專利名稱：二維結(jié)構(gòu)的衍射級(jí)選擇的優(yōu)化方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明大體上涉及光學(xué)計(jì)量，尤其涉及產(chǎn)生模擬衍射信號(hào)時(shí)所用的對(duì) 衍射級(jí)數(shù)目的選擇，所述模擬衍射信號(hào)用于二維結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量測(cè)量、處 理和/或模擬。
背景技術(shù)：
RCWA、微分技術(shù)以及相似的算法已經(jīng)被廣泛的用于研究和設(shè)計(jì)衍射 結(jié)構(gòu)。通過給定數(shù)目的充分薄的平面光柵板條可以近似出周期性結(jié)構(gòu)的輪 廓。具體地，RCWA包括三個(gè)主要步驟，即，光柵內(nèi)場(chǎng)的傅立葉展開；計(jì) 算表征衍射信號(hào)的常數(shù)系數(shù)矩陣的特征值和特征向量；從邊界匹配情況推 導(dǎo)出線性系統(tǒng)的解。RCWA將此問題分為三個(gè)不同的空間區(qū)域(1)支 持入射平面波場(chǎng)的空間區(qū)域和全部反射的衍射級(jí)的總和；(2)光柵結(jié)構(gòu) 和下方的未圖案化層，在這些層中，將波場(chǎng)作為與每個(gè)衍射級(jí)有關(guān)的模的 疊加來處理；(3)包括透射波場(chǎng)的襯底。作為對(duì)于使用RCWA計(jì)算模擬 的衍射信號(hào)的細(xì)節(jié)描述，參考Mu等人申請(qǐng)于2005年5月10日的題為 "CACHING OF INTRA-LAYER CALCULATIONS FOR RAPID REGOUROUS COUPLE-WAVE ANALYSES"的美國專利No. 6891626， 其全部?jī)?nèi)容通過引用方式結(jié)合在這里。
在大體上滿足能量守恒的情況下，RCWA解法的精確度部分地取決于 在波場(chǎng)的空間諧波展開中保留的項(xiàng)的數(shù)目。保留的項(xiàng)的數(shù)目是在計(jì)算中考 慮的衍射級(jí)數(shù)目的函數(shù)。對(duì)于給定的假想輪廓，模擬衍射信號(hào)的有效產(chǎn)生 包括在每個(gè)波長為衍射信號(hào)的橫向磁場(chǎng)(TM)分量和/或橫向電場(chǎng)(TE) 分量選擇最佳的衍射級(jí)集合。在數(shù)學(xué)上，所選擇的衍射級(jí)越多，模擬就越 精確。但是，衍射級(jí)數(shù)目越高，計(jì)算模擬衍射信號(hào)所需要的計(jì)算就越多。 而且，計(jì)算時(shí)間是所使用的級(jí)的數(shù)目的非線性函數(shù)。因此，使每個(gè)波長所模擬的衍射級(jí)數(shù)目盡可能小是非常有用的。但是，不能使衍射級(jí)數(shù)目任意 地小，因?yàn)檫@可能會(huì)導(dǎo)致信息的丟失。與一維結(jié)構(gòu)相比，在考慮二維結(jié)構(gòu) 時(shí)，選擇合適的衍射級(jí)數(shù)目的重要性顯著的增加了。因?yàn)檠苌浼?jí)的數(shù)目選 擇與具體應(yīng)用有關(guān)，所以有效的選擇衍射級(jí)數(shù)目的方法是非常必要的。

發(fā)明內(nèi)容
在一個(gè)示例性實(shí)施例中，通過使用第一衍射級(jí)數(shù)目和二維結(jié)構(gòu)的假想 輪廓產(chǎn)生第一模擬衍射信號(hào)，來選擇衍射級(jí)數(shù)目，所述衍射級(jí)數(shù)目用于在 光學(xué)計(jì)量中為二維結(jié)構(gòu)產(chǎn)生模擬的衍射信號(hào)。使用第二衍射級(jí)數(shù)目和與產(chǎn) 生所述第一模擬衍射信號(hào)相同的假想輪廓以產(chǎn)生第二模擬衍射信號(hào)，其中 第一衍射級(jí)數(shù)目和第二衍射級(jí)數(shù)目是不同的。比較第一模擬衍射信號(hào)和第 二模擬衍射信號(hào)?；趯?duì)第一模擬衍射信號(hào)和第二模擬衍射信號(hào)的比較， 來確定選擇第一衍射級(jí)數(shù)目還是第二衍射級(jí)數(shù)目。


圖1A是示出了一種示例性實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖，該實(shí)施例中可以利用光 學(xué)計(jì)量來確定半導(dǎo)體襯底上的結(jié)構(gòu)的輪廓。
圖1B描繪了示例性一維結(jié)構(gòu)。 圖1C描繪了示例性二維結(jié)構(gòu)。
圖2A是示出了重復(fù)結(jié)構(gòu)的衍射信號(hào)的級(jí)次的結(jié)構(gòu)圖。
圖2B包括對(duì)于給定的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，示出成本作為衍射級(jí)數(shù)目的函數(shù)
的曲線圖和示出創(chuàng)建模擬衍射信號(hào)庫所需要的時(shí)間作為計(jì)算中考慮的衍射
級(jí)數(shù)目的函數(shù)的曲線圖。
圖2C描繪了二維重復(fù)結(jié)構(gòu)的單位元的示例性正交柵格的俯視圖。
圖2D描繪了二維重復(fù)結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖2E是用以表征二維重復(fù)結(jié)構(gòu)俯視圖的示例性技術(shù)。
圖3A是二維重復(fù)結(jié)構(gòu)的衍射級(jí)陣列的描繪。
圖3B包括示出經(jīng)一維重復(fù)結(jié)構(gòu)衍射的衍射級(jí)次數(shù)目作為波長的函數(shù) 的曲線圖。圖3C包括示出經(jīng)二維重復(fù)結(jié)構(gòu)衍射的衍射級(jí)次數(shù)目作為波長的函數(shù)
的曲線圖。
圖4是為二維重復(fù)結(jié)構(gòu)選擇衍射級(jí)數(shù)目的示例性過程的流程圖。
圖5為使用高衍射級(jí)開始數(shù)目確定衍射級(jí)數(shù)目的示例性過程的流程圖。
圖6為使用低衍射級(jí)開始數(shù)目確定衍射級(jí)數(shù)目的示例性過程的流程圖。
圖7A是包括不對(duì)稱級(jí)次選擇的確定衍射級(jí)數(shù)目的示例性過程的流程圖。
圖7B是重復(fù)結(jié)構(gòu)的俯視圖，示出了固定坐標(biāo)系統(tǒng)、方位角和周期方向。
圖8A為示例性實(shí)施例中的衍射級(jí)選擇器的結(jié)構(gòu)圖。 圖8B為示出實(shí)時(shí)CD估計(jì)儀中的示例性實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。 圖9為示出利用所選擇的衍射級(jí)數(shù)目產(chǎn)生和使用模擬的衍射信號(hào)以及 輪廓的庫的示例性實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式
為了幫助描述本發(fā)明，使用了橢圓偏光法光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)以示出概念和 原理。可以理解，相同的概念和原理同樣適用于其他光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)，例如 反射計(jì)系統(tǒng)等。以相似的方式，可以利用半導(dǎo)體晶圓示出本概念的應(yīng)用。 這些方法和工藝也同樣適用于其他的有重復(fù)結(jié)構(gòu)的被加工件。
圖1A是示出了一種示例性實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖，在該實(shí)施例中，可以利 用光學(xué)計(jì)量來確定半導(dǎo)體襯底上的結(jié)構(gòu)的輪廓。光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)40包括計(jì) 量束源41，計(jì)量束源41朝晶圓47上的目標(biāo)結(jié)構(gòu)59發(fā)射束43。計(jì)量束43 以入射角0朝向目標(biāo)結(jié)構(gòu)59發(fā)射。通過計(jì)量束接收器51測(cè)量衍射束49。 衍射束數(shù)據(jù)57被傳遞給輪廓應(yīng)用服務(wù)器53。輪廓應(yīng)用服務(wù)器53將測(cè)得衍 射束數(shù)據(jù)57與模擬衍射束數(shù)據(jù)的庫60進(jìn)行比較，其中模擬衍射束數(shù)據(jù)表 示目標(biāo)結(jié)構(gòu)的臨界尺寸和分辨率的不同組合。
在一個(gè)示例性實(shí)施例中，選擇了與測(cè)得衍射束數(shù)據(jù)57最符合的庫60實(shí)例。應(yīng)該理解，盡管頻繁使用衍射譜或信號(hào)的庫和關(guān)聯(lián)的假想輪廓以示 出概念和原理，但本發(fā)明同樣適用于例如在用于輪廓提取的回歸、神經(jīng)網(wǎng) 絡(luò)和相似方法中的、包括模擬衍射信號(hào)和相關(guān)的輪廓參數(shù)集合的數(shù)據(jù)空
