專利名稱：測(cè)試分選機(jī)中緩沖盤間距的調(diào)節(jié)方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及-種測(cè)試半導(dǎo)體器件的裝置。本發(fā)明尤其涉及一種在用于測(cè)試 半導(dǎo)體器件的測(cè)試分選機(jī)中收納半導(dǎo)體器件的緩沖盤(buffer tray)。
背景技術(shù)：
一般地，在測(cè)試半導(dǎo)體器件(諸如易失性或非易失性存儲(chǔ)器、系統(tǒng)大規(guī)模 集成(LSI)器件等)的工作特性以后，會(huì)裝運(yùn)該半導(dǎo)體器件。
測(cè)試分選機(jī)將半導(dǎo)體器件傳送到測(cè)試室中以測(cè)試該半導(dǎo)體器件。具體地， 半導(dǎo)體器件通過(guò)緩沖盤(buffer tray)從用戶盤(customer tmy)傳送至測(cè)試盤 (test tray)。此外，已在該測(cè)試室中測(cè)試過(guò)的半導(dǎo)體器件通過(guò)緩沖盤從測(cè)試盤 傳送至用戶盤。
該測(cè)試分選機(jī)包括用于在該測(cè)試盤與該用戶盤之間傳送半導(dǎo)體器件的拾 取器系統(tǒng)。第6,761,526號(hào)、第7,000,648號(hào)、第7,023,197號(hào)等美國(guó)專利揭露 了該拾取器系統(tǒng)的例子。
近來(lái)，為了縮短傳送半導(dǎo)體器件所需的時(shí)間，該拾取器系統(tǒng)采用多個(gè)拾取 器。此外，該拾取器系統(tǒng)采用間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以使該拾取器之間的間距與該測(cè)試 盤的間距以及該用戶盤的間距相等。然而，由于該間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的重量隨著拾 取器數(shù)量的增加而增加，縮短傳送半導(dǎo)體器件所需時(shí)間有所限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種在用于測(cè)試半導(dǎo)體器件的測(cè)試分選機(jī)中，增進(jìn) 所述半導(dǎo)體器件傳送速度的緩沖盤間距調(diào)節(jié)方法。
此外，本發(fā)明的實(shí)施例提供了 一種在用于測(cè)試半導(dǎo)體器件的測(cè)試分選機(jī) 中，增進(jìn)所述半導(dǎo)體器件傳送速度的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置。
根據(jù)本發(fā)明一個(gè)方面的緩沖盤間距調(diào)節(jié)方法中，所述緩沖盤包括收納半導(dǎo) 體器件的多對(duì)單元緩沖盤。通過(guò)調(diào)節(jié)所述單元緩沖盤對(duì)之間的第 一 間距以及調(diào) 節(jié)所述對(duì)中第 一 單元緩沖盤與第二單元緩沖盤之間的第二間距來(lái)調(diào)節(jié)所述緩
沖盤的間距。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，通過(guò)使至少一第一單元緩沖盤對(duì)與至少一第二單 元緩沖盤對(duì)互相以相反方向移動(dòng)來(lái)調(diào)節(jié)所述第一間距。所述第一及第二單元緩 沖盤對(duì)分別放置在相對(duì)于該緩沖盤中心點(diǎn)的兩側(cè)。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，通過(guò)使至少一第一單元緩沖盤對(duì)與至少一第二單 元緩沖盤對(duì)互相以相反方向移動(dòng)來(lái)調(diào)節(jié)所述第一間距。所述第一及第二單元緩 沖盤對(duì)分別放置在相對(duì)于靠近該緩沖盤中心點(diǎn)的一對(duì)單元緩沖盤的兩側(cè)。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，通過(guò)使得除最外側(cè)單元緩沖盤對(duì)之外的其余單元 緩沖盤對(duì)中的至少一對(duì)以所述緩沖盤間距的方向移動(dòng)來(lái)調(diào)節(jié)所述第一間距。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，通過(guò)使所述第二單元緩沖盤相對(duì)于所述第一單元 緩沖盤作相對(duì)移動(dòng)來(lái)調(diào)節(jié)所述第二間距。
根據(jù)本發(fā)明另一個(gè)方面的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置中，所述緩沖盤包括收納半
導(dǎo)體器件的多對(duì)單元緩沖盤。第一傳動(dòng)部連接至所述單元緩沖盤對(duì)以調(diào)節(jié)所述 單元緩沖盤對(duì)之間的第一間距。第二傳動(dòng)部連接至所述單元緩沖盤對(duì)以調(diào)節(jié)所 述單元緩沖盤對(duì)中第一單元緩沖盤與第二單元緩沖盤之間的第二間距。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述第一傳動(dòng)部包括連接至所述單元緩沖盤對(duì)的 多個(gè)齒條；齒輪機(jī)構(gòu)，包括至少一個(gè)與所述齒條嚙合的輸出齒輪；連接至所述 齒輪機(jī)構(gòu)以向所述齒輪機(jī)構(gòu)提供旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī)單元。所述齒條連接至分別放 置在相對(duì)于所述緩沖盤中心點(diǎn)兩側(cè)的至少一第一單元緩沖盤對(duì)及至少第二 單元緩沖盤對(duì)。此外，所述齒條與所述至少一個(gè)輸出齒輪嚙合以使所述第一及 第二對(duì)互相以相反方向移動(dòng)。
本發(fā)明的-些實(shí)施例中，所述齒輪機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)齒輪、第一小齒輪及第二 小齒輪。所述傳動(dòng)齒輪連接至所述電動(dòng)機(jī)單元傳動(dòng)軸。所述第一小齒輪連接至 所述傳動(dòng)軸并且與相對(duì)的第一齒條及第二齒條嚙合。此外，所述第一小齒輪的 節(jié)圓小于所述傳動(dòng)齒輪的節(jié)圓。第二小齒輪與所述傳動(dòng)齒輪嚙合，利用傳動(dòng)齒 輪旋轉(zhuǎn)，并且與相對(duì)的第三齒條及第四齒條嚙合。此外，所述第二小齒輪的節(jié) 圓小于所述傳動(dòng)齒輪的節(jié)圓。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述裝置包括其上放置有所述第一及第二傳動(dòng)部 的基板。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述齒條及所述齒輪機(jī)構(gòu)放置于所述基板的上表 面。所述電動(dòng)機(jī)單元放置在基板的下表面。所述電動(dòng)機(jī)單元通過(guò)所述基板連接 至所述齒輪機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述齒條通過(guò)多個(gè)支架連接至所述單元緩沖盤 對(duì)。所述支架以基本垂直于所述緩沖盤間距方向的方向延伸。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述第一傳動(dòng)部包括多個(gè)齒條；包括至少一個(gè)輸
