專利名稱：利用電磁耦合的壓力分布傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用電磁耦合的壓力分布傳感器，并且更具體
地，涉及能夠補(bǔ)償電磁耦合部的位移并且能夠測(cè)量相對(duì)于檢測(cè)表面在 滑動(dòng)方向上的位移或力的壓力分布傳感器。
背景技術(shù)：
已知的是，壓力分布傳感器利用根據(jù)兩個(gè)線圈之間的距離改 變兩個(gè)線圈之間的電磁耦合的程度的現(xiàn)象，如，例如在專利文獻(xiàn)1中 公開的。在壓力分布傳感器中，以矩陣形式安排多個(gè)傳感器元件，以 基于電磁耦合的程度的變化檢測(cè)施加到傳感器元件上的壓力的分布， 其中在所述傳感器元件中緩沖材料被置于線圈之間。此外，由本發(fā)明 人提出并且在日本專利申請(qǐng)2005-096580和2006-011748中公開的技術(shù) 涉及下述壓力分布傳感器，即該壓力分布傳感器具有鄰近多個(gè)電磁耦 合的線圈而設(shè)置的導(dǎo)電材料，并且通過(guò)利用根據(jù)導(dǎo)電材料和線圈之間 的距離改變電磁耦合的程度的現(xiàn)象來(lái)檢測(cè)壓力分布。專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2005-15647
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問(wèn)題然而，在利用電磁耦合的傳統(tǒng)壓力分布傳感器中，有必要執(zhí) 行兩個(gè)電磁耦合線圈的精確定位。因此，在生產(chǎn)具有大的檢測(cè)表面的 壓力分布傳感器的情形中，實(shí)現(xiàn)所有線圈的校準(zhǔn)有很多困難。此外， 通過(guò)重疊兩個(gè)板而形成檢測(cè)表面的技術(shù)因此難以實(shí)現(xiàn)，其中，在每個(gè) 板上設(shè)置多個(gè)線圈。
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此外，利用電磁耦合的傳統(tǒng)壓力分布傳感器只能檢測(cè)在相對(duì) 于檢測(cè)表面的垂直方向上的壓力，但是不能檢測(cè)在除了垂直于檢測(cè)表 面的方向以外的滑動(dòng)方向上的位移、方向或力。因此，在運(yùn)動(dòng)和醫(yī)學(xué) 領(lǐng)域中執(zhí)行步態(tài)分析等的情形中，由于不能檢測(cè)諸如踢的方向或踢的 力的三維矢量，所以不能實(shí)現(xiàn)滿意的分析。鑒于上述情形已經(jīng)提出本發(fā)明，并且其目標(biāo)是提供下面這樣
的壓力分布傳感器，該傳感器利用電磁耦合而無(wú)需在電磁耦合的線圈 之間定位，并且能夠在滑動(dòng)方向上檢測(cè)力。
解決問(wèn)題的方式為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供了對(duì)檢測(cè)表面利用電
磁耦合的壓力分布傳感器，該壓力分布傳感器包括多個(gè)第一環(huán)線， 其相互平行地布置在同一平面上；多個(gè)第二環(huán)線，其被一個(gè)和另一個(gè) 平行地布置在不同于第一環(huán)線所布置的平面的同一平面上，并且被布 置在與第一環(huán)線正交的方向上；多個(gè)電磁耦合部，其中，第一環(huán)線和 第二環(huán)線在第一環(huán)線和第二環(huán)線的交叉處電磁耦合，并且其中電磁耦 合的程度隨著施加到檢測(cè)表面的壓力而變化；驅(qū)動(dòng)部，其連接到第一 環(huán)線和第二環(huán)線中的一方，并且驅(qū)動(dòng)連接到該驅(qū)動(dòng)部的環(huán)線；檢測(cè)部， 其連接到第一環(huán)線和第二環(huán)線中的另外一方，并且根據(jù)基于在電磁耦 合部的電磁耦合的來(lái)自連接到該檢測(cè)部的環(huán)線的檢測(cè)信號(hào)檢測(cè)壓力； 多個(gè)第三環(huán)線，其相互平行地布置在與所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線 中的一方所布置的平面相同的平面上，所述第三環(huán)線中的每個(gè)被布置 為與第一環(huán)線和第二環(huán)線中布置在與所述多個(gè)第三環(huán)線相同的平面上 的一方部分地重疊，并且所述第三環(huán)線可以以與第一環(huán)線和第二環(huán)線 中布置在與所述第三環(huán)線相同平面上的一方分離的方式連接到所述驅(qū) 動(dòng)部和所述檢測(cè)部中的一方?；诋?dāng)驅(qū)動(dòng)所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中的一方時(shí)獲得 的檢測(cè)信號(hào)的值和當(dāng)驅(qū)動(dòng)所述第三環(huán)線時(shí)獲得的檢測(cè)信號(hào)的值之間的差異，或者基于來(lái)自所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中的另外一方的檢 測(cè)信號(hào)的值和來(lái)自所述第三環(huán)線的檢測(cè)信號(hào)的值之間的差異，所述檢 測(cè)部可以在相對(duì)于所述檢測(cè)表面的除了垂直方向以外的滑動(dòng)方向上檢 測(cè)位移、方向和/或力。所述第三環(huán)線可以被布置在與所述第一環(huán)線被布置的平面 相同的平面上，并且所述壓力分布傳感器還包括多個(gè)第四環(huán)線，所述 第四環(huán)線相互平行地布置在與所述第二環(huán)線被布置的平面相同的平面 上，所述第四環(huán)線中的每個(gè)被布置成與所述第二環(huán)線部分地重疊，并 且所述第四環(huán)線可以以與所述第二環(huán)線分離的方式連接到所述驅(qū)動(dòng)部 和所述檢測(cè)部中的另外一方。通過(guò)所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線，可以在所述第一環(huán)線和 所述第二環(huán)線的交叉處設(shè)置所述電磁耦合部，所述第一環(huán)線和所述第 二環(huán)線中的一方被形成為直線形狀，而另外一方被形成為線圈形狀； 并且所述第三環(huán)線被布置在與所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中形成直 線形狀的一方所布置的平面相同的平面上。通過(guò)所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線，可以在所述第一環(huán)線和 所述第二環(huán)線的交叉處設(shè)置所述電磁耦合部，所述第一環(huán)線和所述第 二環(huán)線都被形成為線圈形狀。所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線可以都被形成為直線形狀，并 且可以通過(guò)在鄰近所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線的交叉處的部分形成 導(dǎo)電材料片來(lái)提供所述電磁耦合部。所述壓力分布傳感器還可以包括用于所述導(dǎo)電材料片的彈 性構(gòu)件，用于所述導(dǎo)電材料片的彈性構(gòu)件被設(shè)置在鄰近所述第一環(huán)線 和所述第二環(huán)線的交叉處的部分與所述導(dǎo)電材料片之間。
