專利名稱：空氣分子污染采樣輔助器件及采樣方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及空氣分子污染采樣技術(shù)，更具體地說，涉及一種空氣分子污 染采樣輔助器件及采樣方法。
背景技術(shù)：
空氣分子污染AMC采樣是半導(dǎo)體制程中的一個重要環(huán)節(jié)， 一般是通過 一個AMC采樣裝置對待測試負(fù)壓腔Exhaust Duct Chamber中的環(huán)境進(jìn)行 采樣，獲取AMC參數(shù)。
通常，在AMC采樣裝置中有一個泵，能將環(huán)境樣本抽到AMC采樣裝 置中進(jìn)行檢驗(yàn)，但是一般而言，待測試負(fù)壓腔接近真空，壓力很低，通常在 -1800Pa左右，這就給泵的環(huán)境樣本采集工作帶來了很大的困難。由于AMC 采樣裝置中的泵不可能是很大型的，因此會遇到無法抽取環(huán)境樣本的情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提供一種AMC采樣輔助期間以及采樣方法，將AMC采樣 裝置置于與待測試負(fù)壓腔同等壓力的環(huán)境中，從而消除壓力差，使得泵能供 方^f更地抽取環(huán)境樣本。
本發(fā)明的第 一方面，提供一種空氣分子污染AMC采樣輔助器件，與AMC 采樣裝置結(jié)合使用，該AMC采樣輔助器件提供一與待測試負(fù)壓腔等壓的環(huán) 境，該AMC采樣裝置置于該AMC采樣輔助器件中，在與待測試負(fù)壓腔等 壓的環(huán)境中對AMC進(jìn)行采樣。
該AMC輔助器件包括 一密閉容器，用于放置該AMC采樣裝置；以 及一連接管道，連接至該待測試負(fù)壓腔內(nèi)部，使該密閉容器的內(nèi)部與該待測 試負(fù)壓腔內(nèi)部等壓。
其中，該AMC采樣裝置的采樣管穿過連接管道到達(dá)待測試負(fù)壓腔的內(nèi) 部進(jìn)行AMC采樣。通常，該連接管道的直徑大于該AMC采樣裝置的采樣管。
在一個實(shí)施例中，該AMC采樣裝置還包括一接口部件，該AMC采樣 輔助裝置通過該接口部件與待測試負(fù)壓腔相連接。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種對新材料空氣分子污染AMC采樣方 法，該方法提供一與密閉常壓的環(huán)境，在與密閉常壓的環(huán)境中對AMC進(jìn)行 釆樣，得到參考數(shù)據(jù)。
根據(jù)一實(shí)施例，該AMC釆樣方法，包括提供一密閉容器，在該密閉 容器中放置AMC采樣裝置；以及提供一連接管道，連接該待測試負(fù)壓腔內(nèi) 部與該密閉容器內(nèi)部，使該待測試負(fù)壓腔內(nèi)部與該密閉容器內(nèi)部等壓。
其中，將AMC采樣裝置的采樣管穿過所述連接管道到達(dá)待測試負(fù)壓腔 的內(nèi)部進(jìn)行AMC采樣。通常，該連接管道的直徑大于該AMC采樣裝置的 采樣管。
在一個實(shí)施例中，將該AMC采樣輔助裝置通過一接口部件與待測試負(fù) 壓腔相連接。
采用本發(fā)明的技術(shù)方案，使得AMC采樣裝置能在與待測試負(fù)壓腔同等 壓力的環(huán)境中進(jìn)行釆樣，消除了壓力差對AMC采樣裝置帶來的影響，提高 了采樣的準(zhǔn)確度。


本發(fā)明的上述的以及其他的特征、性質(zhì)和優(yōu)勢將通過下面結(jié)合附圖對實(shí) 施例的描述而變得更加明顯，在附圖中，相同的附圖標(biāo)記始終表示相同的特 征，其中
圖1示出了利用本發(fā)明的AMC采樣輔助器件輔助AMC采樣裝置進(jìn)行 采樣。
圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的 一 實(shí)施例的AMC采樣方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的主要目的是給AMC采樣裝置提供一個與待測試負(fù)壓腔等壓的 環(huán)境，使得壓力差對于泵的影響能被消除。
參考圖1所示，本發(fā)明的一方面提供一種空氣分子污染AMC采樣輔助 器件100,該AMC采樣輔助器件100與AMC釆樣裝置200結(jié)合使用，該 AMC采樣輔助器件100提供一與待測試負(fù)壓腔300等壓的環(huán)境，該AMC 采樣裝置200置于該AMC采樣輔助器件100中，在與待測試負(fù)壓腔300等 壓的環(huán)境中對AMC進(jìn)行采樣。
參考圖1所示的實(shí)施例，該AMC輔助器件100包括
一密閉容器102,用于放置該AMC采樣裝置200;
一連接管道104,連接至該待測試負(fù)壓腔300內(nèi)部，使該密閉容器102 的內(nèi)部與該待測試負(fù)壓腔300內(nèi)部等壓。
該AMC采樣裝置200的采樣管202穿過連接管道104到達(dá)待測試負(fù)壓 腔300的內(nèi)部進(jìn)行AMC釆樣。 一般而言，連接管道104的直徑大于AMC 采樣裝置200的采樣管202。通常，連接管道104的直徑越大，越容易創(chuàng)造 待測試負(fù)壓腔300內(nèi)部與AMC輔助器件內(nèi)部的等壓環(huán)境。
同樣，在圖1所示的實(shí)施例中，該AMC采樣輔助裝置100還包括一接 口部件106,該AMC采樣輔助裝置100通過該接口部件106與待測試負(fù)壓 腔300相連接。具體而言，就是在待測試負(fù)壓腔300的側(cè)壁上打開一個開 孔，由該接口部件106實(shí)現(xiàn)對于該開孔的密封。然后連接管道104通過該 接口部件106進(jìn)入到待測試負(fù)壓腔300的內(nèi)部，建立待測試負(fù)壓腔300內(nèi) 部與AMC采樣輔助裝置100內(nèi)部的連通通路，實(shí)現(xiàn)兩者的等壓。
這樣，AMC采樣裝置200就能在與待測試負(fù)壓腔300等壓的環(huán)境下工 作，進(jìn)行AMC采樣。由于壓力差已經(jīng)消除，此時AMC采樣裝置200內(nèi)的 泵的工作壓力將下降許多，大大改善泵的工作狀況，提高采樣的準(zhǔn)確度。
利用上面的圖1所示的AMC采樣輔助裝置，本發(fā)明還提供一種對新材 料AMC采樣方法，圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的AMC采樣方法400 的流程圖，該方法包括
提供一與密閉常壓的環(huán)境，在與密閉常壓的環(huán)境中對AMC進(jìn)行采樣， 得到參考數(shù)據(jù)。
正如上面所說的，當(dāng)利用圖1所示的AMC采樣輔助裝置100時，該方 法進(jìn)一步包括
402.提供一密閉容器，在該密閉容器中放置AMC采樣裝置；
404.提供一連接管道，連接該待測試負(fù)壓腔內(nèi)部與該密閉容器內(nèi)部， 使該待測試負(fù)壓腔內(nèi)部與該密閉容器內(nèi)部等壓。
406.將AMC采樣裝置的采樣管穿過連接管道到達(dá)待測試負(fù)壓腔的內(nèi) 部進(jìn)行AMC采樣。
其中，該連接管道的直徑大于該AMC采樣裝置的采樣管。通常，連接 管道的直徑越大，越容易創(chuàng)造待測試負(fù)壓腔內(nèi)部與AMC輔助器件內(nèi)部的等 壓環(huán)境。
同樣的，在圖2所示的方法400中，同樣是將該AMC采樣輔助裝置通 過一接口部件與待測試負(fù)壓腔相連接。
采用本發(fā)明的技術(shù)方案，使得AMC采樣裝置能在與待測試負(fù)壓腔同等 壓力的環(huán)境中進(jìn)行采樣，消除了壓力差對AMC采樣裝置帶來的影響，提高 了采樣的準(zhǔn)確度。
