專(zhuān)利名稱：一種自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及反應(yīng)腔密封性的檢查，特別涉及一種自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反 應(yīng)腔是否漏氣的方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，諸多工序均需通過(guò)氣相沉積工藝來(lái)生成所需的膜，例 如通過(guò)化學(xué)氣相沉積生成氮化硅層，通過(guò)物理氣相沉積生成鴒塞或金屬電極， 上述化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積分別在相應(yīng)的化學(xué)氣相沉積設(shè)備和物理氣相 沉積設(shè)備中進(jìn)行，但上述氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔若存在漏氣時(shí)，會(huì)導(dǎo)致生成的膜 的成分及厚度存在偏差，影響后道工序的進(jìn)行，嚴(yán)重的需要進(jìn)行返工甚至導(dǎo)致 產(chǎn)品的報(bào)廢?，F(xiàn)針對(duì)氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔的漏氣檢查通常在對(duì)設(shè)備進(jìn)行維修后，通過(guò)人 工方式開(kāi)啟 一檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的程序來(lái)檢查該反應(yīng)腔是否漏 氣，存在檢查間隔過(guò)長(zhǎng)、間隔不均且受人為因素影響的問(wèn)題，從而無(wú)法及時(shí)發(fā) 現(xiàn)漏氣，如此將會(huì)造成嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方 法，通過(guò)所述方法可避免由反應(yīng)腔漏氣所造成的經(jīng)濟(jì)損失。本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 一種自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣 的方法，該方法包括以下步驟(1)偵測(cè)自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏 氣的啟動(dòng)條件是否滿足，若是則繼續(xù)步驟(2)，若否則返回步驟(1) ; (2) 啟動(dòng)一檢查反應(yīng)腔是否漏氣的程序?qū)Ψ磻?yīng)腔進(jìn)行漏氣檢查；(3 )輸出漏氣檢查 的結(jié)果。在上述的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法中，該氣相沉積設(shè)備為物理氣相沉積設(shè)備。在上述的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法中，該氣相沉積設(shè) 備為化學(xué)氣相沉積設(shè)備。在上述的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法中，在步驟(1 )中， 該啟動(dòng)條件為反應(yīng)腔清洗完畢。在上述的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法中，在步驟(1 )中， 該啟動(dòng)條件為采用新的配方進(jìn)行氣相沉積。與現(xiàn)有技術(shù)在設(shè)備維修完畢后，通過(guò)人工啟動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是 否漏氣的程序進(jìn)行漏氣檢查相比，本發(fā)明的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否 漏氣的方法，在偵測(cè)出自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的啟動(dòng)條件滿足 時(shí)，啟動(dòng)一檢查反應(yīng)腔是否漏氣的程序?qū)Ψ磻?yīng)腔進(jìn)行漏氣檢查，并輸出漏氣檢 查的結(jié)果，如此可對(duì)反應(yīng)腔進(jìn)行有效的漏氣檢查，避免反應(yīng)腔漏氣所造成的巨 大經(jīng)濟(jì)損失，另外可大大節(jié)約人力。


本發(fā)明的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法由以下的實(shí)施例及 附圖給出。圖1為本發(fā)明的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法的流程圖。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本發(fā)明的自動(dòng)^^查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法作進(jìn)一步 的詳細(xì)描述。如圖1所示，本發(fā)明的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法首先進(jìn)行步驟S1G，偵測(cè)自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的啟動(dòng)條件是否滿 足，若是則繼續(xù)步驟SU,若否則返回步驟SIO。所述氣相沉積設(shè)備為物理氣相沉積設(shè)備或化學(xué)氣相沉積設(shè)備。在本實(shí)施例 中，該氣相沉積設(shè)備為化學(xué)氣相沉積設(shè)備，該自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是 否漏氣的啟動(dòng)條件包括反應(yīng)腔清洗完畢和采用新的配方進(jìn)行氣相沉積。在本發(fā) 明其他實(shí)施例中，可提供設(shè)定步驟供使用者設(shè)定上述兩者或任一者為啟動(dòng)條件。在步驟Sll中，啟動(dòng)一檢查反應(yīng)腔是否漏氣的程序?qū)Ψ磻?yīng)腔進(jìn)行漏氣檢查。接著繼續(xù)步驟S12,輸出漏氣^r查的結(jié)果。在本實(shí)施例中，可將漏氣檢查的 結(jié)果輸入到諸如蜂鳴器、報(bào)警燈等警示模塊，所述警示模塊在漏氣檢查的結(jié)果 為漏氣時(shí)通過(guò)聲音報(bào)警或燈光閃爍等方式警示使用者氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔漏綜上所述，本發(fā)明的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法，在偵 測(cè)出自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的啟動(dòng)條件滿足時(shí)，啟動(dòng)一檢查反 應(yīng)腔是否漏氣的程序?qū)Ψ磻?yīng)腔進(jìn)行漏氣檢查，并輸出漏氣4全查的結(jié)果，如此可 對(duì)反應(yīng)腔進(jìn)行有效的漏氣檢查，避免反應(yīng)腔漏氣所造成的巨大經(jīng)濟(jì)損失，另外 可大大節(jié)約人力。
權(quán)利要求
1. 一種自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法，其特征在于，該方法包括以下步驟(1)偵測(cè)自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的啟動(dòng)條件是否滿足，若是則繼續(xù)步驟(2)，若否則返回步驟(1)；(2)啟動(dòng)一檢查反應(yīng)腔是否漏氣的程序?qū)Ψ磻?yīng)腔進(jìn)行漏氣檢查；(3)輸出漏氣檢查的結(jié)果。
2、 如權(quán)利要求l所述的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法，其 特征在于，該氣相沉積設(shè)備為物理氣相沉積設(shè)備。
3、 如權(quán)利要求l所述的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法，其 特征在于，該氣相沉積"i殳備為化學(xué)氣相沉積設(shè)備。
4、 如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法，其 特征在于，在步驟(1)中，該啟動(dòng)條件為反應(yīng)腔清洗完畢。
5、 如權(quán)利要求l所述的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法，其 特征在于，在步驟(l)中，該啟動(dòng)條件為采用新的配方進(jìn)行氣相沉積。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法?，F(xiàn)有技術(shù)對(duì)氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔的漏氣檢查通常在設(shè)備維修后通過(guò)人工方式啟動(dòng)一檢查反應(yīng)腔是否漏氣的程序進(jìn)行漏氣檢查，存在檢查間隔過(guò)長(zhǎng)、間隔不均且受人為因素影響的問(wèn)題，難以有效的檢查出反應(yīng)腔的漏氣并避免由此所造成的損失。本發(fā)明的自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的方法首先偵測(cè)自動(dòng)檢查氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔是否漏氣的啟動(dòng)條件是否滿足，且在滿足時(shí)啟動(dòng)一檢查反應(yīng)腔是否漏氣的程序?qū)Ψ磻?yīng)腔進(jìn)行漏氣檢查，最后輸出漏氣檢查的結(jié)果。采用本發(fā)明的方法可有效的檢查出反應(yīng)腔的漏氣狀況，避免由于漏氣所造成的經(jīng)濟(jì)損失。
文檔編號(hào)G01M3/00GK101281076SQ200710039199
公開(kāi)日2008年10月8日 申請(qǐng)日期2007年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月6日
發(fā)明者李曉波, 林藝輝 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司