專利名稱：不均檢查裝置及其方法、以及圖像顯示裝置及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢査形成在基板上的膜的膜厚不均的技術(shù)、以及用于該 膜厚不均的檢査中的圖像顯示的技術(shù)。
背景技術(shù)：
到目前為止，在顯示裝置用的玻璃基板等(以下，簡單稱為"基板") 的主面上形成規(guī)定的圖案時，在基板的主面上涂敷抗蝕液的同時使旋轉(zhuǎn)基
板，從而形成抗蝕膜，而且，在JP特開2006-49630號公報中提出了這樣的 技術(shù)，S卩，取得由旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)剛涂敷抗蝕液之后的基板圖像，從而檢査在基 板主面上的涂敷不均。
另外，在JP特開平7-301608號公報(文獻(xiàn)l)中公開了這樣的方法， 即，向形成有透光性膜的基板照射光，并利用拍攝部件接收由基板的膜反射 的干涉光，然后根據(jù)從拍攝部件輸出的信號，判斷有無表示干涉條紋的波形， 從而檢測出在基板上膜厚局部地變化的缺陷(即，高頻率的膜厚不均)，其 中，上述干涉條紋是由于在基板上存在比較大的膜厚變化而產(chǎn)生的。
然而， 一般不會將在基板的膜上膜厚緩慢變化的膜厚不均、即低頻率的 膜厚不均認(rèn)為是缺陷，但即使是低頻率的膜厚不均，根據(jù)膜厚變化梯度的不 同，也有時會對后續(xù)的工藝以及最終產(chǎn)品產(chǎn)生影響。然而，即使使用上述文 獻(xiàn)1的方法，也無法取得膜厚變化梯度，并且，作業(yè)人員即使想要通過肉眼 進(jìn)行檢查，也很難確認(rèn)微小的膜厚變化梯度。因此，需要一種能夠容易地對 基板上的膜的膜厚變化梯度進(jìn)行確認(rèn)的新方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及一種對于形成在基板上的膜的膜厚不均進(jìn)行檢査的不均檢 査裝置，其目的在于，易于對形成在基板上的膜的膜厚變化梯度進(jìn)行確認(rèn)。
本發(fā)明涉及的不均檢査裝置，具有保持部件，其保持形成有透光性膜
的基板；光照射部件，其向膜照射光；拍攝部件，其接收從光照射部件射出 并由膜反射的特定波長的干涉光，從而取得膜的原始圖像；等濃度線取得部 件，其在原始圖像或者對象圖像中求出多根等濃度線，其中，上述對象圖像 是根據(jù)原始圖像獲取的圖像，而且多根等濃度線分別表示范圍相鄰的兩個濃 度范圍的邊界；評價值取得部件，其基于多根等濃度線求出評價值，該評價 值表示在對象圖像中的多個位置的濃度變化梯度。
根據(jù)本發(fā)明，通過參照評價值，能夠易于對基板上的膜的膜厚變化梯度 進(jìn)行確認(rèn)。
在本發(fā)明的一個方案中，評價值取得部件取得分別設(shè)定于多個位置的區(qū) 域中所存在的等濃度線的數(shù)目，并將該數(shù)目作為評價值，在本發(fā)明的另一個 方案，多個位置設(shè)定在多根等濃度線上，評價值取得部件取得從多個位置到 相鄰的等濃度線為止的距離，并將該距離作為評價值。其結(jié)果，能夠容易的 取得評價值。
本發(fā)明還提供一種圖像顯示裝置，用于顯示圖像，該圖像用于檢査形成 在基板上的膜的膜厚不均，該圖像顯示裝置具有保持部件，其保持形成有 透光性膜的基板；光照射部件，其向膜照射光；拍攝部件，其接收從光照射 部件射出并由膜反射的特定波長的干涉光，從而取得膜的原始圖像；等濃度 線取得部件，其在原始圖像或者對象圖像中求出多根等濃度線，其中，上述 對象圖像是根據(jù)原始圖像獲得的圖像，而且多根等濃度線分別表示范圍相鄰 的兩個濃度范圍的邊界；顯示部件，其顯示上述多根等濃度線。
根據(jù)本發(fā)明，通過參照顯示部件所顯示的等濃度線，能夠易于對基板上 的膜的膜厚變化梯度進(jìn)行確認(rèn)。