出齒輪的齒輪機(jī)構(gòu)；及連接至所述齒輪機(jī)構(gòu)以向所述齒輪機(jī)構(gòu)提供旋轉(zhuǎn)力的電 動(dòng)機(jī)單元。所述齒條連接至分別放置在相對(duì)于靠近所述緩沖盤中心點(diǎn)的一對(duì)單 元緩沖盤的兩側(cè)的至少一第一單元緩沖盤對(duì)及至少一第二單元緩沖盤對(duì)。此 外，所述齒條與至少一個(gè)輸出齒輪嚙合以使所述第一及第二對(duì)互相以相反方向 移動(dòng)。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述第一傳動(dòng)部包括多個(gè)齒條；包括多個(gè)輸出齒 輪的齒輪機(jī)構(gòu)；及連接至所述齒輪機(jī)構(gòu)以向所述齒輪機(jī)構(gòu)提供旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī) 單元。所述齒條連接至除最外側(cè)單元緩沖盤對(duì)之外的其余單元緩沖盤對(duì)，并且 與所述輸出齒輪嚙合以使所述其余單元緩沖盤對(duì)以所述緩沖盤的間距方向移 動(dòng)。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述緩沖盤包括兩對(duì)單元緩沖盤，并且所述第一 傳動(dòng)部包括連接至所述兩對(duì)單元緩沖盤之一以調(diào)節(jié)所述第-一間距的齒條；齒輪 機(jī)構(gòu)，包括與所述齒條嚙合的輸出齒輪；及連接至所述齒輪機(jī)構(gòu)以向所述齒輪 機(jī)構(gòu)提供旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī)單元。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述裝置進(jìn)一步包括連接至所述第一單元緩沖盤 的第一連桿，及將所述第二單元緩沖盤與所述第一連桿連接的第二連桿。所述 第一傳動(dòng)部連接至所述第一單元緩沖盤或所述第二單元緩沖盤。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述第一及第二單元緩沖盤通過(guò)多個(gè)以基本垂直 于所述緩沖盤間距方向的方向延伸的支架連接至所述第 一 及第二連桿。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述第二傳動(dòng)部連接至所述第一連桿或所述第二 連桿，并且向所述第一連桿或所述第二連桿施加傳動(dòng)力以使所述第一單元緩沖 盤與所述第二單元緩沖盤之間產(chǎn)生相對(duì)移動(dòng)。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述裝置進(jìn)一步包括至少一個(gè)導(dǎo)向部件，其設(shè)置 成為以所述緩沖盤的間距方向?qū)λ龅谝粏卧彌_盤及所述第二單元緩沖盤 進(jìn)行導(dǎo)向。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述裝置進(jìn)一步包括以所述緩沖盤的間距方向延 伸的導(dǎo)向部件。通過(guò)所述第二傳動(dòng)部以基本垂直于所述緩沖盤間距方向的方向 可移動(dòng)地放置所述導(dǎo)向部件，并且所述導(dǎo)向部件以所述緩沖盤間距方向在所述 第-一連桿之間或第二連桿之間對(duì)連接部進(jìn)行導(dǎo)向。此外，所述裝置包括第二導(dǎo) 向部件，其連接至所述導(dǎo)向部件的兩個(gè)側(cè)部以在基本垂直于所述緩沖盤間距方 向的方向上對(duì)所述導(dǎo)向部件進(jìn)行導(dǎo)向。
根據(jù)本發(fā)明再一個(gè)方面的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置中，所述緩沖盤包括收納半 導(dǎo)體器件的多個(gè)單元緩沖盤。所述裝置包括生成旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī)單元；連接至 所述電動(dòng)機(jī)單元的齒輪機(jī)構(gòu)，所述齒輪機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)輸出齒輪；及至少J 個(gè)齒條，其連接至所述單元緩沖盤中至少一個(gè)以及所述至少一個(gè)輸出齒輪以調(diào)
節(jié)所述單元緩沖盤之間間距。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，各所述單元緩沖盤具有收納所述半導(dǎo)體器件的多 個(gè)插槽。所述插槽排列成與所述緩沖盤間距方向基本垂直的至少一列，并且所 述單元緩沖盤以所述單元緩沖盤間距方向排列。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述緩沖盤包括偶數(shù)個(gè)單元緩沖盤。多個(gè)齒條連 接至分別放置在相對(duì)于所述緩沖盤中心點(diǎn)兩側(cè)的至少一個(gè)第一單元緩沖盤及 至少一個(gè)第二單元緩沖盤，并且與所述至少一個(gè)輸出齒輪嚙合以使所述第一及 第二單元緩沖盤互相以相反方向移動(dòng)。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述緩沖盤包括奇數(shù)個(gè)的單元緩沖盤。多個(gè)齒條 連接至分別放置在相對(duì)于中央單元緩沖盤兩側(cè)的至少一個(gè)第一單元緩沖盤及 至少一個(gè)第二單元緩沖盤，并且與所述至少一個(gè)輸出齒輪嚙合以使所述第一及 第二單元緩沖盤互相以相反方向移動(dòng)。
本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述至少一個(gè)齒條連接至除最外側(cè)單元緩沖盤之 外的其余單元緩沖盤中至少一個(gè)，并且與所述至少一個(gè)輸出齒輪嚙合以使所述
至少一個(gè)其余單元緩沖盤以所述緩沖盤間距方向移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，可通過(guò)第一傳動(dòng)部及第二傳動(dòng)部使得緩沖盤的間距 與測(cè)試盤或用戶盤的間距相等。
從而，無(wú)需在傳送半導(dǎo)體器件的同時(shí)調(diào)節(jié)拾取器系統(tǒng)的間距，從而縮短了 傳送半導(dǎo)體器件所需的時(shí)間。此外，無(wú)需額外的裝置來(lái)調(diào)節(jié)該拾取器系統(tǒng)的間 距，從而減少了該第一及第二拾取器系統(tǒng)的重量以及增進(jìn)測(cè)試分選機(jī)的結(jié)構(gòu)穩(wěn) 定性。


