專利名稱：對位平臺的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及影像辨識對位領(lǐng)域，尤其是一種對位平臺的用于影像辨識對 位的旋轉(zhuǎn)參數(shù)的獲取方法。
背景技術(shù)：
影像辨識對位技術(shù)常應(yīng)用在平面顯示器、半導(dǎo)體、印刷電路板(Printed Circuit Board，PCB)等產(chǎn)業(yè)，因為這些產(chǎn)業(yè)的制造過程較為繁雜，制造過程中 的上一工序與下一工序之間通常又有幾何上的相依關(guān)系；如果直接使用誤差 較大的工件邊緣作為制造過程中各工序的幾何基礎(chǔ)，則有可能導(dǎo)致該制造過 程毀損或失效。因此，在生產(chǎn)過程中，會制作特定的對位記號(Mark),作為 制造過程中各工序的對位基準(zhǔn)。例如執(zhí)行平面顯示器用面板的缺陷測試時， 需先利用對位記號將面板上的金手指與探針對準(zhǔn)，才可開始傳送測試信號以 檢定該面板是否有缺陷存在。又如平面顯示器用面板的切割工藝中，需先利 用對位記號找出所要切割的幾何位置，才可下刀切割。
參見圖l，其示出一種典型的影像對位系統(tǒng)10的主要硬件構(gòu)成。該影像 對位系統(tǒng)10包括兩個影像擷取裝置12，如CCD(Charge Coupled Device)影像 擷取裝置， 一個對位平臺14，及一個運(yùn)動控制器(圖未示)。所謂對位通常是 指在所述運(yùn)動控制器的控制作用下該平臺可沿X及Y方向移動以及在XY平 面內(nèi)轉(zhuǎn)動任意角度6 ，進(jìn)而實現(xiàn)對裝載在其上的工件進(jìn)行精確對位。
參見圖2，通常，上述影像對位系統(tǒng)10在執(zhí)行影像對位操作之前，需先 獲知對位平臺14的旋轉(zhuǎn)參數(shù)，也即對位平臺14的旋轉(zhuǎn)中心以及其相對某一對 位記號21的旋轉(zhuǎn)半徑R及初始旋轉(zhuǎn)角e?！，F(xiàn)有的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法常以對位 平臺14的尺寸為基礎(chǔ)，驅(qū)動馬達(dá)的安裝位置等于對位平臺14的正中心為前 提，將對位平臺14的幾何中心(如圖2中的兩條正交虛線的交點)作為旋轉(zhuǎn)中 心，然后通過以下步驟來獲取旋轉(zhuǎn)半徑R及初始旋轉(zhuǎn)角6。 (l)將設(shè)置有對位 標(biāo)記21的一工件20裝載在對位平臺14上；(2)將左上角的一對位記號21調(diào)至影 像擷取裝置12的影像中心，運(yùn)動控制器記錄P1點的坐標(biāo)值；(3)將對位平臺14的左上角調(diào)至影像擷取裝置12的影像中心，運(yùn)動控制器記錄P2點的坐標(biāo)值。 獲取該P(yáng)1及P2點坐標(biāo)值后，即可算出旋轉(zhuǎn)半徑R及初始旋轉(zhuǎn)角6 o， R
如/2-K^x)2 +(/ /2-K^)2 ， 6 o arctan("2-:S^)，其中w及h分另'J為對位
平臺的X軸方向的寬度及Y軸方向的高度，K^x及K^y分別為P1到P2點的 位置差在X軸及Y軸方向的分量。
然而，采用上述對位平臺14的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法存在以下缺陷(l)上述 旋轉(zhuǎn)中心的獲取方法需考慮對位平臺的外形以及其與驅(qū)動馬達(dá)是否為同心 等組裝問題， 一般而言精度有限；(2)對于針對微動調(diào)整及高剛性的需求而設(shè) 計的三向驅(qū)動對位平臺，各運(yùn)動軸的行程大都在厘米量級，這使得從P1到P2 點的大移動量無法執(zhí)行，從而使得上述旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法不適用于該種三向 驅(qū)動對位平臺，故其適用性不廣。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，提供一種對位平臺的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法以克服現(xiàn)有技術(shù)中存 在的缺陷實為必要。
下面將以實施例說明 一種對位平臺的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法。 一種對位平臺的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法，其包括步驟
將工件裝載在對位平臺上，該工件上設(shè)置有第一對位記號及第二對位記
號；
獲取第一對位記號及第二對位記號的初始坐標(biāo)值；
