專利名稱：一種密封品檢漏裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種檢漏裝置，特別是一種密封品檢漏裝置。
背景技術(shù)：
目前密封品檢漏裝置使用的方法主要有染料滲透檢漏法、升溫氣泡發(fā)射檢漏法、抽低氣壓氣泡發(fā)射檢漏法、背壓雙氟油氣泡發(fā)射檢漏法、氟碳?xì)鈾z漏法、重量增加檢漏法、放射性同位素檢漏法以及光學(xué)檢漏法。這些方法工藝復(fù)雜、效率低、成本高，其中有的方法還屬于破壞性檢驗(yàn)方式。另外還有一種差壓式氣密檢漏法，主要用于非密封品如汽車油箱、空調(diào)管路等的泄漏檢測，該裝置將被檢器件通過充氣口進(jìn)行加壓或抽真空，然后觀測是否有壓差判斷是否有泄漏，但是不能用于密封品如電子芯片等的檢漏。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對上述問題，對現(xiàn)有的差壓式氣密檢漏裝置進(jìn)行改進(jìn)，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、成本低且不破壞被測件的密封品檢漏裝置。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案 一種密封品檢漏裝置，由氣源、充壓閥、第一平衡閥、第二平衡閥、差壓壓力傳感器、基準(zhǔn)件、基準(zhǔn)件密封容器、被測件和被測件密封容器組成且通過氣路管道相連，其中第一平衡閥、被測件和被測件密封容器構(gòu)成的管路與第二平衡閥、基準(zhǔn)件和基準(zhǔn)件密封容器構(gòu)成的管路并聯(lián)且分別與差壓壓力傳感器相連，其特征在于在第一平衡閥、被測件和被測件密封容器構(gòu)成的管路上設(shè)置第一大漏率檢測閥和第一配容容器；在第二平衡閥、基準(zhǔn)件和基準(zhǔn)件密封容器構(gòu)成的管路上設(shè)置第二大漏率檢測閥和第二配容容器；第一、第二配容容器的容積相等且為被測件密封容器的容積減去被測件的體積；被測件密封容器與基準(zhǔn)件密封容器的容積相等且能夠放入被測件、基準(zhǔn)件即可。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是該裝置結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、成本低；由于檢測氣路均采用了氣控閥，動(dòng)作時(shí)不產(chǎn)生熱量，避免了因溫度變化產(chǎn)生的測試誤差，保證了壓差的檢測精度；且檢漏過程不破壞被測件，特別適用于電子芯片等密封品的檢漏。

附圖1該密封品檢漏裝置氣動(dòng)回路示意圖。
附圖2壓差與泄漏量對應(yīng)關(guān)系曲線圖。
圖1中1.氣源2.充壓閥3.第一平衡閥4.第二平衡閥 5.第一配容容器6.第一大漏率檢測閥7.差壓壓力傳感器 8.第二大漏率檢測閥9.第二配容容器10.被測件 11.被測件密封容器12.基準(zhǔn)件13.基準(zhǔn)件密封容器 具體實(shí)施方式
實(shí)施例一種密封品檢漏裝置，由氣源1、充壓閥2、第一平衡閥3、第二平衡閥4、差壓壓力傳感器7、基準(zhǔn)件12、基準(zhǔn)件密封容器13、被測件10和被測件密封容器11組成且通過氣路管道相連，其中第一平衡閥3、被測件10和被測件密封容器11構(gòu)成的管路與第二平衡閥4、基準(zhǔn)件12和基準(zhǔn)件密封容器13構(gòu)成的管路并聯(lián)且分別與差壓壓力傳感器7相連，在第一平衡閥3、被測件10和被測件密封容器11構(gòu)成的管路上設(shè)置第一大漏率檢測閥6和第一配容容器5；在第二平衡閥4、基準(zhǔn)件12和基準(zhǔn)件密封容器13構(gòu)成的管路上設(shè)置第二大漏率檢測閥8和第二配容容器9；第一配容容器5與第二配容容器9的容積相等且為被測件密封容器11的容積減去被測件10的體積；被測件密封容器11與基準(zhǔn)件密封容器13的容積相等且為能夠放入被測件10、基準(zhǔn)件12即可。