結(jié)合附圖并參看以下的詳細(xì)說(shuō)明，將會(huì)清楚本發(fā)明的實(shí)施例，其中 圖1為示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的立體圖； 圖2為緩沖盤的示意圖3為示出圖1所示第一傳動(dòng)部的齒輪機(jī)構(gòu)的立體圖4為示出圖1所示第一傳動(dòng)部的齒輪機(jī)構(gòu)的示意平面圖5為示出圖1所示第一傳動(dòng)部的第一電動(dòng)機(jī)單元的仰視圖6至8為示出圖1所示緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的示意平面圖9為示出根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的示意平面圖IO為示出根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的示意平面圖11為示出緩沖盤另一實(shí)施例的示意圖12為示出根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的示意平面圖； 圖13為示出根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的示意平面圖14為示出根據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的示意平面圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)參見(jiàn)示出本發(fā)明實(shí)施例的附圖，詳述本發(fā)明的實(shí)施例。然而，本發(fā)明可 以以許多不同的形式實(shí)現(xiàn)，并且不應(yīng)解釋為受在此提出的實(shí)施例的限制。更確 切地，提出這些實(shí)施例以達(dá)成充分及完整公開(kāi)，并且使本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員 完全了解本發(fā)明的范圍。整份說(shuō)明書中類似的元件標(biāo)以類似的附圖標(biāo)識(shí)。
應(yīng)理解，當(dāng)將元件或?qū)臃Q為"在其上"之時(shí)，其可以為直接在其上，或者存 在居于其中的元件或?qū)印Ｅc此相反，當(dāng)將元件稱為"直接在其上"之時(shí)，并不存 在居于其中的元件或?qū)?。如本文中所使用的，術(shù)語(yǔ)"及/或"包括一或多個(gè)相關(guān)的
所列項(xiàng)目的任何或所有組合。
應(yīng)理解，盡管本文中使用第一、第二等用語(yǔ)來(lái)描述各種元件，但這些兀件 并受到這些用語(yǔ)的限制。這些用語(yǔ)僅用于將 一 個(gè)元件與另 一 個(gè)元件區(qū)別開(kāi)來(lái)。 例如，第-一薄膜可稱為第二薄膜，并且類似地第二薄膜也可以成為第一薄膜， 而不脫離本發(fā)明的教導(dǎo)。
本文中所使用的術(shù)語(yǔ)僅用于描述特定的實(shí)施例，并且并不意欲限制本發(fā) 明。如本文中所述的，單數(shù)形式的冠詞意欲包括復(fù)數(shù)形式，除非其上下文另有 明確表示。還應(yīng)理解，當(dāng)本說(shuō)明書中使用表述"含有"或"包括"之時(shí)，明確說(shuō)明 了存在有所描述的特征、區(qū)域、整體、步驟、操作、元件及/或組件，但并不排 除存在或附加一或多個(gè)其它特征、區(qū)域、整體、步驟、操作、元件、組件及/ 或它們的組群。
另外，相對(duì)用語(yǔ)，如"下(lower)"、"底(bottom)，，以及"上(upper)"或 "頂(top)"等，在本文中用來(lái)表述如圖所示的一個(gè)元件與另一元件的關(guān)系。應(yīng) 理解，這些相對(duì)用語(yǔ)除圖中所示方位之外，還意欲涵蓋該設(shè)備的不同方位。例 如，若某一圖中的該設(shè)備翻轉(zhuǎn)，描述為在其它元件之"下"側(cè)的元件則會(huì)確定為 在其它元件的"上，，側(cè)。由此，該示例性的用語(yǔ)"下"可同時(shí)涵蓋"下"與"上"兩個(gè) 方位，取決于附圖的特定方位。類似的，若某一圖中的該設(shè)備翻轉(zhuǎn)，描述為在 其它元件"下方"或"之下"的元件則會(huì)定位成在其它元件的"上方"。因此，該示 例性的用語(yǔ)"下方"或"之下"可以涵蓋上方和下方兩個(gè)方位。
除非另有定義，本文所使用的所有術(shù)語(yǔ)(包括科技術(shù)語(yǔ))的含義與本技術(shù) 領(lǐng)域的技術(shù)人員所通常理解的一致。還應(yīng)理解，諸如一般字典中所定義的術(shù)語(yǔ) 應(yīng)解釋為與相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域中的含義一致，并且不應(yīng)作理想化的或過(guò)度刻板的解 釋，除非在文中另有明確定義。
本文中的本發(fā)明實(shí)施例是參照本發(fā)明的理想化實(shí)施例的示意剖視圖來(lái)描 述的。照此，預(yù)期會(huì)產(chǎn)生例如因制造工藝及/或公差而造成形狀上的變化。由此，
本發(fā)明的實(shí)施例不應(yīng)解釋為將其限制成本文所示的特定區(qū)域形狀，還應(yīng)包括例 如，因制造而導(dǎo)致的形狀偏差。例如，示為或描述為平的區(qū)域--般可能為粗糙 或非線性的。此外，所示的銳角可圓角。由此，圖中所示的區(qū)域是示意性的， 并且其形狀并不意欲示出區(qū)域的精確形狀，也不意欲限制本發(fā)明的范圍。
圖1為示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的立體圖，并且 圖2為緩沖盤的示意圖。
參見(jiàn)圖1及2，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的緩沖盤10的間距調(diào)節(jié)裝置100可 在用于測(cè)試半導(dǎo)體器件的測(cè)試分選機(jī)中。具體地，裝置100可用于使得該緩沖 盤10的間距與測(cè)試盤(圖中未示)或用戶盤(圖中未示)的間距相等。
緩沖盤10可包括多對(duì)單元緩沖盤12。各單元緩沖盤對(duì)可包括第一單元緩 沖盤12a及第二單元緩沖盤12b。例如，緩沖盤IO可包括四對(duì)單元緩沖盤12。
各第一單元緩沖盤12a及第二單元緩沖盤12b具有多個(gè)收納該半導(dǎo)體器件 的插槽14。插槽14排列成一列。第一單元緩沖盤12a與第二單元緩沖盤12b 互相平行。例如，各第一單元緩沖盤12a及第二單元緩沖盤12b具有如圖2所 示的8個(gè)插槽14。然而，第一單元緩沖盤12a及第二單元緩沖盤2b的插槽14 的數(shù)量可按需變化。在此，該多對(duì)單元緩沖盤12可以沿基本垂直于列方向(y 軸方向)的行方向(x軸方向)排列，即第一單元緩沖盤12a及第二單元緩沖 盤12b的延伸方向。
第一單元緩沖盤12a及第二單元緩沖盤12b可各自放置在第一支架102a 及第二支架102b上。第一支架102a及第二支架102b可在第一單元緩沖盤2a 及第二單元緩沖盤12b的下方以該列方向延伸。
第一連桿104a可連接至第一支架102a的端部，且第二連桿104b可連接至 第二支架102b的端部。第二連桿104b可連接至與第一連桿104a。如圖1所示， 第二連桿104b可連接至第一連桿104a的中央部?；蛘?，可將第一連桿104a 的端部與第二連桿104b的端部互相連接。此外，第一連桿104a的端部可連接 至第二連桿104b的中央部。
