專利名稱：圖案檢查裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于檢査呈多列配置的導電圖案的圖案檢査裝置。
背景技術：
在液晶面板中，將被稱為柵極線及Cs線的導電圖案呈多列配置的 第一層、以及被稱為源極線的導電圖案呈多列配置的第二層進行疊加。 此時，源極線與柵極線及Cs線交叉配置，在第一層和第二層之間設置 有絕緣層，可防止源極線與柵極線及Cs線的電性連接。但是，在制造 過程中，在絕緣層上會產(chǎn)生微小的孔，即產(chǎn)生所謂的針孔，這樣，源 極線與柵極線及Cs線有時會產(chǎn)生電性連接(短路)。在上述不同層之 間的導電圖案的短路也稱為交叉短路，從而導致液晶面板工作不良和 故障。另外，在交叉短路以外，也有時會產(chǎn)生鄰接的導線圖案電性連 接的普通短路、以及導線圖案在中間斷路的缺陷。上述的缺陷在制造 過程中需要明確判定并進行修理。因此，至今為止，有提出過一些用于判定該缺陷的技術。但是， 大多數(shù)都是將電極直接接觸到導電圖案而進行檢査用信號提供的結 構；在所述的結構中，由于物理性的接觸電極的導電圖案，因此會導 致導電圖案的損傷以及產(chǎn)生灰塵等問題。在下述文件1中，公開了利用靜電耦合而判定導電圖案有無缺陷 及其位置的技術。在該專利文件1中，無須使電極接觸到導電圖案， 即可向導電圖案提供交流電壓，同時檢査作為撿查對象的導電圖案所 產(chǎn)生的交流電壓。通過上述結構，確實可防止導電圖案的損傷以及產(chǎn) 生灰塵。專利文件1:特開2005-24518號公報 發(fā)明內容但是，在該專利文件1中，關于所述的交叉短路的位置判定沒有 具體的記載，另外，在專利文件1中，斷路圖案的判定以及判定其斷 路位置時，檢査電極是一個，施加交流電壓的供電電極固定在設定的 位置。此時，通過檢查電極、供電電極與斷路位置之間的位置關系， 有時不能恰當?shù)貦z査出斷路。因此，本發(fā)明第一目的在于提供一種圖案檢査裝置，其不必使電 極接觸導電圖案而可以判定交叉短路的位置。另外，本發(fā)明的第二目的在于提供一種圖案檢査裝置，其可提高導電圖案的檢査精度。 解決問題的手段本發(fā)明的圖案檢査裝置，是判定呈多列配置的第一導電圖案、以及在與第一導電圖案交叉的方向呈多列配置的第二導電圖案電性連接的交叉短路位置的圖案檢査裝置，其特征在于，具備有供電電極， 其與產(chǎn)生有交叉短路的第一導電圖案即交叉圖案之間保持微小的空間并沿該交叉圖案移動，隔著上述微小空間通過靜電耦合從而向交叉圖 案施加交流電壓；檢查電極，其與供電電極聯(lián)動，在與交叉圖案平行的方向移動，通過與對向的第二導電圖案靜電耦合而接受來自該第二導電圖案交流電壓的感應；控制部，其根據(jù)檢査電極所感應的交流電 壓值的變化而判定交叉短路的位置。較理想的情形為，將供電電極沿移動方向鄰接設置兩個，將檢査 電極在通過上述兩個供電電極大致中間位置的線上鄰接設置兩個；另 一較理想的情形為，還具備有輔助電極，其設置于供電電極旁邊，其 與該供電電極聯(lián)動而移動，并向對向的導電圖案施加與供電電極所施 加的交流電壓電平相同、相位相差180。的第二交流電壓。另一種本發(fā)明的圖案檢査裝置，是能夠檢查襯底上呈多列配置的 導電圖案的狀態(tài)的圖案檢査裝置，其特征在于，具備有第一供電電 極，其與襯底之間保持微小空間而移動，主要是向對向的導電圖案施 加第一交流電壓；第二供電電極，其與第一供電電極聯(lián)動而移動，主 要是向對向的導電圖案施加與第一交流電壓相同電平、相位相差180° 的第二交流電壓；檢査電極，其與兩個供電電極聯(lián)動而移動，并對應 對向的導電圖案感應產(chǎn)生的交流電壓值而感應產(chǎn)生相應大小的交流電壓；控制部，其根據(jù)檢査電極所感應產(chǎn)生的交流電壓值的變化而判斷 導電圖案的狀態(tài)。較理想的情形為，兩個供電電極在導電圖案的端部旁邊，沿配置 方向移動；將檢査電極分別在兩個供電電極的旁邊各設置一個，與該 供電電極聯(lián)動而移動；控制部，根據(jù)檢査電極所感應產(chǎn)生的交流電壓 值的變化，而從多個導電圖案中判定產(chǎn)生斷路的斷路圖案。另一較理想的情形為，在產(chǎn)生有斷路的導電圖案即斷路圖案的長 度方向上依次配置第一供電電極、檢査電極、第二供電電極，并使這 三個電極沿所述斷路圖案移動，控制部根據(jù)檢査電極所感應產(chǎn)生的交 流電壓值的變化，而判定斷路圖案上產(chǎn)生斷路的位置。