本實(shí)用新型的檢測方法首先將基準(zhǔn)件12，即與被測件10相同且不漏的元器件，放入基準(zhǔn)件密封容器13，將被測件10放入被測件密封容器11，檢測分兩步進(jìn)行。1)小漏率檢測關(guān)閉大漏率檢測閥6、8，打開充壓閥2、平衡閥3、4，氣源1通過充壓閥2、平衡閥3、4對放置被測件10和基準(zhǔn)件12的兩個(gè)密封容器11、13同時(shí)充氣，且根據(jù)被測件10檢漏要求來預(yù)先設(shè)定充壓時(shí)間，然后關(guān)閉平衡閥3、4，如果被測件10有比較小的泄漏，即在充氣時(shí)漏入被測件10內(nèi)腔的氣體流速緩慢而沒有達(dá)到要求的測試壓力時(shí)，則放置被測件10的密封容器11內(nèi)的壓力將逐漸下降，由差壓壓力傳感器7可檢測密封容器11、13之間的壓差隨時(shí)間的變化關(guān)系，便可以計(jì)算出泄漏率。但是如果被測件10的漏孔相對很大、泄漏很快時(shí)，在充氣完成后漏入被測件10內(nèi)腔的氣體就已經(jīng)達(dá)到要求的測試壓力，關(guān)閉平衡閥3、4后不再會(huì)出現(xiàn)壓力變化(不過此時(shí)充入兩個(gè)密封容器11、13的氣體質(zhì)量是不相同的)。2)大漏率檢測打開大漏率檢測閥6、8，對稱地接入分壓用配容容器5、9，由于氣體質(zhì)量的不同，分壓后將使差壓壓力傳感器7兩端產(chǎn)生壓差，差壓壓力傳感器7可檢測到這個(gè)壓差。根據(jù)上述兩步檢測得到的壓差，就可以計(jì)算出被測件10的漏率。通常的作法是預(yù)先做出壓差與泄漏量對應(yīng)關(guān)系曲線圖，如圖2所示，即每一種密封品在差壓檢漏時(shí)，必須通過模擬被測件的不同漏率，繪制上述曲線圖作為判定密封品是否合格的依據(jù)，來設(shè)定小漏率檢測時(shí)合格品對應(yīng)的壓差允許值和大漏率檢測時(shí)不合格品對應(yīng)的壓差報(bào)警值。圖2中實(shí)線S-DET為小漏率檢測時(shí)的曲線；虛線L-DET為大漏率檢測時(shí)的曲線。一般在小漏率檢測時(shí)，隨著被測件10漏率的增大，測出的壓差也逐漸增大；但被測件10漏率增大到一定數(shù)值以后，檢測出的壓差不但不增大反而變小，如圖2中的實(shí)線曲線所示，即對應(yīng)某個(gè)檢測出的壓差，被測件10的漏率有兩個(gè)解，這是因?yàn)橄到y(tǒng)從充氣起就開始有氣體漏入被測件10的緣故。在大漏率檢測時(shí)，差壓壓力傳感器7有壓差顯示，說明被測件10有漏，但是測出壓差，產(chǎn)品并不一定就不合格。例如被測件的允許漏率為1×10-4Pa.m3/s，小漏率檢測時(shí)，檢測到的壓差相當(dāng)于310Pa，同時(shí)310Pa的壓差還可能對應(yīng)一個(gè)4×10-4Pa.m3/s的較大泄漏。如果真的存在一個(gè)4×10-4Pa.m3/s的大漏，在做第二步大漏率檢測時(shí)，就應(yīng)該有460Pa的壓差顯示(在小漏率檢測曲線上，找到310Pa和4×10-4Pa.m3/s的交點(diǎn)，然后往上做垂直線與大漏率檢測曲線相交，然后做水平線與縱坐標(biāo)軸相交得到460Pa)。所以在大漏率檢測時(shí)，壓差大于460Pa的時(shí)候，才能說產(chǎn)品不合格。不同的檢漏儀器、不同的被測件、不同的測試條件下，即使相同的漏率，產(chǎn)生的壓差并不相等，當(dāng)測試壓力、充壓時(shí)間、小漏率檢測時(shí)間和大漏率檢測時(shí)間等條件改變后，需要重新繪制壓差與泄漏量對應(yīng)關(guān)系曲線圖。
