢查的檢查裝置的檢查設(shè)備和檢查方法，更詳細(xì)地說，涉及在檢查設(shè)備內(nèi)、在檢查裝置和搬送臺(tái)車之間輔助探針卡的移載操作的探針卡移載輔助裝置、檢查設(shè)備和檢查方法。
背景技術(shù)：
這種檢查裝置，例如，如圖7所示，包括搬送被檢查體(例如晶片)W的加載室1、和與加載室1相鄰且對(duì)從加載室1接收的晶片W進(jìn)行電氣特性檢查的探針室2。如該圖所示，探針室2包括能夠沿X、Y、Z和θ方向移動(dòng)地配設(shè)并且載置晶片的載置臺(tái)(晶片卡盤)3、在該晶片卡盤3的上方配置的帶有卡支架的探針卡(probe card)4、和保持探針卡4的夾緊機(jī)構(gòu)5。在探針室2內(nèi)，在晶片卡盤3沿著X、Y、Z和θ方向移動(dòng)的期間，通過對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)6對(duì)晶片W和探針卡4的探針4A進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)(alignment)之后，一邊進(jìn)行晶片W的分度(index)輸送，一邊進(jìn)行晶片的電氣特性檢查。此外，對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)6具有上攝像機(jī)6A和下攝像機(jī)6B。T是測(cè)試頭。
而且，在探針室2內(nèi)的夾緊機(jī)構(gòu)5上裝卸探針卡4時(shí)，例如使用本申請(qǐng)人在特開2001-24039號(hào)中提出的卡搬送裝置。如圖8所示，該卡搬送裝置包括晶片卡盤3、和在與該晶片卡盤3之間傳送探針卡4的傳送機(jī)構(gòu)7。如圖8所示，傳送機(jī)構(gòu)7包括裝卸自由地保持帶有卡支架的探針卡4的接合器(adapter)8、前端部被分成兩股從而裝卸自由地保持該接合器8的叉子狀的臂9、沿著箭頭A方向推入該臂9并將探針卡4移動(dòng)引導(dǎo)至傳送位置的一對(duì)導(dǎo)軌10、和固定該導(dǎo)軌10的臂支撐體11，在臂9和安裝在晶片卡盤3上的接合器支撐體12之間，進(jìn)行搭載有探針卡4的接合器8的傳送。
于是，在使用卡搬送裝置將探針卡4安裝在夾緊機(jī)構(gòu)5上時(shí)，操作者(operator)等將探針卡4設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu)7上后，通過卡搬送裝置將其搬送至夾緊機(jī)構(gòu)5的正下方，使晶片卡盤3從該位置上升后，用夾緊機(jī)構(gòu)5將探針卡4固定在檢查裝置主體側(cè)。此外，在圖8中，13是將進(jìn)行傳送的傳送機(jī)構(gòu)7沿著與箭頭B相反方向折疊并收納的收納部。
可是，在將探針卡4設(shè)置在卡搬送裝置上時(shí)，操作者將探針卡4從規(guī)定的收納擱板運(yùn)送至檢查裝置并進(jìn)行設(shè)置，或者，操作者使用搬送臺(tái)車等將其從收納擱板運(yùn)送至檢查裝置、再將其從搬送臺(tái)車移載并設(shè)置在卡搬送裝置上等。
但是，隨著近年來的探針卡4的大型化，其重量重達(dá)15～25Kg，所以，例如操作者等為了將探針卡4從搬送臺(tái)車上抬起、移載并設(shè)置在卡搬送裝置上，不僅需要很大的力氣，而且在抬起探針卡4時(shí)抓住的部分受到限制，操作需要慎重，因此，存在給操作者帶來過度的負(fù)擔(dān)的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決上述問題而做出，其目的是提供即使是重量大的探針卡也能夠減輕操作者的負(fù)擔(dān)、并且能夠平滑地移載探針卡的探針卡移載輔助裝置、檢查設(shè)備和檢查方法。
本發(fā)明的第一方面的探針卡移載輔助裝置，是對(duì)電氣檢查裝置中使用的探針卡的移載操作進(jìn)行輔助的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，包括保持上述探針卡的保持部；以某點(diǎn)為中心自由旋轉(zhuǎn)地支撐上述保持部的支撐部；和使上述支撐部升降的裝置。
此外，本發(fā)明的第二方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第一方面所述的發(fā)明中，上述保持部具有能夠通過旋轉(zhuǎn)操作而與上述探針卡連結(jié)的連結(jié)部件。
此外，本發(fā)明的第三方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第一方面或第二方面所述的發(fā)明中，上述保持部被安裝在從上述支撐體伸出的能夠伸縮的臂上。
此外，本發(fā)明的第四方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第三方面所述的發(fā)明中，上述支撐部的升降裝置具有使上述臂升降的缸體機(jī)構(gòu)；對(duì)向上述缸體機(jī)構(gòu)供給驅(qū)動(dòng)流體的流路進(jìn)行開關(guān)的閥；控制上述驅(qū)動(dòng)流體的壓力的調(diào)節(jié)器；預(yù)先將上述探針卡的重量輸入上述調(diào)節(jié)器的輸入端子；和檢測(cè)上述驅(qū)動(dòng)流體的壓力的壓力傳感器。
