專利名稱：多產(chǎn)品硅片測試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導體測試技術(shù)，特別涉及一種多產(chǎn)品硅片測試方法。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的半導體領(lǐng)域中， 一方面產(chǎn)品多樣化，經(jīng)常會出現(xiàn)多產(chǎn)品硅片， 即一枚硅片上同時存在好幾個產(chǎn)品；另一方面，隨著產(chǎn)品的復雜化，同一 產(chǎn)品在硅片上的排布也越發(fā)得有高要求，所以即使是同一產(chǎn)品，再排布上 可能也會越發(fā)的越多元和復雜。
按照傳統(tǒng)的做法，當出現(xiàn)此類格式的硅片時，由于芯片的排列存在不 規(guī)則性，會帶來生產(chǎn)中測試環(huán)節(jié)效率的嚴重下降。主要表現(xiàn)在以下兩方面 一是被測對象排布的不規(guī)則，帶來同測擴展的困難；二是在測試過程中， 遍歷所有測試對象的路徑的選擇上有很大困難，有可能會造成測試效率的 大幅度降低。
上述技術(shù)問題存在的根源在于，對普通的硅片生產(chǎn)測試而言，為提高 測試效率，通常使用Application同領(lǐng)U (應用性同觀U)的方式，即在測試系 統(tǒng)上，預先設(shè)定好各種同測的資源分配、測試順序、測試結(jié)果處理、數(shù)據(jù) 傳輸?shù)葍?nèi)容；在進行測試時，直接按照預先對系統(tǒng)資源分配的設(shè)定，將系 統(tǒng)所有的資源分配到各個需要測試的對象上，最后直接利用系統(tǒng)設(shè)定的方 式進行同測的擴展，使用擴展同測數(shù)目的方法來提高測試效率；而在進行 同測數(shù)擴展時，探針卡的設(shè)計需要測試對象處于一種規(guī)律的排布，通常如圖l所示此類探針卡在制作過程中，可以按照不同測試對象間的規(guī)律， 對探針卡上相應的探針位置直接進行規(guī)則的擴展。對多產(chǎn)片硅片而言，相 鄰的測試對象(DUT)處于不規(guī)則排布狀態(tài)，整個硅片又以此局部模塊進 行規(guī)律性擴展，如圖2所示:若將重復的最小相鄰區(qū)間成為一個測試模塊， 則對每個測試模塊而言，其中所有的被測對象對應的探針位置無規(guī)律可 循，因此通常的做法是針對每一個測試對象，制作單測的探針卡，而遍歷
路徑則選擇為遍歷所有DUT1，然后遍歷所有DUT2，直到遍歷完所有的 DUT8。這個過程中， 一是只進行了簡單的單測，效率降低到同測效率的 1/N， 二是全硅片的遍歷路徑擴大到原先N倍，又帶來了測試效率的降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，提供一種多產(chǎn)品硅片測試方法；采用該 方法能對多產(chǎn)品的多個測試對象同測，有效提高多產(chǎn)品硅片的測試效率。 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案，包括以下步
(1) .找出多產(chǎn)品硅片測試對象中排布具有規(guī)律的最小單元；
(2) .確定該單元內(nèi)所有測試對象需要制作探針的坐標位置，并將所有 測試對象所需要的探針作為一個集合，制作出對上述整個單元進行同時測 試的探針卡；
(3) .以上述最小單元為單位，安排遍歷全硅片的路徑，設(shè)計完成品種 參數(shù)；
(4) .將被測對象的位置進行映射，將該單元內(nèi)的測試對象轉(zhuǎn)化為測試 儀支持的規(guī)則排布，完成測試結(jié)果與對應測試對象的對應關(guān)系；
(5) .使用Application同測的方式，對硅片進行測試，并將測試結(jié)果映射回到原先的每個測試對象上，完成多產(chǎn)品硅片的測試。
本發(fā)明的多產(chǎn)品硅片測試方法，通過設(shè)計出探針不規(guī)則排布的探針
卡，角牛y犬j出個及側(cè)"j豕叫、;^i則fiKp帀術(shù)tfJ測i式問題。 一萬面頭I見了同觀!J數(shù) 目的擴展，通常方法需要對多產(chǎn)品硅片一個最小單元中的N個測試對象進 行的N次測試，可以簡化到通過1次同測完成多產(chǎn)品硅片一個最小單元中 的N個測試對象所有測試；另一方面，由于測試對象的集合模塊化，測試 時原先需要的N次遍歷全硅片也得到了極大的簡化，現(xiàn)只需要一次遍歷即 可。


下面結(jié)合附圖及具體實施方式
對本發(fā)明作進一步詳細說明。 圖1是常規(guī)同測時的DUT排布示意圖； 圖2是MPW規(guī)格DUT排布示例；
圖3是本發(fā)明的多產(chǎn)品硅片測試方法一實施方式的映射示意圖。
具體實施例方式
本發(fā)明的多產(chǎn)品硅片測試方法的一實施方式，包括以下步
(1) .找出多產(chǎn)品硅片測試對象中排布具有規(guī)律的最小單元；
(2) .確定該單元內(nèi)所有測試對象需要制作探針的坐標位置，并將所有
測試對象所需要的探針作為一個集合，制作出對上述整個單元進行同時測
試的探針卡；
