專利名稱:測試準(zhǔn)備rf集成電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種測試準(zhǔn)備(testprepared)集成電路,特別地,涉 及一種集成電路,具有例如用于處理高頻信號(例如微波信號)的本 地振蕩器電路和混頻電路的元件。本發(fā)明還涉及這種集成電路的測試方法。
背景技術(shù):
R. Nelson于4/1/2002在Test and MeasuRFment world出版的文章 "RF test join SOC ATE"中描述了對包含RF電路和邏輯電路的混合的 集成電路的測試。半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)技術(shù)的當(dāng)前的工藝水平使得生 產(chǎn)具有處理RF信號的綜合能力的集成電路逐漸成為可能。這里所使 用的"RF",泛指那些具有用于無線傳輸?shù)念l率(例如,lOGHz以上的 微波波段)的信號,但也指較低頻率的波段。RF電路的主要測試包括將該電路在正常運(yùn)行過程中所將要使 用的頻率的RF信號應(yīng)用于電路,或者,在該電路產(chǎn)生這些信號后對 這些信號進(jìn)行測量。另一方面, 一般是通過以低得多的頻率施加邏輯 測試圖案并觀測測試響應(yīng)來測試集成電路的邏輯函數(shù)。用于后一類測 試的測試設(shè)備在大多數(shù)集成電路生產(chǎn)設(shè)施中一般是標(biāo)準(zhǔn)化的,并且被 用于幾乎所有更復(fù)雜的數(shù)字集成電路。另一方面,用于RF測試的設(shè) 備并非是可廣泛利用的,這意味著,如果必須要制造和測試具有RF 電路的集成電路,就有可能需要額外的投資。發(fā)明內(nèi)容特別地,本發(fā)明的目的是提供一種測試準(zhǔn)備集成電路,其有利于 RF電路元件的測試,而不必使用專門的RF測試設(shè)備。 本發(fā)明提供根據(jù)權(quán)利要求1的測試準(zhǔn)備集成電路。在測試過程中, 該集成電路使用測試控制輸入來控制用具有分頻的信號代替本地振蕩 器信號。優(yōu)選地,該集成電路包括具有分頻器電路的測試功能塊,其 中,該分頻器電路正是出于此目的而提供的。優(yōu)選地,在正常運(yùn)行過 程中,這個電路是被禁用的。測試控制輸入可以是集成電路的專用引 腳,其與實(shí)現(xiàn)該替換的測試控制塊相連??蛇x地,測試控制輸入可以是來自該集成電路中的測試控制電路的內(nèi)部線路(internal line),該測試控制電路是掃描測試接口的一部分,例如用于產(chǎn)生控制替換的控制 信號,或者,該測試控制輸入可以來自該集成電路中的其它命令接口 電路。在一個實(shí)施例中,集成電路包括正交混頻電路(quadrature mixing circuit)。在這個實(shí)施例中,在混頻電路中,可以在本地振蕩器的I和 Q輸入處替換分頻器電路的輸出信號。在另一個實(shí)施例中,提供切換 電路,以將正交的本地振蕩器的輸出信號的相位關(guān)系的干擾最小化。本發(fā)明還提供一種測試方法,其中,分頻的本地振蕩器信號代替 本地振蕩器信號,以低于在正常(非測試)運(yùn)行過程中提供給混頻電 路的頻率而被施加于該混頻電路。
下面,將使用附圖中所示出的實(shí)施例來描述本發(fā)明的這些及其它 目的和優(yōu)點(diǎn)。圖1示意性地示出了測試準(zhǔn)備集成電路。圖2示出了測試功能塊的實(shí)施例。圖3示出了測試環(huán)境。圖4示意性地示出了測試準(zhǔn)備集成電路。圖5-7示出了測試功能塊的其它實(shí)施例。圖8示意性地示出了測試準(zhǔn)備集成電路。
具體實(shí)施方式