此外，本發(fā)明的第五方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第一～第四方面中任一方面所述的發(fā)明中，上述支撐部的升降裝置被構(gòu)成為在提升上述探針卡的方向上提供輔助力。
此外，本發(fā)明的第六方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第五方面所述的發(fā)明中，上述輔助力被構(gòu)成為能夠與上述探針卡的重量對(duì)應(yīng)地改變。
此外，本發(fā)明的第七方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第一～第六方面中任一方面所述的發(fā)明中，上述保持部具有確認(rèn)上述連結(jié)部件的旋轉(zhuǎn)終端位置的傳感器。
此外，本發(fā)明的第八方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第一～第七方面中任一方面所述的發(fā)明中，附設(shè)在上述檢查裝置中。
此外，本發(fā)明的第九方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第一～第七方面中任一方面所述的發(fā)明中，在上述檢查裝置和搬送上述檢查裝置中使用的探針卡的搬送裝置之間輔助上述探針卡的移載操作時(shí)，介于上述檢查裝置和上述搬送裝置之間。
此外，本發(fā)明的第十方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第九方面所述的發(fā)明中，上述搬送裝置是搬送臺(tái)車。
此外，本發(fā)明的第十一方面的檢查設(shè)備，包括電氣檢查裝置和對(duì)該電氣檢查裝置中使用的探針卡的移載操作進(jìn)行輔助的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，上述探針卡移載輔助裝置包括保持上述探針卡的保持部；以某點(diǎn)為中心自由旋轉(zhuǎn)地支撐上述保持部的支撐部；和使上述支撐部升降的裝置。
此外，本發(fā)明的第十二方面的檢查設(shè)備，其特征在于，在第十一方面所述的發(fā)明中，上述保持部具有能夠通過旋轉(zhuǎn)操作而與上述探針卡連結(jié)的連結(jié)部件。
本發(fā)明的第十三方面的檢查設(shè)備，其特征在于，在第十一方面或第十二方面所述的發(fā)明中，上述保持部被安裝在從上述支撐體伸出的能夠伸縮的臂上。
此外，本發(fā)明的第十四方面的檢查設(shè)備，其特征在于，在第十三方面所述的發(fā)明中，上述支撐部的升降裝置具有使上述臂升降的缸體機(jī)構(gòu)；對(duì)向上述缸體機(jī)構(gòu)供給驅(qū)動(dòng)流體的流路進(jìn)行開關(guān)的閥；控制上述驅(qū)動(dòng)流體的壓力的調(diào)節(jié)器；預(yù)先將上述探針卡的重量輸入上述調(diào)節(jié)器的輸入端子；和檢測(cè)上述驅(qū)動(dòng)流體的壓力的壓力傳感器。
此外，本發(fā)明的第十五方面的檢查設(shè)備，其特征在于，在第十一～第十四方面中任一方面所述的發(fā)明中，上述支撐部的升降裝置被構(gòu)成為在提升上述探針卡的方向上提供輔助力。
此外，本發(fā)明的第十六方面的檢查設(shè)備，其特征在于，在第十五方面所述的發(fā)明中，上述輔助力被構(gòu)成為能夠與上述探針卡的重量對(duì)應(yīng)地改變。
此外，本發(fā)明的第十七方面的檢查設(shè)備，其特征在于，在第十一～第十六方面中任一方面所述的發(fā)明中，上述保持部具有確認(rèn)上述連結(jié)部件的旋轉(zhuǎn)終端位置的傳感器。
此外，本發(fā)明的第十八方面的檢查設(shè)備，其特征在于，在第十一～第十七方面中任一方面所述的發(fā)明中，附設(shè)在上述檢查裝置中。
此外，本發(fā)明的第十九方面的檢查設(shè)備，其特征在于，在第十一～第十八方面中任一方面所述的發(fā)明中，在上述檢查裝置和搬送上述檢查裝置中使用的探針卡的搬送裝置之間輔助上述探針卡的移載操作時(shí)，介于上述檢查裝置和上述搬送裝置之間。
此外，本發(fā)明的第二十方面的檢查設(shè)備，其特征在于，在第十九方面所述的發(fā)明中，上述搬送裝置是搬送臺(tái)車。
此外，本發(fā)明的第二十一方面的檢查方法，包括將探針卡搬送至檢查裝置的附近區(qū)域的工序、將上述探針卡搬送至上述檢查裝置的工序、和使上述探針卡與被檢查體接觸從而進(jìn)行電氣檢查的工序，其特征在于，將上述探針卡搬送至上述檢查裝置的工序包括保持上述探針卡的工序；使上述探針卡升降的工序；和以某點(diǎn)為中心旋轉(zhuǎn)上述探針卡的工序。
此外，本發(fā)明的第二十二方面的檢查方法，其特征在于，在第二十一方面所述的發(fā)明中，上述檢查裝置配置有多個(gè)，將上述探針卡搬送至上述檢查裝置的附近區(qū)域的工序，利用能夠在沿著上述多個(gè)檢查裝置設(shè)置的通路上移動(dòng)的搬送臺(tái)車搬送上述探針卡。
此外，本發(fā)明的第二十三方面的檢查方法，其特征在于，在第二十一方面或第二十二方面所述的發(fā)明中，在使上述探針卡升降的工序之前，具有檢測(cè)有無上述探針卡的工序。