(3) .以上述最小單元為單位，找出最合理的測試順序，即找出最合理 的遍歷全硅片的路徑，設(shè)計完成品種參數(shù)；
(4) .將被測對象的位置進行映射，將該單元內(nèi)的測試對象轉(zhuǎn)化為測試儀支持的規(guī)則排布，完成測試結(jié)果與對應測試對象的對應關(guān)系；
(5).使用Application同測的方式，對硅片進行測試，并將測試結(jié)果 映射回到原先的每個測試對象上，完成多產(chǎn)品硅片的測試。
作為一實施例，將多產(chǎn)品硅片上排布有規(guī)律的模塊，如圖2中的8 個測試對象DUT1至DUT8，作為一個整體視為一最小單元，雖然DUT1至 DUT8的排布無規(guī)律，無法按照常規(guī)做法制作探針卡，但通過確定該最小 單元所有測試對象需要制作探針的坐標位置，并將所有探針視作為一個測 試對象，便可以制作出對上述最小單元的8個測試對象DUT1至DUT8進行 同時測試的探針卡。
按照上述方案制作的探針卡，被測對象的排布會與現(xiàn)有測試儀支持的 排布格式有偏差，此時需要進行映射。如圖3所示，將被測對象DUT1至 DUT8的位置進行映射，將最小單元內(nèi)的測試對象DUT1至DUT8的排布轉(zhuǎn)化 為測試儀支持的規(guī)則排布，通過上述映射過程，右側(cè)圖示中的1到8分別 代表左側(cè)中的1到8，原先的不規(guī)則排布轉(zhuǎn)化為規(guī)則的現(xiàn)有測試儀支持的 排布格式，這樣可以完成測試結(jié)果與對應測試對象的對應關(guān)系。
使用Application同測的方式，對硅片進行測試，將示例中最小單元 所有被測對象作為一個測試整體，同時進行測試，然后將測試結(jié)果處理為 8個結(jié)果，最后映射到實際的圖形上，完成測試。
本發(fā)明的多產(chǎn)品硅片測試方法，針對多產(chǎn)品硅片的測試而設(shè)計；設(shè)計 探針卡時，將具有規(guī)律性排列的臨近區(qū)域內(nèi)所有的測試對象作為一個整 體，針對此整體設(shè)計出探針卡；以此整體為最小測試對象，將其映射為規(guī) 則排布的圖形，進行同測的展開；最后將測試結(jié)果映射回到原先的測試對象上，完成測試。通過設(shè)計出探針不規(guī)則排布的探針卡，解決了由被測對 象不規(guī)則排布帶來的測試問題。 一方面實現(xiàn)了同測數(shù)目的擴展，通常方法
需要對多產(chǎn)品硅片一個最小單元中的N個測試對象進行的N次測試，可以 簡化到通過1次同測完成多產(chǎn)品硅片一個最小單元中的N個測試對象所有 測試；另一方面，由于測試對象的集合模塊化，測試時原先需要的N次遍 歷全硅片也得到了極大的簡化，現(xiàn)只需要一次遍歷即可。
采用本發(fā)明的方法，解決了MPW (多產(chǎn)品硅片)格式的硅片無法進行 同測擴展的問題。若測試由原先的單測擴展為N同測，則測試效率至少可 以提高N倍。提高了多產(chǎn)品硅片在生產(chǎn)測試中的效率，通過縮短測試時間， 縮短產(chǎn)品的生產(chǎn)流程，從而有能效地提高生產(chǎn)效率。
權(quán)利要求
1、一種多產(chǎn)品硅片測試方法，其特征在于，包括以下步驟(1). 找出多產(chǎn)品硅片測試對象中排布具有規(guī)律的最小單元；(2). 確定該單元內(nèi)所有測試對象需要制作探針的坐標位置，并將所有測試對象所需要的探針作為一個集合，制作出對上述整個單元進行同時測試的探針卡；(3). 以上述最小單元為單位，安排遍歷全硅片的路徑，設(shè)計完成品種參數(shù)；(4). 將被測對象的位置進行映射，將該單元內(nèi)的測試對象轉(zhuǎn)化為測試儀支持的規(guī)則排布，完成測試結(jié)果與對應測試對象的對應關(guān)系；(5). 使用Application同測的方式，對硅片進行測試，并將測試結(jié)果映射回到原先的每個測試對象上，完成多產(chǎn)品硅片的測試。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種多產(chǎn)品硅片測試方法，找出多產(chǎn)品硅片測試對象中排布具有規(guī)律的最小單元；確定該單元內(nèi)所有測試對象需要制作探針的坐標位置，并將所有測試對象所需要的探針作為一個集合，制作出對上述整個單元進行同時測試的探針卡；以上述最小單元為單位，安排遍歷全硅片的路徑，設(shè)計完成品種參數(shù)；對被測對象的位置進行映射，將該單元內(nèi)的測試對象轉(zhuǎn)化為測試儀支持的規(guī)則排布，完成測試結(jié)果與對應測試對象的對應關(guān)系；使用Application同測的方式，對硅片進行測試，并將測試結(jié)果映射回到原先的每個測試對象上，完成多產(chǎn)品硅片的測試。采用該方法能對多產(chǎn)品的多個測試對象同測，能有效提高多產(chǎn)品硅片的測試效率。
文檔編號G01R31/28GK101458296SQ200710094449
公開日2009年6月17日 申請日期2007年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月13日
發(fā)明者繆小波, 婷 陳, 黃海華 申請人:上海華虹Nec電子有限公司