專利名稱：調(diào)整機(jī)構(gòu)的制作方法
調(diào)整機(jī)構(gòu)
背景技術(shù)：
大家都知道各種測(cè)試諸如半導(dǎo)體管芯之類電子器件的測(cè)試系統(tǒng)。在某些這 樣的測(cè)試系統(tǒng)中，導(dǎo)電探針與電子器件的端子接觸。然后，電力和測(cè)試信號(hào)通 過(guò)探針供應(yīng)到電子器件，通過(guò)探針監(jiān)視電子器件對(duì)測(cè)試信號(hào)的響應(yīng)。為了在探 針和電子器件端子之間建立可靠的電氣連接，探針通常必須大致與端子對(duì)準(zhǔn)。 在某些測(cè)試情形中，探針與端子的對(duì)準(zhǔn)包括調(diào)整探針觸頭的姿勢(shì)(例如，傾斜、 定向、平面性等)以大致地對(duì)應(yīng)于端子的姿勢(shì)。此外，在某些測(cè)試情形中，熱 梯度、置于探針上的機(jī)械載荷以及其它這樣的原因會(huì)造成探針不希望的移動(dòng)。 在某些實(shí)例中，這些運(yùn)動(dòng)可使探針變得與端子對(duì)準(zhǔn)不準(zhǔn)，以致于在電子器件測(cè) 試過(guò)程中，某些或所有的探針和某些或所有的電子器件端子之間失去電氣連 接。本發(fā)明的實(shí)施例旨在改進(jìn)對(duì)探針板組件姿勢(shì)的調(diào)整，并提供探針板組件的 機(jī)械加固。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的探針板組件可包括多個(gè)探針可直接地或間接地附 連在其上的支承結(jié)構(gòu)。探針可設(shè)置成接觸要被測(cè)試的電子器件。探針板組件還 可包括致動(dòng)器，它們可構(gòu)造成有選擇地相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)改變支承結(jié)構(gòu)的姿勢(shì)。 探針板組件還可包括多個(gè)可鎖定的順從結(jié)構(gòu)。未鎖定時(shí)，可鎖定的順從結(jié)構(gòu)可 允許支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。然而鎖定時(shí)，順從結(jié)構(gòu)可對(duì)支承結(jié)構(gòu)相對(duì) 于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)提供機(jī)械抗力。
根據(jù)本發(fā)明的某些實(shí)施例， 一種有選擇地調(diào)整多個(gè)探針相對(duì)于要測(cè)試電子 器件的端子的姿勢(shì)的方法，可包括將探針板組件附連到基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)。探針可直接 地或間接地附連到探針板組件的支承結(jié)構(gòu)，探針板組件可包括多個(gè)可鎖定的順 從結(jié)構(gòu)。該方法還可包括在可鎖定的順從結(jié)構(gòu)未鎖定時(shí)，改變探針板組件的 支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的姿勢(shì)，然后，鎖定可鎖定的順從結(jié)構(gòu)。在未鎖定時(shí)，可鎖定的順從結(jié)構(gòu)可允許支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。另一方面，在鎖定時(shí)， 各個(gè)可鎖定的順從結(jié)構(gòu)可機(jī)械地阻礙順從結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的某些實(shí)施例， 一種調(diào)整多個(gè)探針姿勢(shì)的裝置可包括調(diào)整機(jī)構(gòu)， 該調(diào)整機(jī)構(gòu)構(gòu)造成調(diào)整支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的姿勢(shì)。探針可直接地或間接 地附連到支承結(jié)構(gòu)。該裝置還可包括離合式順從結(jié)構(gòu)。當(dāng)順從結(jié)構(gòu)的離合器脫 開配合時(shí)，順從結(jié)構(gòu)可允許支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。然而，當(dāng)離合器配 合時(shí)，順從結(jié)構(gòu)可機(jī)械地阻礙支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。
在某些實(shí)施例中，工具固定組件可包括支承結(jié)構(gòu)，而多個(gè)工具可直接地或 間接地固定到支承結(jié)構(gòu)并設(shè)置成在工件上進(jìn)行操作。致動(dòng)器可構(gòu)造成有選擇地 改變支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的姿勢(shì)。該工具固定組件可包括多個(gè)可鎖定的順 從結(jié)構(gòu)。在未鎖定時(shí)，可鎖定的順從結(jié)構(gòu)可允許支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。 然而，在鎖定時(shí)，順從結(jié)構(gòu)可機(jī)械地阻礙支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)。


圖1示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的一示范測(cè)試系統(tǒng)。
圖2示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的一示范探針板組件的立體圖及一示范的 頭板和插入環(huán)的局部視圖。
圖3示出圖2的示范探針板組件的俯視圖。
圖4示出圖2的示范探針板組件的側(cè)視圖。
圖5A和5B示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例對(duì)圖2的探針板組件姿勢(shì)的示范調(diào)整。
圖6示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的圖2探針板組件的調(diào)整組件的示范構(gòu)造。 圖7示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的圖2探針板組件的可鎖定的順從組件的
示范構(gòu)造的立體圖。
圖8示出圖7示范的可鎖定的順從組件的俯視圖，頭板為局部視圖。
圖9示出取自圖8的示范的可鎖定的順從組件和頭板的側(cè)剖視圖。
圖10A和10B示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的互連器塊相對(duì)于圖7-9的可鎖
定的順從組件的附連塊的示范轉(zhuǎn)動(dòng)。
圖IIA和11B示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的互連器塊相對(duì)于圖7-9的可鎖定的順從組件的端部塊的示范轉(zhuǎn)動(dòng)。
圖12示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的互連器塊相對(duì)于圖7-9的可鎖定的順從 組件的端部塊的示范平移。
圖13A和13B示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于圖7-9的可鎖 定的順從組件的端部塊的示范轉(zhuǎn)動(dòng)。
圖14示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的圖2的探針板組件的可鎖定的順從組件 的另一示范構(gòu)造的立體圖。
圖15示出圖14的可鎖定的順從組件的附連塊的剖視圖。
圖16示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的圖14的可鎖定的順從組件的啞鈴形結(jié) 構(gòu)的示范構(gòu)造。
圖17示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的圖2的探針板組件的可鎖定的順從組件 的另一示范構(gòu)造的立體圖。
圖18示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的圖17的可鎖定的順從組件的啞鈴形結(jié) 構(gòu)的示范構(gòu)造。
圖19示出可在根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的圖1系統(tǒng)上實(shí)施的示范過(guò)程。 圖20示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的工具裝置。
具體實(shí)施例方式
本說(shuō)明書描述本發(fā)明的示范實(shí)施例和應(yīng)用。然而，本發(fā)明不局限于這些示 范實(shí)施例和應(yīng)用，或局限于示范實(shí)施例和應(yīng)用操作或在這里描述的方式。而且， 附圖可顯示簡(jiǎn)化的或局部的視圖，而附圖中元件的尺寸可以夸大或其它方式不 成比例。此外，如在這里使用術(shù)語(yǔ)"在……上"和"附連到"及類似術(shù)語(yǔ)，一 物體(例如， 一材料、 一層、 一基底等)可以"在"另一物體"上"或"附連 到"另一物體，而不管該一個(gè)物體是直接在另一物體上或附連在另一物體上， 還是有一個(gè)或多個(gè)干預(yù)的物體在該一個(gè)物體和另一物體之間。還有，若提出有 關(guān)的方向(例如，上方、下方、頂部、底部、側(cè)向、水平、垂直、"x" 、 "y"、 "z"等)，則諸方向是相對(duì)而言的，僅是借助于實(shí)例，為便于說(shuō)明和討論而 提出的并不要加以限制。
圖1示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的一示范測(cè)試系統(tǒng)100。如圖所示，該測(cè)試
9系統(tǒng)100包括一外殼132 (例如， 一測(cè)試裝置，諸如半導(dǎo)體探針)，其在圖1 中顯示為有切去部分136，以揭示外殼132的內(nèi)部腔室132。如圖所示， 一可 移動(dòng)的卡盤134可位于腔室132內(nèi)并構(gòu)造成固定要測(cè)試的一個(gè)或多個(gè)電子器件 或DUT130。如這里所使用的，首字母縮寫詞"DUT"(可稱作測(cè)試中的器件) 是指被測(cè)試或正在測(cè)試的任何電子器件。DUT的非限制的實(shí)例包括未單個(gè)化 半導(dǎo)體晶片的一個(gè)或多個(gè)管芯、從晶片中單個(gè)地分出的一個(gè)或多個(gè)半導(dǎo)體管芯 (包裝或未包裝的)、設(shè)置在載體或其它固定裝置內(nèi)的多個(gè)已單個(gè)化半導(dǎo)體管 芯中一個(gè)或多個(gè)管芯、 一個(gè)或多個(gè)多管芯電子模塊、 一個(gè)或多個(gè)印刷電路板以 及任何其它類型的電子器件。