另一較理想的情形為，將呈多列配置的第一導電圖案、以及在與 第一圖案交叉的方向呈多列配置的第二導電圖案隔著絕緣層進行疊加 時，在第一導電圖案的配置方向上依次配置第一供電電極、檢査電極、 第二供電電極，并使這三個電極沿所述配置方向移動，控制部根據(jù)檢 査電極所感應產(chǎn)生的交流電壓值的變化，而判定與第二導電圖案形成 短路的第一導電圖案即交叉圖案。發(fā)明效果在本發(fā)明的圖案檢査裝置中，電極與導電圖案之間通過靜電耦合 進行電性連接，從而無須使電極接觸導電圖案而可判定交叉短路的位 置。另外，在本發(fā)明的圖案檢査裝置中，同時向導電圖案施加互相反 相的交流電壓，因而，面板整體的電位大致穩(wěn)定為O，從而可進一步提 高導電圖案的檢査精度。


圖1是本發(fā)明第一實施方式所述的圖案檢査裝置的概況俯視圖；圖2是圖案檢査裝置的概況側視圖；圖3是表示其它的電極配置形式的一個示例圖；圖4是本發(fā)明第二實施方式所述的圖案檢査裝置的概況俯視圖；圖5是本發(fā)明第三實施方式所述的圖案檢査裝置的概況俯視圖；圖6是本發(fā)明第四實施方式所述的圖案檢查裝置的概況俯視圖；圖7是本發(fā)明第五實施方式所述的圖案檢査裝置的概況俯視圖; 圖8是表示使用圖案檢査裝置進行交叉線判定時模樣的視圖。符號說明10圖案檢査裝置12傳感器14、16 供電電極18、20 檢査電極22、24交流電源26、28 放大器50液晶面板52珊極線54a交叉線54源極線56絕緣層60導電圖案62斷路圖案64短路圖案具體實施方式
下面，關于本發(fā)明的實施方式參照圖示進行說明。在以下的說明 中，將用于液晶面板等上而在玻璃襯底上呈多列配置的導電圖案作為 檢查對象。但是，只要是呈多列配置的導電圖案，也可以將用于液晶 面板以外裝置上的導電圖案作為檢査對象。圖1是本發(fā)明第一實施方式的圖案檢查裝置10的概況俯視圖。另 外，圖2是其概況側視圖。該圖案檢查裝置10是適用于判定交叉短路 位置情況的圖案檢査裝置。在這里，在對該圖案檢査裝置進行詳細說 明之前，先對交叉短路進行簡單說明一般的液晶面板50等，是由將被稱為柵極線52的導電圖案呈多 列配置的第一層、以及被稱為源極線54的導電圖案呈多列配置的第二 層進行疊加而構成。第一層的柵極線52與第二層的源極線54相互交 叉配置。在該第一層和第二層之間設置有絕緣層56，以防止源極線54與柵極線52的電性連接(短路)。但是，由于種種原因，在絕緣層56上 會產(chǎn)生微小的孔(針孔)，通過這些針孔，源極線54與柵極線52會有 產(chǎn)生電性連接的情況。該柵極線52和源極線54的電性相連稱為交叉 短路。所述交叉短路成為液晶面板50工作不良和故障的原因。因此， 在液晶面板50制造過程的步驟中，必須要明確判定該交叉短路并進行 修理。在判定所述交叉短路時，首先，從多條源極線54中判定存在交叉 短路CS的源極線54，作為交叉線(交叉圖案)54a。接著，從已經(jīng)判 定的交叉線54a上判定存在交叉短路CS的位置。本實施方式的圖案檢 査裝置10構成為適用于判定交叉線54后，判定存在于該交叉線54a 上的交叉短路CS的位置。另外，關于交叉線54a的判定技術，因為后 面會做詳細說明，在這里省略詳細說明。本實施方式的圖案檢査裝置10具有可以沿著交叉短路CS存在的 交叉線54a移動的傳感器12。作為這個傳感器12的移動機構，眾所周 知的機構可以利用例如由電動機和螺桿構成的移動機構。傳感器12的 移動量或者是移動位置從沒有圖示的控制裝置取得并存儲。兩個供電電極14、 16及兩個檢查電極18、 20大致呈十字狀設置 于傳感器12。也就是說，兩個供電電極14、 16在源極線54的長度方 向(圖l中的X方向)，兩個檢查電極18、 20在源極線54的配置方向 (圖1中的Y方向)分別鄰接設置。如圖2中明示，該傳感器12隔著 一定的空間，位于液晶面板50的上側。從該傳感器12到液晶50的距 離為，設置在該傳感器12上的四個電極14、 16、 18、 20和源極線54 及柵極線52能夠靜電耦合的距離。兩個供電電極14、 16是用于向交叉線54a施加交流電壓的電極， 連接在交流電源22上。在判定交叉短路CS的位置時，為了使這兩個 供電電極14、 16對向于交叉線54a，進行傳感器12的位置調整。