間。所選擇的庫60實(shí)例的假想輪廓和相關(guān)的臨界尺寸被假定為對(duì)應(yīng)于目 標(biāo)結(jié)構(gòu)59的特征的實(shí)際截面輪廓和臨界尺寸。光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)40可以利用 反射計(jì)、偏振光橢圓率測(cè)量?jī)x或其他光學(xué)計(jì)量裝置以測(cè)量衍射束或信號(hào)。 由Niu等人于2005年9月13日提交的題為"GENERATION OF A LIBRARY OF PERIODIC GRATING DIFFRACTION SIGNAL"的美國專利 No. 6913900描述了一種光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)，并以引用方式全部結(jié)合在這里。 下文中描述了在光學(xué)計(jì)量中不需要使用庫的其他的示例性實(shí)施例。
術(shù)語"一維結(jié)構(gòu)"用在這里以指代有在一個(gè)維度變化的輪廓的結(jié)構(gòu)。 例如，圖IB描繪了有在一個(gè)維度(即x方向)變化的輪廓的周期性光 柵。圖IB中描繪的周期性光柵的輪廓在z方向上作為x方向的函數(shù)變 化。但是，圖IB中描繪的周期性光柵的輪廓在y方向呈現(xiàn)基本上一致的 或連續(xù)的。
術(shù)語"二維結(jié)構(gòu)"用在這里指代有在二個(gè)維度變化的輪廓的結(jié)構(gòu)。例 如，圖1C描繪了有在兩個(gè)維度(即x方向和y方向)變化的輪廓的周期 性光柵。圖IB中描繪的周期性光柵的輪廓在z方向作為x方向和y方向 的函數(shù)變化。
圖2A是示出了經(jīng)周期性結(jié)構(gòu)衍射的衍射信號(hào)的級(jí)次的結(jié)構(gòu)圖。入射 計(jì)量束或信號(hào)74以入射角被投射于結(jié)構(gòu)75上并經(jīng)結(jié)構(gòu)75衍射，其中衍射 的信號(hào)包括零級(jí)(在附圖中用0表示)，它是衍射束與法線N所成的衍射 角和入射束74與法線N所成的角相等的衍射束。還示出了幾個(gè)由+1、 +2、 +3、 -1、 -2、 -3和-4表示的更高衍射級(jí)。其他更高衍射級(jí)和其他公知 為倏逝級(jí)的級(jí)次沒有在此附圖中示出。
如之前所述，模擬衍射信號(hào)被產(chǎn)生以用在光學(xué)計(jì)量中。對(duì)于給定的結(jié) 構(gòu)輪廓有效地產(chǎn)生模擬衍射信號(hào)包括對(duì)每個(gè)波長選擇衍射級(jí)的數(shù)目，以提 供足夠的衍射信息而不過度地增加執(zhí)行衍射模擬的計(jì)算步驟。
假設(shè)對(duì)于給定的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，圖2B包括示出成本(cost)作為衍射級(jí)數(shù)目的函數(shù)的曲線圖和示出創(chuàng)建模擬衍射信號(hào)庫所需要的時(shí)間作為計(jì)算中
考慮的衍射級(jí)數(shù)目的函數(shù)的曲線圖。參考圖2B，成本函數(shù)被表示在左側(cè) 的Y軸，作為X軸表示的衍射級(jí)數(shù)目的函數(shù)。通過以下的等式示出了一個(gè) 成本函數(shù)比較，其中^和K為兩個(gè)大小為n的向量，而F;相對(duì)于^的成
本函數(shù)為
<formula>formula see original document page 13</formula>
在這個(gè)例子中，第一向量為所用計(jì)量裝置的模擬信號(hào)值的集合，假設(shè)其衍 射級(jí)數(shù)目是無限的，并稱為參考信號(hào)；相反，第二向量為在用于相同計(jì)量 裝置的信號(hào)中的相同點(diǎn)的模擬信號(hào)值的另一個(gè)集合，但是使用比參考信號(hào) 中所用數(shù)目少的給定數(shù)目的衍射級(jí)。
圖線82示出了當(dāng)包括很少衍射級(jí)時(shí)成本函數(shù)很高，但是成本函數(shù)隨 著衍射級(jí)的增加而迅速減小，直到在某一衍射級(jí)數(shù)目時(shí)衍射成本函數(shù)穩(wěn)定 于收斂值(未示出)。圖線80示出表示在右側(cè)Y軸的計(jì)算時(shí)間通常在包 括很少衍射級(jí)時(shí)很低并且以非線性方式隨著衍射級(jí)數(shù)目的增加而快速增加 的情況。因?yàn)檠苌浼?jí)數(shù)目的選擇受到結(jié)構(gòu)、計(jì)量裝置和集成電路(IC)制 造特性的許多可變的細(xì)節(jié)影響，所以需要有效并可重復(fù)的方法以選擇每個(gè) 應(yīng)用中各波長的衍射級(jí)數(shù)目。
以下對(duì)圖2C、 2D和2E的討論描述了用于光學(xué)計(jì)量建模的二維重復(fù) 結(jié)構(gòu)的特征。圖2C描繪了二維重復(fù)結(jié)構(gòu)的單位元的示例性正交柵格的俯 視圖。將假定的線柵格重疊在重復(fù)結(jié)構(gòu)的俯視圖上，其中柵格的線沿周期 的方向繪制。假定的線柵格形成被稱作單位元的區(qū)域?？梢詫挝辉灾?角或非直角結(jié)構(gòu)安排。二維重復(fù)結(jié)構(gòu)在單位元內(nèi)可以包括諸如重復(fù)的柱、 接觸孔、過孔、島或兩個(gè)或更多形狀的組合的特征。而且，這些特征可以 有多種形狀并可以為凹入的或凸出的特征或凹入的和凸出的特征的組合。 參考圖2C，重復(fù)結(jié)構(gòu)300包括帶有以正交方式安排的孔的單位元。單位元 302將所有的特征和組件都包括在單位元302內(nèi)部，主要包括基本位于單 位元302中央的孔304。
圖2D描繪了二維重復(fù)結(jié)構(gòu)的俯視圖。單位元310包括凹入的橢圓形 孔。圖2D示出了具有包括橢圓孔的特征320的單位元310，其中該橢圓孔的尺寸在到達(dá)孔的底部之前逐漸減小。用來表征結(jié)構(gòu)的輪廓參數(shù)包括X節(jié)
距310和Y節(jié)距314。另外，代表特征320頂部的橢圓316的長軸和代表 特征320底部的橢圓318的長軸也可以被用來表征特征320。此外，也可 以使用該特征的頂部和底部之間的中間長軸，以及頂部、中間或底部橢圓 的任意短軸(未示出)。
圖2E是用以表征二維重復(fù)結(jié)構(gòu)俯視圖的示例性技術(shù)。重復(fù)結(jié)構(gòu)的單 位元330為特征332，是從頂部看起來為花生形狀的島。 一種建模方法包 括用橢圓和多邊形的可變數(shù)目或組合近似特征332。進(jìn)一步假設(shè)在分析特 征332的俯視形狀的可變性之后，可以確定找出的兩個(gè)橢圓(橢圓體1和 橢圓體2)和兩個(gè)多邊形(多邊形1和多邊形2)可以完全表征特征332。 表征兩個(gè)橢圓體和兩個(gè)多邊形所需要的參量包括9個(gè)參量，依次如下橢 圓體1的Tl禾口 T2;多邊形1的T3、 T4禾口 多邊形2的T4、 T5禾口 02; 橢圓體2的T6和T7。許多其他形狀的組合可以被用來表征單位元330中 的特征332的俯視圖。作為二維重復(fù)結(jié)構(gòu)建模的細(xì)節(jié)描述，參考Vuong等 人于2004年4月27日申請(qǐng)的題為"OPTICAL METROLOGY OPTIMIZATION FOR REPETITIVE STRUCTURES "的美國專利申請(qǐng) 11/061303，并將其全部?jī)?nèi)容以引用方式結(jié)合在這里。
如上面所述，圖3A被用來討論二維重復(fù)結(jié)構(gòu)的衍射級(jí)陣列的示例性 情況。參考圖3A，衍射級(jí)被表示為X軸和Y軸的點(diǎn)。在本圖中，衍射級(jí) 陣列在矩形區(qū)域內(nèi)，其中零級(jí)(標(biāo)記為0)位于X軸和Y軸的原點(diǎn)。+1、 +2和更高正級(jí)在右側(cè)X軸上而-l、 -2和更高負(fù)級(jí)位于左側(cè)X軸上；Y軸 有相似的標(biāo)記，其中+1、 +2和更高的正級(jí)位于￥軸的上部而-1、 -2和更高 負(fù)級(jí)位于Y軸的下部。衍射級(jí)336由索引m和n標(biāo)記，其中m為衍射級(jí) 的x軸數(shù)而n為衍射級(jí)的Y軸數(shù)。例如，在336處的衍射級(jí)會(huì)由索引(-1， +1)標(biāo)記。作為對(duì)二維重復(fù)結(jié)構(gòu)建模的細(xì)節(jié)描述，參考Bischoff等人 于2002年11月25日申請(qǐng)的題為"GENERATING SIMULATED DIFFRACTION SIGNALS FOR TWO-DIMENSIONAL STRUCTURES"的 美國專利申請(qǐng)10/274252，并將其全部通過引用方式結(jié)合在這里。
圖3B包括示出經(jīng)一維重復(fù)結(jié)構(gòu)衍射的衍射級(jí)數(shù)目作為波長的函數(shù)的曲線圖。圖3C包括示出經(jīng)二維重復(fù)結(jié)構(gòu)衍射的衍射級(jí)數(shù)目作為波長的函 數(shù)的曲線圖。參考圖3B，假設(shè)用給定波長處給定數(shù)目的衍射級(jí)模擬了經(jīng) 一維結(jié)構(gòu)(例如光柵)衍射的衍射信號(hào)。假設(shè)對(duì)于350納米(nm)的波 長，當(dāng)使用的衍射級(jí)數(shù)目為10個(gè)級(jí)次時(shí)模擬的衍射信號(hào)有值Sl，而當(dāng)使 用的衍射級(jí)數(shù)目為9個(gè)級(jí)次時(shí)模擬的衍射信號(hào)有值S2。在其他波長對(duì)衍射 信號(hào)的模擬獲得的模擬衍射信號(hào)值在IO個(gè)衍射級(jí)時(shí)對(duì)應(yīng)于上面的曲線342 而在9個(gè)衍射級(jí)時(shí)對(duì)應(yīng)于下面的曲線344。對(duì)一維結(jié)構(gòu)執(zhí)行模擬的相對(duì)時(shí) 間長度與(2N+lf成比例，其中N為正負(fù)級(jí)次的衍射級(jí)數(shù)目。因此，對(duì)于 一維結(jié)構(gòu)，衍射級(jí)數(shù)目為9與衍射級(jí)數(shù)目為IO相比，(2N+lf的值為729 和1000。