上述實(shí)施例是提供給熟悉本領(lǐng)域內(nèi)的人員來實(shí)現(xiàn)或使用本發(fā)明的，熟悉 本領(lǐng)域的人員可在不脫離本發(fā)明的發(fā)明思想的情況下，對上述實(shí)施例做出種 種修改或變化，因而本發(fā)明的保護(hù)范圍并不被上述實(shí)施例所限，而應(yīng)該是符 合權(quán)利要求書提到的創(chuàng)新性特征的最大范圍。
權(quán)利要求
1.一種空氣分子污染AMC采樣輔助器件，與AMC采樣裝置結(jié)合使用，其特征在于，該AMC采樣輔助器件提供一與待測試負(fù)壓腔等壓的環(huán)境，該AMC采樣裝置置于該AMC采樣輔助器件中，在與待測試負(fù)壓腔等壓的環(huán)境中對AMC進(jìn)行采樣。
2. 如權(quán)利要求1所述的AMC采樣輔助器件，其特征在于，該AMC輔 助器件包括一密閉容器，用于放置該AMC采樣裝置；一連接管道，連接至該除塵腔內(nèi)部，使該密閉容器的內(nèi)部與該待測試負(fù) 壓腔內(nèi)部等壓。
3. 如權(quán)利要求2所述的AMC采樣輔助器件，其特征在于，所述AMC采樣裝置的采樣管穿過所述連接管道到達(dá)待測試負(fù)壓腔的內(nèi) 部進(jìn)行AMC采樣。
4. 如權(quán)利要求3所述的AMC釆樣輔助裝置，其特征在于， 該連接管道的直徑大于該AMC采樣裝置的采樣管。
5. 如權(quán)利要求2-4中任一項(xiàng)所述的AMC采樣輔助裝置，其特征在于， 還包括一接口部件，該AMC采樣輔助裝置通過該接口部件與待測試負(fù)壓腔 相連4妄。
6. —種空氣分子污染AMC采樣方法，其特征在于，提供一與待測試負(fù) 壓腔等壓的環(huán)境，在與待測試負(fù)壓腔等壓的環(huán)境中對AMC進(jìn)行采樣。
7. 如權(quán)利要求6所述的AMC采樣方法，其特征在于，包括 提供一密閉容器，在該密閉容器中放置AMC采樣裝置； 提供一連接管道，連接該待測試負(fù)壓腔內(nèi)部與該密閉容器內(nèi)部，使該待 測試負(fù)壓腔內(nèi)部與該密閉容器內(nèi)部等壓。
8. 如權(quán)利要求7所述的AMC采樣方法，其特征在于，將AMC采樣裝置的采樣管穿過所述連接管道到達(dá)待測試負(fù)壓腔的內(nèi)部 進(jìn)行AMC采樣。
9. 如權(quán)利要求8所述的AMC采樣方法，其特征在于， 該連接管道的直徑大于該AMC采樣裝置的采樣管。
10. 如權(quán)利要求7-9中任一項(xiàng)所述的AMC采樣方法，其特征在于，將 該AMC采樣輔助裝置通過一接口部件與待測試負(fù)壓腔相連接。
全文摘要
本發(fā)明揭示了一種空氣分子污染(AMC)采樣輔助器件，與AMC采樣裝置結(jié)合使用，該AMC采樣輔助器件提供一與待測試負(fù)壓腔等壓的環(huán)境，該AMC采樣裝置置于該AMC采樣輔助器件中，在與待測試負(fù)壓腔等壓的環(huán)境中對AMC進(jìn)行采樣。本發(fā)明還提供一種對某種新材料空氣分子污染AMC采樣方法。采用本發(fā)明的技術(shù)方案，使得AMC采樣裝置能在與待測試負(fù)壓腔同等壓力的環(huán)境中進(jìn)行采樣，消除了壓力差對AMC采樣裝置帶來的影響，提高了采樣的準(zhǔn)確度。
文檔編號G01N1/24GK101373171SQ200710045078
公開日2009年2月25日 申請日期2007年8月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月21日
發(fā)明者勇 丁, 周金鋒, 柳 桂, 陳華勇 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司