由于 交叉線54a與兩個供電電極14、 16相對向，兩者靜電耦合。而且，由 此實現(xiàn)從供電電極14、 16向交叉線54a的施加交流電壓。兩個檢査電極18、 20是用于檢査由柵極線52感應產(chǎn)生的交流電 壓的電極。這兩個撿查電極18、 20通過與對向的柵極線52的靜電耦 合對應該柵極線52感應產(chǎn)生的交流電壓值而感應產(chǎn)生相應大小的交流8電壓。由檢查電極18、 20感應產(chǎn)生的交流電壓通過放大器26而放大， 作為檢出電壓而被取得?？刂撇繉⒃摍z出電壓值與傳感器12的位置信 息附加關聯(lián)并存儲。并且，控制部根據(jù)所取得的檢出電壓值的變化來 判定交叉短路CS的位置。具體地，關于判定交叉短路CS的位置的情況的過程進行說明。另 外，圖1下側圖示了伴隨傳感器12的移動，檢出電壓值的變化情況。在判定交叉短路CS的位置時，為了將兩個供電電極14、 16定位 在交叉線54a的延長線上、而確定傳感器12的位置，使傳感器12沿 著該交叉線54a移動?；蛘哒f，就是使供電電極14、 16保持為接近交 叉線54a而移動。這時，供電電極14、 16與交叉線54a之間的空間便 作為電容而發(fā)揮作用，隔著該空間，在交叉線54a上感應產(chǎn)生交流電 壓。感應產(chǎn)生的交流電壓通過交叉短路CS也會感應產(chǎn)生在和該交叉線 54a產(chǎn)生有交叉短路的柵極線52a上。另一方面，在沒有和交叉線54a產(chǎn)生交叉短路的其他的柵極線52 上，通過絕緣層56而與交叉線絕緣，基本上不會感應產(chǎn)生交流電壓。 因此，隨著傳感器12的移動，檢査電極18、 20即使移動到接近其他 柵極線52的位置，檢査電極18、 20也不會接受從其他的柵極線52施 加的交流電壓。于是，結果是檢出電壓值大致為O。另一方面，隨著傳 感器12的移動，檢査電極18、 20在接近和交叉線54a產(chǎn)生有交叉短 路的柵極線52a時，或者說接近通過交叉短路CS而被施加交流信號的 柵極線52a時，通過與該柵極線52a之間產(chǎn)生的電容(空間)，就會由 檢査電極18、 20感應產(chǎn)生較大的交流電壓。也就是說，只要傳感器12 移動到交叉短路CS旁邊，檢出電壓值就會急劇的上升。控制部將該檢 査電壓值急劇上升時的傳感器12位置判定為交叉短路CS的位置。從以上的說明可以明確的是通過本實施方式，電極沒有物理性的 接觸到源極線54和柵極線52等導電圖案就可以判定交叉短路CS的位 置。結果，既能防止物理接觸產(chǎn)生的塵埃和導電圖案損傷，又可以簡 單的判定交叉短路的位置。另外，在本實施方式中，兩個供電電極14、 16以及兩個檢查電極 18、 20呈大致十字狀配置。結果，交叉短路CS即使存在于導電圖案 的端部旁邊，也能準確的判定其位置。例如，考慮交叉短路CS存在于源極線54的端部旁邊。這時，為了檢査出交叉短路CS的位置，便有 必要使檢査電極18、 20移動到該交叉短路CS的旁邊。這時，如本實 施方式那樣若將四個電極14、 16、 18、 20呈大致十字狀配置，則雖然 兩個供電電極14、 16中有一個可能位于交叉線54a以外的位置，至少 另一個位于能夠向交叉線54a供電的位置。結果，如上所述，在交叉 短路CS旁邊產(chǎn)生了急劇的檢出電壓值的變化，便能夠簡單而且正確的 判定交叉短路的位置。另外，考慮交叉短路CS在柵極線52的端部旁 邊的情況。這種情況下，為了檢査出交叉短路CS的位置，有必要使檢 査電極18、 20移動到該柵極線52的旁邊。這時，如本實施方式那樣 若將四個電極14、 16、 18、 20呈大致十字狀配置，則雖然兩個檢査電 極18、 20中有一個可能位于柵極線52以外的位置，至少另一個停留 在能夠與柵極線52產(chǎn)生靜電耦合的位置。結果，還是能夠簡單而且正 確的判定交叉短路CS的位置。也就是說，通過如本實施方式那樣使四 個電極14、 16、 18、 20呈大致十字狀配置，即使在導電圖案的端部旁 邊產(chǎn)生有交叉短路CS，也能準確的檢査出其位置。不過，在這里說明的傳感器12的構成方式只是一個例子，當然也 可以采用其他的構成方式。例如，如圖3 (A)所示，也可以由單一的 供電電極14和兩個檢査電極18、 20來構成傳感器12。這時，最好是 將單一的供電電極14沿行進方向形成長條形狀，將檢査電極18、 20 配置在該供電電極14的兩側。