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      半導(dǎo)體集成電路的測試方法及集成電路測試器的制作方法

      文檔序號:6129966閱讀:370來源:國知局
      專利名稱:半導(dǎo)體集成電路的測試方法及集成電路測試器的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體集成電^各(Semiconductor Integrated Circuit), 例如用以檢測出液晶驅(qū)動裝置的接腳間短路的半導(dǎo)體集成電路的測試方法及 IC測試器。
      背景技術(shù)
      IC測試器將信號輸出到半導(dǎo)體集成電路,且藉由半導(dǎo)體集成電路的輸出, 以判定好壞。又,IC測試器如下述專利文獻(xiàn)1所示,進(jìn)行半導(dǎo)體集成電路的 接腳間短路的判定。專利文獻(xiàn)1日本專利特開平5-190637號公報如圖3所示,說明此種裝置。在圖3中,受測試對象(以下略稱DUT)10例如以液晶驅(qū)動裝置而如圖4 所示,將半導(dǎo)體集成電路12搭載于帶狀自動化黏合構(gòu)裝巻帶(TAB tape, Tape Automated Bonding tape) 11,且將半導(dǎo)體集成電路U經(jīng)由配線(未圖示)連 接到多個的接腳13。DC(直流電)測定部20設(shè)置于IC測試器,且連接至DUTIO 的每支接腳,而進(jìn)行直流電壓輸出或直流電流測定??刂撇縙則進(jìn)行DC測 定部20的控制,以及接腳間短路的判定。接腳間電阻R顯示DUTIO的腳間的 電阻成分。又,接腳間短路以外的其它用以測試的結(jié)構(gòu),則省略之。接著,說明此種裝置的接腳間短路的測試動作。DC測定部20藉由控制 部30的控制,而電壓輸出到DUTIO的所望接腳,且DC測定部20再測定鄰接 該所望接腳的DUTIO的接腳。由于當(dāng)接腳間短路時,接腳間電阻R變低;并 非接腳間短路時,接腳間電阻R變高,因此控制部30即當(dāng)DC測定部20所測定的電流大于所希望值時,判定為接腳間短路。發(fā)明內(nèi)容(發(fā)明所欲解決的課題)近年來,由于液晶顯示器逐漸大型化,且像素數(shù)不斷增加,液晶驅(qū)動裝置趨向多接腳化,達(dá)約700接腳,而接腳間距約30jum,且接腳間的間隙則 變窄,達(dá)10/im。于是,不^f又有如圖5(a)所示,灰塵或塵土等異物14附著于 接腳間,而呈完全短路的狀態(tài);亦有如圖5(b)所示,異物14產(chǎn)生差一點(diǎn)接 觸到另 一邊的接腳的狀態(tài),而即使測試時并無接腳間短路,使DUT1G被判定 為良品,但其后,僅有的間隙發(fā)生短路,遂成為不良品的問題。因此,本發(fā)明的目的為提供一種半導(dǎo)體集成電路的測試方法與一種IC 測試器,以實(shí)現(xiàn)即使并非完全短路,仍可檢測出接腳間短路。 (解決課題的手段)未達(dá)成上述課題,在本發(fā)明中,本發(fā)明的第一方面是一種半導(dǎo)體集成電 路的測試方法,用以檢測出具有多個接腳的半導(dǎo)體集成電路的接腳間短路。此測試方法的特征為IC測試器或該半導(dǎo)體集成電路在該半導(dǎo)體集成電 路的所望接腳產(chǎn)生脈沖或階躍信號(step signal),且該IC測試器藉由鄰接 上述所望接腳的該半導(dǎo)體集成電路的接腳所產(chǎn)生的波形,以進(jìn)行接腳間短路 的判定。根據(jù)本發(fā)明的第二方面,是如本發(fā)明第一方面所述的發(fā)明中,當(dāng)判定時 點(diǎn)若波形大于判定值,則由IC測試器判定為接腳間短路。根據(jù)本發(fā)明的第三方面是一種IC測試器,用以測試具有多個接腳的半導(dǎo) 體集成電路。