如圖所示，外殼132可包括頭板110，例如，頭板可以是任何剛性的結(jié)構(gòu)并 可形成外殼132上部的一部分或全部。探針板組件114可附連到頭板110，該 探針板組件114包括多個(gè)導(dǎo)電探針116，這些探針構(gòu)造成接觸DUT 130的輸入 和/或輸出端子118。探針116例如可設(shè)置成陣列或其它圖形。例如，探針116 可包括觸頭，它們構(gòu)造成接觸DUT130的端子118。如圖2所示，頭板110可 包括插入環(huán)112 (例如，卡固定器)或探針板組件114可附連(例如，螺栓連 接、夾住等)在其上的類似結(jié)構(gòu)。插入環(huán)112可包括開口 120，探針116可通 過(guò)開口 120延伸入腔室132內(nèi)。
還如圖1所示，測(cè)試系統(tǒng)IOO可包括測(cè)試儀102，它可以是計(jì)算機(jī)或計(jì)算機(jī) 系統(tǒng)?？蓮臏y(cè)試儀102到探針板組件114設(shè)置多個(gè)通信通道。通信通道可包括 任何的元件、器件等，它們可提供測(cè)試儀102和探針板組件114之間的通信聯(lián) 系，以使電力和信號(hào)(例如，測(cè)試信號(hào)、控制信號(hào)等)從測(cè)試儀通到探針板組 件114，并使DUT 130產(chǎn)生的信號(hào)從探針板組件114通到測(cè)試儀102。
在圖l所示的實(shí)例中，通信通道可由一個(gè)或多個(gè)通信聯(lián)系裝置104 (例如， 同軸電纜、光纖電纜、無(wú)線通信聯(lián)系裝置等)和頭板106內(nèi)的電子器件(例如， 接收器電路、驅(qū)動(dòng)器電路、接口電路等)形成。探針板組件114可用電氣連接 器108電氣地連接到通信通道，探針板組件114可包括介于連接器108和探針 116之間的導(dǎo)電通路。因此可在測(cè)試儀102和探針116之間提供多個(gè)導(dǎo)電通路。
在操作中，DUT130可放置在卡盤134上?？ūP134然后可移動(dòng)，以使DUT 130的一些輸入和/或輸出端子118可與一些探針116的觸頭接觸，由此，在那些端子118和那些探針116之間建立起臨時(shí)的電氣連接。測(cè)試儀102然后可產(chǎn)
生電力和測(cè)試信號(hào)，這些電力和測(cè)試信號(hào)通過(guò)通信通道(例如，包括聯(lián)系裝置
104、測(cè)試儀頭106中的電路系統(tǒng)和連接器108)和探針板組件114供應(yīng)到DUT 130。 DUT 130響應(yīng)于測(cè)試信號(hào)產(chǎn)生的響應(yīng)信號(hào)可通過(guò)探針板組件114和通信 通道提供到測(cè)試儀102，測(cè)試儀102可分析響應(yīng)信號(hào)并確定DUT 130是否正確 地響應(yīng)于測(cè)試信號(hào)。例如，測(cè)試儀102可將響應(yīng)信號(hào)與預(yù)期的響應(yīng)信號(hào)作比較。
在某些實(shí)施例中，探針116可能少于端子118。在如此情形中，卡盤134 可移動(dòng)DUT 130，以使其它的端子118與一些探針116接觸，此時(shí)，測(cè)試儀 102可通過(guò)通信通道和探針板組件114提供電力和測(cè)試信號(hào)以測(cè)試DUT 130的 其它部分。通過(guò)將電力和測(cè)試信號(hào)從測(cè)試儀102提供到DUT130，使一些端子 118與一些DUT端子118接觸，然后，測(cè)試DUT130的一部分，并分析DUT 130響應(yīng)于測(cè)試信號(hào)產(chǎn)生的響應(yīng)信號(hào)，根據(jù)測(cè)試整個(gè)DUT130的需要，上述過(guò) 程可以重復(fù)進(jìn)行。例如，如果DUT 130是包括多個(gè)半導(dǎo)體管芯(未示出)的 半導(dǎo)體晶片，則該晶片可按需要重復(fù)定位多次，以測(cè)試晶片的所有管芯。
測(cè)試系統(tǒng)IOO只是作為示范而已，許多修改和變化也是可能的。例如，測(cè) 試儀102和探針板組件114之間的通信通道可由不是如圖1所示的聯(lián)系裝置 104、測(cè)試頭106和連接器108的裝置提供。例如，通信通道可由直接通信聯(lián) 系裝置(例如，同軸電纜、無(wú)線通信聯(lián)系裝置、光纖電纜等)提供，它們直接 連接測(cè)試儀102和探針板組件114。
圖2-4以簡(jiǎn)化的結(jié)構(gòu)圖形式中示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的探針板組件114 的示范構(gòu)造。圖2-4還示出頭板110的局部視圖。如圖2所示(該圖顯示探針 板組件114的立體圖和頭板110的局部立體圖)，插入環(huán)112的形狀適于接納 探針板組件114。例如，如圖2所示，探針板組件114可呈大致的環(huán)形，而插 入環(huán)112可以是對(duì)應(yīng)的環(huán)形。然而，探針板組件114和插入環(huán)112可呈其它形 狀(例如，方形、矩形等)。
如圖2-4所示，且在圖4中最清晰地示出，探針板組件114可包括附連/加 固結(jié)構(gòu)202、配線板204、柔性電氣連接器402以及探針頭組件404。附連/加 固結(jié)構(gòu)202可構(gòu)造成被附連到頭板IIO的插入環(huán)112，并還可以是加固結(jié)構(gòu)， 其機(jī)械地阻礙探針板組件或探針板組件零件的運(yùn)動(dòng)(例如，由于熱變化或梯度
11引起的移動(dòng)或翹曲，由于機(jī)械載荷引起的移動(dòng)或翹曲等)。此外，探針頭組件
404可通過(guò)安裝機(jī)構(gòu)214用機(jī)械方法附連到附連/加固結(jié)構(gòu)202。如圖所示，附 連/加固結(jié)構(gòu)202可包括支承結(jié)構(gòu)206，支承結(jié)構(gòu)可以是剛性結(jié)構(gòu)，探針頭組件 404通過(guò)安裝機(jī)構(gòu)214附連到該剛性結(jié)構(gòu)。例如，支承結(jié)構(gòu)206可包括板或板 狀結(jié)構(gòu)(例如，包括金屬或其它剛性材料)。作為另一實(shí)例，支承結(jié)構(gòu)206可 包括帶有空的空間的金屬板狀結(jié)構(gòu)。如上所述，附連/加固結(jié)構(gòu)202可構(gòu)造成機(jī) 械地阻止探針板組件114例如由于熱梯度或機(jī)械載荷引起的翹曲或變形，這些 翹曲或變型若未加阻止則會(huì)影響探針116的位置。
配線基底204可包括多個(gè)電氣連接器212，其構(gòu)造成與圖1所示的連接器 108形成電氣連接。盡管示出了四個(gè)連接器，但也可使用多一些或少一些的連 接器。配線基底204可包括多個(gè)電氣通路(例如， 一個(gè)或更多個(gè)導(dǎo)電跡線和/ 或在配線基底204上或中的通路)，這些電氣通道通過(guò)電氣連接器212和柔性 電氣連接器402之間的配線基底204。柔性電氣連接器402可提供通向探針頭 組件404的電氣通路，探針頭組件404又可提供通過(guò)通向探針116的探針頭組 件404的電氣通路。
如圖所示，安裝機(jī)構(gòu)214可機(jī)械地將探針頭組件404附連到支承結(jié)構(gòu)206。 安裝機(jī)構(gòu)214因此可以是適于將探針頭組件404附連到支承結(jié)構(gòu)206的任何裝 置或機(jī)構(gòu)。安裝機(jī)構(gòu)214因此可以是簡(jiǎn)單如螺栓、螺釘、夾具或是其它的機(jī)械 附連機(jī)構(gòu)。然而，在某些實(shí)施例中，安裝機(jī)構(gòu)214可提供附加的功能。例如， 各個(gè)安裝機(jī)構(gòu)可構(gòu)造成推和/或拉探針頭組件404遠(yuǎn)離或朝向支承結(jié)構(gòu)206。例 如，安裝機(jī)構(gòu)214可包括差動(dòng)螺旋組件，各組件構(gòu)造成有選擇地推動(dòng)探針頭組 件404遠(yuǎn)離支承結(jié)構(gòu)206，或拉動(dòng)探針頭組件404朝向支承結(jié)構(gòu)206，視差動(dòng) 螺旋組件的轉(zhuǎn)動(dòng)元件的轉(zhuǎn)動(dòng)方向而定。作為另一實(shí)例，各個(gè)安裝機(jī)構(gòu)214可包 括推力機(jī)構(gòu)和偏置機(jī)構(gòu)。例如，該推力機(jī)構(gòu)可包括螺釘或螺栓，當(dāng)沿第一方向 轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，螺釘或螺栓朝向探針頭組件404延伸，因此，推動(dòng)探針頭組件404遠(yuǎn) 離支承結(jié)構(gòu)206。螺釘或螺栓可以構(gòu)造成當(dāng)沿相對(duì)方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，它們縮回而 遠(yuǎn)離探針頭組件404，使偏置機(jī)構(gòu)(它例如可以是彈簧)能推動(dòng)探針頭組件404 朝向支承結(jié)構(gòu)206。由于包括設(shè)置成在不同部位接觸探針頭組件404的多個(gè)如 此的安裝機(jī)構(gòu)214，所以可有選擇地調(diào)整或改變探針頭組件404和因此探針116的觸頭相對(duì)于支承結(jié)構(gòu)206的姿勢(shì)(例如包括平面性、傾斜、定向等)。安裝
機(jī)構(gòu)214還可包括機(jī)械鎖定能力，其能將探針頭組件404相對(duì)于支承結(jié)構(gòu)206 的特定姿勢(shì)鎖定就位。
例如，配線基底204可以是印刷電路板基底。柔性連接器402可以是在配 線基底204和探針頭組件404之間提供電氣連接的任何合適的裝置，這樣的電 氣連接具有足夠柔性來(lái)適應(yīng)探針頭組件404相對(duì)于支承結(jié)構(gòu)206姿勢(shì)(例如， 傾斜、定向、平面性等)的改變。柔性連接器402因此可以簡(jiǎn)單如多個(gè)柔性電 線。作為另一非限制的實(shí)例，柔性連接器402可包括插入件，該插入件包括基 底(例如，陶瓷基底、印刷電路板基底等)，該基底帶有從基底的相反兩表面 延伸的導(dǎo)電彈簧觸頭以及基底的一個(gè)表面上一些彈簧觸頭和基底的另一表面 上其它彈簧觸頭之間的電氣連接。
探針頭組件404可以簡(jiǎn)單如單個(gè)基底(例如，探針基底)，探針116附連 到該單個(gè)基底上?；蛘?，探針頭組件404可包括多個(gè)獨(dú)立可移動(dòng)的基底(例如， 多個(gè)探針基底)，而各個(gè)如此獨(dú)立移動(dòng)的基底可附連有一個(gè)探針116的子集。 如此探針頭組件404可包括調(diào)整機(jī)構(gòu)，它們獨(dú)立地調(diào)整各個(gè)基底相對(duì)于其它基 底的位置和定向。
如圖2-4所示，附連/加固結(jié)構(gòu)202也可包括多個(gè)組件208、 210 (例如，臂 組件)(圖中示出八個(gè)，但可使用更多或更少的組件)。某些組件208可以是 調(diào)整組件208，其它組件210可以是可鎖定(例如，可以被夾緊和放開)的順 從組件210 (例如，離合的順從機(jī)構(gòu))。(盡管在圖2-4的示范探針板組件114 中示出了三個(gè)調(diào)整組件208和五個(gè)可鎖定的順從組件210，但更多或更少的任 何一種類型的組件208、 210都可以被包括在其它的實(shí)施例或?qū)嵤┓桨钢小?