驅(qū)動所述對位平臺運(yùn)動n次使所述工件上的第一對位記號及第二對位記 號相對其初始位置以任意角度轉(zhuǎn)動n次，n為大于1的自然數(shù)；
獲取每次轉(zhuǎn)動后的第一對位記號及第二對位記號的坐標(biāo)值(Xai, YJ及 (Xbi, Ybi),以及第一對位記號及第二對位記號的旋轉(zhuǎn)半徑Rai， Rbi,其中， 1< K n;
獲取以(Xai， YJ及(Xw, YW為圓心，對應(yīng)的Rai及Rbl為半徑的兩圓的一 交點的坐標(biāo)值(Xi, Yi),該坐標(biāo)值(Xi， Yj)為所述對位平臺的旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)
值；
對獲取的旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)值(Xj, Yi)進(jìn)行數(shù)值統(tǒng)計以剔除標(biāo)準(zhǔn)差之外的坐標(biāo)值；
利用未被剔除的坐標(biāo)值計算出第一對位記號及/或第二對位記號的旋轉(zhuǎn) 半徑和初始旋轉(zhuǎn)角的取值；以及
分別平均所述計算出的旋轉(zhuǎn)半徑和初始旋轉(zhuǎn)角的取值，進(jìn)而獲取所述對 位平臺對應(yīng)第 一對位記號及/或第二對位記號的旋轉(zhuǎn)參數(shù)。
相對于現(xiàn)有技術(shù)，所述旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法經(jīng)由多次旋轉(zhuǎn)任意角度來獲取 旋轉(zhuǎn)中心的多個取值，再對該旋轉(zhuǎn)中心的多個取值進(jìn)行數(shù)值統(tǒng)計，然后對未 被剔除的旋轉(zhuǎn)中心坐標(biāo)值對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)半徑以及初始旋轉(zhuǎn)角進(jìn)行平均，最終獲 取所述對位平臺的旋轉(zhuǎn)參數(shù)；其因可不考慮對位平臺的外形以及驅(qū)動馬達(dá)是 否與對位平臺同心組裝等問題，可達(dá)到較高的精度；另外，其無需利用如現(xiàn) 有技術(shù)中的Pl到P2點的大移動量來獲取旋轉(zhuǎn)參數(shù)，可應(yīng)用于針對微動調(diào)整 及高剛性需求而設(shè)計的三向驅(qū)動對位平臺，適用性較廣。
圖l是一種典型的影像對位系統(tǒng)的主要硬件構(gòu)成示意圖。
圖2是現(xiàn)有技術(shù)中的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法的原理示意圖。
圖3是本發(fā)明實施例的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法的原理示意圖。
圖4是本發(fā)明實施例的對位平臺的旋轉(zhuǎn)中心坐標(biāo)值的數(shù)值統(tǒng)計原理示意圖。
具體實施例方式
下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明實施例作進(jìn) 一 步的詳細(xì)說明。 參見圖1、圖3及圖4,本發(fā)明實施例提供的對位平臺的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取 方法，可用于獲取對位平臺的對應(yīng)對位記號Ma， Mb的旋轉(zhuǎn)半徑Ra、 Rb及初 始旋轉(zhuǎn)角6a、 6b等旋轉(zhuǎn)參數(shù)。該旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法包括步驟
(l)將工件，如測試樣本(圖未示)裝載在影像對位系統(tǒng)10的對位平臺14 上，使工件與對位平臺14不會產(chǎn)生相對移動。該工件上設(shè)置有至少兩個對 位記號Ma， Mb(如圖3所示)。該對位標(biāo)記Ma， Mb位于影像對位系統(tǒng)10的 影像擷取裝置12,如CCD影像擷取裝置的視野范圍內(nèi)?？梢岳斫獾氖牵?dāng) 工件被裝載在對位平臺后，工件上的對位記號MU， Mb與對位平臺的旋轉(zhuǎn)中心O的相對位置就已經(jīng)纟皮確定下來，也就是說對位記號Ma， Mb的旋轉(zhuǎn)半徑
Ra、 Rb及初始旋轉(zhuǎn)角6a、 6b在該旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法過程中不會有變化。
(2) 獲取對位標(biāo)記Ma， Mb的初始坐標(biāo)值Ma(XaQ, YaG), Mb(XbQ, Ybo)。該 初始坐標(biāo)值Ma(XaQ， Yao), Mb(Xbo,Ybo)可經(jīng)由該影像擷取裝置12獲得。