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所述壓力分布傳感器還可以包括用于所述導(dǎo)電材料片的板 構(gòu)件，在用于所述導(dǎo)電材料片的板構(gòu)件上提供所述導(dǎo)電材料片。所述壓力分布傳感器還可以包括用于所述導(dǎo)電材料片的彈
性板構(gòu)件，在用于所述導(dǎo)電材料片的彈性板構(gòu)件上提供用于所述導(dǎo)電 材料片的所述彈性構(gòu)件。所述壓力分布傳感器還可以包括用于所述線的彈性構(gòu)件，用 于所述線的彈性構(gòu)件設(shè)置于所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線之間。所述壓力分布傳感器還可以包括用于所述線的彈性板構(gòu)件， 在用于所述線的彈性板構(gòu)件上提供用于所述線的彈性構(gòu)件。所述壓力分布傳感器還可以包括在其上布置所述第一環(huán)線 的第一板構(gòu)件和在其上布置所述第二環(huán)線的第二板構(gòu)件，并且其中所 述第三環(huán)線被布置在所述第一板構(gòu)件和所述第二板構(gòu)件中的一個(gè)上。這里，所述第一板構(gòu)件和所述第二板構(gòu)件中的至少一個(gè)具有 柔性。所述壓力分布傳感器還可以包括在所述第一板構(gòu)件和所述 第二板構(gòu)件的端部處的用于布線所述第一、第二和第三環(huán)線的布線部 分。這里，所述布線部分可以包括基板，在所述基板上圖案化布 線，用于連接所述環(huán)線。所述第一板構(gòu)件和所述第二板構(gòu)件可以由合成樹脂制成，而 第一、第二、第三環(huán)線由鋁箔制成。
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所述第三環(huán)線可以具有與所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中
的一方的形狀相同的形狀，并且被布置在從所述第一環(huán)線和所述第二
環(huán)線中的一方移位1/4間距的位置處。 本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)根據(jù)本發(fā)明的利用電磁耦合的壓力分布傳感器具有下面的 優(yōu)點(diǎn)，即，不需要被電磁耦合的線圈之間的定位，并且容易進(jìn)行檢測(cè) 表面的裝配和安裝。此外，該壓力分布傳感器不僅能夠在相對(duì)于檢測(cè) 表面的垂直方向上檢測(cè)力，而且還可以在滑動(dòng)方向上檢測(cè)力，并且能 夠檢測(cè)3D壓力矢量。
具體實(shí)施例方式下面將參照附圖描述實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。圖1是用 于解釋根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的壓力分布傳感器的示意性俯視圖。 壓力分布傳感器主要由檢測(cè)表面、驅(qū)動(dòng)部10和檢測(cè)部20構(gòu)成，其中 檢測(cè)表面由多個(gè)第一環(huán)線1、多個(gè)第二環(huán)線2以及多個(gè)第三環(huán)線3構(gòu)成。 第一環(huán)線1相互平行地布置在同一平面上。每個(gè)第一環(huán)線1被連接到 驅(qū)動(dòng)部10，從而用作驅(qū)動(dòng)線圈。第二環(huán)線2相互平行地布置在同一平 面上。第二環(huán)線2的布置平面與第一環(huán)線1的不同。第二環(huán)線2布置 在與第一環(huán)線1正交的方向上。第二環(huán)線2中的每個(gè)連接到檢測(cè)部20， 從而用作檢測(cè)線圈。驅(qū)動(dòng)部10主要由高頻振蕩器11、驅(qū)動(dòng)放大器12和驅(qū)動(dòng)線 切換器13構(gòu)成，并且被順序地連接到各第一環(huán)線1，從而順序地驅(qū)動(dòng) 第一環(huán)線1。檢測(cè)部20主要由檢測(cè)線切換器21和檢測(cè)放大器22構(gòu)成， 并且被順序地連接到第二環(huán)線2，從而從第二環(huán)線2順序地檢測(cè)感應(yīng)的 電流或感應(yīng)的電壓。
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通過(guò)微型計(jì)算機(jī)等適當(dāng)?shù)乜刂乞?qū)動(dòng)部10和檢測(cè)部20，并
且被構(gòu)造為能夠獲得需要的輸出。例如，驅(qū)動(dòng)部io被首先連接到第一
環(huán)線中的第一個(gè)，并且檢測(cè)部20被順序地連接到第二環(huán)線，從而在這個(gè)例程測(cè)量輸出信號(hào)。在那之后，驅(qū)動(dòng)部IO被連接到第一環(huán)線中的第二個(gè)，并且檢測(cè)部20被順序地連接到第二環(huán)線，從而在這個(gè)例程測(cè)量輸出信號(hào)。通過(guò)重復(fù)上面的過(guò)程，能夠測(cè)量在檢測(cè)表面上對(duì)應(yīng)于第一和第二環(huán)線之間的交叉點(diǎn)的XY坐標(biāo)的所有位置處的輸出信號(hào)。驅(qū)動(dòng)部10和檢測(cè)部20的構(gòu)造不限于在圖1中所示的示例，而是只要驅(qū)動(dòng)部能夠驅(qū)動(dòng)第一環(huán)線并且檢測(cè)部能夠檢測(cè)感應(yīng)電流或感應(yīng)電壓，它們可以具有任何構(gòu)造。此外，第一環(huán)線被用作檢測(cè)線圈以及第二環(huán)線用作驅(qū)動(dòng)線圈的結(jié)構(gòu)都可以是可能的。如在圖中所示，在根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的壓力分布傳感器中，每個(gè)第一環(huán)線1是直線狀環(huán)線而每個(gè)第二環(huán)線2是具有矩形狀線圈的環(huán)線，并且電磁耦合部被形成為使得在第一和第二環(huán)線的交叉處獲得電磁耦合。每個(gè)電磁耦合部的耦合系數(shù)根據(jù)施加到檢測(cè)表面的壓力大小改變。更具體地，彈性構(gòu)件被設(shè)置在第一環(huán)線和第二環(huán)線之間，由此，第一和第二環(huán)線之間的距離隨著施加的壓力改變。當(dāng)壓力被施加到檢測(cè)表面時(shí)，每個(gè)電磁耦合部對(duì)應(yīng)于被施加壓力的部分的電磁耦合的程度變化。因此，能夠通過(guò)測(cè)量檢測(cè)到的感應(yīng)電流等來(lái)測(cè)量施加的壓力的大小和被施加壓力的位置。盡管在圖1的示例中每個(gè)第二環(huán)線具有矩形狀線圈，但是本發(fā)明不限于此，而是只要能夠獲得電