每個(gè)組件208、 210可包括一機(jī)構(gòu)(例如，附連機(jī)構(gòu))，其使組件208、 210 能附連到頭板110的插入環(huán)112和從其中脫離開來(lái)。例如，各調(diào)整組件208、 210可以用螺栓連接、夾緊等到插入環(huán)112。此外，各調(diào)整組件208可包括調(diào) 整機(jī)構(gòu)，其構(gòu)造成可在探針板組件114附連到插入環(huán)112時(shí)相對(duì)于插入環(huán)112 移動(dòng)組件208 (例如，各調(diào)整機(jī)構(gòu)可朝向或遠(yuǎn)離插入環(huán)112移動(dòng)組件208)。 調(diào)整組件208因此可改變(例如，調(diào)整)探針板組件114相對(duì)于插入環(huán)112 (它 可以是基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的實(shí)例)的姿勢(shì)(例如，傾斜、定向或平面性)。各個(gè)可鎖定的順從組件210可包括附連塊302(它可以是附連機(jī)構(gòu)的實(shí)例)和順從機(jī)構(gòu)432， 前者可牢固地附連到插入環(huán)112，后者可允許支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于附連塊302 移動(dòng)?？涉i定的順從組件210還可包括鎖定機(jī)構(gòu)430，其可鎖定順從機(jī)構(gòu)432， 使支承結(jié)構(gòu)206不能明顯地相對(duì)于附連塊302移動(dòng)。換句話說(shuō)，鎖定機(jī)構(gòu)430 可鎖定順從機(jī)構(gòu)432，以使可鎖定的順從組件210機(jī)械地阻止支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于 附連塊302和插入環(huán)112運(yùn)動(dòng)。因此，在未鎖定時(shí)，各可鎖定的順從組件210 可允許支承結(jié)構(gòu)206運(yùn)動(dòng)(例如，調(diào)整組件208誘發(fā)的運(yùn)動(dòng))。因此，例如， 在未鎖定時(shí)，各可鎖定的順從組件210可允許改變支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于插入環(huán) 112的姿勢(shì)，而基本上不或不明顯地影響支承結(jié)構(gòu)206的姿勢(shì)。這是因?yàn)樵谖?鎖定時(shí)可鎖定的順從組件210允許支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于插入環(huán)112移動(dòng)。 一般 地，在未鎖定時(shí)，可鎖定的順從組件210提供的支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于插入環(huán)112 的運(yùn)動(dòng)自由度(例如，運(yùn)動(dòng)和/或摩擦的自由度數(shù)量)越大，則未鎖定的可鎖定 順從組件210對(duì)支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于插入環(huán)206姿勢(shì)的影響越弱。通常地，如果提 供支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于插入環(huán)112足夠的運(yùn)動(dòng)自由度，則提供這些運(yùn)動(dòng)自由度 的可鎖定的順從組件210的運(yùn)動(dòng)部分之間的摩擦力可能是未鎖定的可鎖定的順 從組件210對(duì)支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于插入環(huán)112姿勢(shì)影響的唯一可能的重要影響 根源。盡管在其它實(shí)施例中可提供更多或更少的運(yùn)動(dòng)自由度，但在某些實(shí)施例 中，至少四個(gè)運(yùn)動(dòng)自由度(例如，圍繞"x" 、 "y"和"z"軸的轉(zhuǎn)動(dòng)以及沿 這些軸之一的平移)是足夠的運(yùn)動(dòng)自由度數(shù)。通過(guò)合適地構(gòu)造和/或潤(rùn)滑可鎖定 的順從組件210的運(yùn)動(dòng)部分，就可減小如此的摩擦力，使未鎖定的可鎖定順從 組件210對(duì)支承結(jié)構(gòu)206姿勢(shì)的影響可以忽略。然而在鎖定時(shí)，各可鎖定的順 從組件210可提供機(jī)械的加固或抗力來(lái)阻止例如由熱梯度、機(jī)械載荷等引起的 探針板組件114的翹曲、變形或其它的運(yùn)動(dòng)。因此，可鎖定的順從組件210可
以是可鎖定的順從結(jié)構(gòu)的實(shí)例。
一根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的調(diào)整組件208的實(shí)例顯示在圖4中。如圖所示， 調(diào)整組件208可包括足部406、延伸部312 (例如，延伸臂)以及致動(dòng)器314 (它可以是調(diào)整機(jī)構(gòu)的實(shí)例)。足部406 (它可以是附連機(jī)構(gòu)的實(shí)例)可以構(gòu) 造成附連到插入環(huán)112和從插入環(huán)112脫離。例如，足部406可包括金屬塊， 其包括對(duì)應(yīng)于插入環(huán)112中的孔的孔。螺釘或螺栓(圖4中未示出)可穿過(guò)足
14部406和插入環(huán)112中的孔而將足部406固定到插入環(huán)112。
延伸部312可包括由金屬或其它剛性材料構(gòu)成的塊體或其它剛性結(jié)構(gòu)，其 與支承結(jié)構(gòu)206形成一體?；蛘?，延伸部312可包括剛性地固定到支承結(jié)構(gòu)206 的塊體或結(jié)構(gòu)。致動(dòng)器314可以構(gòu)造成將延伸部312附連到足部406，而致動(dòng) 器314還可構(gòu)造成有選擇地移動(dòng)延伸部312朝向或遠(yuǎn)離足部406。致動(dòng)器312 可包括任何裝置或機(jī)構(gòu)，或裝置和/或機(jī)構(gòu)的組合，它們可將延伸部312附連到 足部406并提供有選擇地相對(duì)于足部406移動(dòng)延伸部312的能力。
例如，致動(dòng)器314可包括彈簧加載的支架和推力致動(dòng)器(未單獨(dú)示出)。 彈簧加載的支架(未單獨(dú)示出)可將延伸部312固定到足部406，并用彈簧力 偏置延伸部312朝向足部406。推力致動(dòng)器(未單獨(dú)示出)可包括安裝在延伸 部312上的螺桿組件，當(dāng)沿第一方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該螺桿組件朝向足部406延伸， 因此抵抗彈簧加載的支架的偏置力，推動(dòng)延伸部312遠(yuǎn)離足部406。當(dāng)沿相對(duì) 方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，螺桿組件(未示出)可縮回而遠(yuǎn)離足部406，使彈簧加載的支架 的彈簧偏置力能將延伸部312拉向足部406。在其它實(shí)施例中，致動(dòng)器314可 用改變支承結(jié)構(gòu)206姿勢(shì)的被動(dòng)裝置或方法替代。例如，不是采用致動(dòng)器314 或添加到致動(dòng)器314，在一個(gè)或更多個(gè)調(diào)整組件208中， 一個(gè)或更多個(gè)墊片(未 示出)可放置在延伸部312和足部406之間，以改變支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于插入 環(huán)112的姿勢(shì)。
應(yīng)該會(huì)明白到，利用多個(gè)如此的調(diào)整組件208，可有選擇地調(diào)整或改變支承 結(jié)構(gòu)206相對(duì)于插入環(huán)112的姿勢(shì)(例如，傾斜、定向、平面性等)。而且， 因?yàn)樘结橆^組件404附連到支承結(jié)構(gòu)206 (例如，通過(guò)安裝機(jī)構(gòu)214)，所以 有選擇地改變支承結(jié)構(gòu)206的姿勢(shì)可改變探針頭組件404和探針116觸頭(它 們附連到探針頭組件404)相對(duì)于插入環(huán)112的姿勢(shì)。此外，因?yàn)椴迦氕h(huán)112 和卡盤134可以是外殼132—部分或可附連(直接地或間接地)到外殼132， 所以，調(diào)整支承結(jié)構(gòu)206、探針頭組件404和探針116觸頭相對(duì)于插入環(huán)112 的姿勢(shì)也可改變支承結(jié)構(gòu)206、探針頭組件404和探針116觸頭相對(duì)于卡盤134 和設(shè)置在卡盤134上的DUT 130 (帶有端子118)的姿勢(shì)。因此，如圖5A和 5B所示，支承結(jié)構(gòu)206及因此探針116觸頭的姿勢(shì)可相對(duì)于插入環(huán)112和DUT 端子118進(jìn)行調(diào)整。圖5A示出支承結(jié)構(gòu)206以及因此探針頭組件404和探針116觸頭具有相對(duì)于插入環(huán)112傾斜的姿勢(shì)，而圖5B示出支承結(jié)構(gòu)206具有 相對(duì)于插入環(huán)112沿不同方向傾斜的姿勢(shì)。支承結(jié)構(gòu)206及因此探針116觸頭 的姿勢(shì)因此可相對(duì)于任何數(shù)量的基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)改變，這些基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)包括但不局限于 插入環(huán)112、卡盤234 (例如，DUT130所放置的卡盤內(nèi)234的表面)、DUT130 以及DUT130的端子118。調(diào)整組件208和可鎖定的順從組件210因此可以(但 不是必須)安裝在支承結(jié)構(gòu)206或探針116的姿勢(shì)相對(duì)于其改變的基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)上。