參考圖3C，執(zhí)行對(duì)于二維結(jié)構(gòu)的模擬的相對(duì)時(shí)間長度與((2N+l)y成 比例，其中N為正負(fù)級(jí)次的衍射級(jí)數(shù)目。在350nm和其他波長衍射信號(hào) 的模擬獲得的模擬衍射信號(hào)值在4個(gè)衍射級(jí)時(shí)對(duì)應(yīng)于上面的曲線346而在 3個(gè)衍射級(jí)時(shí)對(duì)應(yīng)于下面的曲線348。對(duì)于二維結(jié)構(gòu)，衍射級(jí)為3與衍射 級(jí)為4相比，((2N+l)2)3的值為729和4096。因此，對(duì)于二維結(jié)構(gòu)的相對(duì) 計(jì)算時(shí)間迅速地增加。如上所述，模擬時(shí)間的長度與其他變量(包括模擬 衍射信號(hào)的精確度) 一起被優(yōu)化。
圖4為選擇用以對(duì)二維重復(fù)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生模擬衍射信號(hào)的衍射級(jí)數(shù)目的示 例性過程的流程圖。在步驟350中，設(shè)置了兩個(gè)或更多終止條件。例如， 該終止條件可以包括衍射信號(hào)模擬的速度和模擬衍射信號(hào)的精確度。模擬 的速度可以被表示為相對(duì)于一維結(jié)構(gòu)信號(hào)模擬的相對(duì)速度，或者諸如每次 模擬等于或小于30秒的絕對(duì)速度。精確度可以被表示為模擬衍射信號(hào)與 若使用收斂的衍射級(jí)數(shù)目時(shí)模擬的衍射信號(hào)相比較的差?；蛘?，精確度可 以被表示為計(jì)量裝置精確度的百分?jǐn)?shù)。例如，給定的反射計(jì)可能能夠?qū)⒔Y(jié) 構(gòu)的CD測(cè)量到在使用CDSEM對(duì)相同CD的測(cè)量結(jié)果相差3nm以內(nèi)。其 他實(shí)施例可以使用將計(jì)量裝置與參考計(jì)量裝置(例如CDSEM或原子力顯 微鏡(AFM))的測(cè)量結(jié)果相比較的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)。
參考圖4，在步驟352中，選擇波長的子集。在一個(gè)示例性實(shí)施例 中，對(duì)于應(yīng)用的臨界波長被選擇為波長的子集。臨界波長是應(yīng)用所用的波長范圍內(nèi)這樣的波長所述波長在輪廓參數(shù)變化時(shí)對(duì)模擬的或測(cè)量的衍射 信號(hào)顯示顯著變化。例如，假設(shè)計(jì)量裝置為反射計(jì)，在輪廓參數(shù)中的改變 (例如結(jié)構(gòu)的底部CD)可能在衍射信號(hào)中造成顯著的改變。更具體地 說，對(duì)于底部CD每單位的改變，在第一波長，模擬的或測(cè)量的反射系數(shù)
可能不會(huì)有明顯的改變，但是對(duì)于底部CD同樣的每單位的改變，在第二
波長，反射系數(shù)可能有成十倍的改變。第二波長就稱作臨界波長。 由輪廓參數(shù)的改變引起的衍射信號(hào)的改變也被稱作衍射靈敏度。臨界
波長之一為伍德異常波長(Wood's anomaly wavelength)。伍德異常波長
可以使用以下等式?jīng)Q定
<formula>formula see original document page 16</formula>
$為兩個(gè)節(jié)距方向的角度的余角。a和/3分別是波傳播矢量的X和Y成 分。7是波傳播矢量的Z成分。a是+或-方向值，其中a=±l， w和m是衍 射級(jí)數(shù)目的索引。A:是波傳播矢量的長度。sec=l/cos。
當(dāng))W^0時(shí)，等式(1.05)可以被用來解出k并確定伍德異常波長X。 或者，可以解出a和/3以找到0和0，其中0為束的入射角而i/z為其方位 角。0和^被用來確定伍德異常波長7。作為使用等式(1.05)確定伍德異 常波長的詳細(xì)描述，參考Lifeng Li發(fā)表于美國光學(xué)學(xué)會(huì)期刊(1997年10 月第10巻第10頁)的"New Formulation of the Fourier modal method for crossed surface-relief gratings"其全文通過引用方式結(jié)合在這里。其他臨界 波長是為應(yīng)用所選擇的波長范圍的開始波長和結(jié)束波長。在其他的實(shí)施例 中，除了伍德異常波長，還可以基于應(yīng)用的經(jīng)驗(yàn)來選擇其他的特殊臨界波 長。
在圖4的步驟354中，為優(yōu)化兩個(gè)或更多個(gè)終止條件而選擇假想輪廓 集合。假想輪廓的輪廓參數(shù)通常由下限值、標(biāo)稱值和上限值來指明。例 如，結(jié)構(gòu)的底部CD可以被由下限值20nm，標(biāo)稱值30nm和上限值40nm 來指明?？梢赃x擇假想輪廓集合以利用下限值、標(biāo)稱值、上限值，或下限 值、標(biāo)稱值或上限值的組合的一個(gè)或多個(gè)輪廓參數(shù)。使用上述例子，可以 選擇指明底部CD為20nm、 30nm和40nm的輪廓。
在另一個(gè)實(shí)施例中，使用了隨機(jī)取樣，其中使用了一個(gè)或更多隨機(jī)化 算法。在另一個(gè)實(shí)施例中，基于輪廓參數(shù)是用于重復(fù)性結(jié)構(gòu)的圖案化部分還是未圖案化的部分，來選擇有特定輪廓參數(shù)值的假想輪廓。在此方法的 進(jìn)一步的變化中，取決于假想輪廓中包括的輪廓參數(shù)的總數(shù)目，所選擇的 假想輪廓可以僅包括輪廓參數(shù)的下限值和上限值或者僅包括其標(biāo)稱值。再 一個(gè)實(shí)施例包括選擇這樣的輪廓該輪廓包括展現(xiàn)高衍射靈敏度的輪廓參 數(shù)的變化。例如，如果特征(例如島)的底部寬度表現(xiàn)高衍射靈敏度，那 么在島的底部寬度范圍內(nèi)的多個(gè)值可以用做所選擇的假想輪廓中的變化。
還是參考圖4，在步驟355中，確定用于每個(gè)所選擇的波長子集的衍 射級(jí)數(shù)目。結(jié)合以下的圖5、圖6和圖7來描述確定用于波長的衍射級(jí)數(shù) 目的方法。在步驟356中，使用為所選擇的波長子集而確定的衍射級(jí)數(shù)目 來確定用于除了所選擇的波長子集的波長所用的衍射級(jí)數(shù)目。例如，假定 所選擇的波長的子集包括位于250、 440和700nm的波長，并且為其確定 的相應(yīng)衍射級(jí)數(shù)目分別為5、 8和6。用于440nm和700nm的衍射級(jí)數(shù)目 (即7和8)可以內(nèi)插用于500nm波長的衍射級(jí)數(shù)目。在一個(gè)實(shí)施例中， 使用了不同的技術(shù)以從所選擇的波長的子集內(nèi)插用于兩個(gè)或更多個(gè)波長的 衍射級(jí)數(shù)目。內(nèi)插技術(shù)可以包括線性插值法、多項(xiàng)式插值法、二次插值法 和三次插值法等。在其他實(shí)施例中，可以使用波長子集的所有衍射級(jí)數(shù)目 以確定最佳擬合曲線，并且可以從最佳擬合曲線確定剩余波長的衍射級(jí)數(shù) 目。
在步驟358中，確定終止條件值。例如，如上所述，終止條件可以包 括模擬衍射信號(hào)所需要的時(shí)間和相比于計(jì)量裝置精確度的模擬衍射信號(hào)精 確度。作為終止條件的例子，模擬所需要的時(shí)間可以被設(shè)置為20秒或更 小，而模擬衍射信號(hào)必須在光學(xué)計(jì)量裝置測(cè)量能力的3nm之內(nèi)。精確度終 止條件的其他例子可以包括模擬衍射信號(hào)有能力探測(cè)反射計(jì)的反射能力的 一定百分?jǐn)?shù)或衍射信號(hào)偏振改變程度的一定分?jǐn)?shù)或百分?jǐn)?shù)。參考步驟 358，使用對(duì)每個(gè)波長的衍射級(jí)數(shù)目和上面所選擇的輪廓集合計(jì)算終止條 件。
在步驟360中，如果滿足了終止條件，每個(gè)波長所選擇的衍射級(jí)數(shù)目 被整合進(jìn)光學(xué)計(jì)量模型。結(jié)合以下的圖8A、圖8B和圖9來討論光學(xué)計(jì)量 模型的后續(xù)處理。如果終止條件沒有滿足，那么改變下述一項(xiàng)或多項(xiàng)波長的子集的選擇條件、輪廓集合、衍射級(jí)數(shù)目的確定技術(shù)、用于確定除了
波長的子集之外的衍射級(jí)數(shù)目的內(nèi)插算法、或終止條件。重復(fù)步驟352到 360直到滿足終止條件。
討論了兩種類型的衍射級(jí)選擇，即，對(duì)稱和不對(duì)稱的衍射級(jí)選擇。對(duì) 稱的選擇指的是成對(duì)選擇正的和負(fù)的更高級(jí)次加上零級(jí)次的處理。非對(duì)稱 選擇分別考慮每個(gè)衍射級(jí)，因此所選擇的級(jí)次可以包括更多的正級(jí)次或負(fù) 級(jí)次。
