專利名稱：一種準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光電子能譜分析裝置，特別是涉及一種以準連續(xù)或連續(xù)激光為光源的自旋分辨光電子能譜分析裝置。
背景技術(shù)：
材料的磁學(xué)性質(zhì)是由內(nèi)部電子的自旋狀態(tài)決定的。對電子自旋的研究不僅具有重大的科學(xué)意義，更與新興的自旋流和自旋電子學(xué)在信息領(lǐng)域的應(yīng)用密切相關(guān)。自旋分辨光電子能譜作為探測材料中電子自旋狀態(tài)的最直接的實驗手段，無論對自旋電子學(xué)材料的探索，還是對量子自旋流現(xiàn)象和先進材料中眾多的新奇量子現(xiàn)象相關(guān)的物理研究，都具有重要的意義。自旋分辨光電子能譜儀的工作原理是當光輻照到樣品上時，由于光電效應(yīng)，電子將從樣品中逸出。這些光電子經(jīng)過電子能量分析器和莫特自旋探測器后，將獲得能量、動量和自旋的信息。光電子相對于樣品的空間角度，決定了電子的動量信息；光電子通過高電壓加速，轟擊散射靶。由于散射靶采用的是高原子序數(shù)的重金屬，具有強的自旋軌道耦合，因此不同取向的電子將傾向于進入不同的電子放大倍增管而被接收到，從而獲取了自旋的信息。長期以來，由于自旋分辨光電子能譜采用的莫特分析器(Mott Polarimeter)效率很低，測量的信號強度與通常的光電子能譜相比要弱104～105倍。為了獲得足夠強的信號，目前只能采用同步輻射光源，并且在采用同步輻射光源的同時，往往要犧牲能量分辨率以提高計數(shù)率，目前最好的自旋分辨光電子能譜儀的能量分辨率約為100meV。更不利的現(xiàn)狀是，為了進一步增強信號，幾乎所有的測量都是采用角積分的方式，因而失去了角分辨光電子能譜所具有的重要的電子動量信息。這兩大弱點阻礙了目前的光電子能譜技術(shù)同步獲取材料的電子狀態(tài)的全面信息(即能量、動量和自旋)的能力，限制了其在材料和物理研究中的廣泛應(yīng)用。如果以脈沖激光為光源，則難以克服空間電荷效應(yīng)(space charge effect)和鏡像電荷效應(yīng)(mirror charge effect)的影響。
針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，就需要一種改進的，最好是能夠提高能量分辨率，縮短測量所需時間，高效、簡潔、廉價，特別是能同時獲取電子動量信息的自旋分辨光電子能譜分析裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種以準連續(xù)或連續(xù)激光為光源的自旋分辨光電子能譜分析裝置。
為了達到上述目的，本發(fā)明采取如下技術(shù)方案一種準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置，包括真空室，真空室內(nèi)部有用于固定操縱樣品的樣品臺和設(shè)置在所述樣品臺一側(cè)的電子能量分析器和自旋探測器；其特征是，還包括一激光器設(shè)置在所述真空室的激光入口處，激光器發(fā)出的激光經(jīng)過所述入口入射到真空室內(nèi)并入射到樣品臺上的樣品上。
進一步地，照射到樣品上的激光的光子能量高于5電子伏特。
進一步地，所述激光器發(fā)出的激光是準連續(xù)激光或連續(xù)激光；所述的準連續(xù)激光是重復(fù)頻率大于或等于10千赫茲的激光。
進一步地，所述激光器包括全固態(tài)激光器、固體激光器、半導(dǎo)體激光器、氣體激光器、液體激光器、準分子激光器、光纖激光器。
進一步地，還包括在所述激光器的出光光路上安置的用于對激光進行單次變頻的非線性光學(xué)晶體，或激光變頻耦合器，以使照射到樣品上的激光的光子能量高于5電子伏特。
進一步地，所述激光的偏振方式包括非偏振、線偏振、圓偏振或橢圓偏振方式。
進一步地，所述電子能量分析器包括平行板能量分析器，筒鏡能量分析器，半球型分析器，球扇型分析器，飛行時間型分析器或減速場分析器。
進一步地，所述電子能量分析器是對從0eV到5eV的低動能光電子實現(xiàn)角分辨功能的分析器。