此外，本發(fā)明的第二十四方面的檢查方法，其特征在于，在第二十一～第二十三方面所述的發(fā)明中，使上述探針卡升降的工序具有與上述探針卡的重量對(duì)應(yīng)，利用供給至缸體機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)流體，控制使上述探針卡升降的力的工序。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面～第二十四方面所述的發(fā)明，能夠提供即使是重量大的探針卡也能夠減輕操作者的負(fù)擔(dān)的探針卡移載輔助裝置、檢查設(shè)備和檢查方法。


圖1是表示本發(fā)明的檢查設(shè)備的一個(gè)實(shí)施方式的平面圖。
圖2(a)、(b)是分別表示在圖1所示的檢查設(shè)備中、使用探針卡移載輔助裝置移載探針卡的狀態(tài)的立體圖。
圖3(a)、(b)是分別表示圖1所示的檢查設(shè)備中應(yīng)用的探針卡移載輔助裝置的立體圖，(a)是其整體圖，(b)是表示臂的前端部的圖。
圖4(a)、(b)是分別表示圖3所示的探針卡移載輔助裝置的立體圖，(a)是表示將臂縮回的狀態(tài)的整體圖，(b)是表示將臂折疊的狀態(tài)的整體圖。
圖5(a)、(b)是分別表示由圖3所示的探針卡移載輔助裝置移載的探針卡的立體圖，(a)是從其上方看的整體圖，(b)是從其下方看的整體圖。
圖6是表示圖3所示的探針卡移載輔助裝置的升降驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。
圖7是表示將現(xiàn)有的檢查裝置的一個(gè)例子部分地截?cái)嗪蟮恼鎴D。
圖8是圖7所示的檢查裝置中應(yīng)用的探針卡搬送裝置的動(dòng)作說明圖。
符號(hào)說明
50檢查設(shè)備51探針卡52檢查裝置53通路54搬送臺(tái)車55探針卡移載輔助裝置551 保持件(保持部)551D 連結(jié)部件552 臂553 支撐體554 升降驅(qū)動(dòng)裝置554A 氣缸(缸體機(jī)構(gòu))554B 配管(流路)554C 電磁閥554D 電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器(Electropneumatic regulator)554E 輸入端子554F 壓力傳感器554H 保持位置檢測(cè)傳感器具體實(shí)施方式
以下，根據(jù)圖1～圖6所示的實(shí)施方式來說明本發(fā)明。圖1是表示本發(fā)明的檢查設(shè)備的一個(gè)實(shí)施方式的平面圖；圖2的(a)、(b)是分別表示在圖1所示的檢查設(shè)備中、使用探針卡移載輔助裝置移載探針卡的狀態(tài)的立體圖；圖3的(a)、(b)是分別表示圖1所示的檢查設(shè)備中應(yīng)用的探針卡移載輔助裝置的立體圖，(a)是其整體圖，(b)是表示臂的前端部的圖；圖4的(a)、(b)是分別表示圖3所示的探針卡移載輔助裝置的立體圖，(a)是表示將臂縮回的狀態(tài)的整體圖，(b)是表示將臂折疊的狀態(tài)的整體圖；圖5的(a)、(b)是分別表示由圖3所示的探針卡移載輔助裝置移載的探針卡的立體圖，(a)是從其上方看的整體圖，(b)是從其下方看的整體圖；圖6是表示圖2所示的探針卡移載輔助裝置的升降驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。
本實(shí)施方式的檢查設(shè)備50，例如如圖1所示，包括具有用于對(duì)被檢查體(例如，晶片)(未圖示)進(jìn)行電氣特性檢查的探針卡51的檢查裝置52；沿著配置有多個(gè)該檢查裝置52的通路53搬送探針卡51的搬送臺(tái)車54；以及在該搬送臺(tái)車54和設(shè)置于各檢查裝置52的裝置主體52A上的卡搬送裝置52B之間輔助探針卡51的移載操作的探針卡移載輔助裝置55。檢查裝置52在該圖中以通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)52C使檢測(cè)頭T向通路53側(cè)旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)示出。探針卡51被保管在收納擱板(未圖示)中，在更換探針卡51時(shí)等，使用搬送臺(tái)車54在收納擱板和多個(gè)檢查裝置52之間進(jìn)行搬送。此外，在圖1中只圖示了1臺(tái)檢查裝置52。
但是，隨著晶片的大口徑化和IC芯片的超高集成化等，上述探針卡51大型化、大重量化，所以，操作者進(jìn)行搬運(yùn)不用說，在搬送臺(tái)車54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間進(jìn)行移載操作也要花費(fèi)很大的負(fù)擔(dān)。因此，在本實(shí)施方式中，在操作者搬運(yùn)探針卡51時(shí)，使用搬送臺(tái)車54，在搬送臺(tái)車54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間進(jìn)行探針卡51的移載操作時(shí)，使用探針卡移載輔助裝置55，使操作者的負(fù)擔(dān)減輕。在操作者使用探針卡移載輔助裝置55時(shí)，只是由探針卡移載輔助裝置55的保持件進(jìn)行保持卡搬送裝置52B上或搬送臺(tái)車54上的探針卡51和解除保持的操作，就能夠大大地減輕實(shí)質(zhì)上的體力勞動(dòng)。操作者操作探針卡移載輔助裝置55移載探針卡51時(shí)，如圖2的(a)、(b)所示，在搬送臺(tái)車54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間移載探針卡51。此外，搬送臺(tái)車54具有為了收納多塊探針卡51而分多段并能夠抽出地設(shè)置的擱板，將被收納在托盤(tray)中的探針卡51收納在這些擱板中。
