專利名稱：裝備有用于延伸激光束截面的光學裝置的光熱檢驗攝影機的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種光熱檢驗(examination)攝影機，包括
用于成形激光束的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括用于延伸光束截面(section) 的裝置，以在待檢驗物件表面形成沿一個方向延伸的加熱區(qū)域，
紅外探測器矩陣，其探測從與加熱區(qū)域相關的所述物件表面上的探 測區(qū)域發(fā)出的紅外射線，以及
用于處理由紅外探測器供應的信號的單元，以經(jīng)過加熱區(qū)域掃描所 述表面來構(gòu)造所述物件表面的溫度記錄影象。
背景技術：
本發(fā)明特別適用于物件的非破壞性檢測，用以探測缺陷、材料的特性或 性質(zhì)的不同、鍍層厚度的差異，以及在其表面上或其下部的熱擴散率或傳導 率的局部差異等等。
待檢驗物件可以是金屬的，包括例如不銹鋼之類的合金鋼等含鐵材料， 或不含鐵的材料。待檢驗物件也可以由合成材料、陶瓷或塑料制成。
光熱檢驗是基于對所述待檢驗物件進行局部加熱產(chǎn)生的熱擾動的擴散 現(xiàn)象。
實際中，利用光熱攝影機在加熱區(qū)域內(nèi)發(fā)出激光束，所述激光束聚 焦在所檢驗的物件表面。
所述物件在毗鄰或包含加熱區(qū)域的探測區(qū)域內(nèi)發(fā)出的紅外射線，由 于在加熱區(qū)域內(nèi)加熱而使探測區(qū)域的溫度上升，以便其被測量或估量。
所述加熱區(qū)域和探測區(qū)域之間的間距，通常稱為"偏移量"。此偏 移量可以為零，從而探測區(qū)域和加熱區(qū)域在此情況下重合。
應用探測器諸如紅外探測器，能夠無需接觸地測量紅外射線進而測量溫 度升高。
所探測的材料的局部特征影響著探測區(qū)域內(nèi)的紅外射線或溫度的升高。
特別地，作為探測區(qū)域溫度升高的原因，加熱區(qū)域和探測區(qū)域之間的熱擴散 受所檢驗的物件中諸如裂縫等缺陷的影響，所述缺陷位于加熱區(qū)域或探測區(qū) 域的范圍內(nèi)，或兩者的附近區(qū)域。
經(jīng)過加熱區(qū)域掃描待檢驗的物件表面，以及探測從在掃描期間內(nèi)隨 著加熱區(qū)域移動的探測區(qū)域發(fā)出的射線，可以獲得所述物件表面上的溫 度記錄圖象，該圖象顯示物件內(nèi)的熱擴散率不同或物件中存在的缺陷。
先前，利用選定的加熱區(qū)域和單獨的紅外探測捕捉探測區(qū)域發(fā)出的 射線，該探測區(qū)域亦為特別選定的區(qū)域。因而需要利用機械裝置非常精 確地調(diào)整探測區(qū)域和加熱區(qū)域之間的偏移量。此外，對物件表面掃描非 常漫長，使這種類型的光熱檢驗過程不能在當前的工業(yè)規(guī)模下投入使用。
為克服這些缺陷，F(xiàn)R-2760528 (US-6419387)提出一種前述類型的攝影 機。
通過產(chǎn)生延伸的加熱區(qū)域而不是加熱點，使掃描時間減少。此外， 因探測器矩陣的緣故，能夠選擇一列探測器，通過所述探測器構(gòu)造所檢 驗物件的溫度記錄圖象。通過在矩陣中選擇探測器而調(diào)整偏移量，克服 目前本技術領域內(nèi)的對精確機械調(diào)整的需求。
在這種攝影機中，利用激光束所穿過的切口 (slit)延伸激光束截面。 這種攝影機被證明滿足要求，并能夠在工業(yè)上應用。 然而，應當期望進一步減少所述掃描時間，同時保持前述類型的攝 影機能夠執(zhí)行的檢驗的可靠性。