圖5和圖6是為使用對(duì)稱衍射級(jí)選擇進(jìn)行光學(xué)計(jì)量計(jì)算而選擇衍射級(jí) 數(shù)目的示例性過程的流程圖。圖5為使用高衍射級(jí)開始數(shù)目的示例性過程 的流程圖，而圖6是使用低衍射級(jí)開始數(shù)目的示例性過程的流程圖。圖 7A是為使用不對(duì)稱衍射級(jí)選擇進(jìn)行光學(xué)計(jì)量計(jì)算而選擇衍射級(jí)數(shù)目的示 例性過程的流程圖。圖7B是在不均衡衍射級(jí)選擇選擇中參考的重復(fù)性結(jié) 構(gòu)的俯視圖，示出了固定的坐標(biāo)系統(tǒng)、方位角和周期方向。
參考圖5，在步驟400中，為衍射級(jí)數(shù)目選擇處理確定一個(gè)或更多個(gè) 收斂條件。收斂條件是選擇過程的結(jié)果進(jìn)行測(cè)量所依據(jù)的準(zhǔn)繩。收斂條件 可以包括成本函數(shù)、吻合度(GOF)值和/或其他曲線擬合度量標(biāo)準(zhǔn)。成本 函數(shù)收斂條件可以被設(shè)定為具體數(shù)字，例如1.00。其他收斂條件可以是使 用一個(gè)衍射級(jí)集合的模擬衍射信號(hào)值與使用不同的衍射級(jí)集合的另一個(gè)模 擬衍射信號(hào)之間的吻合度(GOF) 。 GOF是兩組值接近度的度量標(biāo)準(zhǔn)。例 如，當(dāng)使用偏振光橢圓率測(cè)量?jī)x測(cè)量時(shí)，GOF是基于tan^和cosA的值， 其中tani/z和cosA分別是2n維的單一向量
<formula>formula see original document page 18</formula>
用于模擬衍射信號(hào)Sm與另一個(gè)模擬衍射信號(hào)Ss之間相比的GOF的一 個(gè)常用公式為-
<formula>formula see original document page 18</formula>Z'表示光學(xué)計(jì)量裝置的第i測(cè)量點(diǎn)。W是光學(xué)計(jì)量裝置的總測(cè)量數(shù)目。
在圖5的步驟406中，為具體的波長確定開始衍射級(jí)數(shù)目。例如，在 波長為300nm時(shí)，可以將開始衍射級(jí)數(shù)目設(shè)置為31，對(duì)于對(duì)稱級(jí)次選擇 包括15個(gè)正級(jí)次、15個(gè)負(fù)級(jí)次和零級(jí)次。對(duì)于不對(duì)稱級(jí)次選擇，開始衍 射級(jí)數(shù)目可以被設(shè)置為30、 31或32級(jí)次。但是，不對(duì)稱選擇的開始衍射 級(jí)數(shù)目的組成是在以下圖7A中示出的處理中確定的，并且可以包括更多 的正衍射級(jí)或負(fù)衍射級(jí)。
在圖5的步驟410中，使用假想輪廓集合中的假想輪廓計(jì)算使用開始 衍射級(jí)數(shù)目的模擬參考衍射信號(hào)。作為模擬衍射信號(hào)的計(jì)算的細(xì)節(jié)描述， 參考Niu等人申請(qǐng)于2005年5月IO日題目為"CACHING OF INTRA-LAYER CALCULATIONS FOR RIGID COUPLE-WAVE ANALYSES"的 美國專利No. 6891626，并將其全部?jī)?nèi)容以引用方式結(jié)合在這里。
還是參考圖5，在步驟420中，選擇比開始數(shù)目更低的衍射級(jí)數(shù)目。 可以使用多個(gè)過程中的任何過程(諸如在每次重復(fù)時(shí)令開始數(shù)目連續(xù)的減 少例如1、 2或3)來選擇該更低的數(shù)目?；蛘撸梢允褂枚址z索 (binary search)技術(shù)或相似的方法確定該更低的數(shù)目。在步驟430中，用 步驟410中應(yīng)用的技術(shù)來計(jì)算使用該更低的衍射級(jí)數(shù)目的新模擬衍射信 號(hào)。
在步驟440中，使用步驟410和430中計(jì)算出的參考的和新的衍射信 號(hào)來檢驗(yàn)一個(gè)或更多收斂條件。例如，如果只使用了一個(gè)收斂條件(諸如 成本函數(shù)大于2.00)，那么使用開始衍射級(jí)數(shù)目的模擬衍射信號(hào)相比于使 用更低級(jí)次的模擬衍射信號(hào)的成本函數(shù)被計(jì)算出來并將其與2.00相比。在 另一種情況下，可以有兩個(gè)收斂條件，比如成本函數(shù)大于2.00且這兩個(gè)模 擬的衍射信號(hào)的GOF小于0.95。在步驟440中，如果滿足了一個(gè)或更多 收斂條件，那么處理進(jìn)行到步驟450，否則，重復(fù)步驟420、 430和440。
在步驟450中，之前的更低的衍射級(jí)數(shù)目被選作最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù) 目。例如，如果第一更低衍射級(jí)數(shù)目為29且沒有滿足收斂條件，那么重 復(fù)步驟420、 430和440。進(jìn)一步假設(shè)第二更低衍射級(jí)數(shù)目為27并且此時(shí) 滿足收斂條件，那么29是之前的更低衍射級(jí)數(shù)目，并且被選為對(duì)于該波長最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù)目。
在步驟460中，將最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù)目與開始衍射級(jí)數(shù)目相比較，如 果相等，表示開始衍射級(jí)數(shù)目設(shè)置的太低，處理進(jìn)行到步驟470，并在這 一步選擇更高的開始衍射級(jí)數(shù)目。作為例子，如果用等于29的第一更低 衍射級(jí)數(shù)目進(jìn)行第一次重復(fù)之后滿足了收斂條件，那么之前的更低的數(shù)目 為31并且與開始數(shù)目31相同。在這種情況下，處理進(jìn)行到步驟470，并 在這一步選擇高于31的開始數(shù)目。開始衍射級(jí)數(shù)目的選擇取決于具體應(yīng) 用，并且受制造工藝、計(jì)量裝置類型等的影響?；诰唧w應(yīng)用的經(jīng)驗(yàn)，可 以使用按順序排好的開始衍射級(jí)數(shù)目的集合。接著上面的例子，按順序排 好的開始衍射級(jí)數(shù)目的集合可以為31、 41或51級(jí)次數(shù)目。
在更高的開始衍射級(jí)數(shù)目的選擇完成后，處理進(jìn)行到步驟410，并重 復(fù)步驟410到450。如果最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù)目不等于開始衍射級(jí)數(shù)目，處 理進(jìn)行到步驟480，對(duì)假想輪廓集合中剩余的假想輪廓重復(fù)步驟410、 420、 430、 440、 450、 460和470。
在步驟490中，從為假想輪廓集合中全部的假想輪廓確定的衍射級(jí)數(shù) 目中確定、傳輸和/或保存對(duì)于該波長最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù)目。通過選擇衍射 級(jí)數(shù)目的最大值或者使用統(tǒng)計(jì)算法或平均算法，可以從為假想輪廓集合中 全部的假想輪廓確定的衍射級(jí)數(shù)目中確定最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù)目。
對(duì)于所選擇的波長的子集中的所有波長執(zhí)行圖5中示出的方法。此 外，當(dāng)使用橢圓偏光法時(shí)，對(duì)信號(hào)的TM和TE成分重復(fù)對(duì)于所選擇的波 長的子集中的全部波長的處理。在步驟490中，與制造工藝、結(jié)構(gòu)和光學(xué) 計(jì)量裝置有關(guān)的識(shí)別數(shù)據(jù)也可以被傳送和/或保存。制造工藝標(biāo)識(shí)符可以是 具體的光刻或蝕刻處理，結(jié)構(gòu)標(biāo)識(shí)符可以是結(jié)構(gòu)所在位置的標(biāo)識(shí)符或IC 裝置類型的標(biāo)識(shí)符，并且光學(xué)計(jì)量裝置可以是具體的反射計(jì)或偏振光橢圓 率測(cè)量?jī)x。
圖6是使用低開始衍射級(jí)數(shù)目選擇衍射級(jí)數(shù)目的示例性方法的流程 圖。此技術(shù)可以縮短確定最優(yōu)選衍射級(jí)數(shù)目所需要的步驟的數(shù)目。處理過 程與圖5中示出的大體步驟非常相似并且將會(huì)指明其區(qū)別。
參考圖6，在步驟500，確定用于衍射級(jí)數(shù)目選擇過程的一個(gè)或更多收斂條件。與以前一樣，收斂條件可以包括成本函數(shù)值、吻合度(GOF) 值和/或其他曲線擬合度量標(biāo)準(zhǔn)。在圖6的步驟505中，為特定波長確定開 始衍射級(jí)數(shù)目。例如，在波長為300nm時(shí)，可以將開始衍射級(jí)數(shù)目設(shè)置為 9，對(duì)于對(duì)稱級(jí)次選擇包括4個(gè)正級(jí)次，4個(gè)負(fù)級(jí)次和零級(jí)次。對(duì)于不對(duì)稱 級(jí)次選擇，可以將開始衍射級(jí)數(shù)目設(shè)置為例如9、 11或13級(jí)次。在步驟 508中，確定衍射級(jí)的上限數(shù)目。在步驟510中，使用假想輪廓集合中的 假想輪廓以與圖5中步驟410相似的方式計(jì)算出使用開始衍射級(jí)數(shù)目的模 擬衍射信號(hào)。