如上所述，當(dāng)未鎖定時(shí)，可鎖定的順從組件210可允許支承結(jié)構(gòu)206相對(duì) 于插入環(huán)112相對(duì)自由地移動(dòng)。在某些實(shí)施例中，可鎖定的順從組件210可允 許支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于插入環(huán)112的姿勢(shì)改變，而不會(huì)顯著地影響支承結(jié)構(gòu)206 的姿勢(shì)。支承結(jié)構(gòu)206和調(diào)整組件208可以是機(jī)械地剛性或堅(jiān)硬的，并可對(duì)探 針116、探針頭組件404或探針板組件114的其它元件上的加載502 (例如， 力)提供機(jī)械抗力。支承結(jié)構(gòu)206和調(diào)整組件208因此可阻止由如此加載502 引起的附連/加固結(jié)構(gòu)202(以及因此支承結(jié)構(gòu)206、探針頭組件404和探針116) 的運(yùn)動(dòng)，加載502可由探針116的機(jī)械加載引起(例如，卡盤134抵靠探針116 按壓在DUT130的端子)，或由其它根源(例如，熱梯度)引起。在鎖定時(shí)， 可鎖定的順從組件210可對(duì)附連/加固結(jié)構(gòu)202提供附加的剛度。即，各可鎖定 的順從組件210可對(duì)任何加載502提供附加的機(jī)械抗力。的確，設(shè)置的可鎖定 的順從組件210越多，則提供的附加剛度(例如，對(duì)運(yùn)動(dòng)的抗力)就越大。
圖6示出示范的調(diào)整組件600，其可以是調(diào)整組件208的非限制性的示范實(shí) 施例。如圖所示，螺釘612可旋入到插入環(huán)112內(nèi)的螺紋孔(未示出)內(nèi)，該 螺釘612可將足部406附連到插入環(huán)112。進(jìn)入孔602可提供穿過(guò)延伸部312 接近螺釘612的通路。差動(dòng)螺旋組件606可以是圖3和4致動(dòng)器314的示范實(shí) 施例，其可附連到延伸部312，例如，延伸部312的開口 604內(nèi)。差動(dòng)螺旋組 件606的桿620可如圖6所示地附連到足部406。大家知道，差動(dòng)螺旋組件606 沿一個(gè)方向的轉(zhuǎn)動(dòng)可朝向足部406延伸桿620，推動(dòng)延伸部312遠(yuǎn)離足部406。 差動(dòng)螺旋組件606沿相對(duì)方向的轉(zhuǎn)動(dòng)可遠(yuǎn)離足部406地縮回桿620，從而拉動(dòng) 延伸部312朝向足部406。
如上所述，差動(dòng)螺旋組件606可用只推的致動(dòng)器和彈簧加載的支架替代。 彈簧加載的支架(未示出)可將延伸部312附連到足部406，并可偏置(例如，200780029051.5
用彈簧)延伸部312朝向足部406。只推致動(dòng)器可包括桿(未示出)，其可抵 抗彈簧支架的偏置力延伸而推動(dòng)延伸部312遠(yuǎn)離足部406。只推致動(dòng)器的桿也 可縮回而遠(yuǎn)離足部，使支架的彈簧偏置力能拉動(dòng)延伸部312朝向足部406。
再參照?qǐng)D4，根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的可鎖定的順從組件210的實(shí)例也顯示 在圖4中。如圖所示，各個(gè)可鎖定的順從組件210可包括附連塊302、順從機(jī) 構(gòu)432以及鎖定機(jī)構(gòu)430。附連塊302可構(gòu)造成附連到插入環(huán)112和與插入環(huán) 112脫開。例如，附連塊302可包括金屬塊，其包括對(duì)應(yīng)于插入環(huán)112中的孔 的孔。螺釘或螺栓(圖4中未示出)可穿過(guò)附連塊302和插入環(huán)112內(nèi)的孔， 將附連塊302固定到插入環(huán)112。
順從機(jī)構(gòu)432可包括任何的機(jī)構(gòu)，其機(jī)械地將附連部分302連接到支承結(jié) 構(gòu)206，同時(shí)，允許支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于附連部分302圍繞"x" 、 "y"禾口/ 或"z"軸中至少一個(gè)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，和或沿"x" 、 "y"和/或"z"軸中的至少一個(gè) 平移。例如，順從機(jī)構(gòu)432可包括彈簧、萬(wàn)向節(jié)、球窩結(jié)構(gòu)、樞轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)等。鎖 定機(jī)構(gòu)430可包括任何機(jī)構(gòu)，其剛性地鎖定順從機(jī)構(gòu)432，這樣，當(dāng)鎖定時(shí)， 可鎖定的順從組件210剛性地和基本上不可動(dòng)地用機(jī)械方法將支承結(jié)構(gòu)206連 接到附連部分302。例如，鎖定機(jī)構(gòu)430可包括離合器、螺釘、螺栓、平行板 結(jié)構(gòu)等。
圖7-9示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的可鎖定的順從組件210的示范結(jié)構(gòu) 700。如圖所示，圖7-9所示的可鎖定的順從組件210的示范結(jié)構(gòu)700可包括 附連塊701、互連器塊714和端部塊726。
如圖8和9所示，附連塊701可通過(guò)螺釘810附連到插入環(huán)112，螺釘810 可旋入到插入環(huán)112內(nèi)的孔(未示出)內(nèi)。如圖7-9所示，進(jìn)入孔702可設(shè)置 在附連塊701內(nèi)以用于螺釘810。附連塊701因此可附連到插入環(huán)112。如圖7 和9清楚地所示，附連塊701還可包括指形物704、 708，在指形物704、 708 之間形成水平空間706。
如圖7-9所示，端部塊726可包括凸緣722、 732，它們可用螺釘720、 730 附連到附連/加固機(jī)構(gòu)202的支承結(jié)構(gòu)206 (見圖2)。端部塊726因此可附連 到支承結(jié)構(gòu)206。還如圖所示，端部塊可包括指形物718、 724，在指形物718、 724之間形成垂直空間734。
17如圖7-9所示，互連器塊714可位于附連塊701和端部塊726之間，互連 器塊714可包括本體712、水平延伸部710以及垂直延伸部716。垂直延伸部 716可從本體712延伸到端部塊726的指形物718、 724之間的垂直空間734 內(nèi)，如圖7和8清楚地所示。水平延伸部710可從本體712延伸到附連塊701 的指形物704、 708之間的水平空間706內(nèi)，如圖7和9清楚地所示。
附連塊701 、互連器塊714和端部塊726中的每一個(gè)可由單件的剛性材料(例 如，金屬) 一體地形成?；蛘?，附連塊701、互連器塊714和端部塊726中的 每一個(gè)可包括機(jī)械地彼此連接的結(jié)構(gòu)上不同的元件。
如圖7和最清楚的是如圖9所示，螺栓/螺母對(duì)736中的螺栓可穿過(guò)指形物 704中的孔820、連接器塊714的水平延伸部710內(nèi)的孔802以及指形物708 內(nèi)的孔822。如圖10A和10B所示，當(dāng)螺栓/螺母對(duì)736松開時(shí)，互連器塊714 的水平延伸部710可圍繞螺栓/螺母對(duì)736的軸線(圖7-10B中標(biāo)識(shí)為"z"軸) 轉(zhuǎn)動(dòng)。(指形物704在圖10A和10B中顯示為有挖去部分1002，以顯示螺栓/ 螺母對(duì)736中螺栓桿和孔802。)然而，當(dāng)擰緊時(shí)，螺栓/螺母對(duì)736可牢固地 將指形物704、 708壓抵水平延伸部710，并相對(duì)于指形物704、 708將水平延 伸部710剛性地固定就位。因此，當(dāng)螺栓/螺母對(duì)736擰緊時(shí)，水平延伸部710 不能圍繞螺釘736軸線自由轉(zhuǎn)動(dòng)，而是基本上不可動(dòng)。指形物704、 708和螺 栓/螺母對(duì)736因此可形成離合器機(jī)構(gòu)，其通過(guò)擰緊螺栓/螺母對(duì)736而配合(鎖 定)，或通過(guò)擰松螺栓/螺母對(duì)736而脫開配合(未鎖定)。螺栓/螺母對(duì)736 可用旋入到附連塊701的指形物704、 708內(nèi)的螺紋孔中的螺釘替代。
如圖7-9所示，并從圖8和9中最清楚可見，螺栓/螺母對(duì)728中螺栓可穿 過(guò)端部塊726的指形物718、 724內(nèi)的孔(未示出)，并穿過(guò)互連器塊714的 垂直延伸部716內(nèi)的過(guò)大槽804 (見圖9)。如圖11A和11B所示，當(dāng)螺栓/ 螺母對(duì)728擰松時(shí)，互連器塊714的垂直延伸部716可大致圍繞圖11A和11B 中標(biāo)識(shí)為"y"軸的軸線相對(duì)于端部塊726的指形物718、 724轉(zhuǎn)動(dòng)。過(guò)大槽804 允許轉(zhuǎn)動(dòng)。如圖12所示，過(guò)大槽804還可允許垂直延伸部716沿著圖12中標(biāo) 識(shí)為"x"軸的軸線相對(duì)于端部塊726的指形物718、 724平移。(指形物724 在圖11A、 IIB和12中顯示為有挖去部分1102，以顯示螺栓/螺母對(duì)728中螺 栓桿和過(guò)大槽804。)然而當(dāng)擰緊時(shí)，螺栓/螺母對(duì)728可牢固地將端部塊726的指形物718、 724壓抵垂直延伸部716，并相對(duì)于指形物718、 724將垂直延 伸部716剛性地固定就位。因此，當(dāng)螺栓/螺母對(duì)728擰緊時(shí)，垂直延伸部716 不能圍繞"y"軸自由轉(zhuǎn)動(dòng)，或沿"x"軸平移而是基本上不可動(dòng)。指形物718、 724和螺栓/螺母對(duì)728因此可形成離合器機(jī)構(gòu)，其通過(guò)擰緊螺栓/螺母對(duì)728 而配合(鎖定)，或通過(guò)擰松螺栓/螺母對(duì)728而脫開配合(未鎖定)。螺栓/ 螺母對(duì)728可用旋入到指形物718、 724內(nèi)螺紋孔中的螺釘替代。
