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      加速度傳感器機芯的制作方法

      文檔序號:6124647閱讀:252來源:國知局
      專利名稱:加速度傳感器機芯的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種加速度傳感器機芯。
      背景技術(shù)
      加速度傳感器機芯振動系統(tǒng)的阻尼,是影響傳感器信號分辨率的重要參數(shù)。 系統(tǒng)阻尼不足,振動的子波振動周期會過多,導(dǎo)致傳感器信號分辨率低、信號質(zhì) 量差。目前,提高阻尼的實現(xiàn)方式主要有機械阻尼、包括含空氣及脂類的流體阻 尼、電阻尼以及磁渦流阻尼等。
      機械阻尼,是通過增加振動系統(tǒng)的摩擦力和提高振動彈簧的剛性實現(xiàn)的,缺 點是系統(tǒng)的有效能量損失較多,不易定量控制。
      流體阻尼,成本相對較低,但其線性度易受溫度變化影響,同時由于阻尼介 質(zhì)與壓電元件需要直接接觸,阻尼介質(zhì)會腐蝕電壓元件的銀層表面。
      電阻尼,是通過并連分流電阻實現(xiàn)的,成本雖低,但分流電阻使有效信號的 靈敏度降低,且阻尼要求越高,靈敏度的能量損失越大。
      磁渦流阻尼,可量化,且不受溫度影響,但成本高,同時對相關(guān)阻尼零件的 機械加工精度要求很高,成型后阻尼不可調(diào)節(jié)。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明的目的在于提供一種加速度傳感器機芯,其解決了背景技術(shù)中系統(tǒng)阻 尼受介質(zhì)、溫度等因素影響大,調(diào)節(jié)、控制不便以及成本較高的技術(shù)問題。 本發(fā)明的技術(shù)方案是
      一種加速度傳感器機芯,包括殼體4,設(shè)置于殼體4內(nèi)的能量轉(zhuǎn)換裝置6和
      阻尼裝置,其特殊之處在于所述的阻尼裝置為磁排斥阻尼裝置1,該磁排斥阻 尼裝置1設(shè)置于能量轉(zhuǎn)換裝置6的端部;所述的磁排斥阻尼裝置1由一對的I磁
      鐵3與II磁鐵5構(gòu)成,所述構(gòu)成磁排斥阻尼裝置1的II磁鐵5固定于能量轉(zhuǎn)換裝 置6的端部,與II磁鐵5可形成磁力作用且位置相應(yīng)的I磁鐵3通過支架2支撐于殼體4上。
      上述磁排斥阻尼裝置1可采用一組,其設(shè)置于能量轉(zhuǎn)換裝置6的一端。
      上述磁排斥阻尼裝置1可采用兩組,其分別設(shè)置于能量轉(zhuǎn)換裝置6的兩端。 上述I磁鐵3可通過螺栓8、鉚釘或粘膠等固定于支架2上,以螺栓8固定 為佳。
      上述I磁鐵3與支架2之間可設(shè)置調(diào)節(jié)I磁鐵3與II磁鐵5之間磁力大小的
      調(diào)節(jié)墊片7。
      上述殼體4與端蓋10結(jié)合的縫隙處可設(shè)置有密封圈9。 上述II磁鐵5以嵌套固定于能量轉(zhuǎn)換裝置6的端部為宜。 本發(fā)明具有以下優(yōu)點
      1. 系統(tǒng)阻尼充足,靈敏度高,傳感器信號分辨率高、信號質(zhì)量佳。
      2. 阻尼力大小可調(diào),易于定量控制,生產(chǎn)調(diào)試方便。
      3. 阻尼線性度不受介質(zhì)以及外界溫度變化的影響,穩(wěn)定性好。
      4. 系統(tǒng)的有效能量損失少,零部件機械加工精度要求低,產(chǎn)品成本較低。


      圖l為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
      附圖標號說明1-磁排斥阻尼裝置,2-支架,3-I磁鐵,4-殼體,5-II磁鐵, 6-能量轉(zhuǎn)換裝置,7-調(diào)節(jié)墊片,8-螺栓,9-密封圈,10-端蓋。
      具體實施例方式
      本發(fā)明的阻尼裝置采用磁排斥阻尼裝置1,在能量轉(zhuǎn)換裝置6運動時,構(gòu)成 磁排斥阻尼裝置1的I磁鐵3與II磁鐵5會產(chǎn)生排斥力,從而可減少能量轉(zhuǎn)換裝 置6的振動幅度和次數(shù),達到阻尼效果。
      本發(fā)明的能量轉(zhuǎn)換裝置6和阻尼裝置設(shè)置于殼體4內(nèi),磁排斥阻尼裝置1設(shè) 置于能量轉(zhuǎn)換裝置6的端部。
      磁排斥阻尼裝置1可采用一組,設(shè)置于能量轉(zhuǎn)換裝置6的一端。磁排斥阻尼 裝置1也可采用兩組,分別設(shè)置于能量轉(zhuǎn)換裝置6的兩端。
