專(zhuān)利名稱：光電倍增管和放射線檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光電倍增管和放射線檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
以往，在具有反射型最末層倍增極的光電倍增管中，利用層疊了多 個(gè)倍增極而成的電極層疊部對(duì)由設(shè)在真空容器的一側(cè)的光電面發(fā)射出的 電子進(jìn)行倍增，并進(jìn)一步利用反射型最末層倍增極對(duì)該倍增后的電子向 反射方向倍增，用設(shè)置在反射型最末層倍增極的光電面?zhèn)鹊年?yáng)極進(jìn)行檢 測(cè)。在這樣的光電倍增管中，存在在各倍增極和陽(yáng)極之間夾裝絕緣體、 使其隔開(kāi)預(yù)定的間隔層疊的光電倍增管(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。并且， 存在將各倍增極和陽(yáng)極分別與提供電位的芯柱腳連接的例子(例如參照
專(zhuān)利文獻(xiàn)2、 3)。
專(zhuān)利文獻(xiàn)l:日本特開(kāi)平6-310085號(hào)公報(bào)(第3頁(yè)，第4圖) 專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)平11-3677號(hào)公報(bào)(第3頁(yè)，第l圖) 專(zhuān)利文獻(xiàn)3:日本特開(kāi)2003-338260號(hào)公報(bào)(第2 5頁(yè)，第3圖) 在上述的光電倍增管中，具有層疊各電極而成的層疊結(jié)構(gòu)，因此期
望提高耐震性，并且期望降低被檢測(cè)的信號(hào)中包含的噪聲。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠提高耐震性并且降低噪聲的 光電倍增管以及使用該光電倍增管的放射線檢測(cè)裝置。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的光電倍增管在具有構(gòu)成一側(cè)端部的受 光面板和構(gòu)成另一側(cè)端部的芯柱的真空容器內(nèi)具備光電面，其將通過(guò) 受光面板入射的入射光轉(zhuǎn)換為電子；電子倍增部，其使光電面發(fā)射出的 電子倍增；以及電子檢測(cè)部，其根據(jù)電子倍增部倍增后的電子送出輸出信號(hào)，其特征在于，電子倍增部層疊有多層倍增極，電子檢測(cè)部具有配 置在最末層的第一倍增極和第一倍增極的前一層的第二倍增極之間的陽(yáng) 極，在芯柱上設(shè)有由導(dǎo)電體形成的支承單元，所述支承單元以使陽(yáng)極從 第一倍增極離開(kāi)的方式載置陽(yáng)極，陽(yáng)極和第二倍增極隔著由絕緣體形成 的層間體而層疊。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，陽(yáng)極載置在導(dǎo)電體的支承單元上，并且與最末層的 第一倍增極之間沒(méi)有隔著絕緣體，因此能夠防止由電子與絕緣體碰撞產(chǎn) 生的發(fā)光而引起的噪聲。并且，由于設(shè)有支承單元，因此能夠提高耐震 性。
此時(shí)，優(yōu)選在芯柱的靠光電面?zhèn)鹊拿嫔显O(shè)有由絕緣體形成的支承凸 起，第一倍增極載置在支承凸起上。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，由于作為最末層的倍增極的第一倍增極載置在由絕 緣體形成的支承凸起上，因此能夠提高電極層疊方向的各倍增極的位置 精度。并且，由于能夠利用支承凸起較多地確保芯柱腳或側(cè)管與第一倍 增極之間的沿面距離，因此能夠防止沿面放電。
在上述光電倍增管中，優(yōu)選層間體和支承單元同軸配置。根據(jù)這種 結(jié)構(gòu)，能夠在電極層疊方向上施加壓力來(lái)對(duì)電極進(jìn)行固定，能夠提高耐 震性。