裝置IOO包括第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)IIO及第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)140，其用于調(diào)節(jié)該緩沖 盤10的行方向間距。具體地，第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)IIO可用于調(diào)節(jié)單元緩沖盤對(duì)12 之間的第一間距pl。第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)140可用于調(diào)節(jié)第一單元緩沖盤12a與第二 單元緩沖盤12b之間的第二間距p2。第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)110及第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)140可 放置在基板106上。
圖3為示出圖l所示第一傳動(dòng)部的齒輪機(jī)構(gòu)的示意平面圖。圖4為示出圖 1所示第一傳動(dòng)部的齒輪機(jī)構(gòu)的立體圖。圖5為示出圖1所示第一傳動(dòng)部的第 一電動(dòng)機(jī)單元的仰視圖。
參見(jiàn)圖3至圖5，第一傳動(dòng)部IIO可包括齒輪機(jī)構(gòu)112，所述齒輪機(jī)構(gòu)112
包括至少一個(gè)可旋轉(zhuǎn)放置于基板106上表面的輸出齒輪、多個(gè)與該輸出齒輪嚙
合的齒條120、以及與齒輪機(jī)構(gòu)112連接以向該齒輪機(jī)構(gòu)112提供旋轉(zhuǎn)力的第 --電動(dòng)機(jī)單元122。
例如，四個(gè)齒條120可放置于該基板106的上表面上。該四個(gè)齒條120可 與兩個(gè)用作該輸出齒輪的小齒輪(pinion gear) 114嚙合。具體地，第一小齒輪 114a連接至第一電動(dòng)機(jī)單元122的傳動(dòng)軸124，且還可與彼此相對(duì)的第一齒條 120a及第二齒條]20b嚙合。此外，第二小齒輪114可與傳動(dòng)齒輪116嚙合， 所述傳動(dòng)齒輪連接至第一電動(dòng)機(jī)單元122的傳動(dòng)軸124，且還可與彼此相對(duì)的 第三齒條120c與第四齒條120c嚙合。
圖6至8為示出圖1所示緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的示意平面圖。
參見(jiàn)圖6及7，第一齒條120a及第二齒條120b可通過(guò)第一支架102a及第 二支架102b連接至內(nèi)側(cè)對(duì)的單元緩沖盤12。第三齒條120c及第四齒條120d 可通過(guò)第一支架102a及第二支架102b連接至外側(cè)對(duì)的單元緩沖盤12。具體地， 圖6及7中位于緩沖盤10左側(cè)的第一對(duì)單元緩沖盤12連接至第一齒條120a 及第四齒條120d。圖6及7中位于緩沖盤IO右側(cè)的第二對(duì)單元緩沖盤12連接 至第二齒條120b及第三齒條120c。由此，如圖7所示，通過(guò)旋轉(zhuǎn)第一小齒輪 U4a及第二小齒輪114b可使該第一對(duì)及第二對(duì)單元緩沖盤12相對(duì)于緩沖盤10 的中心點(diǎn)以相反的方向移動(dòng)。
第一、第二、第三及第四齒條120a、 120b、 120c及120d通過(guò)第一支架102a 連接至第一單元緩沖盤12a?；蛘?，第一、第二、第三及第四齒條120a、 ]20b、 120c及120d通過(guò)第二支架102b連接至第二單元緩沖盤12b。
盡管圖中未示，可在基板106上設(shè)置多個(gè)導(dǎo)向部件來(lái)以該緩沖盤10的行 方向?qū)Φ谝?、第二、第三及第四齒條120a、 120b、 120c及120d進(jìn)行導(dǎo)向。
第一小齒輪114a與第二小齒輪114b之間的轉(zhuǎn)速比為1:3以使該第一單元 緩沖盤12a互相之間的間隔相等。具體地，第一小齒輪114a與第二小齒輪U4b 的節(jié)圓小于傳動(dòng)齒輪116的節(jié)圓。具體地，該傳動(dòng)齒輪116的直徑可為第二小 齒輪114b直徑的三倍，并且第一小齒輪114a與第二小齒輪114b的直徑基本相 同。從而，可通過(guò)旋轉(zhuǎn)第一小齒輪114a及第二小齒輪114b來(lái)調(diào)節(jié)這些單元緩 沖盤22對(duì)之間的第 - 間距pl 。
同時(shí)，由于第-一單元緩沖盤12a通過(guò)第 一連桿104a及第二連桿104b連接 至第二單元緩沖盤12b，在調(diào)節(jié)第一間距pl的同時(shí)可均勻地保持第一單元緩沖 盤12a與第二單元緩沖盤12b之間的第二間距p2。
如前所述，齒輪機(jī)構(gòu)112包括兩個(gè)小齒輪114a與114b。然而，齒輪機(jī)構(gòu) ]12可包括三個(gè)或多個(gè)轉(zhuǎn)速不同的小齒輪，并且第一傳動(dòng)部110可包括多個(gè)與 這些小齒輪嚙合的齒條。即，該小齒輪及齒條的數(shù)量可根據(jù)第一單元緩沖盤12a
數(shù)量而變化。
此外，當(dāng)緩沖盤IO包括兩對(duì)單元緩沖盤12時(shí)，第一傳動(dòng)部110可包括一
個(gè)小齒輪及兩個(gè)齒條。
參見(jiàn)圖4及5，傳動(dòng)桿124可穿過(guò)基板106，并且第一電動(dòng)機(jī)單元122可 置于基板106的下表面上。第一電動(dòng)機(jī)單元122可通過(guò)錐齒輪126與傳動(dòng)桿124 連接?；蛘?，第一電動(dòng)機(jī)單元122可與傳動(dòng)桿124直接連接。
再參見(jiàn)圖6，基板106上放置有至少一個(gè)以該行方向延伸的導(dǎo)向部件來(lái)以 該行方向(即，緩沖盤10的間距方向)對(duì)第一支架102a及第二支架102b進(jìn)行 導(dǎo)向。例如，第一導(dǎo)軌130a及第二導(dǎo)軌130b可放置于基板106上。第一導(dǎo)軌 130a及第二導(dǎo)軌130b以該行方向延伸。第一支架102a及第二支架102b通過(guò) 第-一球形滑塊(ball block) 132a及第二球形滑塊132b連接至第一導(dǎo)軌130a及 第二導(dǎo)軌130b?；蛘撸赏ㄟ^(guò)一根該行方向的導(dǎo)軌來(lái)對(duì)第一支架102a及第二 支架102b進(jìn)行導(dǎo)向。
參見(jiàn)圖7及8，第二傳動(dòng)部140可放置在基板106的上表面上，并且與該 第一連桿104a的端部連接。具體地，第二傳動(dòng)部140向第一連桿104a施加傳 動(dòng)力以調(diào)節(jié)第一單元緩沖盤12a與第二單元緩沖盤12b之間的第二間距p2。由 此，可在第 一爭(zhēng)元緩沖盤12a與第二單元緩沖盤12b之間產(chǎn)生相對(duì)移動(dòng)。
可通過(guò)該行方向的導(dǎo)向部件對(duì)該第一連桿104a的端部進(jìn)行導(dǎo)向。例如，導(dǎo) 向條142可鄰近緩沖盤10，并且在基板106上以該行方向延伸。導(dǎo)向條142可 有以該行方向延伸的導(dǎo)槽144，并且導(dǎo)槽144中可放置有多個(gè)滾輪(未示)。 該第一連桿104a的端部連接至該滾輪。