此IC測試器的特征為設(shè)有一測試部,其在該半導(dǎo)體集成電路的所望接 腳產(chǎn)生脈沖或階躍信號,且藉由鄰接上述所望接腳的相鄰接腳的波形,以判 定接腳間短路。才艮據(jù)本發(fā)明的第四方面,是如本發(fā)明第三方面的發(fā)明中,當(dāng)判定時點(diǎn)若 波形大于判定值,則由測試部判定為接腳間短路。根據(jù)本發(fā)明的第五方面是如本發(fā)明第三或第四方面的發(fā)明中,測試部具 有脈沖產(chǎn)生部,用以在所望接腳產(chǎn)生脈沖或階3天信號;測定部,用以測定相 鄰接腳。(發(fā)明的效果)依本發(fā)明,可獲得如下的效果根據(jù)本發(fā)明的第一和第二方面,IC測試器或半導(dǎo)體集成電路將脈沖或階 躍信號加以輸出到半導(dǎo)體集成電路的所望接腳,而IC測試器藉由鄰接所望接 腳的半導(dǎo)體集成電路的接腳的波形,以進(jìn)行接腳間短路的判定。因此,即使并非完全短路,仍可檢測出接腳間短路。根據(jù)本發(fā)明的第三至第五方面,測試部將脈沖或階躍信號輸出到半導(dǎo)體 集成電路的所望接腳,且測試部藉由鄰接所望接腳的半導(dǎo)體集成電路的相鄰 接腳的波形,以判定接腳間短路。因此,即使并非完全短路,仍可檢測出接 腳間短路。


      圖1顯示本發(fā)明的一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。圖2顯示DUT10的相鄰接腳的波形例的說明圖。 圖3顯示現(xiàn)有的IC測試器的結(jié)構(gòu)圖。 圖4顯示DUT10的具體結(jié)構(gòu)的說明圖。 圖5(a)、 5(b) DUT10的主要部的放大剖面圖。 附圖符號說明10-受測試對象11 ~帶狀自動化黏合構(gòu)裝巻帶12-半導(dǎo)體集成電路13~接腳14~異物20-DC測定部30~控制部40~測試部41 -脈沖產(chǎn)生部42 ~測定部43 ~控制部 C 腳間電容 R 接腳間電阻 A/D ~轉(zhuǎn)換部a ~并未接腳間短路時所形成的波形 b-異物差一點(diǎn)接觸到另一邊的接腳時所形成的波形具體實(shí)施方式
      以下,參照圖式,詳細(xì)說明本發(fā)明。又,圖1顯示本發(fā)明的一實(shí)施例的 結(jié)構(gòu)圖。在圖1中,DUT10例如以液晶驅(qū)動裝置而如圖4所示,將半導(dǎo)體集成電 路12搭載于TAB巻帶11,且將半導(dǎo)體集成電路12經(jīng)由配線(未圖示)連接到 多個的接腳13。測試部40設(shè)置于IC測試器,且電連接至DUT10的多個接腳, 而于DUT10的所望接腳產(chǎn)生脈沖;再藉由鄰接該所望接腳的相鄰接腳的波形, 以判定接腳間短路。此外,測試部40是針對DUT10的每一接腳,設(shè)置脈沖產(chǎn) 生部41、測定部42,以及控制部43。脈沖產(chǎn)生部41以例如主動負(fù)載電路 (Active Load Circuit),在所望接腳產(chǎn)生脈沖。測定部42則以例如A/D轉(zhuǎn) 換部,測定相鄰接腳。控制部43控制脈沖產(chǎn)生部41及測定部42,且藉由測 定部42的測定結(jié)果,以進(jìn)行接腳間短路的判定。腳間電容C顯示DUT1Q的接 腳間的電容成分。又,接腳間短路以外的其它用以測試的結(jié)構(gòu),則省略之。其次,說明此種裝置的動作。圖2是顯示DUT10的相鄰接腳的波形例的 圖表。脈沖產(chǎn)生部41藉由控制部43的控制,對DUT1G的所望接腳輸出脈沖; 測定部42則測定鄰接該所望接腳的DUT1G的接腳。又,若并未接腳間短路時, 將成為如圖2的波形a所示。而如圖5(b)所示,異物14差一點(diǎn)接觸到另一 邊的接腳時,則成為如圖2的波形b所示。因此,當(dāng)選通時(strobe,判定時 點(diǎn))若測定部42的測定結(jié)果大于判定值,由控制部43判定為接腳間短路;而 當(dāng)選通時若測定部42的測定結(jié)果小于判定值時,控制部43則判定為并未接 腳間短路。