專利名稱：透鏡測定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測定透鏡的光學(xué)特性的透鏡測定裝置。
背景技術(shù)：
以往，作為測定透鏡的光學(xué)特性的透鏡測定裝置，公知的有如專利公開平6-174588號公報所記載的那樣裝置，其通過光纖對光源的光進行導(dǎo)光，將從光纖出射的光入射到擴散板并使之擴散，把擴散的光入射到圖表(chart)而形成狹縫像，通過檢測透鏡把該狹縫像成像于攝像機構(gòu)，根據(jù)由攝像機構(gòu)攝像的圖像，測定被檢測透鏡的MTF。此裝置是作為對光源的光進行導(dǎo)光的光纖，使用多個分歧的器件，其抑制光對圖表照射的不均勻。
專利文獻1日本專利公開平6-174588號公報發(fā)明內(nèi)容然而，即使為這樣的裝置，也不能充分減少對于圖表的光的照射不均勻，因此出現(xiàn)不能精密良好地測定透鏡的光學(xué)特性的問題。也就是說，即使對于通過多個光纖照射光的情況，在各光纖的放射部的中央位置和周圍的位置，也產(chǎn)生光量之差，因此，發(fā)生出射光的光量不均勻。
因此，本發(fā)明是為了解決這樣的課題而提出，其目的在于提供可以充分減少入射到圖表的光的光量不均勻的透鏡測定裝置。
也就是說，本發(fā)明的透鏡測定裝置的特征在于，將光源的光入射到擴散機構(gòu)而使之擴散，將該擴散后的光入射到圖表而形成光像，將該光像入射到透鏡，并由攝像機構(gòu)對由該透鏡所成像的光像進行攝像，基于由該攝像機構(gòu)所攝像的圖像，測定所述透鏡的MTF，所述擴散機構(gòu)是，用形成于內(nèi)壁的擴散面對所入射的光進行多次反射而出射的積分球。
根據(jù)本發(fā)明，通過作為入射到圖表的光的擴散機構(gòu)使用積分球，從而能夠把光量不均勻少的光入射到圖表而進行MTF的測定。因此，可以進行非常精密的MTF的測定。
關(guān)于本發(fā)明的透鏡測定裝置，其特征在于，所述攝像機構(gòu)，是被多個地設(shè)置，并分別對與所述透鏡的光軸上的位置和光軸外的位置相對應(yīng)的光像進行攝像的器件，基于與所述透鏡的光軸上的位置和光軸外的位置相對應(yīng)的光像的攝像圖像，可以測定所述透鏡的光軸上的位置和光軸外的位置的MTF。
根據(jù)本發(fā)明，由于是為了測定透鏡光軸上的位置與光軸外的位置的MTF的裝置，因此，通過把光量不均勻少的光由積分球入射到圖表上，能夠在透鏡光軸上的位置和光軸外的位置的MTF的測定中，得到良好的測定值。
并且，在有關(guān)本發(fā)明的測定裝置中，上述光源最好是從相對于積分球不同的位置入射多束光的器件。
根據(jù)本發(fā)明，通過從相對于積分球不同的位置入射多束光，因此，可以從積分球出射光量不均勻更少的光。
根據(jù)本發(fā)明，通過作為入射到圖表的光的擴散機構(gòu)使用積分球，并將光量不均勻少的光入射到圖表而進行MTF的測定，因此可以進行非常精密的MTF的測定。


圖1是有關(guān)本發(fā)明實施方式的透鏡測定裝置之構(gòu)成概要圖。
圖2是用于圖1的透鏡測定裝置的托架的俯視圖。
圖3是在圖2III-III的托架的剖面圖。
圖4是從圖2的IV-IV所看到的托架的側(cè)視圖。
圖5是用于圖1的透鏡測定裝置的圖表的說明圖。
圖6是表示圖1的透鏡測定裝置的基本裝置的流程圖。
圖7是圖1的透鏡測定裝置的測定結(jié)果的說明圖。
圖8是圖1的透鏡測定裝置的測定結(jié)果的說明圖。