導(dǎo)向條142的兩個(gè)側(cè)部通過(guò)第三球形滑塊148a及第四球形滑塊148b連接 至第三導(dǎo)軌146a及第四導(dǎo)軌146b，所述導(dǎo)軌在基板106上以該列方向延伸。 即，第二傳動(dòng)部140可通過(guò)該導(dǎo)向條142與該滾輪連接至該第一連桿104a的端 部。通過(guò)第二傳動(dòng)部]40來(lái)移動(dòng)導(dǎo)向條142，由此，第一連桿104a可繞位于該 第一連桿102a端部的軸旋轉(zhuǎn)，并且第二連桿104b可繞位于該第一連桿104a 中央部的軸旋轉(zhuǎn)。從而，第二單元緩沖盤12b可在該行方向(即，該緩沖盤〗0 的間距方向)上相對(duì)于第一單元緩沖盤12a作相對(duì)移動(dòng)。可通過(guò)調(diào)節(jié)導(dǎo)向條142 的移動(dòng)距離來(lái)調(diào)節(jié)緩沖盤10的第二間距p2。
如圖6至8所示，調(diào)節(jié)第一間距pl之后，對(duì)第二間距p2進(jìn)行調(diào)節(jié)。然而， 調(diào)節(jié)第二間距p2之后，可根據(jù)情況調(diào)節(jié)第一間距pl。
或者，可通過(guò)該行方向上的多個(gè)球形滑塊與一條導(dǎo)軌對(duì)該第一連桿104a 的端部進(jìn)行導(dǎo)向。例如，第五導(dǎo)軌可鄰近緩沖盤IO，并且多個(gè)第五球形滑塊可 移動(dòng)地連接至該第五導(dǎo)軌。該第一連桿104a的端部可連接至第五球形滑塊。
第二傳動(dòng)部140可連接至基板106的上表面上的導(dǎo)向條142。具體地，第
二傳動(dòng)部140可包括第二電動(dòng)機(jī)單元150、與第二電動(dòng)機(jī)單元150的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連 接的滾珠絲杠152、以及連接至導(dǎo)向條142的滾珠螺母154。滾珠絲杠152穿 過(guò)滾珠螺母154?？赏ㄟ^(guò)滾珠絲杠152及滾珠螺母154向?qū)驐l142施加第二 電動(dòng)機(jī)單元150的旋轉(zhuǎn)力。
或者，可選用多種往復(fù)裝置作為第二傳動(dòng)部140。例如，包括凸輪及彈簧、 氣壓缸或液壓缸等的往復(fù)裝置可用作第二傳動(dòng)部140。
盡管圖中未示，由于第一傳動(dòng)部110及第二傳動(dòng)部140的齒隙，難以精確 地執(zhí)行該緩沖盤10的間距調(diào)節(jié)。為了改善該間距的調(diào)節(jié)精度，可通過(guò)多個(gè)彈 簧使第一單元緩沖盤12a與第二單元緩沖盤12b互相連接。例如，可通過(guò)第--螺旋彈簧連接第一單元緩沖盤12a與第二單元緩沖盤12b。此外，置于緩沖盤 ]O—側(cè)的第一單元緩沖盤12a可通過(guò)第二螺旋彈簧互相連接，并且置于緩沖盤 10另--1則的第一單元緩沖盤12a可通過(guò)第三螺旋彈簧互相連接。
根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例，可通過(guò)第一傳動(dòng)部IIO調(diào)節(jié)該第一單元緩沖盤 ]2a之間的第--間距pl，并且可通過(guò)第二傳動(dòng)部140調(diào)節(jié)該第一單元緩沖盤12a 與第二單元緩沖盤12b之間的第二間距p2。因此，可使該緩沖盤20的間距與 該測(cè)試盤或該用戶盤的間距相等。由此，無(wú)需調(diào)節(jié)用于傳送半導(dǎo)體器件的拾取 器系統(tǒng)的間距，從而減少在該緩沖盤與該測(cè)試盤或用戶盤之間傳送半導(dǎo)體器件 所需的時(shí)間。此外，可減少該拾取器系統(tǒng)重量，從而增進(jìn)該測(cè)試分選機(jī)的結(jié)構(gòu) 穩(wěn)定性并且增加該拾取器系統(tǒng)的拾取器數(shù)量。
圖9為示出根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的示意平面圖。
參見(jiàn)圖9，根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置200可在用f測(cè) 試半導(dǎo)體器件的測(cè)試分選機(jī)中使用。
該緩沖盤可包括多對(duì)單元緩沖盤。各該單元緩沖盤對(duì)可包括第一單元緩沖 盤及第二單元緩沖盤。例如，該緩沖盤可包括五對(duì)單元緩沖盤。由于這些單元 緩沖盤對(duì)與已參考圖1至8所描述的那些組件類似，因此省略其詳述。
各第一及第二單元緩沖盤可分別放置在第一支架202a與第二支架202b上。 第 -支架202a及第二支架202b可以在該第一及第二單元緩沖盤的下方以該緩 沖盤的列方向延伸。
第-一連桿204a可連接至第一支架202a的端部。第二連桿204b可連接至第 二支架202b的端部。第二連桿204b可與第一連桿204a連接。
裝置200可包括調(diào)節(jié)該單元緩沖盤對(duì)之間的第一間距的第一傳動(dòng)部210以 及調(diào)節(jié)該第一單元緩沖盤與該第二單元緩沖盤之間的第二間距的第二傳動(dòng)部 240。第一傳動(dòng)部210可包括至少一個(gè)小齒輪及至少一個(gè)齒條。例如，第一傳 動(dòng)部210可包括兩個(gè)小齒輪及四個(gè)齒條。由于第一支架202a與第二支架202b、 第--連抖:204a與第二連桿204b以及第一傳動(dòng)部210與第二傳動(dòng)部240與已參
考圖1至8描述的那些組件類似，因此省略其詳述。
同時(shí)，可將靠近該緩沖盤中心點(diǎn)的中央對(duì)單元緩沖盤固定在基板206的上
表面，并且除該中央對(duì)的單元緩沖盤之外的其余單元緩沖盤對(duì)可連接至第一傳
動(dòng)部210。 S卩，連接至該中央對(duì)的第一單元緩沖盤的第一支架202c可安裝在基 板206上。例如，當(dāng)該中央對(duì)的第一單元緩沖盤固定在基板206上時(shí)，第一傳 動(dòng)部210可連接至其余的第一單元緩沖盤。或者，當(dāng)該中央對(duì)的第二單元緩沖 盤固定在基板206上時(shí)，第一傳動(dòng)部210可連接至其余的第二單元緩沖盤。
從而，該第一傳動(dòng)部210的齒條使得其余放置在相對(duì)于該中央對(duì)單元緩沖 盤兩側(cè)的單元緩沖盤對(duì)以彼此相反的方向移動(dòng)，從而來(lái)調(diào)節(jié)這些單元緩沖盤對(duì) 之間的第一間距。
具體地，第一傳動(dòng)部210的第一小齒輪與第二小齒輪的轉(zhuǎn)速比為1:2以使 該第一單元緩沖盤之間的間隔彼此相等。從而，可調(diào)節(jié)該單元緩沖盤對(duì)之間的 第-一間距。
或者，當(dāng)該緩沖盤包括三對(duì)單元緩沖盤時(shí)，第一傳動(dòng)部210可包括一個(gè)小 齒輪及兩個(gè)齒條。
圖IO為示出根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的示意平面圖。