另外，相反的，如圖3 (B)所示，可 以采用單一的檢査電極18，將供電電極14、 16配置在該單一的檢査電 極18的兩側?？墒?，如上所述，當檢查電極18、 20接近沒有和交叉線54a產(chǎn)生 短路的其他的柵極線52時，檢出電壓值應該大致是0。但是，從圖1 下側所示的檢出電壓明顯可以看出，檢出電壓不是O，時常會有微小的 變化。這基于以下幾個理由。由供電電極14、 16提供的交流電壓實際上不只是通過相對向的交 叉線54a，而且通過與該交叉線54a鄰接的其他的源極線54b、交叉線 54a和柵極線52的交點的寄生電容，遍布整個液晶面板50,提高液晶 面板50整體的電位。因為液晶面板的寄生電容由于位置而變化，所以 液晶面板的電位也由于位置有微妙的不同。并且，由與所述電位不均勻的液晶面板50相對向的檢查電極18、 20上所檢査出的檢出電壓值 雖然低但是也會變動。有時所述的電壓檢出電壓值的變動會成為交叉 短路位置判定精度下降等的原因。圖4是解決所述問題，可以提高交叉短路CS位置判定精度的本發(fā) 明第二實施方式所述的圖案檢査裝置10的概況俯視圖。該圖案檢査裝 置IO和第一實施方式相同，具備有可以沿著交叉線54a移動的傳感器 12。傳感器12的移動位置以及后述的檢出電壓值被附加相互關聯(lián)，被 存儲在沒有圖示的控制部。該傳感器12設有兩個供電電極14、 16以及兩個檢査電極18、 20。 但是，本實施方式與第一實施方式不同，兩個供電電極14、 16鄰接配 置在源極線54的配置方向上。另外，兩個檢査電極18、 20配置在源 極線54的配置方向上，而夾著這兩個供電電極14、 16。兩個供電電極14、 16連接于相位相反的交流電源。也就是說，在 第一供電電極14施加相位為0。的交流電壓。另外，在第二供電電極 16上施加與施加于第一供電電極14的電壓相同電平且相位相差為 180。的交流電壓。在判定交叉短路CS位置的時候，為了使第一供電電 極14能夠在交叉線54a的正上方移動而調整傳感器12整體的位置。兩個檢査電極18、 20與第一實施方式相同，是用于檢査由柵極線 52感應產(chǎn)生的交流電壓值的電極。通過與柵極線52的靜電耦合而由兩 個檢查電極18、 20感應產(chǎn)生的交流電壓通過放大器26而放大，作為 檢出電壓值而被取得。下面，關于在該圖案檢査裝置10上的交叉短路CS位置判斷的過 程進行說明。另外，圖4的下側圖示了隨著傳感器12的移動，檢出電 壓值的變化。在判定交叉短路CS的位置時，為了使第一供電電極14能夠在交 叉線54a的正上方移動而調整傳感器12整體的位置，使該傳感器12 沿著該交叉線54a移動。這時，第一供電電極14和交叉線54a之間的 空間作為電容而發(fā)揮作用，在交叉線54a上施加相位為0。的交流電壓。 施加的該交流電壓通過交叉短路CS也感應產(chǎn)生在該柵極線52a上。另 外從第一供電電極14提供的相位為0。的交流電壓通過寄生電容，也被 施加在整個液晶面板50上。另一方面，與第一供電電極14鄰接配置的第二供電電極16，與鄰 接于交叉線54a的源極線54b接近并移動。這時，第二供電電極16在 該鄰接的源極線54b上施加相位為180。的交流電壓。另外，通過不均 勻存在的寄生電容，也會在液晶面板50上施加相位為180°的很小的交 流電壓。在這里，第二供電電極16對交叉線54a的影響與接近并對向于交 叉線54a的第一供電電極14對交叉線54a的影響相比是非常小的。因 此，由交叉線54a以及與該交叉線54a交叉短路的柵極線52a感應產(chǎn)生 的相位為0。的交流電壓，不會與相位為180。的交流電壓抵消，而維持 相當高的電平。另一方面，液晶面板50的整體，同時被第一電極施加 相位為0。的、被第二電極施加相位為180°的、相同電平的交流電壓。 這種同時施加的相位相反的交流電壓互相抵消。因此，作為液晶面板 50整體的電位大致為0。結果，隨著傳感器12移動，檢出電壓值的電平穩(wěn)定。也就是說， 如圖4的下側所示，檢査電極18、 20從交叉短路CS位置離開時，相 對向的源極線54和柵極線52的電位大致是0，由檢査電極18、 20感 應產(chǎn)生的交流電壓也大致穩(wěn)定為0。另一方面，如果檢査電極18、 20 位于交叉短路CS旁邊，通過和交叉線54a產(chǎn)生有交叉短路的柵極線 52a (或者說，由相位為0。的較高的交流電壓感應產(chǎn)生的與柵極線52a) 的靜電耦合，檢査電極18、 20感應產(chǎn)生相位為0。