圖9是圖1的透鏡測定裝置的測定結(jié)果顯示的說明圖。
圖10是圖1的透鏡測定裝置的測定結(jié)果顯示的說明圖。
圖11是圖1的透鏡測定裝置的變形例的說明圖。
圖中1-透鏡，2-測定部，3-解析控制部，4-監(jiān)視器，5-判定部，6-電源部，7-托架，23-圖表，24-積分球，26-攝像機，62-防震膠片具體實施方式
以下參照附圖詳細說明本發(fā)明的實施方式。另外，在圖面的說明上，對同樣的要素付同樣的符號，省略重復(fù)說明。而且，各圖所表示的部件和形成于部件的部分的構(gòu)成比率不一定與說明的內(nèi)容一致。
圖1是有關(guān)本發(fā)明實施方式所涉及的透鏡測定裝置的構(gòu)成概要圖。有關(guān)此實施方式的透鏡測定裝置是測定透鏡1的光學(xué)特性的裝置。例如，用于MTF(Modulation Transfer Function)的測定。透鏡測定裝置，具備測定部2、解析控制部3、監(jiān)視器4、判定部5及電源部6而構(gòu)成。測定部2是測定透鏡1的光學(xué)特性。測定部2及電源部6是構(gòu)成裝置本體的器件，分別在例如獨立的筐體21、61中收置各構(gòu)成部件。電源部6，作為對給裝置構(gòu)成部件提供電力的電源66進行收置的電裝部而發(fā)揮功能。
測定部2隔著防振橡膠(ゴム)62而被安裝于電源部6上。防振橡膠62是控制振動傳達，使在電源部6產(chǎn)生的振動不會傳遞到測定部2的防振材料。該防振橡膠62也有使用板狀的防振橡膠的情況，但為了確實地防止振動的傳遞，最好使用塊(block)狀物。防振橡膠62被設(shè)置為，在多處支撐測定部2。例如，在四個點支撐測定部2的底面。
而且，只要是能控制振動傳遞，使在電源部6產(chǎn)生的振動不會傳遞到測定部2，也可以使用由橡膠以外材料構(gòu)成的防振材料來代替防振橡膠62。
如此，通過在電源部6上隔著防振橡膠62安裝測定部2，因此，可以防止在電源部6產(chǎn)生的振動傳遞到測定部2。這樣，不僅減少裝置外部的振動，而且減少裝置內(nèi)部所產(chǎn)生的振動的影響，可以正確地測定透鏡1的光學(xué)特性。而且，可以不獨立地設(shè)置電源部6和測定部2，把電源部6和測定部2組裝起來而構(gòu)成，因此，可以構(gòu)成簡便的裝置。
作為測定對象的透鏡1保持于托架7來測定。托架7是保持透鏡1的保持工具，成為在透鏡1可以透過光而支撐透鏡1的構(gòu)造。托架7最好使用可以一次容納多個透鏡1的材料。裝載托架7的XY載物臺22設(shè)置在測定部2。XY載物臺22裝載托架7，并被構(gòu)成為可以將托架7往作為X方向的左右方向和作為Y方向的前后方向移動，通過托架7的移動使測定對象的透鏡1移動。作為XY載物臺22，只要可以使托架7往X方向及Y方向移動，可以任意使用。
檢測保持于托架7的透鏡1種類的檢測部22a設(shè)置于XY載物臺22。檢測部22a，根據(jù)設(shè)置于托架7的識別部71的信息，檢測托架7所保持的透鏡1的種類。而且，檢測部22a根據(jù)設(shè)置于托架7的識別部71的信息，檢測托架7的識別號碼。托架7的識別號碼是用于單個地識別同種類的托架7的號碼，對各托架7均分配有不同的識別號碼。作為該托架7的號碼，最好分配連續(xù)的序列(serial)號碼。
圖表23配置于測定部2。圖表23是形成向透鏡1輸入的輸入像的器件，并被配設(shè)于積分球24和透鏡1之間。該測定部24是由逆投影測定透鏡1的光學(xué)特性。即，對透鏡1投影光像的圖表23被配置于透鏡1的焦點位置。