磁耦合，線圈形狀可以被形成為諸如弓形形狀或三角形形狀的任何形狀。作為本發(fā)明最大特征的部分，多個(gè)第三環(huán)線3被設(shè)置在本發(fā)明的壓力分布傳感器中。第三環(huán)線3相互平行地布置在同一平面上。第三環(huán)線3的布置平面與第一環(huán)線1的相同。第三環(huán)線3和第一環(huán)線1被相互平行地布置，從而它們彼此部分地重疊。第三環(huán)線3以與第一環(huán)線1分離的方式連接到驅(qū)動(dòng)部10。
考慮到第一環(huán)線1和第二環(huán)線2之間的位置關(guān)系，第一環(huán)線
1在附圖的列方向上直線狀地布置，使得在圖1中所示的壓力分布傳感器中電磁耦合狀態(tài)不受列方向上的位移的影響。然而，如果第一環(huán)線1
和第二環(huán)線2在行方向上彼此移位，那么將在第一環(huán)線1和線圈形狀的第二環(huán)線2的交叉處形成的電磁耦合部從它們的合適位置移位，這可能導(dǎo)致零電磁耦合。因此，在根據(jù)本發(fā)明的壓力分布傳感器中，第三環(huán)線3平行于第一環(huán)線1布置。通過(guò)如此做，即使在行方向上發(fā)生了移位，第一環(huán)線1或第三環(huán)線3也耦合到第二環(huán)線2。因此，能夠說(shuō)，在壓力分布傳感器中，在第一環(huán)線1和第二環(huán)線2之間的任何移位不會(huì)妨礙壓力分布檢測(cè)。S卩，驅(qū)動(dòng)部10以切換的方式連接到第一環(huán)線1和第三環(huán)線3，以順序地驅(qū)動(dòng)第一環(huán)線1和第三環(huán)線3，并且在驅(qū)動(dòng)各環(huán)線的同時(shí)使用耦合系數(shù)的絕對(duì)值之和或平方的和的平方根，使得能夠在不受位移影響的情況下檢測(cè)壓力分布。在第一環(huán)線1和第三環(huán)線3之間的切換可以連續(xù)或交替地進(jìn)行。此外，通?？梢圆捎弥挥械谝画h(huán)線l被用于檢測(cè)的構(gòu)造，如果必要，使用第三環(huán)線3。雖然已經(jīng)描述通過(guò)使用切換器物理地切換第一環(huán)線1和第三環(huán)線3的構(gòu)造，但是只要以分離的方式驅(qū)動(dòng)第一環(huán)線1和第三環(huán)線3，則可以采用關(guān)于切換機(jī)構(gòu)的任何構(gòu)造。例如，可以采用下述結(jié)構(gòu)，S卩，使用不同驅(qū)動(dòng)頻率來(lái)同時(shí)驅(qū)動(dòng)第一環(huán)線1和第三環(huán)線3，并且檢測(cè)側(cè)根據(jù)使用的頻率檢測(cè)壓力分布。此外，基于當(dāng)驅(qū)動(dòng)部10連接到第三環(huán)線3時(shí)獲得的檢測(cè)信號(hào)的值和當(dāng)驅(qū)動(dòng)部IO連接到第一環(huán)線1時(shí)獲得的檢測(cè)信號(hào)的值之間的差異，檢測(cè)部20能夠在除了垂直于檢測(cè)表面的方向以外的滑動(dòng)方向上檢測(cè)位移、方向和/或力，特別地，由于在根據(jù)第一實(shí)施例的壓力分布傳感器中電磁耦合狀態(tài)不受列方向上的位移的影響，所以檢測(cè)部20能夠在行方向上檢測(cè)位移、方向和/或力。即，通過(guò)在第一環(huán)線1和第三環(huán)線3之間切換，對(duì)于相同的壓力分布，能夠獲得不同的檢測(cè)信號(hào)。因此，通過(guò)使用檢測(cè)信號(hào)之間的差異，能夠檢測(cè)關(guān)于第一環(huán)線1和第二環(huán)線2在滑動(dòng)方向上的位移、方向和/或力。在根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的壓力分布傳感器中，第一環(huán)線l被形成為直線形狀，第二環(huán)線2被形成為線圈形狀，并且第三環(huán)線3被布置為與第一環(huán)線1部分地重疊。然而，本發(fā)明不限于此。例如，可以采用下述構(gòu)造，即，第一環(huán)線1被形成為線圈形狀，第二環(huán)線2被形成為直線形狀，并且第三環(huán)線3被布置為與第二環(huán)線2部分地重疊。即，只要第三環(huán)線3被布置成與第一環(huán)線1或第二環(huán)線2在能夠發(fā)生位移的方向上在從第一環(huán)線1或第二環(huán)線2移位的位置處部分地重疊，則第三環(huán)線3可以被設(shè)置在第一環(huán)線1側(cè)或第二環(huán)線2側(cè)。此外，在圖1的示例中，多個(gè)第三環(huán)線3具有與第一環(huán)線1相同的形狀，并且被布置在從第一環(huán)線1移位1/4間距(pitch)的位置。當(dāng)各環(huán)線的寬度和它們之間的間隔相等時(shí)，該布置用最小數(shù)目的線圈提供最大效果。然而，本發(fā)明不限于此。例如，在有必要補(bǔ)償大的位移或有必要更精細(xì)地補(bǔ)償位移的情形中，在第三環(huán)線3之間的布置間隔可以更小，以增加第一環(huán)線l和第三環(huán)線3之間的重疊區(qū)域。此外，關(guān)于第一環(huán)線1或第二環(huán)線2，各環(huán)線的寬度和間隔不必彼此相等，并且可以根據(jù)檢測(cè)表面的分辨率等對(duì)它們進(jìn)行適當(dāng)?shù)脑O(shè)定。因?yàn)楦鶕?jù)本發(fā)明的壓力分布傳感器具有如上所述的能夠補(bǔ)償位移的構(gòu)造，所以不需要執(zhí)行第一環(huán)線1和第二環(huán)線2之間精確的定位。因此，例如，板構(gòu)件被用來(lái)構(gòu)成檢測(cè)表面的構(gòu)造是可能的。更具體地，通過(guò)準(zhǔn)備板構(gòu)件并且使它們彼此重疊，能夠容易地當(dāng)場(chǎng)構(gòu)成檢測(cè)表面，其中在所述板構(gòu)件上分別布置第一環(huán)線l和第二環(huán)線2。圖2是示意性地解釋下述示例的示圖，g卩，在該示例中，根據(jù)第一實(shí)施例的壓力分布傳感器的檢測(cè)表面由板構(gòu)件構(gòu)成。通過(guò)在彼此正交的方向上設(shè)置第一板構(gòu)件100和第二板構(gòu)件200并且在兩者之間插入彈性板300，獲得在圖2中所示的壓力分布傳感器的檢測(cè)表面。第一環(huán)線和第三環(huán)線被布置在第一板構(gòu)件100上。第二環(huán)線被布置在第二板構(gòu)件200