在本發(fā)明的一個優(yōu)選實施方式中，顯示部件將多根等濃度線重疊在對象 圖像上而進(jìn)行顯示，從而能夠與對象圖像一起確認(rèn)基板上的膜的膜厚變化梯 度。
在本發(fā)明的其他優(yōu)選實施方式中，對象圖像被實施過平滑處理，從而能 夠取得平滑的等濃度線，并且能夠以可靠確認(rèn)基板上的膜的膜厚變化梯度的 狀態(tài)顯示等濃度線。
本發(fā)明還提供一種不均檢査方法，用于檢査形成在基板上的膜的膜厚不 均，并且還提供一種圖像顯示方法，用于顯示圖像，該圖像用于檢查形成在
基板上的膜的膜厚不均。
通過下面的參照附圖而對本發(fā)明進(jìn)行的詳細(xì)說明，上述目的以及其他目 的、特征、實施方式以及優(yōu)點會變得更加清楚。


圖1是表示不均檢査裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
圖2是表示拍攝部件的受光面的圖。
圖3是表示計算機(jī)的結(jié)構(gòu)的圖。
圖4是表示計算機(jī)所實現(xiàn)的功能結(jié)構(gòu)的框圖。
圖5是表示不均檢査裝置對基板上的膜的膜厚不均進(jìn)行檢査的處理的流 程的圖。
圖6是表示對象圖像的圖。
圖7是表示等濃度線圖像的圖。
圖8是表示評價位置以及評價區(qū)域的圖。
圖9是表示等濃度線重疊的對象圖像的圖。
圖IO是用于說明取得評價值的處理的其他例子的圖。
具體實施例方式
圖1是表示本發(fā)明的一個實施方式的不均檢查裝置1的結(jié)構(gòu)的圖。不均
檢查裝置1是如下的裝置在液晶顯示裝置等平面顯示裝置所使用的玻璃基
板9上，取得通過在一側(cè)主面91上涂敷抗蝕液而形成的圖案形成用抗蝕膜 92的圖像，并基于該圖像對基板9的膜92的膜厚不均進(jìn)行檢查。此外，基 板9的大小例如為700X600毫米，基板9的厚度為數(shù)十納米 兩微米。
如圖1所示，不均檢查裝置1具備載物臺2，其使形成有膜92的主面 91 (以下，稱為"上表面91")朝向上側(cè)(圖1中的+Z偵lj)而保持基板9; 光照射部件3，其以規(guī)定的入射角向基板9上的膜92照射光，其中，該基板 9被載物臺2保持；受光單元4，其接收光照射部件3發(fā)出并由基板9的上 表面91上的膜92反射的光；移動機(jī)構(gòu)21，其使載物臺2相對于光照射部件 3以及受光單元4進(jìn)行相對移動；以及計算機(jī)5，其發(fā)揮不均檢查裝置1的 控制部件的作用。
載物臺2的+Z側(cè)的表面優(yōu)先采用無反射面(黑色磨砂)。移動機(jī)構(gòu)21
采用連接到馬達(dá)211的滾珠螺桿(省略圖示)的結(jié)構(gòu)，通過馬達(dá)211旋轉(zhuǎn)， 載物臺2可沿著導(dǎo)軌212向沿著基板9的上表面91的圖1中的X方向移動。
光照射部件3具備鹵素?zé)?1，其為發(fā)出白光(即，包括可見光區(qū)域的 所有波長的光)的光源；圓柱狀的石英棒32,其向與載物臺2的移動方向垂 直的圖1中的Y方向延伸；以及圓柱透鏡33，其向Y方向延伸。在光照射 部件3中，鹵素?zé)?1安裝在石英棒32的+Y側(cè)端部，從鹵素?zé)?1入射到石 英棒32的光被轉(zhuǎn)換為向Y方向延伸的線狀光(即，光束剖面為在Y方向上 長的線狀的光)，并從石英棒32的側(cè)面出射，然后通過圓柱透鏡33而導(dǎo)向 基板9的上表面91 。換而言之，石英棒32以及圓柱透鏡33構(gòu)成這樣的光學(xué) 系統(tǒng)將來自鹵素?zé)?1的光轉(zhuǎn)換為與載物臺2的移動方向垂直的線狀光， 并將其導(dǎo)向基板9的上表面91。