發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明涉及一種前述類型的光熱檢驗攝影機，其特征在于所 述延伸裝置為光學裝置。
依照特定的實施例，所述攝影機可以以獨立方式、或以技術上可行 的所有的結(jié)合方式包括一個或多個如下特征-
所述光學裝置包括用于供激光束穿過的透鏡；
所述光學裝置包括用于反射激光束的反射鏡；
所述成形系統(tǒng)包括用于沿著該加熱區(qū)域使所述激光束的能量均勻化 的裝置；
用于能量均勻化的所述裝置由用于延伸激光束截面的延伸裝置形
成；
所述透鏡的表面具有適合于沿加熱區(qū)域使激光束能量均勻化的輪
廓；
所述反射鏡的反射面具有適合于沿加熱區(qū)域使激光射線的能量均勻 化的輪廓；
用于能量均勻化的所述裝置是通過使所述激光束垂直于其傳播方向 移動而形成直線的裝置；
所述裝置包括聲光單元； 用于能量均勻化的所述裝置包括振鏡；
用于能量均勻化的所述裝置包括光纖構(gòu)成的光纖束，該光纖的上游 端接收所述激光束，且其下游端沿著直線布置以構(gòu)成延伸的加熱區(qū)域；
所述攝影機包括用于機械地調(diào)整加熱區(qū)域和探測區(qū)域之間的間距的 機械調(diào)整系統(tǒng)；
所述攝影機包括盒，并且所述機械調(diào)整系統(tǒng)包括用于使所述紅外探 測器的矩陣相對于所述盒移動的移動裝置；
所述攝影機包括盒，并且所述機械調(diào)整系統(tǒng)包括用于使所述成形系 統(tǒng)相對于所述盒移動的移動裝置；
所述移動裝置包括線性馬達；
所述移動裝置包括壓電式線性致動器；
所述移動裝置包括旋轉(zhuǎn)馬達和用于將轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)化為平動的機構(gòu) 所述攝影機包括濾光片，以反射激光束和傳送由探測區(qū)域向紅外探
測器的矩陣發(fā)射的紅外射線；
所述濾光片包括從下列材料中選擇的至少一種材料CaF2， MgF2，
A1203， BaF2， Ge， ZnSe， ZnS FLIR，多光譜ZnS， MgO和SrF2; 所述攝影機包括用于經(jīng)過加熱區(qū)域掃描所述物件表面的系統(tǒng)； 所述處理單元適合于通過選擇探測矩陣中紅外探測器的列來調(diào)整加
熱區(qū)域和探測區(qū)域之間的間距；
所述處理單元適合于獨立處理所述矩陣中的各紅外探測器所提供的
信號；
所述攝影機包括激光源；以及
所述攝影機包括連接到激光源的連接裝置，所述激光源不構(gòu)成為所 述攝影機的一部分。
閱讀以下單獨作為例子給出、并參照附圖做出的說明，將能夠更好 地理解本發(fā)明，其中
圖1是表示光熱檢驗原理的立體示意圖2是表示由依照本發(fā)明的攝影機使用的光熱檢驗過程的圖示； 圖3是表示依照本發(fā)明第一實施例的光熱檢驗攝影機的示意圖； 圖4A是表示應用于圖3中的攝影機中的、用于延伸激光束截面的裝置 的剖視示意圖4B、 5A、 5B及圖6與圖4A類似，為表示圖4A中的裝置的變型 的視圖7和圖8是表示圖4A的裝置的另外兩個的變型的示意圖；以及 圖9和圖10是表示依照本發(fā)明的攝影機的其它兩個實施例的示意圖。
具體實施例方式
作為光熱檢驗的原理的提示，圖1示出了用于檢驗的物件1。為檢驗該 物件，通過在其頂部表面la上同時移動加熱區(qū)域2和探測區(qū)域3來掃描所 述頂部表面la。所述加熱區(qū)域2和探測區(qū)域3彼此隔開，并由被稱做偏移量 的距離d分隔。在一些執(zhí)行過程中，此偏移量d為零，且所述區(qū)域2和3重合。