在此,測定結(jié)果與判定值相同時,可判定為接腳間短路或并未接 腳間短路皆可。此外,完全接腳間短路的情況,雖不會變化成如波形b所示, 但由于在此狀態(tài)下脈沖被輸入到測定部42,因此變成比判定值大,是屬當(dāng)然。亦即,判定為接腳間短^各。如上所述,脈沖產(chǎn)生部41對DUT1Q的所望接腳輸出脈沖,而測定部42 測定鄰接該所望接腳的DUT10的相鄰接腳??刂撇?3則藉由此測定結(jié)果,進(jìn) 行接腳間短路的判定,因此即使并非完全短路,仍可檢測出接腳間短路。此外,本發(fā)明并不限于此種情況,測定部"是顯示A/D轉(zhuǎn)換部,但亦可 為比較器,或者A/D轉(zhuǎn)換部以及將該A/D轉(zhuǎn)換部的輸出加以輸入的數(shù)字比較 器二者的組合。此時,控制部43將不須進(jìn)行接腳間短路的判定。又,在測定 部42內(nèi),可包含用以判定接腳間短路的結(jié)構(gòu)。又,脈沖產(chǎn)生部41是顯示用以產(chǎn)生脈沖的結(jié)構(gòu),但亦可為階躍信號。又,雖顯示設(shè)有脈沖產(chǎn)生部41的結(jié)構(gòu),但亦可采用其它結(jié)構(gòu),使DUTIO本身將脈沖或階躍信號輸出到所望接腳,且以測定部42測定相鄰接腳。
      權(quán)利要求
      1.一種半導(dǎo)體集成電路的測試方法,用以檢測出具有多個接腳的半導(dǎo)體集成電路的接腳間短路,其特征為集成電路測試器或該半導(dǎo)體集成電路在該半導(dǎo)體集成電路的所望接腳產(chǎn)生脈沖或階躍信號,且該集成電路測試器藉由來自鄰接該所望接腳的該半導(dǎo)體集成電路的接腳的波形,以進(jìn)行接腳間短路的判定。
      2. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路的測試方法,其中,在判定時點(diǎn) 若波形大于判定值,則由集成電路測試器判定為接腳間短路。
      3. —種集成電路測試器,用以測試具有多個接腳的半導(dǎo)體集成電路,其 特征為設(shè)有一測試部,用以在該半導(dǎo)體集成電路的所望接腳產(chǎn)生脈沖或階躍信 號,且藉由鄰接該所望接腳的相鄰接腳的波形,以判定接腳間短路。
      4. 如權(quán)利要求3所述的集成電路測試器,其中,在判定時點(diǎn)若波形大于 判定值,則由測試部判定為接腳間短路。
      5. 如權(quán)利要求3或4所述的集成電路測試器,其中,測試部具有 脈沖產(chǎn)生部,用以在所望接腳產(chǎn)生脈沖或階躍信號;及測定部,用以測定相鄰接腳。
      全文摘要
      本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體集成電路的測試方法與一種IC(集成電路)測試器,以實(shí)現(xiàn)即使并非完全短路,仍可檢測出接腳間短路。為達(dá)成上述目的,本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體集成電路的測試方法,用以檢測出具有多個接腳的半導(dǎo)體集成電路的接腳間短路。其特征為IC測試器或半導(dǎo)體集成電路在半導(dǎo)體集成電路的所望接腳產(chǎn)生脈沖或階躍信號,且IC測試器藉由鄰接所望接腳的半導(dǎo)體集成電路的接腳所產(chǎn)生的波形,以進(jìn)行接腳間短路的判定。
      文檔編號G01R31/28GK101285864SQ20071013717
      公開日2008年10月15日 申請日期2007年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月9日
      發(fā)明者永沼英樹 申請人:橫河電機(jī)株式會社
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