參見(jiàn)圖10，根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置300可在應(yīng)用于 測(cè)試半導(dǎo)體器件的測(cè)試分選機(jī)中。
該緩沖盤可包括多對(duì)單元緩沖盤。各單元緩沖盤對(duì)可包括第一單元緩沖盤 及第二單元緩沖盤。例如，該緩沖盤可包括三對(duì)單元緩沖盤。由于這些單元緩 沖盤對(duì)與已參考圖1至8所描述的那些組件類似，因此省略其詳述。
各第一及第二單元緩沖盤可分別放置在第一支架302a與第二支架302b上。 第 一支架302a及第二支架302b可以在該第一及第二單元緩沖盤的下方以該緩 沖盤的列方向延伸。
第一連桿304a可連接至第一支架302a的端部。第二連桿304b可連接至第 二支架302b的端部。第二連桿304b可與第一連桿304a連接。
裝置300可包括調(diào)節(jié)該單元緩沖盤對(duì)之間第一間距的第一傳動(dòng)部310以及 調(diào)節(jié)該第一單元緩沖盤與該第二單元緩沖盤之間第二間距的第二傳動(dòng)部340。 第一傳動(dòng)部310可包括至少一個(gè)小齒輪及至少一個(gè)齒條。例如，第一傳動(dòng)部310 可包括兩個(gè)小齒輪及兩個(gè)齒條。由于第一支架302a與第二支架302b、第一連 桿304a與第二連桿304b以及第一傳動(dòng)部310與第二傳動(dòng)部340與己參考圖1 至8描述的那些組件類似，因此省略其詳述。
同時(shí)，可將該緩沖盤最外側(cè)的 一對(duì)單元緩沖盤固定在基板306的上表面， 并且其余的單元緩沖盤對(duì)可連接至第一傳動(dòng)部310。例如，當(dāng)最外側(cè)的支架 302c(其連接至該最外側(cè)對(duì)的第一單元緩沖盤)固定在基板306上時(shí)，第一傳動(dòng)部310可連接至其余的第一單元緩沖盤?；蛘?，當(dāng)該最外側(cè)對(duì)的第二單元緩沖
盤固定在基板306上時(shí)，第一傳動(dòng)部310可連接至其余的第二單元緩沖盤。 從而，該第一傳動(dòng)部310的齒條使得其余的單元緩沖盤對(duì)以該緩沖盤的間
距方向移動(dòng)，從而來(lái)調(diào)節(jié)該些單元緩沖盤對(duì)之間的第- 一 間距。
具體地，第一傳動(dòng)部310的第一小齒輪與第二小齒輪的轉(zhuǎn)速比為1:2以使
該第一單元緩沖盤之間的間隔彼此相等。從而，可調(diào)節(jié)該單元緩沖盤對(duì)之間的
第一間距。
或者，當(dāng)該緩沖盤包括兩對(duì)單元緩沖盤時(shí)，第一傳動(dòng)部310可包括一個(gè)小 齒輪及一個(gè)齒條。
圖11為示出緩沖盤另 一實(shí)施例的示意圖。
根據(jù)前述本發(fā)明的第--、第二及第三實(shí)施例，各第一單元緩沖盤12a及第 二單元緩沖盤12b包括排列成一列的多個(gè)插槽14。然而，如圖11所示，緩沖 盤20可包括多個(gè)單元緩沖盤22，并且各單元緩沖盤22包括多個(gè)以多列排列的 插槽24a及24b?？赏ㄟ^(guò)本發(fā)明第一、第二及第三實(shí)施例的裝置來(lái)調(diào)節(jié)該多列 單元緩沖盤之間的間距。
圖12為示出根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的示意平面圖。
參見(jiàn)圖12，根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置400可應(yīng)用于測(cè) 試半導(dǎo)體器件的測(cè)試分選機(jī)中。
該緩沖盤可包括多個(gè)單元緩沖盤。各單元緩沖盤可包括以多列方式排列的 多個(gè)插槽，例如以圖U所示的兩列方式。該緩沖盤可包括偶數(shù)個(gè)的單元緩沖 盤。例如，該緩沖盤可包括四個(gè)單元緩沖盤，并且各該單元緩沖盤可包括以列 方向排列的第一插槽以及平行于該第一插槽排列的第二插槽。
裝置400包括連接至該單元緩沖盤的傳動(dòng)部410以調(diào)節(jié)該單元緩沖盤之間 的行方向間距。傳動(dòng)部410包括齒輪機(jī)構(gòu)，所述齒輪機(jī)構(gòu)包括至少-個(gè)輸出齒 輪、多個(gè)與該輸出齒輪嚙合的齒條，以及提供旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī)單元。例如，傳 動(dòng)部410可使用兩個(gè)用作該輸出齒輪的小齒輪412以及四個(gè)齒條414來(lái)調(diào)節(jié)該 緩沖盤間距。在此，可通過(guò)放置在基板406上的支架402將該單元緩沖盤與齒 條414互相連接。
傳動(dòng)部410可使得放置在相對(duì)于該緩沖盤中心點(diǎn)的兩側(cè)的單元緩沖盤以彼 此相反的方向移動(dòng)，從而來(lái)調(diào)節(jié)該單元緩沖盤的間距。由于傳動(dòng)部410與已參 考圖1至8描述的第一傳動(dòng)部110類似，因此省略其詳述。
可通過(guò)裝置400使該緩沖盤間距與該測(cè)試分選機(jī)的測(cè)試盤或用戶盤的奇數(shù) 列之間的間距相等。這樣，該測(cè)試分選機(jī)的拾取器系統(tǒng)使用多個(gè)拾取器來(lái)拾攻 半導(dǎo)體器件，然后移動(dòng)至該緩沖盤的上方。對(duì)齊該拾取器以使單數(shù)列拾取器抓 持的半導(dǎo)體器件位于該緩沖盤的第一插槽的上方，然后將該由單數(shù)列拾取器抓
持的半導(dǎo)體器件收納到該緩沖盤的第一插槽中。此外，對(duì)齊該拾取器以使偶數(shù) 列拾取器抓持的半導(dǎo)體器件位于該緩沖盤的第一插槽的上方之后，然后將該由 偶數(shù)列拾取器抓持的半導(dǎo)體器件收納到該緩沖盤的第二插槽中。
圖13為示出根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的示意平面圖。
參見(jiàn)圖13，根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置500可應(yīng)用于測(cè)
試半導(dǎo)體器件的領(lǐng)lj試分選機(jī)中。
該緩沖盤可包括多個(gè)單元緩沖盤。各單元緩沖盤可包括以多列方式排列的 多個(gè)插槽，例如以圖11所示的兩列方式。該緩沖盤可包括奇數(shù)個(gè)的單元緩沖 盤。例如，該緩沖盤可包括五個(gè)單元緩沖盤，并且各該單元緩沖盤可包括以列 方向排列的第一插槽以及平行于該第一插槽排列的第二插槽。
裝置500包括連接至該單元緩沖盤的傳動(dòng)部510以調(diào)節(jié)該單元緩沖盤之間 的行方向間距。傳動(dòng)部510包括齒輪機(jī)構(gòu)，所述齒輪機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)輸出齒 輪、多個(gè)與該輸出齒輪嚙合的齒條，以及提供旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī)單元。例如，傳 動(dòng)部510可使用兩個(gè)用作該輸出齒輪的小齒輪512以及四個(gè)齒條514來(lái)調(diào)節(jié)該 緩沖盤間距。在此，可通過(guò)放置在基板506上的支架502將該單元緩沖盤與齒 條514互相連接。