圖1示意性地示出了測試準(zhǔn)備集成電路10。集成電路10包括RF5頻電路14、 IF放大器電路16、本地振蕩器電路18 及測試功能塊100。集成電路10的輸入端11與RF放大器電路12的 輸入相連。RF放大器電路12的輸出與混頻電路14的第一輸入相連。 混頻電路14的輸出與IF放大器電路16的輸入相連,IF放大器電路 16的輸出與集成電路10的輸出端19相連。在另一實(shí)施例中,集成電 路IO可以是RF產(chǎn)生電路,其中,放大器電路12是IF放大器電路而 放大器電路16是RF放大器電路。本地振蕩器電路18的輸出與測試 功能塊100的信號輸入相連,而測試功能塊100的輸出與混頻電路14 的第二輸入相連。本地振蕩器電路18具有與集成電路10的輸入端17 相連的控制輸入。測試功能塊100具有與集成電路10的測試端102 相連的控制輸入。圖2示出了測試功能塊100。測試功能塊100包括分頻器電路32 和多路復(fù)用電路30。測試功能塊IOO與本地振蕩器電路(未示出)相 連,測試功能塊100的輸入34與分頻器電路30的輸入以及多路復(fù)用 電路32的第一輸入相連。分頻器電路30的輸出與多路復(fù)用電路32 的第二輸入相連。多路復(fù)用電路32的輸出與混頻電路(未示出)的第 二輸入相連。集成電路的測試端102與多路復(fù)用電路32的控制輸入以 及分頻器電路30的啟用輸入相連。圖3示出了測試環(huán)境,其包括測試控制裝置40、測試信號發(fā)生器 42、接收電路44和待測試的集成電路10。測試控制裝置40的輸出與 測試信號發(fā)生器42、待測試的集成電路10以及接收電路44相連。測 試信號發(fā)生器與待測試的集成電路10的輸入端11相連。待測試的集 成電路10的輸出端19與接收電路44相連。此處所使用的術(shù)語RF (射頻)和IF (中頻)不應(yīng)視為僅限于特 殊的頻帶。典型地,RF是指被用于與包括集成電路10的裝置進(jìn)行無 線傳輸?shù)念l率,而IF是指在RF信號的接收或產(chǎn)生過程中在裝置內(nèi)部 使用的輔助的較低頻率(典型地,高于邏輯信號的頻率,但是在直接 變換電路中,IF波段可以接近零頻率)。在正常運(yùn)行過程中,測試功能塊100從本地振蕩器電路18向混 頻電路14傳遞信號。分頻器電路32被禁用,而多路復(fù)用電路30被使
得從它的第一輸入(即,直接從本地振蕩器電路18)傳遞信號。例如,這可以通過下列方式得到保證將集成電路10安裝在具有導(dǎo)電帶(conductor track)的集成電路板上,該導(dǎo)電帶被設(shè)置用來向測試端 102施加對應(yīng)于"非測試"的電壓;或者將該端焊接(bond)在集成電 路10中以施加"非測試"信號。如圖4所示,在測試過程中,集成電路暫時與測試控制裝置40、 測試信號發(fā)生器42以及接收電路44相連。于是,測試控制裝置40 向測試端102施加控制信號,以控制測試功能塊100在混頻電路14 的第二輸入處替換本地振蕩器信號的分頻版本。分頻器電路30以預(yù)定 的系數(shù)對來自本地振蕩器18的信號進(jìn)行分頻。選擇所述系數(shù),使得就接收機(jī)集成電路10來說,當(dāng)將具有比正 常頻率低的頻率的輸入信號施加于RF放大器電路12時,混頻電路14 產(chǎn)生位于IF放大器電路16的正常頻率波段內(nèi)的IF信號。優(yōu)選地,該 系數(shù)使得在測試過程中,所要求的輸入信號的頻率位于半導(dǎo)體制造場 所可用的常規(guī)測試信號發(fā)生器42的頻帶內(nèi)。當(dāng)前,舉例來說,已有產(chǎn)生頻率大約為3.5 GHz的信號的發(fā)生器, 這樣,對Ku-波段衛(wèi)星接收機(jī)電路(輸入頻率在10.7到12.75 GHz的 范圍內(nèi)且IF頻率大約為lGHz)來說,分頻系數(shù)4可以被用于意欲工 作在本地振振蕩器頻率大約為9.75 GHz的集成電路中。對接收頻率大 約為24GHz的輸入信號的集成電路10來說,在測試過程中,分頻系 數(shù)8乃至16可以被用于本地振蕩器信號,這樣,在測試過程中可以使 用頻率大約在1.5到3 GHz范圍內(nèi)的輸入信號。