專利名稱：受測(cè)試集成電路的預(yù)測(cè)性自適應(yīng)電源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明大體上講，涉及用來測(cè)試集成電路的系統(tǒng)，特別而言，涉及一種用來降低由 受測(cè)試集成電路執(zhí)行邏輯的狀態(tài)轉(zhuǎn)換所導(dǎo)致的受測(cè)試集成電路中的電源噪聲的裝置。
背景技術(shù)：
一集成電路(ic)測(cè)試器可同時(shí)測(cè)試一組以半導(dǎo)體晶元上的管芯形式存在的IC。圖 l是一方框圖，其圖解闡明了一般的IC測(cè)試器10，該測(cè)試器IO通過探針卡12連接到 一組相似的受測(cè)試IC器件(DUT) 14上，該等受測(cè)試IC器件14可形成于一半導(dǎo)體晶元 上。測(cè)試器10使用彈簧針15或其它構(gòu)件，將不同的輸入與輸出終端連接到探針卡12 上的一組接點(diǎn)16上。探針卡12包括一組用于接觸每個(gè)DUT 14的表面上的輸入/輸出
(I/O)墊19的探針18并且提供將接點(diǎn)16鏈接至探針18的傳導(dǎo)性通道20。該等通道 通過探針卡12，允許測(cè)試器10向DUT 14 ()發(fā)送測(cè)試信號(hào)并允許其監(jiān)控由DUT所產(chǎn)生 的輸出信號(hào)。因?yàn)閿?shù)字集成電路通常包括時(shí)控的同步邏輯門來響應(yīng)周期性主時(shí)鐘信號(hào)
(CLOCK)的脈沖，所以探針卡12也提供一通道22，通過它，測(cè)試器10可向每個(gè)DUT 14 提供一 CLOCK信號(hào)。該測(cè)試系統(tǒng)還包括用于在正測(cè)試DUT 14時(shí)向DUT 14供電的電源24 并且探針卡12通過探針18將電源24連接到每個(gè)DUT 14的功率輸入墊26。
DUT14內(nèi)的每個(gè)開關(guān)晶體管均具有一固有輸入電容，并且為了開關(guān)晶體管，晶體管 驅(qū)動(dòng)器必須對(duì)晶體管的輸入電容充電或放電。當(dāng)驅(qū)動(dòng)器對(duì)晶體管的輸入電容充電時(shí)，其 從電源24中引出充電電流。 一旦晶體管的輸入電容充滿，則其驅(qū)動(dòng)器只需提供一相對(duì) 少量的保持晶體管的輸入電容帶電使得晶體管保持開或關(guān)所需的漏電流。在執(zhí)行同步邏 輯的DUT中，多數(shù)晶體管在每個(gè)CLOCK信號(hào)脈沖的邊沿后迅速發(fā)生開關(guān)轉(zhuǎn)換。這樣，在 每一 CLOCK信號(hào)脈沖后，輸入每個(gè)DUT14的電源電流I1立即有一個(gè)暫時(shí)性地增長(zhǎng)，以 提供改變受測(cè)試器件(DUT)中不同晶體管開關(guān)狀態(tài)所需的充電電流。此后在CLOCK信 號(hào)循環(huán)周期中，在該等晶體管已改變狀態(tài)之后，對(duì)電源電流II的需求降低至一 "靜止 的"穩(wěn)定狀態(tài)級(jí)別并且保持該級(jí)別直到下一 CLOCK信號(hào)周期開始為止。
探針卡12通過信號(hào)通道28將電源24連接到每個(gè)DUT 14，該等信號(hào)通道28具有一
固有電阻，在圖1中由電阻R1表示。因?yàn)殡娫?4的輸出與DUT 14的功率輸入26間存 在一電壓降，所以DUT 14的電源電壓輸入VB在某種程度上低于電源24的輸出電壓VA， 而且雖然VA可以是調(diào)整完好的，但VB隨電流Il的幅值變化。在每一 CLOCK信號(hào)周期 開始以后，為給開關(guān)晶體管輸入電容充電所需的II中的暫時(shí)性地增長(zhǎng)，增加了經(jīng)過R1 而產(chǎn)生的電壓降，從而暫時(shí)性地降低了VB。因?yàn)榘l(fā)生在每個(gè)CLOCK信號(hào)脈沖邊沿后的電 源電壓VB的降低是一種噪聲形式，其能造成對(duì)DUT 14性能的不利影響，所以期望限制 其幅值與持續(xù)時(shí)間?？赏ㄟ^降低電源24與DUT 14間的通道28的電抗，例如通過增加 導(dǎo)線尺寸或通過減小通道28的長(zhǎng)度來限制噪聲。但是實(shí)際上可減弱該電抗的量存在限 制。
也可通過在每一 DUT 14功率輸入26附近的探針卡12上放置一電容器Cl來降低電 源噪聲。圖2圖解闡明了當(dāng)電容器C1不夠大時(shí)，IC 14的功率輸入26處的供電電壓VB 和電流II響應(yīng)輸入IC 14的一個(gè)CLOCK信號(hào)脈沖的行為。注意在Tl時(shí)刻在CLOCK信號(hào) 的邊沿之后，II在靜止級(jí)IQ上方的暫時(shí)性地上升造成了經(jīng)過Rl而產(chǎn)生的電壓降的暫時(shí) 性地增加，其接下來造成電源電壓VB在其靜止級(jí)VQ下方的暫時(shí)性地下降。
圖3圖解闡明了當(dāng)電容器C1足夠大時(shí)，VB和I1的行為。在CLOCK信號(hào)脈沖之間， 當(dāng)DUT14是靜止時(shí)，電容器C1充電至VB的靜止級(jí)VQ。在T1時(shí)刻，隨CLOCK信號(hào)的上 升(或下降)沿之后，當(dāng)DUT 14暫時(shí)需要更多電流時(shí)，電容器C1將一些其儲(chǔ)存的電荷 供應(yīng)給DUT 14，從而降低了電源24為滿足增長(zhǎng)的需求而必須提供的附加電流量。正如 圖3中可見，Cl的出現(xiàn)降低了經(jīng)過Rl而產(chǎn)生的暫時(shí)性地電壓降的幅值并且從而降低了 輸入到DUT 14的供電電壓VB的下降幅值。
對(duì)于電容器C1，為了充分限制VB中的變化，電容器必須足夠大到能夠向DUT14供 應(yīng)所需電荷而且必須使其放置在DUT 14附近，以使C1與DUT 14間的通路電阻非常低。 不幸的是，通常不方便或不可能在每個(gè)DUT 14的電源輸入終端26附近的探針卡12上 安放一大電容器。圖4是一般探針卡12的簡(jiǎn)化俯視圖。IC測(cè)試器10位于探針卡上方且 包含DUT 14的晶元掛在探針卡下方。由于圖1中IC測(cè)試器10的1/0終端分布在較受 測(cè)試的晶元的表面積相對(duì)大的區(qū)域上，所以探針卡12提供了一相對(duì)大的上表面25來支 持測(cè)試器所訪問的接點(diǎn)16。另一方面，在晶元上接觸DUT 14的探針卡12下側(cè)的探針 18 (未顯示)集中在探針卡12的一個(gè)相對(duì)小的中心區(qū)域的下面。
探針卡12的上表面25上的接點(diǎn)16與區(qū)域27下的探針18之間的通道電阻是每個(gè)
接點(diǎn)16及其相應(yīng)探針間的距離的一個(gè)函數(shù)。為了最小化電容器C1與DUT間的距離，應(yīng)
將電容器安裝在小中心區(qū)域27附近(或上方)的探針卡12上。然而，當(dāng)一個(gè)晶元包括
大量欲測(cè)試的IC或包括一個(gè)具有大量稠密堆積的終端的IC時(shí)，不存在足夠空間來安裝 足夠數(shù)目的具有足夠尺寸、足夠接近中心區(qū)域27的電容器C1。
在使用同步邏輯對(duì)受測(cè)試集成電路器件(DUT)測(cè)試期間，在輸入到DUT的時(shí)鐘信 號(hào)的每一連續(xù)上升沿或下降沿之后，DUT在其對(duì)電源電流的需求上經(jīng)歷一暫時(shí)性地增加。 DUT需要額外電流，以便當(dāng)形成邏輯器件的晶體管經(jīng)歷響應(yīng)時(shí)鐘信號(hào)邊沿的狀態(tài)轉(zhuǎn)換時(shí)， 對(duì)晶體管的輸入電容充電。本發(fā)明限制了 DUT功率輸入終端處的電源電壓的改變，該電 壓改變是由隨每個(gè)時(shí)鐘信號(hào)脈沖后的電源電流的瞬態(tài)增加所致。本發(fā)明由此降低DUT的 功率輸入終端處的電源噪聲。
按照本發(fā)明，每個(gè)時(shí)鐘信號(hào)邊沿之后，向DUT的功率輸入終端供應(yīng)充電電流脈沖， 以連續(xù)地補(bǔ)償測(cè)試期間由主電源供應(yīng)的電流。由一輔助電源提供適當(dāng)功率的充電電流脈 沖，降低了對(duì)主電源增加其輸出電流來滿足DUT增長(zhǎng)的需求的需要。盡管DUT對(duì)電流的 需求已增加，但主電源的輸出電流保持大體上為常數(shù)，主電源與DUT間的經(jīng)過通道電阻 而產(chǎn)生的電壓降保持大體上為常數(shù)。這樣DUT的功率輸入終端處的供電電壓也保持大體 上為常數(shù)。