在圖1中，以單點劃線表示從光照射部件3到基板9的光路(從基板9 到受光單元4的光路也相同)。從光照射部件3出射的一部分光被基板9的 上表面91上的膜92的+Z側(cè)上表面反射。膜92對來自光照射部件3的光具 有透光性，所以，在來自光照射部件3的光中未被膜92的上表面反射的光 透過膜92，而且其一部分被基板9的上表面91 (即膜92的下表面)反射。 在不均檢查裝置1中，由基板9上的膜92的上表面反射的光與由基板9的 上表面91反射的光的干涉光入射到受光單元4，并經(jīng)由濾光器43以及透鏡 42而特定的波長的干涉光導(dǎo)向拍攝部件41。
圖2是表示拍攝部件41的受光面的圖。如圖2所示，在拍攝部件41設(shè) 有線傳感器(Line Sensor) 410，該線傳感器410具有在Y方向上排列為直 線狀的多個受光元件(例如CCD (charge Coupled Device:電荷耦合器件)) 411。在拍攝部件41中，通過用線傳感器410來接收來自基板9的干涉光， 從而取得干涉光的強(qiáng)度分布(即，來自各受光元件411的輸出值在Y方向上 的分布)。實際上，伴隨著基板9向X方向移動而利用拍攝部件41的線傳 感器410反復(fù)取得干涉光的強(qiáng)度分布，從而可取得基板9上的膜92的二維 圖像。
如圖3所示，計算機(jī)5采用在總線上連接CPU51、 ROM52以及RAM53 的一般的計算機(jī)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其中，CPU51進(jìn)行各種計算處理，ROM52存儲
基本程序，RAM53存儲各種信息。通過接口 (I/F)等方式，在總線上還適 當(dāng)連接有硬盤54，其進(jìn)行信息存儲；顯示器55，其為顯示各種信息的顯 示部件；鍵盤56a以及鼠標(biāo)56b，它們接受來自操作人員的輸入；讀取裝置 57，其從光盤、磁盤、光磁盤等可由計算機(jī)讀取的記錄介質(zhì)8讀取信息；以 及通信部件58，其連接到不均檢查裝置1的其他結(jié)構(gòu)元件。
計算機(jī)5事先通過讀取裝置57而從記錄介質(zhì)8讀出程序541 ，并將其存 儲在硬盤54中。然后，將程序541復(fù)制到RAM53中，同時CPU51根據(jù)RAM53 中的程序執(zhí)行計算處理(即，計算機(jī)執(zhí)行程序)，由此，計算機(jī)5作為對基 板9上的膜厚不均進(jìn)行檢査的計算部件而進(jìn)行工作。
圖4是表示CPU51根據(jù)程序541進(jìn)行工作而使CPU51 、ROM52、RAM53 、 硬盤54等實現(xiàn)的功能結(jié)構(gòu)的框圖。在圖4中表示計算部件6中的圖像處理 部件61、等濃度線取得部件62、評價值取得部件63、判定部件64以及顯示 控制部件65通過CPU51等而實現(xiàn)的功能。此外，這些功能可以全部通過專 用的電路來實現(xiàn)，也可以一部分使用專用的電路。
接著，針對通過不均檢査裝置1進(jìn)行的膜厚不均檢查的流程進(jìn)行說明。 圖5是表示不均檢査裝置1對基板9上的膜92的膜厚不均進(jìn)行檢查的處理 的流程的圖。在不均檢査裝置l中，首先，將在上表面91上形成有膜92的 基板9保持在位于圖1中實線所示的檢查開始位置的載物臺2上，然后使載 物臺2開始向+X方向移動。接著，將從光照射部件3出射、且相對基板9 的上表面91以規(guī)定的入射角入射的線狀光，照射到上表面91上的直線狀照 射區(qū)域(以下稱為"線狀照射區(qū)域")(步驟Sll)，并使線狀照射區(qū)域相 對于基板9進(jìn)行相對移動。來自光照射部件3的光被基板9的膜92反射， 從而特定波長的干涉光導(dǎo)向拍攝部件41而被線傳感器410接收，由此取得 基板9上的線狀照射區(qū)域的干涉光的強(qiáng)度分布?；谝?guī)定的轉(zhuǎn)換公式，將來 自線傳感器410的各受光元件411的輸出值例如轉(zhuǎn)化為8bit的值(當(dāng)然也可 以是8bit之外的值)(像素值)，并將其傳送到計算機(jī)5。