(3) 驅(qū)動所述對位平臺運(yùn)動多次使所述工件上的對位記號Ma, Mb相對其 初始位置以任意角度轉(zhuǎn)動相應(yīng)次數(shù)。具體的，所述對位平臺14每被驅(qū)動運(yùn)
動一次，工件上的對位記號Ma， Mb會產(chǎn)生相對于其初始位置Ma(Xa。，Yao),
Mb(Xbo, Ybo)的一轉(zhuǎn)動角度6i (i表示所述對位平臺14的第i次運(yùn)動，i=l, 2, 3，...N,為自然數(shù))，該對位平臺14運(yùn)動可經(jīng)由影像對位系統(tǒng)10的運(yùn)動控制 器(圖未示)來驅(qū)動。該6i可為任意角度，其取值只要不使對位記號Ma， Mb 相對于其初始位置轉(zhuǎn)動角度6i后偏出影像擷取裝置12的視野外均可。對應(yīng) 于對位平臺14的第i次運(yùn)動，對位標(biāo)記Ma, Mb的坐標(biāo)值分別為(Xai， Yai)， (Xbi, Ybi)，該坐標(biāo)值(Xai, Yai), (Xbi, Yw)可由影像擷取裝置12獲取。通常， 所述對位平臺14可在卡笛爾坐標(biāo)系(Cartesian coordinate system)的X軸和Y 軸方向直線運(yùn)動，且可在X軸與Y軸定義的XY平面內(nèi)作轉(zhuǎn)動。
(4) 獲取每次轉(zhuǎn)動后的第一對位記號及第二對位記號的坐標(biāo)值(Xai, YJ及
(Xbl,Ybl)，以及第一對位記號及第二對位記號的旋轉(zhuǎn)半徑Rai， Rai。
具體的，對應(yīng)于對位平臺14的第i次轉(zhuǎn)動，對位標(biāo)記Ma， Mb的第i次 轉(zhuǎn)動后的坐標(biāo)值分別為(Xai, Yai), (Xbi, Ybl),該坐標(biāo)值(Xai, Yai)， (Xbi, YJ可 由影像擷取裝置12獲取。
如圖3所示，對位記號Ma, Mb的第i次轉(zhuǎn)動后的位置相對于其初始位 置(Xao, Yao)， (Xbo, Ybo)的偏移量分別為ALai, ALbl， IALai =扭&)2+,.)2 , (△ Lai)/2 = Rai x Sin(6￥/2) ， △ Lbi =)雄/)2 +(AKn')2 , ( △ Lbi)/2 = Rbi x sin(a /2); △ Xai = Xai-Xa0， AYai = Yai-Ya0; △ Xbl = Xbi-Xb0, △ Ybi = Ybi-Yb0。因》匕，乂于 位記號Ma的第i次轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)半徑Rai= V(扁/)2 +(A}^')2 /(2xsi孝72),對位 記號Mb的第i次轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)半徑Rbi= V(雄z')2 2 /(2 x sin(漢/ 2)。
(5) 獲取每次轉(zhuǎn)動后以(X仏Yn)及(X2！, Y2i)為圓心，Ru及R2i為半徑的兩 圓的一交點的坐標(biāo)值(Xh YD，該坐標(biāo)值(Xi, Y,)為所述對位平臺的旋轉(zhuǎn)中心O 的坐標(biāo)值。
具體的，分別以第i次轉(zhuǎn)動后對位記號Ma, Mb坐標(biāo)值(Xai, Yai), (Xbl, Ybl)為圓心以相對應(yīng)的Rai及Rbl為半徑作圓，解該兩圓的聯(lián)立方程式(I):
(i) {(n)2+("-y。x
可求出該兩圓方程式的方程解，也即該兩圓的交點，其中一交點即旋轉(zhuǎn)中心
O的坐標(biāo)值(Xi, Y0?？梢岳斫獾氖?，當(dāng)上述聯(lián)立方程式(I)具有兩個方程解時， 可將該兩個方程解代入直線方程式L(X, Y) = (Xao-XbQ)Y + (Ybo-Yao)X + (Xb()Ya(rXa()Yb()),經(jīng)由獲知L(X， Y)的結(jié)果的正負(fù)來判定該兩方程解所對應(yīng)的 位置位于Ma(XaG, Yao)和Mb(Xb(), Ybo)所定義的直線的哪一側(cè)，進(jìn)而可獲取目 標(biāo)解作為旋轉(zhuǎn)中心O的坐標(biāo)值(Xi， Yi)。
上述選:f又兩方程解中的目標(biāo)解來作為旋轉(zhuǎn)中心O的坐標(biāo)值(Xi, Yi)的方 法還可以為計算該兩個方程解對應(yīng)的坐標(biāo)點到Ma(Xa。， Ya。)點的距離是否等 于對應(yīng)的R^或其到Mb(XbQ, Yb。)點的距離是否等于對應(yīng)的Rbi來選取目標(biāo)解 作為旋轉(zhuǎn)中心O的坐標(biāo)值(Xi, Yi)。