在這種情況下,有必 要采取措施來避免那些由于混頻器14的直接注入而引起的問題,例 如,通過將用于這些頻率的濾波器電路包括在測試設(shè)置中。然而,顯 然也可以使用其它的分頻系數(shù),這取決于可利用的測試信號發(fā)生器和 本地振蕩器電路18的正常工作頻率。類似地,就具有RF輸出的集成電路10來說,混頻電路14產(chǎn)生 位于半導(dǎo)體制造場所可用的接收電路44的正常頻率波段內(nèi)的RF信 號??梢允褂门c接收集成電路相似的分頻系數(shù)。圖4示出了另一個集成電路50,其中,通過將自輸入放大器52
的輸入信號與本地振蕩器電路58的兩個正交輸出信號混合,混頻電路 54a、 b產(chǎn)生正交信號。典型地,集成電路50是接收機(jī)電路,這樣, 它的輸入放大器52是RF放大器,而位于混頻器54a、 b的輸出處的 輸出放大器56a、 b是IF放大器。但是可選地,輸入放大器52也可以 是RF放大器而輸出放大器56a、 b是RF放大器。在每一種情況下, 來自集成電路50中的本地振蕩器電路58的本地振蕩器信號都要通過 集成電路50中的測試功能塊500。圖5示出了測試功能塊500的第一實(shí)施例,其用在圖4的集成電 路中。測試功能塊500具有用于各個本地振蕩器信號的第一和第二輸 入61a、 b以及用于向各個混頻電路(未示出)施加信號的兩個輸出 66a、 b。測試功能塊500包括分頻器電路60以及第一和第二多路復(fù)用 電路62a、 b。輸入61a、 b分別與第一和第二多路復(fù)用電路62a、 b的 第一輸入相連。第一輸入61a與分頻器電路60的輸入相連,分頻器電 路60的輸出與第一和第二多路復(fù)用電路62a、 b的第二輸入相連。測 試控制輸入102與第一和第二多路復(fù)用電路62a、 b的控制輸入相連, 也與分頻器電路60的啟用輸入相連。在正常運(yùn)行過程中,將測試控制信號施加于測試控制輸入102, 使得第一和第二多路復(fù)用電路62a、 b傳遞來自本地振蕩器電路58的 信號而禁用分頻器電路60。在測試運(yùn)行過程中,施加測試控制信號以 啟用分頻器電路60并使得第一和第二多路復(fù)用電路62a、 b向混頻電 路54a、 b傳遞來自分頻器電路60的分頻信號。可以理解,這個實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了在正交電路(quadrature circuit)的 測試過程中,RF信號的頻率較低的優(yōu)點(diǎn)。圖6示出了測試功能塊500的第二實(shí)施例,其用在圖4的集成電 路中。這里,額外的輸入開關(guān)70a、 b被加入集成電路50中,在輸入 61a、 b之間,其一方面用于接收來自本地振蕩器電路(未示出)的信 號,另一方面用于接收來自分頻器電路60和多路復(fù)用電路62a、 b的 信號。第一輸入開關(guān)70a的第一輸出與第一多路復(fù)用器62a的第一輸 入相連,而第一輸入開關(guān)70a的第二輸出與分頻器電路60的輸入相連。 第二輸入開關(guān)70b的第一輸出與第二多路復(fù)用器62a的第一輸入相連。
試驗(yàn)功能塊包括負(fù)載電路72,負(fù)載電路72與第二輸入開關(guān)70b的第 二輸出相連。設(shè)置負(fù)載電路72,以在分頻器電路60被禁用的情況下 提供與分頻器電路60阻抗相近的阻抗。輸入開關(guān)70a、 b具有與測試 控制輸入102相連的控制輸入。在運(yùn)行過程中,當(dāng)測試控制信號指示運(yùn)行正常時,輸入開關(guān)70a、 b將輸入61a、 b與多路復(fù)用電路62a、 b的第一輸入相連;當(dāng)測試控 制信號指示運(yùn)行測試過程時,輸入開關(guān)70a、 b將輸入61a、 b分別與 分頻器電路60和負(fù)載電路72相連。圖6的實(shí)施例使測試功能塊500 所引入的負(fù)載與本地振蕩器電路58相等,以將本地振蕩器電路58的 輸出處的信號的正交關(guān)系的干擾最小化。