進一步地，所述真空室包括由磁屏蔽效應(yīng)材料制成的真空室或內(nèi)有磁屏蔽層的真空室；所述磁屏蔽效應(yīng)材料包括Mu金屬。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是1、本發(fā)明將準連續(xù)或連續(xù)激光應(yīng)用到自旋分辨光電子能譜分析技術(shù)上，提高其能量分辨率、動量分辨率及光子流量。彌補現(xiàn)有光源的不足，減少搭建或使用同步輻射光源的巨大耗費，縮短測量所需時間，從而提供一種高效的測量材料中電子的自旋狀態(tài)的方法。本發(fā)明不僅是開發(fā)了自旋分辨光電子能譜技術(shù)的第三種光源，更重要的是為研究各種材料的精細自旋狀態(tài)提供了一種重要的實驗手段，特別是能夠通過同步獲取能量、動量和自旋這三個物理量來實現(xiàn)對材料的電子狀態(tài)的全面描述。
2、利用準連續(xù)或連續(xù)激光來彌補現(xiàn)有光源的不足，減少搭建或使用同步輻射光源的巨大耗費，縮短測量所需時間，從而提供一種高效、簡潔、廉價的測量材料的精細自旋狀態(tài)甚至全面描述材料中的電子狀態(tài)的裝置。


圖1為本發(fā)明實施例1的準連續(xù)激光自旋分辨光電子譜分析裝置示意圖；圖2為本發(fā)明實施例2的連續(xù)激光自旋分辨光電子譜分析裝置示意圖；圖3為本發(fā)明實施例5的準連續(xù)激光自旋分辨光電子譜分析裝置示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步詳細描述實施例1按圖1制作本發(fā)明的一準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子譜分析裝置，包括真空室10，真空室10內(nèi)部有用于固定樣品11的樣品臺12和設(shè)置在所述樣品臺12一側(cè)的電子能量分析器13和自旋探測器14；一激光器15設(shè)置在所述真空室10的激光入口(圖中未示出)處，使激光器15發(fā)出的激光經(jīng)過所述入口入射到真空室10內(nèi)并入射到樣品室12內(nèi)的樣品11上。
下面對本實施例中的各部分進行詳細描述激光器14是193nm(納米)全固態(tài)激光器，發(fā)出的激光光子能量是6.42eV(電子伏)，發(fā)出準連續(xù)激光的重復(fù)頻率為10千赫茲。
真空室是有允許激光入射的激光入口，將固定有樣品11的樣品臺12和設(shè)置在所述樣品臺12一側(cè)的電子能量分析器13都設(shè)置在真空室中后，抽成真空，真空度優(yōu)于10-7帕斯卡。
樣品為單晶或薄膜材料；將樣品的待檢測的表面與激光入射的夾角介于0-90度之間的任一角度；
樣品臺由良好導(dǎo)熱導(dǎo)電材料如無氧銅加工而成，可以具備平移和轉(zhuǎn)動功能，也可以在從室溫到毫K(開爾文)的寬溫區(qū)工作；電子能量分析器采用商用產(chǎn)品，為飛行時間型分析器，該分析器放置在可以接收到逸出電子的任意位置。
自旋探測器采用商用的莫特自旋探測器。
本實施例的的準連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置的工作過程為激光器輸出的準連續(xù)激光作為自旋分辨光電子譜儀的光源，入射到自旋分辨光電子譜儀的真空室，照射到樣品上，材料中的電子由于光電效應(yīng)會逃逸樣品，并被自旋分辨光電子譜儀中的電子能量分析器和自旋探測器接收和分析，電子能量分析器以或者角積分或者角分辨或者角積分和角分辨的模式工作，提供具有超高的能量分辨率(優(yōu)于10meV)和自旋分辨率的光電子能譜數(shù)據(jù)，實現(xiàn)研究電子的自旋狀態(tài)的目的。結(jié)合角分辨光電子能譜分析技術(shù)，可以同步獲取能量、動量和自旋這三個物理量，實現(xiàn)對材料的電子狀態(tài)的全面描述。