由箭頭4標示的入射激光束加熱所述區(qū)域2。探測由所述探測區(qū)域3 發(fā)出的紅外射線。在圖1中該射線由箭頭5標示。區(qū)域2和3的移動由 箭頭6標示。
所述移動6平行于或不平行于加熱區(qū)域2和探測區(qū)域3之間的偏移 量d。掃描為一條直線接著一條直線地執(zhí)行，例如，每條連續(xù)的直線上的 移動方向相反("鋸齒狀"配置)或相同("梳子狀"配置)。
在圖1中，加熱區(qū)域2相對于移動6的方向位于探測區(qū)域3之前。 然而，也可以為任何其他的相對位置，如文件FR-2760528 (US-64i9387) 所述，在此通過參考一并引用其內(nèi)容。
圖2表示光熱檢驗過程，其中加熱區(qū)域2為沿方向D延伸。更明確 地，區(qū)域2為線形，但在變型中，其可以為其他形狀，如橢圓形。
探測區(qū)域3的形狀和所述區(qū)域2類似。應注意的是在圖2的例子中， 相對于移動6的方向，所述區(qū)域3位于加熱區(qū)域2之前。
利用延伸的加熱區(qū)域2，允許減少掃描所述表面la的時間，如文件 FR-2760528 (US-6419387)所述。此特征也在本發(fā)明中存在。
應用紅外探測器10的矩陣8來探測發(fā)出的射線5。所述矩陣8通常 包括M行和N列。數(shù)字M和N—般各自獨立變化，例如一般在l和數(shù) 百之間，甚至更高。
如FR-2760528 (US-6419387)中所述，在矩陣8內(nèi)選擇探測器10 的列12以執(zhí)行檢驗。圖2中示出了探測器10的矩陣8上的探測區(qū)域3 發(fā)出的射線5的跡線14?？梢?，所選的列12實際上包括被探測區(qū)域3 發(fā)出的紅外射線照射的探測器10。
本發(fā)明中，以及如FR-2760528 (US-6419387)中所述，能夠通過選 擇合適的探測器10的列12來調(diào)整加熱區(qū)域2和探測區(qū)域3之間的偏移
實際中，發(fā)射入射的激光束4和探測射線5優(yōu)選由同一攝影機執(zhí)行。
圖3示出依照本發(fā)明的光熱檢驗攝影機16。
這種攝影機16主要包括
-配備有透明窗20的盒18，
-用于成形激光束4的系統(tǒng)22，
-用于探測射線5的系統(tǒng)24，以及
-兩反射鏡26、 28，遮光器(shutter) 30和濾光片(filter blade) 32， 這些元件被插入盒18中的窗20、成形系統(tǒng)22和探測系統(tǒng)24之間，以朝 物件1發(fā)送成形的激光束4以及朝探測系統(tǒng)24發(fā)射射線5，更多細節(jié)將 在下面看到。
成形系統(tǒng)22通過光纖36連接到激光源34。所述成形系統(tǒng)22包括準 直儀(collimator) 38和用于延伸由激光源34發(fā)出的激光束4的截面的 裝置40。
因此光束4的截面垂直于其傳播方向延伸，以形成延伸的加熱區(qū)域2。
如圖4A所示，延伸裝置40包括被光束4穿過的透鏡42。該透鏡42 為一發(fā)散柱面(cylindrical)透鏡。
所述透鏡42使光束4沿產(chǎn)生延伸的方向發(fā)散。此方向垂直于光束4 的傳播方向，如圖4A中的箭頭4a至4c所示，其表示光束4從透鏡42
射出時的傳播線路。
圖4A中的平面包含光束4的延伸方向及傳播方向。圖4A中的平面 垂直于圖3中的平面。
在圖4A的平面中，透鏡42的上游表面43和下游表面44具有大體 為圓弧的橫截面。應當注意的是，在圖3中的平面中，透鏡42并不產(chǎn)生 任何光束截面的延伸，因而不發(fā)散。