每一時(shí)鐘信號(hào)邊沿后，一DUT所需的附加充電電流量，根據(jù)其內(nèi)部邏輯器件響應(yīng)該 時(shí)鐘信號(hào)邊沿所經(jīng)歷的狀態(tài)變換的數(shù)量與本質(zhì)的不同而不同。既然IC測(cè)試需要IC執(zhí)行 一預(yù)定狀態(tài)來改變順序，那么測(cè)試期間，IC的行為，包括其在每個(gè)時(shí)鐘信號(hào)邊沿期間對(duì) 電流的需求，是可以預(yù)測(cè)的。因而在每一時(shí)鐘信號(hào)邊沿之后，調(diào)節(jié)電流脈沖的幅值，以 適合隨每個(gè)時(shí)鐘信號(hào)脈沖后，DUT所需的附加充電電流的預(yù)測(cè)量。由一DUT隨每個(gè)時(shí)鐘 信號(hào)邊沿之后引出的電流增長(zhǎng)的預(yù)測(cè)可基于，例如，由一類似DUT在類似測(cè)試條件下引 出的電流的測(cè)量，或基于該DUT經(jīng)歷的一模擬測(cè)試的仿真。
雖然任何測(cè)試周期期間，可以用十分高的精確度來預(yù)測(cè)一特別類型的IC可能引出 的充電電流量，但是由該類型的任意給定的DUT引出的實(shí)際附加充電電流量，可能在某 種程度上較預(yù)測(cè)量高或低。IC制造中隨機(jī)的工藝變化，使得所有IC在某種程度上行為 相異，特別是考慮到狀態(tài)改變期間其晶體管所需的充電電流量相異。為了補(bǔ)償DUT間的 該等差異，提供一反饋電路來監(jiān)控DUT功率輸入終端處的電壓且適當(dāng)?shù)匕匆欢ū壤糯?或縮小該等電流脈沖的預(yù)測(cè)幅值，以使電壓變動(dòng)最小化。
這樣，隨每一時(shí)鐘信號(hào)周期之后，供應(yīng)到DUT功率輸入終端的電流脈沖幅值是在該 時(shí)鐘信號(hào)周期期間，由該類型的DUT所引出的附加電流的預(yù)測(cè)幅值的一個(gè)函數(shù)，但是該
預(yù)測(cè)脈沖幅值由反饋按比例放大或縮小，從而使預(yù)測(cè)適應(yīng)每一正受測(cè)試的特殊DUT的充 電電流需求的變化。
本發(fā)明說明書的結(jié)論部分，特別指出并明確聲明本發(fā)明的標(biāo)的物。但是所屬領(lǐng)域的 技術(shù)人員，通過參看相同符號(hào)表示相同元件的所附圖式來閱讀本說明書的其余部分，將 最好地了解本發(fā)明的構(gòu)成與其操作方法以及本發(fā)明進(jìn)一步的優(yōu)點(diǎn)及目標(biāo)。


圖1是一圖解闡明一典型的現(xiàn)有技術(shù)測(cè)試系統(tǒng)的方框圖，該測(cè)試系統(tǒng)包括一通過一 探針卡連接到一組受測(cè)試集成電路器件(DUT)的集成電路測(cè)試器； 圖2和圖3是圖1中現(xiàn)有技術(shù)測(cè)試系統(tǒng)內(nèi)信號(hào)行為的時(shí)序圖； 圖4是一圖1中現(xiàn)有技術(shù)探針卡的簡(jiǎn)化的俯視圖5是一根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例圖解闡明了一執(zhí)行用于降低一組DUT電源輸入噪 聲的系統(tǒng)的測(cè)試系統(tǒng)的方框圖6是一圖解闡明圖5中測(cè)試系統(tǒng)內(nèi)的信號(hào)行為的時(shí)序圖7是一圖解闡明在一校準(zhǔn)過程中，圖5中測(cè)試系統(tǒng)的操作的方框圖8是一圖5中探針卡的簡(jiǎn)化的俯視圖9與圖IO是圖解闡明執(zhí)行本發(fā)明的第二和第三具體實(shí)施例的測(cè)試系統(tǒng)的方框圖11是一圖解闡明圖10中測(cè)試系統(tǒng)內(nèi)的信號(hào)行為的時(shí)序圖12是一圖解闡明一個(gè)執(zhí)行本發(fā)明的第四具體實(shí)施例的測(cè)試系統(tǒng)的方框圖13是一圖解闡明圖12中測(cè)試系統(tǒng)內(nèi)信號(hào)行為的時(shí)序圖14是一圖解闡明本發(fā)明的第五具體實(shí)施例的方框圖15是一圖解闡明本發(fā)明的第六具體實(shí)施例的方框圖16是一圖解闡明本發(fā)明的第七具體實(shí)施例的方框圖；和
圖17是一圖解闡明圖16中電路內(nèi)信號(hào)行為的時(shí)序圖18是一圖解闡明本發(fā)明的第八具體實(shí)施例的方框圖19是一圖解闡明本發(fā)明的第九具體實(shí)施例的方框圖20A圖解闡明一實(shí)例性探針卡；
圖20B圖解闡明另一實(shí)例性探針卡；
圖21是一圖解闡明本發(fā)明的第九具體實(shí)施例的方框圖22是一圖解闡明圖21中反饋控制電路的一實(shí)例性具體實(shí)施例的方框圖23-25是圖解闡明圖21中電流脈沖發(fā)生器的另一實(shí)例性具體實(shí)施例的方框和
圖26是一圖解闡明本發(fā)明的一第十具體實(shí)施例的方框圖。
賊錢討
系統(tǒng)體系結(jié)構(gòu)
圖5以方框圖形式圖解闡明， 一通過一探針卡32鏈接到一組以半導(dǎo)體晶元上管芯 形式存在的相似的IC受測(cè)試器件(DUT) 34上的集成電路(IC)測(cè)試器30。探針卡32 包括一組用于訪問DUT 34表面上的輸入/輸出終端墊39的探針37并且還包括將測(cè)試器 30鏈接到探針37的信號(hào)通道46以允許IC測(cè)試器30將一時(shí)鐘信號(hào)(CLOCK)和其它測(cè) 試信號(hào)發(fā)送到DUT 14，并將DUT輸出信號(hào)傳送回測(cè)試器30，以使測(cè)試器可以監(jiān)控DUT 的行為。
探針卡34還通過穿過探針卡通向探針37并延伸到終端41的導(dǎo)線，將一主電源鏈 接到每一DUT 34的一功率輸入終端41。電源36產(chǎn)生一調(diào)整完好的輸出電壓VA并連續(xù) 向DUT 34供應(yīng)一電流12。為圖解闡明起見，圖5將通過探針卡32，在主電源36與每 一 DUT34間的通道43的內(nèi)電阻表示為Rl 。由于經(jīng)過每個(gè)電阻Rl而產(chǎn)生的電壓降，所 以每一 DUT 34的輸入供電電壓VB通常在某種程度上較VA低。
按照本發(fā)明，安裝在探針卡32上的一第一晶體管開關(guān)SW1，將一輔助電源38鏈接 到一組安裝在探針卡32中的電容器C2上。同樣安裝在探針卡32上的一組第二晶體管 開關(guān)SW2將每一個(gè)電容C2鏈接到一相應(yīng)的DUT 34的功率輸入終端。圖5中所示的電阻 器R2，表示當(dāng)開關(guān)SW2關(guān)閉時(shí)，探針卡32內(nèi)每一電容器C2與DUT 34功率輸入終端41 間固有的信號(hào)通道電阻。IC測(cè)試器30提供一輸出控制信號(hào)CNT1給SW1，提供一控制信 號(hào)CNT2來控制開關(guān)SW2，提供控制數(shù)據(jù)CNT3來控制輔助電源38的輸出電壓VC的幅值。 如下文詳述，當(dāng)需要滿足任何預(yù)期的DUT對(duì)電源電流的增長(zhǎng)時(shí)，輔助電源38、開關(guān)SW1 與SW2、電容器C2充當(dāng)了一輔助電流源來將一電流脈沖注入IC測(cè)試器30的每一受控制 DUT的功率輸入端子41。 電源噪聲
DUT 34執(zhí)行同步邏輯，其中開關(guān)晶體管形成邏輯門，其響應(yīng)由測(cè)試器30提供的周
期性主CLOCK信號(hào)脈沖而打開與關(guān)閉。每一開關(guān)晶體管具有一固有輸入電容而且為了打
開或關(guān)閉晶體管，其驅(qū)動(dòng)器必須既為晶體管的輸入電容充電，又使其放電。當(dāng)DUT 34
內(nèi)的驅(qū)動(dòng)器為晶體管的輸入電容充電時(shí)，其增加必須供應(yīng)給每一 DUT的功率輸入終端41
的電流II量。當(dāng)晶體管的輸入電容充滿時(shí)，其驅(qū)動(dòng)器只需供應(yīng)相對(duì)小的漏電流量，以
保持晶體管的輸入電容帶電，使得該晶體管保持開或關(guān)。這樣，在每一 CLOCK信號(hào)脈沖 之后，輸入到每一DUT 34的電源電流I1立即存在一暫時(shí)性地增加，以提供改變不同晶 體管開關(guān)狀態(tài)所必需的充電電流。在隨后的一 CLOCK信號(hào)周期中，該等晶體管已改變狀 態(tài)之后，對(duì)于電源電流的需求降至一 "靜止的"穩(wěn)定狀態(tài)級(jí)別并且保持該級(jí)別直到下一 CLOCK信號(hào)周期開始為止。因?yàn)镈UT 34在每一CL0CK信號(hào)周期開始所需的附加電流II 量，是根據(jù)該特定CLOCK信號(hào)周期期間，晶體管的開與關(guān)的數(shù)量與本質(zhì)而定，所以對(duì)于 充電電流的需求，可隨周期不同而不同。
如果測(cè)試器30必須一直使開關(guān)SW1和SW2保持開啟，那么主電源36將一直向每一 DUT 34提供所有電流輸入II。在此情況下，由于在每一 CLOCK信號(hào)脈沖之后，在每一 DUT 34內(nèi)增加了的開關(guān)行為而導(dǎo)致的電源電流II的暫時(shí)性地增加，將導(dǎo)致主電源36與 DUT 34之間的信號(hào)通道43的內(nèi)電阻Rl上的電壓降暫時(shí)性增加。接下來此將導(dǎo)致DUT的 功率輸入終端41處電壓VB的暫時(shí)性地下降。圖2代表當(dāng)SW2—直開啟時(shí)，VB與I1的 行為。由于發(fā)生在每一 CLOCK信號(hào)脈沖邊沿后的供應(yīng)電壓VB的下降是一種可反過來影 響DUT34的性能的噪聲形式，所以期望限制電壓降的幅值。 預(yù)測(cè)電流補(bǔ)償