為檢漏某密封繼電器，按本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)組成該檢漏裝置，充壓閥2采用日本SMC公司的電磁閥，型號(hào)VT317；第一平衡閥3、第二平衡閥4均采用日本FUKUDA公司的氣控閥，型號(hào)AV32B-040-NO；第一大漏率檢測閥6、第二大漏率檢測閥8均采用日本FUKUDA公司的氣控閥，型號(hào)AV32B-040-NO；差壓壓力傳感器7采用日本FUKUDA公司的差壓壓力傳感器，型號(hào)VR-55；第一配容容器5、第二配容容器9采用銅材自制，其容積相同且為被測件密封容器11的容積減去該繼電器的體積；被測件密封容器11、基準(zhǔn)件密封容器13的容積相等，亦采用銅材自制，能夠完全把該繼電器放入即可。選擇測試壓力為100kPa、充壓時(shí)間為15秒、小漏率檢測時(shí)間為10秒、大漏率檢測時(shí)間為1秒。檢測結(jié)果為小漏率檢測到的壓差為2Pa、大漏率檢測到的壓差為1Pa，即該繼電器是不漏的。
權(quán)利要求1.一種密封品檢漏裝置，由氣源、充壓閥、第一平衡閥、第二平衡閥、差壓壓力傳感器、基準(zhǔn)件、基準(zhǔn)件密封容器、被測件和被測件密封容器組成且通過氣路管道相連，其中第一平衡閥、被測件和被測件密封容器構(gòu)成的管路與第二平衡閥、基準(zhǔn)件和基準(zhǔn)件密封容器構(gòu)成的管路并聯(lián)且分別與差壓壓力傳感器相連，其特征在于在第一平衡閥、被測件和被測件密封容器構(gòu)成的管路上設(shè)置第一大漏率檢測閥和第一配容容器；在第二平衡閥、基準(zhǔn)件和基準(zhǔn)件密封容器構(gòu)成的管路上設(shè)置第二大漏率檢測閥和第二配容容器；第一、第二配容容器的容積相等且為被測件密封容器的容積減去被測件的體積；被測件密封容器與基準(zhǔn)件密封容器的容積相等且能夠放入被測件、基準(zhǔn)件即可。
專利摘要一種密封品檢漏裝置，由氣源、充壓閥、第一平衡閥、第二平衡閥、差壓壓力傳感器、基準(zhǔn)件、基準(zhǔn)件密封容器、被測件和被測件密封容器組成且通過氣路管道相連，其中被測件管路與基準(zhǔn)件管路并聯(lián)且分別與差壓壓力傳感器相連，在被測件管路和基準(zhǔn)件管路上分別設(shè)置大漏率檢測閥和配容容器；配容容器的容積相等且為被測件密封容器的容積減去被檢件的體積；被測件密封容器與基準(zhǔn)件密封容器的容積相等且能夠放入被測件、基準(zhǔn)件即可。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是該裝置結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、成本低；由于檢測氣路均采用氣控閥，動(dòng)作時(shí)不產(chǎn)生熱量，保證了壓差的檢測精度；且檢漏過程不破壞被測件，特別適用于電子芯片等密封品的檢漏。
文檔編號(hào)G01M3/26GK201075051SQ20072009711
公開日2008年6月18日 申請日期2007年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月16日
發(fā)明者陳乃克 申請人:博益(天津)氣動(dòng)技術(shù)研究所有限公司