還是參考圖6，在步驟520，選擇比開始數(shù)目更高的衍射級(jí)數(shù)目。可 以通過多種處理中任意的處理來選擇更高的衍射級(jí)數(shù)目，諸如在每次重復(fù) 時(shí)令開始數(shù)目連續(xù)的增加例如1、 2或3?？梢赃x擇地，可以使用二分法檢 索技術(shù)或相似的方法決定該更高的數(shù)目。在步驟530中，利用步驟510中 所用的技術(shù)，來計(jì)算使用更高的衍射級(jí)數(shù)目的模擬衍射信號(hào)。
在步驟540中，使用步驟510和530中計(jì)算出的衍射信號(hào)，檢驗(yàn)一個(gè) 或更多個(gè)收斂條件。例如，如果只使用了一個(gè)收斂條件(諸如成本函數(shù)小 于2.00)，那么計(jì)算出使用開始衍射級(jí)的模擬衍射信號(hào)與使用更高級(jí)次的 模擬衍射信號(hào)相比的成本函數(shù)，并將其與2.00相比。在另一種情況下，可 以有兩個(gè)收斂條件，比如成本函數(shù)小于2.00且這兩個(gè)模擬衍射信號(hào)的 GOF高于例如0.95。在步驟540中，如果滿足了一個(gè)或更多個(gè)收斂條件， 那么處理進(jìn)行到步驟550，否則，重復(fù)步驟520、 530和540。
在步驟550中，將之前的更高的衍射級(jí)數(shù)目選為最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù) 目。例如，如果第一更高衍射級(jí)數(shù)目為9并且沒有滿足收斂條件，那么重 復(fù)步驟520、 530和540。進(jìn)一步假設(shè)第二更高衍射級(jí)數(shù)目為11并且此時(shí) 滿足收斂條件，那么9是之前的更高衍射級(jí)數(shù)目并且被選為對(duì)于該波長的 最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù)目。
在步驟560中，將最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù)目與開始衍射級(jí)數(shù)目相比較，如 果相等，表示開始衍射級(jí)數(shù)目設(shè)置的太高，處理進(jìn)行到步驟570，并在這 一步選擇更低的開始衍射級(jí)數(shù)目。在上述例子中，如果在等于11的第一 更低衍射級(jí)數(shù)目經(jīng)第一次重復(fù)之后滿足了收斂條件，那么之前的更高的數(shù)目為9，即與開始數(shù)目相同。在這種情況下，在步驟570中，選擇低于9 的開始數(shù)目。開始衍射級(jí)數(shù)目的選擇取決于具體應(yīng)用，并且受制造工藝、 計(jì)量裝置類型等的影響?；诰唧w應(yīng)用的經(jīng)驗(yàn)，可以使用按順序排好的開 始衍射級(jí)數(shù)目的集合。接著上面的例子，按順序排好的開始衍射級(jí)數(shù)目的 集合可以為9、 21或41衍射級(jí)。
在更高的開始衍射級(jí)數(shù)目的選擇完成后，處理進(jìn)行到步驟510，其中 重復(fù)步驟510到550。如果最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù)目不等于開始衍射級(jí)數(shù)目， 處理進(jìn)行到步驟580，即對(duì)假想輪廓集合中剩余的假想輪廓重復(fù)步驟 510、 520、 530、 540、 550、 560和570。
在步驟590中，從為假想輪廓集合中全部的假想輪廓確定的衍射級(jí)數(shù) 目中確定、傳輸和/或保存對(duì)于該波長最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù)目?？梢酝ㄟ^選擇 衍射級(jí)數(shù)目的最大值或者使用統(tǒng)計(jì)算法或平均算法，從為假想輪廓集合中 全部的假想輪廓確定的衍射級(jí)數(shù)目中確定最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù)目。
與上述第一處理類似，對(duì)衍射信號(hào)的模擬中包括的每個(gè)波長執(zhí)行衍射 級(jí)數(shù)目的選擇。此外，當(dāng)使用橢圓偏光法計(jì)量時(shí)，對(duì)信號(hào)的TM和TE成 分重復(fù)對(duì)于所考慮的全部波長的處理。
圖7A是包括不對(duì)稱級(jí)次選擇在內(nèi)的確定衍射級(jí)數(shù)目的示例性流程 圖。如前所述，不對(duì)稱級(jí)次選擇可以包括不同數(shù)目的正級(jí)次和負(fù)級(jí)次，再 加上零級(jí)次。應(yīng)該包括的選擇衍射級(jí)數(shù)目的示例性方法為衍射級(jí)的中心點(diǎn) 技術(shù)。在步驟600中，基于期望的衍射級(jí)N產(chǎn)生了圍繞衍射級(jí)中心點(diǎn)的特 定衍射級(jí)列表。使用光柵公式以確定中心點(diǎn)的位置
(3.2.0)
C尸=int
c尸是中心點(diǎn)衍射級(jí)。"。是空氣的折射率。尸是周期結(jié)構(gòu)的周期。、是自由 空間內(nèi)的波長。0是入射角。0是方位角。Int (.)將結(jié)果化為整數(shù)。
給定的圍繞中心點(diǎn)的衍射級(jí)數(shù)目N是為此應(yīng)用而選擇的，通常由對(duì)于 此應(yīng)用特定的數(shù)據(jù)、所使用的計(jì)量裝置和晶圓或工件的特定結(jié)構(gòu)確定。在 一個(gè)實(shí)施例中，N為參考圖5和圖6的描述中涉及的開始衍射級(jí)數(shù)目的函 數(shù)。例如，如果N為5并且根據(jù)公式(3.2.0)的中心點(diǎn)衍射級(jí)C尸為-l， 那么圍繞-l的衍射級(jí)列表為[-6， -5， -4， -3， -2，畫l， 0， 1， 2， 3， 4]。在步驟620中，使用對(duì)于周期結(jié)構(gòu)的固定坐標(biāo)系統(tǒng)的x和y成分的以 下公式，來計(jì)算列表中每個(gè)衍射級(jí)的波向量(vector)成分，以下討論涉 及圖7B:<formula>formula see original document page 23</formula>( 3.2.2 )
<formula>formula see original document page 23</formula>( 3.2.4 )<formula>formula see original document page 23</formula>(3.2.5)
OWw是以整數(shù)1， 2， 3...n表示的衍射級(jí)。^是x方向的波向量成分。& 是少方向的波向量成分。Px是;c方向的周期結(jié)構(gòu)的周期。Py是；;方向的周 期結(jié)構(gòu)的周期。
圖7B是示出固定坐標(biāo)系統(tǒng)、方位角和周期方向的重復(fù)結(jié)構(gòu)的俯視 圖?？粗貜?fù)結(jié)構(gòu)700的頂部，Y軸平行于重復(fù)結(jié)構(gòu)的線的方向且x軸沿結(jié) 構(gòu)700的周期的方向。入射信號(hào)7O2相對(duì)于X軸的方向角為0。在前一個(gè) 例子中，可以計(jì)算級(jí)次列表[-6， -5， -4， -3, -2，畫l， 0， 1， 2， 3， 4]的& 和^。參考圖7A，在步驟630中，每個(gè)衍射級(jí)的波向量k的大小可以通過 以下公式計(jì)算 _
作為公式(3.2.0)到(3.2.6)的詳細(xì)描述和推導(dǎo)，參考Niu等人申請(qǐng)于 2005年5月10日題目為"CACHING OF INTRA-LAYER CALCULATION FOR REGID RIGOROUS COUPLE-WAVE ANALYSES"的美國專利No. 6891626，并將其全部?jī)?nèi)容以引用方式結(jié)合在這里。
還是參考圖7A，在步驟640中，基于波向量k的大小對(duì)衍射級(jí)排序。 在步驟650中，從使用中心點(diǎn)排序的衍射級(jí)獲得期望的衍射級(jí)數(shù)目。使用 前一個(gè)例子的列表，中心點(diǎn)級(jí)次為-1且對(duì)排序的衍射級(jí)的請(qǐng)求為4，那么 將會(huì)獲得[-6， -5， -4， -3， -2, -1， 0， 1， 2， 3， 4]。
在一個(gè)實(shí)施例中，中心點(diǎn)周圍衍射級(jí)的列表足夠大，因此對(duì)于整個(gè)衍 射級(jí)選擇處理，步驟600， 620， 630和640對(duì)衍射波成分(即TM或TE) 的每個(gè)波長執(zhí)行一次。對(duì)于此實(shí)施例，只有步驟650，能夠從使用中心點(diǎn) 排序的衍射級(jí)中獲得期望的衍射級(jí)數(shù)目。在另一個(gè)實(shí)施例中，通過計(jì)算每個(gè)級(jí)次的衍射效率對(duì)衍射級(jí)進(jìn)行排
序。作為衍射效率公式的細(xì)節(jié)描述，參考X. Niu于1999年在加州大學(xué)伯 克利分校的發(fā)表的題為"An Integrated System of Optical Metrology for Deep Sub-Micron Lithography"的論文，69-86頁，并將其全部?jī)?nèi)容通過引用而 結(jié)合在這里。