實施例2在實施例1的基礎(chǔ)上，按圖2制作本發(fā)明的一連續(xù)激光自旋分辨光電子譜分析裝置激光器14是457.9nm的氣體激光器，發(fā)出的激光光子能量是2.7eV，發(fā)出的激光是連續(xù)輸出的。在激光器的出光光路上放置非線性光學(xué)晶體20，以及第一腔鏡21和第二腔鏡22，用于對激光器輸出的連續(xù)激光實現(xiàn)腔內(nèi)倍頻(變頻)，獲得光子能量為5.4eV的連續(xù)激光，入射到樣品上。非線性光學(xué)晶體20是偏硼酸鋇(BBO)晶體。電子能量分析器采用市場所售產(chǎn)品，為球扇型分析器。
其它與實施例1相同。
實施例3按圖2制作本發(fā)明的一連續(xù)激光自旋分辨光電子譜分析裝置，將實施例2中的非線性光學(xué)晶體20由非線性光學(xué)晶體激光變頻耦合器替代。非線性光學(xué)晶體激光變頻耦合器是使用非線性光學(xué)晶體與棱鏡結(jié)合，以應(yīng)用于激光變頻的裝置。非線性光學(xué)晶體激光變頻耦合器中的非線性光學(xué)晶體為KBe2BO3F2(KBBF，potassiumdifluo-diberryllo-borate)晶體，棱鏡是45°直角棱鏡。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)公知技術(shù)完成該變頻耦合器，參見專利ZL01115313.X。這樣同樣可以獲得光子能量為5.4eV的連續(xù)激光。
其它與實施例2相同。
實施例4在實施例2的基礎(chǔ)上，按圖2制作本發(fā)明的一連續(xù)激光自旋分辨光電子譜分析裝置，將實施例2中的電子能量分析器用減速場分析器替代。自旋探測器由莫特自旋探測器替代。
其它同實施例2。
實施例5按圖3制作本發(fā)明的一真空紫外激光自旋分辨光電子譜分析裝置激光器15為固體激光器，輸出的波長為354.7nm的準連續(xù)(重復(fù)頻率80M赫茲)激光，通過由對入射激光有高反射率的光學(xué)晶體制成的鍍有增反膜的第一反光鏡41和第二反光鏡42，本實施例中反光鏡采用石英材料制成；由對入射激光有高透射率的光學(xué)材料做成的第一聚焦鏡30把激光會聚，此處采用石英材料做成聚焦透鏡；經(jīng)由對入射激光有高透射率的光學(xué)材料做成的窗口(此處采用石英)43進入密封裝置44，此密封裝置可以充入對真空紫外不吸收或吸收低的惰性氣體如氮氣。入射到由KBe2BO3F2(KBBF，potassium difluo-diberryllo-borate)非線性光學(xué)晶體制成的激光變頻耦合器45上，產(chǎn)生的波長為177.3nm的倍頻激光，該激光為線偏振激光，經(jīng)過由石英做成的鍍增反膜的第三反光鏡46和第四反射鏡47反射后，由CaF2做成的第二聚焦鏡31聚焦，通過由CaF2制成的窗口48進入光電子譜儀的真空室10，真空室10直接由Mu金屬制成，使得樣品處的剩余磁場小于10mOe(毫奧斯特)。177.3nm的激光照射到樣品11上，材料中的電子由于光電效應(yīng)會逃逸樣品，并被自旋光電子譜儀中的電子能量分析儀13和莫特自旋探測器14接收和分析。電子能量分析器13是半球型分析器，通過優(yōu)化其電子光學(xué)參數(shù)使得能夠?qū)Φ蛣幽芄怆娮訉崿F(xiàn)角分辨功能，通過改進其機械加工精度，使得電子噪聲得以減少。電子能量分析儀13既可以以角分辨模式工作也可以以角積分模式工作，經(jīng)測試分析實現(xiàn)研究電子的自旋狀態(tài)的目的。結(jié)合角分辨光電子能譜分析技術(shù)，還可以同步獲取能量、動量和自旋這三個物理量，實現(xiàn)對材料的電子狀態(tài)的全面描述。
最后所應(yīng)說明的是，以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非限制。通過參照實施例對本發(fā)明進行的詳細說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當理解，對本發(fā)明的技術(shù)方案進行修改或者等同替換，比如激光器15可以用滿足技術(shù)方案要求的各種激光器替代，又如電子能量分析器13也可以用其他完成相同功能的分析器替代，都不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的精神和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍當中。
