專利名稱：電子背散射衍射專用樣品座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型提供一種電子背散射衍射專用樣品座，屬于測(cè)量?jī)x器技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
電子背散射衍射儀是掃描電鏡的 一個(gè)附件。電子背散射衍射就是背散射電子在每一 個(gè)晶體或晶粒內(nèi)規(guī)則排列的晶格面上發(fā)生衍射，從而組成的衍射花樣(EBSD)。由于掃描 電鏡中電子束的能量較低，所以產(chǎn)生的EBSD信號(hào)也較弱。為了得到較強(qiáng)的EBSD 信號(hào)，樣品的傾斜角要保持70。。掃描電鏡的樣品室內(nèi)除了二次電子接收器外，還配 有一個(gè)用以接受EBSD信號(hào)的探頭，探頭包括一個(gè)熒光屏和一個(gè)高靈敏攝像頭。由 于試樣傾轉(zhuǎn)會(huì)增加與電子槍的極靴和EBSD探頭觸碰的危險(xiǎn)，所以我們目前使用的是 一個(gè)傾轉(zhuǎn)角為70°的EBSD專用樣品座，樣品座用螺絲固定在圓臺(tái)上，既保證得到較強(qiáng) 的圖象信號(hào)又可避免試樣旋轉(zhuǎn)所帶來的危險(xiǎn)和誤差，此專用樣品座已經(jīng)研制出來并成功 應(yīng)用于實(shí)踐。但它存在的問題是此樣品座只有一個(gè)平面與入射電子束保持70°，也 就是只有一個(gè)觀察平面，所以每次實(shí)驗(yàn)只能測(cè)試一個(gè)樣品，測(cè)試效率低。2.每次更換 樣品時(shí)，都需要先通入一定量的高純氮?dú)?，才能打開樣品室的門。而高純氮?dú)鈨r(jià)格昂貴， 且購買不方便。3.換好樣品后，需要由機(jī)械泵、分子泵、離子泵三級(jí)泵依次抽真空，較 長(zhǎng)時(shí)間才能達(dá)到平衡，等待實(shí)驗(yàn)時(shí)間長(zhǎng)，檢測(cè)成本(通常以時(shí)間計(jì)算)高。4.工作電壓 需要先關(guān)后開，有可能導(dǎo)致掃描電鏡的燈絲發(fā)生偏移，輕則需要花時(shí)間調(diào)試，重則會(huì)縮 短燈絲(價(jià)格在l萬美金左右)的使用壽命。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種能克服上述缺陷、工作性能優(yōu)良的電子背散射衍射專
用樣品座。其技術(shù)方案為
一種電子背散射衍射專用樣品座，包括底部設(shè)有插頭的專用座，專用座上設(shè)有與 垂線保持70。的一個(gè)平面，平面上設(shè)一安裝樣品座的插孔，插孔與平面垂直，專用 座的上端面設(shè)有與插孔連通的螺孔，其特征在于在專用座上設(shè)置多個(gè)與垂線保 持70。的平面，每個(gè)平面上均設(shè)一垂直安裝樣品座的插孔，專用座的上端面對(duì)應(yīng)于每個(gè)插孔均設(shè)有與其連通的螺孔。
所述的電子背散射衍射專用樣品座，專用座上與垂線保持70。的平面有2 5個(gè)。 其工作原理為當(dāng)測(cè)試樣品僅為1個(gè)時(shí)，可使用原有的傾轉(zhuǎn)角為70°的EBSD專用 樣品座，插入與掃描電鏡樣品室螺紋連接為一體的圓臺(tái)頂端中心設(shè)置的插孔，再將樣品 座安裝到專用座的插孔中固定，最后把樣品固定到樣品座上，即可對(duì)樣品進(jìn)行EBSD檢測(cè)； 當(dāng)測(cè)試樣品為多個(gè)時(shí)，可根據(jù)樣品個(gè)數(shù)選擇有幾個(gè)傾轉(zhuǎn)角為70。平面的電子背散射衍射 專用樣品座，當(dāng)測(cè)試完一個(gè)樣品后，只需用鼠標(biāo)點(diǎn)擊樣品臺(tái)的所在角度即可實(shí)現(xiàn)樣品位 置的轉(zhuǎn)換，使探頭對(duì)準(zhǔn)所要測(cè)定的樣品。如果測(cè)試的是兩個(gè)樣品，需要旋轉(zhuǎn)180。，如果 測(cè)試3 5個(gè)樣品，旋轉(zhuǎn)的角度依次為120°、 90°和72°。 本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其優(yōu)點(diǎn)為