第一傳動(dòng)部510可使得放置在相對(duì)于緩沖盤的中央單元緩沖盤兩側(cè)的單元 緩沖盤以彼此相反的方向移動(dòng)，從而來(lái)調(diào)節(jié)該單元緩沖盤的間距。由于傳動(dòng)部 510與已參考圖9描述的第 -傳動(dòng)部210類似，因此省略其詳述。
圖]4為示出根據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置的示意平面圖。
參見(jiàn)圖14，根據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施例的緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置600可應(yīng)用于測(cè) 試半導(dǎo)體器件的測(cè)試分選機(jī)中。
該緩沖盤可包括多個(gè)單元緩沖盤。各單元緩沖盤可包括以多列方式排列的 多個(gè)插槽，例如以圖11所示的兩列方式。例如，該緩沖盤可包括三個(gè)單元緩 沖盤，并且各單元緩沖盤可包括以列方向排列的第一插槽以及平行于該第一插 槽排列的第二插槽。
裝置600包括連接至該單元緩沖盤的傳動(dòng)部610以調(diào)節(jié)該單元緩沖盤之間 的行方向間距。傳動(dòng)部610包括齒輪機(jī)構(gòu)，所述齒輪機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)輸出齒 輪、至少--個(gè)與該至少一個(gè)輸出齒輪嚙合的齒條，以及提供旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī)單 元。例如，傳動(dòng)部610可使用兩個(gè)用作該輸出齒輪的小齒輪612以及兩個(gè)齒條 614來(lái)調(diào)節(jié)該緩沖盤間距。在此，可通過(guò)放置在基板606上的支架602將該單 元緩沖盤與齒條614互相連接。
傳動(dòng)部610可使得除最外側(cè)的單元緩沖盤之外的其余單元緩沖盤以該緩沖 盤間距的方向移動(dòng)，從而來(lái)調(diào)節(jié)該緩沖盤的間距。由于傳動(dòng)部610與已參考圖 IO描述的第一傳動(dòng)部310類似，因此省略其詳述。
根據(jù)本發(fā)明的第四、第五及第六實(shí)施例，使用了具有成列排列插槽的該單 元緩沖盤?；蛘?，根據(jù)本發(fā)明第四、第五及第六實(shí)施例的該裝置可用于調(diào)節(jié)該 具有如圖2所示排列成一列的插槽的單元緩沖盤的間距。
根據(jù)本發(fā)明的前述實(shí)施例，可通過(guò)第一傳動(dòng)部及第二傳動(dòng)部來(lái)調(diào)節(jié)緩沖盤 的間距，所述第一傳動(dòng)部包括至少一個(gè)小齒輪及至少一個(gè)齒條，所述第二傳動(dòng) 部用于移動(dòng)連桿，以使該緩沖盤的間距與測(cè)試盤或用戶盤的間距相等。
由此，在傳送半導(dǎo)體器件的時(shí)候無(wú)需調(diào)節(jié)拾取器系統(tǒng)的間距，從而縮短傳 送半導(dǎo)體器件所需的時(shí)間。此外，無(wú)需額外的裝置來(lái)調(diào)節(jié)該拾取器系統(tǒng)的間距， 從而來(lái)減少該拾取器系統(tǒng)的重量以及增進(jìn)測(cè)試分選機(jī)的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。
盡管業(yè)已描述了本發(fā)明的實(shí)施例，應(yīng)理解，并不應(yīng)將本發(fā)明限制為這些實(shí) 施例，本領(lǐng)域技術(shù)人員可在如后文權(quán)利要求書所要求保護(hù)的本發(fā)明的精神及范 圍之內(nèi)對(duì)其作出各種改變及修改。
權(quán)利要求
1.一種緩沖盤間距調(diào)節(jié)方法，所述緩沖盤包括收納半導(dǎo)體器件的多對(duì)單元緩沖盤，包括調(diào)節(jié)所述單元緩沖盤對(duì)之間的第一間距；及調(diào)節(jié)所述各對(duì)中第一單元緩沖盤與第二單元緩沖盤之間的第二間距。
2、 如權(quán)利要求1所述的方法，其中通過(guò)使至少一第-一單元緩沖盤對(duì)與至少一第二單元緩沖盤對(duì)互相以相反方向移動(dòng)來(lái)調(diào)節(jié)所述第一 間距，并且其中所述第一及第二單元緩沖盤對(duì)分別放置在相對(duì)于 該緩沖盤中心點(diǎn)的兩側(cè)。
3、 如權(quán)利要求1所述的方法，其中通過(guò)使至少一第一單元緩沖盤對(duì) 與至少 第二單元緩沖盤對(duì)互相以相反方向移動(dòng)來(lái)調(diào)節(jié)所述第一 間 距，并且其中所述第 一 及第二單元緩沖盤對(duì)分別放置在相對(duì)于 靠近該緩沖盤中'1>點(diǎn)的 一 對(duì)單元緩沖盤的兩側(cè)。
4、 如權(quán)利耍求1所述的方法，其中通過(guò)使得除最外側(cè)單元緩沖盤對(duì) 之外的其余單元緩沖盤對(duì)中的至少一對(duì)以所述緩沖盤間距的方向 移動(dòng)來(lái)調(diào)節(jié)所述第一間距。
5、 如權(quán)利要求1所述的方法，其中通過(guò)使所述第二單元緩沖盤相對(duì) 于所述第一單元緩沖盤作相對(duì)移動(dòng)來(lái)調(diào)節(jié)所述第二間距。
6、 一種緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置，所述緩沖盤包括收納半導(dǎo)體器件的多 對(duì)單元緩沖盤，包括第一傳動(dòng)部，其連接至所述單元緩沖盤對(duì)以調(diào)節(jié)所述單元緩 沖盤對(duì)之間的第-間距；及第二傳動(dòng)部，其連接至所述單元緩沖盤對(duì)以調(diào)節(jié)所述單元緩 沖盤對(duì)中第一単元緩沖盤與第二單元緩沖盤之間的第二間距。
7、 如權(quán)利要求6所述的裝置，其中所述第一傳動(dòng)部包括連接至所述單元緩沖盤對(duì)的多個(gè)齒條； 齒輪機(jī)構(gòu)，包括至少一個(gè)與所述齒條嚙合的輸出齒輪；及 連接至所述齒輪機(jī)構(gòu)以向所述齒輪機(jī)構(gòu)提供旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī) 單元，其中所述齒條連接至分別放置在相對(duì)于所述緩沖盤中心點(diǎn)兩 側(cè)的至少一第一單元緩沖盤對(duì)及至少一第二單元緩沖盤對(duì)，并且 與所述至少一個(gè)輸出齒輪嚙合以使所述第一及第二單元緩沖盤對(duì) 互相以相反方向移動(dòng)。
8、 如權(quán)利要求7所述的裝置，其中所述齒輪機(jī)構(gòu)包括連接至所述電動(dòng)機(jī)單元傳動(dòng)軸的傳動(dòng)齒輪；連接至所述傳動(dòng)軸并且與彼此相對(duì)的第一齒條及第二齒條嚙 合的第一小齒輪，所述第一小齒輪的節(jié)圓小于所述傳動(dòng)齒輪的節(jié)圓；及與所述傳動(dòng)齒輪嚙合，利用所述傳動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)并且與彼此相 對(duì)的第三齒條及第四齒條嚙合的第二小齒輪，所述第二小齒輪的 節(jié)圓d 、于所述傳動(dòng)齒輪的節(jié)圓。