的交流電壓?？刂撇?根據(jù)隨時取得的檢出電壓值達到最高點時的傳感器位置，來判定交叉 短路CS的位置。從以上的說明中可以明確的是根據(jù)本實施方式，因為互相反相的 交流電壓同時的施加到液晶面板50整體上，所以在沒有缺陷的部分上 檢査出來的檢出電壓值的電平大致穩(wěn)定為O。而且，其結果能夠更準確 的判定交叉短路CS的位置。但是，在本實施方式中，利用通過同時施加反相的交流電壓而使 檢出電壓值穩(wěn)定這項技術來判定交叉短路CS存在的位置，其實，這項 技術也能應用于其他的圖案檢查。圖5是本發(fā)明第三實施方式所述的圖案檢査裝置10的概況俯視 圖。這個圖案檢查裝置IO是一種適用于判定產(chǎn)生斷線的導電圖案的檢査裝置。這個檢査裝置10的傳感器12可以沿著導電圖案60的配置方向(圖 5中的Y方向)移動。該傳感器12設置有兩個供電電極14、 16以及 兩個檢查電極18、 20。配置在液晶面板50的上側的傳感器12搭載四 個電極14、 16、 18、 20，與相對向的導電圖案60相距能夠產(chǎn)生靜電耦 合的距離。為了使兩個供電電極14、 16分別在導電圖案60的兩側旁邊位置， 而使其間隔既定距離，排列在導電圖案60的延伸設置方向(圖5中的 X方向)。兩個供電電極14、 16分別連接交流電源22、 24,被施加互 相反相的交流電壓。也就是說，在第一供電電極14施加相位為0。的交 流電壓，在第二供電電極16施加與在第一供電電極14施加的交流電 壓相同電平且相位相差180。的交流電壓。分別將第一檢查電極18配置在第一供電電極14旁邊，將第二檢 查電極20配置在第二供電電極16的旁邊。這兩個檢査電極18、 20和 相對向的導電圖案60靜電耦合。而且，通過該靜電耦合，在檢査電極 18、 20上會感應產(chǎn)生與在該導電圖案60上感應產(chǎn)生的交流電壓按比例 相應大小的交流電壓。由各個檢査電極18、 20感應引起的交流電壓通 過放大器26、 28放大，從而作為第一檢出電壓和第二檢出電壓而被取 得?？刂撇繉⑦@兩個檢出電壓值和傳感器12移動位置附加關聯(lián)并存儲。下面，關于采用了這種圖案檢査裝置10的斷路圖案62判定的過 程進行說明。另外，圖5的右側圖示了隨著傳感器12的移動，第一檢 出電壓值(實線)以及第二檢出電壓值(虛線)的變化。在從多個導電圖案60中判定產(chǎn)生斷路O的斷路圖案62的情況下， 為了使四個電極14、 16、 18、 20位于導電圖案60上方而調整傳感器 12的位置，使該傳感器12沿配置方向移動。這時，控制部將傳感器 12的移動位置和檢出電壓值附加關聯(lián)并隨時存儲。在這里，當傳感器12與沒有產(chǎn)生斷路O和短路的正常導電圖案 60相對向時，兩個供電電極14、 16和該正常導電圖案60靜電耦合， 施加交流電壓。此時，第一導電電極14的相位為0。的交流電壓以及第 二導電電極16的相位為180。的交流電壓同時施加到一個導電圖案60 上。因為同時施加的反相的交流電壓互相抵消，所以結果是該導電圖案60感應產(chǎn)生的交流電壓大致為0。在供電電極14、 16與正常的導電 圖案60靜電耦合的情況下，與該供電電極14、 16聯(lián)動而移動的檢査 電極18、 20也與該正常的導電圖案60靜電耦合。但是，該正常的導 電圖案60由于反相的交流電壓的相互抵消而使電位為0，因此，由檢 査電極18、 20感應產(chǎn)生的交流電壓的值也大致為0，第一檢出電壓值 以及第二檢出電壓值都大致為0。另一方面，傳感器12移動到產(chǎn)生斷路O的斷路圖案62的正上方 時，通過斷路O阻止所述的交流電壓的相互抵消。因此，由各個供電 電極14、 16施加到斷路圖案62上的交流電壓變強。結果，兩個檢査 電極18、 20中， 一個感應產(chǎn)生0。的交流信號，另一個感應產(chǎn)生180° 的交流信號。在這里，經(jīng)過同步檢波，結果0。的交流電壓作為正的直 流電壓，180。的交流電壓作為負的直流電壓而檢出?？傊?，根據(jù)本實施方式，如圖5右側所示的那樣，在傳感器12位 于斷路圖案62旁邊的時候取得高電平的檢出電壓值，在傳感器12遠 離斷路圖案62的時候取得大致為0的檢出電壓值?？刂撇扛鶕?jù)取得高 電平的檢出電壓值時傳感器12的位置判定斷路圖案62。從以上的說明中可以明確的是，本實施方式，因為采用了同時施 加反相交流電壓的構成，使得在缺陷以外上檢出電壓值大致穩(wěn)定為0。 