13上。不需要執(zhí)行第一板構(gòu)件100和第二板構(gòu)件200之間的精確的定位，
從而在例如壓力分布傳感器被安裝在房間地板的整個(gè)表面上的情形中，通過(guò)布置板構(gòu)件可以容易簡(jiǎn)單地當(dāng)場(chǎng)獲得檢測(cè)表面。在所示的圖中，兩個(gè)平行布置的矩形的第一板構(gòu)件和兩個(gè)平行布置的矩形的第二板構(gòu)件被用來(lái)構(gòu)成寬的檢測(cè)表面。然而，使用的板構(gòu)件的數(shù)目不限于此，而是如果必要的話可以增加或減少。板構(gòu)件能夠被構(gòu)造為巻狀板構(gòu)件，在所述板構(gòu)件上形成通過(guò)利用諸如PET的合成樹脂層壓由鋁箔等形成的環(huán)線獲得的連續(xù)布線圖案。根據(jù)在其上安裝壓力分布傳感器的地板的尺寸切割巻狀板構(gòu)件。然后第二板構(gòu)件200被置于地板上，彈性板300被置于第二板構(gòu)件200上，并且最后第一板構(gòu)件100被置于彈性板300上。根據(jù)本發(fā)明，這時(shí)不需要執(zhí)行精確的定位，從而能夠容易地完成安裝。此外，當(dāng)板構(gòu)件由PET材料形成時(shí)，板構(gòu)件具有柔性，從而能夠確保在電磁耦合部與其鄰近部分之間的分離。包括驅(qū)動(dòng)部、檢測(cè)部等的控制器400被連接到如此獲得的檢測(cè)表面，從而構(gòu)成壓力分布傳感器。將更具體地描述板構(gòu)件被構(gòu)造為巻狀板構(gòu)件的情形。圖3是其上形成有用于第一和第三環(huán)線的布線圖案的第一板構(gòu)件100的俯視平面圖。如在圖中所示，第一板構(gòu)件100被構(gòu)造為其上形成有直線狀布線圖案110的巻狀板。例如，在第一板構(gòu)件100上圖案化8個(gè)直線狀布線圖案IIO。要被圖案化的布線圖案的數(shù)目不限于此，而是必要的話可以增加或減少。圖4是其上形成有用于第二環(huán)線的布線圖案的第二板構(gòu)件200的俯視平面圖。如在圖4中所示，第二板構(gòu)件200被構(gòu)造為其上形成有線圈形狀布線圖案的巻狀板。例如，在第二板構(gòu)件200上圖案化用于構(gòu)成2個(gè)線圈形狀環(huán)線的4個(gè)矩形布線圖案210。在第二板構(gòu)件200上被圖案化的布線圖案的數(shù)目不限于此，而是必要的話可以增加或減少。
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當(dāng)以上板構(gòu)件被用來(lái)獲得如圖1中所示的布線圖案時(shí)，可以使用直接將引導(dǎo)線等連接到板構(gòu)件的方法。然而，可選擇地，可以使
用如下所描述的連接基板。在該情形下，第一板構(gòu)件100和第二板構(gòu)件200被分別切割成預(yù)定尺寸。然后，在獲得的第一板構(gòu)件100和第二板構(gòu)件200中在其兩端形成連接孔111、 112、 211和212，并且將用于短路的基板和用于切換的基板用來(lái)在各板構(gòu)件的端部連接線，其中在所述基板上先形成對(duì)應(yīng)于連接孔的間距的布線圖案。圖5是說(shuō)明用于第一板構(gòu)件100的環(huán)線的短路的基板的俯視平面圖。用于短路的基板具有用于以需要的方式連接布置在同一表面上的第一環(huán)線1的短路布線和用于以需要的方式連接需要的一對(duì)第三環(huán)線3的短路布線，從而第一環(huán)線1和第三環(huán)線3彼此部分地重疊。如在圖中所示，連接孔113形成在用于短路的基板中。連接孔113的位置和第一板構(gòu)件100的連接孔111的位置彼此一致，并且用于短路的基板和第一板構(gòu)件IOO通過(guò)螺釘穿過(guò)例如帶齒墊圈而被裝配在一起，從而形成第一環(huán)線1和第三環(huán)線3的一端。對(duì)于與設(shè)置用于第一板構(gòu)件100的環(huán)線的短路的基板的一端相對(duì)的另外一端，使用用于切換的基板。圖6是示出用于第一板構(gòu)件100的環(huán)線的切換的基板的俯視平面圖。用于切換的基板具有下面這樣的結(jié)構(gòu)，即，該結(jié)構(gòu)能通過(guò)切換器13將第一環(huán)線1的一端連接到地以及將其另一端連接到控制器400，并且能通過(guò)切換器13將第三環(huán)線3的一端連接到地以及將其另一端連接到控制器400。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，能夠獲得如圖1中所示的布線圖案。如在圖6中所示，連接孔114形成在用于切換的基板中。連接孔114的位置和第一板構(gòu)件100的連接孔112的位置彼此一致，并且用于切換的基板和第一板構(gòu)件100通過(guò)螺釘穿過(guò)例如帶齒墊圈而被裝配在一起，從而形成第一環(huán)線1和第三環(huán)線3的另一端。雖然在圖示的示例中切換器13被設(shè)置在基板上，但是本發(fā)明不限于此，切換器13可以被包括在控制器400中。
在第二板構(gòu)件200的兩端部，提供在圖7和圖8中所示的用 于短路的基板和用于切換的基板。圖7是示出用于第二板構(gòu)件200的 環(huán)線的短路的基板的俯視平面圖。用于短路的基板具有用于以需要的 方式連接布置在同一表面上的第二環(huán)線2的短路布線。圖8是示出用 于第二板構(gòu)件200的環(huán)線的切換的基板的俯視平面圖。用于切換的基 板具有下面這樣的結(jié)構(gòu)，即，該結(jié)構(gòu)能通過(guò)切換器21將第二環(huán)線2的 一端連接到地以及將其另一端連接到控制器400。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，能夠 獲得如圖1中所示的布線圖案。如在圖7中所示，連接孔213形成在 用于短路的基板中。連接孔213的位置和第二板構(gòu)件200的連接孔211 的位置彼此一致，并且用于短路的基板和第二板構(gòu)件200通過(guò)螺釘穿 過(guò)例如帶齒墊圈而裝配在一起，從而形成第二環(huán)線2的一端。如在圖8 中所示，連接孔214形成在用于切換的基板中。