圖8A為示例性實(shí)施例中的衍射級(jí)數(shù)目選擇器系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。通過使 用輸入選擇條件821，衍射級(jí)數(shù)目選擇器823為此應(yīng)用選擇波長子集。衍 射級(jí)數(shù)目選擇器823訪問包含結(jié)構(gòu)輪廓集合的輪廓數(shù)據(jù)空間825。衍射級(jí) 數(shù)目選擇器823基于輸入選擇條件821從輪廓數(shù)據(jù)空間825中選擇輪廓集 合，并確定用于波長子集的衍射級(jí)數(shù)目。衍射級(jí)數(shù)目選擇器823之后使用 所確定的用于波長子集的衍射級(jí)數(shù)目，來確定用在其余波長的衍射級(jí)數(shù) 目。通過使用輸入終止條件821，衍射級(jí)數(shù)目選擇器823對(duì)照輸入終止條 件821計(jì)算終止條件的值，并重復(fù)此過程直到滿足終止條件為止。所選擇 的每個(gè)波長的衍射級(jí)數(shù)目以及制作工藝、結(jié)構(gòu)和光學(xué)計(jì)量裝置的識(shí)別信息 被存儲(chǔ)在衍射級(jí)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器827中。
圖8B為示出實(shí)時(shí)CD估計(jì)儀中的示例性實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。實(shí)時(shí)CD估 計(jì)儀826利用來自光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)829的測(cè)得光學(xué)計(jì)量信號(hào)831。光學(xué)計(jì)量 系統(tǒng)829可以與圖1A中描述的光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)相類似，具有諸如偏振光橢 圓率測(cè)量?jī)x的特定光學(xué)計(jì)量裝置。實(shí)時(shí)CD估計(jì)儀826使用來自輸入?yún)?shù) 830的識(shí)別數(shù)據(jù)從衍射級(jí)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器832訪問并發(fā)送衍射級(jí)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)實(shí)例 833，并計(jì)算結(jié)構(gòu)下面的薄膜厚度835、 CD 837 (例如結(jié)構(gòu)的頂部寬度或底 部寬度)和結(jié)構(gòu)輪廓839。作為實(shí)時(shí)確定下面的膜厚度、CD和輪廓的方法 的詳細(xì)描述，參考由Vuong等人申請(qǐng)于2002年7月25日的題為 "MODEL AND PARAMETER SELECTION FOR OPTICAL METROLOGY"的共同在審美國專利申請(qǐng)No. 10/206491，并將其全部?jī)?nèi) 容以引用方式結(jié)合在這里。
圖9為示出利用所選擇的衍射級(jí)數(shù)目產(chǎn)生和使用模擬衍射信號(hào)以及輪 廓的庫的示例性實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖，該庫接著被用來確定對(duì)應(yīng)于測(cè)得計(jì)量衍 射信號(hào)的下面的膜厚度、CD和輪廓。衍射級(jí)數(shù)目選擇器903使用輸入的選擇和終止條件902以及輸入的結(jié)構(gòu)輪廓901，首先為波長的子集選擇衍 射級(jí)數(shù)目并為其他的使用的波長確定衍射級(jí)數(shù)目。所選擇的每個(gè)波長的衍 射級(jí)數(shù)目以及制作工藝、位置和計(jì)量裝置909的識(shí)別信息被從衍射級(jí)數(shù)目 選擇器903存儲(chǔ)到衍射級(jí)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器921中。相似數(shù)據(jù)904也同樣被從衍 射級(jí)數(shù)目選擇器903傳輸?shù)焦鈱W(xué)計(jì)量模擬器905中，其中光學(xué)計(jì)量模擬器 905使用模擬參數(shù)907以產(chǎn)生輪廓和相應(yīng)的模擬衍射信號(hào)的對(duì)913以建立 庫923。
還是參考圖9，相似于圖1A中描述的系統(tǒng)的光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)941傳輸測(cè) 得衍射信號(hào)947到輪廓應(yīng)用服務(wù)器949。通過利用庫923，輪廓應(yīng)用服務(wù) 器949確定庫923中最匹配的衍射信號(hào)，訪問相關(guān)的輪廓數(shù)據(jù)933，并且 確定與輸入的測(cè)得衍射信號(hào)947相應(yīng)的下面的膜的厚度961、 CD 963和輪 廓965。作為使用庫確定下面的膜厚度、CD和輪廓的方法的詳細(xì)描述，參 考由Vuong等人申請(qǐng)于2002年7月25日的題為"MODEL AND PARAMETER SELECTION FOR OPTICAL METROLOGY"的共同在審美 國專利申請(qǐng)No. 10/206491，并將其全部?jī)?nèi)容通過引用結(jié)合在這里。
其他實(shí)施例包括衍射級(jí)數(shù)目的選擇，其中波長的范圍(200nm到 800nm)被分為若干部分。波長的每個(gè)部分都被作為一個(gè)集合對(duì)待并且衍 射級(jí)數(shù)目選擇對(duì)于此集合而不是每個(gè)波長來完成。使用在光學(xué)計(jì)量測(cè)量、 處理和/或模擬中的衍射級(jí)數(shù)目的減少可以提供很多優(yōu)點(diǎn)。例如，通過在小 的輪廓樣本上選擇每個(gè)波長的衍射級(jí)數(shù)目，所選擇的衍射級(jí)數(shù)目可以被用 在通常為產(chǎn)品庫創(chuàng)建的大輪廓集合中。因?yàn)橛?jì)算步驟數(shù)目的減少，只要依 然滿足精確度的需要，衍射級(jí)數(shù)目的減少導(dǎo)致產(chǎn)生庫的時(shí)間成指數(shù)關(guān)系減 少。
具體地，可以預(yù)期的是這里描述的本發(fā)明的功能性的執(zhí)行同樣可以由 硬件、軟件、固件和/或其他可行的功能性組件或模塊的形式來實(shí)現(xiàn)。根據(jù) 上述教導(dǎo)的啟示可以有其他變化和實(shí)施例，因此本發(fā)明的范圍受權(quán)利要求 限制而不受說明書的限制。
權(quán)利要求
1.一種選擇衍射級(jí)數(shù)目的方法，所述衍射級(jí)數(shù)目用于在光學(xué)計(jì)量中為二維結(jié)構(gòu)產(chǎn)生模擬衍射信號(hào)，所述方法包括a)使用第一衍射級(jí)數(shù)目和二維結(jié)構(gòu)的假想輪廓產(chǎn)生第一模擬衍射信號(hào)；b)使用a)中產(chǎn)生所述第一模擬衍射信號(hào)所用的相同假想輪廓，用第二衍射級(jí)數(shù)目產(chǎn)生第二模擬衍射信號(hào)，其中所述第一衍射級(jí)數(shù)目和第二衍射級(jí)數(shù)目是不同的；c)比較所述第一模擬衍射信號(hào)和所述第二模擬衍射信號(hào)；d)基于在c)中對(duì)所述第一模擬衍射信號(hào)和第二模擬衍射信號(hào)的比較，來確定選擇所述第一衍射級(jí)數(shù)目還是所述第二衍射級(jí)數(shù)目。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第二衍射級(jí)數(shù)目比所述第 一衍射級(jí)數(shù)目更低，并且還包括對(duì)所述第二衍射級(jí)數(shù)目使用逐漸降低的衍射級(jí)數(shù)目，來重復(fù)a)到d)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第二衍射級(jí)數(shù)目比所述第 一衍射級(jí)數(shù)目更高，并且還包括對(duì)所述第二衍射級(jí)數(shù)目使用逐漸升高的衍射級(jí)數(shù)目，來重復(fù)a)到d)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括對(duì)所述第二衍射級(jí)數(shù)目使用隨機(jī)選擇的衍射級(jí)數(shù)目來重復(fù)a)到d)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，用在a)和b)中的所述假想輪廓 是從假想輪廓集合中選擇的，所述方法還包括對(duì)于所述假想輪廓集合中的每個(gè)假想輪廓重復(fù)a)到d)，以對(duì)于所述假 想輪廓集合中的每個(gè)假想輪廓選擇衍射級(jí)數(shù)目。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，還包括通過選擇最高的衍射級(jí)數(shù)目，或使用統(tǒng)計(jì)或平均算法，從為所述假想 輪廓集合中的假想輪廓選擇的所述衍射級(jí)數(shù)目中確定最優(yōu)選的衍射級(jí)數(shù) 目。