結果，能夠提高斷路圖案62的判定精度。另外，在本實施方式中，檢 査電極既可以是兩個也可以是一個。下面，關于第四實施方式進行說明。圖6是本發(fā)明第四實施方式 所述的圖案檢查裝置10的概況俯視圖。該圖案檢査裝置10是一種適 用于判定存在于斷路圖案上的斷路的位置的裝置。設置在該檢査裝置10上的傳感器12可以沿著斷路圖案62移動。 第一供電電極14、檢査電極18、第二供電電極16沿斷路圖案62的長 度方向而排列配置于傳感器12。并且，這三個電極14、 18、 16與對向 的斷路圖案62的距離能夠產(chǎn)生靜電耦合，傳感器12配置在液晶面板 50的上側。在兩個供電電極14、 16上施加互相反相的交流電壓。在本實施方 式中，在配置在傳感器移動方向前方側的第一供電電極上施加相位為 0。的交流電壓，在配置在傳感器的移動方向后方側的第二供電電極上施加相位為180。的交流電壓。檢査電極18感應產(chǎn)生的交流電壓經(jīng)過放 大器26放大，作為檢出電壓值而被取得。關于采用了該檢査裝置10的斷路O的位置的判定過程進行說明。 圖6下側圖示隨著傳感器的移動檢出電壓值的變化。在判定斷路0的位置時，使傳感器12從斷路圖案62的一端移動 到另一端。剛開始移動該傳感器12時，也就是說，只有第二供電電極 16以及檢査電極18位于斷路圖案的正上方，第一供電電極14位于斷 路圖案62的端部的外側的時候，在斷路圖案62上只施加相位為180° 的交流電壓。因此，剛開始移動傳感器12時，不會發(fā)生所述交流電壓 互相抵消，檢出電壓值變?yōu)樨摲较蚋唠娖健５?，繼續(xù)移動傳感器12， 如果三個電極14、 18、 16全部移動到斷路圖案62的正上方，第一供 電電極14的相位為0°以及第二供電電極16相位為180。的交流電壓會 同時施加到該斷路圖案62上。而且，因為施加的這兩種交流電壓互相 抵消，斷路圖案62的電位大致變?yōu)?。因此，通過檢査電極18檢査出 的檢出電壓值也大致穩(wěn)定為0。另一方面，傳感器12進一步移動，在通過斷路O位置的前后，檢 出電壓值有大的變動。具體的講，只有第二供電電極在斷路O后方側， 只有檢査電極18以及第一供電電極14在斷路0前方側。這時，在斷 路O前方側的斷路圖案62a上只施加相位為0。的交流電壓。而且，該 前方側的斷路圖案62a的電位在正方向上升高電位，與該前方側的斷 路圖案62a靜電耦合的檢査電極18上感應產(chǎn)生0。的交流電壓。另外，傳感器12移動，當只有第二供電電極16以及檢查電極18 位于斷路O的后方側時，相反地，就產(chǎn)生減少。也就是說，檢査電極 18與斷路0后方側的斷路圖案62b靜電耦合，該后方側的斷路圖案62b 只被從第二供電電極施加相位為180。的交流電壓。因此，檢查電極18 的信號經(jīng)同步檢波，檢出負的直流電壓?？傊攤鞲衅?2通過斷路0的時候，如圖6下側圖示，檢出電 壓值，首先偏向正方向增大，之后偏向負方向增大。另一方面，在傳 感器12已經(jīng)離開斷路O的時從以上的說明中可以明確的是，本實施方式，因為在導電圖案62 上同時施加有反相的交流電壓，所以離開缺陷時的檢出電壓值穩(wěn)定。 并且，作為結果，能夠提高斷路O位置判定精度。下面，關于第五實施方式進行說明。圖7是第五實施方式所述的 圖案檢査裝置10的概況俯視圖。此圖案檢査裝置10是一種適用于從 多條導電圖案中判定產(chǎn)生有短路的導電圖案(以下稱為短路圖案)的裝 置。該圖案檢査裝置10的傳感器12可以沿著導電圖案60的配置方向 (圖7中的Y方向)移動。第一供電電極14、檢査電極18、第二供電電 極16沿配置方向排列配置于傳感器12。與上述的實施方式相同，三個 電極14、 18、 16與對向的導電圖案60相距能夠產(chǎn)生靜電耦合的距離， 該傳感器12配置在襯底的上側。在兩個供電電極14、 16上施加互相反相的交流電壓。在本實施方 式中，在配置在傳感器12移動方向前方側的第一供電電極上施加相位 為0。的交流電壓，在配置在傳感器12的移動方向后方側的第二供電電 極16上施加相位為180。的交流電壓。檢査電極18設置在兩個供電電 極14、 16之間，用于檢出對向的導電圖案60感應產(chǎn)生的交流電壓值。 該檢查電極18感應產(chǎn)生的交流電壓，經(jīng)過放大器26放大，作為檢出 電壓值而被取得。