如圖9所示，銷子或榫釘808可分別設(shè)置在端部塊726和附連/加固結(jié)構(gòu)202 的支承結(jié)構(gòu)206 (見圖2)內(nèi)的對(duì)應(yīng)中空空間806、 810內(nèi)。如圖13A和13B 所示，當(dāng)穿過(guò)端部塊726凸緣722、 732的螺釘720、 730被擰松時(shí)，附連/加固 結(jié)構(gòu)202的支承結(jié)構(gòu)206 (見圖2)可圍繞榫釘808相對(duì)于端部塊726轉(zhuǎn)動(dòng)。 還如圖13A和13B所示，端部塊726的凸緣722、 732內(nèi)的過(guò)大和/或弧形槽 1302、 1304允許支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于不同地是靜止的螺釘720、 730轉(zhuǎn)動(dòng)。然 而當(dāng)擰緊時(shí)，螺釘720、 730固定住端部塊726的凸緣722、 732，使其相對(duì)于 支承結(jié)構(gòu)206基本上不可動(dòng)和呈剛性。因此，當(dāng)螺釘720、 730擰緊時(shí)，支承 結(jié)構(gòu)206不能相對(duì)于端部塊726轉(zhuǎn)動(dòng)或移動(dòng)。凸緣722、 732、支承結(jié)構(gòu)206 和螺釘720、 730因此可形成一離合器機(jī)構(gòu)，其通過(guò)擰緊螺釘720、 730而配合 (鎖定)，或通過(guò)擰松螺釘720、 730而脫開配合(未鎖定)。榫釘808只是 示范而已，例如，可用沿一個(gè)方向?yàn)槿嵝缘亓硪环较驗(yàn)閯傂缘慕Y(jié)構(gòu)替代。例 如，榫釘808可用這樣一結(jié)構(gòu)代替，該結(jié)構(gòu)沿對(duì)應(yīng)于圍繞圖8-10中"z"軸轉(zhuǎn) 動(dòng)的方向?yàn)槿嵝裕貙?duì)應(yīng)于圍繞"x"和"y"軸轉(zhuǎn)動(dòng)的方向?yàn)閯傂?。如此?個(gè)結(jié)構(gòu)的非限制性實(shí)例是C形柔性軸承。
正如大家明白的，圖7-13B中所示的附連塊701、互連器塊714和端部塊 726是根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的圖2-5B的可鎖定的順從組件210的非限制性示 范結(jié)構(gòu)。 一般地說(shuō)，螺栓/螺母對(duì)736、 728、指形物704、 708、 718、 724和螺 釘720、 730是圖2-5B的可鎖定的順從組件210的鎖定機(jī)構(gòu)432的非限制性實(shí) 例。互連器塊714、孔802和過(guò)大槽804、 1302、 1304是圖2-5B的可鎖定的順 從組件210的順從機(jī)構(gòu)432的非限制性實(shí)例。
圖14-16示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的另一示范的可鎖定的順從組件1400。 可鎖定的順從組件1400可以是圖2-5B的可鎖定的順從組件210的另一非限制
19性實(shí)例。如圖所示，可鎖定的順從組件1400可包括附連塊1402、啞鈴形結(jié)構(gòu) 1406和端部塊1404?？梢钥吹?，附連塊1402可包括金屬或其它剛性材料，并 可附連到圖1所示測(cè)試系統(tǒng)100中的插入環(huán)112。也可包括金屬或其它剛性材 料的端部塊1404可以與探針板組件114的附連/加固結(jié)構(gòu)202的支承結(jié)構(gòu)206 (見圖2) —體形成或可附連到該支承結(jié)構(gòu)206。啞鈴形結(jié)構(gòu)1406可允許端部 塊1404和因此支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于附連塊1402移動(dòng)。例如，啞鈴形結(jié)構(gòu)1406 可允許支承結(jié)構(gòu)206圍繞"x" 、 "y"和/或"z"軸中的一個(gè)或更多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)， 和/或沿"x" 、 "y"和/或"z"軸中的一個(gè)或更多個(gè)平移。
如圖14所示，附連塊1402可包括孔1408，其可以類似于孔702 (見圖9)， 并因此可構(gòu)造成接納螺釘(圖14-16中未示出)，以將附連塊1402附連到圖1 所示測(cè)試系統(tǒng)100的插入環(huán)112。附連塊1402因此可以與附連塊701附連到插 入環(huán)112相同的方式(見圖9)附連到插入環(huán)112。還如圖14所示，附連塊1402 可包括指形物1410、 1412，指形物1410、 1412之間形成空間1414。 一溝槽1418 可形成到指形物之一 1412內(nèi)，而一對(duì)應(yīng)的溝槽1502 (見圖15)可形成到另一 個(gè)指形物1410內(nèi)。溝槽1418、 1502可構(gòu)造成接納啞鈴形結(jié)構(gòu)1406的球體之 一 1420。螺栓/螺母對(duì)1416可如圖14和15所示地設(shè)置在指形物1410、 1412 之間。當(dāng)螺栓/螺母對(duì)1416擰松時(shí)，球體1420可圍繞"x" 、 "y"和/或"z" 軸中的任何軸線或全部軸線自由轉(zhuǎn)動(dòng)，也可沿著溝槽1418、 1502長(zhǎng)度(該長(zhǎng) 度沿著在圖14中標(biāo)識(shí)為"x"軸)平移。然而當(dāng)擰緊時(shí)，螺栓/螺母對(duì)1416可 牢固地將指形物1410、 1412壓抵球體1420，將球體1420鎖定就位。因此，當(dāng) 螺栓/螺母對(duì)1416擰緊時(shí)，球1420不能自由轉(zhuǎn)動(dòng)或平移，而是剛性地鎖定就位。 指形物1410、 12和螺栓/螺母對(duì)1416因此可形成離合器機(jī)構(gòu)，其通過(guò)擰緊螺栓 /螺母對(duì)1416而配合(鎖定)，或通過(guò)擰松螺栓/螺母對(duì)1416而脫開配合(未 鎖定)。螺栓/螺母對(duì)1416可用旋入到指形物1410、 1412中的螺紋孔內(nèi)的螺釘 替代。
如圖14所示，端部塊1404可與附連/加固結(jié)構(gòu)202的支承結(jié)構(gòu)206 —體形 成(見圖2)?；蛘撸瞬繅K1404可在結(jié)構(gòu)上與支承結(jié)構(gòu)206分離但剛性地和 牢固地附連到支承結(jié)構(gòu)206。如圖所示，端部塊1404可包括指形物1426、 1428， 指形物之間帶有空間1432。每個(gè)指形物1426、 1428可包括匹配的盤形結(jié)構(gòu)，其中一個(gè)1432在圖14中可見，其用來(lái)接納啞鈴形結(jié)構(gòu)1406的另一球體1424。 螺栓/螺母對(duì)1430可如圖14所示地設(shè)置在指形物1426、 1428之間。當(dāng)螺栓/ 螺母對(duì)1430松動(dòng)時(shí)，球1424可圍繞"x" 、 "y"和/或"z"軸中的任何軸線 或所有軸線自由地轉(zhuǎn)動(dòng)。然而當(dāng)擰緊時(shí)，螺栓/螺母對(duì)1430可牢固地將指形物 1426、 1428壓抵住球體1424，將球體1424鎖定就位。因此，當(dāng)螺栓/螺母對(duì) 1430擰緊時(shí)，球體1424不能自由轉(zhuǎn)動(dòng)，而是剛性地鎖定就位。指形物1426、 1428和螺栓/螺母對(duì)1430因此可形成離合器機(jī)構(gòu)，其通過(guò)擰緊螺栓/螺母對(duì)1430 而配合(鎖定)，或通過(guò)擰松螺栓/螺母對(duì)1430而脫開配合(未鎖定)。螺栓/ 螺母對(duì)1430可用旋入到指形物1426、 1428內(nèi)螺紋孔中的螺釘替代。
如圖14所示，啞鈴形結(jié)構(gòu)1406可包括球體1420、 1424，它們可附連到桿 條1422的相對(duì)端。圖16示出啞鈴形結(jié)構(gòu)1406的非限制性的實(shí)例。如圖所示， 球體1420、 1424可附連到桿條1422或與桿條1422形成一體。球體1420、 1424 和桿條1422可包括金屬或其它剛性材料。
如將會(huì)明白的，螺栓/螺母對(duì)1416、 1430可以是圖2-4的鎖定機(jī)構(gòu)430的非 限制性實(shí)例，而啞鈴形結(jié)構(gòu)1406可以是圖2-4的順從機(jī)構(gòu)432的非限制性實(shí) 例。
圖17和18示出根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的圖14-16的可鎖定的順從組件1400 的替代的示范結(jié)構(gòu)1500。圖17和18所示的可鎖定的順從組件1500因此是圖 2-5B可鎖定的順從組件210的另一非限制性實(shí)例。
如圖17所示，可鎖定的順從組件1500可包括如圖14所示和如上所述進(jìn)行 構(gòu)造的端部塊1404，包括所有替代的結(jié)構(gòu)。還如圖17所示，可鎖定的順從組 件1500還可包括附連塊1502和啞鈴形結(jié)構(gòu)1506。
附連塊1502可大致類似于圖14的附連塊1402，例外地是，附連塊1502 可包括指形物1512內(nèi)的盤形結(jié)構(gòu)1518和指形物1510內(nèi)對(duì)應(yīng)的盤形結(jié)構(gòu)(圖 17中未可見)(它們大致類似于端部塊1404的指形物1426、 1428內(nèi)的盤形結(jié) 構(gòu))，而不是附連塊1402的指形物1410、 1412內(nèi)的溝槽1502、 1418。另外， 附連塊1502可包括用來(lái)接納螺釘(未示出，但可類似于圖9的螺釘810)的孔 1508 (可類似于孔1408)，以便將附連塊1502附連到圖2的頭板110的插入 環(huán)112。指形物1510、 1512 (可類似于圖14的指形物1410、 1412)可提供用于啞鈴形結(jié)構(gòu)1506的球體1520的空間1514。螺栓/螺母對(duì)1516可構(gòu)造成當(dāng)擰 緊時(shí)牢固地將指形物1510、 1512壓抵球體1520，以使球體1520不能轉(zhuǎn)動(dòng)。然 而當(dāng)螺栓/螺母對(duì)1516擰松時(shí)，球體1520可自由地在盤形結(jié)構(gòu)1520內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。 指形物1510、 1512和螺栓/螺母對(duì)1516因此可形成離合器機(jī)構(gòu)，其通過(guò)擰緊螺 栓/螺母對(duì)1516而配合(鎖定)，或通過(guò)擰松螺栓/螺母對(duì)1516而脫開配合(未 鎖定)。
如圖17和18所示(其示出啞鈴形結(jié)構(gòu)1506的側(cè)剖視圖)，啞鈴形結(jié)構(gòu)1506 可包括兩個(gè)球體1520、 1524和桿條組件1510。如圖17所示，球體1520可設(shè) 置在附連塊1502的盤形結(jié)構(gòu)1518內(nèi)，而球體1524可設(shè)置在端部塊1404的盤 形結(jié)構(gòu)1432內(nèi)。第一桿條1508可附連到球體1520 (例如，第一桿條1508可 與桿1422附連到球體1420相同的方式附連到球體1520)，而第二桿條1514 可類似地附連到另一球體1524。