此處，優(yōu)選在第一倍增極上形成有與支承凸起嵌合的嵌合部。根據(jù) 這種結(jié)構(gòu)，配置第一倍增極時(shí)的定位變得容易，能夠提高電極面內(nèi)的位 置精度。
另外，優(yōu)選在第一倍增極上形成有切口，支承單元貫穿由于切口而 切成的區(qū)域內(nèi)。這樣，通過(guò)設(shè)置切口從而支承單元和第一倍增極不接觸， 能夠確保第一倍增極的有效面積，并且能夠使支承單元和第一倍增極電 分離。
如果在上述任一種光電倍增管的受光面板的外側(cè)設(shè)置將放射線轉(zhuǎn)換 為光并輸出的閃爍器，則能夠得到發(fā)揮上述作用的合適的放射線檢測(cè)裝 置。
根據(jù)本發(fā)明的光電倍增管和放射線檢測(cè)裝置，能夠提供耐震性高、并且降低了噪聲的光電倍增管和放射線檢測(cè)裝置。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的放射線檢測(cè)裝置1的示意剖面圖。
圖2是光電倍增管10的局部放大圖。
圖3是從z軸方向上方觀察芯柱50的概觀圖。
圖4是從z軸方向上方觀察倍增極DylO的概觀圖。
圖5是從z軸方向上方觀察陽(yáng)極25的概觀圖。
圖6是陽(yáng)極25的俯視圖。
圖7是從z軸方向上方觀察倍增極Dy9的概觀圖。 圖8是倍增極Dy9的俯視圖。
圖9是本發(fā)明的變形例的放射線檢測(cè)裝置100的概觀剖面圖。
圖10是圖9的局部放大圖符號(hào)說(shuō)明
1:放射線檢測(cè)裝置；3:閃爍器；5:入射面；7:輸出面；10:光 電倍增管；13:受光面板；14:光電面；15:側(cè)管；18:真空容器；15a、 37a:凸緣部；21:支承部件；23:層間體；27:陽(yáng)極腳；31:定位用凸 起；32:嵌合部；33:襯墊；35:芯柱腳；37:環(huán)狀側(cè)管；50:芯柱； 50a:凹部；51:基體材料；53:上側(cè)按壓材料；53a:內(nèi)側(cè)面；55:下 側(cè)按壓材料。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1 圖8是示出 本發(fā)明的第一實(shí)施方式的放射線檢測(cè)裝置的圖。在各圖中，對(duì)實(shí)質(zhì)上相 同的部分賦予相同的標(biāo)號(hào)，省略重復(fù)說(shuō)明。另外，在以下的說(shuō)明中，"上"、 "下"等用語(yǔ)是基于圖面所示的狀態(tài)為了方便而使用的。
圖1是放射線檢測(cè)裝置1的示意剖面圖，圖2是光電倍增管10的局 部放大圖。如圖1、圖2所示，放射線檢測(cè)裝置1是對(duì)入射的放射線進(jìn)行
檢測(cè)并作為信號(hào)輸出的裝置，其具有將入射的放射線轉(zhuǎn)換為光并輸出的閃爍器(scintillator) 3;以及將入射的光轉(zhuǎn)換為電子并倍增后進(jìn)行檢測(cè) 的光電倍增管10。光電倍增管IO具有截面為大致圓形的管狀形狀，設(shè)管 軸的方向?yàn)閦軸、圖l的橫軸為x軸、與圖1的紙面垂直的軸為y軸。
閃爍器3在z軸方向一端側(cè)具有入射面5，在另一端側(cè)具有輸出面7， 該閃爍器3呈大致圓筒形狀。從入射面5側(cè)入射的放射線在閃爍器3的 內(nèi)部被轉(zhuǎn)換為光并在閃爍器3內(nèi)傳輸，從輸出面7側(cè)被輸出。光電倍增 管10連接在閃爍器3的輸出面7側(cè)，閃爍器3的中心軸和光電倍增管10 的管軸大致同軸地設(shè)置。
在光電倍增管10中，通過(guò)氣密地連接和固定下述部件而形成真空容 器18:構(gòu)成Z軸方向一側(cè)端部的受光面板13;構(gòu)成另一側(cè)端部的芯柱50; 設(shè)在芯柱50的周緣部的環(huán)狀側(cè)管37;以及形成筒形形狀的側(cè)管15。在 光電倍增管10的真空容器18內(nèi)部配置有電子倍增部，其具有聚焦電 極17和多個(gè)倍增極Dyl DylO;以及電子檢測(cè)部，其具有對(duì)電子進(jìn)行檢 測(cè)并將其作為信號(hào)輸出的陽(yáng)極25。