所述探測系統(tǒng)24包括探測器10的矩陣8以及用于處理從矩陣8的 探測器10發(fā)出的信號的單元46。該單元46適合于處理每一探測器10 獨立發(fā)出的信號，特別地，其允許選擇探測器10的列12以調(diào)整偏移量。
更一般地，所述單元46控制攝影機裝置16的操作。
通常，未圖示的光學構(gòu)件一般設置在系統(tǒng)24內(nèi)與射線5的傳播方向相 關的矩陣8的上游，以確保滿足矩陣8的運行要求。
所述單元46適用于通過處理從選定的列12的探測器10接收到的信 號，來構(gòu)造物件1的表面la的溫度記錄圖象。該單元46例如可以連接 到溫度記錄圖象顯示裝置48和存儲裝置50以存儲所產(chǎn)生的處理數(shù)據(jù)。 在圖示的例子中，所述裝置48、 50與攝影機16相距有距離，但作為變 型，它們可以構(gòu)成為攝影機的一部分。
濾光片32為半反射性的，以反射激光束4，同時使射線5穿過。
更精確地，濾光片32允許
-利用具有與攝影機16所要局部檢驗的物件1的溫度相對應的光譜 帶中最大紅外流傳輸率的基底，使所述射線5穿過，以及
-應用干涉過濾器(其由放置在所述基底的表面的帶有不同光學標
記的堆疊層組成)反射所述激光束4，使所述濾光片將光束4的波長和入 射角度的反射率最大化。
可以利用以下材料中的一種或多種來形成濾光片32的基底
CaF2 (氟化l丐)，
MgF2 (氟化鎂)，
A1203 (藍寶石/氧化鋁)，
BaF2 (氟化鋇)，
Ge (鍺)，
ZnSe (硒化鋅)，
ZnS-FLIR (前視紅外硫化鋅)，
多光譜ZnS (硫化鋅)，
MgO (氧化鎂)，以及
SrF2 (氟化鍶)。
攝影機16包括用于使探測系統(tǒng)24相對于盒18移動的裝置52。所述 移動系統(tǒng)52允許系統(tǒng)24、并從而允許探測器10的矩陣8垂直于矩陣8 上游的射線5移動。為此，移動裝置52例如可包含與螺釘/螺母機構(gòu)相 關聯(lián)的壓電式線性致動器、線性馬達或旋轉(zhuǎn)馬達，以在圖3的平面中為 所述探測系統(tǒng)24提供垂直于光束5的精確的橫向移動?？梢詷?gòu)想其他的 用于將轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)化為平動的機構(gòu)。
類似地，攝影機16還包含用于移動所述成形系統(tǒng)22的裝置54。該 裝置54例如具有與裝置52相似的結(jié)構(gòu)，并允許成形系統(tǒng)22垂直于從成 形系統(tǒng)22發(fā)出的光束4的傳播方向移動。
攝影機16還包括裝置55，該裝置55使反射鏡28移動，以便通過加 熱區(qū)域2和探測區(qū)域3掃描表面la。該移動裝置55例如包括用于沿兩個 垂直方向掃描所述表面la的兩臺檢流計或兩臺馬達。
在攝影機16中，反射鏡26將由裝置40延伸的激光束4反射到遮光 器30上。
當所述遮光器30打開時，其允許激光束4穿過，所述激光束被濾光 片32朝反射鏡28反射，該反射鏡28本身使激光束4穿過窗20朝所述 表面la反射。
所述射線5穿過窗20,被反射鏡28向著濾光片32反射，并穿過所 述濾光片到達探測系統(tǒng)24，照射探測器10的矩陣8。
隨著掃描的進展，所述單元46能夠隨后構(gòu)造表面la的溫度記錄圖 象，所述圖象通過顯示裝置48顯示。
通過利用光學裝置40，所述激光束的能量損失要比FR-2760528 (US-6419387)中的利用切口延伸所述區(qū)域的能量損失低。這使掃描表 面1的時間減少，激光束4的能量得到更加有效的利用。