如圖18所示，桿條組件1510可構(gòu)造成允許其中一桿條(例如，第二桿條 1514)相對(duì)于另一桿條(例如，第一桿條1508)平移運(yùn)動(dòng)。例如，如圖18所 示，第一桿1508可與外殼形成一體或剛性地附連到外殼，該外殼包括形成內(nèi) 部空間1806的外殼體1802。第二桿條1514的一端可包括細(xì)長(zhǎng)槽1808，該端 可放置在殼體1802內(nèi)，而螺栓/螺母對(duì)1800的螺栓可延伸通過(guò)第二桿條1514 內(nèi)的細(xì)長(zhǎng)槽1808和殼體1802內(nèi)的孔(未示出)。
螺栓/螺母對(duì)1800可擰緊，它可將殼體1802壓抵第二桿條1514，將第二桿 條1514鎖定就位，以使第二桿條1514相對(duì)于第一桿條1508不能移動(dòng)。然而 當(dāng)螺栓/螺母對(duì)1800松動(dòng)時(shí)，第二桿條1514可在殼體內(nèi)自由滑動(dòng)，因此相對(duì)于 第一桿條1508沿著第一桿條1508的軸線平移。殼體1802和螺栓/螺母對(duì)1800 因此可形成離合器機(jī)構(gòu)，其通過(guò)擰緊螺栓/螺母對(duì)1800而配合(鎖定)，或通 過(guò)擰松螺栓/螺母對(duì)1800而脫開配合(未鎖定)。球體1520、 1424和桿條1508、 1514可包括金屬或其它剛性材料。
圖19示出可使用圖1系統(tǒng)100執(zhí)行以測(cè)試類似于DUT130的DUT的示范 過(guò)程l卯O。如圖19所示，在1902處，探針板組件114可附連到外殼132的頭 板110上(見圖1)。例如，圖2-4的探針板組件114的調(diào)整組件208和可鎖 定的順從組件210可附連到頭板110的插入環(huán)112。例如，如果調(diào)整組件208如圖6所示地構(gòu)造，則每個(gè)調(diào)整組件600的足部406可用螺釘512附連到插入 環(huán)112，如圖6所示。如果可鎖定的順從組件210如圖7-9所示地構(gòu)造，則各 個(gè)可鎖定的順從組件700的附連塊701可用螺釘810附連到插入環(huán)112，如圖 9所示?；蛘撸绻涉i定的順從組件210如圖14或圖17所示地構(gòu)造，則附 連塊1402或附連塊1502可用螺釘(未示出)附連或插入到孔1408或1508內(nèi) 并旋入到插入環(huán)112內(nèi)的對(duì)應(yīng)孔(未示出)上，如上大致地所描述。
再參照?qǐng)D19，在1904處，可鎖定的順從組件210可在1904處解除鎖定。 例如，圖2-4中探針板組件114的各個(gè)可鎖定的順從組件210上的鎖定機(jī)構(gòu)430 可以被解除鎖定。如上所述，當(dāng)鎖定機(jī)構(gòu)430解鎖時(shí)，各個(gè)可鎖定的順從組件 210的順從機(jī)構(gòu)432可允許附連/加固結(jié)構(gòu)202的支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于各個(gè)可鎖 定的順從組件210的附連塊302移動(dòng)。
例如，如果可鎖定的順從組件210類似于圖7的可鎖定的順從組件700進(jìn) 行構(gòu)造，則可鎖定的順從組件700可通過(guò)擰松螺栓/螺母對(duì)736和728和螺釘 720、 730來(lái)解鎖，就如以上一般地所討論的。作為另一實(shí)例，如果可鎖定的順 從組件210類似于圖14的可鎖定的順從組件1400進(jìn)行構(gòu)造，則可鎖定的順從 組件210可通過(guò)擰松螺栓/螺母對(duì)1416和螺栓/螺母對(duì)1430來(lái)解鎖。作為還有 另一實(shí)例，如果可鎖定的順從組件210類似于圖17的可鎖定的順從組件1700 進(jìn)行構(gòu)造，則可鎖定的順從組件210可通過(guò)擰松螺栓/螺母對(duì)1416、 1430、 1800 來(lái)解鎖。
再參照?qǐng)D19,在1906處，可調(diào)整探針板組件114的姿勢(shì)。例如， 一個(gè)或多 個(gè)可調(diào)整組件208上的一個(gè)或更多個(gè)致動(dòng)器314可被致動(dòng)，以有選擇地改變或 調(diào)整對(duì)應(yīng)延伸部312相對(duì)于插入環(huán)112的位置。如上所述和圖5A和5B中所 示，通過(guò)提供多個(gè)如此的可調(diào)整組件208，附連/加固結(jié)構(gòu)202的支承結(jié)構(gòu)206 姿勢(shì)(例如，傾斜、定向、平面性等)可相對(duì)于探針板組件114在l卯2處所 附連到的插入環(huán)112有選擇地改變或調(diào)整。如上所述，因?yàn)樘结橆^組件404附 連到支承結(jié)構(gòu)206 (例如，通過(guò)安裝機(jī)構(gòu)214)，所以，有選擇地改變支承結(jié) 構(gòu)206的姿勢(shì)，可改變探針頭組件404和探針116觸頭(它們附連到探針頭組 件404)相對(duì)于插入環(huán)112的姿勢(shì)。此外，因?yàn)椴迦氕h(huán)112和卡盤134可以是 外殼132的一部分或可(直接地或間接地)附連到外殼132，所以，調(diào)整支承
23結(jié)構(gòu)206、探針頭組件404和探針116觸頭相對(duì)于插入環(huán)112的姿勢(shì)，也可改 變支承結(jié)構(gòu)206、探針頭組件404和探針116觸頭相對(duì)于卡盤134和設(shè)置在卡 盤上的DUT130 (帶有端子118)的姿勢(shì)。因此，圖19中的1906可實(shí)現(xiàn)有選 擇地調(diào)整探針116觸頭相對(duì)于DUT130端子118的姿勢(shì)。例如，在1906處探 針116的觸頭可有選擇地調(diào)整，以對(duì)應(yīng)于DUT130端子118的姿勢(shì)。
如上所述，因?yàn)楦鱾€(gè)可鎖定的順從組件210上的鎖定機(jī)構(gòu)430可在圖19的 1904處解除鎖定，各個(gè)可鎖定的順從組件210上的順從機(jī)構(gòu)432可允許支承結(jié) 構(gòu)206相對(duì)于各個(gè)可鎖定的順從組件210的附連塊312移動(dòng)，如上所述，這些 附連塊已在1902處附連到插入環(huán)112。因此，當(dāng)在圖19的1906期間致動(dòng)器 314改變支承結(jié)構(gòu)206的姿勢(shì)時(shí)，各個(gè)可鎖定的順從組件210上的順從機(jī)構(gòu)432 可允許支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于各個(gè)可鎖定的順從組件210的附連塊302移動(dòng)，因 此，相對(duì)于多個(gè)可能的基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)中的任何一個(gè)移動(dòng)，如上所述，基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)包括 插入環(huán)112、卡盤134、 DUT130、 DUT130的端子等。而且，當(dāng)未鎖定時(shí)，順 從組件210可構(gòu)造成允許支承結(jié)構(gòu)206沿至少一個(gè)或更多個(gè)運(yùn)動(dòng)自由度移動(dòng)， 且相當(dāng)自由地移動(dòng)，因此對(duì)支承結(jié)構(gòu)206的姿勢(shì)施加的影響可以忽略。
再參照?qǐng)D19，可鎖定的順從組件210可鎖定在1904處。例如，可以鎖定圖 2-4中探針板組件114的各個(gè)可鎖定的順從組件210上的鎖定機(jī)構(gòu)430。如上 所述，鎖定機(jī)構(gòu)430可鎖定各個(gè)可鎖定的順從組件210的順從機(jī)構(gòu)432，以使 支承結(jié)構(gòu)206不能相對(duì)于各個(gè)可鎖定的順從組件210的附連塊302移動(dòng)。因此， 一旦在1906處按要求設(shè)定支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于插入環(huán)112的姿勢(shì)(以及因此 探針116觸頭相對(duì)于DUT130端子118的姿勢(shì))，則各個(gè)可鎖定的順從組件 210可被鎖定，以使支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于附連塊302不允許有進(jìn)一步運(yùn)動(dòng)(或 沒(méi)有顯著的進(jìn)一步運(yùn)動(dòng))。 一旦鎖定可鎖定的順從組件210上的鎖定機(jī)構(gòu)430， 各個(gè)可鎖定的順從組件210可變?yōu)閯傂越Y(jié)構(gòu)，在DUT測(cè)試期間，該剛性結(jié)構(gòu) 阻止支承結(jié)構(gòu)206 (以及因此探針頭組件404和探針116)的運(yùn)動(dòng)。例如，在 測(cè)試DUT130期間，在鎖定機(jī)構(gòu)430被鎖定時(shí)，可鎖定的順從組件210可對(duì)例 如因熱梯度、作用在探針116上的機(jī)械載荷等引起的支承結(jié)構(gòu)206、探針頭組 件404和探針116的運(yùn)動(dòng)提供機(jī)械抗力。且由各個(gè)已鎖定的可鎖定的順從組件 210提供的對(duì)于運(yùn)動(dòng)(例如，諸如圖5A和5B所示加載502那樣的加載誘發(fā)的運(yùn)動(dòng))的剛度或機(jī)械抗力可附加于由探針板組件114的其它元件(諸如調(diào)整組
件208和支承結(jié)構(gòu)206)提供的對(duì)運(yùn)動(dòng)的剛度或機(jī)械抗力。而且，順從機(jī)構(gòu)432 允許可鎖定的順從組件210提供上述機(jī)械抗力，而不影響(或不顯著地影響) 支承部分(以及因此探針頭組件404和探針116觸頭)相對(duì)于插入環(huán)112 (以 及因此卡盤134、 DUT130及DUT130端子118)的姿勢(shì)。
如上所述，各個(gè)可鎖定的順從組件210可通過(guò)鎖定其鎖定機(jī)構(gòu)430來(lái)鎖定。 例如，如果可鎖定的順從組件210類似于圖7的可鎖定的順從組件700那樣進(jìn) 行構(gòu)造，則可鎖定的順從組件210可用以下方法鎖定如上大致描述的，擰緊 螺栓/螺母對(duì)736以將附連塊701的指形物704、 708牢固地壓抵互連器塊714 的水平延伸部710;如上大致描述的，扦緊螺栓/螺母對(duì)728以將端部塊726的 指形物718、 724牢固地壓抵互連器塊1714的垂直延伸部716;以及如上大致 描述的，擰緊螺栓720、 730以牢固地將端部塊726的凸緣722、 732附連到支 承結(jié)構(gòu)206。作為另一實(shí)例，如果可鎖定的順從組件210類似于圖14的可鎖定 的順從組件1400那樣進(jìn)行構(gòu)造，則可鎖定的順從組件210可用以下方法鎖定 如上大致描述的，擰緊螺栓/螺母對(duì)1416以將指形物1410、 1412牢固地壓抵球 體1420;以及如上安裝描述的，擰緊螺栓/螺母對(duì)1430以將端部塊1404的指 形物1426、 1428牢固地壓抵球體1424 (見圖14)。作為還有另一實(shí)例，如果 可鎖定的順從組件210類似于圖17的可鎖定的順從組件1500那樣進(jìn)行構(gòu)造， 則可鎖定的順從組件210可用以下方法鎖定如上大致描述的，擰緊螺栓/螺母 對(duì)1516以將指形物1510、 1512牢固地壓抵球體1520;如上大致描述的，擰緊 螺栓/螺母對(duì)1430以將指形物1426、 1428牢固地壓抵球體1524;以及如上大 致描述的，擰緊螺栓/螺母對(duì)1800以將殼體1802牢固地壓抵第二桿1514。