連接孔214的位置和 第二板構(gòu)件200的連接孔212的位置彼此一致，并且用于切換的基板 和第二板構(gòu)件200通過(guò)螺釘穿過(guò)例如帶齒墊圈而裝配在一起，從而形 成第二環(huán)線2的另一端。如切換器13的情形一樣，切換器21可以被 包括在控制器400中。在圖5到圖8中所示的每個(gè)基板被構(gòu)造為與在圖3和圖4 中所示的布線圖案建立一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系。然而，本發(fā)明不限于此，例 如，兩個(gè)板構(gòu)件被用于一個(gè)基板，或者兩個(gè)或更多個(gè)基板被用于一個(gè) 板構(gòu)件。因?yàn)樵诟鶕?jù)本發(fā)明的壓力分布傳感器中，不需要執(zhí)行第一環(huán) 線1和第二環(huán)線2之間精確的定位，所以能夠容易地組合板形狀布線 用于布置。不用說(shuō)，在壓力分布的實(shí)際測(cè)量之前可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行校準(zhǔn) 等。接下來(lái)將會(huì)參照?qǐng)D9描述根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的壓力 分布傳感器。圖9是用于說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的壓力分布傳感器的示意性俯視平面圖。在圖9中，與圖1中相同的參考標(biāo)號(hào)基本 表示相同的部分，并且這里將省略對(duì)其的描述。在第一實(shí)施例中，檢 測(cè)表面由直線狀第一環(huán)線和線圈形狀的第二環(huán)線構(gòu)成，并且它們彼此 直接電磁耦合，而在第二實(shí)施例中，第一環(huán)線和第二環(huán)線都被形成為 直線形狀，并且鄰近直線狀第一環(huán)線和第二環(huán)線彼此交叉的部分形成 導(dǎo)電材料片，從而構(gòu)成電磁耦合部，在該電磁耦合部，直線狀第一環(huán) 線和第二環(huán)線間接電磁耦合。此外，雖然在第一實(shí)施例中能夠檢測(cè)在 行方向上的位移，但是根據(jù)第二實(shí)施例的壓力分布傳感器能夠被構(gòu)造 為不僅能檢測(cè)行方向上的位移，還可以檢測(cè)在列方向上的位移，并且 進(jìn)一步，在3D方向上的位移。參考圖9，下面將更具體地描述壓力分布傳感器的構(gòu)造。在 根據(jù)第二實(shí)施例的壓力分布傳感器的檢測(cè)表面中，直線狀第二環(huán)線2 被布置成以直角與直線狀第一環(huán)線1交叉，并且導(dǎo)電材料片5鄰近第 一環(huán)線1和第二環(huán)線2彼此交叉的部分設(shè)置，從而構(gòu)成電磁耦合部， 在該電磁耦合部，第一環(huán)線1和第二環(huán)線2間接電磁耦合。此外，如在圖9中所示，第三環(huán)線3被布置為與第一環(huán)線1 部分地重疊。此外，在第二實(shí)施例中，多個(gè)第四環(huán)線4被布置在與第 二環(huán)線2相同的平面上，從而與第二環(huán)線2部分地重疊。第四環(huán)線4 以從第二環(huán)線2分離的方式連接到檢測(cè)部20。鄰近第一環(huán)線1和第二環(huán)線2的交叉處的設(shè)置有導(dǎo)電材料片 的部分不限制于剛好在交叉處之上的部分，而是，導(dǎo)電材料片可以鄰 近于剛好下述中心線的交叉處之上的部分而設(shè)置，其中所述中心線為 一對(duì)第一環(huán)線和第三環(huán)線的中心線以及一對(duì)第二環(huán)線和第四環(huán)線的中 心線，如圖9中所示。如在圖9中所示，在根據(jù)第二實(shí)施例的壓力分布傳感器中， 導(dǎo)電材料片5鄰近第一環(huán)線1和第二環(huán)線2彼此交叉的部分而設(shè)置，從而構(gòu)成電磁耦合部，在該電磁耦合部，第一環(huán)線1和第二環(huán)線2間 接電磁耦合。在每個(gè)電磁耦合部，當(dāng)壓力被施加到檢測(cè)表面時(shí)，耦合 系數(shù)改變。更具體地，導(dǎo)電材料片5通過(guò)彈性構(gòu)件6而設(shè)置在檢測(cè)表 面上，并且從而在導(dǎo)電材料片5與第一環(huán)線和第二環(huán)線之間的距離根 據(jù)壓力大小而改變。因此，當(dāng)壓力被施加到檢測(cè)表面時(shí)，對(duì)應(yīng)于被施 加壓力的部分的電磁耦合部的電磁耦合程度改變。因此，通過(guò)測(cè)量檢 測(cè)到的感應(yīng)電流等能夠檢測(cè)施加的壓力的大小和已經(jīng)施加壓力的位 置。在根據(jù)第二實(shí)施例的壓力分布傳感器中，布置多個(gè)第三環(huán)線 3和多個(gè)第四環(huán)線4。驅(qū)動(dòng)部10可切換地連接到第一環(huán)線1和第三環(huán) 線3，并且檢測(cè)部20可切換地連接到第二環(huán)線2和第四環(huán)線4。在根據(jù)第二實(shí)施例的壓力分布傳感器中，通過(guò)彈性構(gòu)件6 設(shè)置在檢測(cè)表面上的導(dǎo)電材料片5被構(gòu)造為不僅可在相對(duì)于檢測(cè)表面 的垂直方向上移動(dòng)，而且還可在相對(duì)檢測(cè)表面的滑動(dòng)方向上移動(dòng)。圖 10是示出在根據(jù)第二實(shí)施例的壓力分布傳感器中的檢測(cè)表面的一部分 的截面視圖。如所示，對(duì)于各導(dǎo)電材料片5 —個(gè)與另一個(gè)獨(dú)立地提供 彈性構(gòu)件6，從而導(dǎo)電材料片5能夠一個(gè)與另一個(gè)獨(dú)立地在任意方向上 移動(dòng)。因?yàn)榈谌h(huán)線3平行于第一環(huán)線1布置，所以即使在圖9中的 行方向上發(fā)生了位移，第一環(huán)線1和第三環(huán)線3中的一方也不可避免 地耦合到第二環(huán)線2。 g卩，在行方向上的位移不妨礙壓力分布檢測(cè)。此 外，因?yàn)榈谒沫h(huán)線4平行于第二環(huán)線2布置，所以即使在圖9中的列 方向上發(fā)生了位移，第二環(huán)線2和第四環(huán)線4中的一方也不可避免地 耦合到第一環(huán)線l。 S卩，在列方向上的位移不妨礙壓力分布檢測(cè)。驅(qū)動(dòng) 部10以切換的方式連接到第一環(huán)線1和第三環(huán)線3，以順序地驅(qū)動(dòng)第 一環(huán)線1和第三環(huán)線3，并且檢測(cè)部20以切換的方式連接到第二環(huán)線 2和第四環(huán)線4，以執(zhí)行檢測(cè)，并且在各環(huán)線的驅(qū)動(dòng)時(shí)間和檢測(cè)時(shí)間使 用耦合系數(shù)的絕對(duì)值之和或平方的和的平方根，使得能夠在不受位移 影響的情況下檢測(cè)壓力分布。同樣在第二實(shí)施例中，用于第一環(huán)線1和第三環(huán)線3的切換機(jī)構(gòu)不限于其中第一環(huán)線1和第三環(huán)線3通過(guò)使 用切換器物理地切換的機(jī)構(gòu)，只要第一環(huán)線1和第三環(huán)線3以分離的 方式被驅(qū)動(dòng)，則可以采用任何的構(gòu)造。例如，可以采用下面所述的構(gòu) 造，S卩，不同驅(qū)動(dòng)頻率被用來(lái)同時(shí)驅(qū)動(dòng)第一環(huán)線和第三環(huán)線，并且檢