按照本發(fā)明的一個(gè)具體實(shí)施例，IC測(cè)試器30控制輔助電源38和開關(guān)SW1與SW2的 狀態(tài)，以使電容器C2在每一測(cè)試周期開始時(shí)，都向DUT34供應(yīng)附加充電電流I3。僅在 每一 CLOCK信號(hào)周期的初始部分流動(dòng)的充電電流13，連同主電源的輸出電流12 —起， 向DUT 34提供電流輸入I1。當(dāng)充電電流I3提供與DUT 34內(nèi)的開關(guān)晶體管的電容隨一 CLOCK信號(hào)脈沖之后所需的大約等量的電荷時(shí)，那么隨該CLOCK信號(hào)脈沖后，在由主電 源36產(chǎn)生的電流I2中的變化相對(duì)小，因此在供電電壓VB中的變化非常小。
這樣，在每一 CLOCK信號(hào)邊沿前，測(cè)試器30向輔助電源38提供一指示輔助供電電 壓VC的一期望幅值的數(shù)據(jù)CNT3并于是關(guān)閉開關(guān)SW1。電源38于是給所有電容器C2充 電。電容器C2存儲(chǔ)的電荷量與VC的幅值成比例。當(dāng)電容器C2已經(jīng)充過了可充滿的時(shí) 間時(shí)，測(cè)試器30開啟開關(guān)SW1。此后，隨著下一 CLOCK信號(hào)周期的開始，測(cè)試器30關(guān) 閉所有開關(guān)SW2，使得存儲(chǔ)在電容器C2中的電荷，可作為電流I3流入DUT 34。此后， 當(dāng)不需要瞬態(tài)充電電流時(shí)，測(cè)試器30開啟開關(guān)SW2，使得在該CLOCK信號(hào)周期的剩余部 分期間，僅主電源36向DUT 34供應(yīng)電流。此過程在每一 CLOCK信號(hào)周期期間重復(fù)，隨 著測(cè)試器30經(jīng)由控制輸入CNT3為每一時(shí)鐘周期調(diào)節(jié)VC幅值，以提供一大小滿足該特 定時(shí)鐘信號(hào)周期期間的預(yù)測(cè)充電電流需求的電流脈沖13。這樣13電流脈沖的幅值可隨 周期不同而不同。
圖6圖解闡明供電電壓VB和電流II、 12與13在一 CLOCK信號(hào)周期初始部分的行 為。電流II表示出其在CLOCK脈沖邊沿之后的T1時(shí)刻，在其靜止級(jí)別IQ1的上方的一 個(gè)暫時(shí)性地大的增長(zhǎng)，來向DUT 34內(nèi)的電容充電。電流I3快速上升，來基本上提供所 有附加充電電流。主電源36的輸出電流I2僅表示出較其靜態(tài)值一相對(duì)小的攝動(dòng)，該攝 動(dòng)由13與12的暫態(tài)組件間小的不匹配所致。由于12中的變化小，所以VB中的變化小。 這樣，本發(fā)明基本上限制了由DUT 34中開關(guān)瞬態(tài)所引起的電源噪聲。 測(cè)試器編程
如上所述，每一 DUT 34在CLOCK信號(hào)周期開始引出的附加充電電流量是根據(jù)在該 CLOCK信號(hào)周期期間晶體管的開關(guān)次數(shù)而定而且充電電流隨周期的不同而不同。為了提 供DUT終端41處的適當(dāng)電壓調(diào)整，測(cè)試器30必須預(yù)測(cè)隨著每一 CLOCK信號(hào)邊沿，DUT 34 打算存儲(chǔ)多少電荷，因?yàn)楸仨氄{(diào)節(jié)輔助電源輸出VC的幅值才能使電容器C2在每一 CLOCK 信號(hào)周期之前存儲(chǔ)適量的電荷。
圖7描述了一測(cè)試系統(tǒng)，其建立是為允許測(cè)試器30實(shí)驗(yàn)性地判定每一測(cè)試周期應(yīng) 將VC建立在哪個(gè)級(jí)別。已知一操作正常的參考DUT40而且其類似于欲測(cè)試的IC，其通 常經(jīng)由探針卡32連接到測(cè)試器30，這與將要測(cè)試的DUT34連接方式相同，以便測(cè)試器 30可以在參考IC 40上執(zhí)行相同的測(cè)試。但是探針卡32也將參考IC 40的電源終端鏈 接到測(cè)試器30的一輸入終端以便測(cè)試器30可監(jiān)控電源電壓VB。然后，在使用VC的最 小值來觀察VB的同時(shí)，測(cè)試器30僅執(zhí)行測(cè)試的第一個(gè)CLOCK周期。如果在CLOCK信號(hào) 周期期間，VB降至一期望的下限之下，那么測(cè)試器30使用一較高的VC值來重復(fù)測(cè)試的 第一 CLOCK信號(hào)周期。反復(fù)重復(fù)此過程，直到為第一 CLOCK信號(hào)周期建立了一適當(dāng)?shù)腣C 值。然后，測(cè)試器反復(fù)執(zhí)行本測(cè)試的前兩個(gè)CLOCK信號(hào)周期，同時(shí)在第二個(gè)CLOCK信號(hào) 周期期間監(jiān)控VB并且相應(yīng)地調(diào)節(jié)VC。使用相同的程序來為本測(cè)試的每個(gè)連續(xù)的CLOCK 信號(hào)周期建立適當(dāng)?shù)腣C值，然后當(dāng)測(cè)試DUT 34時(shí)，可使用該等VC值。
設(shè)計(jì)者通常使用電路模擬器來在制造IC之前模擬IC。當(dāng)電路模擬器在模擬IC上執(zhí) 行與IC測(cè)試器將在模擬IC的真實(shí)副本上所執(zhí)行的測(cè)試相同的測(cè)試時(shí)，可以用一比擬的 方式來使用電路模擬器，以判定在對(duì)真實(shí)IC測(cè)試期間，要使用的VC值的序列。 探針卡
圖4圖解闡明一一般現(xiàn)有技術(shù)的探針卡12，其將電壓調(diào)整電容器Cl連接到DUT的
功率輸入終端，以限制電源噪聲。此探針卡必須使電壓調(diào)整電容器與DUT間的距離最小
化，以使電容器與DUT間的電阻最小化。這樣，較佳地，電容器布置在探針卡上訪問DUT
的探針上方的小區(qū)域27之內(nèi)或附近。由于探針卡上探針附近的空間小，所以可配置在
探針卡上的調(diào)整電容器Cl的大小和數(shù)目是有限的。這一電容器安裝空間的限制可限制 能夠同時(shí)測(cè)試的DUT的數(shù)目。
圖8是根據(jù)本發(fā)明的圖5中探針卡32的一個(gè)簡(jiǎn)化俯視圖。圖7中IC測(cè)試器30所 訪問的接點(diǎn)45，分布在探針卡32的上表面43的一個(gè)相對(duì)大的區(qū)域內(nèi)，而接觸DUT 34 的探針37 (未圖示)集中在探針卡的一個(gè)相對(duì)小的中心區(qū)域47的下面。由于可使電容 器C2的充電電壓VC調(diào)節(jié)到適應(yīng)任何開關(guān)SW2與DUT 34的終端41之間的相當(dāng)大的通道 電阻R2 (圖5)，電容器C2可以以比圖4中電容器Cl離DUT探針上方的中心區(qū)域47 更遠(yuǎn)的距離安裝在探針卡32上。同樣由于使電容器C2充到比電容器Cl高的電壓，所 以其可以比電容器Cl小。由于圖8中探針卡32的電容器C2可以比圖4中現(xiàn)有技術(shù)探 針卡12的電容器Cl小且離探針卡中心遠(yuǎn)，所以在探針卡32上可安裝更多的電容器32。 這樣，根據(jù)本發(fā)明的使用了探針卡32的測(cè)試系統(tǒng)，較使用圖4中現(xiàn)有技術(shù)探針卡12的 測(cè)試系統(tǒng)，可同時(shí)測(cè)試更多的DUT。 帶有板上模式發(fā)生器的探針卡
圖9圖解闡明本發(fā)明的另一具體實(shí)施例，其包括一通常與圖7中探針卡32類似的 探針卡50，只是探針卡50上還安裝了一 "功率控制IC" 52。為了產(chǎn)生控制信號(hào)和數(shù) 據(jù)CNT1、 CNT2及CNT3來控制開關(guān)SW1和SW2以及輔助電源38，功率控制IC 52包括一 執(zhí)行圖7中IC測(cè)試器30的模式產(chǎn)生功能的模式發(fā)生器54。功率控制IC 52包括一個(gè)由 在測(cè)試開始以前，經(jīng)由一傳統(tǒng)計(jì)算機(jī)總線56提供的外部產(chǎn)生的編程數(shù)據(jù)而編程的傳統(tǒng) 模式發(fā)生器54。模式發(fā)生器54開始產(chǎn)生其輸出數(shù)據(jù)模式，以響應(yīng)來自IC測(cè)試器58的、 標(biāo)志著測(cè)試開始的START信號(hào)，并產(chǎn)生其輸出CNT1、 CNT2、 CNT3數(shù)據(jù)模式，以響應(yīng)為 測(cè)試器58的操作計(jì)時(shí)的相同系統(tǒng)時(shí)鐘(SYSCLK)。