在不均檢查裝置l中，在載物臺2向+X方向移動的過程中，與載物臺2 移動同步而反復(fù)進(jìn)行拍攝部件41對干涉光強(qiáng)度分布的取得、以及向計算機(jī)5 的像素值的輸出。然后，當(dāng)載物臺2移動而到達(dá)檢査結(jié)束位置時，通過移動 機(jī)構(gòu)21的載物臺2的移動被停止，并且照明光的照射也被停止。如上所述，
在拍攝部件41中，對基板9上的整個膜92進(jìn)行拍攝而取得多灰度(Multiple Gray)的二維圖像(實施后述處理之前的圖像，以下稱為"原始圖像")， 并將其輸入到計算機(jī)5的計算部件6中而做準(zhǔn)備(步驟S12)。
接著，在計算部件6的圖像處理部件61中，對原始圖像進(jìn)行中值濾波 而從原始圖像中除去噪聲成分，接著，對該圖像進(jìn)行平滑處理(即，進(jìn)行平 滑濾波)，從而如圖6所示，生成使?jié)舛茸兓交膱D像(以下，稱為"對 象圖像")71 (步驟S13)。此外，將對象圖像71做成256灰度的圖像。另 外，也可以根據(jù)需要，對平滑處理后的圖像實施對比度增強(qiáng)處理。
當(dāng)生成了對象圖像71時，在等濃度線取得部件62中，例如分別以與值 127相比小10的整數(shù)倍的值117、 107、 ...、 7、以及與值127相比大10的 整數(shù)倍的值137、 147、 ...、 247為閾值，對對象圖像進(jìn)行二值化。具體地說， 將對象圖像的各像素的值與各閾值進(jìn)行比較，對于值在閾值以上的像素賦予 "1"，對于值小于閾值的像素賦予"0"，由此取得分別對應(yīng)于多個閾值的 多個二值圖像。對于對象圖像71進(jìn)行二值化時的閾值，可以基于對象圖像 71的濃度范圍(對比度范圍)或者后述的評價區(qū)域的大小等適當(dāng)變更。
接著，對各二值圖像實施邊緣檢測處理，從而取得各二值圖像中的閉區(qū) 域(但是，也包括與圖像的外緣相接觸的部分)的邊緣，即取得值為l的像 素所占的區(qū)域與值為0的像素所占的區(qū)域之間的邊界線，并將各邊界線與生 成該二值圖像時所利用的閾值建立對應(yīng)而存儲(歩驟S14)。此外，若二值 圖像中閉區(qū)域孤立存在，則表示該閉區(qū)域的邊緣的邊界線變?yōu)殚]合曲線。然 后，如圖7所示，在等濃度線取得部件62中生成圖像72，該圖像72是將根 據(jù)多個二值圖像取得的所有的邊界線721重合而得到的。
這里，隨著閾值變小，表示二值圖像中值為1的區(qū)域增大，因此某一閾 值的二值圖像中值為1的區(qū)域，必定會包含在比該閾值小的閾值的二值圖像 中值為l的區(qū)域內(nèi)。因此，被分別從兩個閾值的二值圖像取得的兩個邊界線 721所夾的對象圖像71中的區(qū)域的像素的值，就是這兩個閾值之間的值，該 兩個閾值為某一閾值、和相鄰于該閾值的閾值。從而可以說，各邊界線721 表示在對象圖像71中范圍相鄰的兩個濃度范圍的邊界，因此在以下的說明 中，將邊界線稱為等濃度線，而且將表示所有等濃度線的圖像稱為等濃度線 圖像。
如圖8所示，當(dāng)生成了等濃度線圖像72時，在評價值取得部件63中， 分別依次確定在等濃度線圖像72中預(yù)先設(shè)定的多個位置(以下，稱為"評 價位置")722，并求出在各評價位置722所設(shè)定的圓形區(qū)域(以下，稱為 "評價區(qū)域")723中存在的等濃度線721的數(shù)目而作為評價值(步驟S15)。 例如，在圖8中附圖標(biāo)記722a所示的評價位置，由于評價區(qū)域723a中所存 在的等濃度線721的數(shù)目為3根，因此評價值成為3，而且，在圖8中附圖 標(biāo)記722b所示的評價位置，由于評價區(qū)域723b中所存在的等濃度線721的 數(shù)目為1根，因此評價值成為l。