圖表23設(shè)于Z載物臺(stage)25。Z載物臺25被構(gòu)成為可以使圖表23往Z方向的上下方向移動，使圖表23相對于透鏡1任意接近和遠離。因此，可以調(diào)整透鏡1相對于圖表23的位置。作為Z載物臺25，只要是可以使圖表23沿Z方向移動，可任意使用。
在測定部2上設(shè)置積分球24。積分球24作為將把往圖表23擴散的輸入光輸入的擴散機構(gòu)而發(fā)揮功能，例如，設(shè)于圖表23的下方位置。積分球24具有輸出口24a，并由以形成為球狀的內(nèi)壁為擴散面24b的球體所構(gòu)成。擴散面24b是擴散入射的光，并使之反射的面，例如，附貼粉末體而形成。
在光源部63輸出的光通過光導(dǎo)68入射到積分球24，入射到積分球24的光在積分球24的內(nèi)部被多次反射，成為光量不均勻性極小的光，而從輸出口24a輸出。
攝像機26設(shè)置于測定部2。攝像機26是對從透鏡1輸出的輸出像進行受像的攝像機構(gòu)。作為攝像機26，使用具備如CCD(Charge Coupled Device)等固體攝像元件，輸入于透鏡1的圖表23的輸入像通過透鏡1在攝像機26成像，這就是透鏡1的輸入像。
攝像機26為了檢測在透鏡1的不同部位的光學(xué)特性，最好使用多個，例如，此攝像機26設(shè)置了九個，此時，左右方向及前后方向各排列三個。因此，可以測定透鏡1前后左右九個部位的光學(xué)特性。攝像機26的受像信號輸入到解析控制部3。
光源部63設(shè)置于電源部6，光源部63是發(fā)光輸入到積分球24的光的光源，例如，使用具備鹵素?zé)舻墓庠?。從光源?3輸出的光通過光導(dǎo)68輸入到積分球24。而且，在電源部6設(shè)置了驅(qū)動部64。驅(qū)動部64是進行XY載物臺22及Z載物臺25的驅(qū)動控制的器件。例如，在XY載物臺22及Z載物臺25通過脈沖馬達的驅(qū)動而動作的情況下，該驅(qū)動部64由脈沖馬達控制器構(gòu)成。根據(jù)解析控制部3輸出的控制信號，驅(qū)動部64給XY載物臺22及Z載物臺25輸出驅(qū)動信號。
并且，在電源部6中設(shè)置控制部65，控制部65主要控制光源部63的發(fā)光。并且，控制部65輸入XY載物臺22的檢測部22a的檢測信號，再把其檢測信號輸出到解析控制部3。并且，在電源部6設(shè)置了電源66。電源66是光源部63、驅(qū)動部64及控制部65的電力供給電源。在電源部6設(shè)置了風(fēng)扇67，風(fēng)扇67作為排出電源部6內(nèi)的熱量進行冷卻的冷卻機構(gòu)而發(fā)揮功能，例如，使用具備回轉(zhuǎn)翼的風(fēng)扇。
解析控制部3控制裝置全體，例如，以含有CPU、ROM、RAM的計算機為主體而構(gòu)成。作為該解析控制部3，例如使用個人計算機的本體部。解析控制部3，作為測定設(shè)定機構(gòu)而發(fā)揮功能，所述測定設(shè)定機構(gòu)基于安裝在測定部2的托架7的信息，來判斷要測定的透鏡1的種類，并設(shè)定與該透鏡1的種類相對應(yīng)的透鏡光學(xué)特性的測定。并且，解析控制部3，作為解析機構(gòu)而發(fā)揮功能，所述解析機構(gòu)輸入攝像機26的受像信號并根據(jù)受像信號解析透鏡1的MTF等光學(xué)特性。