選擇一個或多個前述的材料用以形成濾光片32，確保隨著時間的推 移濾光片32具有較好的性能。
這將有助于提高由攝影機16執(zhí)行的檢驗的可靠性。
所述移動裝置52和54允許精確的機械調(diào)整加熱區(qū)域2和探測區(qū)域3 之間的偏移量d。應當記得，期望的是在偏移量d為零時進行檢驗。
除可通過應用所選擇的列12來提供調(diào)整的可能性之外，可以以手動 方式或通過處理單元46來控制該精確調(diào)整。在探測區(qū)域3的跡線14可 能接近或可能穿越選定的探測器的列12的邊界的情況下，第二個機械偏 移量調(diào)整機會允許跡線14再定位于選定的列12的中央。
本發(fā)明第三方面提高了所形成的溫度記錄圖象的質(zhì)量，并因此提高 了應用攝影機16執(zhí)行檢驗的精確度和可靠性。
可見，這三方面中的每一方面，即光學裝置40的應用、濾光片32 的特性以及對所述偏移量的機械調(diào)整，可獨立于另外兩個方面而加以應 用。
考慮所述第一方面，截面延伸裝置40可以具有不同于如上所述的結(jié) 構(gòu)，同時保留光學裝置，而非本領域現(xiàn)有技術中的物理裝置。
裝置40例如可以包含多個透鏡，尤其是柱面透鏡。
任何這樣的透鏡被認為是柱面透鏡，即，沿著垂直于激光束4傳播 方向的兩個軸線具有不同的折射能力，從而得到沿著一個軸線的橫截面 大于沿另一個軸線的橫斷面的光束。
這些透鏡中的一個或所用的透鏡42可以具有其輪廓適于使能量均勻 化的表面44或多個表面，而不是具有呈圓弧形橫截面的表面43和44。
這一點在圖5A中示出，其中透鏡42的下游表面44具有不同于圓弧
形的截面，該橫截面的輪廓適當，以便提高激光束4的能量在其整個截 面長度上的均勻化。
在此情況下，延伸裝置40履行兩個功能，即延伸激光束4的截面及 在整個截面長度上均勻化激光束4的能量。
由于延伸裝置40的作用，沿加熱區(qū)域2的方向D上的能量分布相對 均勻，所形成的圖象清晰，并且應用攝影機16執(zhí)行的光熱檢驗是可靠的。
裝置40可以包括一個或多個反射鏡來代替一個或多個透鏡42，所述 反射鏡通過反射來提供延伸截面及可能的能量均勻化的功能。裝置40在 此情況下可包括反射鏡56，反射鏡56的一個表面58反射光束4，且該 表面58具有圓弧形截面或具有適合于均勻化能量的輪廓的截面。
這種反射鏡56及所述反射面58分別如圖4B和圖5B所示。
應當看到，在以上例子中，通過沿著一個方向增大所述截面來延伸 所述激光束截面。在變型中，可通過減小光束截面的寬度來產(chǎn)生這種延 伸。
類似地，取決于所應用的裝置40，可以去掉準直儀38。 在變型中，裝置40也可通過使激光束4移動來提供使截面延伸及可 能的能量均勻化的功能。在此情況下，所述光學裝置40例如包括聲光單 元60。如圖6所示，這種聲光單元60通過沿著所要延伸的截面的方向移 動光束來延伸該光束4的截面。該移動在圖6中以雙箭頭62表示。
在變型中，如圖7所示，激光束4可以通過振鏡(oscillating mirror) 64來移動。
圖8則表示另一種變型。這種情況下的光學裝置40包括光纖68構(gòu) 成的光纖束66，光纖68的上游端接收激光束4，其下游端排成一行以便 其在出口端產(chǎn)生具有延伸截面的激光束4。
還可構(gòu)想進一步的變型，特別地，可通過兩個截然不同的裝置執(zhí)行 一方面延伸所述截面、另一方面使能量均勻化的功能。
關于對偏移量的機械調(diào)整，攝影機16不必同時具備用于移動探測系 統(tǒng)24的裝置52及用于移動成形系統(tǒng)22的裝置54。
事實上它只包括這些裝置中的一個。