(6)對獲取的旋轉(zhuǎn)中心O的坐標(biāo)值(Xi, Yi)進(jìn)行數(shù)值統(tǒng)計以剔除標(biāo)準(zhǔn)差之 外的坐標(biāo)值。
具體的，對于上述獲取的旋轉(zhuǎn)中心O的坐標(biāo)值(Xi, YO的多個取值，如(Xi, Y0， (X2,Y2)， (X3,Y3)，…，(XN，YN),可將該多個取值的Xi(i=l,2，3,…，N) 及Yi (i=l, 2, 3, N)分別作數(shù)值統(tǒng)計，剔除標(biāo)準(zhǔn)差(如一個標(biāo)準(zhǔn)差，兩個標(biāo) 準(zhǔn)差或m個標(biāo)準(zhǔn)差，m為自然數(shù)，m的取值視影像對位系統(tǒng)10的對位精度 要求而定)之外的取值，來獲取所需的坐標(biāo)值(Xi, YD。由數(shù)學(xué)計算可知，Xi
的一個標(biāo)準(zhǔn)差。X=JH;(X,-1)2 ,其中i:<formula>formula see original document page 8</formula>如果X,-i〉wxc^則因其位于標(biāo)準(zhǔn)差之外而被剔除掉，否則將其保留。同樣
的，旋轉(zhuǎn)中心o的坐標(biāo)值(Xi, yd中的Yi的一個標(biāo)準(zhǔn)差cj y為丄Sa: - )2,<formula>formula see original document page 8</formula>
其中<formula>formula see original document page 8</formula> 如果^ -P卜附XCTy貝'J因其位于標(biāo)準(zhǔn)差之
外而被剔除掉，否則將其保留。
參見圖4，其為將步驟(l) (S)獲得的旋轉(zhuǎn)中心坐標(biāo)值(Xi, Yi)的100個取值進(jìn)行數(shù)值統(tǒng)計的原理示意圖。從圖4可以得知，經(jīng)由分別對旋轉(zhuǎn)中心坐標(biāo)
值(Xi,Yi)的取值中的Xi值及Yi值分別進(jìn)行數(shù)值統(tǒng)計，當(dāng)將Xj值和Yi值中的 位于各自的一個標(biāo)準(zhǔn)差(也即m4)之外的數(shù)據(jù)剔除后，圖4中位于圓圈內(nèi)的 旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)值(Xi, Yi)即為未被剔除之取值；該未被剔除的旋轉(zhuǎn)中心的坐 標(biāo)值(Xi, Yi)的取值中的Xi及Yi均在各自的數(shù)值統(tǒng)計的一個標(biāo)準(zhǔn)差之內(nèi)。
(7) 利用步驟(6)中未被剔除的旋轉(zhuǎn)中心O的坐標(biāo)值(Xi， Yi)的取值計算出 與對位記號Ma對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)半徑和初始旋轉(zhuǎn)角取值以及與對位記號Mb對應(yīng)的 旋轉(zhuǎn)半徑和初始角度取值。具體的，對位記號Ma對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)半徑可經(jīng)由計
算(X,，Yi)到(XaO,Yao)的距離獲得，Ma對應(yīng)的初始旋轉(zhuǎn)角，也即(Xb Yi)與(Xa0， Yao)的連線與X軸的夾角因(Xi, Yi)及(XaO, Y^)已知而可經(jīng)由三角函數(shù)計算獲
得。同樣的，對位記號Mb對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)半徑可經(jīng)由計算(Xi， Y,)到(Xbo, Ybo)的 距離獲得，Mb對應(yīng)的初始旋轉(zhuǎn)角，也即(Xi, Yi)與(Xbo, Ybo)的連線與X軸的 夾角因(Xi， Y》及(Xbo， Yb0)已知而可經(jīng)由三角函數(shù)計算獲得。
(8) 將對位記號Ma的未剔除的旋轉(zhuǎn)半徑和初始旋轉(zhuǎn)角取值分別求平均
值，即可獲得對應(yīng)對位記號Ma的旋轉(zhuǎn)半徑Ra及初始旋轉(zhuǎn)角6&的值；將對
位記號Mb的未剔除的旋轉(zhuǎn)半徑和初始旋轉(zhuǎn)角取值分別求平均值，即可獲得 對應(yīng)對位記號Mb的旋轉(zhuǎn)半徑Rb及初始旋轉(zhuǎn)角6b的值；進(jìn)而可獲得所述影 像對位系統(tǒng)10的對位平臺14對應(yīng)對位記號Ma, Mb的旋轉(zhuǎn)參數(shù)。