而且，如圖3(a)所示，上述探針卡移載輔助裝置55包括保持探針卡51的保持件551、前端部上安裝有該保持件551的能夠伸縮的臂552、支撐該臂552的能夠旋轉(zhuǎn)的支撐體553、和構(gòu)成通過該支撐體553將探針卡51按重量區(qū)分并使其升降的升降驅(qū)動(dòng)裝置554的氣缸554A，并且被附設(shè)在檢查裝置52的側(cè)方。
如圖3(a)和圖4(a)所示，上述臂552具有第一臂552A和相對(duì)于第一臂552A自由滑動(dòng)地安裝的第二臂552B，第二臂552B被構(gòu)成為相對(duì)于第一臂552A前后移動(dòng)地伸縮。臂552的長(zhǎng)度可以通過使用調(diào)整部件552D將第二臂552B固定在第一臂552A上以使其不相對(duì)于第一臂552A滑動(dòng)而適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。如各圖所示，該臂552被構(gòu)成為第一臂552A的基端部與被固定在支撐體553的上端部的連接件555銷結(jié)合，在收縮最大的狀態(tài)下，能夠如圖4(b)所示向支撐體553側(cè)折疊。在臂552的基端部上安裝有第一銷552C，在支撐體553的上下方向的中間安裝有具有銷的托架(bracket)556。第一銷552C和托架556的銷連結(jié)連桿557的兩端部。因此，臂552通過連桿557可抬至水平方向。連桿557的在臂552側(cè)的端部上，安裝有第二銷557A，此外，在支撐體553側(cè)的連接件555的側(cè)面，安裝有鉤掛部件558，將該鉤掛部件558掛在第二銷557A上，從而連桿557不會(huì)從托架556的銷上脫落。
如圖3(a)所示，上述支撐體553和氣缸554A被構(gòu)成為都與自由旋轉(zhuǎn)地安裝在基臺(tái)559的前端部上的旋轉(zhuǎn)體560連結(jié)，與旋轉(zhuǎn)體560一體地旋轉(zhuǎn)，在基臺(tái)559的側(cè)方旋轉(zhuǎn)。引導(dǎo)部件561的大致整個(gè)長(zhǎng)度被安裝在支撐體553的基臺(tái)559側(cè)的垂直端面上，該引導(dǎo)部件561沿著在垂直方向上安裝的導(dǎo)軌562(參照?qǐng)D4(a))與基臺(tái)559側(cè)的旋轉(zhuǎn)體560自由滑動(dòng)地結(jié)合。此外，氣缸554A中，缸體的下端與從旋轉(zhuǎn)體560垂下的支柱563的下端連結(jié)，活塞桿的上端與支撐體553的上端部連結(jié)。因此，通過氣缸554A驅(qū)動(dòng)，支撐體553沿導(dǎo)軌562升降。
此外，如圖3(b)所示，上述保持件551具有以從第二臂552B的前端垂下的方式安裝的旋轉(zhuǎn)軸551A、在旋轉(zhuǎn)軸551A的中部及其下方分別安裝的圓形部件551B和三角部件551C、在旋轉(zhuǎn)軸551A的下端安裝的與探針卡51連結(jié)的連結(jié)部件551D、從旋轉(zhuǎn)軸551A向直徑方向延伸設(shè)置的操作手柄551E、和鎖定操作手柄551E的鎖定部件551F，利用操作手柄551E對(duì)連結(jié)部件551D進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作，保持保持件551和探針卡51，利用鎖定部件551F將操作手柄551E鎖定在保持位置。此外，操作手柄551E在被鎖定的狀態(tài)下，能夠?qū)Ρ?52進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作。連結(jié)部件551D具有從圓板的圓周面向圓周方向、在互相間隔180°的位置、在水平方向上延伸設(shè)置的突出部，該突出部嵌入在探針卡51側(cè)形成的槽內(nèi)，具有保持探針卡51的功能。
此外，在上述三角部件551C內(nèi)設(shè)置有例如對(duì)探針卡51進(jìn)行光學(xué)檢測(cè)的后述的卡檢測(cè)傳感器554G。此外，如圖3(b)所示，在上述三角部件551C的上面設(shè)置有在保持探針卡的一側(cè)對(duì)操作手柄551E進(jìn)行操作時(shí)，通過例如靜電容量來檢測(cè)操作手柄551E的位置的保持位置檢測(cè)傳感器554H。在操作手柄551E上設(shè)置有操作開關(guān)554I，若抓住操作手柄551E，則操作開關(guān)554I接通，若松開操作手柄551E，則操作開關(guān)554I斷開。這些卡檢測(cè)傳感器554G、保持位置檢測(cè)傳感器554H和操作開關(guān)554I如后所述構(gòu)成升降驅(qū)動(dòng)裝置554的一部分。