這一點在圖9中顯示，其中攝影機16只包括一個用于移動探測系統(tǒng)24的裝置52。
將激光源34整合到攝影機16內(nèi)，以及去掉反射鏡26和28，便進一 歩簡化了攝影機16的結(jié)構(gòu)。
此外，圖9中的攝影機16不包含用于掃描表面la的一體移動裝置55。
在此情況下，通過用于移動物件1的裝置或通過用于移動攝影機16 的并位于所述攝影機外部的裝置來執(zhí)行掃描。
更一般地，除通過選擇列12而程序化調(diào)整之外，可利用用于移動一 個或多個布置在成形系統(tǒng)22、探測系統(tǒng)24和待檢驗物件1之間的光學構(gòu) 件的裝置來執(zhí)行偏移量d的機械調(diào)整。因此并非必須移動成形系統(tǒng)22或 探測系統(tǒng)24。
還可以考慮另外的實施例。
特別地，物件1上的入射光束4和所發(fā)出的紅外光束5并非必須平 行，而是可以相互傾斜，如圖10中以示例方式所概略表示。
在圖10中，濾光片32作為矩陣8的探測器10的保護性過濾裝置。 類似方式中，并非必須應用濾光片。
權利要求
1、用于光熱檢驗的攝影機(16)，這種類型的攝影機包括用于成形激光束(4)的成形系統(tǒng)(22)，所述成形系統(tǒng)(22)包括用于延伸所述光束的截面以在待檢驗物件(1)表面上形成沿一個方向(D)延伸的加熱區(qū)域(2)的延伸裝置(40)，紅外探測器(10)的矩陣(8)，其探測由所述物件(1)的表面(1a)上的探測區(qū)域(3)發(fā)出的紅外射線，以及處理單元(46)，用于處理由所述紅外探測器(10)提供的信號，以經(jīng)過該加熱區(qū)域(2)掃描該表面(1a)來構(gòu)造所述物件(1)的表面(1a)的溫度記錄圖象，其特征在于所述延伸裝置(40)為光學裝置。
2、 如權利要求1所述的攝影機，其特征在于所述光學裝置(40)包 括用于供所述激光束(4)穿過的透鏡(42)。
3、 如權利要求1或2所述的攝影機，其特征在于所述光學裝置(40) 包括用于反射激光束(4)的反射鏡(56)。
4、 如前述權利要求中的任一項所述的攝影機，其特征在于所述成形 系統(tǒng)(22)包括用于沿著該加熱區(qū)域(2)使激光束(4)的能量均勻化的裝 置(40)。
5、 如權利要求4所述的攝影機，其特征在于用于能量均勻化的所述 裝置由延伸激光束截面的延伸裝置(40)形成。
6、 如權利要求2和5共同所述的攝影機，其特征在于所述透鏡(42) 的一個表面(44)具有適合于沿著該加熱區(qū)域(2)使激光束(4)的能量均 勻化的輪廓。
7、 如權利要求3和5共同所述的攝影機，其特征在于所述反射鏡(56) 的一個反射面(58)具有適合于沿著該加熱區(qū)域(2)使激光射線(4)的能 量均勻化的輪廓。
8、 如權利要求5所述的攝影機，其特征在于用于能量均勻化的所述 裝置(40)是用于通過使激光束(4)垂直于其傳播方向移動而形成直線的 裝置。
9、 如權利要求8所述的攝影機，其特征在于所述裝置(40)包括聲光單元(60)。
10、 如權利要求8所述的攝影機，其特征在于用于能量均勻化的所述裝置(40)包括振鏡(64)。
11、 如權利要求5所述的攝影機，其特征在于用于能量均勻化的所述裝置(40)包括光纖(68)構(gòu)成的光纖束(66)，所述光纖(68)的上游端 (70)接收激光束(4)，且所述光纖(68)的下游端沿直線布置以構(gòu)成延 伸的加熱區(qū)域(2)。
12、 如前述權利要求中的任一項所述的攝影機，其特征在于所述攝影 機包括用于機械調(diào)整該延伸的加熱區(qū)域(2)和該探測區(qū)域(3)之間的間距(d)的機械調(diào)整系統(tǒng)(52、 54)。