應(yīng)該注意,在測試過程中,測試功能塊500的兩個實(shí)施例均向混 頻電路54a、 b施加同相的本地振蕩器信號。典型地,如果在測試過程 中可以分別監(jiān)視輸出放大器56a、 b的輸出,則這并不是問題。所需的 電路開銷是最小的,這是因?yàn)閮H需要一個額外的分頻器電路60以用于 領(lǐng)lj試。圖7示出了另一備選方案,其中,分頻器電路用于產(chǎn)生正交輸出 信號,并將這些信號分別施加到第一和第二多路復(fù)用電路62a、 b的第 二輸入。這樣,可以使用正交信號來測試集成電路。如果集成電路還 包括將輸出放大器56a、 b的輸出信號組合的其它電路(未示出),則 對測試這些其它電路來說,使用正交信號來測試集成電路是有利的, 或者,如果必須對由于混頻電路54a、 b的輸出信號之間的交叉效應(yīng)而 出現(xiàn)的故障進(jìn)行測試,則使用正交信號來測試集成電路也是有利的。在另一個實(shí)施例中,用于正交電路的測試功能塊500包括一對如 圖2所示的測試功能塊,每一個都連接在本地振蕩器電路58的各個輸 出與相應(yīng)混頻電路54a、 b的輸入之間。這需要更多的開銷,但是允許 對本地振蕩器電路58的兩個輸出進(jìn)行測試。作為備選方案,在測試過 程中,輸入復(fù)用電路(未示出)可被用來在另一測試控制信號的控制 下將本地振蕩器電路58的任意一個輸出與分頻器電路62的輸入相連。任何已知的分頻器電路都可以被用于分頻器電路30、60。優(yōu)選地, 例如,它們實(shí)現(xiàn)為1: 2分頻電路鏈。優(yōu)選地,分頻系數(shù)是2的冪,這 是因?yàn)?,這樣的系數(shù)可以以最小電路開銷(及分頻器電路中的故障風(fēng) 險最小)的最高頻率而實(shí)現(xiàn)。實(shí)際上,具有正交輸出的分頻器電路本 來就是已知的。例如,可以并行使用對相互反向的信號躍變做出反應(yīng) 的h 2分頻電路,作為l: 2分頻電路鏈的末級。優(yōu)選地,使用可控開關(guān)來實(shí)現(xiàn)復(fù)用電路30及62a、 b電路,該可 控開關(guān)將所選擇的輸入連接至所選擇的復(fù)用電路30及62a、b的輸出, 以使電流從所選擇的輸入流向所選擇的輸出??蛇x地,例如,選擇性 啟用的緩沖器電路可以被用在復(fù)用電路30及62a、 b中。本地振蕩器電路18、 28和58可以是已知的任意類型??梢允褂?頻率合成電路,例如,具有鎖相環(huán)的電路,其中,本地振蕩器信號的 頻率由可編程系數(shù)分頻,并且,該分頻信號鎖定在基準(zhǔn)信號上。在實(shí) 施例中,被用于測試目的分頻器電路32是這樣的頻率合成器的一部 分,優(yōu)選地是分頻器的前部分,其將振蕩器頻率分頻以供給相位檢測 器。這種情況下,復(fù)用電路30提供了這種頻率合成電路的內(nèi)部節(jié)點(diǎn)與 混頻電路14之間的額外連接,在測試控制信號的控制之下將該額外連 接激活。在其它實(shí)施例中,可以使用分頻器電路,其也可以在正常運(yùn) 行的過程中向混頻電路14提供信號,其中,響應(yīng)于測試控制信號,使 用測試控制輸入來激活來自分該頻器電路的連接。在實(shí)施例中,經(jīng)由集成電路的專用測試控制引腳或焊盤(bonding pad)直接(即,不通過那些用來確定是否向測試功能塊IOO傳遞控制 信號的其它電路)向測試功能塊提供測試控制信號。可選地,可以經(jīng) 由集成電路的命令總線來提供測試控制信號。圖8示出了包括測試控制電路80和信號處理電路82的實(shí)施例。 測試控制電路80與集成電路的測試接口引腳(如具有測試數(shù)據(jù)輸入引 腳TDI、測試數(shù)據(jù)輸出引腳TDO、測試時鐘引腳TCK、測試模式選擇 引腳TDS和復(fù)位引腳TRST的掃描測試接口)相連。測試控制電路 80本來就是已知的,另外為人熟知的是,設(shè)計這樣的電路,以響應(yīng)于 從測試數(shù)據(jù)引腳接收到的數(shù)據(jù)、或響應(yīng)于由測試模式選擇信號控制的 狀態(tài)開關(guān),來輸出控制信號。在實(shí)施例中,這樣的控制信號被用來控 制測試功能塊100,或控制正交電路的測試功能塊。因此,無需專用10