用上述探針卡移載輔助裝置55操作的探針卡51構(gòu)成為例如如圖5的(a)、(b)所示。即，如該圖所示，探針卡51具有例如由電路基板構(gòu)成的卡主體51A、在卡主體51A的上面安裝的增強(qiáng)部件51B、和在卡主體51A的下面中央部安裝的具有多個(gè)探針的接觸器51C。增強(qiáng)部件51B包括在卡主體51A的中央部形成的矩形部51D、從矩形部51D向卡主體51A的外周呈放射狀地延伸的放射狀部51E、和在放射狀部51E的直徑方向的中間形成的環(huán)狀部51F。在矩形部51D的上面的左右，分別通過安裝部件51G安裝有一對(duì)把手51H。
在左右的安裝部件51G的相對(duì)面上，形成有使在保持件551的連結(jié)部件551D上形成的突出部嵌入的槽51I。因此，配合連結(jié)部件551D以使一對(duì)突出部嵌入左右的安裝部件51G之間，對(duì)保持件551的操作手柄551E進(jìn)行操作時(shí)，一對(duì)突出部嵌入左右的槽51I內(nèi)，能夠由保持件551保持探針卡51。
但是，例如，如圖6所示，上述升降驅(qū)動(dòng)裝置554具有氣缸554A、對(duì)向氣缸554A供給驅(qū)動(dòng)流體(壓縮空氣)的配管554B進(jìn)行開關(guān)的電磁閥(例如三通閥)554C、根據(jù)探針卡51的重量來控制壓縮空氣壓力的電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器554D、預(yù)先選擇與探針卡51的重量相平衡的壓縮空氣的壓力值并將其輸入電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器554D的輸入端子554E、和對(duì)壓縮空氣的壓力進(jìn)行檢測(cè)的壓力傳感器554F，根據(jù)來自輸入端子554E的輸入值，電磁閥554C和電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器554D協(xié)同動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)控制氣缸554A。此外，升降驅(qū)動(dòng)裝置554具有檢測(cè)有無探針卡51的卡檢測(cè)傳感器554G、檢測(cè)操作手柄551E在保持探針卡51的保持位置移動(dòng)的保持位置檢測(cè)傳感器554H、和在抓住操作手柄551E進(jìn)行操作時(shí)起作用的操作開關(guān)554I，如后所述，卡檢測(cè)傳感器554G、保持位置檢測(cè)傳感器554H、壓力傳感器554F和操作開關(guān)554I聯(lián)合，對(duì)電磁閥554C和電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器554D進(jìn)行開關(guān)控制。
即，上述卡檢測(cè)傳感器554G、保持位置檢測(cè)傳感器554H、壓力傳感器554F和操作開關(guān)554I分別通過控制部554J與輸入端子554E電連接，只在卡檢測(cè)傳感器554G、保持位置檢測(cè)傳感器554H、壓力傳感器554F和操作開關(guān)554I全部成為接通(on)狀態(tài)時(shí)，通過控制部554J，根據(jù)輸入端子554E的輸入值，電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器554D工作，同時(shí)電磁閥554C成為打開狀態(tài)。
更進(jìn)一步說，在卡檢測(cè)傳感器554G、保持位置檢測(cè)傳感器554H、壓力傳感器554F和操作開關(guān)554I全部接通時(shí)，通過控制部554J，打開電磁閥554C，在電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器554D的控制下，向氣缸554A供給壓縮空氣。此外，在卡檢測(cè)傳感器554G、保持位置檢測(cè)傳感器554H、壓力傳感器554F和操作開關(guān)554I中的任一個(gè)斷開(off)時(shí)，通過控制部554J，關(guān)閉電磁閥554C，將壓縮空氣密封在氣缸554A內(nèi)，停止氣缸554A的動(dòng)作，使臂552在下降途中停止。例如，在探針卡51的重量比輸入端子554E的輸入重量大時(shí)，抓住操作手柄551E使臂552旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣缸554A的提升力不足，臂552由于自重而開始下降。此時(shí)，若操作手柄551E從沒有察覺到這一點(diǎn)的操作者的手中脫離，則操作開關(guān)554I斷開，將電磁閥554C關(guān)閉，至此，向氣缸554A供給的壓縮空氣被密封在氣缸554A內(nèi)。由此，臂552由于探針卡51的自重而下降，由于壓縮空氣的作用，臂552在途中停止，能夠防止探針卡51落下。此外，在輸入端子554E中將探針卡51的重量設(shè)定得過小時(shí)，操作手柄551E也會(huì)脫離操作者的手，與上述的情況同樣地，使氣缸554A的急劇上升停止。此外，在圖6中，554K是除霧器(mist separator)。
接著，對(duì)動(dòng)作進(jìn)行說明。在檢查設(shè)備50中，操作者在安裝或更換檢查裝置52的探針卡51時(shí)，從收納擱板取出探針卡51，將探針卡51與托盤一起在搬送臺(tái)車54中收納需要的塊數(shù)。然后，如圖1和圖2的(a)、(b)所示，使搬送臺(tái)車54移動(dòng)至目標(biāo)檢查裝置52。
