專利名稱：調(diào)針機的制作方法
技術領域：
本實用新型是關于 一種調(diào)針機，特別是關于 一種影像式調(diào)針機。
背景技術：
探針卡是晶圓在測試階段一定會使用到的重要工具。在隨著電子裝置輕、 薄、短、小與深次微米制成的趨勢下，每一晶圓面積所容納的晶粒數(shù)目越來 越多，而結構復雜度也日益增高，相對的每一晶粒上的電極墊數(shù)目也隨著每 一晶粒的結構配置與精密度提高，而更具特殊性與復雜性。而在晶圓測試時， 則是以探針卡上多個微細的探針，將測試信號傳送至每一晶粒的多個電極墊 上，再加以量測，以進行完整的電性測試，以確保晶粒的良率。
由于探針卡的多個探針是非常微細的，因此在剛制作完成時或者長時間 與晶圓接觸、使用不當、清潔的碰觸，都會使得探針產(chǎn)生變形與耗損。因此， 為了使每一個探針能夠位于指定的位置上，以確實傳送量測信號，必須利用 一調(diào)針機，對探針進行調(diào)整。請參閱圖1是目前的調(diào)針機架構示意圖。利用
現(xiàn)有調(diào)針機10進行調(diào)針時，先將一探針卡12吸附于固定單元14上，再將一 表面上預先刻有模擬晶粒上每一電極墊位置圖的透明玻璃基板16/或者晶圓固 定于調(diào)針機10上，并利用一舉臂單元18將透明玻璃基板16/或者晶圓相對于 探針卡12移至非調(diào)針位置，操作人員通過顯微鏡19觀察探針卡12上的探針 與透明玻璃基板16/晶圓上所繪制電極墊位置的偏移量，隨后再利用舉臂單元 18將透明玻璃基板16/晶圓與探針移至調(diào)針位置，操作人員再用 一鑷子伸入對 才笨針中進行調(diào)整。如此反復移動透明玻璃基板16/或者晶圓與通過顯微鏡20 觀察以進行調(diào)針，以此解決調(diào)針在時間上的不確定性與操作上的困惱。 因此，本實用新型提供一種影像式調(diào)針機來解決現(xiàn)有技術中的缺失。

實用新型內(nèi)容
本實用新型是提供一種調(diào)針機，以解決現(xiàn)有技術中的調(diào)針在時間上的不 確定性與操作上的困惱等問題。
為有效解決上述的問題，本實用新型的提供一種調(diào)針機，主要目的在于 提供一種影像式調(diào)針機，其可在顯示器上直接觀測探針卡的探針與模擬電極 圖案間的相對位置與探針接觸端的大小，以進行探針位置的調(diào)針或者過濾不 良品。
本實用新型的另一目的在于提供一種影像式調(diào)針機，其可增進調(diào)整探針 過程的運作流暢性與簡化整個過程。
為達以上的目的，本實用新型提供一種影像式調(diào)針機，其適用于調(diào)整一
探針卡上的多個探針，調(diào)針機包括有一基座； 一設置于基座上方的固定單元， 其是用以吸附探針卡； 一用以調(diào)整固定單元的移動的調(diào)整單元； 一設置于固 定單元上方的顯微鏡，以供放大觀察多個探針； 一電腦裝置，以提供調(diào)整探 針時的模擬電極圖案與存檔；以及一顯示器，其是電性連接電腦裝置與顯微 鏡，以顯示出模擬電極圖案與顯微鏡所觀測的探針影像間的相對位置關系。 與現(xiàn)有^J支術相比，本實用新型具有以下優(yōu)點
本實用新型是提供一種調(diào)針機，可進行完整的電性測試，能確保晶粒的 良率，簡化整個調(diào)針過程的時間與步驟。達到大量節(jié)省調(diào)針過程的所需的時 間，且使調(diào)針過程更為簡便與順手。


圖l是現(xiàn)有技術中調(diào)針機架構示意圖； 圖2是本實用新型的立體結構示意圖3是本實用新型的顯示器上所顯示出的虛擬電極圖案與探針的接觸端 位置間的實施例示意圖。 主要元件符號說明如下 IO調(diào)針機 12探針卡 14固定單元 16透明玻璃基板
18舉臂單元 20顯微鏡
22調(diào)針機 26固定單元 30顯微鏡
24基座
28調(diào)整單元
32電腦裝置
36 LCD環(huán)狀光源
40才莫擬電極圖案
34顯示器
38接觸端位置
具體實施方式
本實用新型的精神所在是在現(xiàn)有的調(diào)針機結構增設一顯示器，以將顯微 鏡的成像呈現(xiàn)于顯示器上，以利于觀測。再者，顯示器連接一電腦裝置，以 此在顯示器上顯示出由電腦裝置所輸入的預設模擬電極墊位置，而與顯微鏡 所觀察的影像一并顯示于顯示器，以作為探針調(diào)針基準。在這樣的情況下， 將不需要表面上預先刻繪有模擬晶粒上每一 電極墊位置圖的透明玻璃基板/或 者晶圓。此外，本實用新型采用顯示器觀測與電腦預設模擬電極墊位置，可 增加對位的準確性與可4企-瞼針頭大小。