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述假想輪廓集合通過以下方式選擇選擇一個(gè)或多個(gè)假想輪廓，所述一個(gè)或多個(gè)假想輪廓包括至少一個(gè)輪 廓參數(shù)，所述輪廓參數(shù)的值對(duì)應(yīng)于輪廓參數(shù)下限值；和/或選擇一個(gè)或多個(gè)假想輪廓，所述一個(gè)或多個(gè)假想輪廓包括至少一個(gè)輪 廓參數(shù)，所述輪廓參數(shù)的值對(duì)應(yīng)于輪廓參數(shù)上限值；和/或選擇一個(gè)或多個(gè)假想輪廓，所述一個(gè)或多個(gè)假想輪廓至少包括第一輪 廓參數(shù)，所述第一輪廓參數(shù)的值對(duì)應(yīng)于第一輪廓參數(shù)下限值，并選擇一個(gè) 或多個(gè)假想輪廓，所述一個(gè)或多個(gè)假想輪廓至少包括第二輪廓參數(shù)，所述 第二輪廓參數(shù)的值對(duì)應(yīng)于第二輪廓參數(shù)上限值；和/或選擇一個(gè)或多個(gè)假想輪廓，所述一個(gè)或多個(gè)假想輪廓包括至少一個(gè)輪 廓參數(shù)，所述輪廓參數(shù)的值對(duì)應(yīng)于輪廓參數(shù)標(biāo)稱值。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述假想輪廓集合通過以下方 法選擇選擇假想輪廓，所述假想輪廓包括高衍射信號(hào)靈敏度的輪廓參數(shù)變化。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述衍射信號(hào)包括波長集合， 并且還包括從所述波長集合中選擇波長子集；和重復(fù)a)到d)，從而為所述波長子集中的每個(gè)波長選擇衍射級(jí)數(shù)目。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，還包括使用為波長子集確定的波長數(shù)目，為所述波長子集中每個(gè)剩余波長確 定衍射級(jí)數(shù)目。
11. 一種為二維結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量選擇衍射級(jí)數(shù)目的方法，所述衍射級(jí) 數(shù)目用于衍射信號(hào)的波長集合的每個(gè)波長，其中，所述二維結(jié)構(gòu)的輪廓由 假想輪廓建模，所述假想輪廓通過輪廓參數(shù)定義，所述方法包括a) 從所述衍射信號(hào)的波長集合中選擇一個(gè)或多個(gè)波長的子集；b) 獲得所選擇的假想輪廓集合；c) 使用所選擇的假想輪廓集合和衍射級(jí)確定算法，來確定用于所選擇 的一個(gè)或多個(gè)波長的子集的所述衍射級(jí)數(shù)目；d)使用為所選擇的一個(gè)或多個(gè)波長的子集確定的衍射級(jí)數(shù)目，來確定 用于剩余波長的衍射級(jí)數(shù)目。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，還包括在a)之前，設(shè)定兩個(gè)或更多個(gè)終止條件；在d)之后，計(jì)算所述兩個(gè)或更多個(gè)終止條件；和如果沒有滿足所述兩個(gè)或更多個(gè)終止條件，那么在使被選擇到所述一 個(gè)或多個(gè)波長的子集中的至少一個(gè)波長、輪廓選擇、衍射級(jí)確定算法、和/ 或所述兩個(gè)或更多個(gè)終止條件中的至少一個(gè)終止條件改變之后，重復(fù)a)到 d)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中，所述兩個(gè)或更多個(gè)終止條件 包括模擬速度和衍射信號(hào)測(cè)量精確度。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中，所述衍射信號(hào)測(cè)量精確度是 用于測(cè)量所述衍射信號(hào)的光學(xué)計(jì)量裝置的精確度的百分?jǐn)?shù)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中，使被選擇到所述一個(gè)或多個(gè) 波長的子集中的至少一個(gè)波長、輪廓選擇、衍射級(jí)確定算法、和/或所述兩 個(gè)或更多終止條件中的至少一個(gè)終止條件改變的步驟包括改變臨界波長選擇以改變所選擇的臨界波長數(shù)目；和/或 改變輪廓選擇以改變所選擇的輪廓的分布；和/或 改變所述兩個(gè)或更多個(gè)終止條件，以調(diào)節(jié)所述衍射信號(hào)的模擬所需要 的時(shí)間；和/或改變所述衍射級(jí)確定算法。
16. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中a)包括 選擇計(jì)算出的伍德異常波長。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，還包括從用于對(duì)所述結(jié)構(gòu)進(jìn)行光學(xué)計(jì)量的波長范圍中選擇除了伍德異常波長 之外的一個(gè)或更多波長。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，還包括從用于對(duì)所述結(jié)構(gòu)進(jìn)行光學(xué)計(jì)量的波長范圍，選擇所述范圍的下限處 的一個(gè)或多個(gè)波長以及所述范圍的上限處的一個(gè)或多個(gè)波長。
19. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中b)包括使用數(shù)學(xué)算法以選擇所述假想輪廓集合。
20. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，所述數(shù)學(xué)算法為隨機(jī)發(fā)生器。
21. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中b)包括選擇一個(gè)或更多個(gè)假想輪廓，所述一個(gè)或更多個(gè)假想輪廓包括至少一個(gè)輪廓參數(shù)，所述輪廓參數(shù)的值對(duì)應(yīng)于輪廓參數(shù)下限值；和/或選擇一個(gè)或更多個(gè)假想輪廓，所述一個(gè)或更多個(gè)假想輪廓包括至少一 個(gè)輪廓參數(shù)，所述輪廓參數(shù)的值對(duì)應(yīng)于輪廓參數(shù)上限值；和/或選擇一個(gè)或更多個(gè)假想輪廓，所述一個(gè)或更多個(gè)假想輪廓包括至少一 個(gè)第一輪廓參數(shù)，所述第一輪廓參數(shù)的值對(duì)應(yīng)于第一輪廓參數(shù)下限值，并 選擇一個(gè)或更多個(gè)假想輪廓，所述一個(gè)或更多個(gè)假想輪廓包括至少一個(gè)第 二輪廓參數(shù)，所述第二輪廓參數(shù)的值對(duì)應(yīng)于第二輪廓參數(shù)上限值；和/或選擇一個(gè)或更多個(gè)假想輪廓，所述一個(gè)或更多個(gè)假想輪廓包括至少一 個(gè)輪廓參數(shù)，所述輪廓參數(shù)的值對(duì)應(yīng)于輪廓參數(shù)標(biāo)稱值。
22. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中b)包括 選擇輪廓，所述輪廓包括高衍射靈敏度的輪廓參數(shù)變化。
23. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中c)包括 dl)確定一個(gè)或更多個(gè)收斂條件；d2)使用開始衍射級(jí)數(shù)目，以及所選擇的假想輪廓集合中的假想輪廓 之一，來計(jì)算參考模擬衍射信號(hào)；d3)使用開始衍射級(jí)數(shù)目確定修訂的衍射級(jí)數(shù)目；d4)使用所述修訂的衍射級(jí)數(shù)目和在d2)中用于計(jì)算所述參考模擬衍射 信號(hào)的所述假想輪廓，來計(jì)算新的模擬衍射信號(hào)；d5)使用所述參考模擬衍射信號(hào)和所述新的模擬衍射信號(hào)，來確定所 述一個(gè)或更多個(gè)收斂條件是否被滿足；d6)重復(fù)步驟dl)、 d2)、 d3)、 d4)和d5)，直到所述一個(gè)或更多個(gè)收斂 條件被滿足。
24. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，還包括為每個(gè)所選擇的波長的子集選擇使用所述假想輪廓集合確定的最高衍 射級(jí)數(shù)目。
25. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中d)包括基于使用內(nèi)插算法為所述子集中兩個(gè)或更多個(gè)波長確定的衍射級(jí)數(shù) 目，為所述波長集合中剩余的波長計(jì)算衍射級(jí)數(shù)目。
26. 根據(jù)權(quán)利要求25所述的方法，其中所述內(nèi)插算法包括線性插值 法、多項(xiàng)式插值法、二次插值法或三次插值法。