本發(fā)明實施例利用對位平臺14的對裝載并固持在其上的工件的對位記 號的旋轉(zhuǎn)半徑不變之原理，經(jīng)由多次旋轉(zhuǎn)任意角度6i來獲取旋轉(zhuǎn)中心的多 個取值，再對該旋轉(zhuǎn)中心的多個取值進(jìn)行數(shù)值統(tǒng)計，然后對對未被剔除的旋 轉(zhuǎn)中心坐標(biāo)值對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)半徑以及初始旋轉(zhuǎn)角進(jìn)行平均，最終獲取對位平臺 14的旋轉(zhuǎn)參數(shù)，如旋轉(zhuǎn)半徑(如Ra， Rb)及初始旋轉(zhuǎn)角(如6a, 6b)。本發(fā)明 實施例的對位平臺14的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法，其因可不考慮對位平臺14的外 形以及驅(qū)動馬達(dá)是否與對位平臺14同心組裝等問題，可達(dá)到較高的精度； 另外，其無需利用如現(xiàn)有技術(shù)中的Pl到P2的大移動量來獲取旋轉(zhuǎn)參數(shù)，可 使得其能應(yīng)用于針對微動調(diào)整及高剛性需求而設(shè)計的三向驅(qū)動對位平臺，適 用性較廣。
本發(fā)明實施例的對位平臺的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法，其精度較高及適用性較 廣而可廣泛應(yīng)用于平面顯示器產(chǎn)業(yè)才幾械對位，印刷電路板產(chǎn)業(yè)機(jī)械對位，及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)機(jī)械對位的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取。
另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員還可于本發(fā)明精神內(nèi)做其它變化，如適當(dāng)變更旋
轉(zhuǎn)中心O的坐標(biāo)值(Xi, Yi)的數(shù)值統(tǒng)計方法等以用于本發(fā)明等設(shè)計，只要其不
偏離本發(fā)明的技術(shù)效果均可。這些依據(jù)本發(fā)明精神所做的變化，都應(yīng)包含在 本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種對位平臺的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法，其包括步驟將工件裝載在對位平臺上，該工件上設(shè)置有第一對位記號及第二對位記號；獲取第一對位記號及第二對位記號的初始坐標(biāo)值；驅(qū)動所述對位平臺運(yùn)動n次使所述工件上的第一對位記號及第二對位記號相對于其初始位置以任意角度轉(zhuǎn)動n次，n為大于1的自然數(shù)；獲取每次轉(zhuǎn)動后的第一對位記號及第二對位記號的坐標(biāo)值(X1i，Y1i)及(X2i，Y2i)，以及第一對位記號及第二對位記號的旋轉(zhuǎn)半徑R1i，R2i，其中，1≤i≤n；獲取以(X1i，Y1i)及(X2i，Y2i)為圓心，對應(yīng)的R1i及R2i為半徑的兩圓的一交點的坐標(biāo)值(Xi，Yi)，該坐標(biāo)值(Xi，Yi)為所述對位平臺的旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)值；對獲取的旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)值(Xi，Yi)進(jìn)行數(shù)值統(tǒng)計以剔除標(biāo)準(zhǔn)差之外的坐標(biāo)值；利用未被剔除的旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)值計算出對應(yīng)第一對位記號及/或第二對位記號的旋轉(zhuǎn)半徑和初始旋轉(zhuǎn)角的取值；以及分別平均所述計算出的旋轉(zhuǎn)半徑和初始旋轉(zhuǎn)角的取值，進(jìn)而獲取所述對位平臺對應(yīng)第一對位記號及/或第二對位記號的旋轉(zhuǎn)參數(shù)。
2. 如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法，其特征在于，所述對獲取的旋轉(zhuǎn) 中心的坐標(biāo)值(Xi， Y,)進(jìn)行數(shù)值統(tǒng)計以剔除標(biāo)準(zhǔn)差之外的坐標(biāo)值之步驟包 括對旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)值(Xi, Yi)中X,和^分別進(jìn)行數(shù)值統(tǒng)計以剔除位于標(biāo)準(zhǔn) 差之外的Xi和Yi值。