在圖19的1910處，可測(cè)試DUT130。例如，卡盤134可定位成將選定的 DUT130端子118壓抵選定的探針116以建立那些探針116和那些端子118之 間的電氣連接。如上所述，測(cè)試儀102然后可通過(guò)連接器104、測(cè)試頭106內(nèi) 的電子器件、連接器108和探針板組件114對(duì)DUT130提供電力和測(cè)試信號(hào)。 DUT130響應(yīng)于測(cè)試信號(hào)產(chǎn)生的響應(yīng)信號(hào)可通過(guò)探針板組件114、連接器108、 測(cè)試頭106內(nèi)的電子器件以及連接器104提供給測(cè)試儀102。然后，測(cè)試儀102 可評(píng)價(jià)響應(yīng)信號(hào)以確定DUT130(或DUT130的元件)是否通過(guò)測(cè)試。卡盤134可重新定位DUT130，以使其它端子118可與探針116接觸所需的次數(shù)，以便 測(cè)試整個(gè)DUT130。 一旦測(cè)試了DUT130，新的DUT可放置在卡盤134上，從 而可測(cè)試新的DUT。
盡管以上在使用探針板組件的測(cè)試DUT的系統(tǒng)中描述了許多示范實(shí)施例 和結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明還有許多其它實(shí)施例也是可能的。圖20示出根據(jù)本發(fā)明某 些實(shí)施例的如此一個(gè)系統(tǒng)的實(shí)例。如圖所示，工具裝置2000可包括圖2-5 (包 括圖6-18中所示示范結(jié)構(gòu))或類似結(jié)構(gòu)的帶有調(diào)整組件208和可鎖定的順從 組件210的附連/加固結(jié)構(gòu)202。還如圖所示，工具裝置2000可附連到如以上 參照?qǐng)Dl-18所描述的外殼132的頭板110的插入環(huán)112 (圖20中未示出但顯 示在圖1中)，或附連到構(gòu)造成接納工具裝置2000的類似結(jié)構(gòu)。如圖20所示， 工具頭組件2002可附連到支承結(jié)構(gòu)206，而該工具頭組件2002可包括多個(gè)工 具2004。工件2006可以是工具頭組件2002的工具2004在其上進(jìn)行操作的任 何物體，該工件2006可以設(shè)置在卡盤134上或類似裝置上，如以上參照?qǐng)D1 所討論的，卡盤134上或類似裝置可以被包圍在外殼132內(nèi)或附連到外殼132
(圖20中未示出但顯示在圖1中)，頭板110是外殼132的一部分。如上所 討論，卡盤134可將工件2006移入允許工具2004在工件2006上進(jìn)行操作的 位置上。例如，工具2004可以是但不局限于將油漆或其它材料噴濺到工件2006 表面上的噴嘴。作為另一非限制性的實(shí)例，工具2004可以是心軸或砂輪，其 構(gòu)造成加工工件2006。
工具裝置2000可附連到插入環(huán)112，而可鎖定的順從組件210可以解除鎖 定(它可類似于圖19的1904)。支承結(jié)構(gòu)206的姿勢(shì)(及因此工具2004的姿 勢(shì))可使用調(diào)整組件210進(jìn)行調(diào)整(其類似于圖19的1906)。在未鎖定時(shí)， 可鎖定的順從組件210可允許支承結(jié)構(gòu)206相對(duì)于插入環(huán)112相對(duì)自由地移動(dòng)
(至少沿一個(gè)或更多個(gè)自由度)，因此已解鎖的可鎖定的順從組件210可幾乎 不對(duì)支承結(jié)構(gòu)206的姿勢(shì)施加顯著影響。然后，可鎖定的順從組件210可被鎖 定(其可類似于圖19的1908)，在鎖定時(shí)，可鎖定的順從組件210可對(duì)附連/ 加固結(jié)構(gòu)202提供附加的剛度(或?qū)\(yùn)動(dòng)的機(jī)械抗力)，以阻礙例如加載2050
(例如，機(jī)械加載、熱誘發(fā)的加載等)在工具2004上或工具頭組件2002的作 用，同時(shí)，例如工具2004在工件2006上操作。
26盡管本說(shuō)明書已經(jīng)描述了本發(fā)明具體的實(shí)施例和應(yīng)用，但本發(fā)明并不意圖 局限于這些示范的實(shí)施例和應(yīng)用，或局限于示范實(shí)施例和應(yīng)用所進(jìn)行操作的或 在這里所描述的方式。
權(quán)利要求
1. 一種探針板組件包括支承結(jié)構(gòu)；多個(gè)探針，所述探針固定到所述支承結(jié)構(gòu)并設(shè)置成接觸要被測(cè)試的電子器件；致動(dòng)器，所述致動(dòng)器構(gòu)造成有選擇地改變所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的姿勢(shì)；以及多個(gè)可鎖定的順從結(jié)構(gòu)，其中，在未鎖定時(shí)，所述可鎖定的順從結(jié)構(gòu)允許所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，以及在鎖定時(shí)，所述順從結(jié)構(gòu)機(jī)械地阻止所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)。
2. 如權(quán)利要求1所述的探針板組件，其特征在于， 所述支承結(jié)構(gòu)包括剛性板狀結(jié)構(gòu)；所述探針板組件還包括多個(gè)從所述支承結(jié)構(gòu)延伸的剛性延伸部；以及 所述致動(dòng)器設(shè)置在所述延伸部?jī)?nèi)。
3. 如權(quán)利要求2所述的探針板組件，其特征在于，所述可鎖定的順從結(jié)構(gòu)包括附連到所述支承結(jié)構(gòu)的臂組件。
4. 如權(quán)利要求1所述的探針板組件，其特征在于，所述探針附連到基底， 該基底附連到所述支承結(jié)構(gòu)。
5. 如權(quán)利要求1所述的探針板組件，其特征在于，所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)是其中設(shè) 置所述電子器件的測(cè)試裝置的一部分。
6. 如權(quán)利要求5所述的探針板組件，其特征在于，還包括多個(gè)附連機(jī)構(gòu)， 所述附連機(jī)構(gòu)構(gòu)造成將所述支承結(jié)構(gòu)附連到所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)。
7. 如權(quán)利要求6所述的探針板組件，其特征在于，各個(gè)致動(dòng)器設(shè)置成有選 擇地改變所述附連機(jī)構(gòu)中的一個(gè)和所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)之間的距離。
8. 如權(quán)利要求7所述的探針板組件，其特征在于，所述可鎖定的順從結(jié)構(gòu) 構(gòu)造成將所述支承結(jié)構(gòu)附連到所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)。
9. 如權(quán)利要求7所述的探針板組件，其特征在于，還包括三個(gè)致動(dòng)器。
10. 如權(quán)利要求7所述的探針板組件，其特征在于，各個(gè)致動(dòng)器包括差動(dòng)螺 旋組件。
11. 如權(quán)利要求1所述的探針板組件，其特征在于，各個(gè)可鎖定的順從結(jié)構(gòu)包括構(gòu)造成附連到所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的附連塊； 可動(dòng)地連接到所述支承結(jié)構(gòu)的端部塊；以及可動(dòng)地連接到所述附連塊并可動(dòng)地連接到所述端部塊的互連器塊。
12. 如權(quán)利要求11所述的探針板組件，其特征在于，各個(gè)可鎖定的順從結(jié) 構(gòu)還包括離合器，所述離合器構(gòu)造成在鎖定時(shí)，阻止所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于所 述端部塊運(yùn)動(dòng)，并阻止所述互連器塊相對(duì)于所述端部塊和所述附連塊運(yùn)動(dòng)。
13. 如權(quán)利要求1所述的探針板組件，其特征在于，各個(gè)可鎖定的順從結(jié)構(gòu) 包括第一球體，所述第一球體可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在第一離合器結(jié)構(gòu)內(nèi)，所述第一 離合器結(jié)構(gòu)附連到所述支承結(jié)構(gòu)；第二球體，所述第二球體可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在第二離合器結(jié)構(gòu)內(nèi)，所述第二 離合器結(jié)構(gòu)構(gòu)造成附連到所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)；以及設(shè)置在第一球體和第二球體之間的桿條。
14. 如權(quán)利要求13所述的探針板組件，其特征在于，鎖定所述第一離合器防止第一球體轉(zhuǎn)動(dòng)，而鎖定所述第二離合器防止所述第二球體轉(zhuǎn)動(dòng)。
15. 如權(quán)利要求1所述的探針板組件，其特征在于，在未鎖定時(shí)，所述可鎖 定的順從結(jié)構(gòu)不明顯地影響所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的姿勢(shì)。
16. 如權(quán)利要求1所述的探針板組件，其特征在于，在鎖定時(shí)，各個(gè)可鎖定 的順從結(jié)構(gòu)附加所述支承結(jié)構(gòu)的機(jī)械剛度。