當(dāng)所需電容C2充分小時(shí)，可在功率控制IC 52內(nèi)建構(gòu)開關(guān)SW1和SW2以及電容器 C2(如圖9中所示)。應(yīng)盡可能地靠近DUT探針將IC 52置于探針卡上。將開關(guān)SW1與SW2 及電容器C2以及測(cè)試器30的模式發(fā)生功能合并為一單個(gè)的IC 52，減少了探針卡32的 成本與復(fù)雜性，并減少了所需測(cè)試器30輸出通道的數(shù)目。但是當(dāng)必要時(shí)，電容器C2可 由功率控制IC 52外部的分立組件來建構(gòu)。 脈寬調(diào)制的充電電流
圖10圖解闡明了一個(gè)通常類似于圖5中具體實(shí)施例的本發(fā)明的具體實(shí)施例。但是
在圖10中，從探針卡60中省略了開關(guān)SW1使得輔助電源38的輸出VC直接連接到電容
器C2。同樣使輸出電壓VC固定并且不受IC測(cè)試器30調(diào)節(jié)，使得C2在每一 CLOCK信號(hào)
脈沖前均充電達(dá)到相同的值。在此配置中，IC測(cè)試器30經(jīng)由控制信號(hào)CNT2，通過脈寬
調(diào)制開關(guān)SW2來控制電容器C2在每一 CLOCK脈沖開始，傳送到DUT 34的電荷量。測(cè)試 器30隨著CLOCK信號(hào)脈沖的上升沿關(guān)閉開關(guān)SW2的時(shí)間的長(zhǎng)短，決定了電容器C2傳遞 到DUT 34的電荷量的多少。另外，如圖11所圖解闡明的是，當(dāng)測(cè)試器30快速增加且 隨后減少CNT2信號(hào)的占空度時(shí)，其會(huì)更加接近圖6中圖解闡明的13電流的形狀。 模擬調(diào)制的充電電流
圖12圖解闡明了本發(fā)明的一個(gè)基本上類似于圖IO中具體實(shí)施例的具體實(shí)施例。但 是在圖12中，當(dāng)DUT34正在經(jīng)歷狀態(tài)改變而且需要附加電流I3時(shí)，將晶體管開關(guān)SW2 用工作在其活性區(qū)中的晶體管Q2來替代。在此配置中，IC測(cè)試器30的CNT2輸出是作 為輸出施加至置于探針卡61上的模數(shù)(A/D)轉(zhuǎn)換器63的一數(shù)據(jù)序列。數(shù)據(jù)序列CNT2 代表在每一 CLOCK信號(hào)周期期間，對(duì)充電電流13的一個(gè)預(yù)測(cè)的需求。A/D轉(zhuǎn)換器63， 通過產(chǎn)生一輸入晶體管Q2的基極的模擬信號(hào)CNT4 (如圖13中圖解闡明)來響應(yīng)CNT2 數(shù)據(jù)序列，該訊號(hào)在每一 CLOCK信號(hào)周期期間均不同。模擬信號(hào)CNT4控制每一晶體管 Q2允許流出電容器C2的電流13的量使得其大體上匹配DUT 34所需求的電流II的預(yù)測(cè) 瞬態(tài)組件?？蓪/D轉(zhuǎn)換器63建構(gòu)在IC測(cè)試器30內(nèi)，而不是將其安裝在探針卡61上。 使用參考DUT的充電預(yù)測(cè)
圖14圖解闡明本發(fā)明的一個(gè)具體實(shí)施例，其中一個(gè)類似于DUT 34的參考DUT 60 以一類似的方式接受測(cè)試，只是測(cè)試器30通過將CLOCK和其施加到參考DUT 60的其它 輸入信號(hào)提前來略微先于其它DUT測(cè)試參考DUT 60。主電源62向所有DUT 34供電，而 一輔助電源64向參考DUT 60供電。置于探針卡66上、位于參考DUT 60附近的電容器 C4在參考DUT 60功率輸入終端68處，以一傳統(tǒng)方式調(diào)整電壓VREF，使其處于其容許 工作范圍之內(nèi)。電容器C5將VREF鏈接到一組放大器Al上并且電容器C6將每一放大器 Al的輸出鏈接到每一 DUT 34的功率輸入終端70上。
雖然調(diào)整完好，但由于參考DUT的瞬態(tài)充電電流需求，參考DUT 60輸入終端68處 的供電電壓VREF隨著每一 CLOCK信號(hào)周期的開始，小量降低到其靜止級(jí)別下方。VREF 中電壓的下降量與由參考DUT 60所引出的瞬態(tài)充電電流成比例。由于參考DUT 60類似 于DUT 34，且略先于DUT 34受測(cè)試，所以VREF的下降預(yù)測(cè)了短時(shí)間之后每一 DUT 34 的瞬態(tài)充電電流量。
通過電容器C5及C6起作用的放大器A1，放大VREF的AC組件，以產(chǎn)生增加主電源
62的電流輸出12的輸出電流13，以向每個(gè)DUT34提供電流輸入I1。使測(cè)試器30提前
參考DUT 60的測(cè)試時(shí)間的長(zhǎng)短設(shè)置為等于參考電壓VREF變化與電流13的相應(yīng)的變化
之間的延時(shí)。隨著將每一放大器Al的(負(fù))增益由一外部生成信號(hào)(GAIN)適當(dāng)?shù)卣{(diào)
節(jié)，電流13將大體上匹配DUT 34所需的瞬態(tài)充電電流。 非測(cè)試環(huán)境中的充電預(yù)測(cè)
本發(fā)明的具體實(shí)施例，除了用于在測(cè)試集成電路時(shí)降低電源噪聲外，也可用于在集 成電路經(jīng)過一連串可預(yù)測(cè)的狀態(tài)的應(yīng)用中，降低電源噪聲。
圖15圖解闡明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)例性具體實(shí)施例，其中一集成電路80為響應(yīng)作為輸 入而供應(yīng)的一個(gè)外部生成的CLOCK信號(hào)邊沿而經(jīng)過一連串可預(yù)測(cè)狀態(tài)。IC 80接收來自 主電源82的供電。當(dāng)開關(guān)SW1關(guān)閉時(shí)，由一輔助電源84經(jīng)由開關(guān)SW1給電容器C2充 電。當(dāng)開關(guān)SW2關(guān)閉時(shí)，電容器C2將其電荷作為附加電流輸入IC 80中。 一 "充電預(yù) 測(cè)器"電路86，通過在每一 CLOCK信號(hào)周期中IC 80未改變狀態(tài)的部分周期期間，斷定 一信號(hào)CNT1來關(guān)閉開關(guān)SW1并且改變一控制信號(hào)CNT2來打開開關(guān)SW2，響應(yīng)CLOCK信 號(hào)。這就允許輔助電源84在狀態(tài)變換之間，給電容器C2充電。充電預(yù)測(cè)器電路86在 每一 CLOCK信號(hào)周期中IC 80正變換狀態(tài)的部分周期期間，斷定控制信號(hào)CNT2來關(guān)閉 開關(guān)SW2且改變?cè)摽刂菩盘?hào)CNT1來打開開關(guān)SW1，從而允許電容器C2向IC 80的功率 輸入傳輸電流，以提供其瞬態(tài)電流需要。充電預(yù)測(cè)器86也向輔助電源84提供控制數(shù)據(jù) CNT3，以調(diào)節(jié)輔助電源84的輸出電壓VC，使得其將電容器C2充電到一個(gè)根據(jù)下一狀態(tài) 變換期間，IC80所期望引出的電流量而確定的級(jí)別。充電預(yù)測(cè)器86適合由傳統(tǒng)模式發(fā) 生器或其它任何能產(chǎn)生輸出數(shù)據(jù)序列CNT1、 CNT2及CNT3的器件來建構(gòu)，該等輸出數(shù)據(jù) 序列CNT1、 CNT2及CNT3適于IC 80由于期望狀態(tài)序列而對(duì)于瞬態(tài)電流的需求。開關(guān)SW1 及SW2與/或電容器C2，可如圖15中所示在IC80外部建構(gòu)，或者可在IC80內(nèi)部建構(gòu)。 充電均衡
圖16圖解闡明了本發(fā)明的一個(gè)簡(jiǎn)單形式，其適用于IC 80在每一 CLOCK信號(hào)周期 開始，期望引出的充電電流量處于一相對(duì)有限的、可預(yù)測(cè)的范圍內(nèi)的應(yīng)用中。如圖16 中所示，轉(zhuǎn)換器90轉(zhuǎn)換CLOCK信號(hào)，以向?qū)⒁惠o助電源耦合到一電容器C2的開關(guān)SW1 提供CNT1控制輸入。該CLOCK信號(hào)直接將CNT2控制信號(hào)輸入提供給將電容器C2連接 到通常由主電源82驅(qū)動(dòng)的IC 80的功率輸入的開關(guān)SW2。如圖17中所示，CLOCK信號(hào) 在每一 CLOCK信號(hào)周期的前半部分期間，將CNT2信號(hào)驅(qū)動(dòng)到高電平，以關(guān)閉開關(guān)SW2; 而在每一CLOCK信號(hào)周期后半部分期間，將CNT1驅(qū)動(dòng)到高電平，以關(guān)閉開關(guān)SW1。
將輔助電源84的輸出電壓VC設(shè)置為常值使得其在每一 CLOCK信號(hào)周期之前均將電
容器C2充電到一個(gè)相同的級(jí)別。將VC的級(jí)別設(shè)置為在每一 CLOCK信號(hào)周期開始、當(dāng)IC
80正引出附加充電電流時(shí)電源輸入電壓VB的擺動(dòng)范圍的適當(dāng)?shù)奈恢谩＠?，?dāng)我們想