受光面板13是例如由玻璃形成的大致圓形的板狀形狀，在其內(nèi)部 側(cè)、即z軸方向下面?zhèn)?，設(shè)有將入射光轉(zhuǎn)換為電子的光電面14。光電面 14是例如通過(guò)使堿金屬蒸氣與預(yù)先蒸鍍過(guò)的銻反應(yīng)而形成。光電面14設(shè) 置在受光面板13的內(nèi)部側(cè)的大致整個(gè)面上，將從閃爍器3輸出并通過(guò)受 光面板13入射來(lái)的光轉(zhuǎn)換為電子并發(fā)射。
側(cè)管15具有例如由金屬形成的大致圓筒形形狀，構(gòu)成光電倍增管 10的側(cè)面。側(cè)管15被供給與光電面14相同的電位。在側(cè)管15的下端部 形成有凸緣部15a。設(shè)在側(cè)管15的下方的環(huán)狀側(cè)管37具有例如由金屬形 成的大致圓筒形形狀。環(huán)狀側(cè)管37以包圍芯柱50的側(cè)方的方式氣密地 固定。環(huán)狀側(cè)管37的上端部形成凸緣部37a。
在側(cè)管15的一端部固定有受光面板13，另一端部的凸緣部15a與環(huán) 狀側(cè)管37的凸緣部37a被焊接，從而側(cè)管15和環(huán)狀側(cè)管37相互氣密地 固定。另外，環(huán)狀側(cè)管37和芯柱50相互氣密地固定，從而形成真空容 器18。
如圖1所示，芯柱50由基體材料51、接合在基體材料51的上側(cè)(真空容器18的內(nèi)側(cè))的上側(cè)按壓材料53以及接合在基體材料51的下側(cè)(真 空容器18的外側(cè))的下側(cè)按壓材料55形成3層結(jié)構(gòu)。
基體材料51是由例如以科瓦鐵鎳鈷合金(Kovar)為主要成分的絕 緣性玻璃構(gòu)成的圓板狀的部件，呈現(xiàn)來(lái)自下面?zhèn)鹊墓獠粫?huì)透射至真空容 器18內(nèi)的程度的黑色。上側(cè)按壓材料53是由通過(guò)在科瓦鐵鎳鈷合金中 添加例如氧化鋁系粉末從而熔點(diǎn)比基體材料51高的絕緣性玻璃構(gòu)成的圓 板狀的部件，形成為黑色以有效地吸收真空容器18內(nèi)的發(fā)光。下側(cè)按壓 材料55與上側(cè)按壓材料53同樣，也是由通過(guò)在科瓦鐵鎳鈷合金中添加 例如氧化鋁系粉末從而熔點(diǎn)比基體材料51高的絕緣性玻璃構(gòu)成的圓板狀 的部件，由于添加的氧化鋁系粉末的組成不同而呈現(xiàn)白色，并且具有比 基體材料51和上側(cè)按壓材料53高的物理強(qiáng)度。
圖3是從z軸方向上方觀察芯柱50的概觀圖。如圖l、圖3所示， 在芯柱50中，氣密地貫穿有在周方向上相互間隔地配置在大致圓狀的位 置上的多個(gè)芯柱腳35。因此，在形成芯柱50的基體材料51、上側(cè)按壓 材料53以及下側(cè)按壓材料55中，在貫穿有芯柱腳35的位置分別形成有 開(kāi)口。
在芯柱50中，在基體材料51的兩面上緊密接合有上側(cè)按壓材料53 和下側(cè)按壓材料55。此時(shí)，設(shè)在基體材料51、上側(cè)按壓材料53以及下 側(cè)按壓材料55上的多個(gè)開(kāi)口在各自的軸中心對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下重疊并接合。 并且，形成于上側(cè)按壓材料53和下側(cè)按壓材料55上的開(kāi)口的直徑形成 為比形成于基體材料51上的開(kāi)口的直徑大。當(dāng)使各芯柱腳35貫穿于該 開(kāi)口中時(shí)，在芯柱50中的上側(cè)按壓材料53和下側(cè)按壓材料55的各芯柱 腳35的貫穿部的整個(gè)周?chē)纬捎幸曰w材料51為底面的凹部50a。各芯 柱腳35通過(guò)基體材料51的熔融而熔接接合在該凹部50a中。