關于^^用了該檢査裝置10的斷路圖案的判定過程進行說明。圖7 右側圖示隨著傳感器12的移動檢出電壓值的變化的模樣。另外，以下 說明為了易于理解，將傳感器12移動方向前方側的短路圖案64a稱為 "第一短路圖案"，將傳感器12移動方向后方側的短路圖案64b稱為"第 二短路圖案"。在從多條導電圖案60中判斷鄰接的導電圖案和產(chǎn)生有 短路的短路圖案64a、 64b的時候，將傳感器12的位置調整到導電圖 案60的端部旁邊后，使該傳感器12沿著導電圖案60的配置方向移動。此時，在與第一供電電極14相對向的導電圖案上施加相位為0° 的交流電壓，在與第二供電電極16相對向的導電圖案上施加相位為 180。的交流電壓。另外，通過不均勻存在的寄生電容，在液晶面板50 整體同時施加相位為0。的交流電壓和相位為180。的交流電壓。這種施 加在液晶面板50整體的兩種交流電壓，因為互相抵消，所以液晶面板50上的整體電位大致穩(wěn)定為0。因此，當傳感器12位于離開短路圖案 64a、 64b的位置時，通過檢査電極18檢出的檢出電壓大致穩(wěn)定為0。另一方面，在檢査電極18通過短路圖案的前后，檢出電壓值有大 的變動。具體的講，第二供電電極16移動到第二短路圖案64b的對向 位置，檢査電極18移動到第一短路圖案64a的對向位置。這時，第二 供電電極16在第二短路圖案64b以及與該第二短路圖案64b短路的第 一短路圖案64a上施加相位為180。的交流電壓。第一供電電極14通過 寄生電容也會在該第一短路圖案64a、第二短路圖案64b施加相位為0。 的較小的交流電壓，但與第二供電電極16施加的相位為180°的交流電 壓相比，其比例是非常小的。因此，第一短路圖案64a、第二短路圖案 64b的電位偏向負方向增大。在與該負方向電位增高的第一短路圖案 64a相對向的檢査電極18上感應產(chǎn)生負的交流電壓。接著，傳感器12 繼續(xù)移動，當檢査電極18移動到與第二短路圖案64b相對向的位置、 第一供電電極14移動到與第一短路圖案64a相對向的位置時，這次產(chǎn) 生相反的現(xiàn)象。也就是說，第一短路圖案64a、第二短路圖案64b的電 位通過由第一供電電極14提供的相位為0。的交流電壓偏向正方向較 大，檢査電極18感應產(chǎn)生正的交流電壓?？傊?，如圖7右側圖示，當傳感器12通過短路圖案64a、 64b的 時候，檢出電壓值首先偏向負方向較大，接著偏向正方向較大?？刂?部根據(jù)檢出電壓值有較大偏向時傳感器12的位置判定短路圖案64a、 64b。從以上的說明中可以明確的是，在本實施方式中，因為同時施加 反相的交流電壓，使得離開缺陷位置的檢出電壓值大致穩(wěn)定為0。并且， 其結果提高了短路圖案的判定精度。另外，本實施方式的圖案檢查裝置IO不僅能判定鄰接的導電圖案 的互相短路，而且能判定在互相交叉的方向上延伸的導電圖案的互相 短路也就是交叉短路。圖8是采用本實施方式的圖案檢査裝置10，判定和柵極線52a產(chǎn) 生有交叉短路的源極線54a，也就是交叉線54a時的概況俯視圖。在判定交叉短路54a的時候，把傳感器12配置到源極線54a的端 部旁邊后，使該傳感器12沿著源極線54的配置方向(圖8中的Y方向)移動。如上所述，在本實施方式中，同時施加有互相反相的交流電壓。因此，在離開交叉線54a的位置上，通過寄生電容施加的反相的交流 電壓互相抵消，使得液晶面板50整體的電位大致穩(wěn)定為0。因此，傳 感器12在離開交叉線54a的位置時，檢査電極18感應產(chǎn)生的交流電 壓也大致穩(wěn)定為0。另一方面，檢査電極18位于交叉線54a旁邊時，反相的交流電壓 的平衡崩潰，使檢出電壓值有較大變動。具體的講，當?shù)诙╇婋姌O 16位于交叉線54a的正上方時，第二供電電極16主要向交叉線54a以 及和該交叉線54a交叉短路的柵極線52a，共計兩條導電圖案供電。另 一方面，第一供電電極14主要僅向沒有產(chǎn)生交叉短路的一條源極線54 供電。這時，向數(shù)量多的導電圖案供電的第二供電電極16的負荷增大， 電位降低。并且，與第一供電電極14相比，由于第二供電電極16的 電位降低，阻止了所述交流電壓的互相抵消現(xiàn)象。結果，在檢査電極 18周圍，受第一供電電極14的影響更多，在檢査電極18上感應產(chǎn)生 相位為0。的交流信號。傳感器12繼續(xù)移動，當?shù)谝还╇婋姌O14位于 交叉線54a的正上方時，產(chǎn)生與此相反的現(xiàn)象。也就是說，與第二供 電電極16相比，由于第一供電電極14的電位降低，結果在檢查電極 18上感應產(chǎn)生相位為180。的交流信號?？傊攤鞲衅?2通過交叉線54a時，檢出電壓值的相位檢波的 結果，首先偏向正方向上較大，接著偏向負方向較大。控制部根據(jù)該 檢出電壓值有較大偏向時傳感器12的位置來判定交叉線54a。按照上述說明可以明確的是，因為同時施加反相的交流電壓，而 使離開缺陷位置時的檢出電壓值大致穩(wěn)定為0。并且，其結果可以提 高交叉線54a的判定精度。