測(cè)側(cè)根據(jù)使用的頻率檢測(cè)壓力分布。類似地，用于第二環(huán)線2和第四 環(huán)線4的切換機(jī)構(gòu)不限于其中第二環(huán)線2和第四環(huán)線4通過(guò)使用切換 器物理地切換的機(jī)構(gòu)，只要第二環(huán)線2和第四環(huán)線4以分離的方式被 驅(qū)動(dòng)，則可以采用任何的結(jié)構(gòu)。例如，可以采用下面所述的結(jié)構(gòu)，艮P， 多個(gè)檢測(cè)電路連接到第二環(huán)線2和第四環(huán)線4，從而以一個(gè)和另一個(gè)分 離的方式同時(shí)檢測(cè)壓力分布。此外，基于當(dāng)驅(qū)動(dòng)部10連接到第三環(huán)線3時(shí)獲得的檢測(cè)信 號(hào)的值和當(dāng)驅(qū)動(dòng)部IO連接到第一環(huán)線1時(shí)獲得的檢測(cè)信號(hào)的值之間的 差異，以及基于當(dāng)檢測(cè)部20連接到第四環(huán)線4時(shí)獲得的檢測(cè)信號(hào)的值 和當(dāng)檢測(cè)部20連接到第二環(huán)線2連接時(shí)獲得的檢測(cè)信號(hào)的值之間的差 異，檢測(cè)部20能夠檢測(cè)在除了相對(duì)于檢測(cè)表面的垂直方向以外的滑動(dòng) 方向上的位移、方向和/或力。在滑動(dòng)方向上的位移不僅能夠被檢測(cè)為 2D矢量，而且還可以被檢測(cè)為3D矢量。下面將具體地描述檢測(cè)3D矢量的步驟。在下面說(shuō)明中使用 的符號(hào)ai、 bi、 ci和di分別對(duì)應(yīng)于在圖9中所示的第四環(huán)線4、第二環(huán) 線2、第一環(huán)線1和第三環(huán)線3的連接端子。其中i是從l到n的自然 數(shù)并且表示第i個(gè)環(huán)線。此外，當(dāng)驅(qū)動(dòng)部或檢測(cè)部連接到各個(gè)端子時(shí)獲 得的輸出信號(hào)的振幅被假設(shè)為Aad、 Aadi、 Abei和Abdi。切換器13被用來(lái)將驅(qū)動(dòng)部10連接到連接端子cl，并且切 換器21被用來(lái)將檢測(cè)部20連接到連接端子al ，從而檢測(cè)輸出信號(hào)Aael 。 然后，切換器21被用來(lái)將檢測(cè)部20連接到連接端子bl，從而檢測(cè)輸 出信號(hào)Abd。隨后，切換器13被用來(lái)將驅(qū)動(dòng)部10連接到連接端子dl， 并且切換器21被用來(lái)將檢測(cè)部20連接到連接端子al，從而檢測(cè)輸出
19信號(hào)A^。此外，切換器21被用來(lái)將檢測(cè)部20連接到連接端子bl連 接，從而檢測(cè)輸出信號(hào)Abdl。重復(fù)一系列上述步驟直到i達(dá)到n為止，
從而獲得對(duì)應(yīng)于所有布置的環(huán)線的輸出信號(hào)。利用如此獲得的輸出信號(hào)，能夠通過(guò)下面的等式表示壓力 Zi、 x-位移Axi以及y-位移Ay。
zi=Aaci+Aadi+AbCi+Abdi [等式2]
△X — (Aaci + Abci) — (Aadi + Abdi)
Ay = (Aaci + Aadi) - (Abci + Abdi) 1 zi根據(jù)等式1到3，能夠檢測(cè)在每個(gè)坐標(biāo)位置的壓力(在z方 向上的位移)以及x方向和y方向上的位移，并且基于這三個(gè)值，能 夠獲得3D矢量。獲得輸出信號(hào)的順序，即，借助于切換器切換環(huán)線的 順序不特別地限于上述順序，而是只要能夠獲得各輸出信號(hào)，切換可 以以任何順序執(zhí)行。此外，在上面的例子中，首先執(zhí)行對(duì)應(yīng)于所有對(duì) 環(huán)線的輸出信號(hào)的獲得，然后將獲得的值輸入等式中。然而，可選擇 地，各輸出可以被輸入到等式中，用于每個(gè)第i對(duì)環(huán)線的測(cè)量。在圖9中所示的第二實(shí)施例中，導(dǎo)電材料片被設(shè)置成可一個(gè) 與另一個(gè)獨(dú)立地自由移動(dòng)。然而，本發(fā)明不限于此，而是可以采用導(dǎo)
20電材料片只能在行方向上移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，用于檢測(cè)在列 方向上的位移的第四環(huán)線變得不必要。相反，在導(dǎo)電材料片只能在列 方向上移動(dòng)的情形中，用于檢測(cè)在行方向上的位移的第三環(huán)線變得不 必要。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的壓力分布傳感器的構(gòu)造可以根據(jù)要檢 測(cè)的對(duì)象而改變。當(dāng)導(dǎo)電材料片5被設(shè)置成可一個(gè)與另一個(gè)獨(dú)立地自由移動(dòng) 時(shí)，除了在相對(duì)于檢測(cè)表面的垂直方向上，導(dǎo)電材料片5優(yōu)選地被設(shè)
置成可在相對(duì)于檢測(cè)表面的滑動(dòng)方向上一個(gè)與另一個(gè)獨(dú)立地移動(dòng)。然 而，可以使用通過(guò)將彈性構(gòu)件形成到板內(nèi)而獲得的彈性板構(gòu)件。此外，