各芯柱腳35由導(dǎo)電性材料形成，如上所述那樣貫穿并固定在芯柱 50中，并且向z軸上方延伸，與預(yù)定的電極連接。芯柱腳35形成為與連 接的電極的位置對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度。
另外，形成于上側(cè)按壓材料53和下側(cè)按壓材料55上的上述凹部中 的至少2處(在本實(shí)施方式中為3處)形成大口徑的凹部50b，從而在組裝芯柱50時(shí)定位夾具能夠進(jìn)入基體材料51。另外，在內(nèi)側(cè)面53a(參照 圖1)上設(shè)有供陽(yáng)極腳27貫穿的凹部50c，陽(yáng)極腳27通過(guò)基體材料51 的熔融而熔接接合在該凹部50c中。
如圖2、圖3所示，在上側(cè)按壓材料53的靠真空容器18內(nèi)側(cè)的芯 柱內(nèi)側(cè)面53a上，設(shè)有作為載置倍增極DylO的支承凸起的定位用凸起 31。定位用凸起31由與上側(cè)按壓材料53相同的絕緣性玻璃形成，如圖2 所示，定位用凸起31與設(shè)在倍增極DylO的芯柱50側(cè)的面上的嵌合部 32嵌合。并且，在內(nèi)側(cè)面53a上，設(shè)有同樣作為載置最末層的倍增極DylO 的支承凸起的多個(gè)襯墊(spacer) 33。襯墊33由與芯柱50的上側(cè)按壓材 料53相同的絕緣性玻璃形成，在本實(shí)施方式中設(shè)有3處。
并且，在內(nèi)側(cè)面53a上，作為載置陽(yáng)極25的支承單元，立起設(shè)置有 多個(gè)支承部件21。在本實(shí)施方式中，支承部件21在內(nèi)側(cè)面53a的周方向 上在間隔卯度的位置上設(shè)有4處。支承部件21由導(dǎo)電體形成，例如， 如圖2的剖面所示，由載置部20和支承部22構(gòu)成。載置部20和支承部 22形成圓柱形狀，載置部20的直徑形成為比支承部22的直徑大，并且 載置部20和支承部22同軸地連接。對(duì)于支承部件21，其支承部22配置 在芯柱內(nèi)側(cè)面53a側(cè)，其載置部20配置在陽(yáng)極25側(cè)，穩(wěn)定地支承陽(yáng)極 25。
圖4是從z軸方向上方觀察倍增極DylO的概觀圖。如圖4所示，倍 增極DylO是在芯柱50的z軸方向上部離開(kāi)且大致平行地對(duì)置設(shè)置的第 一倍增極，是大致整個(gè)面都具有電子倍增功能的平板狀電極。在倍增極 DylO的與定位用凸起31相當(dāng)?shù)牟糠中纬捎心軌蚺c定位用凸起31抵接的 突出部41。在突出部41的靠芯柱50側(cè)的面上，如上所述設(shè)有嵌合部32， 與定位用凸起31嵌合并利用激光焊接等接合，確定倍增極DylO在xy平 面內(nèi)的位置。在倍增極DylO的與襯墊33相當(dāng)?shù)牟糠中纬捎心軌蚺c襯墊 33抵接的突出部34。
這樣，定位用凸起31與突出部41的嵌合部32接合，并且襯墊33 載置突出部34，由此載置倍增極DylO整體。倍增極DylO被載置在這些 定位用凸起31和襯墊33上，由此在與內(nèi)側(cè)面53a離開(kāi)的狀態(tài)下在x、 y、Z軸的所有方向上被定位。
在倍增極DylO的角部的4處，為了避免與支承部件21接觸而設(shè)有 切口 29。在倍增極DylO的與芯柱腳35相當(dāng)?shù)牟糠中纬捎型怀霾?6。倍 增極DylO與芯柱腳35連接并被提供比倍增極Dy9高且比陽(yáng)極25低的 預(yù)定的電位。
圖5是從z軸方向上方觀察陽(yáng)極25的概觀圖，圖6是陽(yáng)極25的俯 視圖。如圖5、圖6所示，陽(yáng)極25是在y方向上形成有用于使電子通過(guò) 的多個(gè)狹縫26的大致矩形的薄板型電極，對(duì)從倍增極DylO發(fā)射出的電 子進(jìn)行檢測(cè)。陽(yáng)極25以大致覆蓋倍增極DylO的方式配置，利用4處的 角部載置在支承部件21的載置部20上。由此，陽(yáng)極25在z軸方向被定 位，與倍增極DylO的z軸方向上部離開(kāi)并大致平行地對(duì)置配置在倍增極 DylO的z軸方向上部。在陽(yáng)極25的與陽(yáng)極腳27相當(dāng)?shù)牟糠中纬捎型怀?部28而與陽(yáng)極腳27連接，被提供預(yù)定的電位，并且輸出檢測(cè)到的信號(hào)。