監(jiān)視器4連接于解析控制部3，作為顯示透鏡1的光學(xué)特性的測定結(jié)果等的顯示機構(gòu)而發(fā)揮功能。并且，通過監(jiān)視器4，還可以對測定透鏡1時的測定設(shè)定進行顯示。
判定部5，判定托架7所保持的透鏡1的測定結(jié)果。判定部5被構(gòu)成為可以載置托架7，并具有認知所載置的托架7的認知部5以及對成為測定結(jié)果NG的透鏡1進行顯示的顯示部52。判定部5是與解析控制部3連接，可以取得托架7的檢測信息及透鏡1的測定結(jié)果信息。
若把測定結(jié)束的托架7裝置在判定部5，則認知部51基于托架7的識別部71來認知托架7。從解析控制部3取得保持于托架7的各透鏡1的測定結(jié)果，顯示部52以特定的色彩來顯示測定結(jié)果NG的透鏡1。例如，顯示部52中，與托架7的各透鏡1的配置位置相對應(yīng)地，配設(shè)多個發(fā)光體。并使與成為NG的透鏡1相對應(yīng)的發(fā)光體以紅色發(fā)光。因此，裝置的操作人員從多個保持的透鏡1中可以容易判定成為測定結(jié)果NG的透鏡1，也可以從托架7去除成為NG的透鏡1。
圖2表示托架7的俯視圖。圖3是圖2的III-III的托架7的剖面圖。圖4是從圖2的IV-IV所看到的托架7的側(cè)視圖。
如圖2、圖3所示，保持多個透鏡1的保持部72被形成于托架7。保持部72被構(gòu)成為使托架7的上面往下面凹入，而可以容納透鏡1。在保持部72設(shè)有貫通底部而形成的貫通孔73。貫通孔73用于在透鏡測定時透過輸入像。保持部72縱橫排列而形成，例如，排列6個×6個，托架7上形成有36個。
如圖4所示，識別部71被設(shè)在托架7。識別部71表示托架7的種類及識別號碼，例如，使用組裝多個凹凸部71a的器件。識別部71通過并設(shè)相對于下方而凹凸的N個凹凸部71a，而構(gòu)成，從而能夠通過設(shè)定凹凸部71a的凹凸而構(gòu)筑N比特的信息。且按照此N比特的信息設(shè)定托架7的種類及托架7的識別號碼，基于N比特的信息就可以知道托架7的種類及托架7的識別號碼。在識別部71上例如形成七個凹凸部，擁有七個比特的信息。
作為基于托架7的識別部71進行檢測托架7的種類及托架7的識別號碼的檢測部22a，例如使用具有根據(jù)凹凸部71a的凹凸而進行開閉的開關(guān)。檢測部22a根據(jù)開關(guān)的開閉狀態(tài)而檢知托架7的識別部71的凹凸部71a的凹凸狀態(tài)，并基于此凹凸狀態(tài)檢測托架7的種類，即托架7中保持的透鏡1的種類及托架7的識別號碼。而且，判定部5的認識部51也最好使用與檢測部22a同樣的材料而構(gòu)成。
并且，此檢測部22a及認識部51，只要是認知托架7之信息的，上述以外的也可。例如，也可以在托架7上裝一個條形碼，通過辨讀此條形碼而檢測托架7的信息。
圖5是圖表23的俯視圖。
如圖5所示，圖表23由容許光只透過形成狹長孔23a的部分而將其他部分的光的透過遮斷的板體而構(gòu)成。例如，狹長孔23a中，中央位置的測定點P1和在其周圍以放射狀配置的多個測定點P2～P9以十字狀開口的方式被形成。且使測定點P1～P9排列形成縱3或橫3也可以。在各測定點P1～P9中，最好在狹長孔23a中形成為十字狀。這樣在狹長孔23a上設(shè)多個測定點P1～P9，從而可以獨立測定透鏡1各部的光學(xué)特性，并可以精密地測定透鏡1的光學(xué)特性。