操作者在將與托盤一起被收納在擱板上的探針卡51裝載在擱板中的狀態(tài)下，將其從搬送臺(tái)車54中拉出，并裝載到搬送臺(tái)車54的上面。使用探針卡移載輔助裝置55只將探針卡51移載到檢查裝置52上。在使用探針卡移載輔助裝置55時(shí)，預(yù)先通過升降驅(qū)動(dòng)裝置554的輸入端子554E設(shè)定探針卡51的重量。然后，抬起臂552，使用連桿557使臂552成為水平狀態(tài)。在該狀態(tài)下，對(duì)操作手柄551E進(jìn)行操作，使臂552旋轉(zhuǎn)至探針卡51的正上方，使保持件551與探針卡51的中央配合。
因此，將操作手柄551E向探針卡51按壓，使保持件551的連結(jié)部件551D到達(dá)探針卡51的中心部后，對(duì)操作手柄551E進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作，將連結(jié)部件551D的突出部嵌入在探針卡51的安裝部件51G上形成的槽51I內(nèi)后，操作鎖定部件551F，將操作手柄551E固定。此時(shí)，卡檢測(cè)傳感器554G對(duì)探針卡51進(jìn)行檢測(cè)，同時(shí)由保持位置檢測(cè)傳感器554H檢測(cè)操作手柄551E是否位于探針卡保持位置。此時(shí)，如果操作者抓住操作手柄551E，則操作開關(guān)554I接通，另一方面，因?yàn)閴毫鞲衅?54F檢測(cè)出正常的壓縮空氣壓力并接通，所以，電磁閥554C成為打開狀態(tài)，在電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器554D的控制下，向氣缸554A內(nèi)供給基于探針卡51的輸入重量的規(guī)定壓力的壓縮空氣。由此，臂552在將探針卡51從搬送臺(tái)車54的擱板中提起的方向上提供輔助力。在該狀態(tài)下，操作者通過操作手柄551E，將探針卡51從搬送臺(tái)車54的擱板中提起，并且使臂552向檢查裝置52側(cè)旋轉(zhuǎn)，將探針卡51搬送至檢查裝置52的卡搬送裝置52B的正上方。
在卡搬送裝置52B的正上方，按壓操作手柄551E，使探針卡51到達(dá)卡搬送裝置52B上后，將保持件551的鎖定部件551F解除，使操作手柄551E旋轉(zhuǎn)，使連結(jié)部件551D的突出部從槽51I脫離，從保持件551上松開探針卡51，結(jié)束探針卡51的移載操作。
但是，萬一將探針卡51的重量弄錯(cuò)為例如比實(shí)際重量輕的重量并輸入輸入端子554E，抓住操作手柄551E，操作開關(guān)554I變?yōu)榻油?，氣?54A在電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器554D的控制下動(dòng)作，則在使臂552旋轉(zhuǎn)時(shí)，臂552由于探針卡51的過大重量而下降，操作手柄551E從操作者手中脫離。在該情況下，操作開關(guān)554I自動(dòng)地?cái)嚅_，將電磁閥554C關(guān)閉，將至此供給的壓縮空氣密封在氣缸554A內(nèi)。由此，即使臂552稍微下降，由于在該期間氣缸554A內(nèi)的壓縮空氣的壓力升高，所以在下降途中，臂552停止下降，探針卡51也不會(huì)與搬送臺(tái)車54等碰撞，能夠防止探針卡51損傷。
此外，在從檢查裝置52向搬送臺(tái)車54移載探針卡51時(shí)，也按照上述的順序使用探針卡移載輔助裝置55，能夠平滑地移載探針卡51。
如以上說明，根據(jù)本實(shí)施方式，為一種檢查設(shè)備50，其包括具有用于對(duì)晶片進(jìn)行電氣特性檢查的探針卡51的檢查裝置52(圖1中僅圖示有一臺(tái))、沿著配置有多個(gè)該檢查裝置52的通路53搬送探針卡51的搬送臺(tái)車54、以及在該搬送臺(tái)車54和設(shè)置于各檢查裝置52的裝置主體52A上的卡搬送裝置52B之間輔助探針卡51的移載操作的探針卡移載輔助裝置55，探針卡移載輔助裝置55包括保持探針卡51的保持件551、前端部上安裝有該保持件551的能夠伸縮的臂552、支撐該臂552的自由旋轉(zhuǎn)的支撐體553、和將探針卡51按重量區(qū)分并通過該支撐體553使其升降的升降驅(qū)動(dòng)裝置554，因此，只要由保持件551保持探針卡51、由升降驅(qū)動(dòng)裝置554使臂552從搬送臺(tái)車54或檢查裝置52的卡搬送裝置52B上提起、并使臂552旋轉(zhuǎn)，就能夠在搬送臺(tái)車54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間容易地移載探針卡51，因而，能夠大大地減輕操作者的負(fù)擔(dān)。此外，因?yàn)楸?52旋轉(zhuǎn)從而使由保持件551保持的探針卡51移動(dòng)，所以，能夠?qū)⒁员?52的基端為中心的移動(dòng)范圍抑制為最小限度。因此，即使由于檢查設(shè)備50的省空間化，多個(gè)檢查裝置52密集，相鄰的檢查裝置52之間的間隔狹窄，不能在該間隙中配置搬送臺(tái)車54，也能夠確保臂552從配置在通路53中的搬送臺(tái)車54向檢查裝置52側(cè)的旋轉(zhuǎn)區(qū)域，并且能夠確保操作者進(jìn)入的空間。