導(dǎo)電材料片5可以被組成為通過(guò)將多個(gè)導(dǎo)電材料片5設(shè)置在板構(gòu)件上 而獲得的導(dǎo)電材料板構(gòu)件。在第二實(shí)施例中，第一環(huán)線和第二環(huán)線之間的距離是固定 的，并且通過(guò)檢測(cè)導(dǎo)電材料片和環(huán)線之間的距離的變化，能夠檢測(cè)電 磁耦合程度的變化。即，彈性材料不必設(shè)置在第一環(huán)線和第二環(huán)線之 間。然而，本發(fā)明不限于此，而是彈性構(gòu)件可以設(shè)置在第一環(huán)線和第 二環(huán)線之間。在第一實(shí)施例中，第一環(huán)線l被形成為直線形狀，而第二環(huán) 線2被形成為線圈形狀。在第二實(shí)施例中，第一環(huán)線1和第二環(huán)線2 都被形成為直線形狀，并且導(dǎo)電材料片被用來(lái)構(gòu)成電磁耦合部，其中 第一環(huán)線和第二環(huán)線在該電磁耦合部間接電磁耦合。然而，本發(fā)明不 限于此，而是第一環(huán)線和第二環(huán)線可以都被形成為線圈形狀，以構(gòu)成 電磁耦合部，其中第一環(huán)線和第二環(huán)線在該電磁耦合部直接電磁耦合。 在這種情形下，第三環(huán)線3也被形成為線圈形狀，并且與第一環(huán)線1 布置在同一平面，從而與第一環(huán)線1部分地重疊，并且第四環(huán)線4也 可以被形成為線圈形狀，并且與第二環(huán)線2布置在相同的平面，從而 與第二環(huán)線2部分地重疊。
21
此外，同樣在第二實(shí)施例中，通過(guò)使用如在圖2中所示的板
構(gòu)件，可以構(gòu)成壓力分布傳感器。根據(jù)本發(fā)明的利用電磁耦合的壓力分布傳感器不限于在圖 中所示的構(gòu)造，在沒有脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以進(jìn)行 各種修改。



圖1是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的壓力分布傳感器的示 意性俯視平面圖。
圖2是解釋下述示例的示意圖，即，在該示例中，根據(jù)第一實(shí)施 例的壓力分布傳感器的檢測(cè)表面由板構(gòu)件構(gòu)成。
圖3是其上形成有第一和第三環(huán)線的布線圖案的第一板構(gòu)件的俯 視平面圖。
圖4是其上形成有第二環(huán)線的布線圖案的第二板構(gòu)件的俯視平面圖。
圖5是示出用于第一板構(gòu)件的環(huán)線的短路的基板的俯視平面圖。 圖6是示出用于第一板構(gòu)件的環(huán)線的切換的基板的俯視平面圖。 圖7是示出用于第二板構(gòu)件的環(huán)線的短路的基板的俯視平面圖。 圖8是示出用于第二板構(gòu)件的環(huán)線的切換的基板的俯視平面圖。 圖9是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的壓力分布傳感器的示
意性俯視平面圖。
圖IO是示出在根據(jù)第二實(shí)施例的壓力分布傳感器中的檢測(cè)表面的
一部分的截面圖。
參考標(biāo)記的說(shuō)明 [0064〗
1:第一環(huán)線 2:第二環(huán)線
223:第三環(huán)線
4:第四環(huán)線
5:導(dǎo)電材料片
6:彈性構(gòu)件
10:驅(qū)動(dòng)部
11:高頻振蕩器
12:驅(qū)動(dòng)放大器
13:驅(qū)動(dòng)線切換器
20:檢測(cè)部
21-檢測(cè)線切換器
22:檢測(cè)放大器
100:第一板構(gòu)件
110:布線圖案
111到114:連接孔
200:第二板構(gòu)件
210:布線圖案
211到214:連接孔
300:彈性板
400:控制器
權(quán)利要求
1. 一種對(duì)檢測(cè)表面利用電磁耦合的壓力分布傳感器，包括多個(gè)第一環(huán)線，所述多個(gè)第一環(huán)線相互平行地布置在同一平面上；多個(gè)第二環(huán)線，所述多個(gè)第二環(huán)線相互平行地布置在不同于其上布置有所述第一環(huán)線的平面的同一平面上，并且布置在正交于所述第一環(huán)線的方向上；多個(gè)電磁耦合部，其中，所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線在所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線的交叉處電磁耦合，并且其中電磁耦合的程度隨著施加到所述檢測(cè)表面的壓力而變化；驅(qū)動(dòng)部，所述驅(qū)動(dòng)部連接到所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中的一方，并且驅(qū)動(dòng)連接到所述驅(qū)動(dòng)部的環(huán)線；檢測(cè)部，所述檢測(cè)部連接到所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中的另一方，并且根據(jù)基于在所述電磁耦合部的電磁耦合的來(lái)自連接到所述檢測(cè)部上的環(huán)線的檢測(cè)信號(hào)檢測(cè)壓力；以及多個(gè)第三環(huán)線，所述多個(gè)第三環(huán)線相互平行地布置在與其上布置有所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中的一方的平面相同的平面上，每個(gè)所述第三環(huán)線被布置為，與所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中布置在與所述第三環(huán)線相同平面上的一方部分地重疊，并且所述第三環(huán)線可以以與所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中布置在與所述第三環(huán)線相同平面上的一方分離的方式連接到所述驅(qū)動(dòng)部和所述檢測(cè)部中的一個(gè)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓力分布傳感器，其中，基于當(dāng)所述第 一環(huán)線和所述第二環(huán)線中的一方被驅(qū)動(dòng)時(shí)獲得的檢測(cè)信號(hào)的值和當(dāng)所 述第三環(huán)線被驅(qū)動(dòng)時(shí)獲得的檢測(cè)信號(hào)的值之間的差異，或者基于來(lái)自 所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中的另外一方的檢測(cè)信號(hào)的值和來(lái)自所 述第三環(huán)線的檢測(cè)信號(hào)的值之間的差異，所述檢測(cè)部檢測(cè)在除了相對(duì) 于所述檢測(cè)表面的垂直方向以外的滑動(dòng)方向上的位移、方向和/或力。