讓VB的靜止值處于其范圍的中間時(shí)，我們可調(diào)節(jié)VC，使得電容器C2供應(yīng)充電電流量處于IC 80期望引出的充電電流的范圍中間。另一方面，如果我們想防止VB降到其靜止 值之下太多，但愿意允許VB升高到其靜止值之上，我們可以調(diào)節(jié)VC，使得電容器C2供 應(yīng)IC 80期望引出的充電電流的最大量。雖然電容器C2在一些CLOCK信號(hào)周期期間， 可能提供太少的充電電流，而在其它CLOCK信號(hào)周期期間提供太多的充電電流，但在許 多應(yīng)用中，當(dāng)對(duì)VC作出適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)時(shí)，圖16中闡明的系統(tǒng)仍能使VB的擺動(dòng)保持在可 接受范圍內(nèi)。注意，通過對(duì)每一 CLOCK信號(hào)周期都將控制數(shù)據(jù)CNT3設(shè)置為相同值，可 對(duì)圖5、圖9、圖14及圖15中的系統(tǒng)編程，使之以一種類似的方式工作。 自適應(yīng)電流補(bǔ)償
圖18圖解闡明本發(fā)明的另一個(gè)具體實(shí)施例，如圖18中所示，電源36通過探針卡 50，向受測(cè)試半導(dǎo)體器件(DUT) 34上的功率輸入終端1806供電。圖18中，用Rl來表 示通過探針卡50上的輸電線1812的內(nèi)電阻。同樣如圖18中所示，IC測(cè)試器58通過探 針卡50，向DUT 34提供時(shí)鐘及其它信號(hào)。將實(shí)例性DUT 34上的一個(gè)時(shí)鐘輸入終端圖解 表示為終端1808。 IC測(cè)試器58也通過探針卡50接收來自于DUT 34的信號(hào)。圖18中 DUT34上顯示了一個(gè)輸入/輸出(IA))終端1810。但是DUT 34可具有附加I/O終端1810 或可具有只用于輸入的端子及其它只用于輸出的終端或只用于輸入和只用于輸出的終
端的組合以及其它既作為輸入終端也作為輸出終端起作用的端子。應(yīng)明確，探針卡50 可與一個(gè)DUT連接(如圖18所示)或與復(fù)數(shù)個(gè)DUT連接(例如，如圖14所示)。
如圖18所示， 一電流感測(cè)器件1804 (例如， 一電流感測(cè)耦合器或一變流器)感測(cè) 通過旁路電容器Cl的電流。放大器1802，其優(yōu)選反向放大器(例如，具有一負(fù)增益的 放大器)，其通過電容器C7，將電流提供至傳輸線1812。輔助電源38向放大器1802 供電。當(dāng)然，可用其它方法，給放大器1802供電，包括由電源36、 IC測(cè)試器58、位于 探針卡50上的電源供電，或由除了位于電源36， IC測(cè)試器58或探針卡50上以外的電 源來供電。
在操作中，功率終端1806通常引出少量電流，如上所述(假設(shè)DUT 34包括主場(chǎng)效 應(yīng)晶體管)。僅在某些情況下，功率終端1806才確實(shí)會(huì)引出大量電流。如上論述，這 些情況最普遍地發(fā)生在當(dāng)DUT 34中的至少一個(gè)晶體管改變狀態(tài)時(shí)，而此改變狀態(tài)通常 對(duì)應(yīng)于時(shí)鐘終端1808處的時(shí)鐘的上升沿或下降沿而發(fā)生。
當(dāng)DUT 34并未改變狀態(tài)時(shí)，功率終端1806處引出的少量電流通常導(dǎo)致僅有小的主
導(dǎo)靜態(tài)直流(DC)流過或沒有電流流過旁路電容器Cl。此會(huì)導(dǎo)致電流感測(cè)器件1S04感
測(cè)到很少的電流，或感測(cè)不到電流，并且因此很少或沒有電流流出反向放大器1802。
但當(dāng)DUT 34正在狀態(tài)變換之時(shí)，功率終端1806暫時(shí)性地引出大量電流(如上所述)。
此會(huì)導(dǎo)致暫時(shí)性地相當(dāng)大的且改變的電流流過旁路電容器C1 (如上所述)。該電流由電 流感測(cè)器件1804感測(cè)并且由反向放大器1802反向并放大，最終通過隔離電容器C7，供 給輸電線1812。如上所述，由放大器1802在輸電線1812上所提供的附加電流在功率終 端1806處減少了電壓變化。
圖19圖解闡明圖18中所展示的實(shí)例性具體實(shí)施例的一個(gè)變化。如圖，圖19大體 上與圖18類似，并且也包括一電流感測(cè)元件1804和一配置用于向探針卡50上的輸電 線1812提供電流的反向放大器1802。但是，在圖19中，電流感測(cè)元件1804感測(cè)流過 輸電線1812的電流，而不是感測(cè)流過旁路電容器C1的電流。
圖19中具體實(shí)施例的工作與圖18中的類似。當(dāng)DUT 34并未改變狀態(tài)時(shí)，由電流 感測(cè)器件1804感測(cè)到的是功率終端1806處經(jīng)由輸電線1812所引出的通常是小的主導(dǎo) 靜態(tài)直流(DC)中的少量電流。因而，反向放大器1802提供少量或不提供充電電流。 但是，當(dāng)DUT 34正改變狀態(tài)時(shí)，電流感測(cè)器件1804,通過輸電線1812感測(cè)功率終端 1806處電流的重大變化。反向放大器1802放大并反向所感測(cè)的電流，以通過隔離電容 器C7，向輸電線1812提供附加充電電流。如上所述，附加充電電流減少了功率終端1806 處的電壓變化。 相互連接系統(tǒng)
上述具體實(shí)施例中，用于提供集成電路測(cè)試器、電源與DUT間信號(hào)通道的探針卡是 實(shí)例性的。可連同具有多種其它設(shè)計(jì)的相互連接的系統(tǒng)來一起實(shí)施本發(fā)明。例如，圖20A 圖解闡明了一個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單的探針卡，此探針卡包含一基板2002，其帶有用于連接到一 IC測(cè)試器(圖20A中未圖示)的終端2004以及用于與一 DUT (圖20A中未圖示)建立 電連接的探針元件2008。如圖所示，終端2004通過相互連接元件2006與探針元件2008 電連接。
基板2002可以是，例如， 一單層或多層的印刷電路板、陶瓷或其它材料。應(yīng)該明
確，本發(fā)明不苛求基板的材料成分。探針元件2008可以是任何類型的能與DUT建立電
連接的探針，不加限制地包括針狀探針，眼鏡蛇(COBRA)風(fēng)格探針，塊形、螺栓形、
柱形、彈簧觸點(diǎn)等。合適的彈簧觸點(diǎn)的無限制性實(shí)例在美國(guó)專利第5,476,211號(hào)、1997
年2月18日申請(qǐng)的美國(guó)專利申請(qǐng)案第08/802,054號(hào)(其對(duì)應(yīng)于PCT公開案WO 97/44676)、
美國(guó)專利第6，268， 051Bl號(hào)、及1999年7月30日申請(qǐng)的美國(guó)專利申請(qǐng)案第09/364,855
號(hào)(其對(duì)應(yīng)于PCT公開案WO 01/09952號(hào))中公開揭示，此等專利/專利申請(qǐng)案以引用
的方式并入本文中?？砂汛说葟椈捎|點(diǎn)視為描述于美國(guó)專利第6, 150, 186號(hào)或2001年
12月21日申請(qǐng)的美國(guó)專利申請(qǐng)案第10/027， 476號(hào)中的彈簧觸點(diǎn)，此等專利/專利申請(qǐng)
案也以引用的方式并入本文中。另外，"探針"可以是用于與DUT上凸起的元件接觸的 焊墊或終端，例如，在DUT上形成的彈簧接點(diǎn)。相互連接通道2006的無限制性實(shí)例包 括，通路與/或通路與位于基板2002表面上或基板2002之內(nèi)的導(dǎo)電性軌道的組合。
圖20B圖解闡明了可連同本發(fā)明一起使用的探針卡的另一個(gè)非限制性的實(shí)例。如所 示，圖20B中展示的實(shí)例性探針卡包括基板2018、內(nèi)插機(jī)構(gòu)2012以及探頭2032。終端 2022與一 IC測(cè)試器(圖20B中未圖示)接觸并且與上面所論述的探針元件2008類似的 探針元件2034與一 DUT (圖20B中未圖示)接觸。相互連接通道2020、彈性連接元件 2016、相互連接通道2014、彈性連接元件2010及相互連接通道2036提供了從終端2022 到探針元件2034的導(dǎo)電性通道。