另外，在圖8中附圖標(biāo)記722c所示的評價位置，雖然所對應(yīng)的評價區(qū) 域723c中存在3根線段，但在評價值取得部件63中，求出既是評價區(qū)域723c 中所存在的等濃度線721、又是根據(jù)互不相同的閾值的二值圖像求出的等濃 度線721的數(shù)目，所以對于評價區(qū)域723c的評價值成為2。如上所述，由于 等濃度線圖像72中的各等濃度線721與生成用于求出該等濃度線721的二 值圖像時的閾值具有對應(yīng)關(guān)系，因此，在某一評價區(qū)域723中存在由相同的 二值圖像得到的多根等濃度線721時，這些等濃度線721被視為一根。
如上所述，各等濃度線721表示在對象圖像71中范圍相鄰的兩個濃度 范圍的邊界，因此可以說，通過求出在各評價位置722所設(shè)定的評價區(qū)域723 中存在的等濃度線721的數(shù)目而取得的評價值，表示與對象圖像71中的該 評價位置722對應(yīng)的位置(以下，同樣稱為"評價位置")的濃度變化的梯 度(即，濃度變化量相對于距離的比例)。此外，在本實施方式中，將對各 評價位置722所設(shè)定的評價區(qū)域設(shè)定為圓形，從而排除了方向性對于評價值 的影響，但也可以對評價位置722設(shè)定正方形等其他形狀的評價區(qū)域。另外， 也可以基于相鄰的等濃度線721所示的濃度范圍或后述的膜厚不均缺陷的判 定閾值等，適當(dāng)變更評價區(qū)域的大小。
當(dāng)求出了對各評價位置722的評價值時，在判定部件64中，將各評價 位置722的評價值與規(guī)定的閾值相比較，從而判定是否存在具有閾值以上的 評價值的評價位置722 (步驟S16)。在存在具有閾值以上的評價值的評價 位置722時，認(rèn)為在用于取得對象圖像71的基板9的膜92上存在具有超過 容許范圍的膜厚變化梯度的部分(以下，稱為"膜厚不均缺陷")，在不存 在具有閾值以上的評價值的評價位置722時，認(rèn)為在基板9的膜92上不存
在膜厚不均缺陷。
當(dāng)已判定有無膜厚不均缺陷時，如圖9所示，將等濃度線圖像72中的
所有等濃度線721重疊在對象圖像71上而顯示在顯示器55上(步驟S17)。 此時，在通過判定部件64的判定結(jié)果表示存在膜厚不均缺陷時，例如，以 也能夠確定膜厚不均缺陷所對應(yīng)的評價位置722的評價區(qū)域723的外形的方 式進(jìn)行顯示，從而向操作人員報告存在膜厚不均缺陷以及該缺陷的位置。由 此，操作人員通過參照顯示器55所顯示的等濃度線721以及對象圖像71， 能夠?qū)εc基板9上的膜92的與膜厚不均缺陷對應(yīng)的部分的膜厚變化梯度重 新進(jìn)行確認(rèn)。另外，即使通過判定部件64的判定結(jié)果表示不存在膜厚不均 缺陷，也能夠通過將等濃度線721重疊在對象或圖像71上而顯示在顯示器 55上，使操作人員能夠容易地對基板9上的膜92的膜厚分布與對象圖像71 同時進(jìn)行確認(rèn)。
如上述說明，在不均檢查裝置1中，從光照射部件3向基板9的膜92 照射光，并利用拍攝部件41接收由膜92反射的特定波長的干涉光，從而取 得膜92的原始圖像。然后，在根據(jù)原始圖像求出的對象圖像71中，求出分 別表示范圍相鄰的兩個濃度范圍的邊界的多根等濃度線721，并基于多根等 濃度線721，取得在對象圖像71中的各個評價位置722表示濃度變化梯度的 評價值。由此，即使在基板9的膜92存在低頻率的膜厚不均等，也能夠通 過參照評價值來容易地對其膜厚變化梯度進(jìn)行確認(rèn)，從而能夠?qū)δず褡兓?度給后續(xù)的工序或最終產(chǎn)品帶來的影響進(jìn)行恰當(dāng)?shù)墓芾怼?br> 在評價值取得部件63中，由于將在各評價位置722所設(shè)定的評價區(qū)域 723中存在的等濃度線721的數(shù)目作為評價值，因此能夠容易地取得評價值。 另外，由于對用于取得等濃度線721的對象圖像71實施了平滑處理，因此 能夠取得平滑的等濃度線721，由此，能夠穩(wěn)定地取得恰當(dāng)?shù)脑u價值，并且 能夠以可正確地對基板9上的膜92的膜厚變化梯度進(jìn)行確認(rèn)的狀態(tài)，在顯 示器55上顯示等濃度線721 。