以下說明關(guān)于有關(guān)本實施方式的透鏡測定裝置的基本動作。
圖6是表示有關(guān)本實施方式的透鏡測定裝置的基本動作的流程圖。圖6的控制處理主要由解析控制部3來實行。如圖6的S10所示，首先判斷測定部2的測定位置上有否裝設(shè)托架7。關(guān)于此判斷處理，也可以，例如基于XY載物臺22的檢測部22a的檢測信號而進行。在S10中，在判斷為托架7裝設(shè)在測定部2的測定位置時，進行托架的識別信息的讀入處理(S12)。
關(guān)于此托架的識別信息的讀入處理，基于檢測部22a的檢測信號而進行。即，根據(jù)檢測部22a的檢測信號所含的7比特的信息，檢測托架7的種類及托架7的識別號碼，分別讀入托架7的種類、該托架7所保持的透鏡1的種類及托架7的識別號碼。
而且，移行到S14，進行測定設(shè)定處理。此測定設(shè)定處理，是在測定透鏡1的光學(xué)特性時所進行的設(shè)定其測定系統(tǒng)的處理。例如，作為測定設(shè)定，對應(yīng)于透鏡1的焦點距離進行圖表23的位置設(shè)定。按照透鏡1的種類，從解析控制部3到驅(qū)動部64輸出驅(qū)動控制信號，Z載物臺25接受驅(qū)動部64驅(qū)動信號而動作，而進行圖表23的Z方向的位置設(shè)定。通過這樣的測定設(shè)定，裝置的操作人員對透鏡1的種類不需進行測定設(shè)定，可以順利地進行測定工作。且可以防止測定設(shè)定錯誤。
并且，作為測定設(shè)定，與托架7的透鏡1保持位置相對應(yīng)地，讀入XY載物臺22的移動設(shè)定程序。此外作為測定設(shè)定，按照透鏡1種類有時還設(shè)定從積分球24輸出的光的光量。
移行到S16，判斷測定開始按鈕是否開著。在裝置的操作人員按下未圖示的測定開始按鈕的情況下，判斷為測定開始按鈕是開著的。在判斷為測定開始按鈕已打開時，進行測定處理(S18)。
關(guān)于測定處理，通過如下方式而進行即以應(yīng)當測定的透鏡1在圖表23的正上方的方式使操作XY載物臺22動作，并使光從積分球24輸出，并基于對從透鏡1輸出的光像進行攝像的攝像機26的攝像圖像，對透鏡1的光學(xué)特性進行解析。
從光源部63出射的光，在光導(dǎo)68中導(dǎo)光而入射到積分球24。然后入射到積分球24的光在內(nèi)壁的擴散面24b多次被反射后從輸出口24a出射。此時，從積分球24輸出的光成為光量不均較少的均勻光。從積分球24輸出的光透過圖表23的狹縫23a入射到透鏡1。并且，從透鏡1輸出的狹縫23a的光像，由攝像機26所攝像。此時，對狹縫23a的測定點P1～P9分別均分的攝像機26，對這些測定點P1～P9的光像進行攝像。
作為透鏡1的光學(xué)特性，測定MTF。關(guān)于MTF，通過求算例如狹縫23a的光像圖像的線像強度的分布，并對此進行傅里葉變換而算出。此MTF可以算出每個測定點P1～P9。而且，算出如圖7所示的對應(yīng)于空間頻率的MTF光學(xué)特性和/或如圖8所示的DYY散焦(defocus)的MTF的光學(xué)特性。另外，作為透鏡1的光學(xué)特性，測定透鏡1的焦距、焦深、偏心狀態(tài)等。這些光學(xué)特性最好與MTF同樣地對每個測定點P1～P9進行測定。
其次，移行到圖6的S20，進行測定結(jié)果判斷處理。此測定結(jié)果判斷處理是判斷所測定的透鏡1的光學(xué)特性是否是預(yù)先被設(shè)定的容許范圍內(nèi)的特性的處理。例如，判斷透鏡1的MTF值是否是容許范圍內(nèi)的值，若透鏡1的MTF值不是容許范圍內(nèi)的值的話，該透鏡1就作為NG透鏡被處理。