請參閱圖2，其為本實用新型的立體實施例示意圖。如圖2所示，本實用 新型的調(diào)針機22包括有一基座24; —設置于基座24上方的固定單元26; — 用以調(diào)整固定單元26的左、右移動的調(diào)整單元28; —裝i殳于固定單元26上 方的顯微鏡30,其是用以觀測探針卡(圖中未標出)上的多個探針(圖中未 標出)； 一電腦裝置32,其是提供調(diào)整探針時的一模擬電極圖案與供存檔；以 及一顯示器34,其電性連接顯微鏡30與電腦裝置32，以顯示出模擬電極圖 案與顯微鏡30所觀測的探針影像間的相對位置關系，以供調(diào)針確認。其中， 固定單元26是具有吸力，以將探針卡吸附于上。此外，顯微鏡30的底端(也 就是接物鏡)處更可設有LCD環(huán)狀光源36,以增加亮度。而電腦裝置32更 包括有多個可與外部電子裝置(圖中未標出)，如印表機，連接的連接界面。
接續(xù)，是針對本實用新型進行調(diào)針時的說明，請一并參閱圖2與圖3:當 調(diào)針時，首先由電腦裝置32選擇出目前所需的模擬電極圖案并呈現(xiàn)于顯示器 34上；接續(xù)將探針卡利用吸力定置于固定單元26上；再利用調(diào)整單元28與 顯微鏡30對探針卡進行焦距調(diào)整，以在顯示器34上呈現(xiàn)出清晰的探針圖像，
然后，操作人員只要經(jīng)由顯示器34觀察便可對照檢視探針卡上那些探針的接 觸端位置38相對于預設模擬電極圖案40間的位置，以及探針接觸端點大小 是否在模擬電極大小差距內(nèi)，而即時用鑷子來調(diào)整探針的接觸端或列為不良
產(chǎn)品，如圖3所示。
本實用新型的調(diào)針器結構，將可以直接由顯示器上觀測探針接觸端點與 預設模擬電極圖案間的相對位置關系，而省去制作表面上預先刻繪有模擬晶 粒上每一電極墊位置圖的透明玻璃基板/或者晶圓。
此外，利用本實用新型的調(diào)針器結構，在調(diào)針過程將不需要反復調(diào)整透 明玻璃基板與探針卡在調(diào)針位置與非調(diào)針位置不斷移動與貼近顯微鏡觀察的 繁瑣過程，來達到大量節(jié)省調(diào)針過程的所需的時間，且使調(diào)針過程更為簡便 與順手。
綜上所述，本實用新型是為一種嶄新的調(diào)針機，其是利用顯示器來將顯 微鏡底下的觀測結果呈現(xiàn)出，以有效確認探針卡上的探針是否位于晶粒上電 極墊特定位置的調(diào)針機，并使整個調(diào)整的過程更為人性化與簡化。
以上公開的僅為本實用新型的幾個具體實施例，但是，本實用新型并非 局限于此，任何本領域的技術人員能思的的變化都應落入本實用新型的保護 范圍。
權利要求1、一種調(diào)針機，所述調(diào)針機用于調(diào)整一探針卡上的多個探針，其特征在于，所述調(diào)針機包括一基座；一固定單元，所述固定單元設置于所述基座上方，所述固定單元是用于吸附所述探針卡；一調(diào)整單元，所述調(diào)整單元是用于調(diào)整所述固定單元的移動；一顯微鏡，所述顯微鏡設置于所述固定單元上方，以供放大觀察多個探針；一電腦裝置，所述電腦裝置是提供調(diào)整所述探針時的一模擬電極圖案與供存檔；以及一顯示器，所述顯示器電性連接所述顯微鏡與所述電腦裝置，以顯示出所述模擬電極圖案與所述顯微鏡所觀測的探針影像間的相對位置關系。
2.如權利要求l述調(diào)針機，其特征在于，所述顯微鏡的底端還增 設有一環(huán)狀LCD光源。
3.如權利要求l所述調(diào)針機，其特征在于，所述電腦裝置還包括有多個可與外部電子裝置連接的連接界面。
4.如權利要求3所述調(diào)針才幾，其特征在于，所述外部電子裝置 為一印表機。
專利摘要本實用新型提供一種適用于調(diào)整探針卡上的多個探針的調(diào)針機，其包括一基座；一設置于基座上方用以吸附探針卡的固定單元；一用以調(diào)整固定單元移動的調(diào)整單元；一設置于固定單元上方，以供放大觀察多個探針的顯微鏡；一電腦裝置，以提供調(diào)整探針時的模擬電極圖案與存檔；以及一顯示器，其連接電腦裝置與顯微鏡，以顯示出模擬電極圖案與顯微鏡所觀測的探針影像間的相對位置關系，以此簡化整個調(diào)針過程的時間與步驟。
文檔編號G01R35/00GK201177661SQ20072030568
公開日2009年1月7日 申請日期2007年11月29日 優(yōu)先權日2007年11月29日
發(fā)明者鄭仁熹 申請人:垂直電子股份有限公司