基板2018，內(nèi)插機(jī)構(gòu)2012及探頭2032可由類似于上文中有關(guān)2002描述的那些類 似材料制成。實(shí)際上，本發(fā)明不苛求基板2018,內(nèi)插機(jī)構(gòu)2012及探頭2032的材料成分 并且可使用任何成分。相互連接通道2020、 2014、 2036可與上述相互連接通道2006類 似。彈性連接元件2016及2010優(yōu)選拉伸、彈性元件。此等元件的非限制性實(shí)例在美國(guó) 專利第5,476,211號(hào)、1997年2月18日申請(qǐng)的美國(guó)專利申請(qǐng)案第08/802,054號(hào)中闡明 (其對(duì)應(yīng)于PCT公開案WO第97/44676號(hào))、美國(guó)專利第6， 268, 015B1號(hào)及1999年7 月30日申請(qǐng)的美國(guó)專利申請(qǐng)案第09/364, 855號(hào)(其對(duì)應(yīng)于PCT公開案WO第01/09952 號(hào))中說明，所有此等專利/專利申請(qǐng)案都以引用的方式并入本文中。包含復(fù)數(shù)個(gè)諸如 圖20B中所示的基板的實(shí)例性探針卡的更為詳細(xì)的論述，可見于美國(guó)專利第5,974,662 號(hào)中，其以引用的方式并入本文中。圖20B中所示的實(shí)例性設(shè)計(jì)可作很多變化。僅舉一 實(shí)例而言，相互連接通道2014可用一個(gè)孔及一個(gè)或多個(gè)固定于孔中且從孔中延伸出去 與2018及探頭2032建立連接的彈性元件2016與/或2010代替。
但是，應(yīng)顯而易見，本發(fā)明不苛求相互連接系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)或設(shè)計(jì)并且可以使用任何結(jié)
構(gòu)或設(shè)計(jì)。正如這里所描述的具體實(shí)施例中所示，較佳地，用于減少DUT上功率終端處
電壓變化的電路安裝在探針卡上。如果使用一個(gè)多基板探針卡，例如圖20B中所示的實(shí)
例性探針，那么電路可位于任一基板上，或可以分布在兩個(gè)或多個(gè)基板之間。這樣，例
如電路可位于圖20B中的探頭2032、內(nèi)插機(jī)構(gòu)2012、或基板2018中的一個(gè)上，或者電
路可位于兩個(gè)或多個(gè)探頭、內(nèi)插機(jī)構(gòu)與/或基板的組合物上。應(yīng)該顯而易見，該電路可
以完全由相互連接的隔離電路元件形成、可以完全在一集成電路上形成或者可以由一部
分是隔離電路元件、 一部分形成于一個(gè)集成電路上的元件組成。
預(yù)測(cè)/自適應(yīng)電流補(bǔ)償
如上所述，用于控制DUT的功率輸入終端處供電電壓變化的預(yù)測(cè)系統(tǒng)，預(yù)測(cè)每一時(shí)
鐘信號(hào)周期期間DUT將需要的充電電流量，并且然后根據(jù)該預(yù)測(cè)，測(cè)量在該時(shí)鐘信號(hào)周 期期間，施加到DUT的功率輸入終端的補(bǔ)償電流脈沖的大小。另一方面， 一自適應(yīng)系統(tǒng) 監(jiān)控施加到DUT終端的功率信號(hào)，并且使用反饋來調(diào)節(jié)補(bǔ)償電流脈沖的幅值，以保持功 率信號(hào)的電壓為常數(shù)。
圖21圖解闡明本發(fā)明的一個(gè)具體實(shí)施例，其中，DUT34的功率輸入終端26處所需 的附加充電電流量由預(yù)測(cè)與自適應(yīng)組合來確定。輔助電源38向一電流脈沖發(fā)生器2102 供應(yīng)功率VC，該電流脈沖發(fā)生器在需要放大來自主電源36的正常供電電流時(shí)，向DUT 功率輸入終端26供應(yīng)一電流脈沖13。在每一測(cè)試周期開始，IC測(cè)試器58向電流脈沖 發(fā)生器2102供應(yīng)一信號(hào)CNT5，以指示電流脈沖的預(yù)測(cè)幅值，并且在每一測(cè)試周期期間， IC測(cè)試器58斷定一控制信號(hào)CNT6，以告訴電流脈沖發(fā)生器2102何時(shí)產(chǎn)生電流脈沖。
為IC測(cè)試器58編程，以測(cè)試一特別類型的DUT 34以及其所做的關(guān)于每一測(cè)試周 期期間電流脈沖13所需大小及持續(xù)時(shí)間的預(yù)測(cè)，如前所討論，此種預(yù)測(cè)可基于對(duì)該種 類型DUT所引出電流的測(cè)量，或基于對(duì)DUT行為的仿真。但是，由于DUT制造工藝變化 及其它因素，該類型的每一DUT在每一測(cè)試周期期間，可能需要的附加充電電流的幅值 可能與預(yù)測(cè)的充電電流不同。對(duì)任何給定的DUT，實(shí)際引出的充電電流與預(yù)測(cè)充電電流 的比例基于周期復(fù)周期基礎(chǔ)之上會(huì)趨于相對(duì)一致。例如， 一個(gè)DUT在每一測(cè)試周期期間， 可能始終如一地比預(yù)測(cè)充電電流多引出5%充電電流，而同一時(shí)間的另一DUT，在每一測(cè) 試周期期間，可能始終如一地引出比預(yù)測(cè)充電電流少5%的充電電流。
反饋控制器2104通過向電流脈沖發(fā)生器2102供應(yīng)一自適應(yīng)增益(或"自適應(yīng)") 信號(hào)G來補(bǔ)償充電電流需要量與預(yù)測(cè)值間的變化，該電流脈沖發(fā)生器2102適當(dāng)?shù)卦黾?或減少電流脈沖13的幅值，使電流脈沖適應(yīng)當(dāng)前受測(cè)試的特定DUT 34的需要。這樣， 預(yù)測(cè)信號(hào)CNT5表示正在受測(cè)試的類型的DUT需求的充電電流的預(yù)測(cè)幅值，而增益("自 適應(yīng)")信號(hào)幅值表示正在受測(cè)試的DUT特例的預(yù)測(cè)誤差。
在測(cè)試DUT34之前，IC測(cè)試器58執(zhí)行一預(yù)測(cè)試程序，該程序可類似于執(zhí)行如下測(cè)
試發(fā)送測(cè)試與CLOCK信號(hào)脈沖給DUT 34，使之一般以和DUT在測(cè)試期間相同的方式工
作。在該預(yù)測(cè)試程序期間，反饋控制電路2104監(jiān)控DUT的功率輸入終端26處的電壓VB，
并調(diào)節(jié)增益信號(hào)G的幅值，以使發(fā)生在I3幅值太大或太小之時(shí)的VB變化最小化。該預(yù)
測(cè)試程序提供給反饋控制器2104時(shí)間，以調(diào)節(jié)增益信號(hào)G的幅值，適應(yīng)受測(cè)試的特定
DUT34對(duì)于充電電流的需求。此后，在測(cè)試期間，反饋控制器2104繼續(xù)監(jiān)控VB并調(diào)節(jié)
增益信號(hào)，但所做的是小調(diào)節(jié)。這樣，雖然在每一測(cè)試周期期間所供應(yīng)的充電電流脈沖
13的幅值，主要是DUT預(yù)測(cè)的充電電流需求的一個(gè)函數(shù)，但由控制器2104提供的增益
控制反饋會(huì)很好地調(diào)節(jié)電流脈沖幅值，以適應(yīng)DUT的實(shí)際充電電流需求的任何一貫傾向 來不同于預(yù)測(cè)的需求。
所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員會(huì)體會(huì)到，圖21中的反饋控制器2104可以是能夠產(chǎn)生一個(gè)將 使VB變化最小化的輸出增益控制信號(hào)G的多種設(shè)計(jì)中的任何一個(gè)。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人 員還會(huì)體會(huì)到，電流脈沖發(fā)生器可以是能產(chǎn)生電流脈沖13的多種設(shè)計(jì)中的任何一個(gè)， 其中13的時(shí)間長(zhǎng)短由一輸入信號(hào)CNT6來控制并且13的幅值是一由控制信號(hào)CNT5表示 的電流脈沖與一自適應(yīng)增益信號(hào)G的幅值的函數(shù)。
圖22圖解闡明反饋控制器2104的一個(gè)非限制性實(shí)例，其將VB的AC組件集成，以 產(chǎn)生增益控制信號(hào)G。 一 DC隔直流電容器CIO使VB的AC組件通到一積分器2106上， 該積分器2106是由一運(yùn)算放大器Al、與其并聯(lián)的電容器C8和R5及與其一輸入端串聯(lián) 的電阻器R4組成。
圖23描述圖21中電流脈沖發(fā)生器2102的一個(gè)非限制性實(shí)例。在此實(shí)例中，控制 信號(hào)CNT5傳輸代表所需電流脈沖I3的預(yù)測(cè)幅值的數(shù)據(jù)。 一數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC) 2108將 電流測(cè)試周期所用的預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)，轉(zhuǎn)換成模擬信號(hào)P，其幅值與預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)成比例。當(dāng)IC測(cè) 試器58斷定了CNT6信號(hào)以表明何時(shí)將產(chǎn)生電流脈沖I3時(shí)，開關(guān)2110關(guān)閉，以提供信 號(hào)P給可變?cè)鲆娣糯笃?112的一個(gè)輸入，該放大器2112由圖21中輔助電源38的VC 輸出供電。圖21中反饋控制器2104的增益控制信號(hào)輸出控制放大器2112的增益。放 大器2112產(chǎn)生一輸出電流脈沖13， 13幅值與P和G的乘積成比例。電容器C7將I3信 號(hào)脈沖傳給圖21中探針卡50內(nèi)的向DUT 34傳輸功率的信號(hào)通道2114。