然后，移行到S22，判斷所測定的透鏡1的光學(xué)特性是否是NG。在所測定的透鏡1的光學(xué)特性不在容許范圍內(nèi)的情況下，判斷為透鏡1是NG，進行NG累加(count up)處理(S24)。關(guān)于NG累加處理，是對與成為NG的透鏡1的托架7上的透鏡保持位置(保持部72)相對應(yīng)的計數(shù)值進行增加。此數(shù)值分別對應(yīng)于每個托架7的透鏡保持位置而被設(shè)定，且表示各透鏡保持位置的NG次數(shù)。
然后，移行到S26，進行結(jié)果顯示處理。結(jié)果顯示處理是，把所測定的透鏡1為NG這一情況在監(jiān)視器4上顯示的處理。例如，如圖9所示，對NG顯示41進行圖像顯示。操作人員看此顯示，就可以容易得知托架7上的透鏡1的某個部分沒滿足光學(xué)特性的標準值這一信息。
并且，此時優(yōu)選為對于每個NG內(nèi)容以不同顏色表示透鏡1是何種NG。例如，如圖9所示，顯示對應(yīng)于托架7的透鏡保持位置(保持部72的形成位置)的托架顯示42，并能夠使得作為縱A～F、橫1～6如A1、B2那樣以座標值指定透鏡保持位置而顯示。在該托架顯示42中，例如，在MTF在容許范圍外而NG的情況下，用紅色顯示該NG的透鏡1的位置，在FFL為NG時顯示為褐色，在偏心為NG時顯示為桔色(orange)，在焦深為NG時顯示為粉紅色(pink)。
通過這樣對于每個NG內(nèi)容用不同的顏色來顯示，就可以容易知道透鏡1的光學(xué)特性是哪個項目的NG。而且，通過把NG的顏色告訴他人，可以簡單地傳達透鏡1的NG內(nèi)容。特別是裝置的操作人員把NG內(nèi)容傳達給使用語言不同的人員時，可以容易傳達該NG內(nèi)容。
另一方面，在圖6的S22中，在判定為所測定的透鏡1的光學(xué)特性為非NG的情況下，進行測定結(jié)果處理(S28)。此結(jié)果顯示處理，是監(jiān)視器4上顯示所測定的透鏡1不是NG而是OK的情況。例如，如圖10所示，對OK顯示43進行圖像顯示。操作人員看到此顯示，就可以容易得知透鏡1的所有部分都滿足光學(xué)特性的標準值這樣信息。并且，在所測定的透鏡1不是NG同時也不是OK，而保留判斷時，有時也顯示[保留]。
然后，移行到S30，判斷是否結(jié)束了托架7上的所有的透鏡1的測定。例如，在通過使XY載物臺22動作而移動托架7的位置，從而從邊端上依次測定托架7上的所有的透鏡1的情況下，判斷是否測定完了托架7上的透鏡1的所有部分。如果還未測定完托架7上的所有的透鏡1，就返回到S18。
另一方面，在S30中判斷為已經(jīng)測定完了托架7上的所有透鏡1的情況下，進行警告處理(S32)。警告處理是，在S24中累加的NG計數(shù)值成為設(shè)定值以上的情況下警告透鏡測定系統(tǒng)中有可能存在異?，F(xiàn)象的處理。例如，在相同識別號碼的托架7中的特定的透鏡保持位置的NG連續(xù)n次NG的下，警告托架7中存在異常。此時，也可以在m次測定中有n次NG的情況下進行警告。警告的方法為，通過向監(jiān)視器4的圖像表示、輸出聲音、或燈等發(fā)光部件的發(fā)光而進行。另外，在S24中累積的NG數(shù)值沒到設(shè)定值以上的情況下，在警告處理中不進行對透鏡測定系統(tǒng)的異常進行警告的處理。若完成該警告處理，則終了控制處理。