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓力分布傳感器，其中，所述第三環(huán)線被布置在與布置有所述第一環(huán)線的平面相同的平面 上，并且所述壓力分布傳感器還包括多個(gè)第四環(huán)線，所述第四環(huán)線相互平 行地布置在與布置有所述第二環(huán)線的平面相同的平面上，每個(gè)所述第 四環(huán)線被布置成與所述第二環(huán)線部分地重疊，并且所述第四環(huán)線可以 以與所述第二環(huán)線分離的方式連接到所述驅(qū)動(dòng)部和所述檢測(cè)部中的另 外一個(gè)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓力分布傳感器，其中，通過(guò)所述 第一環(huán)線和所述第二環(huán)線，在所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線的交叉處 設(shè)置所述電磁耦合部，所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中的一方被形成 為直線形狀，而另外一方被形成為線圈形狀；并且所述第三環(huán)線被布 置在與布置有所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中形成為直線形狀的一方 的平面相同的平面上。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓力分布傳感器，其中，通過(guò)所述第一 環(huán)線和所述第二環(huán)線，在所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線的交叉處設(shè)置 所述電磁耦合部，所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線都被形成為線圈形狀。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l至3中任何一項(xiàng)所述的壓力分布傳感器，其中， 所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線都被形成為直線形狀，并且 通過(guò)在鄰近所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線的交叉的部分形成導(dǎo)電材料片來(lái)設(shè)置所述電磁耦合部。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓力分布傳感器，還包括用于所述導(dǎo)電 材料片的彈性構(gòu)件，用于所述導(dǎo)電材料片的彈性構(gòu)件被設(shè)置在鄰近所 述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線的交叉的部分與所述導(dǎo)電材料片之間。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的壓力分布傳感器，還包括用于所述 導(dǎo)電材料片的板構(gòu)件，所述導(dǎo)電材料片被設(shè)置在用于所述導(dǎo)電材料片的板構(gòu)件上。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓力分布傳感器，還包括用于所述導(dǎo)電材料片的彈性板構(gòu)件，用于所述導(dǎo)電材料片的所述彈性構(gòu)件被設(shè)置在 用于所述導(dǎo)電材料片的彈性板構(gòu)件上。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任何一項(xiàng)所述的壓力分布傳感器， 還包括用于所述線的彈性構(gòu)件，用于所述線的彈性構(gòu)件設(shè)置于所述第 一環(huán)線和所述第二環(huán)線之間。
11. 根據(jù)權(quán)利要求IO所述的壓力分布傳感器，還包括用于所述線 的彈性板構(gòu)件，用于所述線的彈性構(gòu)件設(shè)置在用于所述線的彈性板構(gòu) 件上。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1至11中的任何一項(xiàng)所述的壓力分布傳感器， 還包括在其上布置有所述第一環(huán)線的第一板構(gòu)件和在其上布置有所述 第二環(huán)線的第二板構(gòu)件，并且其中所述第三環(huán)線被布置在所述第一板 構(gòu)件和所述第二板構(gòu)件中的一個(gè)上。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓力分布傳感器，其中所述第一板構(gòu) 件和所述第二板構(gòu)件中的至少一個(gè)具有柔性。
14. 根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的壓力分布傳感器，還包括在所 述第一板構(gòu)件和所述第二板構(gòu)件的端部處的用于布線所述第一、第二 和第三環(huán)線的布線部分。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的壓力分布傳感器，其中所述布線部分 包括基板，在所述基板上圖案化布線用于連接所述環(huán)線。
16. 根據(jù)權(quán)利要求12至15中的任何一項(xiàng)所述的壓力分布傳感器，其中所述第一板構(gòu)件和所述第二板構(gòu)件由合成樹脂制成，而第一、第 二、第三環(huán)線由鋁箔制成。
17.根據(jù)權(quán)利要求1到16中的任何一項(xiàng)所述的壓力分布傳感器， 其中所述第三環(huán)線具有與所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中的一方相同 的形狀，并且被布置在從所述第一環(huán)線和所述第二環(huán)線中的一方移位1/4間距的位置。
全文摘要
一種利用電磁耦合的壓力分布傳感器，其中，使電磁耦合線圈的校準(zhǔn)變得容易，并且能夠檢測(cè)在滑動(dòng)方向上的力。利用電磁耦合的壓力分布傳感器具有下述檢測(cè)表面，即，該檢測(cè)表面包括在同一平面上相互平行地布置的多個(gè)第一環(huán)線(1)；在正交于與第一環(huán)線(1)的方向上相互平行地布置在同一平面上的多個(gè)第二環(huán)線(2)；相互平行地布置在與第一環(huán)線相同的平面上的多個(gè)第三環(huán)線(3)。第三環(huán)線(3)能夠與第一環(huán)線(1)分離地與驅(qū)動(dòng)部(10)連接。與第一環(huán)線連接的驅(qū)動(dòng)部(10)驅(qū)動(dòng)第一環(huán)線，與第二環(huán)線連接的檢測(cè)部(20)根據(jù)基于在電磁耦合部的電磁耦合的來(lái)自第二環(huán)線的檢測(cè)信號(hào)檢測(cè)壓力。
文檔編號(hào)G01L5/00GK101490519SQ20078002675
公開日2009年7月22日 申請(qǐng)日期2007年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月14日
發(fā)明者小川保二 申請(qǐng)人:株式會(huì)社紐康姆