此外，根據(jù)本實(shí)施方式，保持件551具有能夠通過操作手柄551E的旋轉(zhuǎn)操作而與探針卡51連結(jié)的連結(jié)部件551D，因此，只要利用保持件551的操作手柄551E對(duì)連結(jié)部件551D進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作，就能夠相對(duì)于保持件551容易地保持探針卡51。
此外，臂552被構(gòu)成為能夠從支撐體553的上端部向水平方向伸出、并能夠向支撐體553側(cè)折疊，所以，在不使用探針卡移載輔助裝置55時(shí)，可以將其壓縮地收納在檢查裝置52的側(cè)面，能夠使在無塵室(clean room)內(nèi)占有的空間為最小限度即可。
此外，因?yàn)樯凋?qū)動(dòng)裝置554具有使臂552升降的氣缸554A、對(duì)向氣缸554A供給壓縮空氣的配管554B進(jìn)行開關(guān)的電磁閥554C、根據(jù)探針卡51的重量來控制壓縮空氣壓力的電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器554D、預(yù)先將探針卡51的重量輸入電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器554D的輸入端子554E、和對(duì)壓縮空氣的壓力進(jìn)行檢測(cè)的壓力傳感器554F，所以，能夠根據(jù)探針卡51的重量來控制氣缸554A的驅(qū)動(dòng)力。此外，也可以用重量傳感器測(cè)定探針卡51的重量，根據(jù)測(cè)定的重量來控制氣缸554A的驅(qū)動(dòng)力。
此外，升降驅(qū)動(dòng)裝置554具有檢測(cè)有無探針卡51的卡檢測(cè)傳感器554G，卡檢測(cè)傳感器554G與輸入端子554E聯(lián)合而使電動(dòng)氣動(dòng)調(diào)節(jié)器554D動(dòng)作，所以能夠根據(jù)探針卡51的重量來驅(qū)動(dòng)氣缸554A。而且，升降驅(qū)動(dòng)裝置554具有在對(duì)臂552進(jìn)行操作時(shí)起作用的操作開關(guān)554I，操作開關(guān)554I與壓力傳感器554F聯(lián)合而對(duì)電磁閥554C進(jìn)行開關(guān)，所以，如果操作手柄551E從操作者的手中脫離，則將電磁閥554C關(guān)閉，抑制臂552由于探針卡51的自重而下降，能夠防止探針卡51的損傷。
此外，本發(fā)明絲毫不限于上述實(shí)施方式，可以根據(jù)需要設(shè)計(jì)變更各構(gòu)成要素。
產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明可以適合利用于配置有多個(gè)包括探針卡的檢查裝置的檢查設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種探針卡移載輔助裝置，對(duì)電氣檢查裝置中使用的探針卡的移載操作進(jìn)行輔助，其特征在于，包括保持所述探針卡的保持部；以某點(diǎn)為中心自由旋轉(zhuǎn)地支撐所述保持部的支撐部；和使所述支撐部升降的裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述保持部具有能夠通過旋轉(zhuǎn)操作而與所述探針卡連結(jié)的連結(jié)部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述保持部被安裝在從所述支撐體伸出的能夠伸縮的臂上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述支撐部的升降裝置具有使所述臂升降的缸體機(jī)構(gòu)；對(duì)向所述缸體機(jī)構(gòu)供給驅(qū)動(dòng)流體的流路進(jìn)行開關(guān)的閥；控制所述驅(qū)動(dòng)流體的壓力的調(diào)節(jié)器；預(yù)先將所述探針卡的重量輸入所述調(diào)節(jié)器的輸入端子；和檢測(cè)所述驅(qū)動(dòng)流體的壓力的壓力傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述支撐部的升降裝置被構(gòu)成為在提升所述探針卡的方向上提供輔助力。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述輔助力被構(gòu)成為能夠與所述探針卡的重量對(duì)應(yīng)地改變。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述保持部具有確認(rèn)所述連結(jié)部件的旋轉(zhuǎn)終端位置的傳感器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于附設(shè)在所述檢查裝置中。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于在所述檢查裝置和搬送所述檢查裝置中使用的探針卡的搬送裝置之間輔助所述探針卡的移載操作時(shí)，介于所述檢查裝置和所述搬送裝置之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述搬送裝置是搬送臺(tái)車。