圖24描述了圖21中電流脈沖發(fā)生器2102的另一個(gè)非限制性實(shí)例。在該實(shí)例中，
圖21中IC測(cè)試器58斷定CNT5控制信號(hào)的時(shí)間的長(zhǎng)度是與下一 CLOCK信號(hào)周期期間所
需電流脈沖13的預(yù)測(cè)幅值成比例的。電流脈沖發(fā)生器2102產(chǎn)生每一 13信號(hào)的脈沖之
后，IC測(cè)試器58斷定CNT5信號(hào)，以關(guān)閉將輔助供應(yīng)輸出信號(hào)VC經(jīng)由一電阻器R5耦合
到一電容器C8上的開關(guān)2116。 IC測(cè)試器58繼續(xù)斷定CNT5信號(hào)一段時(shí)間，這段時(shí)間長(zhǎng)
度隨下一I3信號(hào)脈沖的預(yù)測(cè)幅值而增加。這樣，圖21中輔助電源38將電容器C8充電
到一個(gè)與下一 13信號(hào)脈沖的預(yù)測(cè)幅值成比例的電壓值。此后，當(dāng)IC測(cè)試器58斷定CNT6
信號(hào)，以指示將要產(chǎn)生下一 13信號(hào)脈沖時(shí)，開關(guān)2117將電容器C8連接到放大器2118
的輸入上。該放大器2118具有一個(gè)由圖21中反饋控制器2104的增益控制信號(hào)輸出G
控制的增益。 一耦合電容器C9將所產(chǎn)生的13信號(hào)傳輸?shù)綄⒐β蕚鬏數(shù)綀D21中DUT 34
的探針卡導(dǎo)線2114?？刂菩盘?hào)CNT6在電容器C8已具有充分放電的時(shí)間后，打開開關(guān)
2117。由于13電流脈沖的幅值迅速上升，而且隨后當(dāng)C8放電時(shí)，幅值下降，所以13
脈沖的時(shí)變行為與DUT的時(shí)變充電電流需求趨于一致。
圖25描述了圖21中電流脈沖發(fā)生器2102的另一個(gè)非限制性實(shí)例。其中由CNT5信 號(hào)輸送的數(shù)據(jù)代表13信號(hào)脈沖的預(yù)測(cè)幅值。增益控制信號(hào)G充當(dāng)DAC 2120將由CNT5 信號(hào)傳輸?shù)臄?shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為模擬信號(hào)P的參考電壓。增益控制信號(hào)G標(biāo)定的電壓，界定了 DAC 輸出信號(hào)P的范圍，以使P和G與CNT5的乘積成比例。開關(guān)2122暫時(shí)性地將P信號(hào)傳 輸?shù)椒糯笃?124，以響應(yīng)控制信號(hào)CNT6的脈沖，從而使放大器2124經(jīng)由一耦合電容器 C10向功率導(dǎo)體2114發(fā)送一 13信號(hào)脈沖。該13信號(hào)脈沖幅值與G及P的幅值之積成比 例。
圖26圖解闡明了根據(jù)本發(fā)明的預(yù)測(cè)/自適應(yīng)系統(tǒng)地另一個(gè)實(shí)例性具體實(shí)施例，其中 輔助電源38向可變?cè)鲆娣糯笃?126提供功率并且IC測(cè)試器58每當(dāng)預(yù)測(cè)到DUT 34的 功率輸入終端26處需要附加充電電流時(shí)，便向放大器2126提供一控制信號(hào)脈沖CNT6。 電容器Cll將13信號(hào)脈沖傳輸給探針卡50內(nèi)將主電源36鏈接到DUT功率輸入終端26 的功率信號(hào)通道2114。反饋控制電路2104監(jiān)控出現(xiàn)在終端26處的電壓VB,并調(diào)節(jié)放 大器2126的增益，以使VB變動(dòng)最小化。IC測(cè)試器58將控制信號(hào)CNT5作為輸入在每一 CLOCK期間供應(yīng)給輔助電源38,以根據(jù)由CNT5控制信號(hào)所傳遞的數(shù)據(jù)的幅值，設(shè)置其 輸出電壓VC。 13的幅值因而是增益控制信號(hào)G的幅值與輔助供應(yīng)電壓VC的幅值的乘積 的函數(shù)。
這樣，圖21-26描述了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)用來通過在每一 CLOCK信號(hào)邊沿之后，向 DUT的功率輸入端子26提供附加充電電流，來調(diào)整施加至DUT 34的功率信號(hào)VB的電壓 來滿足由于CLOCK信號(hào)邊沿引起的開關(guān)切換所帶來的電流暫時(shí)性地增長(zhǎng)的需求的預(yù)測(cè)/ 自適應(yīng)控制系統(tǒng)的多種實(shí)例性具體實(shí)施例?？刂葡到y(tǒng)是"預(yù)測(cè)性的"，是因?yàn)槠漕A(yù)測(cè)每 一測(cè)試周期期間，DUT將需要的附加電流量。該控制系統(tǒng)也是"自適應(yīng)的"，是因?yàn)槠?用反饋來改變其響應(yīng)預(yù)測(cè)所產(chǎn)生的電流脈沖的比例，以適應(yīng)觀測(cè)到的各受測(cè)試DUT所實(shí) 際引出的電流幅值的變化。
盡管這里闡述的本發(fā)明是在一個(gè)僅用一個(gè)主電源的系統(tǒng)中降低噪聲，但應(yīng)意識(shí)到本 發(fā)明可用在不止一個(gè)主電源向DUT供電的環(huán)境中。
盡管這里所闡述的本發(fā)明是與具有一個(gè)單一功率輸入的DUT —起操作，但應(yīng)意識(shí)到 該裝置可適合于與具有多個(gè)功率輸入的DUT —起操作。
盡管所描述的本發(fā)明，是在CLOCK信號(hào)脈沖的上升沿之后提供附加電流，但可使其 容易地適用于在CLOCK信號(hào)脈沖的下降沿之后提供附加充電電流，以用于在下降CLOCK 信號(hào)邊沿切換的DUT上。
盡管已描述了用于連同IC測(cè)試器一起使用的本發(fā)明的不同方案，該類型的測(cè)試器 使用一探針卡訪問在半導(dǎo)體晶元上形成的ic終端，但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)意識(shí)到， 本發(fā)明可用于使其它類型的提供對(duì)IC的DUT終端訪問的接口裝備的IC測(cè)試器，端子可
仍在晶元級(jí)別形成，或其可已經(jīng)從形成的晶元上分離，在測(cè)試之時(shí)，其可封裝，可不封 裝。該等接口裝備包括而不局限于負(fù)載板、燒附板及最后測(cè)試板。本發(fā)明在其最廣闊方
面上并非期望限于包括任何特殊類型的IC測(cè)試器、任何特殊類型的測(cè)試器-DUT相互連 接系統(tǒng)、或任何特殊類型IC DUT的應(yīng)用。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員還應(yīng)了解，盡管上面所 述的本發(fā)明是用于關(guān)于集成電路的測(cè)試，但其也可在測(cè)試任何種類的電子器件，例如測(cè) 試觸發(fā)器組件，電路板等，隨時(shí)當(dāng)測(cè)試期間器件的功率輸入終端電壓期望精確調(diào)整時(shí)使 用。
因此，盡管前面的說明己描述本發(fā)明的較佳具體實(shí)施例，但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可 在不背離本發(fā)明較廣方面的前提下，對(duì)較佳具體實(shí)施例作許多修改。因而所附權(quán)利要求
是期望覆蓋屬于本發(fā)明的真實(shí)范圍及精神的所有該等修改。
權(quán)利要求
1、一種使用測(cè)試裝置測(cè)試半導(dǎo)體設(shè)備的方法，其包括以下步驟在半導(dǎo)體設(shè)備的電源終端處創(chuàng)建期望輸入需求的需求記錄，所述需求記錄在時(shí)間上與所述半導(dǎo)體設(shè)備的測(cè)試序列相關(guān)聯(lián)；根據(jù)所述測(cè)試序列測(cè)試所述半導(dǎo)體設(shè)備；及在所述測(cè)試期間根據(jù)所述測(cè)試記錄將電源提供到所述半導(dǎo)體設(shè)備，其中所述提供電源包括產(chǎn)生提供到所述半導(dǎo)體設(shè)備的所述電源終端的第一電源；及根據(jù)所述需求記錄選擇性地產(chǎn)生提供到所述半導(dǎo)體設(shè)備的所述電源終端的第二電源，以使所述第二電源實(shí)質(zhì)上與所述電源終端處電流需求的期望增長(zhǎng)同時(shí)提供。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其中所述提供電源包括使用所述需求記錄以 調(diào)整所述測(cè)試裝置的動(dòng)作。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其中所述提供電源進(jìn)一步包括產(chǎn)生時(shí)間信號(hào) 以調(diào)節(jié)提供給所述半導(dǎo)體設(shè)備的所述電源終端的所述第二電源的量。