另外，在不均檢査裝置1中，在通過等濃度線取得部件62生成等濃度 線圖像72之后(在圖5中的步驟S14),如圖9所示，省略步驟S15、 S16， 將等濃度線圖像72中的所有等濃度線721重疊在對象圖像71上而顯示在顯 示器55上也可(步驟S17)。此時，操作人員通過參照所顯示的等濃度線
721，也能夠容易地對基板9上的膜92的膜厚與對象圖像71同時進(jìn)行確認(rèn)。 此外，若省略評價值取得部件63以及判定部件64中的處理，則不均檢査裝 置1發(fā)揮圖像顯示裝置的功能，該圖像顯示裝置顯示對形成在基板9上的膜 92的膜厚不均的檢査所利用的圖像。
接著，針對在圖5的步驟S15中所進(jìn)行的評價值取得部件63取得評價 值的處理的其他例子進(jìn)行說明。在本處理例子中，將在等濃度線圖像中的各 等濃度線上以一定間隔存在的各位置作為求出評價值的評價位置，并求出從 各評價位置到相鄰的等濃度線為止的距離而作為評價值。例如，若在等濃度 線圖像中存在圖10所示的等濃度線721，則在在標(biāo)注有附圖標(biāo)記721a的等 濃度線上求出相對標(biāo)注有附圖標(biāo)記722d的評價位置的評價值時，設(shè)定以評 價位置722d為中心的規(guī)定半徑的圓724a，并確認(rèn)該圓724a是否與相鄰于等 濃度線721a的等濃度線721 (以下稱為"相鄰等濃度線721")相交。在圖 10的例子中，由于圓724a與任意相鄰等濃度線721都不相交，因此接下來 設(shè)定比圓724a的半徑大規(guī)定長度的圓724b，而且同樣確認(rèn)該圓724b是否與 相鄰等濃度線721相交，并判斷為不相交。這樣，以評價位置722d為中心 而依次設(shè)定半徑大規(guī)定長度的圓，并確認(rèn)該圓是否與相鄰等濃度線721相交。 然后，當(dāng)判斷為某一長度半徑的圓724e與相鄰等濃度線721相交時，將該 圓724e的半徑作為評價位置722d的評價值。
如上所述，當(dāng)取得所有評價位置722的評價值時，與上述例子同樣，在 判定部件64中將各評價位置722的評價值與規(guī)定的閾值相比較，由此判定 有無膜厚不均缺陷(步驟S16)。然后，將等濃度線圖像72中的所有等濃度 線721重疊在對象圖像71上而顯示在顯示器55上，因此，當(dāng)存在膜厚不均 缺陷時，能夠向操作人員報告存在膜厚不均缺陷以及與該缺陷對應(yīng)的位置 (步驟S17)。
如上述說明，在評價值取得部件63中，在多根等濃度線721上設(shè)定多 處評價位置722，并求出從各評價位置722到相鄰的等濃度線721為止的距 離而作為評價值。由此，能夠容易地取得評價值，其結(jié)果，通過參照評價值， 能夠容易地對基板9上的膜92的膜厚變化梯度進(jìn)行確認(rèn)。此外，也可以用 其他方法來求出從各評價位置722到相鄰的等濃度線721為止的距離。例如， 可以求出各評價位置722附近的等濃度線721的曲率，并基于該曲率生成經(jīng)
過該評價位置722的垂線，從而求出該垂線與相鄰的等濃度線721相交的位 置和與評價位置722之間的最小距離。
在上面，對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不僅限于上述實 施方式，而可以存在各種變型。
在上述實施方式中，在等濃度線取得部件62中，也可以利用除了對象 圖像71的二值化以外的方法來取得等濃度線721，例如，將對象圖像71中 的各像素作為關(guān)注像素，在關(guān)注像素的值與相鄰于關(guān)注像素的各像素的值之 間若包含有某個濃度范圍的邊界值，則使關(guān)注像素包含在與該邊界值建立對 應(yīng)關(guān)系的等濃度線中，從而能夠在對象圖像71中求出分別表示范圍相鄰的 兩個濃度范圍的邊界的多根等濃度線。