圖7是從z軸方向上方觀察倍增極Dy9的概觀圖，圖8是倍增極Dy9 的俯視圖。在圖7中，省略了陽(yáng)極25的狹縫26。如圖7、圖8所示，倍 增極Dy9是大致矩形的薄板型電極，在xz平面中的截面為具有凹凸的預(yù) 定形狀(未圖示)且在yz平面中的截面呈棒狀的電子倍增片30相互離 開(kāi)且平行地排列，在鄰接的電子倍增片30之間形成有在y軸方向延伸的 狹縫狀的電子倍增孔30a。
倍增極Dy9是以大致覆蓋陽(yáng)極25的方式配置的第二倍增極，通過(guò)將 4處的角部載置在層間體23上來(lái)支承整體，以與陽(yáng)極25離開(kāi)且大致平行 地對(duì)置的方式配置在z軸方向上方。該層間體23是在z軸方向上與支承 部件21同軸地配置的絕緣性部件，使用球形、上下面中央部具有凸部的 圓盤(pán)形狀等。此時(shí)，也可以在倍增極Dy9上設(shè)置在z軸方向上凹陷的嵌 合部以容易固定層間體23。并且，在倍增極Dy9上形成有突出部36，該 突出部36與芯柱腳35連接并被提供預(yù)定的電位。
倍增極Dy8 Dyl是與倍增極Dy9同樣具有電子倍增片的薄板型電 極，并經(jīng)由與支承部件21同軸地配置的層間體23，從芯柱50側(cè)依次相 互離開(kāi)并大致平行地對(duì)置而層疊配置。并且，分別在預(yù)定位置形成有突出部36，與芯柱腳35連接并被提供預(yù)定的電位。并且，倍增極Dy9 Dyl通過(guò)芯柱腳35被提供從光電面14側(cè)朝向芯柱50側(cè)依次增高的電位。
在倍增極Dyl的光電面14側(cè)，隔著層間體23配置有聚焦電極17。 聚焦電極17與芯柱腳35連接，被提供與光電面14相同的電位。聚焦電 極17是具有在y軸方向延伸的多個(gè)聚焦片、并且鄰接的聚焦片之間形成 狹縫狀的倍增孔用開(kāi)口部的薄板型電極，聚焦電極17不具有電子倍增區(qū) 域。聚焦電極17對(duì)從光電面14發(fā)射出的電子進(jìn)行會(huì)聚，使其高效地入 射至倍增極Dyl的電子倍增區(qū)域。
在如上所述構(gòu)成的本實(shí)施方式的放射線檢測(cè)裝置1中，當(dāng)放射線入 射至閃爍器3的入射面5時(shí)，在輸出面7側(cè)輸出與入射的放射線對(duì)應(yīng)的 光。當(dāng)閃爍器3輸出的光入射至光電倍增管10的受光面板13時(shí)，光電 面14發(fā)射出與入射的光對(duì)應(yīng)的電子。與光電面14對(duì)置設(shè)置的聚焦電極 17對(duì)從光電面14發(fā)射出的電子進(jìn)行會(huì)聚，并使其入射至倍增極Dyl。倍 增極Dyl對(duì)入射的電子進(jìn)行倍增，并發(fā)射至下層倍增極Dy2側(cè)。這樣通 過(guò)倍增極Dyl Dy9依次倍增后的電子穿過(guò)陽(yáng)極25的狹縫并由倍增極 DylO進(jìn)一步向反射方向倍增而到達(dá)陽(yáng)極25。陽(yáng)極25對(duì)到達(dá)的電子進(jìn)行 檢測(cè)，經(jīng)由陽(yáng)極腳27作為信號(hào)輸出至外部。
如以上詳細(xì)說(shuō)明了的那樣，根據(jù)本實(shí)施方式的放射線檢測(cè)裝置1， 能夠?qū)θ肷渲灵W爍器3的放射線進(jìn)行檢測(cè)，并將其作為信號(hào)輸出至外部。