引腳來控制測試功能塊100所進(jìn)行的測試??蛇x地,集成電路的某些命令接口 (例如已知的12C接口)可被用來提供測試控制信號,或可以設(shè)置集成電路,使得當(dāng)其切換至測試模式時,通常被用于某個功能 目的的集成電路的任何端子都被用作集成電路的控制輸入。信號處理電路82可以被包括在集成電路內(nèi),用于例如通過進(jìn)一 步混頻和/或數(shù)據(jù)檢測來處理混頻電路14的輸出信號。在這種情況下, 優(yōu)選地,在用于測試的集成電路的焊接片或引腳處提供來自混頻電路 14的直接輸出19,以允許在測試過程中對混合信號進(jìn)行頻譜分析。此 外(或者可選地),在測試過程中,所獲取的來自信號處理電路82的 測試數(shù)據(jù)可以經(jīng)由測試接口而被饋入測試控制電路80,以用于輸出。在RF發(fā)生器的集成電路中,可以在混頻電路14之前提供信號處 理電路,而且,類似地,該信號處理電路可以與測試控制電路80相連, 以控制產(chǎn)生不同的用于測試的IF信號。優(yōu)選地,除了向測試功能塊100和500施加測試控制信號之外, 測試控制裝置40還被設(shè)置為向本地振蕩器電路18、28和58的控制輸 入施加各種控制信號,以選擇不同的本地振蕩器輸出頻率。這樣,通 過監(jiān)視混頻電路14、 24和54產(chǎn)生的輸出信號,可以測試本地振蕩器 電路18、 28和58對這種控制信號的響應(yīng)。例如,接收電路44包括頻譜分析儀,以用于測量集成電路的輸 出信號的頻譜性質(zhì)。測試控制裝置40接收這個測量結(jié)果,并且,如果 結(jié)果在預(yù)定范圍之內(nèi),則產(chǎn)生正的測試結(jié)果信號,否則,產(chǎn)生負(fù)的測 試結(jié)果信號。雖然這里已經(jīng)示出了只接收一個輸入信號(RF或IF)的集成電 路的例子,但可以理解的是,本發(fā)明可以被應(yīng)用于接收多個信號的集 成電路,例如,實(shí)現(xiàn)接收機(jī)(RF進(jìn)IF出)和發(fā)生器(IF進(jìn)RF出) 的集成電路,它們可能具有公共的本地振蕩器電路或者處理IF信號以 便只輸入和/或輸出數(shù)據(jù)信號的電路。在這種情況下,可以規(guī)定當(dāng)集 成電路被切換到測試模式時,以所述方式對所有的混頻電路進(jìn)行測試。 可選地,可以一個接一個地對混頻電路進(jìn)行測試。
權(quán)利要求
1.一種可切換到正常運(yùn)行模式和測試模式的測試準(zhǔn)備集成電路(10),所述測試準(zhǔn)備集成電路(10)包括-用于提供測試控制信號的測試控制輸入(102),該測試控制信號指示集成電路(10)應(yīng)運(yùn)行在正常運(yùn)行模式下還是測試模式下;-具有本地振蕩器輸出的本地振蕩器電路(18,58);-混頻電路(14,54a);-分頻器電路(32,60),輸入與本地振蕩器輸出以及分頻器輸出相連;-復(fù)用電路(30,62ab),信號輸入與本地振蕩器輸出以及分頻器輸出相連,輸出與混頻電路(14)相連,復(fù)用電路(30,62ab)還具有與測試控制輸入(102)相連的控制輸入,復(fù)用電路(30,62ab)被設(shè)置成在正常運(yùn)行模式下將本地振蕩器輸出與混頻電路(14)相連,而在測試模式下將分頻器輸出代替本地振蕩器輸出與混頻電路(14)相連。