在不均檢査裝置1中，通過對原始圖像進(jìn)行中值濾波以及平滑濾波而生 成用于取得等濃度線721的對象圖像71，但在利用拍攝部件41能夠取得噪 聲成分少的原始圖像時，也可以將原始圖像直接作為對象圖像而進(jìn)行處理。 即，通過等濃度線取得部件62求出等濃度線721的對象圖像，只要是原始
圖像或根據(jù)原始圖像獲取的圖像即可。
在上述實施方式中，通過從光照射部件3射出線狀光線以及由拍攝部件 41的線傳感器410接收干涉光而取得原始圖像，但是，例如，在基板91的 上表面91上，從光照射部件3向沿著X方向以及Y方向延伸的區(qū)域照射光， 并由具有二維排列的多個受光元件的拍攝部件來接收來自基板9的膜92的 干涉光，從而在短時間內(nèi)取得原始圖像也可。
將對基板9進(jìn)行保持的保持部件除了做成與基板9的下表面抵接而支撐 基板9的載物臺2以外，例如還可以做成通過夾持基板9的外緣部而對基板 9進(jìn)行保持的保持部件等。
另外，形成在基板9上的膜92未必一定是抗蝕膜，也可以是通過蒸鍍 或CVD (Chemical Vapor Deposition:化學(xué)氣相沉積)法等形成的具有透光 性的其他膜。不均檢査裝置1雖然特別適合于對形成在平面顯示裝置用玻璃 基板上的膜的膜厚不均的檢查，但也可以利用于對形成在半導(dǎo)體基板等其他 基板上的膜的膜厚不均的檢査。
雖然對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的描述說明，但上述說明只是例示而不可視為 限定。因此應(yīng)該理解為，在不脫離本發(fā)明的范圍內(nèi)，可以有多種變型和方式。
權(quán)利要求
1.一種不均檢查裝置，用于檢查形成在基板上的膜的膜厚不均，其特征在于，具有保持部件，其保持形成有透光性膜的基板；光照射部件，其向上述膜照射光；拍攝部件，其接收從上述光照射部件射出并由上述膜反射的特定波長的干涉光，從而取得上述膜的原始圖像；等濃度線取得部件，其在上述原始圖像或者對象圖像中求出多根等濃度線，其中，上述對象圖像是根據(jù)上述原始圖像獲取的圖像，而且上述多根等濃度線分別表示范圍相鄰的兩個濃度范圍的邊界；評價值取得部件，其基于上述多根等濃度線求出評價值，該評價值表示在上述對象圖像中的多個位置的濃度變化梯度。
2. 如權(quán)利要求1所述的不均檢查裝置，其特征在于， 上述評價值取得部件取得分別設(shè)定于上述多個位置的區(qū)域中所存在的等濃度線的數(shù)目，并將該數(shù)目作為上述評價值。
3. 如權(quán)利要求l所述的不均檢查裝置，其特征在于， 上述多個位置設(shè)定在上述多根等濃度線上，上述評價值取得部件取得從上述多個位置到相鄰的等濃度線為止的距 離，并將該距離作為上述評價值。
4. 如權(quán)利要求1所述的不均檢査裝置，其特征在于， 上述對象圖像被實施過平滑處理。
5. 如權(quán)利要求1所述的不均檢查裝置，其特征在于， 上述基板是平面顯示裝置用玻璃基板。
6. 如權(quán)利要求1 5中任意一項所述的不均檢査裝置，其特征在于， 還具有顯示上述多根等濃度線的顯示部件。
7. —種圖像顯示裝置，用于顯示圖像，該圖像用于檢査形成在基板上 的膜的膜厚不均，其特征在于，具有保持部件，其保持形成有透光性膜的基板； 光照射部件，其向上述膜照射光；拍攝部件，其接收從上述光照射部件射出并由上述膜反射的特定波長的 干涉光，從而取得上述膜的原始圖像；等濃度線取得部件，其在上述原始圖像或者對象圖像中求出多根等濃度 線，其中，上述對象圖像是根據(jù)上述原始圖像獲取的圖像，而且上述多根等濃度線分別表示范圍相鄰的兩個濃度范圍的邊界；顯示部件，其顯示上述多根等濃度線。
8. 如權(quán)利要求7所述的圖像顯示裝置，其特征在于， 上述顯示部件將上述多根等濃度線重疊在上述對象圖像上而進(jìn)行顯示。
9. 如權(quán)利要求7或8所述的圖像顯示裝置，其特征在于， 上述對象圖像被實施過平滑處理。