由平板狀的倍增極DylO反射并倍增后的電子正好是被最大程度地 倍增后的電子，從而該電子的發(fā)射的空間性擴(kuò)展變大。因此，如果在陽(yáng) 極25 —倍增極DylO之間存在絕緣體，則有可能電子與絕緣體碰撞而發(fā) 光，該發(fā)光到達(dá)光電面14從而產(chǎn)生模擬信號(hào)(噪聲)。但是，在上述放 射線檢測(cè)裝置1所使用的光電倍增管10中，陽(yáng)極25被載置在導(dǎo)電體的 支承部件21上，并且在與作為最末層倍增極的倍增極DylO之間沒(méi)有夾 裝絕緣體，因此能夠防止基于電子與絕緣體碰撞產(chǎn)生的發(fā)光而產(chǎn)生噪聲。 并且，由于將陽(yáng)極25載置在構(gòu)成支承部件21的載置部20上，層間體23 在z軸方向上與支承部件21同軸配置來(lái)支承各電極，因此能夠在電極層 疊方向上施加壓力來(lái)固定各電極，能夠提高耐震性，并且能夠提高電極
ii層疊方向上的位置精度。
由于倍增極DylO被載置在作為支承凸起的定位用凸起31和襯墊33 上，因此能夠提高倍增極DylO在z軸方向上的位置精度。并且，在倍增 極DylO的芯柱50側(cè)形成有嵌合部32，以與定位用凸起31嵌合，從而 倍增極DylO在xy平面內(nèi)的定位變得容易，能夠提高電極面內(nèi)(xy面內(nèi)) 的位置精度。另外，由于能夠利用定位用凸起31較多地確保倍增極DylO 與各芯柱腳以及側(cè)管15之間的沿面距離，因此具有防止沿面放電的效果。
由于在倍增極DylO上設(shè)有切口 29而不與支承部件21接觸，因此能 夠?qū)](méi)有切口 29的所有區(qū)域作為電子倍增區(qū)域，能夠確保倍增極DylO 的有效面積，同時(shí)能夠使支承單元21和倍增極DylO電分離。
其次， 一邊參照?qǐng)D9、圖10， 一邊對(duì)變形例進(jìn)行說(shuō)明。在本變形例 中，對(duì)與上述實(shí)施方式實(shí)質(zhì)上相同的結(jié)構(gòu)賦予相同的標(biāo)號(hào)，并省略說(shuō)明。 圖9是作為變形例的放射線檢測(cè)裝置100的示意剖面圖，圖10是圖9的 A部分的放大圖。
如圖9、圖10所示，在本變形例中，陽(yáng)極25被載置并支承在代替 第一實(shí)施方式中的支承部件21的支承部件121上。支承部件121由載置 部123和支承部125構(gòu)成。載置部123和支承部125都形成圓柱形狀， 載置部123的直徑構(gòu)成為比支承部125的直徑大。并且，支承部125的z 方向中心軸為軸63，而載置部123的中心軸比支承部125的軸63向光電 倍增管10的中心側(cè)偏移。
倍增極Dyl Dy9以及聚焦電極17隔著層間體23層疊，但是層間 體23的中心軸61與支承部件121的中心軸63不一致。從確保相對(duì)于層 疊方向的強(qiáng)度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選中心軸61和中心軸63同軸，但是如果 使支承部件121的形狀，特別是載置部123的強(qiáng)度、大小、支承部122 的長(zhǎng)度等變化，則能夠像本實(shí)施例這樣使用不同軸的結(jié)構(gòu)。其它的結(jié)構(gòu)、 動(dòng)作、效果都與第一實(shí)施方式的放射線檢測(cè)裝置l相同，因此省略說(shuō)明。
另外，本發(fā)明的放射線檢測(cè)裝置不限于上述的實(shí)施方式，在不脫離 本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)當(dāng)然能夠?qū)嵤└鞣N變更。
例如，芯柱50的結(jié)構(gòu)為上側(cè)按壓材料53、基體材料51、下側(cè)按壓材料55的3層結(jié)構(gòu)，但是也可以是其它的結(jié)構(gòu)。下側(cè)按壓材料55的z 軸方向下側(cè)(真空容器18的外側(cè))的面比環(huán)狀側(cè)管37的下端更向下側(cè) 突出，但是芯柱50相對(duì)于環(huán)狀側(cè)管37的固定位置不限于上述方式。
支承部件21、 121的形狀不限于上述形狀，只要能夠載置陽(yáng)極25， 也可以是多角柱等其它形狀。
各倍增極Dyl Dy10的外形不限于上述外形，也可以是近似于圓形 的形狀等其它形狀。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