      磁排斥阻尼裝置1由一對I磁鐵3與II磁鐵5構(gòu)成,II磁鐵5固定于能量轉(zhuǎn)換裝置6的端部,以嵌套固定于能量轉(zhuǎn)換裝置6的端部為宜。具體可先將II磁鐵
      5中心或底部的凸起、或II磁鐵5下部嵌于能量轉(zhuǎn)換裝置6端部的凹槽內(nèi),再將 二者固連為一體。也可將II磁鐵5的中心孔、或II磁鐵5底部的凹槽套于能量轉(zhuǎn) 換裝置6端部的凸柱、凸臺上,再將二者固連為一體。
      I磁鐵3通過支架2支撐于殼體4上。I磁鐵3與II磁鐵5的位置相應(yīng),二 者可形成磁力作用,即磁吸引、排斥力作用。I磁鐵3與II磁鐵5可選用釹鐵硼 或鋁鎳鈷材料,以降低制造成本。
      I磁鐵3可通過螺栓8、鉚釘或粘膠等固定于支架2上,以螺栓8固定為佳。 I磁鐵3與支架2之間可設(shè)置調(diào)節(jié)墊片7,通過調(diào)節(jié)I磁鐵3與II磁鐵5之間的 距離,以調(diào)節(jié)I磁鐵3與II磁鐵5之間的排斥力的大小,從而實現(xiàn)磁排斥阻尼裝 置l阻尼力大小的調(diào)節(jié)。調(diào)節(jié)墊片7主要用于生產(chǎn)調(diào)試。
      殼體4與端蓋10結(jié)合的縫隙處可設(shè)置密封圈9。
      權(quán)利要求
      1.一種加速度傳感器機芯,包括殼體(4),設(shè)置于殼體(4)內(nèi)的能量轉(zhuǎn)換裝置(6)和阻尼裝置,其特征在于所述的阻尼裝置為磁排斥阻尼裝置(1),該磁排斥阻尼裝置(1)設(shè)置于能量轉(zhuǎn)換裝置(6)的端部;所述的磁排斥阻尼裝置1由一對的I磁鐵(3)與II磁鐵(5)構(gòu)成,所述構(gòu)成磁排斥阻尼裝置(1)的II磁鐵(5)固定于能量轉(zhuǎn)換裝置(6)的端部,與II磁鐵(5)可形成磁力作用且位置相應(yīng)的I磁鐵(3)通過支架(2)支撐于殼體(4)上。
      2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度傳感器機芯,其特征在于所述的磁排斥阻 尼裝置(1)為一組,其設(shè)置于能量轉(zhuǎn)換裝置(6)的一端。
      3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度傳感器機芯,其特征在于所述的磁排斥阻 尼裝置(1)為兩組,其分別設(shè)置于能量轉(zhuǎn)換裝置(6)的兩端。
      4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的加速度傳感器機芯,其特征在于所述的 I磁鐵(3)通過螺栓(8)、鉚釘或粘膠固定于支架(2)上。
      5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的加速度傳感器機芯,其特征在于所述的I磁鐵(3) 與支架(2)之間設(shè)置有調(diào)節(jié)墊片(7)。
      6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度傳感器機芯,其特征在于所述殼體(4) 與端蓋(10)結(jié)合的縫隙處設(shè)置有密封圈(9)。
      7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的加速度傳感器機芯,其特征在于所述的II磁鐵(5) 嵌套固定于能量轉(zhuǎn)換裝置(6)的端部。
      全文摘要
      本發(fā)明涉及一種加速度傳感器機芯,包括設(shè)置于殼體內(nèi)的能量轉(zhuǎn)換裝置和阻尼裝置,阻尼裝置為磁排斥阻尼裝置,設(shè)置于能量轉(zhuǎn)換裝置的端部,磁排斥阻尼裝置由一對的I磁鐵與II磁鐵構(gòu)成,構(gòu)成磁排斥阻尼裝置的II磁鐵固定于能量轉(zhuǎn)換裝置的端部,與II磁鐵可形成磁力作用且位置相應(yīng)的I磁鐵通過支架支撐于殼體上。本發(fā)明解決了背景技術(shù)中系統(tǒng)阻尼受介質(zhì)、溫度等因素影響大,調(diào)節(jié)、控制不便以及成本較高的技術(shù)問題。本發(fā)明阻尼充足,靈敏度高,阻尼力大小易于定量控制、調(diào)節(jié),穩(wěn)定性好,產(chǎn)品成本較低。
      文檔編號G01P15/105GK101320050SQ20071001801
      公開日2008年12月10日 申請日期2007年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月7日
      發(fā)明者軍 朱 申請人:軍 朱
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