17. —種有選擇地調(diào)整多個(gè)探針相對(duì)于要測(cè)試電子器件的端子的姿勢(shì)的方 法，該方法包括將探針板組件附連到基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)；在可鎖定的順從結(jié)構(gòu)未鎖定時(shí)，改變所述探針板組件的支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于 所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的姿勢(shì)，其中，所述探針固定到所述支承結(jié)構(gòu)和所述順從結(jié)構(gòu)，在未鎖定時(shí)，允許所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)；以及鎖定所述多個(gè)可鎖定的順從結(jié)構(gòu)，其中，在鎖定時(shí)，各個(gè)可鎖定的順從 結(jié)構(gòu)機(jī)械地阻止所述順從結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。
18. 如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，還包括在改變所述支承結(jié)構(gòu) 姿勢(shì)之前解除對(duì)所述多個(gè)可鎖定的順從結(jié)構(gòu)的鎖定。
19. 如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)是測(cè)試外殼的 一部分，該外殼包括構(gòu)造成固定所述電子器件的卡盤。
20. 如權(quán)利要求19所述的方法，其特征在于，所述探針附連到探針基底組件，該組件附連到加固結(jié)構(gòu)。
21. 如權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于，改變所述支承結(jié)構(gòu)的姿勢(shì)包 括定向所述探針的觸頭以對(duì)應(yīng)于所述電子器件的端子的定向。
22. 如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，各個(gè)可鎖定的順從結(jié)構(gòu)允許 所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)有至少四個(gè)運(yùn)動(dòng)自由度。
23. 如權(quán)利要求22所述的方法，其特征在于，所述四個(gè)運(yùn)動(dòng)自由度包括圍 繞三個(gè)垂直軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)和沿著至少一個(gè)軸線的平移。
24. 如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，還包括 鎖定所述多個(gè)可鎖定的順從結(jié)構(gòu)之后，實(shí)現(xiàn)所述電子器件一些端子和一些探針之間的接觸；以及當(dāng)所述那些端子和所述那些探針接觸時(shí)，測(cè)試所述電子器件的至少一部分。
25. 如權(quán)利要求24所述的方法，其特征在于，所述電子器件包括半導(dǎo)體晶 片，所述晶片包括多個(gè)半導(dǎo)體管芯。
26. 如權(quán)利要求25所述的方法，其特征在于，在所述測(cè)試期間，已鎖定的 所述可鎖定的順從結(jié)構(gòu)機(jī)械地阻止所述支承結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)。
27. 如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，在未鎖定時(shí)，所述可鎖定的 順從結(jié)構(gòu)不明顯地影響所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的姿勢(shì)。
28. 如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，在鎖定時(shí)，各個(gè)可鎖定的順 從結(jié)構(gòu)附加所述支承結(jié)構(gòu)的機(jī)械剛度。
29. —種調(diào)整多個(gè)探針姿勢(shì)的裝置，該裝置包括探針?biāo)潭ǖ闹С薪Y(jié)構(gòu)；一整機(jī)構(gòu)，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)構(gòu)造成調(diào)整所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的姿 勢(shì)；以及離合式順從結(jié)構(gòu)，所述順從結(jié)構(gòu)構(gòu)造成當(dāng)所述順從結(jié)構(gòu)的離合器脫開配合時(shí)，所述順從結(jié)構(gòu)允許所述支承 結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，以及當(dāng)所述順從結(jié)構(gòu)的所述離合器配合時(shí)，所述順從結(jié)構(gòu)機(jī)械地阻礙所 述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。
30. 如權(quán)利要求27所述的裝置，其特征在于，所述探針構(gòu)造成接觸要被測(cè) 試的電子器件的端子，而所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)是測(cè)試裝置的一部分，在測(cè)試期間，所 述電子器件設(shè)置在所述測(cè)試裝置內(nèi)。
31. 如權(quán)利要求27所述的裝置，其特征在于，還包括多個(gè)附連機(jī)構(gòu)，所述 附連機(jī)構(gòu)構(gòu)造成將所述支承結(jié)構(gòu)附連到所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)。
32. 如權(quán)利要求29所述的裝置，其特征在于，各個(gè)致動(dòng)器設(shè)置成有選擇地 改變所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述附連結(jié)構(gòu)之一的定向。
33. 如權(quán)利要求30所述的裝置，其特征在于，各個(gè)致動(dòng)器包括差動(dòng)螺旋組件。
34. 如權(quán)利要求30所述的裝置，其特征在于，所述離合式順從結(jié)構(gòu)構(gòu)造成將所述支承結(jié)構(gòu)附連到所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)。
35. 如權(quán)利要求27所述的裝置，其特征在于，所述離合式順從結(jié)構(gòu)允許所 述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)有至少四個(gè)運(yùn)動(dòng)自由度。
36. 如權(quán)利要求33所述的裝置，其特征在于，所述四個(gè)運(yùn)動(dòng)自由度包括圍 繞三個(gè)垂直軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)和沿著至少一個(gè)軸線的平移。
37. 如權(quán)利要求27所述的裝置，其特征在于，當(dāng)所述離合式順從結(jié)構(gòu)的所 述離合器脫開配合時(shí)，所述離合式順從結(jié)構(gòu)不明顯地影響所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于 所述基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的姿勢(shì)。
38. 如權(quán)利要求27所述的裝置，其特征在于，在配合時(shí)，所述離合式順從 結(jié)構(gòu)附加所述支承結(jié)構(gòu)的機(jī)械剛度。
39. —種工具固定組件，該工具固定組件包括支承結(jié)構(gòu)；多個(gè)工具，所述多個(gè)工具固定到所述支承結(jié)構(gòu)并設(shè)置成在工件上進(jìn)行操作；致動(dòng)器，所述致動(dòng)器構(gòu)造成有選擇地改變所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu) 的姿勢(shì)；以及多個(gè)可鎖定的順從結(jié)構(gòu)，其中在未鎖定時(shí)，所述可鎖定的順從結(jié)構(gòu)允許所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述 基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，以及在鎖定時(shí)，所述順從結(jié)構(gòu)機(jī)械地阻礙所述支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述基準(zhǔn) 結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)。
40. 如權(quán)利要求39所述的組件，其特征在于，所述工具包括分配材料的噴 嘴，所述工件包括所述材料要被分配在其上的結(jié)構(gòu)。
41. 如權(quán)利要求39所述的組件，其特征在于，所述工件包括待加工的物體， 所述工具包括構(gòu)造成加工所述工件的心軸。
全文摘要
一種探針板組件，該組件包括支承結(jié)構(gòu)，多個(gè)探針可直接地或間接地附連到支承結(jié)構(gòu)。探針可設(shè)置成接觸要被測(cè)試的電子器件。探針板組件還可包括致動(dòng)器，這些致動(dòng)器可構(gòu)造成有選擇地改變支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的姿勢(shì)。探針板組件還可包括多個(gè)可鎖定的順從結(jié)構(gòu)。在未鎖定時(shí)，可鎖定的順從結(jié)構(gòu)可允許支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。然而在鎖定時(shí)，順從結(jié)構(gòu)可對(duì)支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)提供機(jī)械抗力。
文檔編號(hào)G01R31/02GK101501513SQ200780029051
公開日2009年8月5日 申請(qǐng)日期2007年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月4日
發(fā)明者A·H·斯洛克姆, C·D·邁考伊, E·D·霍博斯, J·M·小波特 申請(qǐng)人:佛姆法克特股份有限公司