如以上那樣，根據(jù)本實施方式的透鏡測定裝置，通過作為入射到圖表23的光的擴散機構(gòu)使用積分球24，這樣可以把光量不均勻少的光入射到圖表23測定MTF。因此，可以精密地測定MTF。
而且，測定透鏡1的光軸上的位置和光軸外的位置的MTF時，通過由積分球24把光量不均勻少的光入射到圖表23，由此在透鏡1的光軸上的位置和光軸外的位置的MTF測定中，能夠得到良好的測定值，而且特別有效。
并且，在上述的有關(guān)本實施方式的透鏡測定裝置中，由一個光導(dǎo)68對積分球24入射光，但最好從相對于積分球24不同的位置入射多個束光。例如，如圖11所示，形成為把兩個光導(dǎo)68、68連接在積分球24，從相對于積分球24不同的位置入射光的結(jié)構(gòu)。這樣從對積分球24不同的位置入射的光增加，可以從積分球24出射光量不均勻更少的光。因此，可以更適宜地測定透鏡1的多個部位的MTF。
另外，上述的有關(guān)本實施方式之透鏡測定裝置是表示著有關(guān)本發(fā)明的透鏡測定裝置的一個例子。有關(guān)本發(fā)明的透鏡測定裝置不限于這些有關(guān)實施方式之透鏡測定裝置，在不改變記載在各權(quán)利要求的要旨的范圍內(nèi)，可以改變有關(guān)本實施方式之透鏡測定裝置，或用于其他方面。
權(quán)利要求
1.一種透鏡測定裝置，其特征在于，將光源的光入射到擴散機構(gòu)而使之擴散，將該擴散后的光入射到圖表而形成光像，將該光像入射到透鏡，并由攝像機構(gòu)對由該透鏡所成像的光像進行攝像，基于由該攝像機構(gòu)所攝像的圖像，測定所述透鏡的MTF，所述擴散機構(gòu)，是用形成于內(nèi)壁的擴散面對所入射的光進行多次反射而出射的積分球。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透鏡測定裝置，其特征在于，所述攝像機構(gòu)，是被多個地設(shè)置，并分別對與所述透鏡的光軸上的位置和光軸外的位置相對應(yīng)的光像進行攝像的器件，基于與所述透鏡的光軸上的位置和光軸外的位置相對應(yīng)的光像的攝像圖像，可以測定所述透鏡的光軸上的位置和光軸外的位置的MTF。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的透鏡測定裝置，其特征在于，所述光源，是從相對于所述積分球不同的位置入射多束光的器件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種透鏡測定裝置，其從光源部(63)把光入射到積分球(24)并使之擴散，并將該被擴散后的光入射到圖表(23)而形成光像，將該光像入射到透鏡(1)，并用攝像機(26)對通過透鏡(1)而成像的光像進行攝像，并基于由攝像機(26)攝像所得的圖像測定透鏡1的MTF。作為入射到圖表(23)的光的擴散機構(gòu)采用積分球(24)，將光量不均勻少的光量入射到圖表，而進行MTF的測試，由此圖謀測試精度的提高。從而，可充分減少入射到圖表的光的光量不均勻。
文檔編號G01M11/02GK101078668SQ20071010452
公開日2007年11月28日 申請日期2007年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月26日
發(fā)明者黑瀨實, 野口泰裕 申請人:富士能株式會社