27. —種對(duì)用于二維結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化的方法，所述方法 包括a) 使用兩個(gè)或更多個(gè)終止條件，為對(duì)衍射信號(hào)進(jìn)行模擬時(shí)所用的每個(gè) 波長的衍射級(jí)數(shù)目進(jìn)行優(yōu)化；b) 開發(fā)二維結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量模型；c) 使用為每個(gè)波長優(yōu)化的衍射級(jí)數(shù)目，對(duì)所述二維結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量模 型進(jìn)行優(yōu)化，所述光學(xué)計(jì)量模型具有輪廓參數(shù)；d) 使用計(jì)量裝置獲得經(jīng)所述二維結(jié)構(gòu)衍射的測(cè)得衍射信號(hào)；e) 使用所述測(cè)得衍射信號(hào)和所述優(yōu)化的光學(xué)計(jì)量模型，確定所述二維 結(jié)構(gòu)的一個(gè)或更多個(gè)輪廓參數(shù)。
28. 根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中，所述兩個(gè)或更多個(gè)終止條件 包括所述衍射信號(hào)的模擬速度和/或模擬衍射信號(hào)的精確度。
29. 根據(jù)權(quán)利要求28所述的方法，其中，所述模擬衍射信號(hào)的精確度 被表示為所述計(jì)量裝置的衍射測(cè)量的精確度的函數(shù)。
30. 根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中，實(shí)時(shí)地執(zhí)行對(duì)所述二維結(jié)構(gòu) 的一個(gè)或更多個(gè)輪廓參數(shù)的確定。
31. 根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中，確定所述二維結(jié)構(gòu)的一個(gè)或 更多個(gè)輪廓參數(shù)利用了庫，所述庫包括模擬衍射信號(hào)以及相應(yīng)輪廓參數(shù)的 對(duì)。
32. 根據(jù)權(quán)利要求31所述的方法，其中，所述庫和所述光學(xué)計(jì)量系統(tǒng) 與半導(dǎo)體制造單元被集成到一起。
33. —種用于二維結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括衍射級(jí)數(shù)目?jī)?yōu)化器，其被設(shè)置為對(duì)經(jīng)二維結(jié)構(gòu)衍射的衍射信號(hào)進(jìn)行模 擬時(shí)所用的每個(gè)波長的衍射級(jí)數(shù)目進(jìn)行優(yōu)化；光學(xué)計(jì)量裝置，用于測(cè)量經(jīng)所述二維結(jié)構(gòu)衍射的衍射信號(hào)；光學(xué)計(jì)量模型優(yōu)化器，其被耦合于所述衍射級(jí)數(shù)目?jī)?yōu)化器和所述光學(xué) 計(jì)量裝置，所述光學(xué)計(jì)量模型優(yōu)化器被設(shè)置為為所述二維結(jié)構(gòu)開發(fā)光學(xué)計(jì)量模型，所述光學(xué)計(jì)量模型具有輪廓參數(shù)；優(yōu)化所述二維結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量模型的輪廓參數(shù)；使用經(jīng)所述二維結(jié)構(gòu)的衍射信號(hào)來確定所述二維結(jié)構(gòu)的一個(gè)或更多個(gè) 輪廓參數(shù)；使用所述二維結(jié)構(gòu)的優(yōu)化的計(jì)量模型計(jì)算模擬衍射信號(hào)。
34. 根據(jù)權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其中，所述衍射級(jí)數(shù)目?jī)?yōu)化器利用 兩個(gè)或更多個(gè)終止條件，所述兩個(gè)或更多個(gè)終止條件包括模擬速度和/或所 述模擬衍射信號(hào)的精確度。
35. 根據(jù)權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其中，所述光學(xué)計(jì)量裝置為散射儀。
36. 根據(jù)權(quán)利要求35所述的系統(tǒng)，其中，所述散射儀為反射計(jì)或偏振 光橢圓率測(cè)量?jī)x。
37. 根據(jù)權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其中，所述光學(xué)計(jì)量模型優(yōu)化器還 被設(shè)置為產(chǎn)生模擬衍射信號(hào)以及相應(yīng)輪廓參數(shù)集合的對(duì)的庫。
38. 根據(jù)權(quán)利要求37所述的系統(tǒng)，還包括輪廓應(yīng)用服務(wù)器，其被設(shè)置為使用所述模擬衍射信號(hào)以及相應(yīng)輪廓參 數(shù)集合的對(duì)的庫，從測(cè)得衍射信號(hào)確定一個(gè)或更多個(gè)輪廓參數(shù)。
39. —種計(jì)算機(jī)可讀的存儲(chǔ)媒介，包括用于在光學(xué)計(jì)量中為二維結(jié)構(gòu) 產(chǎn)生模擬衍射信號(hào)所用的所述衍射級(jí)數(shù)目進(jìn)行選擇的計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令， 包括用于下述步驟的指令a) 使用第一衍射級(jí)數(shù)目和所述二維結(jié)構(gòu)的假想輪廓產(chǎn)生第一模擬衍射 信號(hào)；b) 使用與a)中用于產(chǎn)生所述第一模擬衍射信號(hào)的相同的假想輪廓，用第二衍射級(jí)數(shù)目產(chǎn)生第二模擬衍射信號(hào)，其中所述第一和第二衍射級(jí)是不同的；c) 比較所述第一模擬衍射信號(hào)和所述第二模擬衍射信號(hào)；和d) 基于c)中對(duì)所述第一模擬衍射信號(hào)和第二模擬衍射信號(hào)的比較，確 定選擇所述第一衍射級(jí)數(shù)目還是所述第二衍射級(jí)數(shù)目。
40. —種計(jì)算機(jī)可讀的存儲(chǔ)媒介，包括用于為二維結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量的 衍射信號(hào)波長集合中的每個(gè)波長的衍射級(jí)數(shù)目進(jìn)行選擇的計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指 令，其中，所述二維結(jié)構(gòu)有由假想輪廓建模的輪廓，所述假想輪廓由輪廓 參數(shù)定義，所述存儲(chǔ)媒介包括用于下述步驟的指令a) 從所述衍射信號(hào)的波長集合中選擇一個(gè)或更多個(gè)波長的子集；b) 獲得選擇的假想輪廓集合；c) 使用所選擇的假想輪廓集合和衍射級(jí)確定算法，確定用于所選擇的 一個(gè)或更多波長的子集中每個(gè)波長的衍射級(jí)數(shù)目；和d) 使用為所述一個(gè)或多個(gè)波長的子集確定的衍射級(jí)數(shù)目，來確定用于 波長集合中剩余波長的衍射級(jí)數(shù)目。
41. 一種計(jì)算機(jī)可讀的存儲(chǔ)媒介，包括用于優(yōu)化二維結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量 系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令，包括用于下述步驟的指令a) 使用兩個(gè)或更多個(gè)終止條件，為對(duì)衍射信號(hào)進(jìn)行模擬時(shí)使用的每個(gè) 波長所用的衍射級(jí)數(shù)目進(jìn)行優(yōu)化；b) 開發(fā)二維結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量模型；c) 使用用于每個(gè)波長的經(jīng)優(yōu)化的衍射級(jí)數(shù)目，優(yōu)化所述二維結(jié)構(gòu)的光 學(xué)計(jì)量模型；d) 使用計(jì)量裝置獲得經(jīng)所述二維結(jié)構(gòu)的測(cè)得衍射信號(hào)；e) 使用所述測(cè)得衍射信號(hào)和所優(yōu)化的光學(xué)計(jì)量模型，來確定所述二維 結(jié)構(gòu)的一個(gè)或更多個(gè)輪廓參數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種選擇衍射級(jí)數(shù)目的方法，所述衍射級(jí)數(shù)目用于在光學(xué)計(jì)量中為二維結(jié)構(gòu)產(chǎn)生模擬的衍射信號(hào)，通過使用第一衍射級(jí)數(shù)目和二維結(jié)構(gòu)的假想輪廓產(chǎn)生第一模擬衍射信號(hào)。使用第二衍射級(jí)數(shù)目和與產(chǎn)生所述第一模擬衍射信號(hào)相同的假想輪廓以產(chǎn)生第二模擬衍射信號(hào)，其中第一衍射級(jí)數(shù)目和第二衍射級(jí)數(shù)目是不同的。比較所述第一模擬衍射信號(hào)和第二模擬衍射信號(hào)?；趯?duì)所述第一模擬衍射信號(hào)和第二模擬衍射信號(hào)的比較，確定選擇第一衍射級(jí)數(shù)目還是第二衍射級(jí)數(shù)目。
文檔編號(hào)G01B11/14GK101410692SQ200780010518
公開日2009年4月15日 申請(qǐng)日期2007年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月24日
發(fā)明者斯里尼瓦斯·杜迪, 李世芳, 文 金 申請(qǐng)人:音質(zhì)技術(shù)公司