3. 如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法，其特征在于，所述利用未被剔除 的旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)值計算出對應(yīng)第 一對位記號及/或第二對位記號的旋轉(zhuǎn) 半徑和初始旋轉(zhuǎn)角的取值之步驟包括通過計算未被剔除的旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)值與第 一對位記號及/或第二對位記 號的初始坐標(biāo)值的位置差以獲得對應(yīng)第 一對位記號及/或第二對位記號的旋轉(zhuǎn)半徑；以及通過計算未被剔除的旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)值對應(yīng)的第 一位置與第 一對位記號 及/或第二對位記號的初始坐標(biāo)值對應(yīng)的第二位置的連線與x軸方向的夾 角以獲得對應(yīng)第一對位記號及/或第二對位記號的初始旋轉(zhuǎn)角。
4. 如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)值(Xi, Yi)的獲取步驟包括 計算出聯(lián)立方程式(I)(I) !(W+(wX的方程解；以及將所述方程解代入直線方程式(II),(II) L(X， Y) = (X10-X20)Y + (Y20-Y10)X + (X20Y10-X10Y20)根據(jù)L(X， Y)的結(jié)果的正負(fù)獲取目標(biāo)方程解作為所述對位平臺的旋轉(zhuǎn)中心 的坐標(biāo)值(Xi,Yi),其中，X1()、 Y1()、 X2。及Y2。分別為第一對位記號及第二對位記號的初始坐標(biāo)值的X軸及Y軸的取值。
5. 如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)中心的坐 標(biāo)值(Xi, Yi)的獲取步驟包括計算出聯(lián)立方程式(I)的方程解；以及獲取與第 一對位記號的初始坐標(biāo)值的距離等于Ru或者與第二對位記號的 初始坐標(biāo)值的距離等于R2i的方程解，該獲取的方程解即為所述對位平臺 的旋轉(zhuǎn)中心的坐標(biāo)值(X" Yi)。
6. 如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法，其特征在于，所述對位平臺可在 卡笛爾坐標(biāo)系的X軸及Y軸方向直線運(yùn)動，且可在X軸與Y軸定義的XY 平面內(nèi)轉(zhuǎn)動。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種對位平臺的旋轉(zhuǎn)參數(shù)獲取方法，包括步驟將其上設(shè)置有第一及第二對位記號的工件裝載在對位平臺上；獲取第一及第二對位記號的初始坐標(biāo)值；驅(qū)動對位平臺運(yùn)動n次使第一及第二對位記號相對于其初始位置以任意角度轉(zhuǎn)動n次；獲取第一及第二對位記號的坐標(biāo)值(X<sub>ai</sub>，Y<sub>ai</sub>)及(X<sub>bi</sub>，Y<sub>bi</sub>)，以及其旋轉(zhuǎn)半徑R<sub>ai</sub>，R<sub>bi</sub>，1≤i≤n；獲取以(X<sub>ai</sub>，Y<sub>ai</sub>)及(X<sub>bi</sub>，Y<sub>bi</sub>)為圓心對應(yīng)的R<sub>ai</sub>及R<sub>bi</sub>為半徑的兩圓的一交點坐標(biāo)值(X<sub>i</sub>，Y<sub>i</sub>)；對獲取的坐標(biāo)值(X<sub>i</sub>，Y<sub>i</sub>)進(jìn)行數(shù)值統(tǒng)計以剔除標(biāo)準(zhǔn)差之外的坐標(biāo)值；利用未被剔除的坐標(biāo)值計算出第一及/或第二對位記號的旋轉(zhuǎn)半徑和初始旋轉(zhuǎn)角；以及分別平均所述計算出的旋轉(zhuǎn)半徑和初始旋轉(zhuǎn)角的取值，進(jìn)而獲取所述對位平臺對應(yīng)第一及/或第二對位記號的旋轉(zhuǎn)參數(shù)。
文檔編號G01C11/00GK101303230SQ20071007434
公開日2008年11月12日 申請日期2007年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月9日
發(fā)明者何享真, 林錦輝 申請人:富士邁半導(dǎo)體精密工業(yè)(上海)有限公司;沛鑫半導(dǎo)體工業(yè)股份有限公司