2. 如權(quán)利要求1所述的測試準(zhǔn)備集成電路(10),其中,本地振 蕩器電路(58)除了所述本地振蕩器輸出之外還具有正交輸出,集成 電路(10)包括另一混頻電路(54b),所述另一復(fù)用電路(54b)具有 與該正交輸出相連的另一輸入和與另一混頻電路(54a)相連的另一輸 出,復(fù)用電路(62ab)被設(shè)置成在正常運(yùn)行模式下將正交輸出與所述 另一混頻電路相連,而在測試模式下將分頻輸出信號從分頻器電路傳 送至混頻電路。
3. 如權(quán)利要求2所述的測試準(zhǔn)備集成電路,其中,分頻器電路 (60)除了分頻器輸出之外還具有正交分頻器輸出,分頻器電路(60)被設(shè)置成在該分頻器輸出處和該正交分頻器輸出處根據(jù)公共本地振蕩 器信號產(chǎn)生正交關(guān)系的分頻信號,復(fù)用電路(62ab)具有與正交分頻 器輸出相連的第二輸入,復(fù)用電路(62ab)從該正交分頻器輸出中導(dǎo) 出用于所述另一混頻電路(54b)的輸出信號。
4. 如權(quán)利要求2所述的測試準(zhǔn)備集成電路,其中,從分頻器輸 出導(dǎo)出分頻的輸出信號,以用于混頻電路(54a)和所述另一混頻電路(54b)兩處的替換。
5. 如權(quán)利要求2所述的測試準(zhǔn)備集成電路,包括 -具有端子的負(fù)載電路(72);-切換電路(70a-b),第一端與本地振蕩器輸出以及正交輸出相 連,第二端與分頻器電路(60)的輸入、負(fù)載電路(72)的端子以及 復(fù)用電路(62a、 b)的信號輸入相連,控制輸入與測試控制輸入(102) 相連,切換電路(70a-b)被設(shè)置成在正常運(yùn)行模式下將本地振蕩器輸 出以及正交輸出與復(fù)用電路(62ab)的信號輸入相連,而在測試模式 下將本地振蕩器輸出以及正交輸出分別與分頻器電路(60)的輸入以 及負(fù)載電路(72)的端子相連。
6. 如權(quán)利要求1所述的測試準(zhǔn)備集成電路,其中,分頻器電路 (32, 60)具有與測試控制輸入(102)相連的禁用輸入,并且分頻器電路(32, 60)被設(shè)置成在正常運(yùn)行模式下禁止對本地振蕩器信號進(jìn) 行分頻。
7. —種集成電路(10)的測試方法,集成電路(10)包括混頻 電路(14, 54a)和本地振蕩器電路(18, 58),該測試方法包括-將集成電路(10)附在測試裝置(40)上;-將集成電路(10)切換到測試配置,其中,集成電路(10)中 的分頻器電路(32, 60)將本地振蕩器信號分頻至低于集成電路(10) 中的本地振蕩器(18, 58)的正常運(yùn)行范圍的頻率,并且將分頻的本 地振蕩器信號代替本地振蕩器信號施加到混頻電路(14, 54a);-在將分頻的本地振蕩器信號施加于混頻電路(14, 54a)期間, 測量從混頻電路(14, 54a)導(dǎo)出的信號的性質(zhì)。
8. 如權(quán)利要求7所述的方法,其中,從混頻電路(14, 54a)導(dǎo) 出的信號是頻率下轉(zhuǎn)換的IF信號。
9. 如權(quán)利要求7所述的方法,其中,從混頻電路(14, 54)導(dǎo) 出的信號是頻率上轉(zhuǎn)換的RF信號。
全文摘要
一種集成電路(10),包括混頻電路(14,54a)和本地振蕩器電路(18,58)。在測試過程中,集成電路(10)中的分頻器電路(32,60)將本地振蕩器信號分頻至低于本地振蕩器(18,58)的正常運(yùn)行范圍的頻率。在測試過程中,集成電路向混頻電路(14,54a)施加分頻的本地振蕩器信號,而不是本地振蕩器信號。在將分頻的本地振蕩器信號施加于混頻電路(14,54a)期間,測量從混頻電路(14,54a)導(dǎo)出的信號的性質(zhì)。
文檔編號G01R31/317GK101151545SQ200680010496
公開日2008年3月26日 申請日期2006年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月30日
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