4、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其中產(chǎn)生所述需求記錄包括將信號(hào)應(yīng)用到參 考半導(dǎo)體設(shè)備，且根據(jù)時(shí)間測(cè)量所述參考半導(dǎo)體設(shè)備的電源需求。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其中產(chǎn)生所述需求記錄包括根據(jù)時(shí)間模擬所 述半導(dǎo)體設(shè)備的電源需求。
6、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其中所述產(chǎn)生第二電源包括與所述測(cè)試序列 的測(cè)試循環(huán)時(shí)間上相關(guān)聯(lián)將所述第二電源提供至所述半導(dǎo)體設(shè)備。
7、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其中所述輸入為電壓。
8、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其中所述輸入為電源。
9、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其中所述輸入為電流。
10、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其中所述測(cè)試包括使用探針卡。
11、 一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的測(cè)試裝置，其包括需求記錄器，其用于記錄在半導(dǎo)體設(shè)備的電源終端處的期望輸入需求的需求記 錄，所述需求記錄在時(shí)間上與所述半導(dǎo)體設(shè)備的測(cè)試序列相關(guān)聯(lián)；探針卡，其經(jīng)配置根據(jù)所述測(cè)試序列執(zhí)行測(cè)試所述半導(dǎo)體設(shè)備；及 電源構(gòu)件，其用于根據(jù)所述測(cè)試記錄將電源提供到所述半導(dǎo)體設(shè)備，其中所述電源構(gòu)件包括主電源，其用于將電源提供到所述半導(dǎo)體設(shè)備的所述電源終端；及 輔電源，其用于根據(jù)所述需求記錄將輔助電源提供到所述電源終端，以使所述 輔助電源實(shí)質(zhì)上與所述電源終端處電流需求的期望增長(zhǎng)同時(shí)提供。
12、 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的裝置，其中所述輔電源設(shè)置于所述探針卡上。 提供電源包括使用所述需求記錄以調(diào)整所述測(cè)試裝置的動(dòng)作。
13、 一種用于將電流提供至測(cè)試器件(DUT)的裝置，所述裝置包括 主電源輸入終端，其用于接收第一電流；電源輸出終端，其用于連接到所述DUT;跡線，其用于將所述主電源輸入終端連接到所述電源輸出終端； 輔電源輸入終端，其用于接收第二電流； 連接到所述跡線的隔離電容器；感應(yīng)傳感器，其連接到所述電源輸出終端以檢測(cè)電流；及放大器，其用于向所述電源輸出終端提供電流，所述放大器連接到所述輔電源 以通過自所述感應(yīng)傳感器接收的輸入控制將電源提供至所述電源輸出終端。
14、 根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其中所述輔電源在驅(qū)動(dòng)所述DUT的時(shí)鐘信 號(hào)的至少一邊緣之后經(jīng)控制補(bǔ)充所述第一電流。
15、 根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其中 所述隔離電容器從所述跡線連接到地；且所述感應(yīng)傳感器包括連接的耦合器以測(cè)量通過所述隔離電容器的電流。
16、 根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其中所述隔離電容器從所述跡線連接到地；且所述感應(yīng)傳感器包括連接的耦合器以測(cè)量通過所述跡線的電流。
17、 根據(jù)權(quán)利要求16所述的裝置，其進(jìn)一步包括一探針卡，所述探針卡支撐 所述電源輸入終端，所述電源輸出終端、所述跡線、所述輔電源輸入終端、所述 隔離電容器、所述感應(yīng)傳感器、和所述放大器。
18、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的裝置，其中所述電源輸出終端包括所述探針卡上 的彈簧探針觸點(diǎn)，其用于連接到所述DUT上的襯墊。
19、 通過權(quán)利要求18所述的裝置測(cè)試的DUT。
20、 一種用于將電流提供至測(cè)試器件(DUT)的裝置，所述裝置包括 主電源輸入終端，其用于接收第一電流；電源輸出終端，其用于連接到所述DUT;電阻器，其具有連接到所述電源輸入終端的第一終端和連接到所述電源輸出終端的第二終端；輔電源輸入終端，其用于接收第二電流；電流脈沖發(fā)生電路，其具有連接到所述電源輸出終端的輸出，所述電流脈沖發(fā) 生電路具有自所述輔電源輸入終端提供的電源和控制輸入終端；及反饋電路，其具有連接到所述電流脈沖發(fā)生電路的輸入以控制所述電流脈沖發(fā) 生電路的所述輸出處提供的電流的幅值，所述反饋電路具有連接到所述電源輸出 終端的輸入。
21、 根據(jù)權(quán)利要求20所述的裝置，其中所述控制輸入終端連接到測(cè)試控制設(shè) 備，在驅(qū)動(dòng)所述DUT的時(shí)鐘信號(hào)的至少一邊緣之后產(chǎn)生自所述電流脈沖發(fā)生電路 提供的脈沖。
22、 根據(jù)權(quán)利要求20所述的裝置，其中所述反饋電路包括積分器。
23、 根據(jù)權(quán)利要求20所述的裝置，其中所述反饋電路包括開關(guān)，其具有形成所述控制輸入終端的開關(guān)控制終端、共用終端、連接到地的第一開關(guān)終端和連接到電源控制終端的第二開關(guān)終端；放大器，其具有連接到電源輸出終端的輸出、連接到所述開關(guān)的所述共用終端的輸入、和連接到所述輔電源終端的電源輸入。
24、 根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置，其中所述開關(guān)的所述電源控制終端連接到 數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換器。
25、 根據(jù)權(quán)利要求20所述的裝置，其進(jìn)一步包括探針卡，所述探針卡支撐所 述電源輸入終端，所述電源輸出終端、所述電阻器、所述輔電源輸入終端、所述 電流脈沖發(fā)生電路、和所述反饋電路。
26、 根據(jù)權(quán)利要求25所述的裝置，其中所述電源輸入終端包括所述探針卡上 的彈簧探針觸點(diǎn)，其用于連接到所述DUT上的襯墊。
27、 一種用于將電流提供至半導(dǎo)體測(cè)試器件(DUT)的裝置，所述裝置包括-電源輸入終端，其用于接收電源信號(hào)；及調(diào)整構(gòu)件，其用于調(diào)整在電源輸入終端處接收的信號(hào)的幅值以響應(yīng)于電源輸出 終端處顯示的電壓，以將所述調(diào)整的信號(hào)提供至所述電源輸出終端，提供所述電 源輸出終端以用于到所述DUT的連接；其中所述幅值被設(shè)定為與預(yù)測(cè)量成比例，通過這樣所述半導(dǎo)體設(shè)備在所述DUT 接收的信號(hào)的時(shí)鐘邊緣之后將增加其電源輸出終端處的電流的需求。
全文摘要
一主電源，其通過通道電阻向一受測(cè)試集成電路器件(DUT)的功率終端提供電流。IC內(nèi)的晶體管響應(yīng)時(shí)鐘信號(hào)邊沿而開關(guān)，測(cè)試期間，在提供給DUT的時(shí)鐘信號(hào)邊沿之后，該DUT在功率輸入終端對(duì)電流的需求暫時(shí)性地增加。為了限制功率輸入終端處的電壓變化(噪聲)，一輔助電源向該功率輸入終端提供一附加電流脈沖，以滿足每個(gè)時(shí)鐘信號(hào)周期期間所增加的需求。該電流脈沖幅值是一個(gè)關(guān)于該時(shí)鐘周期期間電流需求的預(yù)測(cè)增長(zhǎng)與由一反饋電路控制的用來限制DUT功率輸入終端處發(fā)生的電壓變化的自適應(yīng)信號(hào)幅值的函數(shù)。
文檔編號(hào)G01R31/28GK101101313SQ200710140470
公開日2008年1月9日 申請(qǐng)日期2003年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2002年1月30日
發(fā)明者本杰明·N·埃爾德里奇, 查爾斯·A·米勒 申請(qǐng)人:佛姆費(fèi)克托公司