13、 如權利要求12所述的攝影機,其特征在于所述攝影機包括盒(18)， 且所述機械調(diào)整系統(tǒng)包括用于使紅外探測器(10)的矩陣(8)相對于所述 盒(18)移動的移動裝置(52)。
14、 如權利要求12或13所述的攝影機，其特征在于所述攝影機包括 盒(18)，且所述機械調(diào)整系統(tǒng)包括用于使成形系統(tǒng)(22)相對于所述盒(18) 移動的移動裝置(54)。
15、 如權利要求B或14所述的攝影機，其特征在于所述移動裝 置(52、 54)包括線性馬達。
16、 如權利要求13或14所述的攝影機，其特征在于所述移動裝 置(52、 54)包括壓電式線性致動器。
17、 如權利要求13或14所述的攝影機，其特征在于所述移動裝 置(52、 54)包括旋轉(zhuǎn)馬達以及將轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)化為平動的機構(gòu)。
18、 如前述權利要求中的任一項所述的攝影機，其特征在于所述 攝影機包括濾光片(32)，以反射激光束(4)，并向所述紅外探測器(IO) 的矩陣(8)傳送由該探測區(qū)域(3)輻射的紅外射線(5)。
19、 如權利要求18所述的攝影機，其特征在于所述濾光片包括從 下列材料中選擇的至少一種材料CaF2， MgF2， A1203， BaF2， Ge， ZnSe， ZnSFLIR，多光譜ZnS， MgO和SrF2。
20、 如前述權利要求中的任一項所述的攝影機，其特征在于所述 攝影機包括用于經(jīng)過該加熱區(qū)域(2)掃描所述物件(1)的表面(la)<formula>formula see original document page 4</formula>
21、 如前述權利要求中的任一項所述的攝影機，其特征在于所述處理單元(46)適合于通過選擇探測矩陣(8)中的紅外探測器(10)的 列(12)來調(diào)整所述加熱區(qū)域(2)和探測區(qū)域之間的間距(d)。
22、 如前述權利要求中的任一項所述的攝影機，其特征在于所述 處理單元(46)適合于獨立處理由所述矩陣(8)的各紅外探測器(10) 所提供的信號。
23、 如前述權利要求中的任一項所述的攝影機，其特征在于所述 攝影機包括激光源(34)。
24、 如權利要求1一22中的任一項所述的攝影機，其特征在于所 述攝影機包括連接到激光源(34)的連接裝置(36)，所述激光源不形 成為所述攝影機的一部分。
全文摘要
本發(fā)明的光熱檢驗攝影機(16)裝備有激光束(4)成形系統(tǒng)(22)，所述成形系統(tǒng)(22)包括用于延伸激光束截面的裝置(40)，其延伸方式為在可檢驗物件(1)的表面形成沿著方向(D)延伸的加熱區(qū)域(2)；紅外傳感器(10)矩陣(8)，其用于探測由與加熱區(qū)域(2)相關的所述物件(1)的表面上的探測區(qū)域(3)發(fā)出的紅外射線；以及處理所述紅外傳感器(10)發(fā)射的信號的單元(46)，其處理方式為借助于加熱區(qū)域(2)，通過掃描所述物件(1)的表面(1a)產(chǎn)生物件(1)的表面(1a)的溫度記錄圖象。延伸裝置(40)被具體化為光學裝置的形式。所述發(fā)明可以應用于非破壞性檢測。
文檔編號G01N25/72GK101166969SQ200680014381
公開日2008年4月23日 申請日期2006年3月30日 優(yōu)先權日2005年4月28日
發(fā)明者洛朗·勒格朗雅克, 馬克·皮里烏 申請人:阿?，m核能公司