9、 如權(quán)利要求7所述的裝置，包括其上放置有所述第一及第二傳動(dòng) 部的基板。
10、 如權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述齒條及所述齒輪機(jī)構(gòu)放置于 所述基板的上表面，所述電動(dòng)機(jī)單元放置于基板的下表面，并且 所述電動(dòng)機(jī)單元通過(guò)所述基板連接至所述齒輪機(jī)構(gòu)。
11、 如權(quán)利要求7所述的裝置，其中所述齒條通過(guò)多個(gè)以基本垂直于 所述緩沖盤間距方向的方向延伸的支架連接至所述單元緩沖盤 對(duì)。
12、 如權(quán)利要求6所述的裝置，其中所述第一傳動(dòng)部包括多個(gè)齒條；包括至少一個(gè)輸出齒輪的齒輪機(jī)構(gòu)；及連接至所述齒輪機(jī)構(gòu)以向所述齒輪機(jī)構(gòu)提供旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī) 單元，其中所述齒條連接至分別放置在相對(duì)于靠近所述緩沖盤中心 點(diǎn)的一對(duì)單元緩沖盤的兩側(cè)的至少一第一單元緩沖盤對(duì)及至少一 第二單元緩沖盤對(duì)，并且與所述至少一個(gè)輸出齒輪嚙合以使所述 第一及第二單元緩沖盤對(duì)互相以相反方向移動(dòng)。
13、 如權(quán)利要求6所述的裝置，其中所述第一傳動(dòng)部包括多個(gè)齒條；包括多個(gè)輸出齒輪的齒輪機(jī)構(gòu)；及連接至所述齒輪機(jī)構(gòu)以向所述齒輪機(jī)構(gòu)提供旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī) 單元，其中所述齒條連接至除最外側(cè)單元緩沖盤對(duì)之外的其余單元 緩沖盤對(duì)，并且與所述輸出齒輪嚙合以使所述其余單元緩沖盤對(duì) 以所述緩沖盤的間距方向移動(dòng)。
14、 如權(quán)利要求6所述的裝置，其中所述緩沖盤包括兩對(duì)單元緩沖盤，并且其中所述第 一傳動(dòng)部包括 連接至所述兩對(duì)單元緩沖盤之一以調(diào)節(jié)所述第-叫司距 的齒條；齒輪機(jī)構(gòu)，包括與所述齒條嚙合的輸出齒輪；及 連接至所述齒輪機(jī)構(gòu)以向所述齒輪機(jī)構(gòu)提供旋轉(zhuǎn)力的 電動(dòng)機(jī)單元。
15、 如權(quán)利要求6所述的裝置，進(jìn)一步包括連接至所述第一單元緩沖盤的第一連桿；及 將所述第二單元緩沖盤與所述第一連桿連接的第二連桿； 其中所述第一傳動(dòng)部連接至所述第一單元緩沖盤或所述第二 單元緩沖盤。
16、 如權(quán)利要求15所述的裝置，其中所述第一及第二單元緩沖盤通過(guò) 多個(gè)以基本垂直于所述緩沖盤間距方向的方向延伸的支架連接至 所述第一及第二連桿。
17、 如權(quán)利要求15所述的裝置，其中所述第二傳動(dòng)部連接至所述第一 連桿或所述第二連桿，并且向所述第一連桿或所述第二連桿施加 傳動(dòng)力使所述第一單元緩沖盤與所述第二單元緩沖盤之間產(chǎn)生相 對(duì)移動(dòng)。
18、 如權(quán)利要求17所述的裝置，進(jìn)一步包括至少一個(gè)導(dǎo)向部件，其設(shè) 置成為以所述緩沖盤的間距方向?qū)λ龅谝粏卧彌_盤及所述第 二單元緩沖盤進(jìn)行導(dǎo)向。
19、 如權(quán)利要求17所述的裝置，進(jìn)一步包括以所述緩沖盤的間距方向 延伸的導(dǎo)向部件，其中通過(guò)所述第二傳動(dòng)部以基本垂直于所述緩 沖盤間距方向的方向可移動(dòng)地放置所述導(dǎo)向部件，并且所述導(dǎo)向 部件以所述緩沖盤間距方向在所述第 一 連桿之間或第二連桿之間 對(duì)連接部進(jìn)行導(dǎo)向。
20、 如權(quán)利要求19所述的裝置，進(jìn)一步包括第二導(dǎo)向部件，其連接至 所述導(dǎo)向部件的兩個(gè)側(cè)部以在基本垂直于所述緩沖盤間距方向的 方向上對(duì)所述導(dǎo)向部件進(jìn)行導(dǎo)向。
21、 一種緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置，所述緩沖盤包括收納半導(dǎo)體器件的多 個(gè)單元緩沖盤，包括生成旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī)單元；連接至所述電動(dòng)機(jī)單元的齒輪機(jī)構(gòu)，所述齒輪機(jī)構(gòu)包括至少 一個(gè)輸出齒輪；及至少一個(gè)齒條，其連接至所述單元緩沖盤中的至少一個(gè)以及 所述至少一個(gè)輸出齒輪以調(diào)節(jié)所述單元緩沖盤之間間距。
22、 如權(quán)利要求21所述的裝置，其中各所述單元緩沖盤具有收納所述 半導(dǎo)體器件的多個(gè)插槽，其中所述插槽排列成與所述緩沖盤間距 方向基本垂直的至少一列，并且所述單元緩沖盤以所述單元緩沖 盤間距方向排列。
23、 如權(quán)利要求21所述的裝置，其中所述緩沖盤包括偶數(shù)個(gè)單元緩沖 盤，并且其中多個(gè)齒條連接至分別放置在相對(duì)于所述緩沖盤中心 點(diǎn)兩側(cè)的至少一個(gè)第一單元緩沖盤及至少一個(gè)第二單元緩沖盤、 并且與所述至少一個(gè)輸出齒輪嚙合以使所述第一及第二單元緩沖 盤互相以相反方向移動(dòng)。
24、 如權(quán)利要求21所述的裝置，其中所述緩沖盤包括奇數(shù)個(gè)單元緩沖 盤，并且其中多個(gè)齒條連接至分別放置在相對(duì)于中央單元緩沖盤 兩側(cè)的至少 一 個(gè)第 一 單元緩沖盤及至少 一 個(gè)第二單元緩沖盤、并 且與所述至少一個(gè)輸出齒輪嚙合以使所述第一及第二單元緩沖盤 互相以相反方向移動(dòng)。
25、 如權(quán)利要求21所述的裝置，其中所述至少一個(gè)齒條連接至除最外 側(cè)單元緩沖盤之外的其余單元緩沖盤中的至少一個(gè)，并且與所述 至少一個(gè)輸出齒輪嚙合以使所述至少一個(gè)其余單元緩沖盤以所述 緩沖盤的間距方向移動(dòng)。
全文摘要
收納半導(dǎo)體器件的緩沖盤的間距調(diào)節(jié)方法及裝置中，所述緩沖盤包括收納半導(dǎo)體器件的多對(duì)單元緩沖盤。通過(guò)第一傳動(dòng)部調(diào)節(jié)所述單元緩沖盤對(duì)之間的第一間距。通過(guò)第二傳動(dòng)部調(diào)節(jié)所述對(duì)中第一單元緩沖盤與第二單元緩沖盤之間的第二間距。通過(guò)測(cè)試分選機(jī)中的間距已調(diào)緩沖盤在測(cè)試盤與用戶盤之間傳送半導(dǎo)體器件。因此，縮短了傳送半導(dǎo)體器件所需的時(shí)間。
文檔編號(hào)G01R1/02GK101373727SQ20071018133
公開(kāi)日2009年2月25日 申請(qǐng)日期2007年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月22日
發(fā)明者李鎮(zhèn)煥 申請(qǐng)人:賽科隆股份有限公司