1. 由于設(shè)有多個(gè)安裝樣品座的平面，可以同時(shí)測(cè)定多個(gè)樣品，能節(jié)省大量高純氮
氣；
2. 工作電壓可以較長(zhǎng)時(shí)間不變，使燈絲保持穩(wěn)定；
3. 操作簡(jiǎn)單，使用時(shí)只需用鼠標(biāo)點(diǎn)擊樣品臺(tái)的角度即可實(shí)現(xiàn)樣品的轉(zhuǎn)換；
4. 節(jié)省放氣和抽真空時(shí)間，提高工作效率，降低測(cè)試成本。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例2的立體圖。
圖中1、插頭 2、專用座 3、平面 4、插孔 5、螺孔 6、樣品座具體實(shí)施方式
在圖l所示的實(shí)施例l中專用座2的底部設(shè)有插入底座插孔的插頭1，專用座 2上設(shè)有2個(gè)與垂線保持70°的平面3，每個(gè)平面3上均設(shè)一垂直安裝樣品座6的 插孔4，專用座2的上端面對(duì)應(yīng)于每個(gè)插孔4均設(shè)有與其連通的螺孔5，用于固定 樣品座6。
圖2所示的實(shí)施例2基本同實(shí)施例1，只是專用座2上設(shè)有3個(gè)與垂線保持 70。的平面3，每個(gè)平面3上均設(shè)一垂直安裝樣品座6的插孔4，專用座2的上端面 對(duì)應(yīng)于每個(gè)插孔4均設(shè)有與其連通的螺孔5，用于固定樣品座6。
權(quán)利要求1、一種電子背散射衍射專用樣品座，包括底部設(shè)有插頭(1)的專用座(2)，專用座(2)上設(shè)有與垂線保持70°的一個(gè)平面(3)，平面(3)上設(shè)一安裝樣品座(6)的插孔(4)，插孔(4)與平面(3)垂直，專用座(2)的上端面設(shè)有與插孔(4)連通的螺孔(5)，其特征在于在專用座(2)上設(shè)置多個(gè)與垂線保持70°的平面(3)，每個(gè)平面(3)上均設(shè)一垂直安裝樣品座(6)的插孔(4)，專用座(2)的上端面對(duì)應(yīng)于每個(gè)插孔(4)均設(shè)有與其連通的螺孔(5)。
2、 如權(quán)利要求1所述的電子背散射衍射專用樣品座，其特征在于專用座(2) 上與垂線保持70。的平面有2 5個(gè)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種電子背散射衍射專用樣品座，包括底部設(shè)有插頭的專用座，專用座上設(shè)有與垂線保持70°的一個(gè)平面，平面上設(shè)一安裝樣品座的插孔，插孔與平面垂直，專用座的上端面設(shè)有與插孔連通的螺孔，其特征在于在專用座上設(shè)置多個(gè)與垂線保持70°的平面，每個(gè)平面上均設(shè)一垂直安裝樣品座的插孔，專用座的上端面對(duì)應(yīng)于每個(gè)插孔均設(shè)有與其連通的螺孔。本實(shí)用新型由于設(shè)有多個(gè)安裝樣品座的平面，可以同時(shí)測(cè)定多個(gè)樣品，能節(jié)省大量高純氮?dú)?，且工作電壓可以較長(zhǎng)時(shí)間不變，使燈絲保持穩(wěn)定，操作簡(jiǎn)單，使用時(shí)只需用鼠標(biāo)點(diǎn)擊樣品臺(tái)的角度即可實(shí)現(xiàn)樣品的轉(zhuǎn)換，節(jié)省放氣和抽真空時(shí)間，提高工作效率，降低測(cè)試成本，工作性能優(yōu)良。
文檔編號(hào)G01N23/207GK201141821SQ20072015730
公開日2008年10月29日 申請(qǐng)日期2007年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月16日
發(fā)明者柳 馮, 李正民, 杜守旭, 王衛(wèi)國(guó), 紅 郭, 陳志偉 申請(qǐng)人:山東理工大學(xué)