權(quán)利要求
1.一種準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置，包括真空室，真空室內(nèi)部有用于固定操縱樣品的樣品臺和設(shè)置在所述樣品臺一側(cè)的電子能量分析器和自旋探測器；其特征是，還包括一激光器設(shè)置在所述真空室的激光入口處，激光器發(fā)出的激光經(jīng)過所述入口入射到真空室內(nèi)并入射到樣品臺上的樣品上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置，其特征是，照射到樣品上的激光的光子能量高于5電子伏特。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置，其特征是，所述激光器發(fā)出的激光是準連續(xù)激光或連續(xù)激光；所述的準連續(xù)激光是重復(fù)頻率大于或等于10千赫茲的激光。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置，其特征是，所述激光器包括全固態(tài)激光器、固體激光器、半導(dǎo)體激光器、氣體激光器、液體激光器、準分子激光器或光纖激光器。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置，其特征是，還包括在所述激光器的出光光路上安置的用于對激光進行單次變頻的非線性光學(xué)晶體，或激光變頻耦合器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置，其特征是，進一步地，所述激光的偏振方式包括非偏振、線偏振、圓偏振或橢圓偏振。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置，其特征是，所述電子能量分析器包括平行板能量分析器，筒鏡能量分析器，半球型分析器，球扇型分析器，飛行時間型分析器或減速場分析器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置，其特征是，所述電子能量分析器是對從0eV到5eV的低動能光電子實現(xiàn)角分辨功能的分析器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置，其特征是，所述真空室包括由磁屏蔽效應(yīng)材料制成的真空室或具有磁屏蔽層的真空室。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置，其特征是，所述磁屏蔽效應(yīng)材料包括Mu金屬。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種準連續(xù)或連續(xù)激光自旋分辨光電子能譜分析裝置，包括真空室，真空室內(nèi)部有用于固定操縱樣品的樣品臺和設(shè)置在所述樣品臺一側(cè)的電子能量分析器和自旋探測器；其特征是，還包括一激光器設(shè)置在所述真空室的激光入口處，激光器發(fā)出的激光經(jīng)過所述入口入射到真空室內(nèi)并入射到樣品臺上的樣品上，照射到樣品上的激光的光子能量高于5電子伏特；所述激光器發(fā)出的激光是準連續(xù)激光或連續(xù)激光。本發(fā)明的優(yōu)點在于提高能量分辨率、動量分辨率，是一種高效、簡潔、廉價的測量材料精細自旋狀態(tài)甚至全面描述材料中的電子狀態(tài)的裝置。
文檔編號G01R33/00GK101038330SQ200610169689
公開日2007年9月19日 申請日期2006年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月27日
發(fā)明者周興江, 陳創(chuàng)天, 許祖彥, 劉國東, 朱鏞, 王桂玲, 張國春, 張鴻博, 王曉陽, 周勇, 張文濤, 劉海云, 趙林, 孟建橋, 董曉莉 申請人:中國科學(xué)院物理研究所, 中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所