專利名稱：熱線型氣體傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種傳感器，尤其涉及一種熱線型氣體傳感器。
背景技術(shù)：
熱線型氣體傳感器在檢測可燃性氣體、有毒氣體等氣體濃度保障生產(chǎn)生活安全方面具有非常明顯的積極作用，目前使用的熱線型氣體傳感器的檢測元件部分大多采用球狀結(jié)構(gòu)，加熱電阻所采用的鉑絲一般為手工繞制，球狀結(jié)構(gòu)的敏感層與其所包圍的加熱電阻之間具有一定空隙。結(jié)構(gòu)及制作工藝導(dǎo)致現(xiàn)有的熱線型氣體傳感器存在以下缺點1.抗震動性能不高，現(xiàn)有的熱線型氣體傳感器的檢測元件的支撐針腳少使得其抗震動性能不高。
2.由于手工操作的存在，使得現(xiàn)有的熱線型氣體傳感器的性能一致性、穩(wěn)定性、生產(chǎn)效率比較低。
3.球狀結(jié)構(gòu)的敏感層與其包圍的加熱電阻之間具有一定的空隙，使得現(xiàn)有的熱線型氣體傳感器的功耗較高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的問題就是現(xiàn)有的熱線型氣體傳感器存在的上述問題。
為了解決本發(fā)明提出的上述問題，本發(fā)明提供了一種熱線型氣體傳感器，本發(fā)明的技術(shù)方案為包括檢測單元，所述檢測單元包括襯底、加熱電阻、第一電極、第二電極、引線和敏感層，所述加熱電阻、敏感層、第一電極及第二電極為膜狀，所述襯底上依次設(shè)置第一電極、加熱電阻、第二電極和敏感層，所述第一電極和所述第二電極連通設(shè)置，所述第一電極及第二電極和所述引線連接。
本發(fā)明的檢測單元不再使用球狀結(jié)構(gòu)，而是使用層次分明的平面結(jié)構(gòu)，各層緊密結(jié)合，其支撐物也由兩根引線的支撐結(jié)構(gòu)改變?yōu)槠矫嫘螤畹囊r底。通過對本發(fā)明的技術(shù)方案的分析，可以清楚的看到本發(fā)明具有明顯的進(jìn)步1.抗震動性能明顯提高，平面結(jié)構(gòu)的設(shè)計使得第一電極和第二電極及加熱電阻等與其附著物襯底緊密結(jié)合，將使本發(fā)明的抗震動性能提高的更為明顯。
2.省略了人工繞制加熱電阻絲等人工操作環(huán)節(jié)，使得本發(fā)明的性能一致性、穩(wěn)定性、生產(chǎn)效率有了顯著提高。
3.由于加熱電阻、第一電極、第二電極及敏感層緊密的依次附著在隔熱性能優(yōu)異的襯底上，使得本發(fā)明的加熱電阻的功耗明顯降低。


圖1為本發(fā)明實施例的檢測單元截面示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖及具體實施方式
對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明。
在圖1所示的本發(fā)明實施例的檢測單元截面示意圖中，附圖標(biāo)記與其所指示的組成部分的對應(yīng)關(guān)系為1-襯底，2-第一電極，3-加熱電阻，4-敏感層，5-第二電極，在襯底1上依次為膜狀的第一電極2、加熱電阻3、第二電極5和敏感層4，此種平面的結(jié)構(gòu)改變了現(xiàn)有熱線型氣體傳感器的檢測單元的球狀結(jié)構(gòu)，引線在圖中未示。
在該實施例中，采用96氧化鋁陶瓷作為襯底1的材料，其規(guī)格一般是長度為1-2毫米、寬度為1-2毫米、厚度為0.15-0.25毫米，采用二氧化釕(化學(xué)式為RuO2)或鉑(化學(xué)式為Pt)并加入其他化合物作為加熱電阻3的漿料，采用RuO2或金(化學(xué)式為Au)并摻雜其它化合物作第一電極2和第二電極5的漿料，采用絲網(wǎng)印刷方法，按照圖1所示的層次順序依次將第一電極2、加熱電阻3、第二電極5及敏感層4印制在襯底1上，采用粘接或焊接的方法將引線與加熱電阻3和第一電極2及第二電極5連接，應(yīng)當(dāng)用Pt、Au或者二者的合金作為引線。第一電極2和第二電極5的排列可以為條形或者L形等，但是第一電極2和第二電極5應(yīng)當(dāng)重合并且為連通設(shè)置，第一電極2、第二電極5及加熱電阻3應(yīng)當(dāng)印刷均勻一致，保證各層形狀完整。
為了更好的提高本發(fā)明的精確度和抗震動性能，可以將檢測單元與補償單元連接，并將補償單元設(shè)置在襯底1上，也就是說將補償單元設(shè)置在襯底1上與檢測單元同一面或者另一面，第一電極2及第二電極5和補償單元連接。
最后應(yīng)說明的是以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非對其進(jìn)行限制，盡管參照較佳實施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解其依然可以對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而這些修改或者等同替換亦不能使修改后的技術(shù)方案脫離本發(fā)明技術(shù)方案的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種熱線型氣體傳感器，包括檢測單元，其特征在于所述檢測單元包括襯底、加熱電阻、第一電極、第二電極、引線和敏感層，所述加熱電阻、敏感層、第一電極及第二電極為膜狀，所述襯底上依次設(shè)置第一電極、加熱電阻、第二電極和敏感層，所述第一電極和所述第二電極連通設(shè)置，所述第一電極及所述第二電極和所述引線連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱線型氣體傳感器，其特征在于還包括補償單元，所述補償單元設(shè)置于所述襯底上，所述第一電極及第二電極和所述補償單元連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱線型氣體傳感器，其特征在于所述襯底的制作材料為96氧化鋁陶瓷，所述襯底的長度為1-2毫米、寬度為1-2毫米、厚度為0.15-0.25毫米，所述加熱電阻的制作漿料含有二氧化釕或鉑，所述第一電極和第二電極的制作漿料包含有二氧化釕或金，所述引線的材料為鉑、金或鉑和金合金。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱線型氣體傳感器，其特征在于所述加熱電阻和所述第一電極及第二電極為條形或者L形。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱線型氣體傳感器，其特征在于所述加熱電阻和所述第一電極及第二電極為條形或L形。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱線型氣體傳感器，其特征在于所述加熱電阻和所述第一電極及第二電極是采用絲網(wǎng)印刷的方法依次印制在所述襯底上的。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的熱線型氣體傳感器，其特征在于所述第一電極及第二電極和所述引線的連接采用焊接或者粘接。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種熱線型氣體傳感器，該熱線型氣體傳感器包括檢測單元，所述檢測單元包括襯底、加熱電阻、電極、引線、敏感層，所述加熱電阻、導(dǎo)電極、敏感層為膜狀，所述電極包括第一電極和第二電極，所述襯底上依次設(shè)置膜狀的第一電極、加熱電阻、第二電極和敏感層，所述兩個電極和所述引線連接。本發(fā)明的抗震動性能明顯提高，省略了人工繞制加熱電阻絲等人工操作環(huán)節(jié)，使得本發(fā)明的性能一致性、穩(wěn)定性、生產(chǎn)效率有了顯著提高。由于加熱電阻和電極及氣敏層緊密的依次附著在隔熱性能優(yōu)異的襯底上，使得本發(fā)明的加熱電阻的功耗明顯降低。
文檔編號G01N27/12GK101059462SQ200710054430
公開日2007年10月24日 申請日期2007年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月21日
發(fā)明者高勝國, 鐘克創(chuàng) 申請人:鄭州煒盛電子科技有限公司