11.一種檢查設(shè)備，包括電氣檢查裝置和對(duì)該電氣檢查裝置中使用的探針卡的移載操作進(jìn)行輔助的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述探針卡移載輔助裝置包括保持所述探針卡的保持部；以某點(diǎn)為中心自由旋轉(zhuǎn)地支撐所述保持部的支撐部；和使所述支撐部升降的裝置。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述保持部具有能夠通過旋轉(zhuǎn)操作而與所述探針卡連結(jié)的連結(jié)部件。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述保持部被安裝在從所述支撐體伸出的能夠伸縮的臂上。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述支撐部的升降裝置具有使所述臂升降的缸體機(jī)構(gòu)；對(duì)向所述缸體機(jī)構(gòu)供給驅(qū)動(dòng)流體的流路進(jìn)行開關(guān)的閥；控制所述驅(qū)動(dòng)流體的壓力的調(diào)節(jié)器；預(yù)先將所述探針卡的重量輸入所述調(diào)節(jié)器的輸入端子；和檢測(cè)所述驅(qū)動(dòng)流體的壓力的壓力傳感器。
15.根據(jù)權(quán)利要求11～14中任一項(xiàng)所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述支撐部的升降裝置被構(gòu)成為在提升所述探針卡的方向上提供輔助力。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述輔助力被構(gòu)成為能夠與所述探針卡的重量對(duì)應(yīng)地改變。
17.根據(jù)權(quán)利要求11～16中任一項(xiàng)所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述保持部具有確認(rèn)所述連結(jié)部件的旋轉(zhuǎn)終端位置的傳感器。
18.根據(jù)權(quán)利要求11～17中任一項(xiàng)所述的檢查設(shè)備，其特征在于附設(shè)在所述檢查裝置中。
19.根據(jù)權(quán)利要求11～18中任一項(xiàng)所述的檢查設(shè)備，其特征在于在所述檢查裝置和搬送所述檢查裝置中使用的探針卡的搬送裝置之間輔助所述探針卡的移載操作時(shí)，介于所述檢查裝置和所述搬送裝置之間。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述搬送裝置是搬送臺(tái)車。
21.一種檢查方法，包括將探針卡搬送至檢查裝置的附近區(qū)域的工序、將所述探針卡搬送至所述檢查裝置的工序、和使所述探針卡與被檢查體接觸從而進(jìn)行電氣檢查的工序，其特征在于將所述探針卡搬送至所述檢查裝置的工序包括保持所述探針卡的工序；使所述探針卡升降的工序；和以某點(diǎn)為中心旋轉(zhuǎn)所述探針卡的工序。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的檢查方法，其特征在于所述檢查裝置配置有多個(gè)，將所述探針卡搬送至所述檢查裝置的附近區(qū)域的工序，利用能夠在沿著所述多個(gè)檢查裝置設(shè)置的通路上移動(dòng)的搬送臺(tái)車搬送所述探針卡。
23.根據(jù)權(quán)利要求21或22所述的檢查方法，其特征在于在使所述探針卡升降的工序之前，具有檢測(cè)有無所述探針卡的工序。
24.根據(jù)權(quán)利要求21～23中任一項(xiàng)所述的檢查方法，其特征在于使所述探針卡升降的工序具有與所述探針卡的重量對(duì)應(yīng)，利用供給至缸體機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)流體，控制使所述探針卡升降的力的工序。
全文摘要
隨著近年來的探針卡(4)的大型化，其重量重達(dá)15～25Kg，所以，例如操作者等為了將探針卡(4)從搬送臺(tái)車上抬起、移載并設(shè)置在卡搬送裝置上，不僅需要很大的力氣，而且在抬起探針卡(4)時(shí)抓住的部分受到限制，操作需要慎重，因此，給操作者帶來過大的負(fù)擔(dān)。本發(fā)明的探針卡移載輔助裝置(55)包括保持探針卡(51)的保持件(551)；前端部上安裝有該保持件(551)的能夠伸縮的臂(552)；支撐該臂(552)的自由旋轉(zhuǎn)的支撐體(553)；根據(jù)重量的不同，通過該支撐體(553)，使探針卡(51)升降的升降驅(qū)動(dòng)裝置(554)。
文檔編號(hào)G01R1/067GK1936594SQ20061013928
公開日2007年3月28日 申請(qǐng)日期2006年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月21日
發(fā)明者長(zhǎng)坂旨俊, 望月智秋 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社