10. —種不均檢查方法，用于檢査形成在基板上的膜的膜厚不均，其特 征在于，包括照射工序，從光照射部件向形成在基板上的透光性膜照射光；原始圖像取得工序，通過拍攝部件接收從上述光照射部件射出并由上述 膜反射的特定波長的干涉光，從而取得上述膜的原始圖像；等濃度線求出工序，在上述原始圖像或者對象圖像中求出多根等濃度 線，其中，上述對象圖像是根據(jù)上述原始圖像獲取的圖像，而且上述多根等 濃度線分別表示范圍相鄰的兩個濃度范圍的邊界；評價值求出工序，基于上述多根等濃度線求出評價值，該評價值表示在 上述對象圖像中的多個位置的濃度變化梯度。
11. 如權(quán)利要求10所述的不均檢查方法，其特征在于， 在上述評價值求出工序中，取得分別設(shè)定于上述多個位置的區(qū)域中所存在的等濃度線的數(shù)目，并將該數(shù)目作為上述評價值。
12. 如權(quán)利要求IO所述的不均檢查方法，其特征在于， 上述多個位置設(shè)定在上述多根等濃度線上，在上述評價值求出工序中，取得從上述多個位置到相鄰的等濃度線為止 的距離，并將該距離作為上述評價值。
13. 如權(quán)利要求10所述的不均檢查方法，其特征在于， 上述對象圖像被實施過平滑處理。
14. 如權(quán)利要求10所述的不均檢查方法，其特征在于， 上述基板是平面顯示裝置用玻璃基板。
15. 如權(quán)利要求10 14中任意一項所述的不均檢査方法，其特征在于，還包括在顯示部件上顯示上述多根等濃度線的工序。
16. —種不均檢查方法，用于檢査形成在基板上的膜的膜厚不均，其特征在于，包括照射工序，從光照射部件向形成在基板上的透光性膜照射光；原始圖像取得工序，通過拍攝部件接收從上述光照射部件射出并由上述膜反射的特定波長的干涉光，從而取得上述膜的原始圖像；等濃度線求出工序，在上述原始圖像或者對象圖像中求出多根等濃度 線，其中，上述對象圖像是根據(jù)上述原始圖像獲取的圖像，而且上述多根等 濃度線分別表示范圍相鄰的兩個濃度范圍的邊界。
17. —種圖像顯示方法，用于顯示圖像，該圖像用于檢査形成在基板上 的膜的膜厚不均，其特征在于，包括照射工序，從光照射部件向形成在基板上的透光性膜照射光；原始圖像取得工序，通過拍攝部件接收從上述光照射部件射出并由上述 膜反射的特定波長的干涉光，從而取得上述膜的原始圖像；等濃度線求出工序，在上述原始圖像或者對象圖像中求出多根等濃度 線，其中，上述對象圖像是根據(jù)上述原始圖像獲取的圖像，而且上述多根等 濃度線分別表示范圍相鄰的兩個濃度范圍的邊界；顯示工序，在顯示部件上顯示上述多根等濃度線。
18. 如權(quán)利要求17所述的圖像顯示方法，其特征在于， 在上述顯示工序中，將上述多根等濃度線重疊在上述對象圖像上而進(jìn)行顯示。
19. 如權(quán)利要求17或18所述的圖像顯示方法，其特征在于， 上述對象圖像被實施過平滑處理。全文摘要
本發(fā)明提供一種不均檢查裝置及其方法、以及圖像顯示裝置及其方法。在不均檢查裝置中，從光照射部件向基板上的膜照射光，并通過拍攝部件接收由膜反射的特定波長的干涉光，從而取得膜的原始圖像。在根據(jù)原始圖像獲取的對象圖像中求出多根等濃度線(721)，并取得設(shè)定在各評價位置(722)評價區(qū)域(723)中所存在的等濃度線(721)的數(shù)目，從而取得評價值，其中，該多根等濃度線(721)分別表示范圍相鄰的兩個濃度范圍的邊界，而且，該評價值針對該評價位置(722)表示對象圖像中的濃度變化的梯度。其結(jié)果，通過參照評價值，能夠易于對基板上的膜的膜厚變化梯度進(jìn)行確認(rèn)。
文檔編號G01B11/06GK101101200SQ20071010882
公開日2008年1月9日 申請日期2007年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月4日
發(fā)明者淺井吉治 申請人:大日本網(wǎng)目版制造株式會社