權利要求
1. 一種圖案檢查裝置，可判定呈多列配置的第一導電圖案、以及在與第一導電圖案交叉的方向呈多列配置的第二導電圖案電性連接的交叉短路的位置，其特征在于，具備供電電極，其與產(chǎn)生有交叉短路的第一導電圖案即交叉圖案之間保持微小的空間并沿該交叉圖案移動，隔著上述微小空間通過靜電耦合從而向交叉圖案施加交流電壓；檢查電極，其與供電電極聯(lián)動，在與交叉圖案平行的方向移動，通過與對向的第二導電圖案靜電耦合而接受來自該第二導電圖案的交流電壓的感應；控制部，其根據(jù)檢查電極所感應產(chǎn)生的交流電壓值的變化而判定交叉短路的位置。
2、 根據(jù)權利要求l所述的圖案檢查裝置，其特征在于， 供電電極，沿移動方向鄰接設置兩個；檢査電極，沿通過上述兩個供電電極的大致中間位置的線鄰接設 置兩個；
3、 根據(jù)權利要求1或2所述的圖案檢査裝置，其特征在于， 還具備輔助電極，其設置于供電電極旁邊，并與該供電電極聯(lián)動而移動，并向對向的導電圖案施加與供電電極所施加的交流電壓電平 相同、相位相差180。的第二交流電壓。
4、 一種圖案檢査裝置，其能夠檢査襯底上呈多列配置的導電圖案 的狀態(tài)，其特征在于，具備第一供電電極，其與襯底之間保持微小空間而移動，主要是向對 向的導電圖案施加第一交流電壓；第二供電電極，其與第一供電電極聯(lián)動而移動，主要是向對向的 導電圖案施加與第一交流電壓相同電平、相位相差180。的第二交流電 壓；檢査電極，其與兩個供電電極聯(lián)動而移動，并對應對向的導電圖 案感應產(chǎn)生的交流電壓值而產(chǎn)生相應大小的交流電壓；控制部，其根據(jù)檢查電極所感應產(chǎn)生的交流電壓的值的變化而判 斷導電圖案的狀態(tài)。
5、 根據(jù)權利要求4所述的圖案檢查裝置，其特征在于， 兩個供電電極，在導電圖案的端部旁邊，沿配置方向移動； 檢査電極，分別在兩個供電電極的旁邊各設置一個，與該供電電極聯(lián)動而移動；控制部，根據(jù)檢査電極感應產(chǎn)生的交流電壓值的變化，而從多個 導電圖案中判定產(chǎn)生有斷路的斷路圖案。
6、 根據(jù)權利要求4所述的圖案檢査裝置，其特征在于， 在產(chǎn)生有斷路的導電圖案即斷路圖案的長度方向上依次配置第一供電電極、檢査電極、第二供電電極，并使該三個電極沿所述斷路圖 案移動；控制部，根據(jù)檢査電極所感應產(chǎn)生的交流電壓值的變化，而判定 斷路圖案上存在斷路的位置。
7、 根據(jù)權利要求4所述的圖案檢査裝置，其特征在于， 隔著絕緣層將呈多列配置的第一導電圖案、以及在與第一導電圖案交叉的方向呈多列配置的第二導電圖案進行堆疊時，沿第一導電圖案的配置方向依次配置第一供電電極、檢查電極、第二供電電極，并使該三個電極沿該配置方向移動；控制部，根據(jù)檢査電極感應產(chǎn)生的交流電壓值的變化，而判定與第二導電圖案形成有短路的第一導電圖案即交叉圖案。
全文摘要
本發(fā)明提供一種圖案檢查裝置，其不必使電極接觸導電圖案而可以判定交叉短路的位置。兩個供電電極和兩個檢查電極呈大致十字狀配置于傳感器。該傳感器沿著產(chǎn)生有交叉短路的交叉線移動。此時，供電電極向交叉線施加交流電壓。另外，檢查電極與對向的柵極線靜電耦合。通過傳感器的移動，檢查電極移動到與產(chǎn)生交叉短路的柵極線相對向的位置時，在檢查電極感應產(chǎn)生較大的交流電壓。根據(jù)該感應產(chǎn)生的電壓值的變化，判定交叉短路的位置。
文檔編號G01R31/02GK101246267SQ20071018087
公開日2008年8月20日 申請日期2007年10月19日 優(yōu)先權日2006年10月19日
發(fā)明者小原徹, 板垣卓男 申請人:株式會社東京陰極研究所