本發(fā)明的放射線檢測(cè)裝置能夠利用于醫(yī)療用的圖像診斷裝置等中。
權(quán)利要求
1、一種光電倍增管(10)，所述光電倍增管(10)在具有構(gòu)成一側(cè)端部的受光面板(13)和構(gòu)成另一側(cè)端部的芯柱(50)的真空容器(18)內(nèi)具備光電面(14)，其將通過(guò)所述受光面板(13)入射的入射光轉(zhuǎn)換為電子；電子倍增部，其使所述光電面(14)發(fā)射出的電子倍增；以及電子檢測(cè)部，其根據(jù)所述電子倍增部倍增后的電子送出輸出信號(hào)，其特征在于，所述電子倍增部層疊有多層倍增極(Dy1～Dy10)，所述電子檢測(cè)部具有配置在最末層的第一倍增極(Dy10)和所述第一倍增極(Dy10)的前一層的第二倍增極(Dy9)之間的陽(yáng)極(25)，在所述芯柱(50)上設(shè)有由導(dǎo)電體形成的支承單元(21)，所述支承單元(21)以使所述陽(yáng)極(25)從所述第一倍增極(Dy10)離開(kāi)的方式載置所述陽(yáng)極(25)，所述陽(yáng)極(25)和所述第二倍增極(Dy9)隔著由絕緣體形成的層間體(23)而層疊。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電倍增管(10)，其特征在于， 在所述芯柱(50)的靠所述光電面(14)側(cè)的面(53a)上設(shè)有由絕緣體形成的支承凸起(31)，所述第一倍增極(DylO)載置在所述支承凸 起(31)上。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電倍增管(10)，其特征在于， 所述層間體(23)和所述支承單元(21)同軸配置。
4、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的光電倍增管(10)，其特征在于， 在所述第一倍增極(DylO)上形成有與所述支承凸起(31)嵌合的嵌合部(32)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電倍增管(10)，其特征在于， 在所述第一倍增極(DylO)上形成有切口 (29)，所述支承單元(21)貫穿由于所述切口 (29)而切成的區(qū)域內(nèi)。
6、 一種放射線檢測(cè)裝置(1)，其特征在于，所述放射線檢測(cè)裝置(1)通過(guò)在權(quán)利要求1 5中的任一項(xiàng)所述的光電倍增管(10)的所述受光面(13)的外側(cè)設(shè)置閃爍器(3)而構(gòu)成， 所述閃爍器(3)將放射線轉(zhuǎn)換為光并輸出。
全文摘要
本發(fā)明涉及光電倍增管和放射線檢測(cè)裝置。在側(cè)管(15)的一側(cè)端部氣密地接合受光面板(13)、在另一側(cè)端部經(jīng)由環(huán)狀側(cè)管(37)氣密地接合芯柱(50)而構(gòu)成的真空容器(18)內(nèi)，從設(shè)在受光面板(13)上的光電面(14)側(cè)起，配置有聚焦電極(17)、倍增極(Dy1～Dy9)、陽(yáng)極(25)以及倍增極(Dy10)。倍增極(Dy10)支承在設(shè)于芯柱(50)上的襯墊(33)和定位用凸起(31)上。陽(yáng)極(25)載置在支承部件(21)上。聚焦電極(17)、倍增極(Dy1～Dy9)以及陽(yáng)極(25)相互隔著與支承部件(21)位于同軸上的層間體(23)而層疊，耐震性高。由于在陽(yáng)極(25)和倍增極(Dy10)之間沒(méi)有隔著絕緣物，因此能夠抑制發(fā)光，能夠降低噪聲。
文檔編號(hào)G01T1/00GK101410932SQ200780010590
公開(kāi)日2009年4月15日 申請(qǐng)日期2007年3月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月24日
發(fā)明者下井英樹(shù), 久嶋浩之, 原和弘 申請(qǐng)人:濱松光子學(xué)株式會(huì)社